DE4112881A1 - Verfahren und vorrichtung zum bilden eines fertigungsloses - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bilden eines Fertigungsloses in einem Pro­ zeß bzw. in einem Verfahren, wo Gegenstände losweise, wie z. B. in einem Stapelprozeß, verarbeitet werden, und be­ trifft insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bilden eines gemischten Loses durch Sammeln bzw. Zusammen­ stellen von Gegenständen unterschiedlicher Art.

Bei einem Waferprozeß für die Herstellung eines Halbleiter­ produktes kommt z. B. ein Prozeß vor, bei dem eine Vielzahl von Wafern in einem Kasten wie z. B. einer Kassete unterge­ bracht sind und lotweise bzw. hintereinander verarbeitet werden, wie z. B. bei der Verarbeitung vor der Diffusion und bei der Verarbeitung während der Diffusion. Hier ist das Fertigungslos durch das Sammeln von Wafern der gleichen Art zusammengesetzt.

Seit kurzem wird bei der Produktion von Halbleitern der Trend beobachtet, verschiedene Arten in geringer Menge her­ zustellen. Deshalb kann es vorkommen, daß die Anzahl der Wafer der gleichen Art bzw. des gleichen Typs, die ein Fer­ tigungslos bilden, nicht der vorgegebenen Zahl entspricht, d. h. der Zahl an Wafern, die in einer Kassette unterge­ bracht werden können. In einem solchen Fall ist bei solch einem Fertigungslos die Herstellung ungewöhnlich ineffizi­ ent und die Kosten steigen an. Deshalb wird die Herstellung für gewöhnlicherweise durchgeführt, indem Wafer der glei­ chen Art der Kassette hinzugetan werden, um sie ganz zu füllen. Die dann überflüssigen bzw. zuviel erzeugten Pro­ dukte werden als Lagerbestand gehalten.

Der Lagerbestand wird jedoch selten bestellt, da der Trend besteht, verschiedene Arten von Halbleiterprodukten mit ge­ ringer Menge zu ordern, was den Lagerbestand unnötig macht. Wenn der unnötige Lagerbestand schließlich weggeworfen wird, sind die Instandhaltungskosten bis dahin völlig um­ sonst, die den Kosten der Produkte hinzuaddiert werden, was die Kosten insgesamt erhöht.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Bilden von Fertigungslo­ sen anzugeben, die fähig dazu sind, Produkte unterschiedli­ cher Art in vorgesehener Menge ohne eine Absenkung der Her­ stellungseffizienz herzustellen.

Diese Aufgabe wird durch das Verfahren nach Anspruch 1 bzw. durch die Vorrichtung nach Anspruch 4 gelöst.

Demnach wird auf Daten vorher zugegriffen, die Verarbei­ tungsbedingungen einzelner Gegenstände bzw. Objekte, die verarbeitet werden sollen, betreffen. Eine Vielzahl von Ge­ genständen, die verarbeitet werden sollen, wird gesammelt, deren Zahl geringer ist als eine vorgegebene Zahl eines Fertigungsloses, und zwar auf der Basis der zugegriffenen Daten.

Die Erfindung hat den Vorteil, daß ein Verfahren bzw. eine Vorrichtung zum Bilden von Fertigungslosen angegeben wird, welche dazu fähig ist, einen unnötigen Lagerbestand von vornherein zu vermeiden und den Kostenanstieg niedrig zu halten, ohne daß unnötige Instandhaltungskosten für den La­ gerbestand ausgegeben werden müssen. Dies wird im wesentli­ chen durch das Zusammenstellen bzw. das Bilden von gemisch­ ten Fertigungslosen erreicht, wobei gemäß der vorliegenden Erfindung Daten vorher geholt werden, die Verarbeitungsbe­ dingungen der jeweiligen Arten von Gegenständen, die verar­ beitet werden sollen, betreffen, und wobei eine Vielzahl von zu verarbeitenden Gegenständen gesammelt wird, deren Anzahl geringer ist als eine vorgegebene Anzahl eines Lo­ ses, und zwar auf der Basis der geholten Daten.

Die Vorrichtung zum Bilden von Losen gemäß der vorliegenden Erfindung ist versehen mit einer Eingabeeinrichtung zum Eingeben von Daten, die die Verarbeitungsbedingungen der einzelnen zu verarbeitenden Gegenstandsarten betreffen, mit einer Speichereinrichtung zum Speichern der eingegebenen Daten, mit einer losbildenden Einrichtung zum Bilden der Lose durch Sammeln der gleichen, zu verarbeitenden Gegen­ standsart bezüglich der vorgegebenen Anzahl auf der Basis der gespeicherten Daten und mit einer Einrichtung zum Bil­ den gemischter Lose durch Sammeln einer Vielzahl von zu verarbeitenden Gegenständen, deren Anzahl geringer ist als eine vorgegebene Anzahl der losbildenden Einrichtung, auf der Basis der Daten.

Bei dem Verfahren zum Bilden von Losen gemäß der vorliegen­ den Erfindung werden Daten betreffend die Art und die Ver­ arbeitungsbedingungen der zu verarbeitenden Gegenstände im voraus geholt. Unterschiedliche Gegenstandsarten, die ver­ arbeitet werden sollen, werden zu mehrere Anzahlen der ein­ zelnen Gegenstandsarten gesammelt, um ein gemischtes Los auf der Basis der Daten zu bilden. Die Anzahl der unter­ schiedlichen Objektarten, die verarbeitet werden sollen, ist geringer als die vorgegebene Anzahl eines Loses, das durch Sammeln der gleichen Art von zu verarbeitenden Objek­ ten gebildet wird.

Wenn bei der Vorrichtung zum Bilden von Losen gemäß der vorliegenden Erfindung Daten, die die Arten und Verarbei­ tungsbedingungen der zu verarbeitenden Gegenstände betref­ fen, über die Eingabeeinrichtung eingegeben werden, werden die Daten in der Speichereinrichtung gespeichert. Danach bildet die losbildende Einrichtung ein Los, indem eine vor­ gegebene Anzahl der gleichen Art von zu verarbeitenden Ob­ jekten gesammelt wird. Ein gemischtes Los wird gebildet, indem eine Vielzahl von zu verarbeitenden Gegenständen ge­ sammelt wird, deren Anzahl jeweils geringer ist als die vorgegebene Anzahl der losbildenden Einrichtung.

Vorteilhafte Weiterbildungen sind den Unteransprüchen zu entnehmen. Weitere Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgenden Be­ schreibung von Ausführungsformen der Erfindung in Verbin­ dung mit den Zeichnungen ersichtlich. Es zeigen:

Fig. 1 ein Blockdiagramm, das den Aufbau einer Vorrichtung zum Bilden von Losen gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 2 ein Diagramm, das den Inhalt einer Datei mit Pro­ duktionsbedingungen zeigt;

Fig. 3 ein Flußdiagramm, das den Vorgang zum Bilden der Lose zeigt;

Fig. 4 ein schematisches Diagramm, das den Vorgang zum Bilden von Losen gemäß der Vorrichtung der vorliegenden Er­ findung zeigt;

Fig. 5 ein schematisches Diagramm, das den Vorgang zum Bilden von Losen gemäß eines herkömmlichen Verfahrens zeigt.

Im nachfolgenden wird die Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen erläutert, die Ausführungsformen der Erfindung zeigen. Fig. 1 zeigt ein Beispiel für einen Waferprozeß beim Herstellungsprozeß von Halbleiterprodukten wie z. B. LSI-Schaltungen. Der Waferprozeß besteht z. B. aus einer Verarbeitung vor der Diffusion, aus der Verarbeitung bei der Diffusion und aus der Verarbeitung bei der Photolitho­ graphie. In der Zeichnung ist eine Datenverarbeitungsein­ heit 1 gezeigt, die eine CPU verwendet, der Eingabedaten von einer Waferdateneingangseinrichtung 2 bzw. einer Ein­ gangseinrichtung 3 für Produktionsbedingungen zugeführt werden. Die Waferdaten, die von der Waferdateneingangsein­ richtung 2 der Datenverarbeitungeinheit 1 zugeführt werden, sind die folgenden: die Arten von Wafern der Halbleiterpro­ dukte, die hergestellt werden sollen, die Anzahl der Wafer, die Daten des Zuführens zu dem Waferprozeß, die Daten des Fertigstellens des Waferprozesses, die Daten der Kunden, die Termindaten für die Lieferung usw. Diese Daten werden immer dann ausgegeben, wenn eine Bestellung eines Kunden vorliegt. Zudem, da eine Kundenorder gegeben wird in Über­ einstimmung mit der Typennummer des Halbleiterprodukts, die in einem Katalog oder ähnlichem angegeben ist, mit der An­ zahl der guten Endprodukte (final good products) und mit dem vorgesehenen Datum der Lieferung, ist eine Umwandlungs­ einheit 21 im Inneren der Waferdateneingangeinrichtung 2 eingerichtet, in der Eingabedaten der Typennummer des Halb­ leiterproduktes in die entsprechende Waferart umgewandelt wird und die Anzahl der guten Endprodukte in die Anzahl der Wafer umgewandelt wird, wobei die Ausbeute oder ähnliches in Betracht gezogen wird. Gleichzeitig werden die Daten des Zuführens zum Waferprozeß und die geplanten Daten der Fer­ tigstellung in Übereinstimmung mit der Standardkonstrukti­ onsdauer bzw. Herstellungsdauer und den Termindaten des Lieferns berechnet, die in der Datei für Produktionsbedin­ gungsdaten gespeichert sind, was weiter unten beschrieben wird.

Wie in Fig. 2 gezeigt wird, umfassen die Daten der Produk­ tionsbedingung, die der Eingabeeinrichtung 3 für Produkti­ onsbedingungen eingegeben werden, die Prozeßflußnummern der einzelnen Arten von Waferprozessen, Details des Prozeßflus­ ses und die Standardkonstruktionsperioden bzw. die Ablauf­ zeit der einzelnen Prozesse. Die Details der jeweiligen Flüsse sind für den jeweiligen Prozeß, wie folgt: der Pro­ zeßkode, der die Klassifikation der Prozesse enthält, die Anzahl der Produktionsvorrichtungen, die bei dem Prozeß verwendet werden, Produktionsparameter der jeweiligen Pro­ duktionsvorrichtungen und Kodes, die eine Stapelverarbei­ tung anzeigen. Die Produktionsparameter sind Daten, die die Bedingungen der jeweiligen Produktionsvorrichtung betreffen und Produktionsbedingungen in jeweiligen Vorrichtungen de­ finieren. Indem die Produktionsparameter den einzelnen Pro­ duktionsvorrichtungen zugeführt werden, setzen die Vorrich­ tungen automatisch die Produktionsparameter und verarbeiten bzw. bearbeiten die Wafer. Das gemischte Los, das weiter unten beschrieben wird, wird durch Sammeln von Wafern der gleichen Produktionsparameter gebildet. Die Eingabe von der Eingabeeinrichtung 3 für Produktionsbedingungen wird nicht immer dann durchgeführt, wenn eine Bestellung ausgegeben wird, und zwar im Gegensatz zu der Waferdateneingangsein­ richtung 2, die zuvor erwähnt wurde, sondern wird vorher betätigt, wenn der Prozeßfluß bzw. -ablauf bestimmt wird.

Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 2 werden Produktionsbe­ dingungen der jeweiligen Art in einer Datei 5 für Produkti­ onsbedingungsdaten gespeichert. Man nehme z. B. M1-001P. Als detaillierte Prozeßflüsse sind die Flußnummer FLOW-1, die Bezeichnung der Materialien für den Wafer M1 und den Prozeßfluß FLOW-1, das Verarbeiten vor der Diffusion AAA, die Verarbeitung für die Diffusion BBB und die Verarbeitung für die Photolithographie CCC in der Heihenfolge der Verar­ beitung gespeichert. Eine Vorrichtung D001, die bei der Verarbeitung vor der Diffusion AAA verwendet wird, und der Produktionsparameter OI-A der Vorrichtung sind gespeichert. Der Produktionsparameter OI-A gibt die Art einer Chemika­ lie, die eingesetzt wird, die Zeit, die für den Einsatz der Chemikalie beim Verarbeiten vor der Diffusion erforderlich ist, und weiterhin die Temperatur, die Zeit für die Diffu­ sion, das eingesetzte Gas und ähnliches bei der Diffusions­ verarbeitung an. Des weiteren ist der Kode B, der die Sta­ pelverarbeitung angibt, gespeichert. Auf gleiche Art und Weise sind eine Vorrichtung D002, ein Produktionsparameter OI-B und ein Kode B, der bei der Verarbeitung für die Dif­ fusion BBB eingesetzt wird, und eine Vorrichtung P001, ein Produktionsparameter OI-M1-001P und ein Code F, der bei der Verarbeitung für die Lithographie CCC eingesetzt wird, ge­ speichert. Dabei gibt der Code F an, daß die Verarbeitung für die Lithographie keine Stapelverarbeitung ist, sondern eine Verarbeitung, die die Wafer hintereinander abarbeitet. Auf gleiche Art und Weise sind jeweilige Daten für weitere vier Arten, nämlich M1-002P, M2-001P, M1-003P und M2-002P, gespeichert. Dabei werden M1-001P, M1-002P und M1-003P ge­ mäß den gleichen Produktionsparametern OI-A und OI-B und M2-002P und M2-002P gemäß den gleichen Produktionsparame­ tern OI-E und OI-F erzeugt.

Die Datenverarbeitungseinheit 1 speichert Daten, die ihr von der Eingabeeinrichtung 3 für Produktionsbedingungen zu­ geführt werden, in der Datei 5 für Produktionsbedingungsda­ ten, die gleichzeitig als Speichereinrichtung verwendet wird, und liest darin gespeicherte Daten jedesmal dann aus, wenn Waferdaten von der Waferdateneingangeinrichtung 2 zu­ geführt werden, und jedesmal dann, wenn eine losbildende Einrichtung 4, die weiter unten beschrieben wird, Losdaten ausliest.

Die Datenverarbeitungseinheit 1 speichert Waferdaten der jeweiligen Bestellungen, die von der Waferdateneingangsein­ richtung 2 zugeführt werden, in einer Losdatendatei 6 und speichert Losdaten, die von der Vorrichtung gemäß der vor­ liegenden Erfindung gebildet werden, d. h., welche Arten von Wafern Lose bilden, in der Losdatendatei 6 Los für Los. Die Losdaten umfassen die ID-Nummer, d. h., welche Arten von Wa­ fern Lose bilden, die Flußnummer, den Prozeßfluß, das fest­ gelegte Datum der Beendigung der jeweiligen Prozesse, die Namen der Kunden der jeweiligen Arten, die Termindaten der Auslieferung usw. Die Losdaten, die in der Losdatendatei 6 gespeichert sind, werden zum Zeitpunkt des Bildens der Lose ausgelesen und werden einer losbildenden Einrichtung 4 zu­ geführt, wenn die Lose in den Kassetten gebildet bzw. zu­ sammengestellt werden.

Auf der Basiss der Losdaten, die in der Losdatendatei 6 ge­ speichert sind, speichert die losbildende Einrichtung 6 Wa­ fer in Kassetten, im wesentlichen um Lose zu bilden, und ermöglicht es den Wafern, den Produktionsvorrichtungen zu­ geteilt zu werden.

Als nächstes werden die Abläufe zum Bilden von Losen gemäß der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung im oben stehen­ den Aufbau unter Bezugnahme auf das Flußdiagramm nach Fig. 3 erläutert.

Zuerst werden beim Schritt S1 Waferdaten, wie z. B. die Art und die Menge der Wafer und ähnliches, gemäß der Typennum­ mer des Produkts, der Anzahl der guten Endprodukte und des Termindatums der Auslieferung bestimmt, der Waferdatenein­ gangseinrichtung 2 eingegeben und in der Losdatendatei 6 gespeichert. Beim nachfolgenden Schritt S2 werden Waferda­ ten, die das Datum des Zuführens zum Waferprozeß betreffen, aus der Losdatendatei 6 ausgelesen. Ebenso werden Produkti­ onsparameter, entsprechend der Art dieser Wafer unter den Produktionsparametern der jeweiligen Produktionsvorrichtun­ gen, die in der Datendatei 5 für Produktionsbedingungen vorher gespeichert worden sind, ausgelesen. Dann werden auf der Basis der Daten Verarbeitungen zum Bilden der Lose in und nach dem Schritt S3 durchgeführt.

Beim Schritt S3 wird zuerst beurteilt, ob die Anzahl der gleichen Art von Wafern geringer ist als eine vorgegebene Anzahl, die in einer Kassette gespeichert werden soll. Ge­ wöhnlicherweise können 25 Wafer in einer Kassette gespei­ chert werden und bilden damit ein Fertigungslos. D. h. wenn die Anzahl der Wafer 25 oder mehr beträgt, kann ein Los ge­ bildet werden. In diesem Fall wird beim Schritt S4 eine An­ zeige an die losformende Einrichtung 4 ausgegeben und das Los wird in der Losdatendatei 6 als Losdaten registriert.

Auf solche Art und Weise werden Wafer in Losen durch jede vorgegebene Anzahl, die in einer Kassette gespeichert wer­ den soll, gebildet. Es wird beurteilt, ob einige Wafer üb­ rig sind (Schritt S5). Danach, wenn einige Wafer übrig geblieben sind, kehrt die Verarbeitung zum Schritt S3 zu­ rück. Wenn dagegen keine übrig sind, ist die Verarbeitung beendet.

Mit Bezug auf Fig. 4 wird eine Erläuterung bezüglich der Verarbeitungen bis zum vorliegenden Zeitpunkt gegeben. In der Ausführungsform ist eine Nachfrage für die Herstellung von Wafern der Art M1-001P, M1-002P, M2-001P, M1-003P und M2-002P, jeweils durch die Anzahlen 35, 35, 15, 30 und 35 der Wafer gegeben.

Da es 35 Wafer in M1-001P gibt, bilden 25 Wafer von diesen, welche in einer Kassette gespeichert werden können, ein gleichmäßiges Los und 10 Wafer bleiben übrig. Genauso ver­ hält es sich bei M1-002P und M2-002P. Da die Anzahl der Wa­ fer von M2-001P kleiner ist als 25, kann in dieser Stufe ein Los nicht gebildet werden. Bezüglich M1-003P wird ein gleichmäßiges Los mit in der Kassette zu speichernden Wa­ fern gebildet und 5 Wafer bleiben übrig.

Im Fall, wo die Anzahl der Wafer kleiner ist als die vorge­ gebene Anzahl von Wafern, die in einer Kassette gespeichert werden können, und zwar beim Schritt S3, schreitet die Ver­ arbeitung zum Schritt S6 fort, um zu überprüfen, ob es Wa­ fer mit den gleichen Produktionsparametern gibt oder nicht. Wenn es welche gibt, wird überprüft, ob die Anzahl der Wa­ fer kleiner als die angegebene Anzahl von Wafern, die in der Kassette gespeichert werden können (Schritt S7), ist. Wenn die Anzahl der Zahl der in einer Kassette zu spei­ chernden Wafer entspricht oder größer ist, wird eine An­ zeige zum Bilden eines gemischten Loses mit der in einer Kassette zu speichernden Anzahl ausgegeben (Schritt S8). In dem Beispiel nach Fig. 4 haben M1-001P, M1-002P und M1-003P die gleichen Produktionsparameter OI-A und OI-B. Die Summe der einzelnen Anzahlen an Wafern, die übrig bleiben, beträgt 10+10+5=25, d. h., gerade die Anzahl, die in einer Kassette gespeichert werden kann. Eine Anzeige zum Bilden eines gemischten Loses mit M1-001P, M1-002P und M1-003P wird dann durchgeführt und in der Losdatendatei 6 regi­ striert. Im Fall, wo die Anzahl der Wafer kleiner ist als die Anzahl der in einer Kassette zu speichernden Wafer, wird eine Anzeige zum Bilden eines gemischten Loses durch­ geführt, und zwar für die Wafer, deren Zahl geringer ist als die in einer Kassette zu speichernde Zahl (Schritt S10).

Andererseits, da M2-001P und M2-002P die gleichen Produkti­ onsparametern OI-E und OI-F haben, beträgt die Anzahl die­ ser Wafer 15+10=25, die das gemischte Los mit M2-001P und M2-002P bilden.

Auf diese Art und Weise wird ein gemischtes Los gebildet und wenn es immer noch Wafer gibt, die im Schritt S11 übrig bleiben, kehrt die Verarbeitung zum Schritt S7 zurück. Wa­ fer mit denselben Produktionsbedingungen werden dann dar­ aufhin überprüft, ob sie ein gemischtes Los auf gleiche Art und Weise bilden können. Wenn keine Wafer übrig bleiben, ist die Verarbeitung beendet. Wenn es keine Wafer mit den gleichen Produktionsbedingungen beim Schritt S6 gibt, wird ein Los mit der gleichen Art von Wafern gebildet, deren An­ zahl kleiner als die vorgegebene, in einer Kassette zu speichernden Anzahl ist, und die Verarbeitung ist beendet.

Wenn ein Los gebildet wird und die Losdaten in der Losda­ tendatei 6 auf diese Art und Weise gespeichert werden, liest der losformende Abschnitt 4 Losdaten, die von der Da­ tenverarbeitungseinheit 1 gebildet worden sind, gemäß dem Zuführdatum des Waferprozesses aus und auf der Basis der Losdaten nimmt sie die erforderliche Anzahl von Wafern der jeweiligen Arten heraus, um sie in einer Kassette Los für Los zu speichern. Dann wird die ID-Nummer, betreffend die Zuführdaten für den Waferprozeß, an die Kassette ausgege­ ben, um die Bildung zu beenden.

Fig. 5 ein schematisches Diagramm, das den Vorgang des Bildens von Losen gemäß eines herkömmlichen Verfahrens in Übereinstimmung mit dem Beispiel nach Fig. 4 zeigt. Es ist klar, daß bei dem herkömmlichen Verfahren fünf Lose gebil­ det werden, die jeweils weniger als 25 Wafer haben, was der vorgegebenen Anzahl von in einer Kassette zu speichernden Wafern entspricht, da Lose nur innerhalb der gleichen Art von Wafern gebildet werden, was zu einer ineffizienten Her­ stellung führt. Die Bedingung für das Bilden des oben ange­ gebenen gemischten Loses besteht darin, daß die Produkti­ onsbedingungen die gleichen sind. Bei einem Waferprozeß für Halbleiterprodukte können aber gemischte Lose tatsächlich gebildet werden, wenn die nachfolgende Bedingung erfüllt wird. Unter den Herstellungsvorrichtungen bei einem Wafer­ prozeß gibt es eine Vorrichtung für Photolithographie, die anzeigt, daß der jeweilige Wafer verarbeitet wird, und die ihn verarbeitet, und eine Vorrichtung für die Diffusion, die alle Wafer in einer Kassette zusammen zur gleichen Zeit unter denselben Verarbeitungsbedingungen verarbeitet. Die Beförderung von Wafern zwischen den jeweiligen Produktions­ vorrichtungen wird kassettenweise ausgeführt. Deshalb kön­ nen nach der vorliegenden Verarbeitungsanordnung gemischte Lose gebildet werden, wenn der Fluß des Prozesses und die Produktionsparameter der Vorrichtungen zum gemeinsamen Ver­ arbeiten der Wafer die gleichen sind.

Bei der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wurde eine Erläuterung bezüglich des Aufbaus bei der Anwendung für den Waferprozeß von Halbleiterprodukten gegeben, es ist jedoch anzumerken, das die Erfindung bzw. die Ausführungs­ form nicht nur darauf beschränkt ist, sondern vielmehr bei allen Verfahren anwendbar ist, bei denen unterschiedliche Arten von Produkten mit dem gleichen Aufbau losweise produ­ ziert werden.

Außerdem ist die losbildende Einrichtung zum Bilden der Lose auf der Basis der Losdaten nicht unverzichtbar für die vorliegende Erfindung. Wenn es keine losbildende Einrich­ tung gibt, können die Lose durch menschliche Kraft auf der Basis der Losdaten, angezeigt auf einem CRT oder ähnlichem, gebildet werden.

Wie vorher erwähnt, können bei dem Verfahren und der Vor­ richtung zum Bilden von Losen gemäß der vorliegenden Erfin­ dung sogar dann, wenn Gegenstände, die herkömmlich verar­ beitet werden sollen und zum Bilden eines Loses erforder­ lich sind, mit einer Anzahl von Wafern kleiner als der vor­ gegebenen Anzahl zum Bilden eines Loses vorliegen, automa­ tisch in einem gemischten Los durch Sammeln unterschiedli­ cher Arten von zu verarbeitenden Objekten untergebracht werden, und zwar auf der Basis der Produkttypen und der Verarbeitungsbedingungen.

Deshalb wird in dem Fall der Anwendung für Waferverarbei­ tung von Halbleiterprodukten ein unnötiger Bestand nicht erzeugt, im Gegensatz zu dem herkömmlichen Verfahren. Auch unnötige Instandhaltungskosten für den Bestand sind nicht erforderlich, da Wafer im Umfang der erforderlichen Menge ohne ein Absenken der Produktionseffizienz für Wafer herge­ stellt werden können, woraus sich ergibt, daß die Kosten des Produkts abgesenkt werden können und auch der Arbeits­ aufwand reduziert werden kann.

Claims (5)

1. Verfahren zum Bilden eines Loses durch Sammeln einer vorgegebenen Anzahl von Gegenständen, die in einer Stapel­ verarbeitung verarbeitet werden sollen, wobei die zu verar­ beitenden Gegenstände gesammelt werden und gemäß Verarbei­ tungsbedingungen verarbeitet werden und wobei das Verfahren die Schritte aufweist:
Speichern von Daten, die die Verarbeitungsbedingungen der jeweiligen, zu verarbeitenden Gegenstandsarten betreffen;
Holen der gespeicherten Daten während des Bildens eines Lo­ ses; und
Sammeln der vorgegebenen Anzahl aus einer Vielzahl von Ar­ ten von zu verarbeitenden Gegenständen, um ein gemischtes Los auf der Basis der geholten Daten zu bilden, wobei jede Anzahl der Vielzahl von Arten von zu verarbeitenden Gegen­ ständen kleiner ist als die vorgegebene Anzahl.

2. Verfahren zum Bilden eines Loses nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß der Schritt des Holens einen Schritt des Auslesens von Daten enthält, die die Verarbei­ tungsbedingung der zu verarbeitenden Gegenstände betreffen, die in dem Schritt des Speicherns gespeichert wird, und einen Schritt des Vergleichens der Auslesedaten miteinan­ der.

3. Verfahren zum Bilden eines Loses nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, das die gleichen Daten aus den Daten gesammelt werden, die die Verarbeitungsbedingungen betref­ fen, und zwar beim Schritt des Sammelns.

4. Vorrichtung zum Bilden eines Loses durch Sammeln einer vorgegebenen Anzahl von in einem Stapelprozeß zu verarbei­ tenden Objekten, wobei die zu verarbeitenden Gegenstände gesammelt werden und gemäß Verarbeitungsbedingungen verar­ beitet werden und wobei die Vorrichtung aufweist:
eine Eingabeeinrichtung zum Eingeben von Daten, die die Verarbeitungsbedingungen der jeweiligen Arten der zu verar­ beitenden Gegenstände betreffen;
eine Speichereinrichtung zum Speichern von Daten, die von der Eingabeeinrichtung eingegeben werden; und
eine losbildende Einrichtung zum Bilden eines gleichmäßigen Loses durch Sammeln der vorgegebenen Anzahl der gleichen Art von zu verarbeitenden Gegenständen und zum Bilden eines gemischten Loses durch Sammeln der vorgegebenen Anzahl aus einer Vielzahl von Arten von zu verarbeitenden Gegenständen auf der Basis der gespeicherten Daten, wobei jede Anzahl der Vielzahl von Arten von zu verarbeitenden Gegenständen kleiner ist als die vorgegebene Anzahl.

5. Vorrichtung zum Bilden eines Loses nach Anspruch 4, da­ durch gekennzeichnet, das die losbildende Einrichtung ein gemischtes Los durch Sammeln von Gegenstände mit den glei­ chen Daten bildet, die die Verarbeitungsbedingungen betref­ fen.