JPS60128258A - 真空用アルミニウム材の製造法 - Google Patents
真空用アルミニウム材の製造法Info
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- JPS60128258A JPS60128258A JP23808183A JP23808183A JPS60128258A JP S60128258 A JPS60128258 A JP S60128258A JP 23808183 A JP23808183 A JP 23808183A JP 23808183 A JP23808183 A JP 23808183A JP S60128258 A JPS60128258 A JP S60128258A
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- Japan
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- gas
- aluminum
- aluminum material
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
- C23C8/10—Oxidising
- C23C8/12—Oxidising using elemental oxygen or ozone
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/02—Pretreatment of the material to be coated
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、tcとえばシンクロトロンなどの加速器に
使用される粒子加速用パイプ(ビーム・ライン)、il
膜製造装置、表面分析装置、核融合装置などの真空装置
に用いられるアルミニウム材の製造法に関する。
使用される粒子加速用パイプ(ビーム・ライン)、il
膜製造装置、表面分析装置、核融合装置などの真空装置
に用いられるアルミニウム材の製造法に関する。
この明細書において、アルミニウムとはアルミニウムお
よびその合金を含むものとする。
よびその合金を含むものとする。
上記粒子加速用パイプの材料には、主としてステンレス
が使用されていたが、最近になってアルミニウムがこの
用途に注目され、使用されるようになってきている。そ
の理由は、アルミニウムの方がステンレスに較べて誘導
放射能を生じにくくかつ生じても減衰時間が速いこと、
熱伝導性および電気伝導性が良好であること、表面のガ
ス放出係数が小さいこと、軒昂であること、加工性が良
いことなどの点で優れているからである。この粒子加速
用パイプの内部は、粒子を高速で通す必要性のために、
高真空に保たなければならない。したがって、いかにし
てパイプ内部を高真空にするかによって、その性能が左
右される。また、上記薄膜製造装置の真空槽の内張用板
の材料にも、ステンレスが使用されていたが、熱伝導性
および電気伝導性が良好であること、表面のガス放出係
数が小さいこと、軽量であること、加工性が良いことな
どの点で優れているとの理由で、アルミニウムが使用さ
れるようになっている。さらに、上記した他の真空装置
の真空部にもアルミニウム材が使用されるようになって
いる。そして、薄膜製造装置の真空槽内および他の真空
装置の真空部内も高真空にする必要がある。
が使用されていたが、最近になってアルミニウムがこの
用途に注目され、使用されるようになってきている。そ
の理由は、アルミニウムの方がステンレスに較べて誘導
放射能を生じにくくかつ生じても減衰時間が速いこと、
熱伝導性および電気伝導性が良好であること、表面のガ
ス放出係数が小さいこと、軒昂であること、加工性が良
いことなどの点で優れているからである。この粒子加速
用パイプの内部は、粒子を高速で通す必要性のために、
高真空に保たなければならない。したがって、いかにし
てパイプ内部を高真空にするかによって、その性能が左
右される。また、上記薄膜製造装置の真空槽の内張用板
の材料にも、ステンレスが使用されていたが、熱伝導性
および電気伝導性が良好であること、表面のガス放出係
数が小さいこと、軽量であること、加工性が良いことな
どの点で優れているとの理由で、アルミニウムが使用さ
れるようになっている。さらに、上記した他の真空装置
の真空部にもアルミニウム材が使用されるようになって
いる。そして、薄膜製造装置の真空槽内および他の真空
装置の真空部内も高真空にする必要がある。
従来、粒子加速用パイプや他の真空装置の真空部の内部
を高真空にするために、これらの真空部に面したアルミ
ニウム材の表面を有機溶剤等により脱脂処理した後、約
150℃で24時間程度の加熱脱ガス処理を繰返して行
ったり、この処理と組合わせて水素ガス、アルゴンガス
、酸素ガスなどの中での放電洗浄を行っていたが、この
ような作業が長時間を要して非能率的であるうえに、真
空度の点にa3いても未だ充分に満足し得るものではな
かった。
を高真空にするために、これらの真空部に面したアルミ
ニウム材の表面を有機溶剤等により脱脂処理した後、約
150℃で24時間程度の加熱脱ガス処理を繰返して行
ったり、この処理と組合わせて水素ガス、アルゴンガス
、酸素ガスなどの中での放電洗浄を行っていたが、この
ような作業が長時間を要して非能率的であるうえに、真
空度の点にa3いても未だ充分に満足し得るものではな
かった。
真空装置内部の高い真空度を保持りるためには、製品に
なった後における真空部に面したアルミニウム材の表面
からの放出ガスを減らずことが重要である。この点につ
き本発明者らは実験研究を重ねた結果、アルミニウム材
表面の皮膜状態が真空度に大きく影響を与えるものと考
えるに至った。
なった後における真空部に面したアルミニウム材の表面
からの放出ガスを減らずことが重要である。この点につ
き本発明者らは実験研究を重ねた結果、アルミニウム材
表面の皮膜状態が真空度に大きく影響を与えるものと考
えるに至った。
アルミニウムは周知のよう・に、非常に酸化され易い金
属であり、酸素と触れると表面に酸化膜が形成される。
属であり、酸素と触れると表面に酸化膜が形成される。
またアルミニウムが水、湿気などの水分の存在する環境
下に置かれると、その表面に水和酸化膜が生成する。そ
して水和酸化物の生成反応の温度が高い程水和酸化膜の
成長は著しく、高温環境ではアルミニウム表面にベーマ
イト(擬ベーマイト)またはバイアライトなどの水和酸
化膜が形成される。このような水和酸化膜の膜質は、水
分の存在しない環境で形成されるアルミニウム酸化膜に
較べて非常に粗で多孔質状でありかつその孔形態も複雑
にいり込んでいる。加えて膜厚も厚い。
下に置かれると、その表面に水和酸化膜が生成する。そ
して水和酸化物の生成反応の温度が高い程水和酸化膜の
成長は著しく、高温環境ではアルミニウム表面にベーマ
イト(擬ベーマイト)またはバイアライトなどの水和酸
化膜が形成される。このような水和酸化膜の膜質は、水
分の存在しない環境で形成されるアルミニウム酸化膜に
較べて非常に粗で多孔質状でありかつその孔形態も複雑
にいり込んでいる。加えて膜厚も厚い。
ところで、通−常の押出加工により成形されたアルミニ
ウム材の表面には、成形特水分を含んだ大気(酸素)と
の接触により水和酸化膜が生成され、しかもこの水和酸
化膜は、成形特高温にさらされるため、水和酸化膜の生
成反応が促進されて厚膜となっている。この水和酸化膜
の膜質は上述のとおり多孔質状であり、かつ厚膜である
ために皮膜に多くの水分が吸着する。しかも皮膜がちみ
つさに欠()るために、成形後においても大気中に存在
する水分、ハイドロカーボン、二酸化炭素および一酸化
炭素などの真空度低下物質が皮膜に吸着する。このよう
な真空度低下物質は、前記ガス中における放電洗浄時や
真空引き時においてすらなお若干存在しているために前
記同様皮膜に吸着する。しかもこれは水和酸化膜が=L
記のようなものであるために、皮膜内にいわば吸蔵され
た形態になる。その結果これの脱離が困難な状態となり
、真空引きを行なってもなかなか除去できない。したが
って、これがアルミニウム材の真空度向上阻害の原因に
なっていると思われる。また、成形後のアルミニウム材
の機械的強度を高めるために、高温加熱後、水冷および
空冷などの焼入れ処理や、熱処理が行なわれるが、この
さいにも成形時に形成された上述の水和酸化膜はさらに
成長するとともにすでに吸着されている真空度低下物質
は皮膜に内蔵される形となる。
ウム材の表面には、成形特水分を含んだ大気(酸素)と
の接触により水和酸化膜が生成され、しかもこの水和酸
化膜は、成形特高温にさらされるため、水和酸化膜の生
成反応が促進されて厚膜となっている。この水和酸化膜
の膜質は上述のとおり多孔質状であり、かつ厚膜である
ために皮膜に多くの水分が吸着する。しかも皮膜がちみ
つさに欠()るために、成形後においても大気中に存在
する水分、ハイドロカーボン、二酸化炭素および一酸化
炭素などの真空度低下物質が皮膜に吸着する。このよう
な真空度低下物質は、前記ガス中における放電洗浄時や
真空引き時においてすらなお若干存在しているために前
記同様皮膜に吸着する。しかもこれは水和酸化膜が=L
記のようなものであるために、皮膜内にいわば吸蔵され
た形態になる。その結果これの脱離が困難な状態となり
、真空引きを行なってもなかなか除去できない。したが
って、これがアルミニウム材の真空度向上阻害の原因に
なっていると思われる。また、成形後のアルミニウム材
の機械的強度を高めるために、高温加熱後、水冷および
空冷などの焼入れ処理や、熱処理が行なわれるが、この
さいにも成形時に形成された上述の水和酸化膜はさらに
成長するとともにすでに吸着されている真空度低下物質
は皮膜に内蔵される形となる。
また、圧延加工により成形される板材、箔材の表面には
、真空度低下物質である圧延油が付着しているとともに
、圧延時および焼鈍時に多孔質状の水和酸化膜が生成し
ている。さらに、プレス加工により成形されるプレス成
形品にも真空度低下物質である加工油が付着していると
ともに、水和酸化膜が生成している。
、真空度低下物質である圧延油が付着しているとともに
、圧延時および焼鈍時に多孔質状の水和酸化膜が生成し
ている。さらに、プレス加工により成形されるプレス成
形品にも真空度低下物質である加工油が付着していると
ともに、水和酸化膜が生成している。
真空装置に用いられる種々のアルミニウム材のうち、シ
ンクロトロンなどの加速器に使用される粒子加速用パイ
プとして用いられるアルミニウム製中空押出型材につい
ては、本出願人は先に、アルミニウム押出型材を押出成
形するにあたり、型材の内面を空気と連断Jることを特
徴とする製造法を提案した(特願昭56−1’7755
2号)。しかしながら、この製造法は、中空状の押出形
材には好適な方法であるが、圧延により成形される板材
、箔等の製品、プレス成形品および中実の押出型材には
適用づ−ることができない。
ンクロトロンなどの加速器に使用される粒子加速用パイ
プとして用いられるアルミニウム製中空押出型材につい
ては、本出願人は先に、アルミニウム押出型材を押出成
形するにあたり、型材の内面を空気と連断Jることを特
徴とする製造法を提案した(特願昭56−1’7755
2号)。しかしながら、この製造法は、中空状の押出形
材には好適な方法であるが、圧延により成形される板材
、箔等の製品、プレス成形品および中実の押出型材には
適用づ−ることができない。
この発明の目的は、上記の問題を解決した高真空で用い
るのに好適な真空用アルミニウム材の製造法を提供する
ことにある。
るのに好適な真空用アルミニウム材の製造法を提供する
ことにある。
この発明による真空用アルミニウム材の製造法は、加工
済のアルミニウム材の表面にドライエツチングを施して
清浄でかつ水和酸化膜が除去された乾燥面とした後、こ
のアルミニウム材を水分を含んだ大気と接触しないよう
な酸素含有ガス雰囲気中で加熱し、アルミニウム材の表
面に酸化皮膜を形成することを特徴とするものである。
済のアルミニウム材の表面にドライエツチングを施して
清浄でかつ水和酸化膜が除去された乾燥面とした後、こ
のアルミニウム材を水分を含んだ大気と接触しないよう
な酸素含有ガス雰囲気中で加熱し、アルミニウム材の表
面に酸化皮膜を形成することを特徴とするものである。
上記において、加工済のアルミニ・クム材としては、押
出成形、圧延、プレス成形などにより形成された型材、
棒材、板材、箔、プレス成形品などがあげられる。
出成形、圧延、プレス成形などにより形成された型材、
棒材、板材、箔、プレス成形品などがあげられる。
上記において、ドライエツチングの具体例としては、放
電洗浄、反応性ガスエツチング、プラズマエツヂング、
反応性イオンエツチング、反応性イオンビーム・エツチ
ング、イオンビーム・エツチング、反応性レーザビーム
・エツチングなどをあげることができる。ドライエツチ
ングにより加工済アルミニウム材の表面を清浄でかつ水
和酸化膜が除去された乾燥面とする場合には、酸洗浄や
アルカリ洗浄によって加工油を洗い流すとともに水和酸
化膜を除去する場合のように、洗浄後の乾燥工程を必要
としない。
電洗浄、反応性ガスエツチング、プラズマエツヂング、
反応性イオンエツチング、反応性イオンビーム・エツチ
ング、イオンビーム・エツチング、反応性レーザビーム
・エツチングなどをあげることができる。ドライエツチ
ングにより加工済アルミニウム材の表面を清浄でかつ水
和酸化膜が除去された乾燥面とする場合には、酸洗浄や
アルカリ洗浄によって加工油を洗い流すとともに水和酸
化膜を除去する場合のように、洗浄後の乾燥工程を必要
としない。
上記において、アルミニウム材の表面を清浄でかつ水和
酸化膜が除去された乾燥面どした後、このアルミニウム
材を水分を含んだ大気と接触しないような酸素含有ガス
雰囲気中で加熱してその表面に酸化皮膜を形成する方法
としては、つぎの3つの方法をあげることができる。
酸化膜が除去された乾燥面どした後、このアルミニウム
材を水分を含んだ大気と接触しないような酸素含有ガス
雰囲気中で加熱してその表面に酸化皮膜を形成する方法
としては、つぎの3つの方法をあげることができる。
その1は、酸素0.5〜30vo/%とくに1〜1Ov
01%を含み、残部不活性ガスまたはアルミニウムに対
して不活性なガスよりなる混合ガス雰囲気中で加熱する
方法である。不活性ガスとしては、アルゴンa3よびヘ
リウムが一般的である。アルミニウムに対しで不活性な
ガスとしてはチッ素ガスが一般的である。
01%を含み、残部不活性ガスまたはアルミニウムに対
して不活性なガスよりなる混合ガス雰囲気中で加熱する
方法である。不活性ガスとしては、アルゴンa3よびヘ
リウムが一般的である。アルミニウムに対しで不活性な
ガスとしてはチッ素ガスが一般的である。
その2は、上記において、不活性ガス雰囲気中またはチ
ッ素ガス雰囲気中で加熱づる方法である。市販の不活性
ガスおよびチッ素ガスまたは工業的に得られる不活性ガ
スおよびチッ素ガスには微量の酸素が含まれている。
ッ素ガス雰囲気中で加熱づる方法である。市販の不活性
ガスおよびチッ素ガスまたは工業的に得られる不活性ガ
スおよびチッ素ガスには微量の酸素が含まれている。
その3は、真空雰囲気中で加熱する方法である。真空雰
囲気中にも微量の酸素は含まれている。
囲気中にも微量の酸素は含まれている。
この3つの方法において、加熱温度を120〜500℃
とくに200〜300℃とし、加熱時間を0.1〜24
時間とくに0.5〜6時間とするのがよい。上記200
〜300℃の加熱処理は、熱処理用アルミニウム合金の
場合には時効処理を、非熱処理用アルミニウム合金の場
合には安定化処理を兼ねることができる。ちなみに、加
熱温度が120.’C未満では酸化皮膜の形成がうまく
いかず、500℃を越えると非結晶質皮膜の一部が結晶
化して混在した状態となりちみつな皮膜が形成されなく
なるおそれがある。
とくに200〜300℃とし、加熱時間を0.1〜24
時間とくに0.5〜6時間とするのがよい。上記200
〜300℃の加熱処理は、熱処理用アルミニウム合金の
場合には時効処理を、非熱処理用アルミニウム合金の場
合には安定化処理を兼ねることができる。ちなみに、加
熱温度が120.’C未満では酸化皮膜の形成がうまく
いかず、500℃を越えると非結晶質皮膜の一部が結晶
化して混在した状態となりちみつな皮膜が形成されなく
なるおそれがある。
上記3つのいずれの方法でも、アルミニウム材の表面が
水分を含んだ大気ど接触することが防がれるので、その
表面に水和酸化膜が生成づることはない。そして、これ
らの方法では活性なアルミニウム表面にらみって薄い酸
化膜が生成する。第1の方法では、酸化膜の厚さは20
〜60A程度のものが得られ、第2の方法ではこれより
も膜厚は薄くなる。なお、第3の方法では、露点管理が
困難であるため、vAlおよび第2の方法が好ましい、
。
水分を含んだ大気ど接触することが防がれるので、その
表面に水和酸化膜が生成づることはない。そして、これ
らの方法では活性なアルミニウム表面にらみって薄い酸
化膜が生成する。第1の方法では、酸化膜の厚さは20
〜60A程度のものが得られ、第2の方法ではこれより
も膜厚は薄くなる。なお、第3の方法では、露点管理が
困難であるため、vAlおよび第2の方法が好ましい、
。
従来の方法で製造されたアルミニウム材では、このアル
ミニウム材を用いた真空装置の輿空部の真空度が充分満
足しうるまで高くない理由は、上述したようにアルミニ
ウム表面に水和酸化膜が形成せられており、この水和酸
化膜に吸蔵された状態になっている真空度低下物質が真
空部内に放出されるからである。
ミニウム材を用いた真空装置の輿空部の真空度が充分満
足しうるまで高くない理由は、上述したようにアルミニ
ウム表面に水和酸化膜が形成せられており、この水和酸
化膜に吸蔵された状態になっている真空度低下物質が真
空部内に放出されるからである。
この発明による真空用アルミニウム材の製造法は、加工
済のアルミニウム材の表面にドライエツチングを施して
清浄でかつ水和酸化膜が除去された乾燥面とした後、こ
のアルミニウム材を水分を含んだ人気と接触しないよう
な酸素含有ガス雰囲気中ぐ加熱し、アルミニウム材の表
面に酸化皮膜を形成するものであるから、アルミニウム
材表面に問題のある水和酸化物が生成せず、代わりにち
みつな酸化皮膜が形成せられているため、水和酸化膜に
較べて真空度低下物質の吸着、吸蔵は著しく少なく、か
つ吸着、吸蔵されていても脱ガス処理により簡単にこれ
を除去することができる。したがって、真空度低下物質
が真空装置の真空部内に放出される聞が非常に少なくな
り、高真空度を保つことができるし、従来のように真空
度を高めるための面倒な作業を省略ないし軽減すること
ができる。また、アルミニウム材の表面にはちみつな酸
化皮膜が形成されているため、その後の工程で大気と接
触したとしても、真空度低下物質の吸着を防止するとと
もに、水和酸化膜の生成を抑制することができる。
済のアルミニウム材の表面にドライエツチングを施して
清浄でかつ水和酸化膜が除去された乾燥面とした後、こ
のアルミニウム材を水分を含んだ人気と接触しないよう
な酸素含有ガス雰囲気中ぐ加熱し、アルミニウム材の表
面に酸化皮膜を形成するものであるから、アルミニウム
材表面に問題のある水和酸化物が生成せず、代わりにち
みつな酸化皮膜が形成せられているため、水和酸化膜に
較べて真空度低下物質の吸着、吸蔵は著しく少なく、か
つ吸着、吸蔵されていても脱ガス処理により簡単にこれ
を除去することができる。したがって、真空度低下物質
が真空装置の真空部内に放出される聞が非常に少なくな
り、高真空度を保つことができるし、従来のように真空
度を高めるための面倒な作業を省略ないし軽減すること
ができる。また、アルミニウム材の表面にはちみつな酸
化皮膜が形成されているため、その後の工程で大気と接
触したとしても、真空度低下物質の吸着を防止するとと
もに、水和酸化膜の生成を抑制することができる。
つぎに、この発明の実施例について説明する。
A1100からなる圧延仮にアルゴンガスを用いた放電
洗浄(グロー1Ji電)を施しC1圧延板の表面を清浄
でかつ水和酸化膜が除去された乾燥面とした。その後、
酸素20v01%、残部アルゴンからなる混合ガス雰囲
気中で、270℃で4時間加熱した。
洗浄(グロー1Ji電)を施しC1圧延板の表面を清浄
でかつ水和酸化膜が除去された乾燥面とした。その後、
酸素20v01%、残部アルゴンからなる混合ガス雰囲
気中で、270℃で4時間加熱した。
この圧延板の表面には厚さ約40Aのちみつな酸化膜が
形成されており、この圧延板に加熱脱ガス処理を施して
ガス放出率を測定したところ、2X10 ” l’−o
rr 、 l/s 0cm2の良好な値を得た。
形成されており、この圧延板に加熱脱ガス処理を施して
ガス放出率を測定したところ、2X10 ” l’−o
rr 、 l/s 0cm2の良好な値を得た。
以 上
外4名
Claims (1)
- 加工済のアルミニウム材の表面にドライエツチングを施
して清浄でかつ水和酸化膜が除去された乾燥面とした後
、このアルミニウム材を水分を含んだ大気と接触しない
ような酸素含有ガス雰囲気中で加熱し、アルミニウム材
の表面に酸化皮膜を形成することを特徴とする真空用ア
ルミニウム材の製造法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23808183A JPS60128258A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 真空用アルミニウム材の製造法 |
EP84115294A EP0146115B1 (en) | 1983-12-16 | 1984-12-12 | Process for producing aluminum material for use in vacuum |
DE8484115294T DE3476818D1 (en) | 1983-12-16 | 1984-12-12 | Process for producing aluminum material for use in vacuum |
US06/682,456 US4615747A (en) | 1983-12-16 | 1984-12-17 | Process for producing aluminum material for use in vacuum |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23808183A JPS60128258A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 真空用アルミニウム材の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60128258A true JPS60128258A (ja) | 1985-07-09 |
JPS6140747B2 JPS6140747B2 (ja) | 1986-09-10 |
Family
ID=17024871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23808183A Granted JPS60128258A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 真空用アルミニウム材の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60128258A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60152666A (ja) * | 1984-01-23 | 1985-08-10 | Showa Alum Corp | 真空用アルミニウム材の製造法 |
US5478524A (en) * | 1992-08-24 | 1995-12-26 | Nissan Motor Co., Ltd. | Super high vacuum vessel |
EP1593751A1 (en) * | 2003-01-14 | 2005-11-09 | Tokyo Electron Limited | Member of apparatus for plasma treatment, member of treating apparatus, apparatus for plasma treatment, treating apparatus and method of plasma treatment |
EA018194B1 (ru) * | 2010-03-30 | 2013-06-28 | Общество С Дополнительной Ответственностью "Белчима" | Линия и способ изготовления изделий из алюминиевых сплавов с декоративно-защитным металлическим покрытием |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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-
1983
- 1983-12-16 JP JP23808183A patent/JPS60128258A/ja active Granted
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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