DE19700708A1 - Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors für einen Trimmerkondensator - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors, der gedreht werden kann, um die Kapazität eines Trimmerkondensators einzustellen.

Fig. 6 ist eine Schnittansicht eines Beispiels eines bekann­ ten Trimmerkondensators, der den Hintergrund der vorliegen­ den Erfindung bildet.

Der dargestellte Trimmerkondensator 1 ist von einem Oberflä­ chen-montierbaren Typ, wobei seine Hauptkomponenten ein Sta­ tor 2, ein Metallrotor 3, eine Metallabdeckung 4 und eine Federunterlegscheibe 5 sind. Der Stator 2 ist durch ein ke­ ramisches dielektrisches Material aufgebaut und weist Sta­ torelektroden 6 und 7, die parallel gebildet sind, auf. An­ schlüsse 8 und 9, die durch leitfähige Filme gebildet sind, sind auf gegenüberliegenden Seiten des Stators 2 gebildet, um elektrisch mit den Statorelektroden 6 bzw. 7 verbunden zu sein. Folglich weist der Stator 2 eine symmetrische Struktur auf. Dies ist vorteilhaft dahingehend, daß kein Bedarf da­ nach besteht, Rücksicht auf die Richtung des Stators 2 zu nehmen, wenn der Trimmerkondensator 1 zusammengebaut wird. Bei dem Fall, der in Fig. 6 gezeigt ist, kann die Stator­ elektrode 7 oder der Anschluß 9, der derselben zugeordnet ist, weggelassen werden.

Der Metallrotor 3 ist auf dem Stator 2 vorgesehen. Der Me­ tallrotor ist ferner in den Fig. 7 und 8 dargestellt. Die Fig. 7 und 8 zeigen den Metallrotor 3 von der Seite einer oberen Oberfläche 10 bzw. einer unteren Oberfläche 11 des­ selben betrachtet.

Der Metallrotor 3 weist die obere Oberfläche 10, die untere Oberfläche 11 und eine Umfangoberfläche 12 auf, die die­ selben verbindet. Wie deutlich in Fig. 8 zu sehen ist, ist eine Oberfläche einer Rotorelektrode 14 durch eine Oberflä­ che eines Stufenabschnitts 13 gebildet, der in einer halb­ kreisförmigen Konfiguration von einem Teil der unteren Ober­ fläche 11 vorsteht. Ferner ist ein Vorsprungabschnitt 15, dessen Höhe im Wesentlichen gleich der des Stufenabschnitts 13 ist, ebenfalls auf der unteren Oberfläche 11 gebildet, um ein Kippen des Metallrotors 3 als ein Ergebnis der Bildung des Stufenabschnitts 13 zu verhindern. Andererseits ist, wie deutlich in Fig. 7 dargestellt ist, eine Treiberrille 16 auf der oberen Oberfläche des Metallrotors 3 gebildet.

Der oben beschriebene Metallrotor 3 ist drehbar in die Me­ tallabdeckung 4 aufgenommen. Die Metallabdeckung 4 weist eine Konfiguration auf, die geeignet ist, um den Rotor 3 drehbar in derselben aufzunehmen, und ist fest an dem Stator 2 befestigt, indem dieselbe partiell mit dem Stator 2 Ein­ griff nimmt. Auf einer oberen Oberfläche der Metallabdeckung 4 ist ein Einstellungsloch 17 vorgesehen, um die Treiberril­ le des Metallrotors 3 freizulegen. Der periphäre Abschnitt dieses Einstellungslochs 17 ist in einer konischen Konfigu­ ration leicht geneigt, um eine Federwirkung auf den Metall­ rotor 3 auszuüben. Die Metallabdeckung 4 ist ferner mit ei­ nem Anschluß 18 ausgebildet, der sich zu dem unteren Ende der Umfangoberfläche des Stators 2 erstreckt. Dieser An­ schluß 18 kann an den Anschluß 9 des Stators 2 gelötet sein.

Eine Federunterlegscheibe 5 ist zwischen der oberen Oberflä­ che 10 des Metallrotors 3 und dem periphären Abschnitt des Einstellungslochs 17 auf der Metallabdeckung 4 angeordnet und ist beispielsweise in einer konischen Konfiguration ge­ neigt, um eine Federwirkung auf den Metallrotor 3 auszuüben.

Bei dem Trimmerkondensator 1 mit der obigen Konfiguration drückt die Federwirkung, die durch den periphären Abschnitt des Einstellungslochs 17 auf der Metallabdeckung und der Fe­ derunterlegscheibe 5 geliefert wird, den Metallrotor 3 gegen den Stator 2, um einen stabilen Kontakt zwischen dem Metall­ rotor 3 und dem Stator 2 zu liefern. Dies stabilisiert das Drehmoment des Metallrotors und die Kapazität, die zwischen der Statorelektrode 6 und der Rotorelektrode 14 gebildet ist. Diese Kapazität wird durch den Anschluß 8, der elek­ trisch mit der Statorelektrode 6 verbunden ist, und durch den Anschluß 18, der auf der Metallabdeckung vorgesehen und durch die Federunterlegscheibe 5 mit dem Metallrotor 3, die Rotorelektrode 15 bildet, nach außen geführt.

Der oben beschriebene Metallrotor 3 wird normalerweise mit­ tels eines Kaltverformung aus einer Kupferlegierung oder mittels Gießverfahren aus einer Zinklegierung hergestellt. Jedoch erfordert die Kaltverformung oder das Gießverfahren, daß eine Metallform ausschließlich für den Metallrotor 3 verwendet wird. Daher erfordert eine derartige Operation nicht nur hohe anfängliche Kosten sondern führt ferner Ko­ sten ein, die einer Reduzierung der Lebensdauer der Metall­ form zugeordnet sind, da dieselbe während der Bearbeitung der Metallform eine relativ hohe Belastung aufbürdet. Außer­ dem weist eine Rotorelektrode 14 auf dem Metallrotor 3, die genau unter Verwendung eines derartigen Verfahrens erhalten wurde, eine Oberflächenrauhigkeit oder Welligkeit in der Größenordnung von mehreren 10 µm oder darüber auf, während die Oberflächenrauhigkeit und die Welligkeit, die normaler­ weise für einen Metallrotor 3 eines Trimmerkondensators 1 erforderlich ist, 5 µm oder geringer ist. Die Oberflächenrau­ higkeit und die Welligkeit eines Metallrotors 3 ist vorzugs­ weise so klein wie möglich, da die Kapazität stabiler wird, je kleiner die Oberflächenrauhigkeit und die Welligkeit ist.

Daher muß ein Metallrotor 3, der unter Verwendung der Kalt­ verformung oder des Gießverfahrens wie oben beschrieben er­ halten wird, einem Oberflächenschleifen unter Verwendung ei­ ner Läppmaschine oder dergleichen als einer Nachbehandlung unterworfen werden, um die Oberflächenrauhigkeit und die Welligkeit der Rotorelektrode 14 zu reduzieren. Jedoch muß bei einem derartigen Oberflächenschleifverfahren der Metall­ rotor 3 auf der Läppmaschine oder dergleichen mit einer Aus­ richtung angeordnet werden, bei der die Oberfläche der Ro­ torelektrode 14 in Kontakt mit der Maschine ist. Ferner muß die Tiefe des Schleifens eingestellt werden, was relativ komplizierte und kostspielige Operationen beinhaltet.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein ökonomisches und effizientes Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors für einen Trimmerkondensator zu schaffen, das keine Kaltverformungs- oder Gießverfahren wie oben beschrie­ ben beinhaltet.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 ge­ löst.

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors für einen Trimmerkondensator, der eine obere und eine untere Oberfläche und eine Umfang­ oberfläche, die die obere und untere Oberfläche verbindet, aufweist, und bei dem eine Oberfläche einer Rotorelektrode durch eine Oberfläche eines Stufenabschnitts, der von einem Teil der unteren Oberfläche vorsteht, gebildet ist, und bei dem eine Treiberrille auf der oberen Oberfläche gebildet ist. Kurz ausgedrückt wird gemäß einem Aspekt der vorliegen­ den Erfindung ein Metallrotor unter Verwendung einer Ätz­ technik hergestellt.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird zunächst eine Metall­ platte bereitgestellt. Diese Metallplatte wird unter Ver­ wendung eines Ätzresists selektiv geätzt, um den Stufen­ abschnitt, die Treiberrille und die Umfangoberfläche des oben beschriebenen Aufbaus zu bilden.

Gemäß der vorliegenden Erfindung werden Merkmale, die für den bekannten Metallrotor wesentlich sind, beispielsweise ein Stufenabschnitt für eine Rotorelektrode, eine Treiber­ rille und eine Umfangoberfläche mittels des selektiven Ätzens unter Verwendung eines Ätzresists mit dem oben be­ schriebenen Aufbau gebildet. Dies liefert einen ersten Vor­ teil dahingehend, daß kein Bedarf nach einer Metallform be­ steht, die erforderlich ist, wenn Kaltverformungs- oder Gieß-Verfahren verwendet werden, weshalb die Kosten, die ei­ ner derartigen Metallform zugeordnet sind, beseitigt sein können.

Ferner wird die anfängliche Glattheit der Metallplatte auf zumindest einer Hauptoberfläche derselben während des ge­ samten Ätzens wie oben beschrieben beibehalten, wobei eine derart glatte Hauptoberfläche ohne weitere Behandlung als eine Oberfläche der resultierenden Rotorelektrode verwendet kann.

Wenn ein zusätzlicher Glättungsprozeß, beispielsweise ein Schleifen, durchgeführt werden muß, um eine solche Haupt­ oberfläche einer Metallplatte mit einer Glattheit, die für eine Oberfläche einer Rotorelektrode erforderlich ist, zu liefern, wird ein derartiges Verfahren vorzugsweise vor dem Ätzverfahren oder in einer Zwischenphase des Ätzverfahrens durchgeführt, die zumindest vor der Bildung der Umfangober­ fläche des Metallrotors stattfindet. Durch das Durchführen des Glättungsverfahrens vor dem Ätzverfahren oder in einer solchen Zwischenphase des Ätzverfahrens kann das Glättungs­ verfahren in dieser Phase auf der Metallplatte durchgeführt werden, die größer als der Metallrotor ist. Eine Metallplat­ te ist einfacher zu handhaben als einzelne Metallrotoren, erfordert keine Nachbehandlung für das Schleifen und kann effizient bearbeitet werden. Dies hat eine Kostenreduzierung zur Folge.

Wenn die oben beschriebenen Vorteile nicht erwünscht sind, kann das Verfahren zum Erreichen der Glattheit, die für eine Oberfläche einer Rotorelektrode erforderlich ist, nach der Bildung der Umfangoberfläche eines Metallrotors durchgeführt werden.

Da die Umfangoberfläche eines Metallrotors ebenfalls durch das Ätzen gebildet wird, kann ferner eine größere Anzahl von Metallrotoren effizient aus einer relativ großen Metallplat­ te erhalten werden. Daher kann das Verfahren beginnend mit dem Glättungsprozeß, beispielsweise dem Schleifen, wenn es erforderlich ist, bis zu dem Ätzverfahren gleichzeitig für alle der großen Anzahl von Metallrotoren, die erhalten wer­ den sollen, durchgeführt werden. Dies verbessert die Her­ stellungseffizienz, wobei auch unter diesem Gesichtspunkt eine Kostenreduzierung erwartet werden kann.

Ferner kann das Problem einer Kaltverfestigung angetroffen werden, wenn wie gemäß dem Stand der Technik Kaltverfor­ mungsverfahren durchgeführt werden. Aus diesem Grund wurden rostfreier Stahl und Nickelsilber als Materialien betrach­ tet, die für die Verformung ungeeignet sind, da dieselben anfällig für eine Kaltverfestigung sind, obwohl sie auf­ grund ihres Korrosionswiderstands bevorzugt sind. Gemäß der vorliegenden Erfindung, bei der statt der Verformung ein Ätzen verwendet wird, können sogar Materialien, die signifi­ kant anfällig für eine Hartverfestigung sind, beispielsweise rostfreier Stahl oder Nickelsilber, als ein Material für ei­ nen Metallrotor verwendet werden. Dies macht es möglich, den Korrosionswiderstand eines Metallrotors zu verbessern, indem der vorteilhafte Korrosionswiderstand, der durch rostfreien Stahl, Nickelsilber und dergleichen gezeigt wird, ausgenutzt wird.

Folglich können die elektrischen Charakteristika eines Trim­ merkondensators verbessert sein.

Bevorzugte Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1A bis 1F Schnittansichten, die im wesentlichen Schritte darstellen, die bei einem Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors für einen Trimmerkon­ densator gemäß einem Ausführungsbeispiel der vor­ liegenden Erfindung enthalten sind;

Fig. 2A bis 2E Schnittansichten, die im wesentlichen Schritte zeigen, die bei einem Verfahren zum Her­ stellen eines Metallrotors für einen Trimmerkonden­ sator gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung enthalten sind;

Fig. 3 eine perspektivische Ansicht eines Metallrotors 3a von der Seite einer oberen Oberfläche 10 desselben betrachtet, die ein weiteres Beispiel eines Metall­ rotors, der gemäß dem Herstellungsverfahren der vorliegenden Erfindung hergestellt werden kann, zeigt;

Fig. 4 eine Schnittansicht des Metallrotors 3a, der in Fig. 3 gezeigt ist;

Fig. 5 eine perspektivische Ansicht eines Metallrotors 3b von der Seite einer unteren Oberfläche 11 desselben betrachtet, die noch ein weiteres Beispiel eines Metallrotors, der gemäß dem Herstellungsverfahren der vorliegenden Erfindung hergestellt werden kann, zeigt;

Fig. 6 eine Schnittansicht eines bekannten Trimmerkonden­ sators 1, der die Hintergrundtechnik der vorliegen­ den Erfindung bildet;

Fig. 7 eine perspektivische Ansicht eines Metallrotors, der in dem Trimmerkondensator 1, der in Fig. 6 ge­ zeigt ist, enthalten ist, betrachtet von der Seite einer oberen Fläche 10 desselben; und

Fig. 8 eine perspektivische Ansicht des Metallrotors 3, der in Fig. 7 gezeigt ist, betrachtet von der Seite einer unteren Oberfläche 11 desselben.

Die Fig. 1A bis 1F sind Schnittansichten, die im wesentli­ chen Schritte zeigen, die bei einem Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors für einen Trimmerkondensator gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung enthalten sind. Das vorliegende Ausführungsbeispiel ist für die Her­ stellung des vorher genannten Metallrotors 3, der in den Fig. 6 bis 8 gezeigt ist, bestimmt.

Wie in Fig. 1A gezeigt ist, wird zunächst eine Metallplatte 21 durch ein Walzverfahren oder durch Walz- und Schleif-Ver­ fahren bereitgestellt. Dieselbe zeigt auf Hauptoberflächen 22 und 23 derselben einen Glattheitsgrad, der für die Ober­ fläche einer Rotorelektrode 14 erforderlich ist. Eine der­ artige Glattheit ist vorzugsweise eine Oberflächenrauhigkeit von beispielsweise 5 µm oder weniger. Die Metallplatte 21 kann aus einem beliebigen Material hergestellt sein, wobei es beispielsweise möglich ist, rostfreien Stahl, Nickelsil­ ber und dergleichen ebenso wie eine Kupferlegierung zu ver­ wenden.

Wenn die Glattheit, die für die Oberfläche der Rotorelek­ trode 14 erforderlich ist, auf beiden Hauptoberflächen 22 und 23 wie oben beschrieben erhalten ist, existiert ein Vorteil dahingehend, daß es nicht notwendig ist, die zwei Seiten der Metallplatte 21 bei nachfolgenden Schritten von­ einander zu unterscheiden. Wenn ein solcher Vorteil nicht erwünscht ist, kann die erforderliche Glattheit auf nur ei­ ner der Hauptoberflächen, beispielsweise der Hauptoberfläche 23, erhalten werden.

Als nächstes wird, wie ebenfalls in Fig. 1A gezeigt ist, ein erstes Resist 24 auf jeder der Hauptoberflächen 22 und 23 der Metallplatte 21 gebildet. Das erste Resist 24 wird in einem Muster auf der Hauptoberfläche 22 gebildet, das aus­ gewählt ist, um die Region einer Treiberrille 16 auf einer oberen Oberfläche 10 eines Metallrotors 3, der erhalten wer­ den soll, zu exponieren, und in einem Muster auf der Haupt­ oberfläche 23, das ausgewählt ist, um Regionen einer unteren Oberfläche 11 des Metallrotors 3 außer den Regionen eines Stufenabschnitts 13 und eines Vorsprungabschnitts 15 zu ex­ ponieren.

Als nächstes wird ein Halbätzen durchgeführt, wie in Fig. IB gezeigt ist. Folglich wird eine Treiberrille 16 auf der Hauptoberfläche 22 gebildet und der Stufenabschnitt 13 und der Vorsprungabschnitt 15 werden auf der Hauptoberfläche 23 gebildet. Die Tiefen des Halbätzens auf den Hauptoberflächen 22 und 23 sind unabhängig gemäß den Bedingungen, beispiels­ weise der Ätzmittelmenge und der Ätzzeit, bestimmt.

Danach wird das erste Resist 24 beseitigt, wie in Fig. 1C gezeigt ist.

Danach wird, wie in Fig. 1D gezeigt ist, ein zweites Resist 25 auf jeder der Hauptoberflächen 22 und 23 der Metallplatte 21 gebildet. Die Muster, in denen das zweite Resist 25 ge­ bildet wird, entsprechen den Konfigurationen der oberen Oberfläche 10 und der unteren Oberfläche 11 des Metallrotors 3, der erhalten werden soll.

Als nächstes wird, wie Fig. 1E gezeigt ist, ein Ätzen durch­ geführt, um Regionen außer der zwischen dem zweiten Resist 25 angeordneten Region zu entfernen. Das Ätzen bildet eine Umfangoberfläche 12 des Metallrotors 3, der erhalten werden soll. In dieser Phase wurde die Konfiguration des Metallro­ tors abgeschlossen.

Als nächstes wird das zweite Resist 25 entfernt, wie in Fig. 1F gezeigt ist.

Somit wird ein gewünschter Metallrotor 3 erhalten. Es sei bemerkt, daß, da die Oberfläche der Rotorelektrode 14, die durch eine Oberfläche des Stufenabschnitts 13 gebildet ist, während des Ätzens durch das erste Resist 24 oder das zweite Resist 25 abgedeckt ist, die anfängliche Glattheit der Hauptoberfläche 23 der Metallplatte 21 unverändert beibehal­ ten wird.

Wenn die Oberfläche der vorbereiteten Metallplatte 21 nicht ausreichend glatt ist, kann dem Schritt, der in Fig. 1C dar­ gestellt ist, ein Glättungschritt folgen, um die Oberfläche der Rotorelektrode 14 mit einer Glattheit zu versehen, die für die Rotorelektrode 14 des Metallrotors 3 erforderlich ist.

Die Fig. 2A bis 2E sind Schnittansichten, die im wesentli­ chen Schritte zeigen, die bei einem Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors für einen Trimmerkondensator gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ent­ halten sind. Das vorliegende Ausführungsbeispiel ist eben­ falls dazu bestimmt, den vorher genannten Metallrotor 3, der in den Fig. 6 bis 8 gezeigt ist, herzustellen.

Wie in Fig. 2A gezeigt ist, wird zunächst eine Metallplatte 31 bereitgestellt. Wie bei der oben beschriebenen Metall­ platte 21 wurde diese Metallplatte 31 durch ein Walzverfah­ ren oder durch Walz- und Schleif-Verfahren erhalten und zeigt auf Hauptoberflächen 32 und 33 derselben eine Glatt­ heit, die für die Oberfläche einer Rotorelektrode 14 erfor­ derlich ist, beispielsweise eine Oberflächenrauhigkeit von 5 µm oder darunter. Die erforderliche Glattheit kann auf nur einer der Hauptoberflächen, beispielsweise der Hauptoberflä­ che 33, erhalten sein.

Als nächstes wird, wie in Fig. 2A gezeigt ist, ein erstes Resist 34 auf jeder der Hauptoberflächen 32 und 33 der Me­ tallplatte 31 gebildet. Ferner wird ein zweites Resist 35 auf der Hauptoberfläche 33 gebildet, um das erste Resist 34, das auf der Hauptoberfläche 33 gebildet ist, zu bedecken.

Das erste Resist 34 wird in einem Muster auf der Hauptober­ fläche 32 gebildet, das ausgewählt ist, um Regionen außer einer Treiberrille 16 auf einer oberen Oberfläche 10 eines Metallrotors 3, der erhalten werden soll, zu bedecken, und in einem Muster auf der Hauptoberfläche 33, das ausgewählt ist, um die Regionen eines Stufenabschnitts 13 und eines Vorsprungabschnitts 15 auf einer unteren Oberfläche 11 des Metallrotors 3 zu bedecken. Das Muster, in dem das zweite Resist 35 gebildet wird, entspricht der Konfiguration der unteren Oberfläche 11 des Metallrotors 3, der erhalten wer­ den soll.

Als nächstes wird, wie in Fig. 2B gezeigt ist, ein Halbätzen nur auf der Hauptoberfläche 33 der Metallplatte 31 durchge­ führt. Dies ergibt die Kontur eines Teils einer Umfangober­ fläche 12 des Metallrotors 3, der erhalten werden soll.

Danach wird, wie in Fig. 2C gezeigt ist, nur das zweite Re­ sist 35 beseitigt, wobei das erste Resist 34 belassen wird.

Danach wird ein Ätzen durchgeführt, wie in Fig. 2D gezeigt ist. Bei diesem Ätzschritt wird ein Halbätzen durchgeführt, um die Treiberrille 16 auf der Hauptoberfläche 32, sowie den Stufenabschnitt 13 und den Vorsprungabschnitt 15 auf der Hauptoberfläche 33 zu bilden. Die Region, die in dem Schritt, der in Fig. 2B gezeigt ist, dem Halbätzen unterwor­ fen wurde, wird durch dieses Ätzen weiter beseitigt, um die Umfangoberfläche 12 des Metallrotors 3, der erhalten werden soll, vollständig zu exponieren. In dieser Phase wurde die Konfiguration des Metallrotors 3 abgeschlossen.

Als nächstes wird das erste Resist 34 entfernt, wie es in Fig. 2E gezeigt ist, um den gewünschten Metallrotor 3 zu er­ halten.

Die Fig. 1A bis 1F und die Fig. 2A bis 2E zeigen nur einen Teil der jeweiligen Metallplatten 21 und 31.

In der Praxis werden die Schritte, beispielsweise das Ätzen, durchgeführt, um eine Mehrzahl von Metallrotoren 3 aus jeder der Metallplatten 21 und 31 zu erhalten.

Die Prozeduren, wie zum Beispiel das Ätzen, die in den Fig. 1A bis 1F und 2A bis 2E gezeigt sind, sind nur darstellend und können weiter modifiziert werden.

Metallrotoren, die gemäß dem Herstellungsverfahren der vor­ liegenden Erfindung hergestellt werden, sind nicht auf sol­ che wie den Metallrotor 3, der in den Fig. 6 bis 8 gezeigt ist, für den die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele be­ stimmt sind, begrenzt. Metallrotoren, die verschiedene Kon­ figurationen aufweisen, können gemäß der vorliegenden Erfin­ dung hergestellt werden. Einige Beispiele werden nachfolgend bezugnehmend auf die Zeichnungen beschrieben.

Ein Metallrotor 3a, der in den Fig. 3 und 4 gezeigt ist, weist eine Treiberrille 16a, die denselben vollständig durchdringt. Die Konfiguration ist im übrigen im wesentli­ chen die gleiche wie die des Metallrotors 3, der in den Fig. 6 bis 8 gezeigt ist. Daher sind gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet und werden nicht nocheinmal be­ schrieben.

Ein Metallrotor 3b, der in Fig. 5 gezeigt ist, ist mit einem Vorsprungabschnitt 15b ausgebildet, der einstückig mit dem Stufenabschnitt 13 ist und sich in der Form eines Halbrings erstreckt. Die Konfiguration ist im übrigen im wesentlichen die gleiche wie die des Metallrotors 3, der in den Fig. 6 bis 8 gezeigt ist. Daher sind gleichen Teile mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet und werden nicht nocheinmal be­ schrieben.

Während ein Metallrotor 3a oder 3b, der eine derartige Kon­ figuration aufweist unter Verwendung einer Kaltverformung schwierig zu erhalten ist, kann derselbe unter Verwendung des Ätzverfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung ohne wei­ teres hergestellt werden.

Claims (13)

1. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3; 3a; 3b) für einen Trimmerkondensator (1), wobei der Metallrotor (3; 3a; 3b) eine obere Oberfläche (10), eine untere Oberfläche (11) und eine Umfangoberfläche (12) aufweist, die die obere und die untere Oberfläche (10, 11) verbin­ det, wobei eine Rotorelektrodenoberfläche (14) durch ei­ ne Oberfläche eines Stufenabschnitts (13) der von einem Teil der unteren Oberfläche (11) vorsteht, gebildet ist, und wobei eine Treiberrille (16; 16a) in der oberen Oberfläche (10) gebildet ist, gekennzeichnet durch fol­ gende Schritte:
Bereitstellen einer Metallplatte (21; 31), die eine Hauptoberfläche (23; 33) aufweist; und
selektives Ätzen der Metallplatte (21; 31) unter Ver­ wendung eines Ätzresists (24, 25; 34, 35), um den Stu­ fenabschnitt (13) in der unteren Oberfläche (11), die Treiberrille (16; 16a) in der oberen Oberfläche (10) und die Umfangoberfläche (12) zwischen denselben zu bilden, wobei die Rotorelektrodenoberfläche durch einen Teil der Hauptoberfläche (23; 33) der Metallplatte (21; 31) ge­ bildet wird.

2. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3; 3a; 3b) für einen Trimmerkondensator (1) gemäß Anspruch 1, ge­ kennzeichnet ferner durch den Schritt des Versehens der Hauptoberfläche (23; 33) der Metallplatte (21; 31) mit einem vorbestimmten Glattheitsgrad für die Rotorelektro­ denoberfläche (14).

3. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3; 3a; 3b) für einen Trimmerkondensator (1) gemäß Anspruch 2, da­ durch gekennzeichnet, daß der Glattheitsgrad eine Ober­ flächenrauhigkeit von etwa 5 µm oder weniger ist.

4. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3; 3a; 3b) für einen Trimmerkondensator (1) gemäß Anspruch 2, da­ durch gekennzeichnet, daß der Schritt des Versehens der Hauptoberfläche (23; 33) der Metallplatte (21; 31) mit dem Glattheitsgrad durchgeführt wird, bevor die Umfang­ oberfläche (12) gebildet wird.

5. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3; 3a; 3b) für einen Trimmerkondensator (1) gemäß einem der Ansprü­ che 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Schritt des Versehens der Hauptoberfläche (23; 33) der Metallplatte (21; 31) mit dem Glattheitsgrad vor dem Ätzschritt durchgeführt wird.

6. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3; 3a; 3b) für einen Trimmerkondensator (1) gemäß Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß ein Glättungsschritt zum Ver­ sehen der Rotorelektrodenoberfläche (14) mit einem vor­ bestimmten Glattheitsgrad durchgeführt wird, nachdem die Umfangoberfläche (12) gebildet ist.

7. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3; 3a; 3b) für einen Trimmerkondensator (1) gemäß Anspruch 6, da­ durch gekennzeichnet, daß der Glattheitsgrad eine Ober­ flächenrauhigkeit von etwa 5 µm oder weniger ist.

8. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3a; 3b) für einen Trimmerkondensator gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Treiberrille (16a) partiell durch die Metallplatte erstreckt.

9. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3; 3a; 3b) für einen Trimmerkondensator (1) gemäß einem der Ansprü­ che 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Ätzschritt ferner einen Schritt des Bildens eines Vorsprungab­ schnitts (15; 15b) in dem unteren Abschnitt benachbart zu dem Stufenabschnitt (13) aufweist.

10. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3; 3a) für einen Trimmerkondensator gemäß Anspruch 9, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Vorsprungabschnitt (15; 15b) beab­ standet von dem Stufenabschnitt (13) gebildet wird.

11. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3b) für ei­ nen Trimmerkondensator gemäß Anspruch 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Vorsprungabschnitt (15b) zusammenhän­ gend mit dem Stufenabschnitt (13) gebildet wird.

12. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors (3b) für einen Trimmerkondensator gemäß Anspruch 11, dadurch ge­ kennzeichnet, daß der Vorsprungabschnitt (15b) entlang der Umfangoberfläche (12) gebildet wird.

13. Verfahren zum Herstellen eines Metallrotors für einen Trimmerkondensator gemäß einem der Ansprüche 2 bis 12, ferner gekennzeichnet durch den Schritt des Versehens einer zweiten Oberfläche (22; 32) der Metallplatte (21; 31), die der Hauptoberfläche (23; 33) gegenüberliegt, mit dem vorbestimmten Glattheitsgrad.