DE4335588A1

DE4335588A1 - Drucksensor

Info

Publication number: DE4335588A1
Application number: DE4335588A
Authority: DE
Inventors: Yuji Hase; Mikio Bessho
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1992-10-19
Filing date: 1993-10-19
Publication date: 1994-04-21
Anticipated expiration: 2013-10-20
Also published as: DE4335588C2; US5436491A; JPH06132545A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Drucksensor, und insbesondere auf einen Drucksensor zum Erfassen von Druck in einer Umgebung mit hohem Druck und starken Erschütterungen, wie etwa Verbrennungsdruck eines Verbrennungsmotors.

Fig. 7 zeigt schematisch in einer Schnittansicht einen konventionellen Drucksensor, wie er zum Beispiel in der JP- OS-4-76961 offenbart ist. Bezugnehmend auf die Zeichnung beinhaltet der Drucksensor ein zylindrisches Körpergehäuse 1 aus nichtrostenden Stahl oder einem ähnlichen Material. Das Körpergehäuse 1 besitzt einen Öffnungs-Abschnitt 1a, auf dem eine Metallmembran 2 abdichtend angebracht ist, die deformierbar ist, wenn sie einem Druck von der Außenseite des Sensors unterworfen wird. Die Metallmembran 2 ist aus einem rostfreien Stahlmaterial mit einer Dicke von ungefähr 100 bis 150 µm gefertigt. Ein Abdichtungselement 4 ist durch ein Schweißverfahren oder ähnlichem abdichtend an einen Abschnitt der Innenfläche 1b des Körpergehäuses 1 angebracht und verfügt über einen Dichtungsabschnitt 4a zwischen dem Abschnitt der Innenfläche 1b und dem Hauptabschnitt des Abdichtungselementes 4. Das Abdichtungselement 4 wirkt mit dem Körpergehäuse 1 derart zusammen, daß ein Zwischenraum innerhalb des Körpergehäuses 1 abgegrenzt wird, in dem ein nicht kompressibles Medium 3 hermetisch abgeschlossen ist, um einen luftdichten Zustand in dem Zwischenraum zu erhalten. Ein Sockel 5 des Drucksensors ist aus Glas oder einem ähnlichen Material geformt.

Eine Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 ist in dem Zwischenraum angeordnet und auf dem Abdichtungselement 4 durch den Sockel 5 gehalten. Die Halbleiter- Druckerfassungseinheit 6 besitzt eine Halbleitermembran 6a, die einen Druck empfängt und einer Deformation entsprechend dem empfangenen Druck unterzogen wird. Ein Dehnungsmesser 7 ist auf einer der Hauptflächen der Halbleiter- Druckerfassungseinheit 6 ausgebildet, die der Metallmembran 2 gegenüberliegt. Der Dehnungsmesser 7 ist dazu geeignet ein elektrisches Signal entsprechend einer Deformation der Halbleitermembran 6a auszugeben. Zuleitungen 9 verfügen über obere Abschnitte 9a zum Empfangen von von dem Dehnungsmesser 7 ausgegebenen und durch die elektrischen Leitungen 8 übertragenen elektrischen Signalen, um diese zu einem externen Schaltkreis (nicht dargestellt) zu leiten. Der Dehnungsmesser 7 hat eine wie in Fig. 8 gezeigte Schaltungskonfiguration. Wie in Fig. 8 gezeigt bilden eine Vielzahl von dehnungsempfindlichen Bauteilen 7a, welche zum Beispiel brückenschaltungsartig miteinander verbunden sind, den Dehnungsmesser 7.

Die Arbeitsweise des konventionellen Drucksensors wird nun beschrieben werden.

Wenn ein Druck A, wie in der Fig. 7 durch Pfeile angedeutet, von der Außenseite auf den Drucksensor wirkt, wird die Metallmembran 2 folglich deformiert. Da ein luftdichter Zustand durch das hermetische Abschließen des nicht kompressiblen Mediums 3 in dem Zwischenraum innerhalb des Körpergehäuses 1 bewahrt wird, verursacht die Deformation der Metallmembran 2 einen entsprechenden Druck, der durch das nicht kompressible Medium 3 auf die Halbleitermembran 6b aufgebracht wird, was eine entsprechende Deformierung der Halbleitermembran verursacht.

Der Dehnungsmesser 7 erfaßt die Deformation der Halbleitermembran 6b und gibt ein elektrisches Signal entsprechend der Größenordnung der Deformation der Halbleitermembran 6b aus, welches zu dem externen Schaltkreis geliefert wird.

Der externe Schaltkreis erkennt die Größenordnung des Druckes A auf der Grundlage der Signalausgabe von dem Dehnungsmesser 7.

Wenn der konventionelle Drucksensor starken Erschütterungen unterworfen wird, kann eine Unterbrechung in den elektrischen Leitungen 8 auftreten oder die elektrischen Leitungen können von der Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 getrennt werden. Dadurch wird es unmöglich gemacht elektrische Signale an den externen Schaltkreis zu liefern.

Die vorliegende Erfindung wurde in Anbetracht der oben beschriebenen Probleme gemacht. Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen Drucksensor zu schaffen, der zum Erfassen von Druck sogar in Umgebungen mit starker Erschütterungen geeignet ist, und der folglich eine hohe Zuverlässigkeit aufweist.

Gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein Drucksensor vorgesehen, umfassend: Ein Körpergehäuse, das einen Öffnungsabschnitt mit einer durchgehenden Öffnung besitzt; eine Metallmembran, die abdichtend auf dem äußeren Ende des Öffnungsabschnittes des Körpergehäuses angebracht ist, wobei die Metallmembran deformierbar ist, wenn sie Druck von der Außenseite des Drucksensors unterworfen wird; ein hermetisch abgeschlossenes nicht kompressibles Medium, das mit den Innenflächen des Körpergehäuses in Verbindung steht; ein mit der Metallmembran zusammenwirkendes Abdichtungselement zum Abdichten des Inneren des Körpergehäuses; einen Sockel, der auf dem Abdichtungselement montiert ist; eine Halbleiter-Druckerfassungseinheit die auf dem Sockel angeordnet ist und eine Halbleitermembran zum Empfangen von Druck durch das nicht kompressible Medium besitzt, wenn die Metallmembran deformiert wird, und die sich entsprechend des empfangenen Druckes deformiert; die Halbleiter-Druckerfassungseinheit besitzt auch einen Dehnungsmesser zur Ausgabe eines elektrischen Signals, welches solch eine Deformation der Halbleitermembran anzeigt; elektrische Leitungen zum Übertragen eines elektrischen Signals von der Halbleiter-Druckerfassungseinheit; Zuleitungen, die mit den elektrischen Leitungen verbunden sind, und das elektrische Signal zur Außenseite des Körpergehäuses des Sensors leiten; und ein elektrisch isolierendes Material, das die elektrischen Leitungen selbst, die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen und der Halbleiter-Druckerfassungseinheit und die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen und den Zuleitungen bedeckt.

Gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist ein Drucksensor vorgesehen, umfassend: Ein Körpergehäuse, das einen Öffnungsabschnitt mit einer durchgehenden Öffnung besitzt; eine Metallmembran, die abdichtend auf dem äußeren Ende des Öffnungsabschnittes des Körpergehäuses angebracht ist, wobei die Metallmembran deformierbar ist, wenn sie einem Druck von der Außenseite des Drucksensors unterworfen wird; einem Abdichtungselement, das auf dem inneren Ende des Öffnungsabschnittes des Körpergehäuses und gegenüberliegend zur Metallmembran angeordnet ist, wobei das Abdichtungselement mit einer durchgehenden Öffnung versehen ist; einem auf dem Abdichtungselement angeordneten Sockel, der eine durchgehende Öffnung besitzt; eine Halbleiter-Druckerfassungseinheit mit einer Halbleitermembran auf ihrer einen Seite und einem Dehnungsmesser auf der anderen, wobei die Halbleiter- Druckerfassungseinheit auf dem Sockel angeordnet ist, mit der Halbleitermembran gegenüberliegend der Metallmembran; ein nicht kompressibles Medium, das mit den Innenflächen des Körpergehäuses in Verbindung stehend in einem von Körpergehäuse, dem Dichtungselement und dem Sockel definierten Zwischenraum hermetisch abgeschlossen ist; elektrische Leitungen zum Übertragen eines elektrischen Signals von der Halbleiter-Druckerfassungseinheit; Zuleitungen, die mit den elektrischen Leitungen verbunden sind, um das elektrische Signal zur Außenseite des Körpergehäuses des Sensors zu leiten; und ein elektrisch isolierendes Material, das die elektrischen Leitungen selbst, die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen und der Halbleiter-Druckerfassungseinheit und die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen und den Zuleitungen bedeckt.

Fig. 1 ist eine vertikale Schnittansicht, die schematisch einen Drucksensor gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 2 ist eine Draufsicht, die schematisch eine Metallmembran des in Fig. 1 dargestellten Sensors zeigt;

Fig. 3 zeigt schematisch in vertikaler Schnittansicht einen Drucksensor gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Fig. 4 ist eine Draufsicht, die schematisch eine Metallmembran des in Fig. 3 dargestellten Sensors zeigt;

Fig. 5 ist eine vertikale Schnittansicht, die schematisch einen Drucksensor gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 6 ist eine vertikale Schnittansicht, die schematisch einen Drucksensor gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 7 ist eine vertikale Schnittansicht, die schematisch einen konventionellen Drucksensor darstellt; und

Fig. 8 ist ein Schaubild der Schaltkreiskonfiguration eines Druckmessers des konventionellen Sensors.

Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nun unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.

Ausführungsform 1

Fig. 1 zeigt schematisch in einer vertikalen Schnittansicht einen Drucksensor gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In Fig. 1 sind Bauteile, die gleich oder entsprechend denen des konventionellen Sensors sind, mit den gleichen Bezugszeichen wie die für den konventionellen Sensor verwendeten gekennzeichnet. Bezugnehmend auf Fig. 1 enthält der Sensor gemäß dieser Ausführungsform ein elektrisch isolierendes Material 10, welches die elektrischen Leitungen 8 selbst, die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen 8 und einer Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6, und die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen 8 und Zuleitungen 9 bedeckt. In dieser Ausführungsform sind die Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6, die elektrischen Leitungen 8 und die Anschlüsse 9, alle innerhalb eines Körpergehäuses 1 des Drucksensors, mit einem elektrisch isolierenden Material 10, wie etwa Epoxyharz, vergossen, welches folglich ein Formteil bildet. Das Formteil ist in einer solchen Art und Weise gestaltet, daß die obere Seite der Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 (diese Seite bildet eine Halbleitermembran 6a) und ein Dehnungsmesser 11 der Einheit 6 nicht durch das elektrisch isolierende Material 10 bedeckt werden, wenn man von der Richtung in welcher Druck auf den Sensor aufgebracht wird betrachtet (d. h. die Richtung, die durch Pfeile A in der Fig. 1 angedeutet wird).

Der Drucksensor arbeitet auf folgende Art und Weise.

Wenn eine Metallmembran 2 des Drucksensors einem äußeren Druck unterworfen wird, der in der durch Pfeile A angedeuteten Richtung wirkt, wird der Druck von der Metallmembran 2 durch ein nicht kompressibles Medium 3 zu der Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 übertragen. Wenn die Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 den übertragenen Druck empfängt, wird die Halbleitermembran 6A einer Deformation entsprechend der Größenordnung des Druckes unterzogen. Der Dehnungsmesser 11 erfaßt die Deformation der Halbleitermembran 6a und gibt ein elektrisches Signal aus, das die Größenordnung dieser Deformation anzeigt. Die elektrischen Leitungen 8 und die Zuleitungen 9 leiten das elektrische Signal zu einer externen Einheit (nicht gezeigt). Folglich kann die externe Einheit die Größenordnung des externen Druckes auf der Basis des elektrischen Ausgabesignals des Dehnungsmessers 11 erkennen. Der Dehnungsmesser 11 kann eine Schaltkreiskonfiguration ähnlich der in Fig. 8 gezeigten besitzen.

Sogar wenn starke Erschütterungen auf den Drucksensor wirken, kann ein Erfassen des Druckes ohne Beeinflussung durch Erschütterungen durchgeführt werden, das heißt ohne die Behinderung durch Unterbrechungen oder ähnlichem, da sich die elektrischen Leitungen 8 innerhalb der Umhüllung des elektrisch isolierenden Materials 10 befinden, das das Formteil bildet.

Fig. 2 zeigt schematisch in einer Draufsicht die Metallmembran 2 des in Fig. 1 dargestellten Sensors. Wie in Fig. 2 gezeigt, bedeckt das elektrisch isolierende Material 10 (durch gestrichelte Linien angedeutet) die relevanten Abschnitte der Halbleiter-Druckerfassungeinheit 6, der elektrischen Leitungen 8 und derjenigen Abschnitte 9a der Zuleitungen 9, die mit den elektrischen Leitungen 8 verbunden sind. Der Dehnungsmesser 11 ist nicht durch das elektrisch isolierende Material 10 abgedeckt, sondern liegt offen, um ein Fühlen des Druckes zu gestatten.

Obwohl in Fig. 2 das elektrisch isolierende Material 10 so gestaltet ist, daß es kreisförmige Innen und Außen- Umfangsabschnitte besitzt, ist dies lediglich ein Beispiel und das elektrisch isolierende Material 10 kann andere verschiedene Gestalten besitzen, wie etwa eine rechteckige Form.

Bei dem Drucksensor mit der oben beschriebenen Anordnung sind die Zuleitungen 9 auch dann durch das elektrisch isolierende Material 10 geschützt, wenn der Sensor in einer Umgebung mit starken Erschütterungen verwendet wird, wodurch es ermöglicht wird, eine Unterbrechung oder Trennung der elektrischen Leitungen 8 und der Zuleitungen 9 zu verhindern. Folglich ist ein Erfassen von Druck sogar in einer Umgebung mit starken Erschütterungen möglich. Die Bereitstellung des elektrisch isolierenden Materials 10 ist auch dadurch vorteilhaft, daß das Volumen des Raumes innerhalb des Körpergehäuses 1 um den Betrag entsprechend des Volumens des elektrisch isolierenden Materials 10 reduziert wird, wodurch es ermöglicht wird, durch Temperaturänderungen verursachte Einflüsse wie etwa thermische Ausdehnung des nicht kompressiblen Mediums 3 zu reduzieren.

Ausführungsform 2

Fig. 3 zeigt schematisch in einer vertikalen Schnittansicht einen Drucksensor entsprechend einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In Fig. 3 sind Bauteile, die gleich oder entsprechend denen der ersten Ausführungsform sind, mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet. Bezugnehmend auf Fig. 3 beinhaltet der Sensor gemäß dieser Ausführungsform ein Distanzstück 12, das auf einem Abdichtungselement 4 in solch einer Art und Weise angeordnet ist, das es mit den jeweiligen Außenflächen eines Sockels 5, oberer Abschnitte 9a der Zuleitungen 9 und einer Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 in Verbindung steht. Auch ist ein elektrisch isolierendes Material 10, das ein Formteil bildet, auf dem Distanzstück 12 vorgesehen und bedeckt die elektrischen Leitungen 8 selbst, die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen 8 und der Halbleiter- Druckerfassungseinheit 6 und die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen 8 und den Zuleitungen 9.

Das Distanzstück 12 ist aus einem elektrisch isolierenden Material gefertigt. Da das Distanzstück 12 so angeordnet ist, daß es sowohl mit dem aus Glas oder ähnlichem hergestellten Sockel 5 und der aus Silikon oder ähnlichem gefertigten Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 in Verbindung steht, ist das Distanzstück 12 jedoch aus einem elektrisch isolierenden Material mit einem linearen Ausdehnungskoeffizienten nahe demjenigen der Halbleiter- Druckerfassungseinheit hergestellt.

Fig. 4 zeigt schematisch in einer Draufsicht eine Metallmembran 2 des in Fig. 3 dargestellten Sensors. Wie in Fig. 4 gezeigt, liegt ein Dehnungsmesser 11 frei von dem elektrisch isolierenden Material 10, um ein Erfassen von Druck zu gestatten.

Der Sockel 5, der normalerweise aus Glas oder einem ähnlichen Material hergestellt ist, kann in einem relativ hohen Grad kontrahieren, wenn er Temperaturänderungen ausgesetzt ist, und ist daher fähig, in einem größeren Ausmaß zu kontrahieren als eine Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 bei den gleichen Temperaturänderungen. Weil das Distanzstück 12 aus einem Material mit einem linearen Ausdehnungskoeffizienten nahe demjenigen der Halbleiter- Druckerfassungseinheit 6 hergestellt ist, ist das Distanzstück 12 fähig, die resultierende Differenz der thermischen Spannung zwischen dem Sockel 5 und der Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 zu vermindern. Somit ist es möglich, durch Temperaturänderungen verursachte Einflüsse auf den Dehnungsmesser 11 zu reduzieren, und folglich einen Drucksensor mit hoher Zuverlässigkeit bereitzustellen.

Obwohl in Fig. 4 das durch das elektrisch isolierende Material 10 gebildete Formteil in eine Vielzahl (das heißt vier) Teilabschnitte eingeteilt ist, die einzeln eine Vielzahl (das heißt vier) entsprechende elektrische Leitungen 8 und entsprechende obere Abschnitte 9a der Zuleitungen 9 bedecken, ist es nicht nötig solch einzelne Teilabscbnitte zu formen. Darüber hinaus handelt es sich, obwohl in Fig. 4 sowohl das Distanzstück 12 als auch das durch das elektrisch isolierende Material 10 gebildete Formteil rechteckige äußere Umflächen besitzen, hier nur um ein Beispiel, und die genannten Bauteile können alternativ auch kreisförmige oder viereckige Umflächen besitzen.

Ausführungsform 3

Fig. 5 zeigt schematisch in einer vertikalen Schnittansicht einen Drucksensor entsprechend einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In Fig. 5 sind Bauteile, die gleich oder entsprechend denen der ersten Ausführungsform sind, mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet. Bezugnehmend auf Fig. 5 beinhaltet der Sensor gemäß dieser Ausführungsform ein elektrisch isolierendes Material 10, das ein Formteil bildet und die elektrischen Leitungen 8 selbst, die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen 8 und einer Halbleiter- Druckerfassungseinheit 6 und die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen 8 und Zuleitungen 9 bedeckt. Diese Ausführungsform unterscheidet sich von den anderen Ausführungsformen derart, daß das elektrisch isolierende Material 10 auch den Sockel 5 in solch einer Art und Weise bedeckt, daß der Sockel 5 in der Umhüllung des Formteils beinhaltet ist.

Mit dem in Fig. 5 gezeigten Sensor ist es möglich Unterbrechungen oder Trennungen der elektrischen Leitungen 8 und der Zuleitungen 9 sogar in einer Umgebung mit starken Erschütterungen zu verhindern, was es wiederum ermöglicht, Änderungen im elektrischen Signal des Dehnungsmessers 11 zu der zugehörigen externen Einheit zu liefern und somit die Bereitstellung eines hochzuverlässigen Drucksensors zu gestatten. Da das Volumen des Raumes innerhalb des Körpergehäuses 1 um einen Betrag entsprechend des Volumens des elektrisch leitenden Materials 10 reduziert werden kann, ist es möglich durch Temperaturänderungen verursachte Einflüsse wie etwa thermische Ausdehnung eines nicht kompressiblen Mediums 3 zu vermindern.

Ausführungsform 4

Fig. 6 zeigt schematisch in einer vertikalen Schnittansicht einen Drucksensor gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In Fig. 5 sind Bauteile, die gleich oder entsprechend denen der ersten Ausführungsform sind, mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet. Bezugnehmend auf Fig. 6 beinhaltet der Sensor gemäß dieser Ausführungsform eine durch ein Abdichtungselement 4 und einen Sockel 5 hindurchgehende Druck-Einleitungsöffnung 13. Der Sensor ist derart konstruiert, daß Druck auf diejenige Fläche einer Halbleitermembran 6a einer Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 wirkt, die nicht mit einem Dehnungsmesser 11 der Einheit 6 versehen ist. Ähnlich wie bei der ersten Ausführungsform bedeckt ein elektrisch isolierendes Material 10, das ein Formteil bildet, die elektrischen Leitungen 8 selbst, die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen 8 und der Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 und die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen 8 und Zuleitungen 9.

Somit ist die vorliegende Erfindung auf einen Drucksensor desjenigen Typs anwendbar, der dazu konstruiert ist, Druck auf der Oberfläche der Halbleitermembran 6a zu empfangen, die nicht mit dem Dehnungsmesser 11 versehen ist, und sogar in diesem Fall werden Wirkungen ähnlich den oben beschriebenen bewirkt. Im vorliegenden Fall kann das elektrisch isolierende Material 10 die elektrischen Leitungen 8 und nur diejenigen Abschnitte der Zuleitungen 9 und der Halbleiter-Druckerfassungseinheit 6 bedecken, welche sich in der Umgebung der elektrischen Leitungen 8 befinden.

Somit ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, einen Drucksensor bereitzustellen, der ein Erfassen von Druck sogar in einer Umgebung mit starker Erschütterung gestattet.

Wenn der Drucksensor ein Distanzstück beinhaltet, das um die Halbleiter-Druckerfassungseinheit herum ein elektrisch isolierendes Material hält, ist es möglich, einen Drucksensor bereitzustellen, der ein Erfassen von Druck sogar in einer Umgebung mit starker Erschütterung und eine Reduzierung von Einflüssen durch Temperaturänderungen erlaubt.

Bezugszeichenliste

1 Körpergehäuse
1a Öffnungsabschnitt
1b Innenfläche
2 Metallmembran
3 nicht kompressibles Medium
4 Abdichtungselement
4a Dichtungsabschnitt
5 Sockel
6 Halbleiter-Druckerfassungseinheit
6b Halbleitermembran
7 Dehnungsmesser
7a dehnungsempfindliche Bauteile
8 elektrische Leitungen
9 Zuleitungen
9a obere Abschnitte
10 elektrisch isolierendes Material
11 Dehnungsmesser
12 Distanzstück
13 Druckeinleitungs-Öffnung

Claims

1. Ein Drucksensor umfassend: ein Körpergehäuse 1 mit einem Öffnungsabschnitt (1a) und einer durchgehenden Öffnung; eine Metallmembran (2), die abdichtend auf dem äußeren Ende des Öffnungsabschnittes (1a) des Körpergehäuses (1) angeordnet ist, wobei die Metallmembran (2) deformierbar ist, wenn sie einem Druck von der Außenseite des Drucksensors unterworfen wird; ein hermetisch abgeschlossenes nicht kompressibles Medium (3), das mit der Innenfläche des Körpergehäuses (1) in Verbindung steht; ein Abdichtungselement (4), das mit der Metallmembran (2) zusammenwirkt, um das Innere des Körpergehäuses (1) hermetisch abzuschließen; einen Sockel (5), der auf dem Abdichtungselement (4) angeordnet ist; eine Halbleiter-Druckerfassungseinheit (6), die auf dem Sockel (5) angeordnet ist und eine Halbleitermembran (6a) zum Empfangen von Druck durch das nicht kompressible Medium (3) besitzt, wenn sich die Metallmembran (2) deformiert und zum Deformieren entsprechend des empfangenen Druckes, wobei die Halbleiter-Druckerfassungseinheit (6) auch über einen Dehnungsmesser (11) zur Ausgabe eines elektrischen Signals verfügt, das solch eine Deformation der Halbleitermembran (6a) anzeigt; elektrische Leitungen (8) zum Übertragen eines elektrischen Signals von der Halbleiter-Druckerfassungseinheit (6); Anschlüsse (9), die mit den elektrischen Leitungen (8) verbunden sind, um das elektrische Signal zur Außenseite des Körpergehäuses (1) des Sensors zu leiten; und ein elektrisch isolierendes Material (10), das die elektrischen Leitungen (8) selbst, die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen (8) und der Halbleiter-Druckerfassungseinheit (6) und die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen (8) und den Zuleitungen (9) bedeckt.

2. Ein Drucksensor gemäß Anspruch 1, der ferner ein Distanzstück (12) umfaßt, das zwischen dem elektrisch isolierenden Material (10) und dem Abdichtungselement (4) vorgesehen ist.

3. Ein Drucksensor gemäß Anspruch 1, worin das elektrisch isolierende Material (10) auf dem Abdichtungselement (4) vorgesehen ist und den Sockel (5) in solch einer Art und Weise bedeckt, daß der Sockel (5) in der Umhüllung des elektrisch isolierenden Materials (10) enthalten ist.

4. Ein Drucksensor umfassend: ein Körpergehäuse (1), das einen Öffnungsabschnitt (1a) mit einer durchgehenden Öffnung besitzt; eine Metallmembran (2), die abdichtend auf dem äußeren Ende des Öffnungsabschnittes (1a) des Körpergehäuses (1) anordnet und deformierbar ist, wenn sie einem Druck von der Außenseite des Drucksensors unterworfen wird; ein Abdichtungselement (4), das auf dem inneren Ende des Öffnungsabschnittes (1a) des Körpergehäuses (1) und gegenüberliegend der Metallmembran (2) angeordnet ist und eine durchgehende Öffnung besitzt; einen Sockel (5), der auf dem Abdichtungselement (4) angeordnet ist und eine durchgehende Öffnung (13) besitzt; eine Halbleiter- Druckerfassungseinheit (6), die eine Halbleiter-Membran (6a) auf der einen Seite und einen Dehnungsmesser (11) auf der anderen Seite besitzt, und die Halbleiter- Druckerfassungseinheit (6) auf dem Sockel (5) mit der Halbleitermembran (6a) gegenüberliegend zur Metallmembran (2) angeordnet ist; ein nicht kompressibles Medium (3), das mit den Innenflächen des Körpergehäuses (1) in in Verbindung stehend in einem durch das Körpergehäuse (1), das Abdichtungselement (4) und den Sockel (5) definierten Zwischenraum hermetisch abgeschlossen ist; elektrische Leitungen (8) zum Übertragen eines elektrischen Signals von der Halbleiter-Druckerfassungseinheit (6); und ein elektrisch isolierendes Material (10), das die elektrischen Leitungen (8) selbst, die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Leitungen (8) und der Halbleiter-Druckerfassungseinheit (6) und die Verbindungsstellen zwischen den elektrischen Zuleitungen (8) und den Anschlüssen (9) bedeckt.