DE4312409A1

DE4312409A1 - Verfahren zur Herstellung elektronischer Bauteile und einstellbarer Kondensator

Info

Publication number: DE4312409A1
Application number: DE4312409A
Authority: DE
Inventors: Hiroyuki Kishishita; Yukio Hatanaka; Yukinori Ueda
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1992-04-16
Filing date: 1993-04-16
Publication date: 1993-10-28
Anticipated expiration: 2013-04-17
Also published as: KR940006159A; US5423930A; US5424906A; KR100254146B1; DE4312409B4

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils, bei dem ein Kera miklaminat verwendet wird. Die vorliegende Erfindung bezieht sich auch auf den Aufbau eines einstellbaren Kondensators.

Ein einstellbarer Kondensator zum Beispiel, der für einen Trimmerkondensator verwendet wird, umfaßt typischerweise eine Statorelektrode, eine Rotorelektrode, die bezüglich derselben gedreht wird, und ein Dielektrikum, welches zwi schen der Statorelektrode und der Rotorelektrode angeordnet ist. Das Dielektrikum ist zum Beispiel ein keramisches Di elektrikum.

Um den Bereich der Regulierung der Kapazität eines solchen einstellbaren Kondensators zu vergrößern, ist es nötig, die maximal erreichbare Kapazität zu erhöhen. Zu diesem Zweck wird das Dielektrikum, das zwischen der Statorelektrode und der Rotorelektrode angeordnet ist, in seiner Dicke redu ziert. Wenn das Dielektrikum jedoch aus einem keramischen Dielektrikum besteht, kann seine Dicke nicht stark verrin gert werden, da es eine relativ geringe mechanische Festig keit besitzt.

Um dieses Problem zu lösen, wird entweder die Statorelek trode oder die Rotorelektrode im Innern des keramischen Dielektrikums ausgebildet. Somit wird die Dicke des kerami schen Dielektrikums erhöht, um seine mechanische Festigkeit zu verbessern, während die Statorelektrode und die Rotorele ktrode sich nur durch einen Teil des keramischen Dielektri kums gegenüberstehen, so daß der Abstand zwischen ihnen reduziert ist, wodurch eine hohe maximale Kapazität erreicht wird.

In Bezug auf einen einstellbaren Kondensator des vorgenann ten Typs, der eine Statorelektrode oder eine Rotorelektrode umfaßt, die im Innern eines keramischen Dielektrikums ausge bildet ist, beschreibt zum Beispiel die japanische Ge brauchsmusterveröffentlichung Nr. 63-5223 (1988) insbesonde re einen einstellbaren Kondensator mit einer Statorelektro de, die im Innern eines keramischen Dielektrikums ausgebil det ist. Bei diesem einstellbaren Kondensator bildet das ke ramische Dielektrikum mit der darin geschaffenen Statorelek trode einen Stator, der eines der Grundelemente des ein stellbaren Kondensators ist, während ein Anschluß auf der Oberfläche dieses Stators von einem Leiterfilm gebildet wird, so daß er leitend mit der Statorelektrode verbunden ist.

Außerdem ist in der Unterseite des Stators, der von dem keramischen Dielektrikum gebildet wird, ein konkaver Abschnitt ausgebildet, so daß ein Eingriffsglied, das auf einer Abdeckung zum drehbaren Aufnehmen eines Rotors, der die Rotorelektrode bildet, geschaffen ist, in diesen konkaven Abschnitt eingreift. Daher steht das Eingriffsglied nicht über die Unterseite des Stators vor, wodurch der einstellbare Kondensator ohne Probleme auf eine Leiterplatte aufgelötet werden kann.

Es grundsätzlich möglich, den oben genannten Stator, der von einem keramischen Dielektrikum gebildet wird, in dem eine Statorelektrode ausgebildet ist, durch ein Verfahren zur Herstellung eines Mehrlagen-Keramikkondensators herzustel len. Das Verfahren zur Herstellung eines Mehrlagen-Keramik kondensators kann jedoch aufgrund des Vorhandenseins des konkaven Abschnitts, welcher für einen Mehrlagen-Keramikkon densator nicht nötig ist, nicht einfach angewendet werden. Während die oben genannte Druckschrift kein Verfahren zum Erhalten eines solchen Stators beschreibt, kann ein kerami sches Dielektrikum zum Bilden eines Stators in einer Stadium vor dem Hartbrennen mit einer Form zum Definieren eines konkaven Abschnitts versehen werden, um dann gebrannt zu werden. Bei diesem Verfahren ist jedoch zu erwarten, daß ein spezifischer Schritt zum Ausbilden des konkaven Bereichs er forderlich ist, wobei eine spezifische Form oder Ausrüstung erforderlich ist, was zu einer Kostenerhöhung für den Stator führt.

Während ein Problem des herkömmlichen Herstellungsverfahren mit Bezug auf einen ein einstellbaren Kondensator beschrie ben wurde, ist ein solches Problem nicht spezifisch für den einstellbaren Kondensator, sondern kann auch bei der Her stellung eines elektronischen Bauteils auftreten, bei dem ein Keramiklaminat verwendet wird, das mit einem konkaven Abschnitt versehen ist, wie zum Beispiel eines Durchfüh rungskondensators, eines Kondensatornetzwerkes, eines Hoch spannungskondensators oder eines Halbleiterpakets (semicon ductor package). Dieses Problem ist besonders schwerwiegend, wenn der konkave Abschnitt eine komplizierte Form besitzt.

Folglich ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein ver bessertes Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils, bei dem ein Keramiklaminat verwendet wird, wie z. B. eines einstellbaren Kondensators, bereitzustellen, welches angepaßt ist, um die Herstellung eines Keramiklami nats, insbesondere eines, das mit einem konkaven Abschnitt versehen ist, durch ein Verfahren zu ermöglichen, das im wesentlichen demjenigen zur Herstellung eines gewöhnlichen Mehrlagen-Keramikkondensators ähnelt.

Bei dem in der oben genannten Druckschrift beschriebenen einstellbaren Kondensator wird außerdem die Statorelektrode von zwei halbkreisförmigen getrennten Elektroden gebildet, während die Rotorelektrode ebenfalls von zwei halbkreisför migen getrennten Elektroden gebildet wird. Der von dem kera mischen Dielektrikum mit der darin befindlichen Statorelek trode gebildete Stator ist mit zwei Anschlußelektroden ver sehen, um als Anschlüsse zu dienen, welche jeweils leitend mit den beiden getrennten Elektroden, die die Statorelektro de bilden, verbunden sind.

Gemäß diesem einstellbaren Kondensator bilden daher die beiden getrennten Elektroden, die die Statorelektrode bilden, und die, die die Rotorelektrode bilden, insgesamt vier elektrostatische Kapazitäten. Bei diesen elektrostati schen Kapazitäten bilden die erste und zweite Kapazität eine Reihenschaltung, während die dritte und vierte Kapazität eine weitere Reihenschaltung bilden, so daß zwei Reihenschaltun gen parallel miteinander verbunden sind.

Der einstellbare Kondensator mit dem oben genannten Aufbau wirft jedoch folgende zu lösende Probleme auf:

Erstens kann die maximale Kapazität nicht nennenswert erhöht werden. Da die Statorelektrode und die Rotorelektrode jeweils von getrennten Elektroden gebildet werden, so daß Paare der so gebildeten vier Kapazitäten jeweils miteinander in Reihe verbunden sind, wird die maximale Kapazität nur von einer elektrostatischen Kapazität geliefert, welche erreicht wird, wenn viertelkreisförmige Elektroden einander gegen überstehen. Eine solche maximale Kapazität ist nur halb so groß wie die eines gewöhnlichen einstellbaren Kondensators, welche von einer elektrostatischen Kapazität geliefert wird, die erreicht wird, wenn halbkreisförmige Elektroden einander gegenüberstehen.

Außerdem wird die Kapazität von ihrem Minimum auf ihr Maximum durch eine 90°-Drehung des Rotors erhöht, da die Statorelektrode und die Rotorelektrode jeweils von geteilten Elektroden gebildet werden. Andererseits wird bei einem gewöhnlichen einstellbaren Kondensator die Kapazität von ihrem Minimum auf ihr Maximum durch eine 180°-Drehung des Rotors erhöht. Daher hat der oben genannte einstellbare Kondensator eine geringe Auflösung bei der Einstellung der Kapazität, und die Kapazität ist relativ schwierig einzu stellen.

Weiterhin muß der Rotor, der die Rotorelektrode bildet, welche von getrennten Elektroden gebildet wird, aus einem isolierenden Material, wie z. B. Keramik oder Harz, herge stellt werden. Andererseits ist bei einem gewöhnlichen ein stellbaren Kondensator solch ein Rotor aus Metall herge stellt, um eine Rotorelektrode in einem Stück zu bilden. Bei dem oben genannten einstellbaren Kondensator ist daher ein Arbeitsschritt zum Erhalten eines solchen Rotors im Ver gleich mit dem üblichen kompliziert.

Außerdem ist die Abdeckung zum drehbaren Aufnehmen des Ro tors nicht mit einer Feder versehen, um den Rotor gegen den Stator zu drücken. Daher erscheint eine Streuung in den Ab messungen der Abdeckung, des Rotors und des Stators als Streuung bei der Kraft zum Drücken des Rotors gegen den Sta tor, und folglich können das Drehmoment des Rotors und die Kapazität destabilisiert werden.

Demgemäß ist es eines weitere Zielsetzung der vorliegenden Erfindung, die oben genannten Probleme bei einem einstell baren Kondensator, der einen Stator umfaßt, welcher von einem keramischen Dielektrikum mit einer darin geschaffenen Statorelektrode gebildet wird, zu lösen.

Ein einstellbarer Kondensator gemäß der vorliegenden Erfin dung umfaßt einen Stator aus einem keramischen Dielektrikum, in dessen Innerem eine Statorelektrode geschaffen ist, der wenigstens auf seiner Seitenfläche mit einem Anschluß ver sehen ist, so daß er leitend mit der Statorelektrode ver bunden ist, und der einen konkaven Abschnitt aufweist, der in einer Kante seiner Unterseite nach innen hin ausgebildet ist. Der Rotor ist auf der Oberfläche dieses Stators ange ordnet. Der Rotor, der aus einem Metall hergestellt ist, ist an seiner Unterseite mit einer Rotorelektrode, so daß sie der Statorelektrode gegenübersteht, und in seiner Oberseite mit einer Treibernut (driver groove) versehen. Der Rotor wird drehbar von einer Abdeckung aus Metall aufgenommen, die mit ihm in Kontakt steht. Die Abdeckung weist in ihrer Unterseite eine Öffnung auf, die mit dem Stator bedeckt ist, und ist in ihrer Oberseite mit einem Einstelloch versehen, um die Treibernut freizulegen. Ein Federteil ist auf einem Umfangskantenabschnitt des Einstellochs geschaffen, um den Rotor gegen den Stator zu drücken. Um die Öffnung, die in der Unterseite der Abdeckung geschaffen ist, in einem Zustand zu halten, in dem sie mit dem Stator bedeckt ist, ist auf dieser Abdeckung ein Eingriffsglied geschaffen, um in den konkaven Abschnitt, der in der Unterseite des Stators ausgebildet ist, einzugreifen.

Das oben genannte Federteil kann durch ein Metallmaterial, das den Umfangskantenabschnitt des Einstellochs der Ab deckung definiert, einem Federring, der unabhängig von der Abdeckung verfertigt ist, oder beide dieser Elemente ge schaffen sein. Der Federring ist zwischen dem Umfangskan tenabschnitt des Einstellochs der Abdeckung und dem Rotor angeordnet.

Ein O-Ring kann zwischen dem Rotor und dem Stator angeordnet sein.

Wie nachfolgend beschrieben wird, wird der konkave Abschnitt des Stators vorzugsweise erhalten, indem eine Vielzahl von dünnen Schichten in dem keramischen Dielektrikum, die durch Hartbrennen durch Hohlräume erhalten wird, ausgebildet und die dünnen Schichten zerbrochen werden.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird eine einstellbare elektrostatische Kapazität zwischen einer Statorelektrode und einer Rotorelektrode gebildet, die sich durch einen Teil des Stators aus einem keramischen Dielektrikum gegenüber stehen. Diese elektrostatische Kapazität wird durch den Anschluß, der auf der Seitenfläche des Stators ausgebildet ist, um leitend mit der Statorelektrode verbunden zu sein, und die Abdeckung aus Metall, die mit dem Rotor in Kontakt steht, abgegriffen.

Somit ist gemäß der vorliegenden Erfindung die effektiv ge genüberliegende Fläche der Statorelektrode und der Rotor elektrode, die die maximale Kapazität liefert, etwa die Hälfte der Fläche der Unterseite des Rotors, wodurch eine solche Fläche im Vergleich mit dem einstellbaren Kondensa tor, der in der oben genannten Druckschrift beschrieben ist, in Bezug auf Rotoren derselben Abmessungen verdoppelt wer den. Weiterhin kann die Größe des erfindungsgemäßen ein stellbaren Kondensators im Vergleich zum einstellbaren Kon densator, der in der Druckschrift beschrieben ist, reduziert werden, wenn der erstere angepaßt ist, eine maximale Kapa zität anzunehmen, die äquivalent zu der des letzteren ist.

Überdies wird die Kapazität von ihrem Minimum auf das Maxi mum durch eine 180°-Drehung des Rotors erhöht, wodurch die Auflösung bei der Einstellung der Kapazität im Vergleich mit dem einstellbaren Kondensator, der in der oben genannten Druckschrift beschrieben ist, verdoppelt wird, und die Kapa zität einfach einzustellen ist.

Aufgrund des Federteils, das auf der Abdeckung geschaffen ist, wird die Kraft zum Drücken des Rotors gegen den Stator stabilisiert. Daher werden das Drehmoment des Rotors und die elektrische Kapazität wie angenommen stabilisiert.

Weiterhin ist der Rotor aus Metall hergestellt, so daß die Rotorelektrode in einem Stück mit dem Rotor ausgebildet wer den kann, keine komplizierte Arbeit ist zum Erhalten des Ro tors erforderlich, und folglich eignet sich der erfindungs gemäße einstellbare Kondensator hervorragend für die Massen produktion.

Wenn ein O-Ring zwischen dem Rotor und dem Stator angeordnet wird, ist es möglich, einen einstellbaren Kondensator mit einem geschlossenen Aufbau zu erhalten. Somit ist es mög lich, das Einsickern von Lot, Flußmittel, Waschlösung u.ä. zu verhindern, wodurch der einstellbare Kondensator zum Beispiel durch Eintauchen in Lot auf einer Leiterplatte ähnlich wie andere elektronische Bauteile befestigt werden kann.

Wenn der konkave Abschnitt des Stators durch Bilden einer Vielzahl dünner Schichten in dem keramischen Dielektrikum, die durch Hartbrennen durch Hohlräumen hergestellt werden, und Zerbrechen der dünnen Schichten erhalten wird, ist es möglich, den konkaven Abschnitt effizient auszubilden.

Das oben genannte Verfahren zum Ausbilden eines konkaven Ab schnitts im Stator kann auch auf ein Verfahren zum Herstel len eines elektronischen Bauteils angewendet werden, bei dem ein Keramiklaminat verwendet wird, das mit einem konkaven Abschnitt versehen ist. Folglich richtet sich die vorliegen de Erfindung auch auf ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils, bei dem ein Keramiklaminat verwen det wird, das mit einem konkaven Abschnitt versehen ist. Das erfindungsgemäße Verfahren umfaßt die folgenden Schritte: In einem ersten Schritt wird ein Keramiklaminat mit einer Viel zahl von Abbrennfilmen (burnaway films) hergestellt, die aus einem Material bestehen, das durch Hartbrennen abgebrannt werden kann, die in Form von Schichten in einer Position geschaffen sind, die der des konkaven Abschnitts entspricht. In einem zweiten Schritt wird das Keramiklaminat gebrannt, um die Abbrennfilme abzubrennen, wodurch ein gesinterter Körper erhalten wird, der mit einer Vielzahl von Hohlräumen in Form von Schichten und einer Vielzahl von dünnen Schich ten, die durch die Vielzahl von Hohlräumen gebildet werden, versehen ist. In einem dritten Schritt werden die dünnen Schichten des gesinterten Körpers zerbrochen, um als Ergeb nis den konkaven Abschnitt zu bilden.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann das Keramiklaminat bei einem Verfahren erhalten werden, das im wesentlichen jenem für ein Keramiklaminat ähnlich ist, das zum Herstellen eines gewöhnlichen Mehrlagen-Keramikkondensators erzeugt wurde. Die Abbrennfilme können nämlich durch Drucken o. ä. gebildet werden, ähnlich den inneren Elektroden, die in einem Mehrlagen-Keramikkondensator ausgebildet sind. Außerdem kann auch ein Preßschritt ähnlich dem für einen Mehrlagen-Kera mikkondensator angewendet werden, um eine dichte Laminat struktur des Keramiklaminats zu erhalten.

Überdies kann das Keramiklaminat in ähnlicher Weise, wie der, die bei dem Mehrlagen-Keramikkondensator angewendet wird, gebrannt werden, um einen gesinterten Körper zu erhal ten.

Was das Verfahren zum Ausbilden des konkaven Abschnitts durch Zerbrechen der dünnen Schichten betrifft, ist es mög lich, direkt ein Brechverfahren, wie z. B. Trommelpolieren oder Sandstrahlen, anzuwenden, welches bei der Herstellung eines Mehrlagen-Keramikkondensators angewendet wird.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es folglich möglich, ein elektronisches Bauteil, bei dem ein Keramiklaminat ver wendet wird, welches mit einem konkaven Abschnitt versehen ist, durch eine bereits anerkanntes Verfahren zur Herstel lung eines gewöhnlichen Mehrlagen-Keramikkondensators herzu stellen. Daher erfordert die vorliegende Erfindung weder einen spezifischen Schritt noch eine spezifische Form oder Ausrüstung, um den konkaven Abschnitt auszubilden, wodurch ein solches elektronisches Bauteil bei geringen Kosten be reitgestellt werden kann.

Sogar wenn ein Teil des konkaven Abschnitts, der in dem Keramiklaminat geschaffen ist, eine krummlinige Form be sitzt, die schwer durch zum Beispiel Stanzen zu erhalten ist, ist es gemäß der vorliegenden Erfindung möglich, einen solchen konkaven Abschnitt äußerst einfach auszubilden.

Vorangehende und weitere Zielsetzungen, Merkmale, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der fol genden ausführlichen Beschreibung der vorliegenden Erfindung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen deutlicher. Es zeigen:

Fig. 1A eine Draufsicht, die einen einstellbaren Kondensator 1 gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 1B eine Querschnittsansicht entlang der Linie 1B-1B in Fig. 1A;

Fig. 1C eine Unterseitenansicht des in Fig. 1A gezeigten einstellbaren Kondensators 1;

Fig. 1D eine Querschnittsansicht entlang der Linie 1D-1D in Fig. 1A;

Fig. 2 eine Perspektivansicht des in Fig. 1A gezeigten einstellbaren Kondensators 1, von oben gesehen;

Fig. 3 eine Perspektivansicht des in Fig. 1A gezeigten einstellbaren Kondensators 1, von unten gesehen;

Fig. 4A eine Draufsicht, die den in dem in Fig. 1A gezeigten einstellbaren Kondensator 1 enthaltenen Stator 2 zeigt;

Fig. 4B eine Querschnittsansicht entlang der Linie 4B-4B in Fig. 4A;

Fig. 4C eine Unterseitenansicht des in Fig. 4A gezeigten Stators 2;

Fig. 4D eine Querschnittsansicht entlang der Linie 4D-4D in Fig. 4A;

Fig. 5 eine Perspektivansicht, die die Platten 14a bis 14e eines keramischen Dielektrikums zeigen, die erzeugt wurden, um den in Fig. 4A gezeigten Stator 2 zu erhalten;

Fig. 6A eine Querschnittsansicht, entsprechend einer Querschnittsansicht entlang der Linie VI-VI in Fig. 4A, die das Laminat 17 zeigt, das durch Stapeln der Platten 14a bis 14e und schneiden derselben erhalten wurde;

Fig. 6B eine vergrößerte Querschnittsansicht, die den eingekreisten Abschnitt in Fig. 6A zeigt;

Fig. 6C eine Querschnittsansicht entsprechend Fig. 6A, die einen gesinterten Körper 18 zeigt, der durch Hartbrennen des in Fig. 6A gezeigten Laminats 17 erhalten wurde;

Fig. 6D eine vergrößerte Querschnittsansicht, die den eingekreisten Abschnitt in Fig. 6B zeigt;

Fig. 6E eine Querschnittsansicht entsprechend Fig. 6C, die den polierten Zustand des gesinterten Körpers 18 zeigt;

Fig. 6F eine vergrößerte Querschnittsansicht, die den eingekreisten Abschnitt der Fig. 6E zeigt;

Fig. 7A eine Perspektivansicht des in dem in Fig. 1A gezeigten einstellbaren Kondensator 1 enthaltenen Rotors 3, von oben gesehen;

Fig. 7B eine Perspektivansicht des in Fig. 7A gezeigten Rotors 3, von unten gesehen;

Fig. 8A eine Draufsicht der in dem in Fig. 1A gezeigten einstellbaren Kondensator 1 enthaltenen Abdeckung 4;

Fig. 8B eine Querschnittsansicht entlang der Linie 8B-8B in Fig. 8A;

Fig. 8C eine Unterseitenansicht der in Fig. 8A gezeigten Abdeckung 4;

Fig. 8D eine Querschnittsansicht entlang der Linie 8D-8D in Fig. 8A;

Fig. 9A eine Draufsicht, die einen einstellbaren Kondensator 1a gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 9B eine Querschnittsansicht entlang der Linie 9B-9B der Fig. 9A;

Fig. 9C eine Unterseitenansicht des in Fig. 9A gezeigten einstellbaren Kondensators 1a;

Fig. 9D eine teilweise weggebrochene Aufrißansicht der rechten Seite des in Fig. 9A gezeigten einstellbaren Kondensators 1a;

Fig. 10 eine Querschnittsansicht entsprechend Fig. 9B, die einen einstellbaren Kondensator 1aa gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 11 eine Querschnittsansicht entsprechend Fig. 9B, die einen einstellbaren Kondensator 1ab gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 12 eine Aufrißansicht, die den Federring 37a zeigt, der anstelle des Federrings 37, der in jeder der zweiten bis vierten Ausführungsformen der vorlie genden Erfindung bereitgestellt ist, verwendet werden kann;

Fig. 13A eine Draufsicht, die einen einstellbaren Konden sator 1b gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 13B eine Querschnittsansicht entlang der Linie 13B-13B in Fig. 13A;

Fig. 13C eine Unterseitenansicht des in Fig. 13A gezeigten einstellbaren Kondensators 1B;

Fig. 13D eine Querschnittsansicht entlang der Linie 13D-13D in Fig. 13A;

Fig. 14 eine Draufsicht, die eine Abdeckung 4 zeigt, die in einer sechsten Ausführungsform der vorliegen den Erfindung enthalten ist;

Fig. 15A eine Draufsicht, die einen einstellbaren Konden sator 1c gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 15B eine Querschnittsansicht entlang der Linie 15B-15B in Fig. 15A;

Fig. 15C eine Unterseitenansicht des in Fig. 15A gezeigten einstellbaren Kondensators 1c;

Fig. 15D eine teilweise weggebrochene Aufrißansicht der rechten Seite des in Fig. 15A gezeigten einstell baren Kondensators 1c;

Fig. 16 eine Querschnittsansicht, die einen einstellbaren Kondensator 1d gemäß einer achten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 17A eine Querschnittsansicht, die einen in einer neunten Ausführungsform der vorliegenden Erfin dung enthaltenen Stators 2 zeigt;

Fig. 17B eine Unterseitenansicht des in Fig. 17A gezeigten Stators 2;

Fig. 18 eine Unterseitenansicht, die einen in einer zehn ten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung enthaltenen Stators 2 zeigt;

Fig. 19 eine Unterseitenansicht, die einen in einer elf ten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung enthaltenen Stator 2 zeigt;

Fig. 20 eine Unterseitenansicht, die einen in einer zwölften Ausführungsform der vorliegenden Erfin dung enthaltenen Stator 2 zeigt;

Fig. 21A eine Querschnittsansicht entlang der Linie 21A-21A in Fig. 21B, die einen Mehrlagen-Keramik kondensator 101 gemäß einer dreizehnten Ausfüh rungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 21B eine Draufsicht des in Fig. 21A gezeigten Mehrlagen-Keramikkondensators;

Fig. 22A und 22B Querschnittsansichten, die nacheinander typische in einem Verfahren zur Herstellung des in Fig. 21A gezeigten Mehrlagen-Keramikkondensa tors 101 enthaltenen Schritte zeigen;

Fig. 23 eine Querschnittsansicht, die einen Durchfüh rungskondensator 109 gemäß einer vierzehnten Aus führungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 24 eine Querschnittsansicht zur Darstellung eines Verfahrens, um das in Fig. 23 gezeigte Keramik laminat 110 zu erhalten;

Fig. 25A, 25B, 25C, 25D, 25E und 25F Draufsichten der Plat ten a, b, c, d, e und f des keramischen Dielek trikums, die jeweils in dem in Fig. 24 gezeigten Keramiklaminat 110 enthalten sind,

Fig. 26 eine Perspektivansicht, die ein Kondensatornetz werk 116 gemäß einer fünfzehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 27A, 27B, 27C und 27D Draufsichten, die die Platten 122, 123, 124 und 125 des keramischen Dielektri kums zeigen, die jeweils erzeugt wurden, um das in Fig. 26 gezeigte keramische Laminat 117 zu erhalten;

Fig. 28A eine Querschnittsansicht, die einen Hochspan nungskondensator 130 gemäß einer sechzehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 28B eine Draufsicht des in Fig. 28A gezeigten Hoch spannungskondensators 130;

Fig. 29A und 29B Querschnittsansichten, die der Reihe nach typische in einem Verfahren zum Erhalten des in Fig. 28A gezeigten Keramiklaminats 131 enthalte nen Schritte zeigen;

Fig. 30A eine Querschnittsansicht, die ein Halbleiterpaket 137 gemäß einer siebzehnten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 30B eine Draufsicht des in Fig. 30A gezeigten Halb leiterpakets 137; und

Fig. 31 eine Querschnittsansicht zur Darstellung eines Verfahrens zum Erhalten des in Fig. 30A gezeigten Keramiklaminats 138.

Fig. 1A bis 8D stellen eine erste Ausführungsform der vor liegenden Erfindung dar. Ein einstellbarer Kondensator 1 gemäß dieser Ausführungsform ist in Fig. 1A bis 3 gezeigt.

Nach einem breiten Aspekt umfaßt der einstellbare Konden sator 1 einen Stator 2, einen Rotor 3 und eine Abdeckung 4. Der Stator 2 ist als ganzes aus einem keramischen Dielektri kum gebildet. Der Rotor 3 besteht aus einem Metall, wie z. B. Messing. Die Abdeckung 4, die aus einem-Metall, wie z. B. rostfreiem Stahl oder einer Kupferlegierung, besteht, kann mit Lot, Zinn oder Silber wenigstens in einem notwendigen Abschnitt oberflächenbehandelt werden, um ihre Lötbarkeit zu verbessern.

Nun werden die Strukturen der oben genannten jeweiligen Ele mente ausführlich beschrieben.

Zunächst wird der Stator 2 mit Bezug auf Fig. 4A bis 4D be schrieben. Der Stator 2 hat als ganzes eine lateral symme trische Struktur. In dem Stator 2 sind Statorelektroden 5 und 6 angeordnet. Anschlüsse 7 und 8, die durch Leiterfilme definiert sind, sind wenigstens auf den Seitenflächen des Stators 2 geschaffen, so daß sie leitend mit den Statorelek troden 5 bzw. 6 verbunden sind. In der Unterseite des Sta tors 2 sind konkave Abschnitte 9 und 10 von den Kanten nach innen hin ausgebildet. Gemäß dieser Ausführungsform sind auf den Kanten der Unterseite des Stators 2, der mit den konka ven Abschnitten 9 und 10 versehen ist, etwas vorspringende Rippen 11 und 12 ausgebildet.

Die oben genannten beiden Statorelektroden 5 und 6 sind an gepaßt, um die lateral symmetrische Struktur des Stators 2 zu vollenden, so daß es nicht nötig ist, die Richtung des Stators bei der Bildung der Anschlüsse 7 und 8 und beim Zusammenbau des einstellbaren Kondensators 1 mit dem Stator 2 zu berücksichtigen. Wenn dieser Vorteil nicht gewünscht wird, ist daher eine der Statorelektroden 5 und 6 unnötig, und der Anschluß 7 oder 8, der mit der unnötigen Stator elektrode 5 oder 6 verbunden ist, kann weggelassen werden.

Der so mit den Statorelektroden 5 und 6 in seinem Inneren versehene Stator 2 kann im wesentlichen durch ein Verfahren zum Herstellen eines Mehrlagen-Keramikkondensators herge stellt werden. Aufgrund der konkaven Abschnitte 9 und 10 jedoch, die in einem Mehrlagen-Keramikkondensator nicht vor gesehen sind, kann das Verfahren zur Herstellung eines Mehr lagen-Keramikkondensators nicht einfach angewendet werden, sondern es ist eine Abänderung nötig. Zum Beispiel kann das keramische Dielektrikum zum Bilden des Stators in einem Sta dium vor dem Hartbrennen mit Formen zum Definieren der kon kaven Abschnitte 9 und 10 versehen werden, so daß das keramische Dielektrikum danach gebrannt wird. Es wird jedoch bevorzugter das folgende Verfahren angewendet:

Um eine Anzahl von Statoren 2 gleichzeitig zu erhalten, wird eine Vielzahl von Platten 14a bis 14e, einschließlich einer Platte 14b eines keramischen Dielektrikums, das mit Leiter filmen 13 zum Definieren einer Anzahl von Statorelektroden 5 und 6 versehen ist, wie in Fig. 5 gezeigt gestapelt. Bei diesen Platten 14a bis 14e sind die Platten 14a und 14c nicht mit Filmen versehen, während die Platte 14b darauf mit den Leiterfilmen 13 versehen ist, die zum Beispiel in einer senkrechten und querverlaufenden Anordnung durch Siebdruck mit einer Ag-Pd-Paste gebildet sind. Andererseits ist die Platte 14d durch Siebdruck mit Abbrennfilmen, wie z. B. Kohlenstoffilmen 15, versehen, die parallel zueinander in Form von relativ schmalen Streifen angeordnet sind. Außerdem ist eine Vielzahl übriger Platten 14e durch Siebdruck mit Abbrennfilmen, wie z. B. Kohlenstoffilmen 16 versehen, die parallel zueinander in Form von relativ breiten Streifen an geordnet sind. Die Kohlenstoffilme 15 und 16 können jeweils durch Harzschichten ersetzt werden. Weiterhin können die Kohlenstoffilme 15 und 16 sich jeweils, verschieden von den in Fig. 5 gezeigten, sich kontinuierlich erstreckenden, diskontinuierlich erstrecken.

Die Platten 14a bis 14e, die wie in Fig. 5 gezeigt gestapelt sind, werden hartgepreßt und dann geschnitten, um in eine Vielzahl von Stücken zum Definieren einzelner Statoren 2 unterteilt zu werden. Mit Bezug auf Fig. 5 sind Bereiche zum Definieren eines einzelnen Stücks 17 auf den Platten 14b, 14d und 14e von Quadraten eingeschlossen. Außerdem zeigt Fig. 6A ein solches einzelnes Stück, d. h. ein Laminat 17. Jede der Fig. 6A, 6C und 6E zeigt einen Querschnitt ent sprechend dem entlang der Linie VI-VI in Fig. 4A.

Wie in Fig. 6A gezeigt ist jedes Stück 17 innen mit Kohlen stoffilmen 15 und mehrfachen Kohlenstoffilmen 16 zusätzlich zu den Statorelektroden 5 (nicht gezeigt) und 6 versehen. Fig. 6B ist eine vergrößerte Querschnittsansicht, die den eingekreisten Abschnitt in Fig. 6A zeigt.

Das Stück 17 wird so gebrannt, daß man einen gesinterten Körper 18, wie in Fig. 6C gezeigt, erhält. Im Inneren des gesinterten Körpers 18 verbleiben die Statorelektroden 5 und 6, jedoch die Kohlenstoffilme 15 und 16 werden abgebrannt, um Hohlräume 19 und mehrfache Hohlräume 20 in Form von Schichten zu definieren, wie deutlich anhand der in Fig. 6D gezeigten vergrößerten Querschnittsansicht zu sehen ist. Folglich werden die dünnen Schichten 21 und mehrfachen dünnen Schichten 22 durch die Hohlräume 19 und 20 definiert.

Dann wird der gesinterte Körper 18 einem Polierschritt, wie z. B. dem Trommelpolieren, unterzogen. Folglich werden die Eckabschnitte des gesinterten Körpers 18 abgeschrägt und die dünnen Schichten 21 und 22 werden zerbrochen, wie in Fig. 6E gezeigt. Als Folge werden konkave Abschnitte 9 und 10 defi niert. Da die Hohlräume 19 und die dünnen Schichten 21 nicht bis zu den Seitenflächen des gesinterten Körpers 18 reichen, wie in Fig. 6D gezeigt, sind nach dem Zerbrechen der dünnen Schichten 21 Rippen 11 und 12 definiert.

Danach wird der gesinterte Körper 18 vorzugsweise einem Sandstrahlschritt unterzogen. Somit ist es möglich, in den Ecken der konkaven Abschnitte 9 und 10 verbliebene Ab schnitte der dünnen Schichten 21 und 22 vollständig zu ent fernen, die beim oben genannten Trommelpolieren nicht ent fernt werden konnten. Beim Brechschritt können ein Wasser strahl oder Ultraschallwellen zusätzlich oder anstelle des oben genannten Trommelpolierens und Sandstrahlens angewendet werden.

Wenn die Anschlüsse 7 und 8 auf dem so erhaltenen gesinter ten Körper 18 durch Leiterfilme wie oben beschrieben gebil det werden, wird der in den Fig. 4A bis 4D gezeigte Stator 2 erhalten.

Fig. 7A und 7B zeigen unabhängig davon den Rotor 3. Fig. 7A zeigt die Oberseite des Rotors 3, während Fig. 7B die Unter seite davon zeigt.

Der Rotor 3, der auf der Oberseite des oben genannten Sta tors 2 angeordnet ist, ist auf seiner Unterseite durch einen vorspringenden gestuften Abschnitt mit einer halbkreisför migen Rotorelektrode 23 versehen. Der Rotor ist auf seiner Unterseite weiterhin mit einem konvexen Abschnitt 24, der mit der Rotorelektrode 23 fluchtet, versehen, um ihn an einer durch die Ausbildung der Rotorelektrode hervorgerufe nen Schrägstellung zu hindern.

Andererseits ist eine Treibernut 25 auf der Oberseite des Rotors 3, wie in Fig. 7A gezeigt, ausgebildet.

Fig. 8A bis 8D zeigen unabhängig davon die Abdeckung 4. Diese Abdeckung 4 ist so geformt, daß sie mit dem oben genannten Rotor zur drehbaren Aufnahme desselben in Kontakt kommt. Die Unterseite der Abdeckung 4 definiert eine Öffnung 26, die mit dem oben genannten Stator 2 bedeckt wird, während ein Einstelloch 27 in der Oberseite ausgebildet ist, um die oben genannte Treibernut 25 freizulegen.

Der Umfangskantenabschnitt des Einstellochs 27 definiert ein Federteil 28. Gemäß dieser Ausführungsform ist in dem Umfangskantenabschnitt des Einstellochs 27 eine Vielzahl sich radial erstreckender Schlitze 29 geschaffen, um eine stabilere Federwirkung des Federteils 28 zu liefern. Wie deutlich anhand der Fig. 8B und 8D zu sehen ist, ist außerdem das Federteil 28 etwas nach unten geneigt, um ebenfalls zu einer stabileren Federwirkung beizutragen.

Auf einem Umfangskantenabschnitt der in der Unterseite der Abdeckung 4 definierten Öffnung 26 ist ein viereckiger Flansch 30 geschaffen, und Eingriffsglieder 31 und 32 sind geschaffen, so daß sie jeweils von einander gegenüber liegenden Seiten des Flansches 30 nach unten ragen. Diese Eingriffsglieder 31 und 32 werden in einem späteren Stadium gebogen, um jeweils in die in der Unterseite des Stators 2 geschaffenen konkaven Abschnitte 9 und 10 einzugreifen. Um ein solches Biegen zu ermöglichen, sind die Eingriffsglieder 31 und 32 mit Querschlitzen 33 bzw. 34 versehen, wie in Fig. 8B und 8D gezeigt.

Ein Anschluß 35 ist geschaffen, so daß er sich nach der Seite und nach unten von einer Kante des Flansches 30 erstreckt, die nicht mit einem Eingriffsglied 31 oder 32 versehen ist.

Der Stator 2, der Rotor 3 und die Abdeckung 4, die unab hängig voneinander in Fig. 4A bis 4D, 7A bis 7B und 8A bis 8D gezeigt sind, werden verwendet, um den in Fig. 1A bis 3 gezeigten einstellbaren Kondensator 1 aufzubauen.

Genauer gesagt wird der Rotor 3 auf dem Stator 2 plaziert, und die Abdeckung 4 wird so angeordnet, daß sie den Rotor 3 bedeckt. Dann wird die Abdeckung 4 gegen den Stator 2 gedrückt, um den Rotor 3 in Druckkontakt mit dem Stator 2 zu bringen, während entsprechende Endabschnitte der auf der Abdeckung 4 geschaffenen Eingriffsglieder 31 und 32 jeweils nach innen gebogen werden. Somit greifen die Eingriffsglie der 31 und 32 jeweils in die auf der Unterseite des Stators 2 geschaffenen konkaven Abschnitte 9 und 10 ein. Aufgrund der in den Kantenabschnitten der Unterseite des Stators 2 geschaffenen Rippen 11 und 12 werden die Eingriffsglieder 31 und 32 fest im Eingriff mit dem Stator gehalten.

Der auf der Abdeckung 4 geschaffene Anschluß 35 wird in eine Stellung gegenüber dem auf dem Stator 2 geschaffenen Anschluß 8 gebracht. Wenn Lot 36 zwischen die Anschlüsse 35 und 8 gebracht wird, ist daher die Abdeckung 4 haltbarer an dem Stator 2 befestigt.

Somit ist der einstellbare Kondensator 1 vollständig zusam mengebaut. In solch einem zusammengebauten Zustand wird der Rotor 3 durch das auf der Abdeckung 4 geschaffene Federteil 28 gegen den Stator 2 gedrückt, so daß eine stabile Haftung zwischen dem Rotor 3 und dem Stator 2 erreicht wird. Somit werden das Drehmoment des Rotors 3 und eine zwischen der Statorelektrode 5 und der Rotorelektrode 23 ausgebildete elektrostatische Kapazität stabilisiert.

Die oben genannte elektrostatische Kapazität wird durch den Anschluß 7, der leitend mit der Statorelektrode 5 verbunden ist, und den auf der Abdeckung 4, die in Kontakt mit dem die Rotorelektrode 23 bildenden Rotor 3 steht, geschaffenen Anschluß 35 oder den Anschluß 8 abgegriffen. Die Abdeckung 4 kann ohne einen solchen Anschluß 35 vorgesehen sein, so daß das Eingriffsglied 31 oder 32 als einer der Anschlüsse benutzt wird.

Wie deutlich anhand von Fig. 1D zu sehen, sind die Ein griffsglieder 31 und 32 in den konkaven Abschnitten 9 und 10 angeordnet, so daß sie nicht von der Unterseite des Stators 2 vorstehen, wodurch der einstellbare Kondensator 1 zum Bei spiel auf einer Leiterplatte (nicht gezeigt) in stabiler Lage angebracht werden kann. In solch einem Montagezustand sind die Anschlüsse 7 und 35 oder 8 jeweils direkt an auf der Leiterplatte vorgesehene leitende Anschlußflächen ange lötet.

Fig. 9A bis 20 zeigen einige weitere Ausführungsformen des einstellbaren Kondensators gemäß der vorliegenden Erfindung. Mit Bezug auf diese Figuren sind Elemente, die jenen in dem oben genannten einstellbaren Kondensator 1 enthaltenen entsprechen, mit gleichen Bezugszahlen bezeichnet, damit eine redundante Beschreibung unterlassen wird.

Ein einstellbarer Kondensator 1a, der in Fig. 9A bis 9D gezeigt ist, ist dadurch gekennzeichnet, daß das Federteil von einem Federring 37 gebildet wird. Gemäß dieser Ausfüh rungsform ist das Federteil nicht durch ein Metallmaterial definiert, das einen Umfangskantenabschnitt des Einstellochs 27 einer Abdeckung 4 selbst bildet. Daher wird der Umfangs kantenabschnitt des Einstellochs 27 keiner Bearbeitung unterzogen, sondern in einem flachen Zustand gehalten.

Ein sekundäres Merkmal des in Fig. 9A bis 9D gezeigten ein stellbaren Kondensators 1a besteht darin, daß der Abstand zwischen der Abdeckung 4 und einem Stator 2 vergrößert ist. Somit wird die Abdeckung 4 weiterhin zuverlässig daran gehindert, mit einem Anschluß 7 in unerwünschten Kontakt zu kommen. Gemäß dieser Ausführungsform ist außerdem ein nicht leitender Film 38 gebildet, um Teile des Anschlusses 7 bzw. eines weiteren Anschlusses 8 zu bedecken. Dies verringert weiter die Möglichkeit des oben erwähnten Kurzschließens.

Gemäß dieser Ausführungsform ist weiterhin in einem geboge nen Abschnitt des auf der Abdeckung 4 geschaffenen Anschlus ses 35 ein Loch 39 ausgebildet, um dessen Biegen zu ermögli chen. Der Anschluß 35 ist nicht unbedingt mit dem Anschluß 8 verbunden. Außerdem hat ein auf der Abdeckung 4 geschaffener Flansch 30 eine im wesentlichen kreisförmige Form.

Beachtet man die Unterseite des Stators 2, ist ein konkaver Abschnitt 40 ausgebildet, der sich von einer Kante zu einer weiteren Kante erstreckt.

Fig. 10 zeigt eine Modifikation des in Fig. 9A bis 9D gezeigten einstellbaren Kondensators 1a. Diese Figur ent spricht der Fig. 9B.

Ein einstellbarer Kondensator 1aa, der in Fig. 10 gezeigt ist, ist dadurch gekennzeichnet, daß ein Federteil nicht nur von einem Federring 37 gebildet wird, sondern von einem Federteil 28, welches von einem Metallmaterial, das einen Umfangskantenabschnitt eines in der Abdeckung 4 selbst geschaffenen Einstellochs 27 bildet, definiert ist, ähnlich dem einstellbaren Kondensator 1, der in Fig. 1A bis 1D gezeigt ist. Der Federring 37 ist so geformt, daß er sich zur Mitte hin nach unten neigt, während das Federteil 28 ebenfalls so geformt ist, daß es sich zur Mitte hin neigt.

Gemäß eines solchen einstellbaren Kondensators 1aa ist es möglich, den Rotor 3 im Vergleich mit dem in Fig. 9A bis 9D gezeigten einstellbaren Kondensator 1a mit stabilerer und größerer Kraft gegen den Stator zu drücken.

Ähnlich wie Fig. 10 zeigt Fig. 11 eine weitere Modifikation des in Fig. 9A bis 9D gezeigten einstellbaren Kondensators 1a entsprechend der Fig. 9B.

Ähnlich dem in Fig. 10 gezeigten einstellbaren Kondensator 1aa umfaßt der in Fig. 11 gezeigte einstellbare Kondensator 1ab sowohl ein Federteil 28, welches durch ein Metallmate rial, das einen Umfangsabschnitt eines in einer Abdeckung 4 selbst geschaffenen Einstellochs 27 bildet, definiert ist, als auch einen Federring 37. Gemäß dieser Ausführungsform ist der Federring 37 so geformt, daß er sich zur Mitte hin nach oben neigt. Die in Fig. 11 und 10 gezeigten Federringe 37 können von derselben Komponente implementiert werden, so daß der in Fig. 11 oder 10 gezeigte Aufbau durch einfaches Wechseln der Richtung beim Montieren einer solchen Komponen te erreicht wird.

Ebenfalls gemäß des in Fig. 11 gezeigten einstellbaren Kondensators 1ab ist es möglich, den Rotor 3 mit stabilerer und größerer Kraft gegen den Stator 2 zu drücken.

Fig. 12 zeigt einen Federring 37a, der anstelle des Federrings 37 der in Fig. 9A bis 9D, 10 oder 11 gezeigten Ausführungsform verwendet werden kann. Dieser Federring 37a hat als ganzes die Form eines Ringes, während derselbe gewellt ist. Wenn ein solcher Federring 37a in einem einstellbaren Kondensator montiert wird, ist es nicht nötig, seine Vorderseite von seiner Rückseite zu unterscheiden.

Ein in Fig. 13A bis 13D gezeigter einstellbarer Kondensator 1b umfaßt einen O-Ring 41. Dieser O-Ring 41 besteht aus einem elastischen Material, wie z. B. Silicongummi, das der Löthitze widerstehen kann. Der O-Ring 41 ist zwischen dem Rotor 3 und dem Stator 2 angeordnet, wodurch er einen geschlossenen Aufbau in den Kontaktabschnitten zwischen dem Rotor 3 und dem Stator 2 liefert. Der Rotor 3 ist mit einem konkaven Abschnitt 42 zur Aufnahme des O-Rings 41 versehen.

Die Höhe einer bei diesem einstellbaren Kondensator 1b geschaffenen Abdeckung 4 ist verringert, so daß der Raum zwischen der Abdeckung 4 und dem Stator 2 vergrößert ist. Somit wird verhindert, daß die Abdeckung 4 mit dem Anschluß 7 in unerwünschten Kontakt kommt.

Außerdem ist ein Umfangskantenabschnitt eines in dieser Ab deckung 4 ausgebildeten Einstellochs 27 mit sich radial er streckenden Schlitzen 43 und sich im wesentlichen in Umfangsrichtung erstreckenden Schlitzen 44 versehen. Eine Vielzahl von Federteilen 45 werden durch Kombinationen dieser Schlitze 43 und 44 definiert.

Beachtet man die Unterseite des Stators 2, sind konkave Ab schnitte 9 und 10 ähnlich wie bei der in Fig. 1A bis 1D Ausführungsform geschaffen, es sind jedoch keine Rippen entlang von Kantenabschnitten der Unterseite vorgesehen.

Fig. 14 zeigt eine weitere Modifikation der Abdeckung 4. Ein Umfangskantenabschnitt eines in dieser Abdeckung 4 ausgebil deten Einstellochs 27 ist mit sich in Umfangsrichtung er streckenden Schlitzen 46 mit vorgeschriebener Länge verse hen. Abschnitte, die durch solche Schlitze 46 getrennt sind, sind etwas nach unten gebogen, um in diesen Abschnitten Federteile 47 zu definieren.

Ein einstellbarer Kondensator 1c, der in Fig. 15A bis 15D gezeigt ist, umfaßt Elemente, die in irgendeiner der oben genannten Ausführungsformen enthalten sind, ohne ein besonderes zusätzliches Merkmal. Daher sind entsprechende Elemente mit gleichen Bezugszahlen bezeichnet, um die oben genannte Beschreibung anzuwenden.

Ein einstellbarer Kondensator 1d, der in Fig. 16 gezeigt ist, ist dem in Fig. 15A bis 15D gezeigten einstellbaren Kondensator 1c ähnlich, außer in der Form des Rotors 3 und der Anordnung eines O-Rings 41. Kein Element, das einem in Fig. 15B gezeigten konkaven Abschnitt 42 entspricht, ist an dem äußeren Umfangsabschnitt des Rotors 3 ausgebildet, welcher in einer einfacheren Form geschaffen ist. Der O-Ring 41 ist so angeordnet, daß er einen solchen Rotor 3 um schließt, und kommt mit einem Stator 2 und einem Federring 37 in Kontakt, um einen geschlossenen Aufbau zu schaffen. Gemäß dieser Ausführungsform ist es möglich, die Produkti vität des Rotors 3 zu verbessern, welcher in seiner Form einfacher ist als der in Fig. 15B gezeigte. Mit Bezug auf Fig. 16 sind Elemente, die jenen in Fig. 15B gezeigten entsprechen mit gleichen Bezugszahlen bezeichnet, damit eine redundante Beschreibung unterlassen wird.

Fig. 17A und 17B zeigen eine weitere Modifikation des Stators 2. Beachtet man die Unterseite dieses Stators 2, so sind zwei konkave Abschnitte 48 und 49 dargestellt, welche mit im wesentlichen halbelliptischen Konturen ausgebildet sind. Es wurden Überlegungen zu diesen konkaven Abschnitten 48 und 49 angestellt, deren Dimensionen ausreichen, um zum Beispiel die Eingriffsglieder 31 und 32 der in Fig. 1 ge zeigten Abdeckung aufzunehmen, so daß die Festigkeit dieser Abschnitte maximiert und ihre Vorder/Hinterseiten-Anordnung erleichtert wird.

Fig. 18 bis 20 zeigen jeweils weitere Modifikationen des Stators 2. Beachtet man die Unterseiten dieser Statoren 2, so ist der in Fig. 18 gezeigte mit zwei konkaven Abschnitten 50 und 51 versehen, und der in Fig. 19 gezeigte ist mit zwei konkaven Abschnitten 52 und 53 versehen, während der in Fig. 20 gezeigte mit vier konkaven Abschnitten 54, 55, 56 bzw. 57 versehen ist. Diese Modifikationen zeigen, daß verschiedene Modifikationen bezüglich der Formen der konkaven Abschnitte, die in der Unterseite des Stators 2 geschaffen sind, brauch bar sind. Die Formen und Positionen der auf der Abdeckung 4 geschaffenen Eingriffsabschnitte können mit denen der konkaven Abschnitte variiert werden.

Während die vorliegende Erfindung mit Bezug auf verschiedene Ausführungsformen, die sich auf einstellbare Kondensatoren richten, beschrieben wurde, sind weitere Modifikationen in nerhalb des Umfangs der vorliegenden Erfindung möglich. Zum Beispiel können einige Merkmale der oben genannten Ausfüh rungsformen kombiniert werden, um eine weitere Ausführungs form zu schaffen.

Die vorliegende Erfindung ist nicht auf das oben genannte Verfahren zur Herstellung eines einstellbaren Kondensators begrenzt, sondern ist umfassend auf ein Verfahren zur Her stellung eines elektronischen Bauteils anwendbar, bei dem ein Keramiklaminat verwendet wird, welches mit einem kon kaven Abschnitt versehen ist. Es werden nun einige Ausfüh rungsformen beschrieben, die die vorliegende Erfindung auf Verfahren zur Herstellung anderer Bauteile als eines ein stellbaren Kondensators anwenden.

Fig. 21A und 21B zeigen einen Mehrlagen-Keramikkondensator 101. Dieser Mehrlagen-Keramikkondensator 101 umfaßt ein Keramiklaminat 104, das mit mehrfachen inneren Elektroden 102 und 103 in seinem Inneren und äußeren Elektroden 105 und 106 versehen ist, welche auf der Außenfläche von Endab schnitten des Keramiklaminats 104 ausgebildet sind, so daß sie leitend mit den inneren Elektroden 102 oder 103 verbunden sind.

Ein Buchstabe, eine Zahl o. ä. kann zum Beispiel auf der Oberfläche des Keramiklaminats 104 gezeigt sein, um eine gewünschte Information, wie z. B. die elektrische Kapazität, des Mehrlagen-Keramikkondensators 101 anzugeben. Diese An zeige wird von einem konkaven Abschnitt 107 geschaffen, der in der Oberfläche des Keramiklaminats 104 ausgebildet ist. Gemäß dieser Ausführungsform zeigt der konkave Abschnitt 107 den Buchstaben "B".

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, den mit dem konkaven Abschnitt 107, der die oben genannte Anzeige schafft, versehenen Mehrlagen-Keramikkondensator 101 effi zient herzustellen, ohne daß ein komplizierter Arbeitsgang erforderlich ist. Fig. 22A und 22B zeigen typische Schritte zum Herstellen des Mehrlagen-Keramikkondensators 101.

Wie in Fig. 22A gezeigt, ist das Keramiklaminat 104 mit Ab brennfilmen 108 zusätzlich zu den inneren Elektroden 102 und 103 versehen. Diese Abbrennfilme 108 werden abgebrannt, wenn das Keramiklaminat 104 gebrannt wird, um Hohlräume und dünne Schichten zu definieren. Dann wird der so erhaltene gesin terte Körper aus Keramiklaminat 104 einem Polierschritt, wie z. B. dem Trommelpolieren, unterzogen und dann sandgestrahlt. Somit werden die dünnen Schichten zerbrochen, um den konka ven Abschnitt 104 zu definieren, wie in Fig. 22B gezeigt. Wenn die äußeren Elektroden 105 und 106 auf dem Kerami klaminat 104 wie in Fig. 21A und 21B gezeigt ausgebildet werden, wird der gewünschte Mehrlagen-Keramikkondensator 101 erhalten.

Selbstverständlich kann der oben genannte Buchstabe "B" leicht auf beiden Oberflächen des Keramiklaminats 104 durch einen ähnlichen Schritt (nicht gezeigt) ausgebildet werden.

Fig. 23 zeigt einen Durchführungskondensator 109. Dieser Durchführungskondensator 109 umfaßt ein zylindrisches Keramiklaminat 110, das mit einem Durchgangsloch 111 zum Aufnehmen eines durchgehenden Anschlusses (nicht gezeigt) in seinem Mittelabschnitt und einem konkaven Abschnitt 112 versehen ist, der einen Stufenabschnitt zum Eingreifen mit einer Erderplatte, die zum Beispiel in einem Verbindungs glied o. ä. enthalten ist, auf seiner äußeren Umfangs oberfläche liefert. Außerdem sind innere Elektroden 113 im Inneren des Keramiklaminats 110 ausgebildet, während äußere Elektroden 146 und 147 auf der äußeren Umfangsoberfläche des Keramiklaminats 110 bzw. der inneren Umfangsoberfläche des Durchgangslochs 111 ausgebildet sind.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist weder ein spezifischer Schritt noch eine spezifische Form oder Ausrüstung erforder lich, um das Durchgangsloch 111 und den konkaven Abschnitt 112 auszubilden, die in dem oben genannten Durchführungs kondensator 109 geschaffen sind. Fig. 24 ist eine Quer schnittsansicht, die den ungebrannten Zustand des oben genannten Keramiklaminats 110 zeigt. Auf der anderen Seite zeigen Fig. 25A bis 25F jeweils die Oberseiten der Platten a bis f des keramischen Dielektrikums, die in dem Keramik laminat 110 enthalten sind.

Wie in Fig. 24 und 25A bis 25F gezeigt, sind Abbrennfilme 114 und 115 auf spezifischen Platten des keramischen Dielektrikums ausgebildet, um das Durchgangsloch 111 und den konkaven Abschnitt 112 auszubilden. Wie in Fig. 24 und 25B, 25C und 25E gezeigt, sind außerdem innere Elektroden 113 auf anderen spezifischen Platten des keramischen Dielektrikums ausgebildet. Diese Platten des keramischen Dielektrikums werden aufeinander gestapelt, hartgepreßt und dann gebrannt. Im Inneren des so gebildeten gesinterten Körpers aus dem Keramiklaminat 110 verbleiben die inneren Elektroden 113, jedoch die Abbrennfilme 114 und 115 werden durch das Hartbrennen abgebrannt, wodurch sie eine Vielzahl von Hohlräumen und eine Vielzahl von durch solche Hohlräume gebildeten dünnen Schichten definieren. Der gesinterte Körper aus dem Keramiklaminat 110 wird dann einem Brech schritt, der Trommelpolieren und Sandstrahlen beinhaltet, unterzogen, wodurch die dünnen Schichten zerbrochen werden, um das Durchgangsloch 111 und den konkaven Abschnitt 112 auszubilden. Wenn die äußeren Elektroden 146 und 147 auf dem in der oben genannten Weise erhaltenen Keramiklaminat 110 gebildet werden, wird der gewünschte in Fig. 23 gezeigte Durchführungskondensator erhalten.

Fig. 26 zeigt ein Kondensatornetzwerk 116. Dieses Kondensa tornetzwerk 116 umfaßt ein Keramiklaminat 117, das durch eine Vielzahl von Platten eines keramischen Dielektrikums, die aufeinander gestapelt sind, gebildet ist. Ein Paar von einander abgewandte Seitenflächen des Keramiklaminats 117 sind mit mehrfachen Anschlußelektroden 118 bzw. 119 ver sehen, während konkave Abschnitte 120 und 121 zwischen den jeweiligen Paaren der Anschlußelektroden 118 bzw. 119 aus gebildet sind. Diese konkaven Abschnitte 120 und 121 trennen benachbarte Anschlußelektroden 118 und 119 voneinander, wo durch sie das Kurzschließen der Anschlußelektroden 118 und 119 verhindern und die Anwendung eines effizienten Tauchens usw. bei der Bildung der Anschlußelektroden 118 und 119 ermöglichen. Das Kondensatornetzwerk 116 ist mit einer Viel zahl von Mehrlagen-Keramikkondensatoren versehen, von denen jeder Anschlüsse besitzt, die durch ein gegenüberliegendes Paar von Anschlußelektroden 118 und 119 definiert werden.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, die konkaven Abschnitte 120 und 121 in dem oben genannten Kondensatornetzwerk 116 geschaffenen Keramiklaminat 117 ein fach auszubilden. Fig. 27A bis 27D zeigen die Oberseiten der Platten 122, 123, 124 und 125 des keramischen Dielektrikums, welche jeweils zum Erhalten des Keramiklaminats 117 herge stellt sind. Die in Fig. 27A gezeigte Platte 122 des kerami schen Dielektrikums ist auf der obersten Stufe des Keramik laminats 117 angeordnet, und die in Fig. 27D gezeigte Platte 125 des keramischen Dielektrikums ist auf der untersten Stufe des Keramiklaminats 117 angeordnet, während die in Fig. 27B und 27C gezeigten Platten 123 bzw. 124 des keramischen Dielektrikums, welche zwischen den Platten 122 und 125 des keramischen Dielektrikums angeordnet werden, ab wechselnd in vorgeschriebener Zahl gestapelt werden.

Die Platten 122 bis 124 des keramischen Dielektrikums sind mit Abbrennfilmen 126 und 127 zum Definieren der oben ge nannten konkaven Abschnitte 120 bzw. 121 versehen. Außerdem sind die Platten 123 und 124 des keramischen Dielektrikums mit Kondensatorelektroden 128 bzw. 129 versehen. Die ver schiedenen Kondensatorelektroden 128 und 129 sind leitend mit den in Fig. 26 gezeigten Anschlußelektroden 118 und 119 verbunden.

Die in Fig. 27A bis 27D gezeigten Platten 122 bis 125 des keramischen Dielektrikums werden aufeinander gestapelt, hartgepreßt und dann gebrannt. In dem so gebildeten gesin terten Körper aus dem Keramiklaminat 117 verbleiben die Kondensatorelektroden 128 und 129, jedoch die Abbrennfilme 126 und 127 werden abgebrannt, wodurch sie eine Vielzahl von Hohlräumen und eine Vielzahl von durch die Hohlräume gebil deten dünnen Schichten definieren. Der gesinterte Körper aus dem Keramiklaminat 117 wird einem Brechschritt, der Trommel polieren und Sandstrahlen umfaßt, unterzogen, so daß die dünnen Schichten zerbrochen werden, wodurch die konkaven Abschnitte 120 und 121 auf den Seitenflächen des Keramik laminats 117 ausgebildet werden. Dann werden die jeweiligen Seiten des Keramiklaminats 117 in ein Elektroden-Überzugs material, wie z. B. Silberpaste, bis zu den Mittelabschnitten der konkaven Abschnitte 120 und 121 eingetaucht und dann herausgezogen, so daß das aufgebrachte Elektroden-Überzugs material getrocknet wird, wodurch die Anschlußelektroden 118 und 119 gebildet werden. Somit wird das in Fig. 26 gezeigte Kondensatornetzwerk 116 erhalten.

Fig. 28A und 28B zeigen einen Keramikkondensator mit hoher Haltespannung (withstand voltage), d. h. einen Hochspan nungskondensator 130. Dieser Hochspannungskondensator 130 umfaßt ein zylindrisches Keramiklaminat 131, das als Dielek trikum dient, und konkave Abschnitte 132 und 133, die in seinen voneinander abgewandten Grundflächen ausgebildet sind. Die konkaven Abschnitte 132 und 133 sind durch Innenflächen definiert, die gekrümmte dreidimensionale Formen aufweisen. Elektroden 134 und 135 sind auf diesen Innenflächen der konkaven Abschnitte 132 bzw. 133 aus gebildet. Somit weisen die Elektroden 134 und 135 dreidimen sionale Strukturen auf, die Rogowskii-Eletroden genannt werden, so daß eine Kriechdistanz (creeping distance) von einer Umfangskante einer Elektrode 134 oder 135 zu der der anderen Elektrode 135 oder 134 entlang der äußeren Um fangsoberfläche des Keramiklaminats 131 vergrößert und die Konzentrierung des elektrischen Feldes in Bereichen nahe der Umfangskanten der Elektroden 134 bzw. 135 unterdrückt wird, wodurch die Haltespannung erhöht wird.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, den oben genannten Hochspannungskondensator 130 einfach herzustellen. Fig. 29A und 29B zeigen typische Schritte, die in dem Ver fahren zum Erhalten des oben genannten Hochspannungskonden sators 130 enthalten sind.

Wie in Fig. 29A gezeigt ist ein Keramiklaminat mit Abbrenn filmen 136 in Abschnitten zum Definieren der konkaven Abschnitte 132 und 133 versehen. Ein solches Keramiklaminat 131 wird dann gebrannt. Somit werden die Abbrennfilme 136 abgebrannt, so daß eine Vielzahl von Hohlräumen definiert und eine Vielzahl von dünnen Schichten durch solche Hohl räume im Inneren des Keramiklaminats 131 gebildet werden. Dann wird der so gebildete gesinterte Körper aus dem Keramiklaminat 131 einem Brechschritt unterzogen, der zum Beispiel Trommelpolieren und Sandstrahlen umfaßt, wodurch die dünnen Schichten zerbrochen werden, um die konkaven Abschnitte 132 und 133 mit den dreidimensionalen Formen auszubilden, wie in Fig. 29B gezeigt. Wenn die Elektroden 134 und 135 auf den Innenflächen der konkaven Abschnitte 132 und 133 geschaffen werden, wird der in Fig. 28A und 28B gezeigte Hochspannungskondensator 130 erhalten.

Fig. 30A und 30B zeigen ein Halbleiterpaket 137. Dieses Halbleiterpaket 137 umfaßt ein Keramiklaminat 138, das einen zuverlässig versiegelten Aufbau liefern kann, während dieses Keramiklaminat 138 mit einem konkaven Abschnitt 139 ver sehen, auf welchem ein integrierter Halbleiterschaltkreis (IC) (nicht gezeigt) angebracht ist. Eine Masseelektrode 140 und eine Kondensatorelektrode 141 sind im Inneren des Keramiklaminats 138 ausgebildet. Ein durch die Kondensator elektrode 141 geschaffener Kondensator ist angepaßt, um das Versagen eines anderen integrierten Halbleiterschaltkreises zu verhindern, das von einem von diesem integrierten Halbleiterschaltkreis erzeugten Rauschen verursacht wird.

Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, das oben genannte Halbleiterpaket 137 einfach herzustellen. Fig. 31 zeigt einen Schritt, der in dem Verfahren zum Erhalten des Keramiklaminats 138 enthalten ist.

Wie in Fig. 31 gezeigt sind die Masseelektrode 140 und die Kondensatorelektrode 141 auf spezifischen Platten 142 des keramischen Dielektrikums ausgebildet, die jeweils in dem keramischen Laminat 138 enthalten sind. Außerdem sind Abbrennfilme 143 auf spezifischen Platten 142 des kerami schen Dielektrikums in Abschnitten zum Definieren des konkaven Abschnitts 139 ausgebildet. Die Platten 142 des keramischen Dielektrikums werden aufeinander gestapelt und dann hartgepreßt, so daß das so erhaltene Keramiklaminat 138 dann gebrannt wird. Somit werden die Abbrennfilme 143 abgebrannt, um Hohlräume und dünne Schichten in dem so geformten gesinterten Körper des Keramiklaminats 138 zu definieren. Dann wird der gesinterte Körper des Keramiklami nats 138 einem Brechschritt unterzogen, der zum Beispiel Trommelpolieren und Sandstrahlen umfaßt, wodurch die dünnen Schichten zerbrochen werden, um den konkaven Abschnitt 139 zu definieren. Dann werden eine Anschlußflächenelektrode (pad electrode) 144 und eine Masseverbindungselektrode (bonding electrode) 145 gebildet, um das Halbleiterpaket 137 zu erhalten, wie in Fig. 30A und 30B gezeigt.

Obwohl die vorliegende Erfindung ausführlich beschrieben und dargestellt wurde, ist klar, daß dies nur zur besseren Darstellung und als Beispiel dient und nicht als Begrenzung verstanden werden soll und der Umfang der vorliegenden Erfindung nur durch die beigefügten Ansprüche begrenzt wird.

Claims

1. Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils, bei dem ein Keramiklaminat verwendet wird, das mit einem konkaven Abschnitt versehen ist, gekennzeichnet durch folgende Schritte:
Herstellen eines Keramiklaminats (17, 104, 110, 117, 131, 138) mit einer Vielzahl von Abbrennfilmen (15, 16, 108, 115, 126, 127, 136, 143), die aus einem Material bestehen, das durch Brennen abgebrannt werden kann, und die in Form von Schichten an den konkaven Abschnitten (9, 10, 40, 42, 48 bis 57, 107, 112, 120, 121, 132, 133, 139) entsprechenden Positionen vorgesehen sind;
Brennen des Keramiklaminats (17, 104, 110, 117, 131, 138), um die Abbrennfilme (15, 16, 108, 115, 126, 127, 136, 143) abzubrennen, wodurch ein gesinterter Körper (18) erhalten wird, der mit einer Vielzahl von Hohlräu men (19, 20), die in Form von Schichten vorliegen, und einer Vielzahl von dünnen Schichten (21, 22) ausgebildet ist, die durch die Vielzahl von Hohlräumen (19, 20) ge bildet sind; und
Zerbrechen der dünnen Schichten (21, 22) des gesinterten Körpers (18), wodurch der konkave Abschnitt ausgebildet wird.

2. Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ab brennfilme (15, 16, 108, 115, 126, 127, 136, 143) Koh lenstoff enthalten.

3. Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Abbrennfilme (15, 16, 108, 115, 126, 127, 136, 143) Harz enthalten.

4. Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeich net, daß der Brechschritt wenigstens einen der folgenden Schritte umfaßt: Trommelpolieren, Sandstrahlen, Anwen dung eines Wasserstrahls und Anwendung von Ultraschall wellen.

5. Einstellbarer Kondensator, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
einen Stator (2) aus einem keramischen Dielektrikum mit einer in seinem Inneren angeordneten Statorelektrode (5, 6), einem wenigstens auf seiner Seitenfläche angeordne ten Anschluß (7, 8), der leitend mit der Statorelektrode (5, 6) verbunden ist, und einem an einer Kante seiner Unterseite nach innen hin angeordneten konkaven Ab schnitt (9, 10, 40, 48 bis 57);
einen auf der Oberseite des Stators (2) angeordneten Ro tor (3) aus einem Metall mit einer auf seiner Unterseite vorgesehenen Rotorelektrode (23), die der Statorelektro de (5, 6) gegenübersteht, und einer auf seiner Oberseite vorgesehenen Treibernut (25); und
eine Abdeckung (4) aus Metall, die so geformt ist, daß sie mit dem Rotor (3) zur drehbaren Aufnahme desselben in Kontakt kommt, mit einer Unterseite, die eine Öffnung (26) definiert, die mit dem Stator (2) bedeckt ist, einem in ihrer Oberseite vorgesehenen Einstelloch (27) zum Freilegen der Treibernut (25), einem Federteil (28, 37, 37a, 45, 47), das auf einem Umfangskantenabschnitt des Einstellochs (27) zum Anpressen des Rotors (3) ge gen den Stator (2) festgelegt ist, und einem Eingriffs glied (31, 32) zum Eingreifen in den konkaven Abschnitt (9, 10, 40, 48 bis 57), der auf der Unterseite des Sta tors (2) geschaffen ist, um die genannte Öffnung (26) in dem Zustand zu halten, in dem sie mit dem Stator (2) bedeckt ist.

6. Einstellbarer Kondensator nach Anspruch 5, dadurch ge kennzeichnet, daß das Federteil (28, 45, 47) durch ein Metallmaterial definiert ist, das den Umfangskantenab schnitt des in der Abdeckung (4) vorgesehenen Einstell lochs (27) bildet.

7. Einstellbarer Kondensator nach Anspruch 5 oder 6, da durch gekennzeichnet, daß das Federteil (28, 45, 47) durch einen Federring (37, 37a) definiert ist, der zwi schen dem Umfangskantenabschnitt des in der Abdeckung (4) vorgesehenen Einstellochs (27) und dem Rotor (3) angeordnet ist.

8. Einstellbarer Kondensator nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Federteil (28, 45, 47) durch sowohl ein Metallmaterial, das den Umfangskan tenabschnitt des in der Abdeckung (4) vorgesehenen Ein stellochs (27) bildet, als auch einen Federring (37, 37a) definiert wird, der zwischen dem Umfangskantenab schnitt des Einstellochs (27) und dem Rotor (3) ange ordnet ist.

9. Einstellbarer Kondensator nach einem der Ansprüche 5 bis 8, gekennzeichnet durch, einen O-Ring (41) wenigstens in einem durch den Rotor (3) und den Stator (2) definierten Raum.

10. Einstellbarer Kondensator nach einem der Ansprüche 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß der konkave Abschnitt (9, 10, 40, 48 bis 57) des Stators (2) durch Bilden einer Vielzahl von dünnen Schichten (21, 22) in einem kerami schen Dielektrikum (18), die durch Brennen durch einen Hohlraum (19, 20) erhalten werden, und Zerbrechen der dünnen Schichten (21, 22) erhalten wird.