DE4303462A1

DE4303462A1 - Mehrkammerbeschichtungsanlage

Info

Publication number: DE4303462A1
Application number: DE4303462A
Authority: DE
Inventors: Klaus Dr Hartig; Joachim Dr Szczyrbowski
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Oerlikon Deutschland Holding GmbH
Priority date: 1992-03-30
Filing date: 1993-02-06
Publication date: 1993-10-14
Anticipated expiration: 2013-02-07
Also published as: DE4303462C2; JPH0826459B2; JPH0641746A

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Mehrkammerbeschich tungsanlage mit einer Vorrichtung zum Transport von Substraten, Glas, Flachglas und/oder geformtem Glas mit einer Transportvorrichtung, die aus einem nach oben hin offenen, über Gleitelemente abstützbaren Transportwagen besteht, auf den das Substrat aufbringbar ist, das von einer Beschichtungskammer zu mindestens einer weiteren Beschichtungskammer bewegbar ist, die durch eine quer zur Bewegungsrichtung des Transportwagens verlaufende Schleuse von der anderen Beschichtungskammer abtrennbar ist, wobei die Schleuse aus einem Schleusenoberteil und einem mit Abstand dazu angeordneten, einen Schlitz bil denden Schleusenunterteil gebildet ist.

Es ist bereits eine Mehrkammerbeschichtungsanlage mit einer Vorrichtung zum Transport von Flachglas mit einer Transportvorrichtung bekannt (GB OS 2 171 119, GB PS 1 604 056, US PS 4 274 936, US PS 4 009 090), die aus ei nem nach oben hin offenen, über Gleitelemente abstütz baren flachen Transportwagen besteht, auf den das Sub strat aufbringbar ist, welches von einer Beschichtungs kammer zu weiteren nachgeordneten Beschichtungskammern bewegbar ist. Da bei Flachglas der Querschnitt sehr klein ist, konnte bisher der auftretende Gastransfer zwischen den einzelnen Beschichtungskammern weitgehend vernachlässigt werden. Liegen die einzelnen Beschich tungskammern jedoch dicht nebeneinander und soll in einer jeden nachfolgenden Beschichtungskammer eine an dere Beschichtung stattfinden, so ist ein Gastransfer zwischen den einzelnen Beschichtungskammern ungeeignet, da bei einem Gastransfer eine Qualitätsminderung in der Schichtbildung bzw. den unterschiedlichen Schichten auftritt.

Demgemäß besteht die Erfindungsaufgabe darin, eine Ga strennung zwischen zwei Räumen zu schaffen.

Gelöst wird die Aufgabe erfindungsgemäß dadurch, daß die Querschnittsöffnung einer zwischen zwei Beschich tungskammern vorgesehenen Schleuse an den Querschnitt einer Transportvorrichtung und/oder an das zu bewegende Substrat oder die Transporteinrichtung mit ihrem Quer schnitt an die Querschnittsöffnung der Schleuse anpaß bar ist. Auf diese Weise läßt sich sehr sperriges, ins besondere gewölbtes Flachglas in einer Mehrkammerbe schichtungsanlage ohne weiteres beschichten und von ei ner Beschichtungskammer in eine andere benachbarte bringen, ohne daß ein größerer Gastransfer zwischen den einzelnen Kammern eintritt. Hierdurch läßt sich die Taktzeit des Substrats in den einzelnen Kammern wesent lich reduzieren und ferner eine einwandfreie Sichtbil dung erreichen.

Hierzu ist es vorteilhaft, daß die Schleuse zwischen zwei Beschichtungskammern aus einem Schleusenoberteil und einem Schleusenunterteil besteht, wobei zumindest ein Schleusenteil beweglich angeordnet ist. Hierdurch ist eine sehr schnelle Anpassung der Querschnittsöff nung an unterschiedlich große Transportvorrichtungen möglich.

Vorteilhaft ist es auch, daß zumindest ein Schleusen teil höhen- und/oder seitenbeweglich angeordnet ist.

Ferner ist es vorteilhaft, daß beide Schleusenteile hö hen- und/oder seitenbeweglich angeordnet sind. Damit wird eine Anpassung der Schleusenöffnung in kürzester Zeit an unterschiedlichste Querschnitte sichergestellt.

Eine zusätzliche Möglichkeit ist gemäß einer Weiterbil dung der erfindungsgemäßen Anlage, daß zumindest Teile der Schleuse seitlich weggeschwenkt oder nach unten ge klappt werden können.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorteil haft, daß die durch die beiden Schleusenteile gebildete Querschnittsöffnung durch den Querschnitt der Trans portvorrichtung und/oder des Substrats verschließbar ist.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungs gemäßen Lösung ist schließlich vorgesehen, daß die mit Bezug auf die Bewegungsrichtung quer verlaufenden Wände des Transportwagens einen Abstand untereinander aufwei sen, der in etwa der Länge der Abdeckplatte entspricht. Hierdurch wird auch bei Einsatz mehrerer Transportwagen in jeder Position sichergestellt, daß die Schleusenöff nung verschlossen bleibt, auch dann, wenn sich der Transportwagen auf seiner Beschichtungsstation befin det.

Von besonderer Bedeutung ist für die vorliegende Erfin dung, daß zumindest eines der verstellbaren Schleusen teile über eine Stellvorrichtung in seiner Lage verän derbar ist.

Im Zusammenhang mit der erfindungsgemäßen Ausbildung und Anordnung ist es von Vorteil, daß zumindest eines der verstellbaren Schleusenteile über eine Stellvor richtung in Abhängigkeit von der Bewegung des Trans portfahrzeugs in seiner Lage veränderbar ist, wobei die Stellvorrichtung über einen Geber bzw. Sensor ansteuer bar ist. Hierdurch läßt sich in Abhängigkeit der Trans portgeschwindigkeit die Schleusenöffnung im Querschnitt verändern.

Vorteilhaft ist es auch, daß die Gesamtfläche der Ab deckplatte in etwa der Gesamtfläche der Querschnitts öffnung des Transportwagens entspricht.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorteil haft, daß die Schleuse zwischen zwei Kammern aus einem Schleusenoberteil und einem Schleusenunterteil besteht, die mit vertikalem Abstand zueinander angeordnet sind und für den Transportwagen eine in ihrem Querschnitt veränderbare Durchlaßöffnung bilden.

Durch die zweiteilige Ausbildung der Schleuse wird auf einfache Weise für den Transportwagen eine Durchlaßöff nung geschaffen, die genau an die Höhe des Transportwa gens angepaßt werden kann.

Hierzu ist es besonders vorteilhaft, daß das Schleusen oberteil aus zwei mit Abstand zueinander angeordneten Seitenwänden besteht, in dem eine weitere Wand über die Stellvorrichtung bzw. einen Hydraulikzylinder ver schiebbar aufgenommen ist. Durch die Verwendung einer Stellvorrichtung, die beispielsweise auch als Hydrau likzylinder ausgebildet sein kann, läßt sich zumindest das Schleusenoberteil in seiner Höhe derart verstellen, daß es unterschiedlichen Höhen einer Transportvorrich tung in kürzester Zeit angepaßt werden kann. Auf diese Weise können nacheinander auch unterschiedlich hohe Transportwagen durch die einzelnen Beschichtungskammern geleitet werden, ohne daß ein Gastransfer zwischen den einzelnen Beschichtungskammern stattfindet, da durch die genaue Anpassung des Transportwagens an die Durch laßöffnung ein Gastransfer weitgehend ausgeschaltet wird. Dies wird auch noch dadurch unterstützt, daß die Abdeckvorrichtung am Schleusenoberteil genau der Gesam toberfläche des Transportwagens angepaßt ist, bzw. die gleiche Länge und Breite aufweist wie der Transportwa gen.

In vorteilhafter Weise stützt sich der Transportwagen auf Rollen ab, die in Seitenwänden der Beschichtungs kammer angeordnet sind.

Hierzu ist es ferner vorteilhaft, daß der Boden unter halb des Transportwagens ferner über eine Stellvorrich tung hoch und runter fahrbar ausgebildet ist, so daß er der jeweiligen Höhe der Transportvorrichtung angepaßt werden kann. Die Rollen können in vorteilhafter Weise entweder mit dem Boden verstellt werden oder die die Rollen aufnehmende Stellvorrichtung ist derart ausge bildet, daß die Rollen in ihrer Höhe mit Bezug auf den Boden veränderbar sind, so daß sie an die unterschied lichen Höhen der Transportwagen angepaßt werden können. Ferner ist es auch möglich, die Rollen in den Seiten wänden der Beschichtungskammer höhenbeweglich zu la gern, um diese unabhängig vom Boden in der Beschich tungskammer in ihrer Höhe zu verstellen.

Hierzu ist es gemäß der Erfindung vorteilhaft, daß die Rollen in Seitenwänden der Beschichtungskammer aufge nommen sind.

In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorteil haft, daß die Stellvorrichtung als Hydraulikzylinder bzw. als Zahnradgetriebe mit einer Zahnstange und einem antreibbaren Zahnrad ausgebildet ist. Anstelle des Hydraulikzylinders läßt sich auch ein Zahnradgetriebe oder auch eine anders ausgebildete Stellvorrichtung zur Verstellung der einzelnen Teile des Bodens der Be schichtungskammer einsetzen.

Um eine einwandfreie Beschichtung des Substrats in den unterschiedlichen Beschichtungsstationen mit unter schiedlichen Materialien zu gewährleisten, ist es vor teilhaft, daß jeweils an eine Beschichtungskammer min destens eine eine Absaugvorrichtung aufweisende Kammer bzw. Zwischenkammer angeordnet ist, die mindestens eine eine Öffnung aufweisende Wand aufweist, so daß Gas aus der Beschichtungskammer abgesaugt bzw. ein Gastransfer zwischen den einzelnen Beschichtungskammern verhindert werden kann.

Hierzu ist es ferner vorteilhaft, daß die Beschich tungskammer sowie die Zwischenkammer mit je einer Ab saugvorrichtung ausgerüstet sind.

Vorteilhaft ist es außerdem, daß die Öffnung zum Absau gen von Gas im Boden der Beschichtungskammer und/oder der Zwischenkammer vorgesehen ist und zwei oder meh rere, je eine Absaugvorrichtung aufweisende Kammern beiderseits der Beschichtungskammern vorgesehen sind, beispielsweise im Boden der Beschichtungskammern oder der Kammer, die mit einer Absaugvorrichtung verbunden ist. So läßt sich in vorteilhafter Weise auch eine Ent gasung bzw. Reinigung der Transportvorrichtung vorneh men, so daß bei Verschieben der Transportvorrichtung von der einen in die andere Beschichtungskammer keine Schmutzpartikel bzw. keine Gasbestandteile mehr mitge schleppt werden. Auf diese Weise läßt sich das Substrat problemlos in den einzelnen Beschichtungsstationen mit verschiedenen Materialien beschichten, wobei die ein zelnen Schichten eine hohe Reinheit aufweisen.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sind in den Patentansprüchen und in der Beschreibung erläutert und in den Figuren dargestellt, wobei bemerkt wird, daß alle Einzelmerkmale und alle Kombinationen von Einzel merkmalen erfindungswesentlich sind. Es zeigt:

Fig. 1 eine Mehrkammerbeschichtungsanlage mit einer Vorrichtung zum Transport von Substraten, Glas, Flachglas und/oder geformtem Glas mit einer Transportvor richtung,

Fig. 2 eine Schnittdarstellung der Schleuse mit einem Transportwagen zur Aufnahme von Flachglas,

Fig. 3 eine Schnittdarstellung der Schleuse mit einem Transportwagen zur Aufnahme von gewölbtem Glas,

Fig. 4 eine schematische Darstellung der Schleuse mit einer horizontal verlau fenden Platte,

Fig. 5 eine perspektivische Darstellung des Transportwagens, kurz bevor er in die Querschnittsöffnung der Schleuse einge führt wird.

Fig. 6a bis 6e mehrere Ausführungsbeispiele von Be schichtungskammern und Zwischenkammern einer Mehrkammerbeschichtungsanlage.

In der Zeichnung ist mit 1 eine Mehrkammerbeschich tungsanlage mit einer Vorrichtung zum Transport von Substraten, Glas 2, Flachglas, insbesondere von geform tem bzw. gewölbtem Glas mit einer Transportvorrich tung 3 dargestellt, die aus einem nach oben hin offe nen, über Gleitelemente bzw. Rollen 4 abstützbaren Transportwagen 5 mit einem Boden 28 besteht, auf den das gewölbte Glas 2 aufgebracht ist, welches von einer in der Zeichnung schematisch angedeuteten Vorkammer 12 zu einer ersten Beschichtungskammer 6 und zu mindestens einer weiteren Beschichtungskammern 6 bewegt wird.

Es können gemäß Fig. 6a bis 6e auch mehrere Be schichtungskammern 6 hintereinander geschaltet werden, so daß verschiedene Schichten auf das Substrat 2 oder die Glasoberfläche aufgebracht werden können. Über die letzte Beschichtungskammer 6 gelangt das Substrat 2 über eine Schleuse 7′′ in die Belüftungskammern 13, die auch zur Nachbehandlung der Schichten eingesetzt werden kann. In Fig. 1 ist lediglich das Prinzip einer auto matisierten Zerstäubungsanlage dargestellt. Es können Einkammer-Produktionsanlagen oder auch Mehrkammer-Pro duktionsanlagen nach diesem Prinzip ausgestattet wer den.

Die Vorkammer 12 hat die Aufgabe, die Sauberkeit des Beschichtungsraums zu verbessern und dadurch die Char genzeit zu verkürzen. Hierzu ist die Substratvorbehand lung von großem Vorteil.

Gemäß Fig. 1 und 5 bzw. auch 6a bis 6e gelangt das ge wölbte Glas 2 über die Vorkammer 12 und eine erste Schleuse 7′ in eine erste Beschichtungskammer 6 und von dort über eine weitere bzw. zweite Schleuse 7 min destens zu einer dritten Beschichtungskammer 6 gemäß Fig. 6a bis 6e zu weiteren Beschichtungskammern 6 und über eine weitere bzw. dritten Schleuse 7′′ schließlich zu der Belüftungskammer 13, die auch zur Nachbehandlung der Schichten eingesetzt werden kann. Die erste und die letzte Schleuse 7′ und 7′′ können die Vorkammer 12 bzw. die Belüftungskammer 13 vollständig von den Beschich tungskammern 6 abschließen, während die mittlere Schleuse 7 dagegen eine Schlitzöffnung 10 aufweist.

Die Vorkammer 12 der Beschichtungskammer 6 wird über eine oder mehrere in der Zeichnung durch einen Kreis dargestellte Pumpen 25 und über eine oder mehrere Aus laßöffnungen 14 evakuiert. Gemäß Fig. 6a und 6b können die Pumpen 25 bzw. die Pumpeneinlaßöffnungen auch in den entsprechenden Beschichtungskammern 6 oder den Zwi schenkammern 26 vorgesehen sein.

In den Fig. 6a bis 6e sind verschiedene Ausführungs beispiele dargestellt, die nach dem gleichen Prinzip arbeiten wie die Ausführungsform gemäß Fig. 1.

Das Mehrkammer-Zerstäubungssystem kann mit einer Gleichstrom- oder einer Hochfrequenz-Diodenanordnung ausgestattet sein. In Fig. 1 sind in der Vorkammer 12 lediglich eine Heizvorrichtung 15 sowie die Transport vorrichtung 3 schematisch angedeutet, während in der Beschichtungskammer 6 ein Target 16, ein Plasma 17, die Transportvorrichtung 3 mit dem Substrat 2 sowie ein An paßglied 18 einer Hochfrequenzversorgung schematisch angedeutet sind.

Die mittlere Schleuse 7 ist gemäß den Fig. 1 bis 4 zwischen den einzelnen Beschichtungskammern 6 quer zur Bewegungsrichtung des Transportwagens 5 angeordnet und trennt die eine Beschichtungskammer 6 von der anderen Beschichtungskammer 6.

Die erste und letzte Schleuse 7′, 7′′ sowie die zwischen zwei Beschichtungskammern 6 vorgesehene Schleuse 7 ge mäß Fig. 1 besteht aus einem Schleusenoberteil 8 und einem mit Abstand dazu angeordneten, eine Querschnitts öffnung bzw. eine Schlitzöffnung 10 bildenden Schleu senunterteil 9. Die Schleusen 7′, 7′′ werden über eine in der Zeichnung nicht dargestellte Stellvorrichtung geöff net und hierzu nach oben verstellt, wenn die Transport vorrichtung 3 mit dem Substrat 2 von der einen Kammer in die nachfolgende Kammer verschoben wird. Die Schleu sen 7′, 7′′ weisen hierzu vertikal verstellbare Schleu sentüren 45 auf. Die Schleusentüren 45 können auch auf andere Weise verstellt werden, es ist beispielsweise möglich die Schleusentüren 45 nach unten oder nach oben oder seitlich wegzuklappen, um die Querschnittsöff nung 10 der Schleusen 7, 7′, 7′′ freizugeben.

Die zwischen den beiden Beschichtungskammern 6 vorgese hene Schleuse 7 besteht aus einem Schleusenoberteil 8, an deren untere Kante 27 (Fig. 1) eine horizontal ver laufende Abdeckplatte 19 angeschlossen ist, die beim Wechsel des Transportwagens 5 von der einen Beschich tungskammer 6 zur anderen Beschichtungskammer 6 über dem nach oben offenen Aufnahmeteil des Transportwa gens 5 liegt und auf diese Weise dazu beiträgt, daß die Schlitzöffnung 10 möglichst klein bleibt und ein we sentlicher Gasaustausch zwischen zwei benachbarten Be schichtungskammern 6 verhindert wird.

Unterhalb der Abdeckplatte 19 ist eine zweite Abdeck platte 47 (Fig. 4, 5) mit Abstand zu der Abdeckplatte 19 vorgesehen, die eine derart große Schlitzöffnung 10 bildet, daß gemäß Fig. 5 die Rollen 4 sowie der Flansch 29 genügen Platz haben. Auf diese Weise kann der Transportwagen 5 ohne großen Gastransfer von der einen Station zu der nächsten Station bewegt werden.

Die Abdeckplatte 19 kann gemäß Fig. 1,4 und 5 dabei der nach oben gerichteten Querschnittsöffnung 24 des Transportwagens 5 entsprechen, so daß beim Wechsel des Transportwagens 5 von der einen Beschichtungskammer 6 zur anderen Beschichtungskammer 6 die Schlitzöffnung 10 nicht vergrößert wird. Lediglich ein minimaler Spalt S ist zwischen der Unterseite der Abdeckplatte 19 und der Oberkante des Transportwagens 5 vorgesehen, der aber so klein ist, daß kein wesentlicher Gasaustausch zwischen den benachbarten Beschichtungskammern 6 stattfinden kann; auf jeden Fall ist er so minimal, daß er keinen nachteiligen Einfluß auf die Zerstäubungsstationen in den einzelnen Beschichtungskammern 6 ausüben kann. Die Schlitzöffnung 10 kann je nach Größe des Transportwagens 5 gemäß Fig. 4 an den Querschnitt des Transport wagens 5 entsprechend angepaßt werden. Sie wird durch vorteilhafte Ausgestaltung der Schleuse 7 mit den be weglich angeordneten Schleusenteilen 8, 9 im Zusammen hang mit dem Querschnitt der Vorderwand 22 des Trans portwagens 5 beim Einfahren des Transportwagens 5 in die Schlitzöffnung 10 auf wenige Millimeter, d. h. auf ca. 1 bis 2 mm, verkleinert.

Wird anstelle von Flachglas gewölbtes Glas 2 gemäß Fig. 5 auf dem Transportwagen 5 befördert, so weist der Transportwagen 5 hierzu vier Seitenwände 22 auf, die in etwa auf der gleichen Höhe enden wie eine Oberkante 23 (Fig. 3, 5) des gewölbten Substrats bzw. Glases 2. Auf diese Weise wird über den vergrößerten Transportwa gen 5 der Schlitzöffnung 10 geschlossen und der Ga stransfer verhindert. Findet dennoch ein ganz geringer Gastransfer statt, so wird er über die Pumpen 25 und Auslaßöffnungen 14 abgepumpt. Auf diese Weise kann also in der einen Kammer unter Verwendung eines Reaktivgases reaktiv aufgestäubt werden und in einer sich daran an schließenden Kammer 6 mit einem anderen Gas gearbeitet werden.

Gemäß den Fig. 2 bis 5 sind an der Seitenwand 22 des Transportwagens 5 horizontal verlaufende Flansche 29 vorgesehen, auf die sich die Rollen 4 abstützen können (Fig. 2, 3).

Die Rollen 4 sind gemäß Fig. 3 oder 4 in den Seiten wänden 30 der Beschichtungskammer 6 fest angeordnet. Soll gemäß Fig. 3 gewölbtes Glas 2 transportiert wer den, so wird hierzu ein eine größere Tiefe aufweisender Transportwagen 5 eingesetzt. Hierzu muß der Zwischen raum zwischen der Abdeckplatte 19 und der Abdeck platte 47 bzw. zwischen dem Target 16 und dem Boden 31 (Fig. 2) wie nachstehend noch ausgeführt wird, verändert werden.

Durch Veränderung des erwähnten Zwischenraumes können die unterschiedlich hohe Transportwagen 5 eingesetzt werden.

Der Boden 31 kann ferner gemäß Fig. 2 über eine Stell vorrichtung 32 hoch und runter gefahren werden, so daß er der jeweiligen Höhe der Transportvorrichtung 3 ange paßt werden kann. Die Stellvorrichtung 32 besteht aus einer am Boden 31 angeordneten Zahnstange 33 und einem Zahnrad 34. Die Stellvorrichtung 32 kann auch aus Hydraulikzylindern bestehen. Die Rollen 4 sind in den Seitenwänden 30 der Beschichtungskammer 6 gelagert und nicht verstellbar. Die Rollen 4 können aber auch in den Seitenwänden 30 der Beschichtungskammer 6 vertikal ver stellbar gelagert sein und hierzu in nicht dargestell ten Schlitzführungen aufgenommen sein, um sie an den Transportwagen 5 anzupassen.

Ferner ist es gemäß Fig. 4 auch möglich, die Abdeck platte 19 in ihrer Höhe zu verstellen. Die Abdeck platte 19 ist gemäß Fig. 4 hierzu mit einer Stellvor richtung verbunden, die ebenfalls aus einem in der Zeichnung nur teilweise dargestellten Hydraulikzylin der 49 bestehen kann oder gemäß Fig. 2 ebenfalls aus einer Zahnstange mit einem antreibbaren Zahnrad ähnlich der Verstellvorrichtung 32 zur Verstellung des Bodens 31, so daß auf diese Weise das Schleusenoberteil 8 zur Anspaßung an die Entsprechende Höhe der Transportvor richtung 3 verstellt werden kann. Wir der Boden 31 ver stellt, dann wird auch Abdeckplatte 47 über eine in der Zeichnung nicht dargestellte Verstellvorrichtung ähnlich der Verstellvorrichtung 32 entsprechend mitverstellt. Auf diese Weise kann die Schlitzöffnung bzw. Schleusen öffnung 10 in kürzester Zeit auf die unterschiedlichen Höhen der Transportwagen 3 angepaßt werden, ohne daß an den Schleusen 7 bis 7′′ wesentliche Veränderungen vor genommen werden müssen. Die Lage des Targets 16 wird dann, falls erforderlich, über eine in der Zeichnung nicht dargestellte Vorrichtung, ähnlich wie im Beispiel gemäß Fig. 4, mitverstellt.

Das Schleusenoberteil 8 (Fig. 4) kann aus zwei mit Ab stand zueinander angeordneten Seitenwänden 43 bestehen, in denen eine weitere Wand 44 über die Stellvorrichtung bzw. über den Hydraulikzylinder 49 verschiebbar ist.

Durch die zwischen den einzelnen Beschichtungskammern 6 vorgesehenen Schleusen 7 wird auf vorteilhafte Weise eine optimale Gastrennung zwischen den einzelnen Be schichtungskammern 6 erzielt.

Wie aus den in Fig. 6a bis 6e nur schematisch darge stellten Ausführungsbeispielen ersichtlich, können zwi schen den einzelnen Schleusen 7 bis 7′′ mehrere Zwi schenkammern 26 vorgesehen sein. In diesen Beispielen sind der Einfachheit halber die zuvor gezeigten Teile weggelassen.

Gemäß Fig. 6a ist jeweils zwischen zwei Schleusen 7 eine Zwischenkammer 26 vorgesehen, in der eine Pumpe 25 vorgesehen bzw. dieser zugeordnet ist, die das noch teilweise überströmende Gas bzw. Verunreinigungen ab saugt und verhindert, daß zwischen dem Gas der einen Beschichtungskammer 6 mit dem Gas der nachfolgenden Be schichtungskammer 6 ein Gastransfer stattfindet.

Zweck dieser Erfindung ist es auch, eine wirtschaftli che Lösung für eine Flachglasbeschichtung mit dynami scher Gastrennung zu erreichen.

Das zu beschichtende Glas 2 wird auf den Rollen 4 oder nicht dargestellten Gleitelementen transportiert und ohne Stop mit konstanter Geschwindigkeit durch die Be schichtungskammern 6 transportiert, die in der Reihen folge gemäß Fig. 6a bis 6e angeordnet sind, in der die Schichten nacheinander aufgebracht werden.

Die Gastrennung erfolgt in diesen Anlagen durch Schleu sen 7, wobei die Kammern 6 unabhängig voneinander abge pumpt werden.

Wie aus Fig. 6a ferner hervorgeht, ist zwischen der ersten Beschichtungskammer 6 und der zweiten Beschich tungskammer 6 eine Wand 37 mit einer Öffnung 36 vorge sehen, so daß auf einfache Weise Gas aus den das Tar get 16 aufweisenden Beschichtungskammer 6 abgesaugt werden kann bzw. sichergestellt wird, daß von der das Target 16 aufweisenden Beschichtungskammer 6 zu der das zweite Target 16 aufweisenden Beschichtungskammer 6 kein Gastransfer stattfindet. Ferner ist die eine Pumpe 25 aufweisende Zwischenkammer 26 nach unten durch einen Boden 38 verschlossen.

Im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6b grenzt jeweils beiderseits an eine Beschichtungskammer 6 eine eine Pumpe 25 aufweisende Zwischenkammer 26 an, die beider seits über die in der Wand 37 vorgesehene Öffnung 26 mit der Beschichtungskammer 6 verbunden ist.

Gemäß Fig. 6c, 6d weist die Beschichtungskammer 6 so wie die sich daran jeweils anschließende Zwischenkam mer 26 je eine Pumpe 25 auf. Ebenfalls sind hier auch gemäß Fig. 2 die Rollen 4 in den Seitenwänden gela gert.

In Fig. 6d sind vier Module für zwei Stationen mit Ga strennung vorgesehen, während in Fig. 6e acht Module für zwei Stationen mit Gastrennung vorgesehen sein. Ge mäß Fig. 6e sind lediglich 4 Module dargestellt.

Wie aus Fig. 6e ferner hervorgeht, sind beiderseits einer Beschichtungskammer 6 zwei Kammern 26 mit je ei ner Pumpe 25 vorgesehen, wobei die jeweils außen lie genden Kammern 26 einen unteren Boden 39 mit einer Öff nung 40 aufweisen, während die beiden innen liegenden Kammern 26 je eine an die Beschichtungskammer 6 angren zende Wand 41 mit je einer Öffnung 42 aufweisen. Hier durch läßt sich eine weitere Verbesserung der Gastren nung erreichen, so daß bei jeder Beschichtungsstation eine saubere Oberflächenbeschichtung erreicht wird. Über die Öffnung 40 läßt sich das Gas im Bereich der Transportvorrichtung auf vorteilhafte Weise abpumpen, während über die Öffnung 42 in der seitlichen Wand 37 der Beschichtungsraum 6 abgepumpt wird.

Ferner ist es auch möglich, an einen Beschichtungs raum 6 zwei Kathoden bzw. Targets 16 anzuordnen.

Das Schleusenoberteil 8 ist gemäß Fig. 2 und 3 fest mit einer oberen Wand 11 der Beschichtungskammer 6 ver bunden oder kann mit Abstand dazu angeordnet sein. Hierzu sind einerseits an der Wand 11 und andererseits an dem Schleusenoberteil 8 Abstandhalter 20 vorgesehen.

Das Schleusenunterteil 9 (Fig. 5) ist ähnlich wie das Schleusenoberteil 8 ausgebildet und verläuft in der gleichen vertikalen Querebene wie das Schleusenober teil 8. Damit die Spaltbreite des Schlitzes 10 zwischen Schleusenober- und -unterteil 8, 9 genau an die Trans portvorrichtung 3 und an das zugehörige Substrat 2 an gepaßt werden kann, ist in vorteilhafter Weise das Schleusenunterteil 9 mit der Abdeckplatte 47 über die in der Zeichnung dargestellte Stellvorrichtung ähnlich wie in Fig. 2 oder 4 vertikal verstellbar. Auf diese Weise ist es möglich, das Schleusenunterteil 9 vertikal zu verstellen. Ferner können über in der Zeichnung nicht dargestellte Vorrichtungen die Schleusenteile auch horizontal verschoben werden.

Die quer verlaufenden Wände 22 (Fig. 4) weisen einen Abstand auf, der in etwa der Länge der Abdeckplatte 19 entspricht, so daß die Schlitzöffnung 10 immer voll ständig bzw. fast verschlossen ist, auch dann, wenn sich der Transportwagen 5 nicht genau unterhalb des Schleusenoberteils 8 befindet sondern beispielsweise unterhalb des Targets in der Stellung gemäß Fig. 1. Hierdurch wird also in jeder Stellung des Transportwa gens 5 ein Gastransfer zwischen den einzelnen Beschich tungskammern 6 weitgehend verhindert.

Ferner ist es möglich, gemäß einem weiteren in der Zeichnung nicht dargestellen Beispiel, den Gesamtquer schnitt der Transportvorrichtung 3 in Bewegungsrichtung gesehen an unterschiedlich große Schlitzöffnungen 10 in den einzelnen Schleusen 7, 7′, 7′′ anzupassen.

Hierzu können die Seitenwände des Transportwagens 5 längenveränderlich bzw. teleskopartig ausgebildet und dadurch in ihrer Höhe veränderbar sein, so daß auch un terschiedlich hohe Substrate 2 (vergleiche Fig. 3) aufgenommen werden können. Dabei ist es besonders vor teilhaft und erfindungswesentlich, daß bei einer Mehr kammerbeschichtungsanlage 1 eine schneller Durchlauf des Substrats 2 gewährleistet wird, ohne daß ein Ga stransfer zwischen den Kammern 6 stattfindet.

Bezugszeichenliste

1 Mehrkammerbeschichtungsanlage
2 Glas = Substrat
3 Transportvorrichtung
4 Gleitelement, Rolle
5 Transportwagen
6 Beschichtungskammer
7 mittlere Schleuse
7′ 1. Schleuse
7′′ 3. bzw. letzte Schleuse
8 Schleusenoberteil
9 Schleusenunterteil
10 Schlitzöffnung, Querschnittsöffnung = Schleusenöffnung der Schleuse (7, 7′, 7′′)
11 Wand
12 Vorkammer
13 Belüftungskammer
14 Auslaßöffnung
15 Heizvorrichtung
16 Target
17 Plasma
18 Anpaßglied
19 Abdeckplatte
20 Abstandhalter
22 Seitenwand, Vorderwand des Transportwagens 5
23 Oberkante des gewölbten Substrats bzw. Glases 2
24 Querschnittsöffnung des Transportwagens 5
S Spalt
25 Pumpe
26 Kammer bzw. Zwischenkammer
27 Kante
28 Boden des Transportwagens 5
29 Flansch
30 Seitenwand
31 Boden
32 Stellvorrichtung
33 Zahnstange
34 Zahnrad
36 Öffnung
37 Wand
38 Boden
39 Boden
40 Öffnung
41 Wand
42 Öffnung
43 Wand
44 Wand
45 Schleusentüre
47 Abdeckplatte
49 Hydraulikzylinder

Claims

1. Mehrkammerbeschichtungsanlage (1) mit einer Vor richtung zum Transport von Substraten, Glas (2), Flachglas und/oder geformtem Glas mit einer Transportvorrichtung (3), die aus einem nach oben hin offenen, über Gleitelemente (4) abstützbaren Transportwagen (5) besteht, auf den das Sub strat (2) aufbringbar ist, welches von einer Be schichtungskammer (6) zu mindestens einer weite ren Beschichtungskammer (6) bewegbar ist, die durch eine quer zur Bewegungsrichtung des Trans portwagens (5) verlaufende Schleuse (7) von der anderen Beschichtungskammer abtrennbar ist, wobei die Schleuse (7) aus einem Schleusenoberteil (8) und einem mit Abstand dazu angeordneten, eine Schlitzöffnung (10) bildenden Schleusenunter teil (9) gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine Querschnittsöffnung (10) einer zwischen zwei Beschichtungskammern (6) vorgese henen Schleuse (7) an den Querschnitt einer Transportvorrichtung (3) mit Bezug auf die Bewe gungsrichtung der Transportvorrichtung und/oder an den Querschnitt des zu bewegenden Sub strats (2) oder die Transportvorrichtung (3) mit ihrem Querschnitt an die Querschnittsöffnung (10) der Schleuse (7, 7′, 7′′) anpaßbar ist.

2. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleuse (7) zwi schen zwei Beschichtungskammern (6) aus einem Schleusenoberteil (8) und einem Schleusenunter teil (9) besteht, wobei zumindest ein Schleusen teil (8, 9) beweglich angeordnet ist.

3. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein Schleusenteil (8, 9) höhenbeweglich angeordnet ist.

4. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein Schleu senteil (8, 9) höhen- und/oder seitenbeweglich angeordnet ist.

5. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß beide Schleusenteile (8, 9) höhen- und/oder seitenbeweglich angeordnet sind.

6. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest Teile der Schleuse (7) und/oder die Schleusentür (45) seit lich weggeschwenkt oder nach oben oder unten ge klappt werden können.

7. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß durch Verstellung der Trans portvorrichtung (3) oder Teilen davon oder durch Verstellung eines der Schleusenteile (8, 9) die durch die beiden Schleusenteile (8, 9) gebildete Querschnittsöffnung (10) an den Querschnitt der Transportvorrichtung (3) und/oder an das Sub strat (2) anpaßbar ist.

8. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die mit Bezug auf die Bewe gungsrichtung quer verlaufenden Wände (22) des Transportwagens (5) untereinander einen Abstand aufweisen, der in etwa der Länge der Abdeck platte (19) entspricht.

9. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eines der verstell baren Schleusenteile (8, 9) über eine Stellvor richtung in seiner Lage veränderbar ist.

10. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eines der verstell baren Schleusenteile (8, 9) über eine Stellvor richtung in Abhängigkeit der Bewegung des Trans portfahrzeugs (5) in seiner Lage veränderbar ist, wobei die Stellvorrichtung über einen Geber bzw. Sensor ansteuerbar ist.

11. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Gesamtfläche der Abdeck platte (19) in etwa der Gesamtfläche der Quer schnittsöffnung (24) des Transportwagens (5) ent spricht.

12. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, die Schleuse (7) zwischen zwei Kammern (6, 26) aus einem Schleusenoberteil (8) und einem Schleusenunterteil (9) besteht, die mit vertikalem Abstand zueinander angeordnet sind und für den Transportwagen (3) eine in ihrem Quer schnitt veränderbare Durchlaßöffnung bilden.

13. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Schleusenoberteil (8) aus zwei mit Abstand zueinander angeordneten Seiten wänden (43) besteht in der eine weitere Wand (44) über die Stellvorrichtung bzw. einen Hydraulikzy linder (49) Verschiebbar aufgenommen ist.

14. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Transportwagen (3) sich auf Rollen (4) abstützt, die in Seitenwänden (30) der Beschichtungskammer (6) angeordnet sind.

15. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Boden (31) und/oder eine Abdeckplatte (47) unterhalb des Transportwa gens (5) ferner über eine Stellvorrichtung (32) hoch und runter fahrbar ausgebildet ist, so daß er der jeweiligen Höhe der Transportvorrich tung (3) angepaßt werden kann.

16. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Rollen (4) in Seitenwän den (30) der Beschichtungskammer (6) aufgenommen sind.

17. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellvorrichtung (32) als Hydraulikzylinder bzw. als Zahnradgetriebe mit einer Zahnstange (33) und einem antreibbaren Zahnrad (34) ausgebildet ist.

18. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils an eine Beschich tungskammer (6) mindestens eine eine Absaugvor richtung aufweisende Kammer bzw. Zwischenkam mer (26) angeordnet ist, die mindestens eine eine Öffnung (36) aufweisende Wand (37) aufweist, so daß Gas aus der Beschichtungskammer (6) abgesaugt bzw. ein Gastransfer zwischen den einzelnen Be schichtungskammern (6) verhindert werden kann.

19. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Beschichtungskammer (6) sowie die Zwischenkammer (26) mit je einer Ab saugvorrichtung ausgerüstet sind.

20. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung zum Absaugen von Gas im Boden (39) der Beschichtungskammer (6) und/oder der Zwischenkammer (26) vorgesehen ist.

21. Mehrkammerbeschichtungsanlage nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwei oder mehrere, je eine Absaugvorrichtung aufweisende Kammern (26) bei derseits der Beschichtungskammern (6) vorgesehen sind.