DE4329155A1

DE4329155A1 - Magnetfeldkathode

Info

Publication number: DE4329155A1
Application number: DE4329155A
Authority: DE
Inventors: Hermann Curtins
Original assignee: Bloesch W AG
Current assignee: Bloesch W AG
Priority date: 1993-08-30
Filing date: 1993-08-30
Publication date: 1995-03-02
Also published as: EP0667034A1; WO1995006954A1; DK0667034T3; ES2167376T3; JPH08503104A; CN1115191A; CZ107795A3; US5861088A; CZ287483B6; ATE208958T1; CN1066851C; EP0667034B1; DE59409955D1

Description

Die Erfindung betrifft eine Magnetfeldkathode für Bogenent ladungsverdampfer mit einem flächig ausgebildeten Target und einer dem Target zugeordneten, zumindest eine Ringspule und einen Permanentmagneten aufweisenden Anordnung zur Erzeugung eines den Lichtbogen auf der Targetfläche haltenden Magnet feldes.

Von Magnetfeldkathoden für Bogenentladungsverdampfer, die in der Arc-Beschichtungstechnologie verwendet werden, wird vor allem eine gleichmäßige Target-Erosion, Bogenstabilität, Langzeitstabilität und eine Vermeidung des Auftretens von Target-Vergiftungen während des Betriebs gefordert.

Die in der Praxis besonders kritische Target-Vergiftung tritt in Form dickerer, sogar mit bloßem Auge sichtbarer Be läge an kleineren oder größeren Flächenbereichen des Targets in Erscheinung, wobei im Falle des Auftretens solcher vergif teter Flächenbereiche der sich auf dem Target bewegende Bo gen diese Bereiche vermeidet und als Folge davon die Target- Vergiftung durch Ausbildung solch dickerer Beläge, zum Bei spiel aus TiN oder TiCN, fortschreitet. Das Auftreten derar tiger Target-Vergiftungen ist nicht reproduzierbar und beein trächtigt die Konstanz der Abscheiderate, die Plasmastabili tät sowie die Schicht- und Hafteigenschaften in sehr negati ver Weise.

Es wurde bereits versucht, diese Nachteile von Magnetfeld kathoden für Bogenentladungsverdampfer dadurch zu verrin gern, daß mittels mechanisch bewegter Magnetfeldkonfigura tionen oder durch Verwendung zeitlich variabler Magnetfelder der Fußpunkt des Bogens über die Oberfläche des Targets be wegt wurde.

Eine mechanische Bewegung von Magnetfeldkonfigurationen er fordert jedoch einen erheblichen, in der Praxis nicht tragba ren Aufwand und läßt ebenso wie die Verwendung zeitlich vari abler Magnetfelder hinsichtlich der erzielbaren Ergebnisse zu wünschen übrig, da mittels dieser Verfahrensweisen keine Langzeitkonstanz, Gleichmäßigkeit des Erosionsbildes und kei ne ausreichende Stabilität des Bogens gewährleistet werden kann und vor allem Target-Vergiftungen bei hochreaktiven Prozessen, wie der Abscheidung von TiCN, nicht ausgeschlos sen werden können.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, die Nachteile bekannter Magnetfeldkathoden zu beseitigen und eine verbesserte Magnet feldkathode zu schaffen, die trotz eines konstruktiv einfa chen Aufbaus den jeweiligen Anforderungen der Praxis optimal anpaßbar ist und vor allem eine Konstanz der Abscheiderate, Plasma- und Bogenstabilität und die Vermeidung von Target- Vergiftungen gewährleistet.

Diese Aufgabe wird nach der Erfindung im wesentlichen da durch gelöst, daß eine dem Targetzentrum zugeordnete innen liegende Ringspule und zumindest eine dem Targetumfangsbe reich zugeordnete außenliegende Ringspule vorgesehen sind, und daß die innenliegende Ringspule einen im Targetzentrum angeordneten Permanentmagneten umschließt und zusammen mit diesem Permanentmagneten einen Feldlinienkonzentrator bil det.

Durch die Ausgestaltung und das Zusammenwirken der magnet felderzeugenden Komponenten und ihre Positionierung relativ zum Target gelingt es in Verbindung mit einer geeigneten Wahl der Stromstärken und Polaritäten, ein die jeweils ge wünschte Stärke besitzendes Magnetfeld zu erzeugen, das prak tisch über die gesamte Target-Oberfläche, das heißt von den Randbereichen bis zum Target-Zentrum, einen optimalen Paral lelverlauf der Feldlinien aufweist und damit sicherstellt, daß der Fußpunkt des sich ausbildenden Bogens nicht durch vertikale Magnetfeldkomponenten in bestimmten Target-Berei chen unter Ausbildung einer Erosionsspur festgehalten wird.

Es gelingt somit, eine Magnetfeldkathode zu schaffen, die den bestehenden Forderungen nach Wirtschaftlichkeit, Lang zeitprozeßstabilität, Bogenstabilität, Freiheit von Vergif tungserscheinungen und Gleichförmigkeit des Target-Abtrags Rechnung trägt.

Die Ringspulen, die in zur Targetebene zumindest im wesentli chen parallelen Ebenen gelegen sind, können unterhalb des Targets in einer gleichen Ebene angeordnet sein, aber es ist auch möglich, die Ringspulen in zueinander versetzten Paral lelebenen zu positionieren sowie die Ringspulen relativ zur Targetebene und/oder relativ zueinander verstellbar anzu ordnen, da auf diese Weise der Magnetfeldverlauf im Bereich der Targetoberfläche beeinflußbar ist und durch die entspre chende Spulenpositionierung die Ausbildung unerwünschter vertikaler Magnetfeldkomponenten verhindert und deren Vorhan densein im Zentrums- und Randbereich des Targets auf die Targetfläche bezogen minimiert werden kann.

Bevorzugt besteht der zusammen mit der innenliegenden Spule den mittig gelegenen Feldlinienkonzentrator bildende Perma nentmagnet aus einem Ferrit, aus Samarium-Kobalt, Neodym- Eisen-Bor, Eisen-Chrom-Kobalt oder Aluminium-Nickel-Kobalt, wodurch es möglich wird, die räumlichen Abmessungen des Per manentmagneten zu minimieren, so daß im Kathodenzentrum eine sehr kompakte Anordnung aus Permanentmagnet und innerer Ring spule erhalten wird, was wiederum sicherstellt, daß die Tar getfläche optimal genutzt werden kann.

In Falle der bevorzugten Verwendung von zwei Ringspulen, näm lich einer inneren Ringspule und einer äußeren Ringspule, sind diese Spulen vorzugsweise gleichartig aufgebaut und aus Kupferdraht gewickelt, aber dies stellt keine Notwendigkeit dar, da die zu erzeugenden Magnetfelder mit zur Target-Ober fläche parallel verlaufenden Feldlinien auch erhalten werden können, wenn beispielsweise die Windungszahlen und/oder Leiterquerschnitte unterschiedlich gewählt sind. Möglich ist es auch, die Ringspulen in Form einer einzigen Leiter windung auszuführen, wodurch eine besonders kleinvolumige Bauweise erhalten wird, da in diesem Falle die Luftzwischen räume zwischen den einzelnen Windungen einer gewickelten Spule entfallen.

Wesentlich ist, daß jede der beiden Ringspulen unterschied lich mit Strom beaufschlagbar ist, wozu vorzugsweise jeder Spule eine eigene Stromquelle zugeordnet ist und damit jede Spule so beaufschlagt werden kann, daß durch geeignete Wahl der Stromstärken und Polaritäten die jeweils gewünschte opti male Gesamtkonfiguration des Magnetfeldes erzeugt wird, und zwar unter Berücksichtigung der jeweiligen praktischen Gege benheiten, wie zum Beispiel der Target-Stärke.

Unter Berücksichtigung der eingestellten Magnetfelder ist jedoch stets darauf zu achten, daß der Arc-Strom so gewählt wird, daß zwecks Erzielung eines optimalen Erosionsbildes und zwecks Vermeidung von Target-Vergiftungen die sich auf der Targetfläche ergebenden Spuren des sich in einer vorgeb baren Umlaufrichtung bewegenden Bogens ständig zwischen sich verzweigenden Haupt- und Nebenästen wechseln, wobei im Ver lauf dieser Bogenfußpunktbewegung Nebenäste zu Hauptästen werden und umgekehrt.

In diesem Zusammenhang ist es im Rahmen der Erfindung auch von wesentlicher Bedeutung, daß die Bogenspannung bzw. die Magnetfeldstärke definiert vorgegeben wird, wobei vorzugs weise jedem Schichttyp eine charakteristische Magnetfeld stärke zuzuordnen ist.

Eine weitere Besonderheit der Erfindung besteht darin, daß eine Nachregulierung der von den Ringspulen erzeugten Magnet feldstärken in Abhängigkeit von der jeweiligen Target-Ero sion erfolgt, wobei eine Nachregulierung insbesondere dann vorgenommen wird, wenn sich ein bestimmter, auch in Abhängig keit vom Schichttyp vorgebbarer Bogenspannungsanstieg ein stellt.

An der Unterseite des Targets kann gemäß der Erfindung eine Ausnehmung zur Aufnahme des Permanentmagneten vorgesehen sein, was insbesondere im Falle der Verwendung dickerer Tar gets von Vorteil ist. Diese Ausnehmung an der Unterseite des Targets befindet sich im nicht erodierten Zentralbereich des Targets und führt daher zu keiner Beeinträchtigung der Targetausnutzung, vielmehr ergibt sich aufgrund der Annähe rung des Permanentmagneten an die Targetoberfläche gerade bei dickeren Targets ein positiver Target-Ausnutzeffekt.

Wenn gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung die außenliegende Ringspule nicht unterhalb, sondern seitlich außerhalb des Targets angeordnet wird, dann läßt sich auf diese Weise die Targetausnutzung weiter verbessern, da der Erosionsbereich bis unmittelbar zum jeweiligen Targetrand erstreckt werden kann.

Es ist auch möglich, die Magnetfeldkathode nach der Erfin dung nach der Art eines unbalancierten Magnetrons zu betrei ben, wobei in diesem Falle zumindest eine weitere, die Mag netfeldkathode und ihre zugehörigen Ringspulen umschließende Magnetspule vorgesehen wird, welche so betrieben wird, daß ein die Plasmaausbreitung in den Raum vor der Kathode för derndes Magnetfeld entsteht, wobei durch Abstimmung der durch die erfindungsgemäß vorgesehenen innen- und außenlie genden Ringmagnetspulen auch bei dieser Ausgestaltung sicher gestellt werden kann, daß im Bereich des Targets ein zu des sen Oberfläche paralleler Magnetfeldverlauf gewährleistet ist.

Weitere besonders vorteilhafte Ausgestaltungen und Merkmale der Erfindung sind in Unteransprüchen angegeben.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung erläutert; in der Zeichnung zeigt:

Fig. 1 eine schematische Darstellung des Aufbaus einer Magnetfeldkathode nach der Erfindung,

Fig. 2 ein typisches Erosionsbild eines Targets der Magnetfeldkathode nach Fig. 1,

Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Ausfüh rungsform der Magnetfeldkathode nach Figur l mit in das Target integriertem Permanentmag neten, und

Fig. 4 eine schematische Darstellung einer weiteren Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Magnetfeldkathode.

Fig. 1 zeigt ein Target 1, bei dem es sich beispielsweise um ein Ti-Target handeln kann, welches welches in der Drauf sicht die Form eines langgestreckten Rechtecks besitzt.

Diesem Target 1 zugeordnet ist eine magnetfelderzeugende An ordnung, bestehend aus einer innenliegenden Spule 2, einer außenliegenden Spule 3 und einem zentral angeordneten Perma nentmagneten 4.

Die beiden Spulen 2, 3 sind in ihrer Form der Target-Form angepaßt und erstrecken sich im wesentlichen über die gesam te Target-Länge, wobei zwischen den beiden sich in Target- Längsrichtung erstreckenden Schenkeln der Innenspule 2 ein Aufnahmebereich für den Permanentmagneten 4 vorgesehen ist.

Der Permanentmagnet 4 besitzt Stabform und ist möglichst schmal ausgeführt, so daß im Zentrumsbereich des Targets 1 die Innenspule 2 und der Permanentmagnet 4 möglichst dicht aneinanderliegend angeordnet werden können.

Bevorzugt werden für den Permanentmagneten solche Magnetma terialien verwendet, die geeignet sind, bei kleinem Volumen ein starkes Magnetfeld zu erzeugen, und dazu eignen sich vorzugsweise Magnete aus Ferrit, Samarium-Kobalt, Neodym- Eisen-Bor, Eisen-Chrom-Kobalt oder Aluminium-Nickel-Kobalt.

Die beiden Spulen 2, 3 und der Permanentmagnet 4 sind in einem Gehäuse 5 angeordnet, das vorzugsweise aus Kunststoff material besteht und flachwannenförmig ausgebildet ist. Der Innenraum 6 dieses Gehäuses 5 bildet gleichzeitig einen Kühl mittelraum, das heißt es kann durch das Gehäuse 5, dessen Deckenwand von dem Target 1 gebildet sein kann, Kühlmittel geleitet werden.

Das die beiden Spulen (2, 3) aufnehmende Kunststoffgehäu se (5) befindet sich innerhalb einer metallischen, zum Bei spiel aus Kupfer, Edelstahl und dergleichen bestehenden Wan ne (8), die deckseitig offen ausgebildet ist und als Target träger dient. Zwischen der metallischen Wanne (8) und dem Target (1) ist eine Vakuumdichtung (9) vorgesehen.

Fig. 2 zeigt ein typisches Erosionsbild, wie es bei Verwen dung einer Magnetfeldkathode nach Fig. 1 erhalten werden kann. Dieses Erosionsbild verdeutlicht, daß sich der Ero sionsbereich 10 zwischen dem Target-Zentralbereich und dem Target-Randbereich in ausgesprochen gleichmäßiger Weise er streckt, das heißt es liegt eine sehr gute Targetausnutzung vor.

Die Ausführungsform nach Fig. 3 unterscheidet sich von der Ausführungsform einer Magnetfeldkathode nach Fig. 1 da durch, daß an der Unterseite des Targets 1 in dessen Zentral bereich eine Ausnehmung 11 zur Aufnahme des Permanentmagne ten 4 vorgesehen ist. Diese Ausnehmung 11 kann so gestaltet sein, daß der Permanentmagnet 4 mit geringem Spiel oder form schlüssig in der Ausnehmung 11 gehaltert ist, wobei der Per manentmagnet 4 ganz oder teilweise in dieser Ausnehmung 11 aufgenommen sein kann.

Diese Ausführungsform eignet sich vor allem für dickere Tar gets 1, wobei zum einen der Parallelverlauf der Magnetfeld linien 7 bis in das Targetzentrum auch bei diesen dickeren Targets gefördert wird und zum anderen dazu gerade derjenige Targetbereich genutzt wird, der - wie Fig. 2 zeigt - praktisch nicht erodiert wird.

Die Ausführungsform nach Fig. 4 verdeutlicht, daß die außen liegende Ringspule 3′ auch außerhalb des Targets 1 angeord net sein kann, und daß die innenliegende Ringspule 2 ebenso wie die außenliegende Ringspule 3′ relativ zueinander und auch relativ zum Target 1 verstellt werden können, das heißt daß durch Vorgabe der Position der durch die Ringspulen 2 und 3′ bestimmten Ebenen relativ zueinander und zur Target ebene die erzeugten Magnetfelder so vorgegeben und beein flußt werden können, daß im Zusammenwirken mit dem Permanent magneten 4 praktisch über die gesamte Targetoberfläche ein Parallelverlauf der Magnetfeldlinien 7 erzielt werden kann, und zwar bei den unterschiedlichsten Arten von Targets und auch während des sich im Betrieb ergebenden Targetabbaus.

Die Verstellmöglichkeit der innenliegenden Spule 2 und der außenliegenden Spule 3′ ist in Fig. 4 durch Doppelpfeile gekennzeichnet.

Um zwischen der außenliegenden Ringspule 3′ und dem Target 1 einen möglichst guten Flußübergang zu gewährleisten, kann gegebenenfalls eine Ankopplung dieser außenliegenden Ring spule 3′ über eine Weicheisenlage erfolgen.

Der Fig. 4 ist auch deutlich zu entnehmen, daß mittels ei ner außerhalb des Targets 1 liegenden Ringspule 3′ eine vor teilhafte Ausdehnung des Erosionsbereichs des Targets 1 bis zu dessen Rand ermöglicht wird, was gegenüber dem in Fig. 2 gezeigten Erosionsbild eine weitere Verbesserung darstellt.

Selbstverständlich kann auch bei der Magnetfeldkathode nach Fig. 4 der Permanentmagnet 4 analog zur Ausführungsform nach Fig. 3 in einer Targetausnehmung ganz oder teilweise aufgenommen sein.

Durch geeignete Wahl der Stromstärken in den beiden Spu len 2, 3 gelingt es in Verbindung mit der speziellen Positio nierung des kompakt ausgeführten und speziell positionierten Permanentmagneten 4, ein zum jeweiligen Schichttyp passen des, die gewünschte Stärke besitzendes Magnetfeld mit nahezu zur gesamten Target-Oberfläche parallel verlaufenden Feldli nien zu erzeugen, und zwar sowohl bei dicken als auch bei dünnen Targets, das heißt auch bei fortgeschrittener Ero sion.

Durch die erzielte Magnetfeldkonfiguration ist in Verbindung mit der gewählten Bogenstromstärke sichergestellt, daß der Fußpunkt des Bogens stets in Bewegung ist und sich nicht an irgendwelchen Bereichen des Targets einfrißt und zu stören den Erosionsspuren sowie zur unerwünschten Bildung größerer Tropfen führt, die herausgeschleudert werden könnten und die Schichtqualität wesentlich verschlechtern würden.

Durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung des Targets ist es nicht nur möglich, eine überraschend gute und sich im wesent lichen über die gesamte Target-Fläche erstreckende Magnet feldparallelität zu gewährleisten, sondern es ist auch mög lich, die Stärke des Magnetfeldes flexibel, und zwar über die gesamte Lebensdauer des Targets flexibel einzustellen.

Die sich aus Aufbau und Funktion der Magnetfeldkathode nach der Erfindung ergebenden Vorteile bestehen vor allem darin,
daß eine optimale und gleichförmige Erosion und damit eine bestmögliche Ausnützung des jeweiligen Targets gewährleistet werden kann,
daß in Abhängigkeit von der jeweiligen Art der Hartstoff schicht, zum Beispiel TiN, TiCN oder CrN und dergleichen, eine flexible Einstellung der jeweiligen Magnetfeldstärke erfolgen kann,
daß aufgrund des geschaffenen konstanten Parallel-Magnet felds Vergiftungen des Targets ausgeschlossen werden können und damit eine Konstanz der Qualität über die gesamte Lebens dauer des Targets und als Folge davon auch eine Langzeit prozeßstabilität erreichbar ist,
daß durch die Ausschaltung von Target-Vergiftungen insbeson dere auch die Möglichkeit der sequenziellen Abscheidung von Titan-basierten Materialien geschaffen wird, und
daß aufgrund des einfachen Aufbaus praktisch keine Wartungs kosten entstehen und damit eine hohe Wirtschaftlichkeit gege ben ist, die auch dadurch zum Ausdruck kommt, daß mittels eines einzigen Targets eine sehr hohe Anzahl von Chargen beschichtet werden kann, zum Beispiel bei einem Target mit einer Stärke von etwa 25 mm bis zu fünfhundert Chargen.

Bezugszeichenliste

1 Target
2 Innenspule
3, 3′ Außenspule
4 Permanentmagnet
5 Gehäuse
6 Kühlmittelraum
7 Parallel-Feldlinien
8 metallische Wanne
9 Vakuumdichtung
10 Targeterosion
11 Ausnehmung

Claims

1. Magnetfeldkathode für Bogenentladungsverdampfer mit ei nem flächig ausgebildeten Target und einer dem Target zugeordneten, zumindest eine Ringspule und einen Perma nentmagneten aufweisenden Anordnung zur Erzeugung eines den Lichtbogen auf der Target-Fläche haltenden Magnet feldes, dadurch gekennzeichnet,
daß eine dem Targetzentrum zugeordnete innenliegende Ringspule (2) und zumindest eine dem Targetumfangsbe reich zugeordnete außenliegende Ringspule (3) vorgese hen sind,
und daß die innenliegende Ringspule (2) einen im Target zentrum angeordneten Permanentmagneten (4) umschließt und zusammen mit diesem Permanentmagneten (4) einen Feldlinienkonzentrator bildet.

2. Magnetfeldkathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ringspulen (2, 3) in zur Targetebene zumindest im wesentlichen parallelen Ebenen gelegen sind.

3. Magnetfeldkathode nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ringspulen (2, 3) zumindest im wesentlichen in einer unterhalb des Targets (1) gelegenen und zumindest im wesentlichen parallel zum Target verlaufenden Ebene angeordnet sind.

4. Magnetfeldkathode nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine der Ringspulen (2, 3) relativ zur Targetebene verstellbar angeordnet ist.

5. Magnetfeldkathode nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die in zumindest im wesentlichen parallel zum Target (1) verlaufenden Ebenen angeordneten Ringspu len (2, 3) senkrecht zur Targetebene relativ zueinander verstellbar sind.

6. Magnetfeldkathode nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die innenliegende Ringspule (2) den Permanentmagne ten (4) allseitig mit geringem Abstand umschließt.

7. Magnetfeldkathode nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die außenliegende Ringspule (3) unterhalb des Rand bereichs des Targets (1) angeordnet ist.

8. Magnetfeldkathode nach einem oder mehreren der vorher gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die außenliegende Ringspule (3) außerhalb des Tar gets (1) angeordnet ist.

9. Magnetfeldkathode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Permanentmagnet (4) angrenzend an die Target- Unterseite angeordnet und bezüglich seiner Abmessung in Target-Querrichtung minimiert ist.

10. Magnetfeldkathode nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Permanentmagnet (4) in einer in der Targetunter seite vorgesehenen Ausnehmung (11) angeordnet ist.

11. Magnetfeldkathode nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Permanentmagnet (4) aus einem Ferrit, aus Samarium-Kobalt (SmCo), Neodym-Eisen-Bor (NdFeB), Eisen-Chrom-Kobalt (FeCrCo) oder Aluminium-Nickel- Kobalt (AlNiCo) besteht.

12. Magnetfeldkathode nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die senkrecht zur Target-Ebene gelegene Quer schnittsfläche des Permanentmagneten (4) kleiner ist als die entsprechende stromleitende Querschnittsfläche der ihn umschließenden inneren Ringspule (2).

13. Magnetfeldkathode nach einem oder mehreren der vorher gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Target (1) in Form eines langgestreckten Recht ecks ausgebildet ist, die Ringspulen (2, 3) im wesentli chen entsprechend der Umfangskontur des Targets (1) ver laufen und der Permanentmagnet (4) Stabform besitzt.

14. Magnetfeldkathode nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Querabmessung des stabförmigen Permanentmagne ten (4) im wesentlichen dem gegenseitigen Abstand der Längsabschnitte der innenliegenden Ringspule (2) ent spricht.

15. Magnetfeldkathode nach einem oder mehreren der vorher gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Ringspulen (2, 3) zumindest im wesentli chen gleich aufgebaut sind und im wesentlichen gleiche elektrische Eigenschaften besitzen.

16. Magnetfeldkathode nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Spule (2, 3) eine eigene Stromquelle zugeord net ist und die Magnetfeldstärken der Spulen unabhängig voneinander einstellbar sind.

17. Magnetfeldkathode nach einem oder mehreren der vorher gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Ringspulen (2, 3) sowie der Permanentmagnet (4) in einem gemeinsamen Trägergehäuse (5) angeordnet sind, an dessen Deckwand das Target (1) angrenzt oder dessen Deckwand unmittelbar vom Target (1) gebildet ist.

18. Magnetfeldkathode nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägergehäuse (5) flachwannenförmig und zur Durchleitung von Kühlmittel ausgebildet ist.

19. Magnetfeldkathode nach Anspruch 17 oder 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägergehäuse (5) aus Kunststoffmaterial be steht und in einer deckseitig offenen metallischen Wan ne (8) angeordnet ist, die abdichtend im Außenrandbe reich der Targetunterseite anliegt.

20. Magnetfeldkathode nach einem oder mehreren der vorher gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung zur Nachregulierung der von den Ringspulen (2, 3) erzeugten Magnetfeldstärken in Abhän gigkeit von der Target-Erosion vorgesehen ist.

21. Magnetfeldkathode nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Zeitpunkt einer Nachregulierung in Abhängigkeit vom überschreiten eines vorgebbaren Bogenspannungsan stiegs, insbesondere eines Bogenspannungsanstiegs im Bereich von mehr als 0,3 V bis 0,5 V, gewählt ist.

22. Magnetfeldkathode nach einem oder mehreren der vorher gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei vorgegebener Magnetfeldstärke der Arc-Strom derart gewählt ist, daß die sich auf der Targetfläche ergebenden Spuren des sich in einer Umlaufrichtung be wegenden Bogenfußpunktes ständig zwischen sich verzwei genden Haupt- und Nebenspuren wechseln und dabei Neben spuren zu Hauptspuren werden und umgekehrt.