JPH02301118A - 固体電解コンデンサの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、陰極に有機導電性ポリマーを用いた固体電
解コンデンサの製造方法に関する。

〔従来の技術〕

従来、電子回路の小型化、とりわけ混成集積回路化等の
要請から、電解コンデンサの小型化、チップ化が期待さ
れているが、その期待を担う電解コンデンサとして有機
導電性ポリマーを用いた固定電解コンデンサの実用化が
ある。

この種の固体電解コンデンサでは、例えば、アルミニウ
ム板を陽極体に用いてその表面にエツチングにより波面
化処理を行い、その表面に電解処理によって誘電体層を
形成し、この誘電体層の上面に有機半導体層を成長させ
て陰極体とするものが知られている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、このような固体電解コンデンサは、原理的な
構造では従来の固体電解コンデンサと同様であるが、低
インピーダンス化等の電気的な特性を踏まえ、信軌性の
高い素子として実現するには、電極の取出し等で種々の
問題点が存する。

特に、陽極体を成す基板上に選択的に形成された誘電体
層上に陰極体が形成されるが、この陰極体に有機導電性
ポリマーが使用されるので、この陰極体に対する陰極端
子の取出しが非常に厄介であり、低インピーダンス化が
期待できる有機導電性ポリマーを用いても、端子接続に
おいて接続抵抗を増加させたり、接続の信顛性を低下さ
せる等の不都合がある。

また、コンデンサ素子自体が微細化されたとしても、端
子構造が複雑化し、固体電解コンデンサに対する端子の
占める体積が大きく、容量形成上の体積効率が低下する
等の不都合がある。

さらに、固体電解コンデンサでは、ハンダリフローに対
する耐熱性や、空気中の水分による劣化に対する耐湿性
等を高めるとともに、生産コストの低減のために生産性
を向上させることが要請されている。

そこで、この発明は、電極端子の取出しを容易にし、生
産性を向上させた固体電解コンデンサの製造方法の提供
を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明の固体電解コンデンサの製造方法は、板状の陽
極体の一面部を一定の間隔で任意に区画して露出させる
第１の絶縁層を形成し、この第１の絶縁層から露出して
いる誘電体層の上に固体電解質層を形成する工程と、前
記第１の絶縁層部分で選択的に前記陽極体を分割する特
定幅の第１の切込みを前記陽極体の縁部を残して形成す
るとともに、分割されていない部分の前記第１の絶縁層
に前記陽極体の一部を選択的に露出させる溝部を形成す
る工程と、前記第１の切込み及び前記溝部に埋め込まれ
るとともに前記固体電解質層上に開口を設けて第２の絶
縁層を形成し、前記固体電解質層に電気的に接続される
電極部を形成する工程と、前記第１の切込み及び前記溝
部が形成されている部分に前記第１の切込みより幅の狭
い第２の切込みを前記陽極体の一部を残して形成する工
程と、前記第２の切込みによって露出している前記陽極
体に接続される第１の電極端子を形成し、かつ、前記第
２の絶縁層の上に前記電極部と電気的に接続される第２
の電極端子を形成する工程とからなる製造方法である。

〔作　　　用〕

この発明の固体電解コンデンサの製造方法では、陽極体
に対しコンデンサ素子を形成すべき部分を区画し、各区
画部分に対応して第１の絶縁層を形成し、この第１の絶
縁層から選択的に露出させた誘電体層の上面を覆う形で
固体電解質層を形成する。この固体電解質層の形成の後
、陽極体の縁部を残して第１の切込みを第１の絶縁層上
に選択的に形成するとともに、第１の絶縁層上に溝部を
選択的に形成して陽極体を露出させる。そして、容筒１
の切込み及び溝部を第２の絶縁層によって修復し、板状
の陽極体に戻すと同時に、第２の絶縁層における固体電
解質層を選択的に露出させ、その部分に電極部を設置す
る。再び、第１の切込み及び溝部に対し、陽極体の一部
を残し、第２の切込みを以て独立したコンデンサ素子群
に分割する。

この分割によって、溝部における第２の切込みで陽極体
の一部が露出することになるので、この部分を覆う形で
第１の電極端子が形成され、また、第２の絶縁層から露
出している電極部に対して第２の絶縁層上に第・２の電
極端子が形成される。したがって、このような製造方法
によれば、精度良く電極端子を形成することができ、固
体電解コンデンサの生産性の向上が図られる。

〔実　施　例〕

以下、この発明を図面に示した実施例を参照して詳細に
説明する。

第１図ないし第３図は、この発明の固体電解コンデンサ
の製造方法の一実施例を工程順に示す。

第１図の（Ａ）に示すように、準備工程として、陽極体
として板状を成す基板２が用いられ、この基板２は厚さ
１鴫程度の純度の高いアルミニウム板又はアルミニウム
合金板で形成される。この基板２の一面部には、第２図
の（Ａ）に示すように、エツチング処理の後、陽極酸化
によって誘電体層４が形成される。そして、この基板２
の一面側を選択的に覆うとともに、その他面側を全面的
に覆う第１の絶縁層６が形成され、この絶縁層６はスク
リーン印刷によるレジスト層によって構成される。この
絶縁層６には、コンデンサ素子の主たる形成領域となる
開口８とともに、細い開口１０が形成され、次に、開口
８から露出させた誘電体層４及び絶縁層６の表面部とと
もに、開口１０から露出した基板２の地金部分には、一
様に固体電解質層１２が形成される。この固体電解質層
１２は、化学重合及び電解重合等の処理により形成され
たポリピロール重合膜等の有機半導体層によって構成さ
れる。この場合、開口ｌＯを形成して基板２の一部を露
出させるのは、その形成方法と関連し、特に、電解重合
法による通電手段を必要とするような場合に、一様な固
体電解質層１２の成長を援護するための手段である。そ
して、開口８内における固体電解質層１２の上には、選
択的にカーボンペースト等からなる電極層１３が形成さ
れる。

次に、第１図及び第２図の（Ｂ）に示すように、絶縁層
６の部分で基板２を選択的に分割する特定幅の第１の切
込み１４が基板２の縁部を残してグイシングツ−等の切
断手段によって形成されるとともに、この切込み１４に
よって分割されていない部分の絶縁層６に基板２の一部
を選択的に露出させる溝部１６が形成される。

次に、第１図及び第２図の（Ｃ）に示すように、切込み
１４及び溝部１６に埋め込まれるとともに固体電解質層
１２を覆う第２の絶縁層１８が形成される。この絶縁層
１８には、絶縁層１８から選択的に固体電解質層１２を
露出させる開口２０が形成される。そして、この開口２
０には電極部２２が印刷等の手段によって形成され、こ
の電極部２２は電極層１３と接続される。電極部２２に
は、適当な流動性とともに、良好な導電性を持っ銀ペー
スト等の導電ペーストを用いることができる。この結果
、固体電解コンデンサの原形を成すコンデンサ素子２４
が形成される。

次に、第２図の（Ｄ）に示すように、切込み　・１４の
及び溝部１６が形成されている部分に切込み１４より幅
の狭い第２の切込み２６が基板２の一部を残してダイシ
ングソー等の切断手段によって形成される。したがって
、溝部１６の部分に形成された切込み２６により、基板
２の壁面が露出することになる。

次に、第１図の（Ｄ）及び第３図の（Ｅ）に示すように
、切込み２６によって露出している基板２に接続される
陽極側の第１の電極端子２８が形成され、絶縁層１８上
に電極部２２と電気的に接続される陰極側の第２の電極
端子３０が隣接するコンデンサ素子２４と一体に切込み
２６に埋め込まれる形で形成される。各電極端子２８．
３０は、ハンダ付けが可能な導電ベースト等の導電材料
を用いて印刷又は塗布等の手段によって形成することが
できる。

次に、第１図の（Ｄ）に示すように、切断ラインＬ＋、
Ｌｘに沿って各電極端子２８．３０の中心でグイシイグ
ツ−等の切断手段で複数行、複数列に切断することによ
り、第３図の（Ｆ）に示すように、独立した電極端子２
８．３０を持つ複数の固体電解コンデンサ３２が得られ
る。

このような製造方法によれば、電極端子２８．３０の形
成が容易になり、信頼性の高い固体電解コンデンサ３２
を容易に且つ効率よく生産でき、その生艦性を向上させ
ることができる。特に、複数のコンデンサ素子２４は共
通の基板２上で形成され、精度の高いスクリーン印刷技
術を多用することにより、精度が高く、しかも、均一な
特性を持つ固体電解コンデンサ３２を生産することがで
きる。

なお、実施例では、基板２の表面に一様に誘電体層４を
形成したが、固体電解質層１２を形成すべき部分に選択
的に誘電体層４を形成してもよく、この場合、絶縁層６
をマスクとしてエツチング処理及び陽極酸化を行うこと
によって必要な箇所に誘電体層４が得られる。

［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、次のような効
果が得られる。

（ａ）　　電極端子の取出しを容易かつ高精度に行うこ
とができ、生産性の向上を図ることができる。

（ｂ）　　電極端子の取出しを容易にし、歩留りを高め
るとともに、均一な特性を持ち、しかも、信頼性の高い
固体電解コンデンサを生産することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の固体電解コンデンサの製造方法の一
実施例の工程を示す平面図、 第２図及び第３図は第１図に示した固体電解コンデンサ
の製造方法の一実施例の工程を示す断面図である。 ２・・・基板（陽極体） ４・・・誘電体層 ６・・・第１の絶縁層 １２・・・固体電解質層 １４・・・第１の切込み １６・・・溝部 １８・・・第２の絶縁層 ２０・・・開口 ２２・・・電極部 ２４・・・コンデンサ素子 ２６・・・第２の切込み ２日・・・第１の電極端子 ３０・・・第２の電極端子 ３２・・・固体電解コンデンサ ｌ　２２　　　１　　　　　　１　　　　　　１　　　
　　　ｌ１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １．板状の陽極体の一面部を一定の間隔で任意に区画し
   て露出させる第１の絶縁層を形成し、この第１の絶縁層
   から露出している誘電体層の上に固体電解質層を形成す
   る工程と、 前記第１の絶縁層部分で選択的に前記陽極体を分割する
   特定幅の第１の切込みを前記陽極体の縁部を残して形成
   するとともに、分割されていない部分の前記第１の絶縁
   層に前記陽極体の一部を選択的に露出させる溝部を形成
   する工程と、 前記第１の切込み及び前記溝部に埋め込まれるとともに
   前記固体電解質層上に開口を設けて第２の絶縁層を形成
   し、前記固体電解質層に電気的に接続される電極部を形
   成する工程と、 前記第１の切込み及び前記溝部が形成されている部分に
   前記第１の切込みより幅の狭い第２の切込みを前記陽極
   体の一部を残して形成する工程と、前記第２の切込みに
   よって露出している前記陽極体に接続される第１の電極
   端子を形成し、かつ、前記第２の絶縁層の上に前記電極
   部と電気的に接続される第２の電極端子を形成する工程
   とからなることを特徴とする固体電解コンデンサの製造
   方法。