JP3060929B2 - トリマコンデンサ用金属ロータの製造方法 - Google Patents
トリマコンデンサ用金属ロータの製造方法Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、トリマコンデン
サにおいて静電容量を調整するために回転操作される金
属ロータの製造方法に関するものである。
サにおいて静電容量を調整するために回転操作される金
属ロータの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図６には、この発明にとって興味あるト
リマコンデンサの一例が断面図で示されている。ここに
図示したトリマコンデンサ１は、表面実装可能な形式の
ものであり、大きくとらえたとき、ステータ２、金属ロ
ータ３、金属カバー４およびばねワッシャ５を備える。
リマコンデンサの一例が断面図で示されている。ここに
図示したトリマコンデンサ１は、表面実装可能な形式の
ものであり、大きくとらえたとき、ステータ２、金属ロ
ータ３、金属カバー４およびばねワッシャ５を備える。
【０００３】ステータ２は、セラミック誘電体から構成
され、その内部には、ステータ電極６および７が並んで
形成される。これらステータ電極６および７にそれぞれ
電気的に接続されるように、ステータ２の相対向する側
面上には、導電膜によって与えられた端子８および９が
形成される。このように、ステータ２は、左右対称の構
造を有している。これによって、トリマコンデンサ１の
組立において、ステータ２の方向を考慮する必要がな
い、という利点を奏するが、図６の場合、ステータ電極
７またはこれに関連する端子９が省略されることもあ
る。
され、その内部には、ステータ電極６および７が並んで
形成される。これらステータ電極６および７にそれぞれ
電気的に接続されるように、ステータ２の相対向する側
面上には、導電膜によって与えられた端子８および９が
形成される。このように、ステータ２は、左右対称の構
造を有している。これによって、トリマコンデンサ１の
組立において、ステータ２の方向を考慮する必要がな
い、という利点を奏するが、図６の場合、ステータ電極
７またはこれに関連する端子９が省略されることもあ
る。
【０００４】上述したステータ２の上に、金属ロータ３
が配置される。金属ロータ３は、図７および図８にも示
されている。図７は、金属ロータ３の上面１０側を示
し、図８は、金属ロータ３の下面１１側を示している。
金属ロータ３は、上面１０、下面１１およびこれらを連
結する外周面１２を有する。下面１１側には、図８によ
く示されているように、ほぼ半円状に部分的に突出する
段部１３の表面をもってロータ電極１４の表面が形成さ
れる。また、同じく下面１１側には、段部１３の高さと
等しい高さを有する凸部１５が形成され、段部１３の形
成により金属ロータ３が傾くことが防止される。他方、
金属ロータ３の上面側には、図７によく示されているよ
うに、ドライバ溝１６が形成される。
が配置される。金属ロータ３は、図７および図８にも示
されている。図７は、金属ロータ３の上面１０側を示
し、図８は、金属ロータ３の下面１１側を示している。
金属ロータ３は、上面１０、下面１１およびこれらを連
結する外周面１２を有する。下面１１側には、図８によ
く示されているように、ほぼ半円状に部分的に突出する
段部１３の表面をもってロータ電極１４の表面が形成さ
れる。また、同じく下面１１側には、段部１３の高さと
等しい高さを有する凸部１５が形成され、段部１３の形
成により金属ロータ３が傾くことが防止される。他方、
金属ロータ３の上面側には、図７によく示されているよ
うに、ドライバ溝１６が形成される。
【０００５】上述した金属ロータ３は、金属カバー４に
よって回転可能に収納される。金属カバー４は、このよ
うにロータ３を回転可能に収納する形状を有していて、
図示しないが、その一部がステータ２に係合することに
より、ステータ２に固定される。金属カバー４の上面に
は、金属ロータ３のドライバ溝１６を露出させるための
調整用穴１７が設けられる。この調整用穴１７の周縁部
には、わずかに円錐状の勾配が与えられ、金属ロータ３
に向かってばね作用を及ぼすようにされる。また、金属
カバー４には、ステータ２の外周面の下端部にまで延び
る端子１８が形成される。この端子１８は、ステータ２
の一方の端子９と半田付けされることもある。
よって回転可能に収納される。金属カバー４は、このよ
うにロータ３を回転可能に収納する形状を有していて、
図示しないが、その一部がステータ２に係合することに
より、ステータ２に固定される。金属カバー４の上面に
は、金属ロータ３のドライバ溝１６を露出させるための
調整用穴１７が設けられる。この調整用穴１７の周縁部
には、わずかに円錐状の勾配が与えられ、金属ロータ３
に向かってばね作用を及ぼすようにされる。また、金属
カバー４には、ステータ２の外周面の下端部にまで延び
る端子１８が形成される。この端子１８は、ステータ２
の一方の端子９と半田付けされることもある。
【０００６】ばねワッシャ５は、金属ロータ３の上面１
０と金属カバー４の調整用穴１７の周縁部との間に配置
され、金属ロータ３に向かってばね作用を及ぼすよう
に、たとえば円錐状の勾配を形成している。このような
構成を備えるトリマコンデンサ１において、金属カバー
４の調整用穴１７の周縁部とばねワッシャ５とのばね作
用により、金属ロータ３はステータ２に押し付けられ、
金属ロータ３とステータ２との間で安定した密着状態が
得られる。これによって、金属ロータ３のトルクおよび
ステータ電極６とロータ電極１４との間で形成される静
電容量が安定する。そして、この静電容量は、ステータ
電極６に電気的に接続される端子８と、ロータ電極１４
を形成する金属ロータ３にばねワッシャ５を介して電気
的に接続される金属カバーに設けられた端子１８とによ
って取り出される。
０と金属カバー４の調整用穴１７の周縁部との間に配置
され、金属ロータ３に向かってばね作用を及ぼすよう
に、たとえば円錐状の勾配を形成している。このような
構成を備えるトリマコンデンサ１において、金属カバー
４の調整用穴１７の周縁部とばねワッシャ５とのばね作
用により、金属ロータ３はステータ２に押し付けられ、
金属ロータ３とステータ２との間で安定した密着状態が
得られる。これによって、金属ロータ３のトルクおよび
ステータ電極６とロータ電極１４との間で形成される静
電容量が安定する。そして、この静電容量は、ステータ
電極６に電気的に接続される端子８と、ロータ電極１４
を形成する金属ロータ３にばねワッシャ５を介して電気
的に接続される金属カバーに設けられた端子１８とによ
って取り出される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述の金属ロータ３
は、通常、銅合金を用いて冷間鍛造により、あるいは亜
鉛合金を用いて鋳造により製造されている。しかしなが
ら、冷間鍛造や鋳造は、金属ロータ３のための専用金型
が必要であり、初期コストが高くなるとともに、加工中
において金型に及ばされる負荷が比較的大きいため、金
型の寿命が短く、その点でもコストのかかる作業であ
る。さらに、これらの方法により得られたばかりの金属
ロータ３のロータ電極１４の表面粗さおよびうねりは、
数１０μｍ以上になる。他方、トリマコンデンサ１の金
属ロータ３として必要な金属ロータ３の表面粗さおよび
うねりは、一般的に、５μｍ以下とされている。この金
属ロータ３の表面粗さおよびうねりは、小さければ小さ
いほど、静電容量の安定性が増すため、できるだけ小さ
くされることが望まれる。
は、通常、銅合金を用いて冷間鍛造により、あるいは亜
鉛合金を用いて鋳造により製造されている。しかしなが
ら、冷間鍛造や鋳造は、金属ロータ３のための専用金型
が必要であり、初期コストが高くなるとともに、加工中
において金型に及ばされる負荷が比較的大きいため、金
型の寿命が短く、その点でもコストのかかる作業であ
る。さらに、これらの方法により得られたばかりの金属
ロータ３のロータ電極１４の表面粗さおよびうねりは、
数１０μｍ以上になる。他方、トリマコンデンサ１の金
属ロータ３として必要な金属ロータ３の表面粗さおよび
うねりは、一般的に、５μｍ以下とされている。この金
属ロータ３の表面粗さおよびうねりは、小さければ小さ
いほど、静電容量の安定性が増すため、できるだけ小さ
くされることが望まれる。
【０００８】したがって、上述の冷間鍛造や鋳造によっ
て得られた金属ロータ３は、後加工として、ロータ電極
１４の表面粗さおよびうねりを小さくするため、ラップ
盤等による平面研磨を必要とする。しかしながら、この
平面研磨加工は、ラップ盤等の上にロータ電極１４の表
面が接触するように方向出しをしながら、金属ロータ３
を並べる必要があり、また、研磨しろの調整も必要であ
るため、比較的面倒であり、またコストのかかる作業で
ある。
て得られた金属ロータ３は、後加工として、ロータ電極
１４の表面粗さおよびうねりを小さくするため、ラップ
盤等による平面研磨を必要とする。しかしながら、この
平面研磨加工は、ラップ盤等の上にロータ電極１４の表
面が接触するように方向出しをしながら、金属ロータ３
を並べる必要があり、また、研磨しろの調整も必要であ
るため、比較的面倒であり、またコストのかかる作業で
ある。
【０００９】そこで、この発明の目的は、上述したよう
な冷間鍛造や鋳造によることなく、安価にかつ能率的に
トリマコンデンサ用金属ロータを製造できる方法を提供
しようとすることである。
な冷間鍛造や鋳造によることなく、安価にかつ能率的に
トリマコンデンサ用金属ロータを製造できる方法を提供
しようとすることである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明は、上面および
下面ならびにこれら上面および下面間を連結する外周面
を有し、下面側には部分的に突出する段部の表面をもっ
てロータ電極の表面が形成され、かつ上面側にはドライ
バ溝が形成された、そのようなトリマコンデンサ用金属
ロータを製造する方法に向けられるものであって、簡単
に言えば、基本的にエッチング技術を適用して金属ロー
タを製造しようとすることを特徴としている。
下面ならびにこれら上面および下面間を連結する外周面
を有し、下面側には部分的に突出する段部の表面をもっ
てロータ電極の表面が形成され、かつ上面側にはドライ
バ溝が形成された、そのようなトリマコンデンサ用金属
ロータを製造する方法に向けられるものであって、簡単
に言えば、基本的にエッチング技術を適用して金属ロー
タを製造しようとすることを特徴としている。
【００１１】すなわち、この発明では、まず、金属板が
用意される。そして、この金属板は、エッチングレジス
トを用いながら選択的にエッチングされ、それによっ
て、前述した段部、ドライバ溝および外周面が形成され
る。
用意される。そして、この金属板は、エッチングレジス
トを用いながら選択的にエッチングされ、それによっ
て、前述した段部、ドライバ溝および外周面が形成され
る。
【００１２】
【発明の効果】この発明によれば、エッチングレジスト
を用いた選択的なエッチングにより、ロータ電極のため
の段部、ドライバ溝および外周面といった金属ロータに
とって必要な形状が形成されるので、まず、冷間鍛造や
鋳造による場合には必要であった金型が不要になるの
で、金型に関するコストを削減することができる。
を用いた選択的なエッチングにより、ロータ電極のため
の段部、ドライバ溝および外周面といった金属ロータに
とって必要な形状が形成されるので、まず、冷間鍛造や
鋳造による場合には必要であった金型が不要になるの
で、金型に関するコストを削減することができる。
【００１３】また、金属板の段階で有するその少なくと
も一方主面における平滑性は、上述したエッチングの間
も維持され、この平滑性を有する金属板の主面をそのま
まロータ電極の表面とすることができる。このような金
属板の主面にロータ電極の表面にとって必要な平滑性を
与える工程が必要な場合、この工程は、エッチング工程
の前、あるいはエッチング工程の中間段階であって少な
くとも金属ロータの外周面を形成する前に実施されるの
が好ましい。このように、金属板の主面にロータ電極の
表面にとって必要な平滑性を与える工程を、エッチング
工程の前、あるいはエッチング工程の中間段階であって
金属ロータの外周面を形成する前に実施するようにすれ
ば、この段階での研磨等の平滑化のための工程は、金属
ロータより大きい金属板の状態で実施することができる
ので、その取扱いが個々の金属ロータを取り扱う場合に
比べて容易であり、また後加工による研磨が不要とな
り、かつ能率的に進めることができる。その結果、コス
トダウンを図ることができる。
も一方主面における平滑性は、上述したエッチングの間
も維持され、この平滑性を有する金属板の主面をそのま
まロータ電極の表面とすることができる。このような金
属板の主面にロータ電極の表面にとって必要な平滑性を
与える工程が必要な場合、この工程は、エッチング工程
の前、あるいはエッチング工程の中間段階であって少な
くとも金属ロータの外周面を形成する前に実施されるの
が好ましい。このように、金属板の主面にロータ電極の
表面にとって必要な平滑性を与える工程を、エッチング
工程の前、あるいはエッチング工程の中間段階であって
金属ロータの外周面を形成する前に実施するようにすれ
ば、この段階での研磨等の平滑化のための工程は、金属
ロータより大きい金属板の状態で実施することができる
ので、その取扱いが個々の金属ロータを取り扱う場合に
比べて容易であり、また後加工による研磨が不要とな
り、かつ能率的に進めることができる。その結果、コス
トダウンを図ることができる。
【００１４】なお、これらの利点を望まないならば、金
属ロータの外周面を形成した後に、ロータ電極の表面に
とって必要な平滑性を与える工程が実施されてもよい。
また、エッチングにより金属ロータの外周面も形成され
るので、比較的大きな金属板から多数の金属ロータを能
率的に取り出すことができる。そのため、１枚の金属板
から多数の金属ロータを取り出すようにすれば、必要な
場合における研磨等の平滑化のための工程からエッチン
グ工程に至るまで、得ようとする多数の金属ロータに関
して同時に実施できることになり、製造効率を高めるこ
とができ、この点においても、コストダウンを図ること
ができる。
属ロータの外周面を形成した後に、ロータ電極の表面に
とって必要な平滑性を与える工程が実施されてもよい。
また、エッチングにより金属ロータの外周面も形成され
るので、比較的大きな金属板から多数の金属ロータを能
率的に取り出すことができる。そのため、１枚の金属板
から多数の金属ロータを取り出すようにすれば、必要な
場合における研磨等の平滑化のための工程からエッチン
グ工程に至るまで、得ようとする多数の金属ロータに関
して同時に実施できることになり、製造効率を高めるこ
とができ、この点においても、コストダウンを図ること
ができる。
【００１５】また、従来のように、冷間鍛造を行なう場
合には、加工硬化の問題に遭遇することがある。そのた
め、耐蝕性は良好であるが、加工硬化しやすいステンレ
ス鋼や洋白などは、鍛造には不向きな材料であったが、
この発明によれば、鍛造によらず、エッチングを用いる
ので、これらステンレス鋼や洋白などの加工硬化の著し
い材料であっても金属ロータのための材料として用いる
ことができるようになる。したがって、これらステンレ
ス鋼や洋白等が有する良好な耐蝕性を活かして金属ロー
タの耐蝕性を向上させることができ、結果として、トリ
マコンデンサの電気特性を向上させることができる。
合には、加工硬化の問題に遭遇することがある。そのた
め、耐蝕性は良好であるが、加工硬化しやすいステンレ
ス鋼や洋白などは、鍛造には不向きな材料であったが、
この発明によれば、鍛造によらず、エッチングを用いる
ので、これらステンレス鋼や洋白などの加工硬化の著し
い材料であっても金属ロータのための材料として用いる
ことができるようになる。したがって、これらステンレ
ス鋼や洋白等が有する良好な耐蝕性を活かして金属ロー
タの耐蝕性を向上させることができ、結果として、トリ
マコンデンサの電気特性を向上させることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、この発明の一実施形態に
よるトリマコンデンサ用金属ロータの製造方法に含まれ
る工程を順次示す断面図である。この実施形態は、前述
の図６ないし図８に示した金属ロータ３を製造しようと
するものである。まず、図１（１）に示すように、金属
板２１が用意される。この金属板２１は、圧延工程、ま
たは圧延および研磨工程を経て得られたもので、その主
面２２および２３は、ロータ電極１４の表面にとって必
要な平滑性を有している。この平滑性としては、たとえ
ば５μｍ以下の表面粗さに選ばれるのが望ましい。この
金属板２１の材料は任意であり、たとえば、銅合金のほ
か、ステンレス鋼や洋白なども用いることができる。
よるトリマコンデンサ用金属ロータの製造方法に含まれ
る工程を順次示す断面図である。この実施形態は、前述
の図６ないし図８に示した金属ロータ３を製造しようと
するものである。まず、図１（１）に示すように、金属
板２１が用意される。この金属板２１は、圧延工程、ま
たは圧延および研磨工程を経て得られたもので、その主
面２２および２３は、ロータ電極１４の表面にとって必
要な平滑性を有している。この平滑性としては、たとえ
ば５μｍ以下の表面粗さに選ばれるのが望ましい。この
金属板２１の材料は任意であり、たとえば、銅合金のほ
か、ステンレス鋼や洋白なども用いることができる。
【００１７】なお、このようにロータ電極１４の表面に
とって必要な平滑性が与えられるのが、両方の主面２２
および２３であるとき、以後の工程において、金属板２
１の表裏を区別する必要がないという利点をもたらすも
のであるが、このような利点を望まないならば、いずれ
か一方の主面、たとえば主面２３のみにおいて必要な平
滑性が与えられるようにされてもよい。
とって必要な平滑性が与えられるのが、両方の主面２２
および２３であるとき、以後の工程において、金属板２
１の表裏を区別する必要がないという利点をもたらすも
のであるが、このような利点を望まないならば、いずれ
か一方の主面、たとえば主面２３のみにおいて必要な平
滑性が与えられるようにされてもよい。
【００１８】次に、同じく図１（１）に示すように、金
属板２１の主面２２および２３のそれぞれに、第１のレ
ジスト２４が形成される。この第１のレジスト２４の形
成パターンは、主面２２側にあっては、得ようとする金
属ロータ３の上面１０におけるドライバ溝１６の部分、
また、主面２３側にあっては、金属ロータ３の下面１１
における段部１３および凸部１５以外の部分をそれぞれ
露出させるように選ばれる。
属板２１の主面２２および２３のそれぞれに、第１のレ
ジスト２４が形成される。この第１のレジスト２４の形
成パターンは、主面２２側にあっては、得ようとする金
属ロータ３の上面１０におけるドライバ溝１６の部分、
また、主面２３側にあっては、金属ロータ３の下面１１
における段部１３および凸部１５以外の部分をそれぞれ
露出させるように選ばれる。
【００１９】次に、図１（２）に示すように、ハーフエ
ッチングが施される。これによって、ドライバ溝１６が
一方主面２２側に形成され、段部１３および凸部１５が
他方主面２３側に形成される。主面２２側からのハーフ
エッチングの深さ、および他方主面２３側からのハーフ
エッチングの深さは、たとえば、エッチング液量および
エッチング時間の条件によって個別に設定される。
ッチングが施される。これによって、ドライバ溝１６が
一方主面２２側に形成され、段部１３および凸部１５が
他方主面２３側に形成される。主面２２側からのハーフ
エッチングの深さ、および他方主面２３側からのハーフ
エッチングの深さは、たとえば、エッチング液量および
エッチング時間の条件によって個別に設定される。
【００２０】次に、図１（３）に示すように、第１のレ
ジスト２４が除去される。次に、図１（４）に示すよう
に、金属板２１の主面２２および２３のそれぞれに、第
２のレジスト２５が形成される。この第２のレジスト２
５の形成パターンは、得ようとする金属ロータ３の上面
１０および下面１１の平面形状に相当している。
ジスト２４が除去される。次に、図１（４）に示すよう
に、金属板２１の主面２２および２３のそれぞれに、第
２のレジスト２５が形成される。この第２のレジスト２
５の形成パターンは、得ようとする金属ロータ３の上面
１０および下面１１の平面形状に相当している。
【００２１】次に、図１（５）に示すように、第２のレ
ジスト２５によって挟まれた部分以外の部分を除去する
ように、エッチングが施される。このエッチングによっ
て、得ようとする金属ロータ３の外周面１２が形成され
る。この段階で、金属ロータ３の形状が完成している。
次に、図１（６）に示すように、第２のレジスト２５が
除去される。
ジスト２５によって挟まれた部分以外の部分を除去する
ように、エッチングが施される。このエッチングによっ
て、得ようとする金属ロータ３の外周面１２が形成され
る。この段階で、金属ロータ３の形状が完成している。
次に、図１（６）に示すように、第２のレジスト２５が
除去される。
【００２２】このようにして、所望の金属ロータ３が得
られる。ここで、段部１３の表面をもって形成されたロ
ータ電極１４の表面は、エッチング処理中は第１または
第２のレジスト２４または２５によって覆われているの
で、金属板２１の主面２３に当初与えられた平滑性がそ
のまま維持されていることに注目すべきである。なお、
用意された金属板２１の表面が十分な平滑性を有してい
ない場合、図１（３）の工程後に、金属ロータ３のロー
タ電極１４にとって必要な平滑性をロータ電極１４の表
面に与えるための工程が実施されてもよい。
られる。ここで、段部１３の表面をもって形成されたロ
ータ電極１４の表面は、エッチング処理中は第１または
第２のレジスト２４または２５によって覆われているの
で、金属板２１の主面２３に当初与えられた平滑性がそ
のまま維持されていることに注目すべきである。なお、
用意された金属板２１の表面が十分な平滑性を有してい
ない場合、図１（３）の工程後に、金属ロータ３のロー
タ電極１４にとって必要な平滑性をロータ電極１４の表
面に与えるための工程が実施されてもよい。
【００２３】図２は、この発明の他の実施形態によるト
リマコンデンサ用金属ロータの製造方法に含まれる工程
を順次示す断面図である。この実施形態も、前述の図６
ないし図８に示した金属ロータ３を製造しようとするも
のである。まず、図２（１）に示すように、金属板３１
が用意される。この金属板３１も、前述の金属板２１と
同様、圧延工程、または圧延および研磨工程を経て得ら
れたもので、その主面３２および３３は、たとえば５μ
ｍ以下の表面粗さといった、ロータ電極１４の表面にと
って必要な平滑性を有している。なお、いずれか一方の
主面、たとえば主面３３のみにおいて必要な平滑性が与
えられるようにされてもよい。
リマコンデンサ用金属ロータの製造方法に含まれる工程
を順次示す断面図である。この実施形態も、前述の図６
ないし図８に示した金属ロータ３を製造しようとするも
のである。まず、図２（１）に示すように、金属板３１
が用意される。この金属板３１も、前述の金属板２１と
同様、圧延工程、または圧延および研磨工程を経て得ら
れたもので、その主面３２および３３は、たとえば５μ
ｍ以下の表面粗さといった、ロータ電極１４の表面にと
って必要な平滑性を有している。なお、いずれか一方の
主面、たとえば主面３３のみにおいて必要な平滑性が与
えられるようにされてもよい。
【００２４】次に、同じく図２（１）に示すように、金
属板３１の主面３２および３３のそれぞれに、第１のレ
ジスト３４が形成され、さらに、主面３３上に形成され
た第１のレジスト３４を覆うように、主面３３上に第２
のレジスト３５が形成される。第１のレジスト３４の形
成パターンは、主面３２側にあっては、得ようとする金
属ロータ３の上面１０におけるドライバ溝１６以外の部
分を覆うように選ばれ、また、主面３３側にあっては、
金属ロータ３の下面１１における段部１３および凸部１
５の部分を覆うように選ばれる。また、第２のレジスト
３５の形成パターンは、得ようとする金属ロータ３の下
面１１の平面形状に相当している。
属板３１の主面３２および３３のそれぞれに、第１のレ
ジスト３４が形成され、さらに、主面３３上に形成され
た第１のレジスト３４を覆うように、主面３３上に第２
のレジスト３５が形成される。第１のレジスト３４の形
成パターンは、主面３２側にあっては、得ようとする金
属ロータ３の上面１０におけるドライバ溝１６以外の部
分を覆うように選ばれ、また、主面３３側にあっては、
金属ロータ３の下面１１における段部１３および凸部１
５の部分を覆うように選ばれる。また、第２のレジスト
３５の形成パターンは、得ようとする金属ロータ３の下
面１１の平面形状に相当している。
【００２５】次に、図２（２）に示すように、金属板３
１の主面３３側に対してのみ、ハーフエッチングが施さ
れる。これによって、得ようとする金属ロータ３の外周
面１２の一部輪郭が現れる。次に、図２（３）に示すよ
うに、第２のレジスト３５のみが除去され、第１のレジ
スト３４は残される。
１の主面３３側に対してのみ、ハーフエッチングが施さ
れる。これによって、得ようとする金属ロータ３の外周
面１２の一部輪郭が現れる。次に、図２（３）に示すよ
うに、第２のレジスト３５のみが除去され、第１のレジ
スト３４は残される。
【００２６】次に、図２（４）に示すように、エッチン
グが実施される。このエッチング処理工程において、一
方主面３２側においては、ドライバ溝１６が形成される
ように、また、他方主面３３側においては、段部１３お
よび凸部１５が形成されるように、それぞれハーフエッ
チングされる。また、図２（２）に示す工程において、
ハーフエッチングされた部分は、このエッチングによっ
てさらに除去され、得ようとする金属ロータ３の外周面
１２が完全に現れる。この段階で、金属ロータ３の形状
が完成している。
グが実施される。このエッチング処理工程において、一
方主面３２側においては、ドライバ溝１６が形成される
ように、また、他方主面３３側においては、段部１３お
よび凸部１５が形成されるように、それぞれハーフエッ
チングされる。また、図２（２）に示す工程において、
ハーフエッチングされた部分は、このエッチングによっ
てさらに除去され、得ようとする金属ロータ３の外周面
１２が完全に現れる。この段階で、金属ロータ３の形状
が完成している。
【００２７】次に、図２（５）に示すように、第１のレ
ジスト３４が除去され、図１に示した実施形態と同様、
所望の金属ロータ３が得られる。なお、上述した図１お
よび図２では、金属板２１および３１の各一部が示され
ているにすぎない。実際には、これら金属板２１および
３１の各々から多数の金属ロータ３を得るように、エッ
チング等の工程が実施される。
ジスト３４が除去され、図１に示した実施形態と同様、
所望の金属ロータ３が得られる。なお、上述した図１お
よび図２では、金属板２１および３１の各一部が示され
ているにすぎない。実際には、これら金属板２１および
３１の各々から多数の金属ロータ３を得るように、エッ
チング等の工程が実施される。
【００２８】また、図１および図２に示したエッチング
等の手順は、一例にすぎず、さらに変更することができ
る。この発明に係る製造方法によって製造される金属ロ
ータは、以上の実施形態で得ようとした図６ないし図８
に示す金属ロータ３のようなものには限らない。種々の
形状の金属ロータを、この発明に従って製造することが
できる。そのいくつかの例について、以下に図面を参照
しながら説明する。
等の手順は、一例にすぎず、さらに変更することができ
る。この発明に係る製造方法によって製造される金属ロ
ータは、以上の実施形態で得ようとした図６ないし図８
に示す金属ロータ３のようなものには限らない。種々の
形状の金属ロータを、この発明に従って製造することが
できる。そのいくつかの例について、以下に図面を参照
しながら説明する。
【００２９】図３および図４に示した金属ロータ３ａ
は、貫通するドライバ溝１６ａを有している。その他の
構成は、図６ないし図８に示した金属ロータ３と実質的
に同様であるので、相当の部分には同じ参照符号を付
し、重複する説明を省略する。図５に示した金属ロータ
３ｂは、段部１３から一体に半環状に延びる凸部１５ｂ
を形成している。その他の構成は、図６ないし図８に示
した金属ロータ３と実質的に同様であるので、相当の部
分には同じ参照符号を付し、重複する説明を省略する。
は、貫通するドライバ溝１６ａを有している。その他の
構成は、図６ないし図８に示した金属ロータ３と実質的
に同様であるので、相当の部分には同じ参照符号を付
し、重複する説明を省略する。図５に示した金属ロータ
３ｂは、段部１３から一体に半環状に延びる凸部１５ｂ
を形成している。その他の構成は、図６ないし図８に示
した金属ロータ３と実質的に同様であるので、相当の部
分には同じ参照符号を付し、重複する説明を省略する。
【００３０】このような形状の金属ロータ３ａまたは３
ｂは、冷間鍛造では得ることが困難であるが、この発明
に係るエッチングを適用すれば、容易に製造することが
できる。
ｂは、冷間鍛造では得ることが困難であるが、この発明
に係るエッチングを適用すれば、容易に製造することが
できる。
【図１】この発明の一実施形態によるトリマコンデンサ
用金属ロータの製造方法に含まれる工程を順次示す断面
図である。
用金属ロータの製造方法に含まれる工程を順次示す断面
図である。
【図２】この発明の他の実施形態によるトリマコンデン
サ用金属ロータの製造方法に含まれる工程を順次示す断
面図である。
サ用金属ロータの製造方法に含まれる工程を順次示す断
面図である。
【図３】この発明に係る製造方法により製造されること
ができる金属ロータの他の例を示す、金属ロータ３ａの
上面１０側を示す斜視図である。
ができる金属ロータの他の例を示す、金属ロータ３ａの
上面１０側を示す斜視図である。
【図４】図３に示した金属ロータ３ａの断面図である。
【図５】この発明に係る製造方法により製造されること
ができる金属ロータのさらに他の例を示す、金属ロータ
３ｂの下面１１側を示す斜視図である。
ができる金属ロータのさらに他の例を示す、金属ロータ
３ｂの下面１１側を示す斜視図である。
【図６】この発明にとって興味あるトリマコンデンサ１
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図７】図６に示したトリマコンデンサ１に備える金属
ロータ３を単独で上面１０側から示す斜視図である。
ロータ３を単独で上面１０側から示す斜視図である。
【図８】図７に示した金属ロータ３の下面１１側を示す
斜視図である。
斜視図である。
１ トリマコンデンサ ３ 金属ロータ １０ 上面 １１ 下面 １２ 外周面 １３ 段部 １４ ロータ電極 １６，１６ａ ドライバ溝 ２１，３１ 金属板 ２２，２３，３２，３３ 主面 ２４，２５，３４，３５ レジスト
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−118326（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01G 5/24 H01C 10/00 - 10/50 H01C 17/00
Claims (5)
- 【請求項１】 上面および下面ならびに前記上面および
下面間を連結する外周面を有し、前記下面側には部分的
に突出する段部の表面をもってロータ電極の表面が形成
され、かつ前記上面側にはドライバ溝が形成された、ト
リマコンデンサ用金属ロータの製造方法であって、 金属板を用意し、 エッチングレジストを用いながら前記金属板を選択的に
エッチングすることにより、前記金属板の主面の一部に
よって前記ロータ電極の表面が与えられるように、前記
段部、前記ドライバ溝および前記外周面を形成する、各
工程を備える、トリマコンデンサ用金属ロータの製造方
法。 - 【請求項２】 前記金属板の前記主面に、前記ロータ電
極の表面にとって必要な平滑性を与える工程をさらに備
える、請求項１に記載のトリマコンデンサ用金属ロータ
の製造方法。 - 【請求項３】 前記金属板の主面にロータ電極の表面に
とって必要な平滑性を与える工程は、前記外周面を形成
する前に実施される、請求項２に記載のトリマコンデン
サ用金属ロータの製造方法。 - 【請求項４】 前記金属板の主面にロータ電極の表面に
とって必要な平滑性を与える工程は、前記エッチング工
程の前に実施される、請求項３に記載のトリマコンデン
サ用金属ロータの製造方法。 - 【請求項５】 前記外周面を形成した後に、前記ロータ
電極の表面にとって必要な平滑性を与える工程がさらに
実施される、請求項１に記載のトリマコンデンサ用金属
ロータの製造方法。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8002744A JP3060929B2 (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | トリマコンデンサ用金属ロータの製造方法 |
| DE19700708A DE19700708C2 (de) | 1996-01-11 | 1997-01-10 | Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors für einen Trimmerkondensator |
| TW086100210A TW345669B (en) | 1996-01-11 | 1997-01-10 | Method of manufacturing metal rotor for trimmer capacitor |
| US08/782,041 US5979031A (en) | 1996-01-11 | 1997-01-10 | Method of manufacturing metal rotor for trimmer capacitor |
| KR1019970000578A KR100246686B1 (ko) | 1996-01-11 | 1997-01-11 | 트리머커패시터용금속로터의제조방법 |
| CN97102040A CN1085392C (zh) | 1996-01-11 | 1997-01-13 | 制造用于微调电容器的金属动片的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8002744A JP3060929B2 (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | トリマコンデンサ用金属ロータの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09190951A JPH09190951A (ja) | 1997-07-22 |
| JP3060929B2 true JP3060929B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=11537867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8002744A Expired - Lifetime JP3060929B2 (ja) | 1996-01-11 | 1996-01-11 | トリマコンデンサ用金属ロータの製造方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5979031A (ja) |
| JP (1) | JP3060929B2 (ja) |
| KR (1) | KR100246686B1 (ja) |
| CN (1) | CN1085392C (ja) |
| DE (1) | DE19700708C2 (ja) |
| TW (1) | TW345669B (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001244142A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-09-07 | Murata Mfg Co Ltd | 可変コンデンサおよび可変コンデンサ用金属ロータの製造方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3761860A (en) * | 1970-05-20 | 1973-09-25 | Alps Electric Co Ltd | Printed circuit resistor |
| JPS5646247U (ja) * | 1979-09-17 | 1981-04-24 | ||
| JP2590451B2 (ja) * | 1992-04-16 | 1997-03-12 | 株式会社村田製作所 | 可変コンデンサ |
| US5424906A (en) * | 1992-04-16 | 1995-06-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Variable capacitor |
| JP3201015B2 (ja) * | 1992-10-08 | 2001-08-20 | 株式会社村田製作所 | 可変コンデンサ |
| US5461535A (en) * | 1993-11-26 | 1995-10-24 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Variable capacitor |
-
1996
- 1996-01-11 JP JP8002744A patent/JP3060929B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-01-10 DE DE19700708A patent/DE19700708C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-01-10 TW TW086100210A patent/TW345669B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-01-10 US US08/782,041 patent/US5979031A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-01-11 KR KR1019970000578A patent/KR100246686B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-01-13 CN CN97102040A patent/CN1085392C/zh not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1085392C (zh) | 2002-05-22 |
| TW345669B (en) | 1998-11-21 |
| KR970060279A (ko) | 1997-08-12 |
| JPH09190951A (ja) | 1997-07-22 |
| DE19700708A1 (de) | 1997-07-24 |
| CN1161550A (zh) | 1997-10-08 |
| DE19700708C2 (de) | 2001-04-26 |
| US5979031A (en) | 1999-11-09 |
| KR100246686B1 (ko) | 2000-03-15 |
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