DE4327816A1 - Superhochvakuumgefäß und dessen Abdichtungsstruktur - Google Patents
Superhochvakuumgefäß und dessen AbdichtungsstrukturInfo
- Publication number
- DE4327816A1 DE4327816A1 DE4327816A DE4327816A DE4327816A1 DE 4327816 A1 DE4327816 A1 DE 4327816A1 DE 4327816 A DE4327816 A DE 4327816A DE 4327816 A DE4327816 A DE 4327816A DE 4327816 A1 DE4327816 A1 DE 4327816A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- high vacuum
- super high
- weight
- component
- vacuum container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims description 32
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims description 31
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 29
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 title claims description 27
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 title claims description 16
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 title claims description 15
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title description 17
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 title 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 title 1
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 title 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 15
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 51
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 51
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 33
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 33
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 33
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 17
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 17
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 15
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 14
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 12
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 8
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 6
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 150000003057 platinum Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 60
- 239000000463 material Substances 0.000 description 24
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 17
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 16
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 14
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 12
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 6
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 6
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 5
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 5
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 5
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 5
- 229910000963 austenitic stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002910 rare earth metals Chemical group 0.000 description 4
- 238000005482 strain hardening Methods 0.000 description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000005098 hot rolling Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 3
- 230000009469 supplementation Effects 0.000 description 3
- 108010083687 Ion Pumps Proteins 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 239000012611 container material Substances 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010169 TiCr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010340 TiFe Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010389 TiMn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce][Ce] ZMIGMASIKSOYAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N dysprosium atom Chemical compound [Dy] KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- KJZYNXUDTRRSPN-UHFFFAOYSA-N holmium atom Chemical compound [Ho] KJZYNXUDTRRSPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000005502 peroxidation Methods 0.000 description 1
- -1 platinum series metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N samarium atom Chemical compound [Sm] KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000003856 thermoforming Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004078 waterproofing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C14/00—Alloys based on titanium
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/002—Component parts of these vessels not mentioned in B01J3/004, B01J3/006, B01J3/02 - B01J3/08; Measures taken in conjunction with the process to be carried out, e.g. safety measures
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Superhochvakuumgefäß,
das geeignet ist, um in diesem einen Superhochvakuumdruck zu
erzielen und dessen Abdichtungsstruktur, z. B., bei einen Va
kuumdruck, welcher 10-10 Torr oder 10-11 Torr überschreitet,
unter Verwendung eines relativ einfachen Evakuierungssy
stems.
Die ersten Veröffentlichungen der japanischen Patentanmel
dungen Hesei 1-316439, Heisei 3-31451, Showa 60-36648, Showa
59-153514, Showa 59-183926, Showa 60-128258, Showa 63-12858,
und Showa 63-103073 und der japanische Vakuumbericht (Band
341 (1991) S. 56) beschreiben eine Ausgangsmaterialzusammen
setzung für ein Superhochvakuumgefäß um ein hohes Vakuum
oder einen Superhochvakuumdruck zu erzielen.
Wird ein rostfreier Stahl als ein Bauteil bzw. Bestandteil,
welches das Vakuumgefäß bildet, verwendet, ist es schwierig,
nur durch ein Evakuieren unter Verwendung einer Turbopumpe,
welche eine relativ einfache Konstruktion aufweist, einen
Vakuumdruck von mehr als 10-11 Torr zu erzielen. Es ist er
forderlich, daß ein im wesentlichen sehr komplexes Evakuie
rungssystem, z. B. eine Titansupplementationspumpe oder eine
Kryopumpe verwendet werden sollte, um so den hohen Vakuum
druck von mehr als 10-11 Torr zu erzielen.
Des weiteren besitzt das aus einem supergereinigten Stahl
oder rostfreien Stahl hergestellte Vakuumgefäß ein sehr ho
hes Gewicht.
Wird eine Aluminiumlegierung verwendet, ist es sehr schwie
rig, den Superhochvakuumdruck von mehr als 10-11 Torr zu er
zielen, da die Gasentladungsmenge bzw. die Gasaustrittsmenge
aus dem Vakuumgefäß hoch ist, obwohl dessen Gesamtgewicht
niedrig wird.
In dem Fall, daß rostfreier Stahl als das Ausgangsmaterial
für das Vakuumgefäß verwendet wird, tritt das Gas aus dem
rostfreien Stahl aus, so daß ein elektrolytisches Polieren
an der Innenfläche des Vakuumgefäßes oder ein supergereinig
ter Stahl, dessen Verunreinigungen in dem Stahl extrem redu
ziert sind, notwendig ist, um einen solchen Superhochvakuum
druck von mehr als 10-11 Torr, wie oben beschrieben, zu er
zielen.
Zusätzlich sind sehr komplexe Evakuierungssysteme wie eine
Ionenpumpe, eine Titansupplementationspumpe, oder eine Kryo
pumpe notwendig.
In jüngster Zeit wurde ein Experiment mit dem Superhochvaku
umbehälter im Weltraum erwogen. In diesem Fall wird das Ge
wicht des Vakuumbehältermaterials kritisch. Das Gewicht des
rostfreien Stahles oder des supergereinigten Stahles ist
sehr hoch.
Es ist nicht einfach, den Superhochvakuumdruck von mehr als
10-11 Torr zu erzielen, da die Aluminiumlegierung zu einer
hohen Gasentladungsmenge führt, obwohl die Aluminiumlegie
rung als ein leichtes Vakuumbehältermaterial verwendet wer
den kann.
Es ist daher eine wesentliche Aufgabe der vorliegenden Er
findung, einen leichten Superhochvakuumbehälter und dessen
Abdichtungsstruktur zur Verfügung zu stellen, welche einen
Superhochvakuumdruck von mehr als 10-10 Torr oder 10-11 Torr
erzielen, unter Verwendung von Evakuierungssystemen mit ei
ner relativ einfachen Struktur wie einer Turbopumpe, ohne
Einsatz einer Ionenpumpe, einer Titansupplementationspumpe
und einer Kryopumpe und ohne daß ein Gasaustritt an der Ab
dichtungsstruktur des Superhochvakuumbehälters auftritt und
welche im Weltraum verwendet werden können.
Die oben beschriebene Aufgabe kann dadurch gelöst werden,
daß ein Superhochvakuumbehälter zur Verfügung gestellt wird,
mit einem Bauteil, welche für einen Superhochvakuumdruck ge
eignet ist, wobei das Bauteil umfaßt:
- a) 0,02 Gew.-% bis 1,00 Gew.-% eines Metalls, ausgewählt aus einer Platingruppe der Metallgruppe, bestehend aus: Pd, Pt, Rh, Ru, Re, und Os;
- b) 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-% eines Metalls, ausgewählt aus einem Übergangsmetall, ausgewählt aus einer Gruppe, be stehend aus: Co, Fe, Cr, Ni, Mn, und Cu;
- c) 0,02 Gew.-% bis 0,50 Gew. -% eines Elements, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, und Y;
- d) ein Beimengungselement, bestehend aus: C, N, und O, wo bei C 0,05 Gew.-% oder weniger beträgt, N 0,05 Gew.-% oder weniger beträgt, und O 0,08 Gew.-% oder weniger be trägt; und
- e) Ti und unvermeidbare Verunreinigungen.
Die oben beschriebene Aufgabe kann auch durch das Bereit
stellen eines Superhochvakuumbehälters gelöst werden, mit
einem Bauteil, welches für einen Superhochvakuumdruck geeig
net ist, dieser Vakuumbehälter weist ein Bauteil auf, wobei
das Bauteil umfaßt
- a) wenigstens ein Metall der Platingruppe mit 0,02 Gew.-% bis 1,00 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Pd, Pt, Rh, Ru, Re, und Os;
- b) wenigstens ein Übergangsmetall mit 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Co, Fe, Cr, Ni, Mn, und Cu;
- c) wenigstens ein Metall der Gruppe der seltenen Erden mit 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, und Y;
- d) Al mit einem Gehalt von 0,2 Gew.-% bis 9,5 Gew.-%;
- e) Beimengungselemente, bestehend aus: C, N, und O, wobei C 0,05 Gew.-% oder weniger beträgt, N 0,05 Gew.-% oder weniger beträgt, und O 0,08 Gew.-% oder weniger beträgt; und
- f) Ti und unvermeidbare Verunreinigungen.
Die oben beschriebene Aufgabe kann des weiteren durch das
Bereitstellen eines Superhochvakuumbehälters gelöst werden,
mit einem Bauteil, welches für einen Superhochvakuumdruck
geeignet ist, wobei dieses Bauteil umfaßt:
- a) eine Titanlegierung;
- b) wenigstens ein Metall der Platingruppe mit einem Gehalt zwischen 0,02 Gew.-% und 1,00 Gew.-%, ausgewählt aus ei ner Gruppe, bestehend aus: Pd, Pr, Rh, Re, und Os;
- c) wenigstens ein Metall der Übergangsreihe mit einem Ge halt von 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, und Y; und
- d) Beimengungselemente aus C, N, und O, wobei C 0,05 Gew.-% oder weniger beträgt, N 0,05 Gew.-% oder weniger beträgt und O 0,08 Gew.-% oder weniger beträgt.
Die oben beschriebene Aufgabe kann auch durch das Bereit
stellen eines Superhochvakuumbehälters gelöst werden, mit
einem Bauteil, welches für einen Superhochvakuumdruck geeig
net ist, wobei das Bauteil eine Abdichtungsstruktur bildet,
umfassend:
- a) eine Titanlegierung;
- b) wenigstens ein Metall der Platingruppe mit einem Gehalt von 0,02 Gew.-% bis 1,00 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Pd, Pt, Rh, Ru, Re, und Os;
- c) wenigstens ein Übergangsmetall mit einem Gehalt von 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, be stehend aus: Co, Fe, Cr, Ni, Mn, und Cu;
- d) wenigstens ein Element der Gruppe der seltenen Erden mit einem Anteil zwischen 0,02 Gew.-% und 0,50 Gew.-%, aus gewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, und Y; und
- e) Beimengungselemente aus C, N, und O, wobei C auf 0,05 Gew.-% oder weniger begrenzt ist, N auf 0,05 Gew.-% oder weniger begrenzt ist, und O auf 0,08 Gew.-% oder weniger begrenzt ist.
Es zeigt:
Fig. 1 eine Draufsicht auf ein Beispiel einer Struktur ei
nes Superhochvakuumbehälters gemäß der vorliegenden
Erfindung,
Fig. 2 eine Ansicht eines Beispieles einer Struktur des in
Fig. 1 dargestellten Superhochvakuumbehälters,
Fig. 3 Draufsicht auf eine flanschförmige Wellenkupplung
(Kurbelwellenkupplung) des Superhochvakuumbehälters,
Fig. 4 ein Querschnitt der flanschförmigen Wellenkupplung
des Superhochvakuumbehälters,
Fig. 5 ein vergrößerter Querschnitt eines Messerschneiden
bereichs in einer Position, gekennzeichnet durch B
in Fig. 4,
Fig. 6(A) bis 6(C) Draufsicht, länglicher Querschnitt und ein vergrö
ßerter Querschnitt einer flanschförmigen Wellenkupp
lung in einer Abdichtungsstruktur des Vakuumbehäl
ters gemäß der vorliegenden Erfindung,
Fig. 7(A) bis 7(C) Draufsicht, länglicher Querschnitt, und vergrößerter
Querschnitt einer flanschförmigen Wellenkupplung in
der Abdichtungsstruktur des Superhochvakuumbehäl
ters,
Fig. 8(A) bis 8(C) Draufsicht, länglicher Querschnitt, und vergrößerter
Querschnitt der flanschförmigen Wellenkupplung in
der Abdichtungsstruktur des Superhochvakuumbehälters
gemäß der vorliegenden Erfindung,
Fig. 9(A) bis 9(C) Draufsicht, länglicher Querschnitt, und vergrößerter
Querschnitt der flanschförmigen Wellenkupplung in
der Abdichtungsstruktur des Superhochvakuumbehälters
gemäß der vorliegenden Erfindung,
Fig. 10(A) bis 10(C) Draufsicht, länglicher Querschnitt, und vergrößerter
Querschnitt einer anderen flanschförmigen Verbindung
in einer anderen Abdichtungsstruktur eines herkömm
lichen Beispieles, gekennzeichnet durch Nr. 35 in
Tabelle 8 und dargestellt in den Tabellen 9 und 10,
Fig. 11(A) bis 11(C) Querschnitte der herkömmlichen Beispiele des Vakuum
behälters zum Vergleich einer Gasentladungssituation
des herkömmlichen Beispieles, und
Fig. 12(A) bis 12(C) Querschnitte der Abdichtungsstruktur in dem Fall der
bevorzugten Ausführungsform gemäß der vorliegenden
Erfindung zum Vergleich der kein Gas austretenden
Situation mit der des herkömmlichen Beispieles, dar
gestellt in den Fig. 11(A) bis 11(C).
Im folgenden wird auf die Zeichnungen Bezug genommen, um ein
besseres Verständnis der vorliegenden Erfindung zu ermögli
chen.
Es wurde diskutiert, wie verhindert werden kann, daß ein
Gasbestandteil der festen Lösung in einem Ausgangsmaterial
an einer Vakuumseitenwand diffundiert und aus einer Oberflä
che unter einem Superhochvakuumdruck austritt, unter einer
Voraussetzung, daß ein leichtes und für Superhochdruckanwen
dungen geeignetes Bauteil als Ausgangsmaterial für den Su
perhochvakuumbehälter verwendet wird. Demgemäß entdeckte
man, daß solch eine oben beschriebene Gasentladung, durch
ein für den Superhochvakuumdruck geeignetes Bauteil unter
dem Superhochvakuumdruck reduziert werden kann, durch die
Zugabe einer bestimmten Menge eines oder mehrerer Metalle
der Platingruppe, d. h., Pd, Pt, Rh, Ru, Re, und Os, eines
oder mehrerer Übergangsmetalle, d. h., Co, Fe, Cr, Ni, Mn, und
Cu, und eines oder mehrerer Metalle der Gruppe der seltenen
Erden, d. h., La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, und Y
zu einer Titanlegierung, in welcher C (Kohlenstoff), N
(Stickstoff), und O (Sauerstoff) extrem reduziert wurden.
Zusätzlich entdeckte man, daß durch die Verringerung des Ge
haltes solcher hinzugefügter Materialien auf den in den An
sprüchen beschriebenen vorbestimmten Bereich eine hohe Bear
beitbarkeit erzielt werden kann.
Des weiteren entdeckte man, daß Aluminium Al, welches mit
einem Anteil von 1,5 Gew.-% oder weniger zu der Legierungs
reihe hinzugefügt wurde, wie oben beschrieben, eine hohe
Versteifung erzielt, ohne einen Verlust der Eigenschaft.
Wenn eine Kaltbearbeitung nicht notwendig bevorzugt ist,
verbessert eine Zugabe von bis zu 9,5 Gew.-% (Gew.-% ist
eine Abkürzung für Gewichtsprozent) an AI eine hohe Verstei
fung.
Des weiteren entdeckte man, daß in einem Fall, daß α-Typ,
α- + β-Typ, oder β-Typ Titanatlegierungen als eine Basis
dienen, einer Warmbearbeitbarkeit eine negative Wirkung ver
liehen wird, unter Verwendung solch eines oben beschriebenen
Materials mit Zugabemittelreihen.
Anschließend wurde bestätigt, daß, wenn solch ein Bauteil
als ein Ausgangsmaterial des Superhochvakuumbehälters, wel
cher für Superhochvakuumdruckanwendungen geeignet ist, als
das Ausgangsmaterial des Superhochvakuumbehälters verwendet
wird, der Superhochvakuumdruck von mehr als 10-10 Torr oder
10-11 Torr leicht erzielt werden kann.
Zunächst wird ein Grund der Begrenzung der zusätzlichen Ele
mente in dem Bauteil, welches als Ausgangsmaterial des Su
perhochvakuumbehälters geeignet ist, im folgenden beschrie
ben:
Diese metallischen Elemente der Platingruppe spielen
wichtige Rollen und dienen als Mittel, um den Wasser
stoff in einer molekularen Form einzuschließen, welche
im inneren des Vakuumbehälters an einer Oberfläche des
Materials verbleibt und Ausfällen desselben in ein Was
serstoff in einer atomaren Form. Es ist notwendig, we
nigstens ein Element von denen in (1) beschriebenen mit
einem Gesamtanteil von 0,02 Gew.-% oder mehr hinzuzufü
gen. In dem Fall, daß das zugegebene Metall einen An
teil von mehr als 0,02 Gew.-% aufweist, wird die Bear
beitbarkeit jedoch reduziert, so daß es schwierig wird,
die Kaltverformung zu einem Superhochvakuumbehälter
oder in das Bauteil durchzuführen.
Zusätzlich wird in einem Fall, daß die Titanlegierung
ein Basismaterial bereitstellt, die Heißbearbeitbarkeit
reduziert und die Bearbeitung des Materials selbst wird
schwierig, wenn diese Elemente einen Anteil von mehr
als 1,00 Gew.-% aufweisen.
Daher wurde wenigstens eins der oben beschriebenen Ele
mente mit einem Anteil von 0,02 Gew.-% bis 1,00 Gew.-%
hinzugefügt.
Diese Übergangsmetallelemente sind notwendig, um eine
intermetallische Verbindung wie Ti2Co, TiFe, TiCr2,
Ti2Ni, TiMn, oder Ti2Cu herzustellen.
Es ist notwendig, wenigstens ein Element dieser unter
(2) beschriebenen Elemente mit einem Gesamtanteil von
0,1 Gew.-% oder mehr hinzuzufügen, um die intermetalli
sche Verbindung zu erzeugen.
In einem Fall, indem das Element mit mehr als 3,0
Gew.-% hinzugefügt wurde, wurden jedoch die Duktilität
und Bearbeitbarkeit des Materials durch die gebildete
intermetallische Verbindung reduziert.
Zusätzlich wird in einem Fall, indem die Titan(Ti)-
Legierung eine Basis bereitstellt und die Ausgewählte
dieser Legierungen einen Anteil von mehr als 3,0 Gew.-%
aufweist, die Heißbearbeitbarkeit durch die erzeugte
intermetallische Verbindung reduziert. Daher wurde
wenigstens ein Element mit einem Anteil von 0,1 Gew.-%
bis 3,0 Gew.-% hinzugefügt.
Diese Elemente der Gruppe der seltenen Erden dienen zur
Unterdrückung einer Diffusion des Sauerstoffmischkri
stalles aus dem Inneren eines festen Körpers zu der
Oberfläche durch das Binden des Sauerstoffmischkristal
les in dem Material als eine Oxidation durch eine inne
re Oxidation.
Solche Wirkungen können dadurch hergeleitet werden, daß
nur La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, oder Y ver
einzelt oder in der Form eines Mesh-Metalls einer kom
plexen Verbindung hinzugefügt werden. Wird ein Gesamt
anteil an 0,02 Gew.-% oder mehr hinzugefügt, kann eine
wirksame Erzielung sichergestellt werden. Werden jedoch
ein oder mehrere Elemente mit einem Gesamtanteil von
mehr als 0,50 Gew.-% hinzugefügt, bewirkt eine ge
trennte Oxidation (Ausfällung), daß eine Duktilität und
Heißbearbeitbarkeit reduziert werden.
Daher wurde wenigstens eines der in (3) beschriebenen
Elemente mit einem Anteil von 0,02 Gew.-% bis 0,50
Gew. -% hinzugefügt.
Ist C (Kohlenstoff) fest in dem Material gelöst, ist es
notwendig, C so weit wie möglich zu reduzieren, um zu
verhindern, daß C Sauerstoff in einem übrigbleibenden
Gas, das über der Oberfläche diffundiert ist bzw. fein
verteilt, bindet, um CO-Gas zu erzeugen. In dem Fall,
daß der Anteil unter 0,05 Gew.-% liegt, beeinflußt die
CO-Gasentladungsmenge, aufgrund der Diffusion von dem
Inneren des festen Körpers, unter dem Vakuumdruck zwi
schen 10-11 und 10-12 Torr kaum.
Daher wurde der Anteil an C auf 0,05 Gew.-% oder weni
ger begrenzt.
Ist N (Stickstoff) fest in dem Material gelöst, ist es
in der Oberfläche diffundiert und wird zu N2-Gas und
kann ausströmen.
Unter dem Vakuumdruck zwischen 10-11 und 10-12 Torr,
konnte eine wesentliche Verringerung des Vakuumdrucks
durch das N2-Gas jedoch nicht bemerkt werden, wenn der
Anteil an N 0,05 Gew.-% oder weniger betrug.
Daher wurde der Anteil an N auf 0,05 Gew.-% oder weni
ger begrenzt.
Da O (Sauerstoff) eine hohe feste Löslichkeit in dem
Fall der Titanlegierung aufweist, ist O eine Beimen
gung, die eine wesentliche Handhabung erfordert, im
Hinblick auf die Gasentladung in der Vakuumatmosphäre.
Der O (Sauerstoff) Mischkristall in dem Material wird
in der Form von O2 von der Oberfläche abgegeben, so daß
eine Reduktion des Vakuumdrucks bewirkt wird.
Daher wird O (Sauerstoff) durch die Zugabe eines oder
mehrerer Elemente von La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy,
Tb, Ho, Er, und Y, wie oben beschrieben, gebunden.
Überschreitet der Anteil an O 0,08 Gew.-% in dem Fall,
daß die Titanlegierung das Basismaterial bereitstellt,
wird die Warmbearbeitbarkeit jedoch aus den gleichen
Gründen reduziert.
Daher wurde der Anteil an O auf 0,08 Gew.-% oder weni
ger begrenzt.
Es ist wirkungsvoll, durch Al die Festigkeit des Mate
rials zu erhöhen, ohne daß durch eine kleine Zugabe von
Al eine Gasentladungseigenschaft und eine Kaltbearbeit
barkeit wesentlich geändert wird.
Dessen Wirkung wird insbesondere groß, wenn Al mit mehr
als 0,2 Gew.-% hinzugefügt wird. Wird jedoch mehr als
1,5 Gew.-% Al hinzugefügt, wird ein Kaltformverände
rungsvermögen reduziert, so daß es schwierig wird, den
Vakuumbehälter oder dessen Bauteil zu bearbeiten. Es
ist erwünscht, daß Al mit einem Anteil von 0,2 Gew.-%
bis 1,5 Gew.-% hinzugefügt wird, wenn die Kaltbearbeit
barkeit berücksichtigt wird.
Obwohl es möglich ist, die Festigkeit mit einer Zugabe
von Al von mehr als 1,5 Gew.-% zu verbessern, wird die
Warmbearbeitbarkeit bei mehr als 9,5 Gew.-% reduziert.
Daher ist es notwendig Al mit einem Anteil von 1,5
Gew.-% bis 9,5 Gew.-% hinzuzufügen.
Ti besitzt überragende Eigenschaften und ist leicht
(geringe relative Schwerkraft). Ti wird als das Materi
al des übrigen Teils des Superhochvakuumbehälters ver
wendet.
Des weiteren ist in einem Fall, indem eine Titanlegie
rung das Basismaterial bereitstellt, eine besondere
Grenze für die zu dieser hinzuzufügenden Titanlegierung
vorgesehen. Die Basis kann α-Legierung, nahe α-Legie
rung, α- + β-Legierung oder β-Legierung umfassen.
Wenn eine dieser Legierungen als das Basismaterial und
die oben beschriebenen Elemente der Zusatzelementenrei
hen verwendet werden, weist das Bauteil, welches für
die Superhochvakuumdruckanwendung geeignet ist, mit der
Titanlegierung eine überlegene Gasentladungseigenschaft
ohne Reduktion der Warmbearbeitbarkeit auf.
Die Titanlegierung umfaßt α- und nahe α-Legierung;
Ti - 0,3 Mo - 0,8 Ni, Ti - 5Al - 2,5 Sn, Ti - 5Al - 2,5 Sn -
ELI, Ti - 8 Al - 1 Mo - 1 V, Ti - 6 Al - 2 Sn - 4
Zr - 2 Mo, Ti - 6 Al - 2 Nb - 1 Ta - 0,8 Mo, Ti - 2,25 Al -
11 Sn - 5 Zr - 1 Mo, Ti - 5 Al - 5 Sn - 2 Zr - 2 Mo;
umfaßt (α- + β-Legierung; Ti - 6 Al - 4 V, Ti - 6 Al - 4
V - ELI, Ti - 6 Al - 6 Al - 2 Sn, Ti - 8 Mn, Ti - 7 Al
- 4 Mo, Ti - 6 Al - 2 Sn - 4 Zr - 6 Mo, Ti - 5 Al - 2
Sn - 2 Zr - 4 Mo - 4 Cr, Ti - 6 Al - 2 Sn - 2 Zr - 2 Mo
- 2 Cr, Ti - 10 V - 2 Fe - 3 Al, Ti - 3 Al - 2,5 Vr - 2
Mo - 2 Cr, Ti - 10 V - 2 Fe - 3 Al, Ti - 3 Al - 2,5 V;
umfaßt β-Legierung; Ti - 13 V - 11 Cr - 3 Al, Ti - 8 Mo
- 8 V - 2 Fe - 3 Al, Ti - 3 Al - 8 V - 6 Cr - 4 Mo - 4
Cr, Ti - 11,5 Mo - 6 Zr - 4,5 Sn, und andere mit Ti0,80∼0,45
Nb0,20∼0,55.
Fig. 1 bis 5 zeigen ein Beispiel des Superhochvaku
umbehälters, auf welchen die vorliegende Erfindung an
wendbar ist.
Der in den Fig. 1 und 2 dargestellte Superhochvaku
umdruckbehälter 1 weist einen hohlen Gehäusebereich 1a
auf, eine große, mittlere und kleinere Anzahl von
Flanschwellenkupplungen 1b, welche in dem hohlen
Gehäusebereich 1a mittels Schweißen integriert sind.
Zum Beispiel besitzt der Gehäusebereich 1a ein platten
artiges Ausgangsmaterial, gebildet durch ein U - O Bie
geformen in eine zylindrische Form, geschweißt mit ei
nem elektronischen Strahlschweißen und ausgebildet mit
einer großen, mittleren und kleineren Anzahl von
Flanschbefestigungsöffnungen. Zusätzlich sind die
flanschförmigen Wellenkupplungen in eine flaschartige
zylindrische Form mittels plastischer Bearbeitung und
Schneiden hergestellt. Anschließend werden der ge
trennte Gehäusebereich 1a (Behälterhauptkörper) und die
getrennten flanschförmigen Kupplungen 1b ineinander in
tegriert, so daß ein Elektronenstrahlschweißen ein Ein
dringen einer Außenfläche des Behälters in das innere
des Gehäuses(Behälter)bereichs unter einer Atmosphäre
eines Vakuumdrucks unterhalb von 1 · 10-3 Torr bewirkt.
Eine Vielzahl von Bolzenöffnungen 1d, welche in eine
Kuppelungsoberfläche 1c eindringen, sind in der
flanschförmigen Wellenkupplung 1d ausgebildet, wie in
den Fig. 3 bis 5 dargestellt.
Auf der Kupplungsfläche 1c, ist ein ringförmiger Mes
serschneidenbereich 1e ausgebildet, um so eine bevor
zugte Vakuumabdichtung bereitzustellen. Es ist er
wünscht, daß eine Schicht von 0,01 µm bis 2,00 µm her
gestellt aus Au auf einer Oberfläche des Messerschnei
denbereiches 1e oberflächenbehandelt wird, um die Oxi
dation zu verhindern, z. B., unter Verwendung einer
Sputterdiffusion.
Gleichermaßen wird eine Oberflächenbehandlung mit TiN
(Titannitrid) zur Verhinderung der Oxidation und des
Verschleißes der Oberfläche vorzugsweise auf der Ober
fläche des Messerkantenbereiches 1e durchgeführt.
Zusätzlich kann als ein Abdichtungsmaterial, welches
den Messerkantenbereich 1e berührt, ein hochreines Ti
verwendet werden, der Verunreinigungsgehalt des Ti wird
festgelegt durch, O: 0,08 Gew.-% oder weniger; H: 0,001
Gew.-% oder weniger; Fe: 0,042 Gew.-% oder weniger;
C: 0,006 Gew.-% oder weniger; C: 0,006 Gew.-% oder
weniger; und N: 0,005 Gew.-% oder weniger.
Des weiteren wird auf wenigstens einem Teil der Außen
fläche des Behälters 1, vorzugsweise entweder eine Oxi
dationsschicht oder eine Stickstoffschicht aufgebracht.
In dem Fall, daß ein rostfreier Stahl herkömmlicherweise als
das Ausgangsmaterial des Superhochvakuumbehälters verwendet
wurde, wird ein in dem Inneren des Vakuumbehälters verblei
bendes Gas gebildet durch: ein Oxidationsgas, welches fest
in dem rostfreien Stahl gelöst ist; ein Wasserstoffgas, wel
ches in einer Matrixgrenzfläche und einem Zwischenbereich
eingeschlossen ist; und CO und CO2-Gase, die mit dem Kohlen
stoff des Stahls verbunden sind, mit einem in einer Oberflä
chenschicht verbleibenden Sauerstoff.
Da auf der anderen Seite das Bauteil, welches für den Super
hochvakuumdruck geeignet ist, solcher Art ist, daß zu der
Titanlegierung mit reduziertem C, N, und O, ein Metall der
Platinreihe aus Pd, ein Übergangsmetall aus Co, und ein Ele
ment der Reihe der seltenen Erden wie Y oder Mesh-Metall mit
einer vorherbestimmten Menge hinzugefügt werden, kann die
Gasentladung unterdrückt werden und das Binden des übrig
bleibenden Gases kann vorzugsweise durch den folgenden Me
chanismus durchgeführt werden, wenn das Bauteil, welches für
Superhochvakuumdruckanwendungen geeignet ist, als Ausgangs
material für den Superhochvakuumbehälter verwendet wird.
- 1) Das Ausströmen des Sauerstoffes von dem Inneren der Ti tanlegierung, welche das für den Superhochvakuumdruck geeignete Bauteil bildet, wird gebunden und im Inneren des Materials in der Form von Oxiden mittels der Ele mente der Reihe der seltenen Erden wie Y oder dem Mesh- Metall reduziert.
- 2) H2-Gas wird von der Oberfläche des Materials in der Form von Wasserstoffatomen mittels einer katalytischen Wirkung der Metalle der Platinreihe wie Pd auf dem H2-Gas-Gitterplatz adsorbiert.
- 3) Die adsorbierten H-Atome werden fest mittels der inter metallischen Verbindung (TiO2Co) gebunden, welche eine hohe Wasserstoffeinschließfähigkeit, wie Titan (Ti) und Co, aufweisen.
Da auf der anderen Seite geeignete Mengen der jeweiligen
hinzugefügten Elemente, welche eine Gasentladungseigen
schaft für das Bauteil bereitstellen, welche für die in der
vorliegenden Erfindung verwendete Superhochvakuumdruckanwen
dung geeignet ist, kann ein Bauteil, welches für die Super
hochvakuumdruckanwendung geeignet ist und durch die Titanle
gierung gebildet wird, mit einer bevorzugten Kaltverformung
erzielt werden.
Wird des weiteren Al mit einem Anteil von 9,5 Gew.-% oder
weniger hinzugefügt, bewirkt eine Versteifung des Al Misch
kristalls, daß die Titanlegierung eine bevorzugte Warmbear
beitbarkeitseigenschaft bereitstellt und die Festigkeit kann
ohne einen Verlust der Gasentladungseigenschaft, verbessert
werden. Wird des weiteren Al mit einem Anteil von 1,5 Gew.-%
oder weniger hinzugefügt, wird die Versteifung des Al Misch
kristalls bevorzugt, und dessen Festigkeit wird ohne Verlust
der Gasentladungseigenschaft verbessert.
Des weiteren stellt in dem Fall, daß die Titanlegierung ein
Basismaterial bereitstellt und die Zugabe der Reihenelemente
verwendet wird, das Bauteil des Superhochvakuumbehälters ei
ne überragende Gasentladungseigenschaft bereit, und trägt
nicht zu der Reduktion der Warmbearbeitbarkeit bei.
Nachdem die Legierungen der in der Tabelle 1 und 2 beschrie
benen Zusammensetzung in einem durch einen Lichtbogen
schmelzofen gelöst wurden und dem Heißwalzen und thermischen
Verarbeitungen unterzogen wurden, wurden verschiedene Arten
von Untersuchungen durchgeführt.
Nr. 1 bis Nr. 9 aus Tabelle 1 betreffen eine erste bevor
zugte Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung.
Nr. 10 bis Nr. 18 aus Tabelle 2 betreffen ein Vergleichsbei
spiel 1. Nr. 19 aus Tabelle 2 war ein Referenzbeispiel der
ersten Ausführungsform.
Nr. 20 aus Tabelle 2 ist ein herkömmliches Beispiel 1 in dem
Fall, daß das Bauteil von einem austenitischen rostfreiem
Stahl gebildet wird.
Für diese verwendeten Proben wurden die Gasentladungsei
genschaft und die mechanischen Eigenschaften ermittelt.
Um die Gasentladungseigenschaft zu ermitteln, wurde ein
Temperatur-Hoch-Desorptionssystem (TDS) verwendet, um die
Proben zu erhöhen und zu erwärmen, um so ein Backen darzu
stellen, und anschließend, wurde die Entladungsgeschwin
digkeit des Gases bei einer Raumtemperatur ermittelt. Es
wird festgehalten, daß die Gasentladungsgeschwindigkeit
ermittelt wurde, durch eine gemessene Festigkeit aus einem
vierfachen Polmassenanalysator (QMS) multipliziert mit einem
Empfindlichkeitskoeffizienten für jede Luft, und dem Evaku
ierungsgeschwindigkeit für jede Luft und ein Verhältniswert
in bezug auf den Referenzwert des herkömmlichen Beispieles
aus Nr. 20 wurde angegeben.
Des weiteren wurde für einen Teil der Proben ein Plattenma
terial als eine Probe durch ein VAR Blockmaterial verwendet.
Ein kleiner Superhochvakuumbehälter 1 mit der in den Fig. 1
bis 5 dargestellten Struktur wurde hergestellt, so daß ein
Überprüfen des erreichten Vakuumdrucks mittels einer turbo
molekularen Pumpe (180 l/s) durchgeführt wurde.
Zusätzlich wurde in dem Fall, daß die mittels kalter plasti
scher Verformung hergestellte flanschförmige Wellenkupplung
1b berücksichtigt wird, wurde ein begrenzender Biegetest für
die Proben durchgeführt, als ein Index der Kaltverformbar
keit ermittelt und durch einen Biegefaktor gebogener Radi
us/Plattendicke angegeben.
Des weiteren wurde eine Zugfestigkeit für jede Probe ermit
telt, um die Zugfestigkeiten miteinander zu vergleichen. Ta
belle 3 und Tabelle 4 zeigen die Resultate der Untersuchun
gen für jede Probe.
Wie aus Tabelle 3 deutlich wird, wiesen die Proben Nr. 1 bis
Nr. 9 in der ersten Ausführungsform 1 eine Gasentladungs
eigenschaft von H2, CO + N2, CO2, von 1/10 oder weniger im
Vergleich mit denen des austenitischen rostfreien Stahles
Nr. 20 auf. Insbesondere CO + N2-Gase der Massenzahl 28 ent
wichen nur wenig. Zusätzlich war die Kaltverformbarkeit
extrem hoch und kein Riß wurde bei einem Biegeradius
identisch der oder nahe der Plattendicke erzeugt.
Des weiteren waren für die Proben Nr. 1, 3, 4, 6, 8 und 9,
zu denen Al in einem Bereich von 1,5 Gew.-% hinzugefügt wur
den, die die Zugfestigkeiten angebenden Werte so hoch, daß
sie 45 Kgf/mm2 überschritten.
Auf der anderen Seite wurde bestätigt, daß für die Proben
Nr. 10 bis Nr. 19, und das Vergleichsbeispiel 1 die Gasent
ladungseigenschaft oder Bearbeitbarkeit gering war.
Obwohl die Probe Nr. 10 ein Beispiel war, bei welchem eine
Menge des Metalls der Platingruppe geringer war als der in
der vorliegenden Erfindung angegebene Bereich, war die Kalt
bearbeitbarkeit überragend, die Gasentladungseigenschaft war
jedoch nicht so überragend.
Obwohl die Probe Nr. 11 ein Beispiel war, bei welchem das
Metall der Platingruppe im Übermaße hinzugefügt wurde, den
in der vorliegenden Erfindung angegebenen Bereich über
schreitend und eine überragende Gasentladungseigenschaft
aufwies, wurde bestätigt, daß die Probe Nr. 11 eine
schlechte Kaltbearbeitbarkeit aufwies, denn der Biegefaktor
betrug 5,5.
Die Proben Nr. 12 und Nr. 13 waren Beispiele, bei denen die
Menge der Übergangsmetalle außerhalb des in der vorliegenden
Erfindung angegebenen Bereiches lagen. Im Detail, bei der
Probe Nr. 12, bei welcher das Übergangsmetall in einer den
in der vorliegenden Erfindung angegebenen Bereich über
schreitenden Anteil hinzugefügt wurde, lag eine verringerte
Bearbeitbarkeit vor. In dem Fall der Probe Nr. 13, bei wel
cher der Anteil des Übergangsmetalls niedriger war als der
in der vorliegenden Erfindung angegebene Bereich, wurde
bestätigt, daß die Gasentweichungsgeschwindigkeit nicht
wesentlich niedriger war als die des rostfreien Stahles aus
Nr. 20.
Die Proben Nr. 14 und Nr. 15 waren Beispiele, bei welchen
die Mengen der Elemente der Gruppe der seltenen Erden umfas
send Y außerhalb des in der vorliegenden Erfindung angegebe
nen Bereiches lagen.
Bei der Probe Nr. 14 entwich ein Gasbestandteil, umfassend
Sauerstoff, wesentlich und eine Gasentladungseigenschaft im
wesentlichen gleich der in dem Fall eines rostfreien
Stahles, wurde erzielt.
Bei der Probe Nr. 15 wurde aufgrund des gebildeten Oxides
die Bearbeitbarkeit reduziert und die Gasentladungseigen
schaft verschlechtert.
Die Proben Nr. 16, Nr. 17 und Nr. 18 waren Beispiele, bei
denen C, N, und O in Mengen enthalten waren, die den in der
vorliegenden Erfindung angegebenen Bereich überschritten.
In jedem Fall wurde die Gasentladungseigenschaft wesentlich
reduziert, auf im wesentlichen das gleiche wie in dem Fall
des rostfreien Stahles.
Des weiteren war die Probe Nr. 19 ein Beispiel, bei welchem
der Anteil an Al einen notwendigen Bereich zur Sicherung der
Kaltbearbeitbarkeit überschritt. Obwohl die Gasentladungs
eigenschaft überragend war, war die Kaltverformungsfähigkeit
verringert.
Als ein Resultat der Probe, mit welchem ein Superhochvakuum
behälter (⌀ 200 · 300) unter Verwendung des Materials Nr. 1
der ersten Ausführungsform gefertigt wurde, wurde ein Super
hochvakuumdruck von 6,8 · 10-11 Torr mittels der Turbopumpe
mit 180 l/s erzielt.
Dieses Resultat zeigt, daß ein wesentlicher Unterschied von
1,0 · 10-8 Torr in dem Fall besteht, daß der Superhochvaku
umbehälter aus rostfreiem Stahl gefertigt ist. Es wurde des
weiteren bemerkt, daß das in der vorliegenden Erfindung ver
wendete Bauteil, welches für Superhochvakuumbehälteranwen
dungen geeignet ist, überragende Gasentladungseigenschaften
besitzt. Es wird festgehalten, daß die Experimente der
erreichten Vakuumdrucke nach dem Backen bei 200°C für 72
Stunden und nach einem 24stündigen Abkühlen bei Raumtempe
ratur, durchgeführt wurden.
Bei der zweiten bevorzugten Ausführungsform und bei dem Ver
gleichsbeispiel 2, wurde die Titanlegierung als ein Basisma
terial verwendet, die Legierung umfaßte die hinzugefügten
Elemente mit Ausnahme von Al. Die Legierung, welche die in
den Tabellen 5 und 6 dargestellte Zusammensetzung aufwies,
wurde in dem Lichtbogenlösungsofen in der Form von Knopfbar
ren gelöst, und nachdem Warmwalzen und thermische Verfah
rensschritte durchgeführt waren, wurden verschiedene Unter
suchungen durchgeführt.
Es wird festgehalten, daß die Proben Nr. 21 bis Nr. 25 die
Resultate der Experimente im Fall der zweiten bevorzugten
Ausführungsform angeben. Die Proben Nr. 26 bis Nr. 34 aus
Tabelle 6 sind Vergleichsbeispiele 2, und die Probe Nr. 35
ist ein herkömmliches Beispiel eines austenitischen rost
freien Stahls, dargestellt in den Fig. 11(A) bis 11(C).
Es wird angemerkt, daß für diese Proben die Gasentladungs
eigenschaft und die mechanischen Eigenschaften angegeben
wurden.
Für die Untersuchung der Gasentladungseigenschaft wurden die
gleichen Werte auf dem gleichen Weg verwendet, wie im Fall
der ersten Ausführungsform 1 und für einen Teil der Proben
wurde die Gasentladungseigenschaft anhand von Proben er
mittelt, geformt aus dem Plattenmaterial durch den VAR
Rohblock und der kleine Superhochvakuumbehälter 1 wurde mit
der in den Fig. 1 bis 5 dargestellten Struktur hergestellt
und die Untersuchungen wurden unter Verwendung der turbomo
lekularen Pumpe (800 l/s) durchgeführt.
Zusätzlich zu der Herstellung der flanschförmigen Wellen
kupplung 1b durch Schneiden unter Verwendung einer Drehma
schine und/oder Fräsmaschine, die berücksichtigt wurde,
wurde ein Maß der Rißbildung der Proben nach dem Warmwalzen
ermittelt, als ein Index der Warmbearbeitbarkeit und eine
Ermittlung der Warmbearbeitbarkeit wurde durchgeführt.
Diese Resultate sind in der Tabelle 7 und Tabelle 8 darge
stellt.
Wie aus Tabelle 7 deutlich wird, weisen die Proben Nr. 21
bis Nr. 25 der zweiten Ausführungsform 2 eine Gasentladungs
geschwindigkeit von 1/10 auf, wie in dem Fall, daß die Probe
ein austenitisches rostfreies Stahl Nr. 35 war, für jedes
der Gase H2, CO + N2 und CO2.
Insbesondere CO + N2-Gase wurden mit einer sehr geringen
Menge der Massenzahl 28 bereitgestellt. Zusätzlich war die
Warmformveränderung bevorzugt und sofern Rißbildung auftrat,
lag dessen Länge innerhalb 1 cm.
Es wurde bestätigt, daß bei den Proben Nr. 26 bis Nr. 34 die
Gasentladungseigenschaft und die Warmbearbeitbarkeit
schlecht waren.
Die Probe Nr. 26 war ein Beispiel, bei welchem die Menge des
Metalls der Platingruppe geringer war als der in der vorlie
genden Erfindung angegebene Bereich und es wurde bestätigt,
daß, obwohl dessen Warmbearbeitbarkeit überlegen war, die
Gasentladungseigenschaft nicht schlecht war.
Die Proben Nr. 27, 28 und 30 zeigen, daß die Zusammensetzung
der Metalle der Platingruppe, des Übergangsmetalls, und des
Elementes der Reihe der seltenen Erden den in der vorliegen
den Erfindung angegebenen Bereich überschreiten. Obwohl sie
jedoch bevorzugte Gasentladungseigenschaften zeigten, war
jedoch der Anteil an Rissen hoch und sie ließen sich nur
schlecht warm bearbeiten.
Die Proben Nr. 32, 33 und 34 waren Beispiele, bei welchen C,
N und O Anteile besaßen, die die in der vorliegenden Erfin
dung angegebenen Bereiche überschritten. In jedem Fall wurde
bestätigt, daß die Gasentladungsgeschwindigkeit wesentlich
reduziert war, im Vergleich mit dem rostfreien Stahl.
Tabelle 9 zeigt die Resultate der Proben der Superhochvaku
umbehälter (⌀ 200 · 300) 1 mit den in den Fig. 8(A) bis 10(C)
dargestellten Abdichtungsstrukturen, die unter Verwen
dung der Turbopumpe (180 l/s) auf einen hohen Vakuumdruck
evakuiert wurden.
Die Fig. 10(A) bis 10(C) zeigen ein Beispiel der Abdich
tungsstruktur des in Tabelle 9 dargestellten Vergleichsbei
spiels. Wie in den Fig. 10(A) bis 10(C) dargestellt, wurde
eine ringförmige einzelne Messerkante 1e auf einer Abdich
tungsfläche 1c ausgebildet, ein spitzes Ende R (Krümmungs
radius) des Dichtungskantenbereichs 1e wurde gebildet um 0,1
anzugeben und der Neigungswinkel R7A der Außenseite des
Messerkantenbereichs 1e betrug 30° und der Neigungswinkel
R7B des Inneren des Messerkantenbereichs 1e betrug 20°.
Wie aus Tabelle 9 deutlich wird, wurde in einem Fall, in dem
die Abdichtungsstruktur jeder der Fig. 6(A) bis 10(C) ein
gesetzt wurde, bei 6 · 10-11 Torr kein Gasleck gebildet. Ein
kleines Gasleck wurde jedoch nicht gebildet in dem Fall, daß
die Abdichtungsstruktur aus Fig. 9(A) bis 9(C) eingesetzt
wurde.
In dem Fall, daß ein erreichter Vakuumdruck relativ groß
war, betrug der Unterschied zu dem Fall, daß ein Superhoch
vakuumbehälter aus dem gleichen rostfreien Stahl hergestellt
wurde, bis 1,0 · 10-8 Torr.
Die Experimente des Erreichen des Vakuumdruckes wurden
durchgeführt, nachdem das Erwärmen auf 270°C für 48 Stunden
beendet war und nach der Abkühlung für 24 Stunden auf Raum
temperatur.
Tabelle 10 zeigt die Ergebnisse der Experimente, bei welchen
die Superhochvakuumbehälter (⌀ 200 · 300) 1 mit den in den
Fig. 6(A) bis 10(C) dargestellten Abdichtungsstrukturen
versehen wurden, unter Verwendung der Materialien Nr. 21 bis
Nr. 24 der zweiten Ausführungsform 2, welche unter Verwen
dung der Turbomolekularpumpe (180 l/s) evakuiert wurden.
Wie in Tabelle 10 dargestellt, wurde bei einem Vakuumdruck
von 6 · 10-11 Torr kein Gasleck erzeugt, wenn die in den
Fig. 6(A) bis 10(C) dargestellten Abdichtungsstrukturen
eingesetzt wurden. In dem Fall, daß die in den Fig. 10(A)
bis 10(C) dargestellte Abdichtungsstrukturen verwendet wur
den, wurde jedoch ein kleines Gasleck oder dergleichen er
zeugt.
Wie in Tabelle 10 dargestellt, war der erreichte Vakuumdruck
sehr hoch im Vergleich mit dem Fall, daß der rostfreie Stahl
als Bauteil des Superhochvakuumbehälters mit einem Vakuum
druck von mehr als 1,0 · 10-8 Torr verwendet wurde.
Die Untersuchungen der erreichten Vakuumdrucke wurden durch
geführt nach dem Erwärmen auf 370°C für 48 Stunden und nach
dem Abkühlen für 24 Stunden auf Raumtemperatur.
Es sollte festgehalten werden, daß die in den Fig. 6(A) bis
10(C) dargestellten Abdichtungsstrukturen für den in Fig. 1
dargestellten Vakuumbehälter geeignet sind.
Wie in den Fig. 6(A) bis 6(C) dargestellt, sind eine Viel
zahl von Bolzenöffnungen 1d, welche die Abdichtungsfläche 1c
durchdringen, in jeder flanschförmigen Wellenkupplung 1d
ausgebildet. Doppelmesserkantenbereiche 1e, 1f in Ringform
sind konzentrisch auf der Abdichtungsfläche 1c ausgebildet,
um so eine dichte Abdichtungsstruktur bereitzustellen. An
schließend werden spitze Enden R (Krümmungsradius) der Mes
serkantenbereiche 1e, 1f gebildet um 0,06 anzugeben, ein äu
ßerer Neigungswinkel des äußeren Messerkantenbereiches 1e
entspricht 30° und ein innerer Neigungswinkel R3C ent
spricht 20°C. Zusätzlich wird ein innerer Neigungswinkel
R3D mit 30° angegeben.
Es wird bevorzugt, daß wenigstens eine Oberfläche jedes Mes
serkantenbereichs 1e, 1f mit einer Au-Schicht oder Ag-
Schicht mit einer Dicke im inneren Bereich von 0,01 µm bis
2,00 µm behandelt wird, z. B. mittels einer Sputterdiffusion,
um Oxidation zu verhindern.
Es ist des weiteren bevorzugt, daß wenigstens eine Oberflä
che jedes Messerkantenbereichs 1e, 1f mit TiN behandelt
wird, um Oxidation oder Verschleiß zu verhindern. Als eine
Dichtungsmanschette oder eine Dichtung, welche unter Druck
an den Messerkantenbereichen 1e, 1f befestigt wird, kann ein
hochreines Ti mit O: 0,042 Gew.-% oder weniger, H: 0,001 Gew.-%
oder weniger, Fe: 0,042 Gew.-% oder weniger, C: 0,006 Gew.-%
oder weniger, N: 0,005 Gew.-% oder weniger oder al
ternativ ein Kupfer ohne Sauerstoff verwendet werden. Des
weiteren wird bevorzugt, daß eine Oberflächenbehandlung mit
Au oder Ag auf der Oberfläche der Dichtungsmanschette durch
geführt wird.
Auf wenigstens einem Teil der Außenfläche des Vakuumbehäl
ters, kann eine Oberflächenschutzschicht angebracht werden,
welche zwischen einer Oxidationsschicht und einer Nitrier
schicht ausgewählt wird.
Die Fig. 7(A) bis 7(C) zeigen ein anderes Beispiel der Ab
dichtungsstruktur.
Doppelte Messerkantenbereiche 1e, 1f in Ringform, werden
konzentrisch in der Abdichtungsoberfläche 1c gebildet, um
die dichte Abdichtungsstruktur bereitzustellen.
Die spitzen Enden R der Messerkantenbereiche 1e, 1f wurden
gebildet, um 0,03 zu betragen, wobei der äußere Neigungswin
kel R4A des äußeren Messerkantenbereiches 1e 20° betrug und
der innere Neigungswinkel R4B 30°.
Ein äußerer Neigungswinkel R4C des inneren Messerkantenbe
reiches 1f beträgt 20° und der innere Neigungswinkel R4D
30°. Eine geeignete Oberflächenbehandlung kann auf die glei
che Weise durchgeführt werden, wie in den Fig. 6(A) bis 6(C)
dargestellt.
Fig. 8(A) bis 8(C) zeigen noch andere Beispiele der Ab
dichtungsstruktur.
In dem Fall des in Fig. 8(A) bis 8(C) dargestellten Bei
spieles betragen die spitzen Enden R der Messerkantenberei
che 1e und 1f 0,1, wobei der äußere Neigungswinkel R5A 30°
beträgt und der innere Neigungswinkel R5B 20° beträgt. Des
weiteren beträgt der äußere Neigungswinkel R5C des inneren
Messerkantenbereiches 1f 30° und der innere Neigungswinkel
R5D 20°.
Es ist möglich, eine Oberflächenbehandlung auf die gleiche
Art und Weise wie in Fig. 6(A) bis 6(C) dargestellt,
durchzuführen.
Fig. 7(A), 7(B), und 7(C) zeigen noch andere Beispiele
der Abdichtungsstruktur.
Die spitzen Kanten R der Messerkantenbereiche 1e, 1f betra
gen 0,03, wobei der äußere Neigungswinkel R6A an dem äuße
ren Messerkantenbereich 1e 35° beträgt und der innere Nei
gungswinkel R6B 25° und wobei der äußere Neigungswinkel
R6C des inneren Messerkantenbereiches 1f 35° beträgt und
der innere Neigungswinkel R6D 25°.
Eine geeignete Oberflächenbehandlung kann möglicherweise auf
die gleiche Weise wie in der Fig. 6(A) bis 6(C) darge
stellt, durchgeführt werden.
Es wird des weiteren festgehalten, daß die Fig. 11(A) bis
11(C) ein herkömmliches Beispiel zeigen, bei welchem rost
freier Stahl als Bauteil der Abdichtungsstruktur verwendet
wurde.
Bei den Fig. 11(A) bis 11(C) wurde nur ein einzelner
kreisrunder Messerkantenbereich 1e auf der Abdichtungsfläche
1c ausgebildet. Ist ein großer Unterschied zwischen dem
thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Behälterelementes
und der Abdichtungsmanschette 2 vorhanden (wenn z. B. der
thermische Ausdehnungskoeffizient der Abdichtungsmanschette
2 größer ist als der des Behälterelementes 1) wird eine
Spalte oder eine Öffnung S gebildet, so daß sich ein Gasleck
bildet, wenn der Vakuumbehälter, wie in Fig. 11(A) aufge
baut wird, und wenn das Erwärmungsverfahren, wie in Fig.11(B)
dargestellt, durchgeführt wird, und wenn der abgekühlte
Zustand resultiert, wie in Fig. 11(C) dargestellt.
Auf der anderen Seite ist in den Fig. 12(A) bis 12(C) die
Abdichtungsstruktur für den Fall der vorliegenden Erfindung
dargestellt.
Da, wie in den Fig. 12(A) bis 12(C) dargestellt, wenig
stens doppelte Messerkantenbereiche 1e, 1f konzentrisch auf
der Abdichtungsfläche 1c ausgebildet sind, bildet sich keine
Öffnung, auch wenn ein großer Unterschied zwischen dem ther
mischen Ausdehnungskoeffizienten des Vakuumbehälterelementes
und des Abdichtungsmanschettenelementes 2 vorhanden ist
(z. B. wenn der thermische Ausdehnungskoeffizient in dem Fall
des Abdichtungselementes 2 größer ist) wenn der Vakuumbehäl
ter wie in Fig. 12(A) dargestellt zusammengebaut wird, das,
wie in Fig. 12(B) dargestellt, Erwärmungsverfahren durchge
führt wird, und der abgekühlte Zustand in dem Vakuumbehälter
vorhanden ist, wie in der Fig. 12(C) dargestellt. Dement
sprechend tritt kein Gasleck auf und der Superhochvakuum
druck von 10-10 Torr oder mehr und von 10-11 Torr oder mehr
wurde erzielt und beibehalten.
Wie hier beschrieben, kann ein Superhochvakuumbehälter er
zielt werden, mit einem Vakuumdruck von mehr als 10-10 oder
mehr als 10-11 Torr, unter Verwendung eines einfachen Evaku
ierungssystems wie einer Turbopumpe ohne die Verwendung ei
ner komplizierten Titansupplemationspumpe oder Kryopumpe.
Zusätzlich ist es möglich, einen leichten Vakuumbehälter be
reitzustellen unter Verwendung des Elementes, welches geeig
net ist, für die Superhochvakuumdruckanwendung, wobei extrem
wenig Gas entweicht. Solch ein Superhochvakuumdruck kann
beibehalten werden.
Da die vorliegende Erfindung in bezug auf bevorzugte Ausfüh
rungsformen beschrieben wurde, um ein besseres Verständnis
dieser zu ermöglichen, sollte erkannt werden, daß die Erfin
dung in verschiedenen Arten dargestellt werden kann, ohne
von dem Prinzip der Erfindung abzuweichen. Daher sollte klar
sein, daß die Erfindung alle möglichen Ausführungsformen und
Veränderungen der dargestellten Ausführungsformen umfaßt,
die gebildet werden können, ohne von dem Prinzip der Erfin
dung, wie in den angefügten Ansprüchen dargestellt, abzuwei
chen.
Claims (32)
1. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck, wobei dieses Bauteil umfaßt:
- a) 0,02 Gew.-% bis 1,00 Gew.-% eines Metalls, ausge wählt aus einer Gruppe der Metalle der Platingruppe, bestehend aus: Pd, Pt, Rh, Ru, Re und Os;
- b) 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-%, ausgewählt aus einem Übergangsmetall, ausgewählt aus einer Gruppe beste hend aus: Co, Fe, Cr, Ni, Mn, und Cu;
- c) 0,02 Gew.-% bis 0,50 Gew.-% eines Elementes, ausge wählt aus einer Gruppe, bestehend aus: La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er und Y;
- d) Beimengungselemente, bestehend aus C, N und O, wo bei C 0,05 Gew.-% oder weniger beträgt, N 0,05 Gew.-% oder weniger beträgt und O 0,08 Gew.-% oder weni ger beträgt; und
- e) Ti und unvermeidbare Verunreinigungen.
2. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß dieses Bauteil eine flanschförmige
Wellenkupplung umfaßt, wobei eine Messerkantenoberfläche
der flanschförmigen Wellenkupplung mit Au behandelt ist,
um deren Oxidation zu verhindern.
3. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß dieses Bauteil eine flanschförmige
Wellenkupplung umfaßt, wobei eine Messerkantenfläche der
flanschförmigen Wellenkupplung mit TiN behandelt ist, um
deren Oxidation und deren Verschleiß zu verhindern.
4. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 1, wobei die
ses Bauteil eine flanschförmige Wellenkupplung umfaßt,
und mit einem Dichtungsmanschettenelement versehen ist,
wobei das Dichtungsmanschettenelement aus einem hochrei
nen Ti hergestellt ist, mit einem Anteil an O, von 0,08 Gew.-%
oder weniger, an H, von 0,001 Gew.-% oder weni
ger, an Fe von 0,042 Gew.-% oder weniger, an C, von
0,006 Gew.-% oder weniger und an N, von 0,005 Gew.-%
oder weniger.
5. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß wenigstens ein Teil einer Außenfläche
des Vakuumbehälters mit entweder einer Oxidschicht oder
einer Nitrierschicht versehen ist.
6. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß dieser Vakuumbehälter einen Behälter
körper und flanschförmige Wellenkupplungen umfaßt, wobei
dieser Behälterkörper und diese flanschförmigen Wellen
kupplungen ineinander integriert sind mittels einer
Schweißverbindung, welche durch das Eindringen einer Au
ßenfläche dieses Vakuumbehälters durch einen Innenbe
reich dieses Behälters mittels des Elektronenstrahl
schweißens durchgeführt wird.
7. Superhochvakuumbehälter mit einem Element, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Bauteil des weiteren aus Al be
steht, wobei Al einen Anteil von 0,2 Gew.-% bis 9,5 Gew.-%
aufweist.
8. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 7, wobei die
ses Al einen Anteil von 0,2 Gew.-% bis 1,5 Gew.-% auf
weist.
9. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck, wobei dieser Vakuumbehälter
ein Bauteil aufweist, und wobei dieses Bauteil umfaßt;
- a) wenigstens ein Metall der Platingruppe mit 0,02 Gew.-% bis 1,00 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Pd, Pt, Rh, Ru, Re und Os;
- b) wenigstens ein Übergangsmetall mit 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Co, Fe, Cr, Ni, Mn, und Cu;
- c) wenigstens ein Metall der Gruppe der seltenen Erden mit 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe aus: La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er und Y;
- d) Aluminium mit einem Anteil von 0,2 Gew.-% bis 9,5 Gew.-%;
- e) Beimengungselemente aus C, N und O, wobei C 0,05 Gew.-% oder weniger beträgt, N 0,05 Gew.-% oder we niger beträgt und O 0,08 Gew.-% oder weniger beträgt und
- f) Ti und unvermeidbare Verunreinigungen.
10. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 9, dadurch ge
kennzeichnet, daß Al einen Anteil im Bereich von 0,2 Gew.-%
bis 1,5 Gew.-% aufweist.
11. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 9, dadurch ge
kennzeichnet, daß das Bauteil eine flanschförmige Wel
lenkupplung umfaßt, wobei eine Messerschneidenoberfläche
der flanschförmigen Wellenkupplung mit Au behandelt ist,
um deren Oxidation zu verhindern.
12. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 9, dadurch ge
kennzeichnet, daß dieses Bauteil eine flanschförmige
Wellenkupplung umfaßt, wobei eine Messerschneidenober
fläche der flanschförmigen Wellenkupplung mit TiN behan
delt ist, um deren Oxidation und deren Verschleiß zu
verhindern.
13. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 9, dadurch
gekennzeichnet, daß dieses Bauteil eine flanschförmige
Wellenkupplung umfaßt und mit einem Dichtungsmanschet
tenelement versehen ist, wobei dieses Dichtungsmanschet
tenelement hergestellt ist aus: einem hochreinen Ti mit
einem Anteil an O, von 0,08 Gew.-% oder weniger, an H,
von 0,001 Gew.-% oder weniger, an Fe von 0,042 Gew.-%
oder weniger, an C, von 0,006 Gew.-% oder weniger und an
N, von 0,005 Gew.-% oder weniger.
14. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 9, dadurch ge
kennzeichnet, daß wenigstens ein Teil einer Außenfläche
des Vakuumbehälters mit entweder einer Oxidschicht oder
Nitrierschicht versehen ist.
15. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 9, dadurch ge
kennzeichnet, daß dieser Vakuumbehälter einen Behälter
körper und flanschförmige Wellenkupplungen umfaßt, wobei
dieser Behälterkörper und die flanschförmige Wellenkupp
lung ineinander integriert sind, durch eine Schweißver
bindung, die durch das Durchdringen einer Außenfläche
dieses Vakuumbehälters durch einen inneren Bereich die
ses Behälters mittels Elektronenstrahlschweißen durchge
führt ist.
16. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck, wobei dieses Bauteil umfaßt;
- a) eine Titanlegierung;
- b) wenigstens ein Metall der Platingruppe mit einem Ge halt von 0,02 Gew.-% bis 1,00 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Pd, Pr, Rh, Re und Os;
- c) wenigstens ein Metall der Übergangsreihe mit einem Gehalt von 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-%, bestehend aus einer Gruppe, bestehend aus: La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er und Y; und
- d) Beimengungselemente von C, N und O, wobei C 0,05 Gew.-% oder weniger, N 0,05 Gew.-% oder weniger und O 0,08 Gew.-% oder weniger beträgt.
17. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 16, dadurch
gekennzeichnet, daß dieses Bauteil wenigstens eine
flanschförmige Wellenkupplung umfaßt, wobei eine Messer
kantenoberfläche der flanschförmigen Wellenkupplung mit
Au behandelt ist, um deren Oxidation zu verhindern.
18. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 16, dadurch
gekennzeichnet, daß dieses Bauteil ein flanschförmiges
Wellenelement umfaßt, wobei eine Messerkantenoberfläche
dieses flanschförmigen Wellenelementes mit TiN behandelt
ist, um deren Oxidation und Verschleiß zu verhindern.
19. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 16, dadurch
gekennzeichnet, daß dieses Bauteil eine flanschförmige
Wellenkupplung umfaßt, und mit einem Dichtungsmanschet
tenelement versehen ist, wobei dieses Dichtungsmanschet
tenelement aus einem hochreinen Ti hergestellt ist, mit
einem Anteil an O von 0,08 Gew.-%, an H von 0,001 Gew.-%
oder weniger, an Fe von 0,042 Gew.-% oder weniger, an C
von 0,006 Gew.-% oder weniger, und an N von 0,005 Gew.-%
oder weniger.
20. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 16, dadurch
gekennzeichnet, daß wenigstens ein Teil einer Außenflä
che des Vakuumbehälters entweder mit einer Oxidschicht
oder mit einer Nitrierschicht versehen ist.
21. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 16, dadurch
gekennzeichnet, daß dieser Vakuumbehälter einen Behäl
terkörper und eine flanschförmige Wellenkupplung umfaßt,
wobei dieser Behälterkörper und diese flanschförmige
Wellenkupplung ineinander integriert sind, durch eine
Schweißverbindung, die dadurch ausgeführt wird, daß eine
Außenfläche dieses Vakuumbehälters einen inneren Bereich
dieses Behälters mittels Elektronenstrahlschweißen
durchdringt.
22. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß dieser Vakuumbehälter mit einer Ab
dichtungsstruktur versehen ist, wobei auf einer Oberflä
che der Abdichtungsstruktur wenigstens doppelte Messer
kantenbereiche ausgebildet sind, und wobei ein Dich
tungsmanschettenelement unter Druck auf wenigstens diese
doppelten Messerkantenbereiche befestigt ist.
23. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 22, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Edelmetall verwendet wird, um
wenigstens eine Oberfläche dieser Doppelmesserkantenbe
reiche zu behandeln, die auf einer Abdichtungsfläche der
Abdichtungsstruktur ausgebildet sind, um Oxidation zu
verhindern.
24. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 22, dadurch
gekennzeichnet, daß TiN verwendet wird, um wenigstens
eine Oberfläche des doppelten Messerkantenbereiches zu
behandeln, welche auf einer Abdichtungsfläche der Ab
dichtungsstruktur ausgebildet ist, um Oxidation und Ver
schleiß zu verhindern.
25. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 21, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Kupfer ohne Sauerstoff als das
Dichtungsmanschettenelement zur Abdichtung verwendet
wird, welches an wenigstens diesen doppelten Messerkan
tenbereichen befestigt ist.
26. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 25, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Edelmetall verwendet wird, um
eine Oberfläche des Dichtungsmanschettenelementes zu be
handeln, um Oxidation zu verhindern.
27. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 26, dadurch
gekennzeichnet, daß diese Vakuumbehälter Abdichtungs
struktur ein Element umfaßt, wobei dieses Element einen
Gehalt aufweist, so daß
- a) wenigstens ein Metall der Platingruppe mit einem An teil von 0,02 Gew.-% bis 1,00 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Pd, Pt, Rh, Ru, Re und Os;
- b) wenigstens ein Übergangsmetall mit einem Anteil von 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Co, Fe, Cr, Ni, Mn, und Cu;
- c) wenigstens ein Element der Reihe der seltenen Erden mit einem Anteil von 0,02 Gew.-% bis 0,50 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er und Y;
- d) Beimengungselemente, bestehend aus C, N und O; wo bei C einen Gehalt von 0,05 Gew.-% oder weniger auf weist, N einen Gehalt von 0,05 Gew.-% oder weniger aufweist, und O einen Gehalt von 0,08 Gew.-% oder weniger aufweist;
- e) Titan und unvermeidbare Verunreinigungen.
28. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck, gemäß Anspruch 26, dadurch
gekennzeichnet, daß diese Vakuumbehälterabdichtungs
struktur ein Element umfaßt, wobei dieses Element einen
Gehalt aufweist von:
- a) wenigstens einem Metall der Platinreihe mit einem Anteil von 0,02 Gew.-% bis 1,00 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Pd, Pt, Rh, Ru, Re, und Os;
- b) wenigstens ein Übergangsmetall mit einem Anteil von 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Co, Fe, Cr, Ni, Mn, und Cu;
- c) wenigstens ein Element der Reihe der seltenen Erden mit einem Anteil von 0,02 Gew.-% bis 0,50 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, und Y;
- d) Al mit einem Anteil von 0,2 Gew.-% bis 9,5 Gew.-%;
- e) Beimengungselemente an C, N und O, wobei C einen Gehalt von 0,05 Gew.-% oder weniger aufweist, N ei nen Anteil von 0,05 Gew.-% oder weniger aufweist, und O einen Anteil von 0,08 Gew.-% oder weniger auf weist; und
- f) Ti und unvermeidbare Verunreinigungen.
29. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 28, dadurch
gekennzeichnet, daß Al einen Anteil von 0,2 Gew.-% bis
1,5 Gew.-% aufweist.
30. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck, wobei dieses Bauteil eine
Abdichtungsstruktur bildet, umfassend:
- a) eine Titanlegierung;
- b) wenigstens ein Metall der Platingruppe mit einem An teil von 0,02 Gew.-% bis 1,00 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Pd, Pt, Rh, Ru, Re und Os;
- c) wenigstens ein Übergangsmetall mit einem Anteil von 0,1 Gew.-% bis 3,0 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: Co, Fe, Cr, Ni, Mn, und Cu;
- d) wenigstens ein Element der Gruppe der seltenen Erden mit einem Anteil von 0,02 Gew.-% bis 0,50 Gew.-%, ausgewählt aus einer Gruppe, bestehend aus: La, Ce, Pr, Nd, Sm, Gd, Tb, Dy, Ho, Er und Y; und
- e) Beimengungselemente an C, N und O, wobei C auf 0,05 Gew.-% oder weniger, N auf 0,05 Gew.-% oder weniger, und O auf 0,08 Gew.-% oder weniger begrenzt ist.
31. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck, gemäß Anspruch 30, wobei
entweder eine Oxidschicht oder eine Nitrierschicht aus
gewählt ist, um eine Oberflächenschutzschicht auf wenig
stens einem Teil der Außenfläche des Vakuumbehälters zu
bilden.
32. Superhochvakuumbehälter mit einem Bauteil, geeignet für
einen Superhochvakuumdruck gemäß Anspruch 31, dadurch
gekennzeichnet, daß dieser Behälter einen Behälterkörper
und eine flanschförmige Wellenkupplung umfaßt, wobei
dieser Behälterkörper und diese flanschförmige Wellen
kupplung ineinander integriert sind, mittels einer
Schweißverbindung, die von einer äußeren Oberfläche das
Innere des Behälters mit einem Elektronenstrahlschweißen
durchdringt.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4224225A JP2943520B2 (ja) | 1992-08-24 | 1992-08-24 | 超高真空容器 |
| JP09285293A JP3163550B2 (ja) | 1993-04-20 | 1993-04-20 | 超高真空容器のシール構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4327816A1 true DE4327816A1 (de) | 1994-03-03 |
Family
ID=26434231
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE4327816A Withdrawn DE4327816A1 (de) | 1992-08-24 | 1993-08-18 | Superhochvakuumgefäß und dessen Abdichtungsstruktur |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5478524A (de) |
| DE (1) | DE4327816A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2453979C1 (ru) * | 2010-12-27 | 2012-06-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Низкоиндуктивный высоковольтный вакуумный переход |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5630890A (en) * | 1995-01-30 | 1997-05-20 | General Electric Company | Manufacture of fatigue-resistant hollow articles |
| DE19962585C2 (de) * | 1998-12-28 | 2003-06-26 | Kobe Steel Ltd | Korrosionsbeständige Titanlegierung und daraus bestehende Komponenten |
| US8191901B2 (en) * | 2000-10-26 | 2012-06-05 | Kimball Physics, Inc. | Minimal thickness, double-sided flanges for ultra-high vacuum components |
| JP3694465B2 (ja) * | 2001-03-26 | 2005-09-14 | 有限会社山口ティー・エル・オー | チタン合金製真空容器及び真空部品 |
| US6857635B1 (en) * | 2001-10-18 | 2005-02-22 | Ferrotec (Usa) Corporation | Ultra high vacuum ferrofluidic seals and method of manufacture |
| JP3916088B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2007-05-16 | 住友金属工業株式会社 | 耐食材用チタン合金 |
| US8741217B2 (en) * | 2005-12-28 | 2014-06-03 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Titanium alloy for corrosion-resistant materials |
| CN101515538B (zh) * | 2008-02-21 | 2010-12-08 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种用于半导体加工反应腔室的密封结构 |
| JP5390934B2 (ja) * | 2009-05-20 | 2014-01-15 | 株式会社神戸製鋼所 | チタン合金材および構造部材ならびに放射性廃棄物用容器 |
| CN103717766B (zh) * | 2011-07-26 | 2016-11-23 | 新日铁住金株式会社 | 钛合金 |
| JP5201256B1 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-06-05 | 新日鐵住金株式会社 | 固体高分子型燃料電池セパレータ用チタン材並びにその製造方法およびそれを用いた固体高分子型燃料電池 |
| WO2014115845A1 (ja) * | 2013-01-25 | 2014-07-31 | 新日鐵住金株式会社 | 臭素イオンを含む環境での耐食性に優れたチタン合金 |
| RU2744837C2 (ru) * | 2017-10-19 | 2021-03-16 | Зе Боинг Компани | Сплав на основе титана и способ получения комплектующей детали из сплава на основе титана с помощью аддитивного технологического процесса |
| CN109022913A (zh) * | 2018-10-08 | 2018-12-18 | 广州宇智科技有限公司 | 一种航天领域极低温度下紧固件用钛合金及其工艺 |
| CN108842099A (zh) * | 2018-10-08 | 2018-11-20 | 广州宇智科技有限公司 | 一种轻量化火车制动系统紧固件用钛合金及其加工工艺 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2900057B2 (de) * | 1978-09-22 | 1980-11-27 | Ulvac Corp., Chigasaki, Kanagawa (Japan) | Vakuumbehälter |
| EP0082920A2 (de) * | 1981-12-24 | 1983-07-06 | Heraeus Elektroden GmbH | Metallbehälter, insbesondere für den chemischen Apparate-bau, und Verfahren zur Herstellung solcher Behälter |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5538951A (en) * | 1978-09-13 | 1980-03-18 | Permelec Electrode Ltd | Electrode substrate alloy for electrolysis |
| JPS59153514A (ja) * | 1983-02-18 | 1984-09-01 | Showa Alum Corp | 真空用アルミニウム板の製造法 |
| JPS59183926A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-19 | Showa Alum Corp | 真空用アルミニウム材の製造法 |
| JPS6036648A (ja) * | 1983-08-09 | 1985-02-25 | Natl Res Inst For Metals | 高真空容器用材料及びその製造方法 |
| JPS60128259A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-09 | Showa Alum Corp | 真空用アルミニウム材の製造法 |
| JPS60128258A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-09 | Showa Alum Corp | 真空用アルミニウム材の製造法 |
| US4666666A (en) * | 1984-11-22 | 1987-05-19 | Nippon Mining Co., Ltd. | Corrosion-resistant titanium-base alloy |
| JPS63103073A (ja) * | 1986-10-18 | 1988-05-07 | Fujitsu Ltd | 真空用アルミニウム容器 |
| JPH0784632B2 (ja) * | 1986-10-31 | 1995-09-13 | 住友金属工業株式会社 | 油井環境用チタン合金の耐食性改善方法 |
| JPH01316439A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-12-21 | Nkk Corp | 極高真空機器用ステンレス鋼 |
| JPH0762219B2 (ja) * | 1989-06-29 | 1995-07-05 | 俊郎 山科 | 極高真空機器用ステンレス鋼 |
| JPH0624629B2 (ja) * | 1990-02-09 | 1994-04-06 | 科学技術庁金属材料技術研究所長 | 内部拡散薄膜型ゲッター材料 |
| DE69107758T2 (de) * | 1990-10-01 | 1995-10-12 | Sumitomo Metal Ind | Verfahren zur Verbesserung der Zerspanbarkeit von Titan und Titanlegierungen, und Titanlegierungen mit guter Zerspanbarkeit. |
| US5091148A (en) * | 1991-01-02 | 1992-02-25 | Jeneric/Pentron, Inc. | Titanium alloy dental restorations |
| JP2659647B2 (ja) * | 1992-04-13 | 1997-09-30 | 新日本製鐵株式会社 | 超電導コイル導体コンジット用チタン材 |
| US5316722A (en) * | 1992-07-09 | 1994-05-31 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Corrosion resistant Ti-Cr-Ni alloy containing a platinum group metal |
-
1993
- 1993-07-28 US US08/098,151 patent/US5478524A/en not_active Expired - Fee Related
- 1993-08-18 DE DE4327816A patent/DE4327816A1/de not_active Withdrawn
-
1995
- 1995-08-10 US US08/513,283 patent/US5683523A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2900057B2 (de) * | 1978-09-22 | 1980-11-27 | Ulvac Corp., Chigasaki, Kanagawa (Japan) | Vakuumbehälter |
| EP0082920A2 (de) * | 1981-12-24 | 1983-07-06 | Heraeus Elektroden GmbH | Metallbehälter, insbesondere für den chemischen Apparate-bau, und Verfahren zur Herstellung solcher Behälter |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| Derwent Referat, Sektion C, Vol. 9, No. 283 vom 09.11.1985, betr. JP-A2-60-128259 * |
| Patents Abstract of Japan, C-900 vom 09.01.1992, Vol. 16, No. 6, betr. JP-A2-3-232530 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2453979C1 (ru) * | 2010-12-27 | 2012-06-20 | Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" | Низкоиндуктивный высоковольтный вакуумный переход |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5478524A (en) | 1995-12-26 |
| US5683523A (en) | 1997-11-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE4327816A1 (de) | Superhochvakuumgefäß und dessen Abdichtungsstruktur | |
| DE69014085T2 (de) | Oxidationsbeständige Legierungen mit niedrigem Ausdehnungskoeffizient. | |
| DE3884887T2 (de) | Schwermetallegierungen aus Wolfram-Nickel-Eisen-Kobalt mit hoher Härte und Verfahren zur Herstellung dieser Legierungen. | |
| DE3917793C2 (de) | Titan-Aluminium-Legierungen mit Chrom- und Niob-Zusätzen | |
| DE69317971T2 (de) | Superlegierung mit eingestelltem Wärmeausdehnungskoeffizienten | |
| DE602005001248T2 (de) | Verfahren zur Reduzierung des Sauerstoffgehalts eines Pulvers und das daraus hergestellte Produkt. | |
| EP3775308B1 (de) | Verwendung einer nickel-chrom-eisen-aluminium-legierung | |
| DE3881979T2 (de) | Legiertes Stahlpulver für Pulvermetallurgische Verfahren. | |
| CH694401A5 (de) | Nickelarmer, molybdänarmer, biokompatibler, nicht Allergie auslösender, korrosionsbeständiger austenitischer Stahl. | |
| EP1017867B1 (de) | Legierung auf aluminiumbasis und verfahren zu ihrer wärmebehandlung | |
| EP0574727A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines hochtemperatur-festen Bauteils aus zwei unterschiedlichen Werkstoffen | |
| DE19756354A1 (de) | Schaufel und Verfahren zur Herstellung der Schaufel | |
| EP0570072B1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Legierung auf Chrombasis | |
| DE2729435A1 (de) | Durchnitriertes rostfreies stahlband und -blech | |
| EP4092142A1 (de) | Verfahren zum herstellen eines blechbauteils aus einem mit einer korrosionsschutzbeschichtung versehenen stahlflachprodukt | |
| DE1608157B1 (de) | Korrosionsfester Verbundwerkstoff fuer Konstruktionsteile und Brennelementhuellen in Kernreaktoren | |
| AT404141B (de) | Schwermetallegierung und verfahren zu ihrer herstellung | |
| DE1608243A1 (de) | Legierung und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
| DE2638793B2 (de) | Verwendung einer bei hohen Temperaturen gegen Oxydation hxxochbeständigen Nickellegierung | |
| DE2324937A1 (de) | Aushaertbare dispersionsverfestigte nickel-eisen-chrom-legierung | |
| DE68911566T2 (de) | Oxydationsbeständige Legierung. | |
| DE3787510T2 (de) | Mit Titan überzogener Stahl und Verfahren zu dessen Herstellung. | |
| DE102018130945A1 (de) | Eisen-chrom-nickel-bor-legierung | |
| DE4035114C2 (de) | Fe-Cr-Ni-Al Ferritlegierungen | |
| US5411700A (en) | Fabrication of gamma titanium (tial) alloy articles by powder metallurgy |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| 8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |