DE4112881A1 - Verfahren und vorrichtung zum bilden eines fertigungsloses - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zum bilden eines fertigungslosesInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine
Vorrichtung zum Bilden eines Fertigungsloses in einem Pro
zeß bzw. in einem Verfahren, wo Gegenstände losweise, wie
z. B. in einem Stapelprozeß, verarbeitet werden, und be
trifft insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung zum
Bilden eines gemischten Loses durch Sammeln bzw. Zusammen
stellen von Gegenständen unterschiedlicher Art.
Bei einem Waferprozeß für die Herstellung eines Halbleiter
produktes kommt z. B. ein Prozeß vor, bei dem eine Vielzahl
von Wafern in einem Kasten wie z. B. einer Kassete unterge
bracht sind und lotweise bzw. hintereinander verarbeitet
werden, wie z. B. bei der Verarbeitung vor der Diffusion und
bei der Verarbeitung während der Diffusion. Hier ist das
Fertigungslos durch das Sammeln von Wafern der gleichen Art
zusammengesetzt.
Seit kurzem wird bei der Produktion von Halbleitern der
Trend beobachtet, verschiedene Arten in geringer Menge her
zustellen. Deshalb kann es vorkommen, daß die Anzahl der
Wafer der gleichen Art bzw. des gleichen Typs, die ein Fer
tigungslos bilden, nicht der vorgegebenen Zahl entspricht,
d. h. der Zahl an Wafern, die in einer Kassette unterge
bracht werden können. In einem solchen Fall ist bei solch
einem Fertigungslos die Herstellung ungewöhnlich ineffizi
ent und die Kosten steigen an. Deshalb wird die Herstellung
für gewöhnlicherweise durchgeführt, indem Wafer der glei
chen Art der Kassette hinzugetan werden, um sie ganz zu
füllen. Die dann überflüssigen bzw. zuviel erzeugten Pro
dukte werden als Lagerbestand gehalten.
Der Lagerbestand wird jedoch selten bestellt, da der Trend
besteht, verschiedene Arten von Halbleiterprodukten mit ge
ringer Menge zu ordern, was den Lagerbestand unnötig macht.
Wenn der unnötige Lagerbestand schließlich weggeworfen
wird, sind die Instandhaltungskosten bis dahin völlig um
sonst, die den Kosten der Produkte hinzuaddiert werden, was
die Kosten insgesamt erhöht.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein
Verfahren und eine Vorrichtung zum Bilden von Fertigungslo
sen anzugeben, die fähig dazu sind, Produkte unterschiedli
cher Art in vorgesehener Menge ohne eine Absenkung der Her
stellungseffizienz herzustellen.
Diese Aufgabe wird durch das Verfahren nach Anspruch 1 bzw.
durch die Vorrichtung nach Anspruch 4 gelöst.
Demnach wird auf Daten vorher zugegriffen, die Verarbei
tungsbedingungen einzelner Gegenstände bzw. Objekte, die
verarbeitet werden sollen, betreffen. Eine Vielzahl von Ge
genständen, die verarbeitet werden sollen, wird gesammelt,
deren Zahl geringer ist als eine vorgegebene Zahl eines
Fertigungsloses, und zwar auf der Basis der zugegriffenen
Daten.
Die Erfindung hat den Vorteil, daß ein Verfahren bzw. eine
Vorrichtung zum Bilden von Fertigungslosen angegeben wird,
welche dazu fähig ist, einen unnötigen Lagerbestand von
vornherein zu vermeiden und den Kostenanstieg niedrig zu
halten, ohne daß unnötige Instandhaltungskosten für den La
gerbestand ausgegeben werden müssen. Dies wird im wesentli
chen durch das Zusammenstellen bzw. das Bilden von gemisch
ten Fertigungslosen erreicht, wobei gemäß der vorliegenden
Erfindung Daten vorher geholt werden, die Verarbeitungsbe
dingungen der jeweiligen Arten von Gegenständen, die verar
beitet werden sollen, betreffen, und wobei eine Vielzahl
von zu verarbeitenden Gegenständen gesammelt wird, deren
Anzahl geringer ist als eine vorgegebene Anzahl eines Lo
ses, und zwar auf der Basis der geholten Daten.
Die Vorrichtung zum Bilden von Losen gemäß der vorliegenden
Erfindung ist versehen mit einer Eingabeeinrichtung zum
Eingeben von Daten, die die Verarbeitungsbedingungen der
einzelnen zu verarbeitenden Gegenstandsarten betreffen, mit
einer Speichereinrichtung zum Speichern der eingegebenen
Daten, mit einer losbildenden Einrichtung zum Bilden der
Lose durch Sammeln der gleichen, zu verarbeitenden Gegen
standsart bezüglich der vorgegebenen Anzahl auf der Basis
der gespeicherten Daten und mit einer Einrichtung zum Bil
den gemischter Lose durch Sammeln einer Vielzahl von zu
verarbeitenden Gegenständen, deren Anzahl geringer ist als
eine vorgegebene Anzahl der losbildenden Einrichtung, auf
der Basis der Daten.
Bei dem Verfahren zum Bilden von Losen gemäß der vorliegen
den Erfindung werden Daten betreffend die Art und die Ver
arbeitungsbedingungen der zu verarbeitenden Gegenstände im
voraus geholt. Unterschiedliche Gegenstandsarten, die ver
arbeitet werden sollen, werden zu mehrere Anzahlen der ein
zelnen Gegenstandsarten gesammelt, um ein gemischtes Los
auf der Basis der Daten zu bilden. Die Anzahl der unter
schiedlichen Objektarten, die verarbeitet werden sollen,
ist geringer als die vorgegebene Anzahl eines Loses, das
durch Sammeln der gleichen Art von zu verarbeitenden Objek
ten gebildet wird.
Wenn bei der Vorrichtung zum Bilden von Losen gemäß der
vorliegenden Erfindung Daten, die die Arten und Verarbei
tungsbedingungen der zu verarbeitenden Gegenstände betref
fen, über die Eingabeeinrichtung eingegeben werden, werden
die Daten in der Speichereinrichtung gespeichert. Danach
bildet die losbildende Einrichtung ein Los, indem eine vor
gegebene Anzahl der gleichen Art von zu verarbeitenden Ob
jekten gesammelt wird. Ein gemischtes Los wird gebildet,
indem eine Vielzahl von zu verarbeitenden Gegenständen ge
sammelt wird, deren Anzahl jeweils geringer ist als die
vorgegebene Anzahl der losbildenden Einrichtung.
Vorteilhafte Weiterbildungen sind den Unteransprüchen zu
entnehmen. Weitere Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der
vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgenden Be
schreibung von Ausführungsformen der Erfindung in Verbin
dung mit den Zeichnungen ersichtlich. Es zeigen:
Fig. 1 ein Blockdiagramm, das den Aufbau einer Vorrichtung
zum Bilden von Losen gemäß der vorliegenden Erfindung
zeigt;
Fig. 2 ein Diagramm, das den Inhalt einer Datei mit Pro
duktionsbedingungen zeigt;
Fig. 3 ein Flußdiagramm, das den Vorgang zum Bilden der
Lose zeigt;
Fig. 4 ein schematisches Diagramm, das den Vorgang zum
Bilden von Losen gemäß der Vorrichtung der vorliegenden Er
findung zeigt;
Fig. 5 ein schematisches Diagramm, das den Vorgang zum
Bilden von Losen gemäß eines herkömmlichen Verfahrens
zeigt.
Im nachfolgenden wird die Erfindung mit Bezug auf die
Zeichnungen erläutert, die Ausführungsformen der Erfindung
zeigen. Fig. 1 zeigt ein Beispiel für einen Waferprozeß
beim Herstellungsprozeß von Halbleiterprodukten wie z. B.
LSI-Schaltungen. Der Waferprozeß besteht z. B. aus einer
Verarbeitung vor der Diffusion, aus der Verarbeitung bei
der Diffusion und aus der Verarbeitung bei der Photolitho
graphie. In der Zeichnung ist eine Datenverarbeitungsein
heit 1 gezeigt, die eine CPU verwendet, der Eingabedaten
von einer Waferdateneingangseinrichtung 2 bzw. einer Ein
gangseinrichtung 3 für Produktionsbedingungen zugeführt
werden. Die Waferdaten, die von der Waferdateneingangsein
richtung 2 der Datenverarbeitungeinheit 1 zugeführt werden,
sind die folgenden: die Arten von Wafern der Halbleiterpro
dukte, die hergestellt werden sollen, die Anzahl der Wafer,
die Daten des Zuführens zu dem Waferprozeß, die Daten des
Fertigstellens des Waferprozesses, die Daten der Kunden,
die Termindaten für die Lieferung usw. Diese Daten werden
immer dann ausgegeben, wenn eine Bestellung eines Kunden
vorliegt. Zudem, da eine Kundenorder gegeben wird in Über
einstimmung mit der Typennummer des Halbleiterprodukts, die
in einem Katalog oder ähnlichem angegeben ist, mit der An
zahl der guten Endprodukte (final good products) und mit
dem vorgesehenen Datum der Lieferung, ist eine Umwandlungs
einheit 21 im Inneren der Waferdateneingangeinrichtung 2
eingerichtet, in der Eingabedaten der Typennummer des Halb
leiterproduktes in die entsprechende Waferart umgewandelt
wird und die Anzahl der guten Endprodukte in die Anzahl der
Wafer umgewandelt wird, wobei die Ausbeute oder ähnliches
in Betracht gezogen wird. Gleichzeitig werden die Daten des
Zuführens zum Waferprozeß und die geplanten Daten der Fer
tigstellung in Übereinstimmung mit der Standardkonstrukti
onsdauer bzw. Herstellungsdauer und den Termindaten des
Lieferns berechnet, die in der Datei für Produktionsbedin
gungsdaten gespeichert sind, was weiter unten beschrieben
wird.
Wie in Fig. 2 gezeigt wird, umfassen die Daten der Produk
tionsbedingung, die der Eingabeeinrichtung 3 für Produkti
onsbedingungen eingegeben werden, die Prozeßflußnummern der
einzelnen Arten von Waferprozessen, Details des Prozeßflus
ses und die Standardkonstruktionsperioden bzw. die Ablauf
zeit der einzelnen Prozesse. Die Details der jeweiligen
Flüsse sind für den jeweiligen Prozeß, wie folgt: der Pro
zeßkode, der die Klassifikation der Prozesse enthält, die
Anzahl der Produktionsvorrichtungen, die bei dem Prozeß
verwendet werden, Produktionsparameter der jeweiligen Pro
duktionsvorrichtungen und Kodes, die eine Stapelverarbei
tung anzeigen. Die Produktionsparameter sind Daten, die die
Bedingungen der jeweiligen Produktionsvorrichtung betreffen
und Produktionsbedingungen in jeweiligen Vorrichtungen de
finieren. Indem die Produktionsparameter den einzelnen Pro
duktionsvorrichtungen zugeführt werden, setzen die Vorrich
tungen automatisch die Produktionsparameter und verarbeiten
bzw. bearbeiten die Wafer. Das gemischte Los, das weiter
unten beschrieben wird, wird durch Sammeln von Wafern der
gleichen Produktionsparameter gebildet. Die Eingabe von der
Eingabeeinrichtung 3 für Produktionsbedingungen wird nicht
immer dann durchgeführt, wenn eine Bestellung ausgegeben
wird, und zwar im Gegensatz zu der Waferdateneingangsein
richtung 2, die zuvor erwähnt wurde, sondern wird vorher
betätigt, wenn der Prozeßfluß bzw. -ablauf bestimmt wird.
Bei der Ausführungsform gemäß Fig. 2 werden Produktionsbe
dingungen der jeweiligen Art in einer Datei 5 für Produkti
onsbedingungsdaten gespeichert. Man nehme z. B. M1-001P.
Als detaillierte Prozeßflüsse sind die Flußnummer FLOW-1,
die Bezeichnung der Materialien für den Wafer M1 und den
Prozeßfluß FLOW-1, das Verarbeiten vor der Diffusion AAA,
die Verarbeitung für die Diffusion BBB und die Verarbeitung
für die Photolithographie CCC in der Heihenfolge der Verar
beitung gespeichert. Eine Vorrichtung D001, die bei der
Verarbeitung vor der Diffusion AAA verwendet wird, und der
Produktionsparameter OI-A der Vorrichtung sind gespeichert.
Der Produktionsparameter OI-A gibt die Art einer Chemika
lie, die eingesetzt wird, die Zeit, die für den Einsatz der
Chemikalie beim Verarbeiten vor der Diffusion erforderlich
ist, und weiterhin die Temperatur, die Zeit für die Diffu
sion, das eingesetzte Gas und ähnliches bei der Diffusions
verarbeitung an. Des weiteren ist der Kode B, der die Sta
pelverarbeitung angibt, gespeichert. Auf gleiche Art und
Weise sind eine Vorrichtung D002, ein Produktionsparameter
OI-B und ein Kode B, der bei der Verarbeitung für die Dif
fusion BBB eingesetzt wird, und eine Vorrichtung P001, ein
Produktionsparameter OI-M1-001P und ein Code F, der bei der
Verarbeitung für die Lithographie CCC eingesetzt wird, ge
speichert. Dabei gibt der Code F an, daß die Verarbeitung
für die Lithographie keine Stapelverarbeitung ist, sondern
eine Verarbeitung, die die Wafer hintereinander abarbeitet.
Auf gleiche Art und Weise sind jeweilige Daten für weitere
vier Arten, nämlich M1-002P, M2-001P, M1-003P und M2-002P,
gespeichert. Dabei werden M1-001P, M1-002P und M1-003P ge
mäß den gleichen Produktionsparametern OI-A und OI-B und
M2-002P und M2-002P gemäß den gleichen Produktionsparame
tern OI-E und OI-F erzeugt.
Die Datenverarbeitungseinheit 1 speichert Daten, die ihr
von der Eingabeeinrichtung 3 für Produktionsbedingungen zu
geführt werden, in der Datei 5 für Produktionsbedingungsda
ten, die gleichzeitig als Speichereinrichtung verwendet
wird, und liest darin gespeicherte Daten jedesmal dann aus,
wenn Waferdaten von der Waferdateneingangeinrichtung 2 zu
geführt werden, und jedesmal dann, wenn eine losbildende
Einrichtung 4, die weiter unten beschrieben wird, Losdaten
ausliest.
Die Datenverarbeitungseinheit 1 speichert Waferdaten der
jeweiligen Bestellungen, die von der Waferdateneingangsein
richtung 2 zugeführt werden, in einer Losdatendatei 6 und
speichert Losdaten, die von der Vorrichtung gemäß der vor
liegenden Erfindung gebildet werden, d. h., welche Arten von
Wafern Lose bilden, in der Losdatendatei 6 Los für Los. Die
Losdaten umfassen die ID-Nummer, d. h., welche Arten von Wa
fern Lose bilden, die Flußnummer, den Prozeßfluß, das fest
gelegte Datum der Beendigung der jeweiligen Prozesse, die
Namen der Kunden der jeweiligen Arten, die Termindaten der
Auslieferung usw. Die Losdaten, die in der Losdatendatei 6
gespeichert sind, werden zum Zeitpunkt des Bildens der Lose
ausgelesen und werden einer losbildenden Einrichtung 4 zu
geführt, wenn die Lose in den Kassetten gebildet bzw. zu
sammengestellt werden.
Auf der Basiss der Losdaten, die in der Losdatendatei 6 ge
speichert sind, speichert die losbildende Einrichtung 6 Wa
fer in Kassetten, im wesentlichen um Lose zu bilden, und
ermöglicht es den Wafern, den Produktionsvorrichtungen zu
geteilt zu werden.
Als nächstes werden die Abläufe zum Bilden von Losen gemäß
der Vorrichtung der vorliegenden Erfindung im oben stehen
den Aufbau unter Bezugnahme auf das Flußdiagramm nach Fig.
3 erläutert.
Zuerst werden beim Schritt S1 Waferdaten, wie z. B. die Art
und die Menge der Wafer und ähnliches, gemäß der Typennum
mer des Produkts, der Anzahl der guten Endprodukte und des
Termindatums der Auslieferung bestimmt, der Waferdatenein
gangseinrichtung 2 eingegeben und in der Losdatendatei 6
gespeichert. Beim nachfolgenden Schritt S2 werden Waferda
ten, die das Datum des Zuführens zum Waferprozeß betreffen,
aus der Losdatendatei 6 ausgelesen. Ebenso werden Produkti
onsparameter, entsprechend der Art dieser Wafer unter den
Produktionsparametern der jeweiligen Produktionsvorrichtun
gen, die in der Datendatei 5 für Produktionsbedingungen
vorher gespeichert worden sind, ausgelesen. Dann werden auf
der Basis der Daten Verarbeitungen zum Bilden der Lose in
und nach dem Schritt S3 durchgeführt.
Beim Schritt S3 wird zuerst beurteilt, ob die Anzahl der
gleichen Art von Wafern geringer ist als eine vorgegebene
Anzahl, die in einer Kassette gespeichert werden soll. Ge
wöhnlicherweise können 25 Wafer in einer Kassette gespei
chert werden und bilden damit ein Fertigungslos. D. h. wenn
die Anzahl der Wafer 25 oder mehr beträgt, kann ein Los ge
bildet werden. In diesem Fall wird beim Schritt S4 eine An
zeige an die losformende Einrichtung 4 ausgegeben und das
Los wird in der Losdatendatei 6 als Losdaten registriert.
Auf solche Art und Weise werden Wafer in Losen durch jede
vorgegebene Anzahl, die in einer Kassette gespeichert wer
den soll, gebildet. Es wird beurteilt, ob einige Wafer üb
rig sind (Schritt S5). Danach, wenn einige Wafer übrig
geblieben sind, kehrt die Verarbeitung zum Schritt S3 zu
rück. Wenn dagegen keine übrig sind, ist die Verarbeitung
beendet.
Mit Bezug auf Fig. 4 wird eine Erläuterung bezüglich der
Verarbeitungen bis zum vorliegenden Zeitpunkt gegeben. In
der Ausführungsform ist eine Nachfrage für die Herstellung
von Wafern der Art M1-001P, M1-002P, M2-001P, M1-003P und
M2-002P, jeweils durch die Anzahlen 35, 35, 15, 30 und 35
der Wafer gegeben.
Da es 35 Wafer in M1-001P gibt, bilden 25 Wafer von diesen,
welche in einer Kassette gespeichert werden können, ein
gleichmäßiges Los und 10 Wafer bleiben übrig. Genauso ver
hält es sich bei M1-002P und M2-002P. Da die Anzahl der Wa
fer von M2-001P kleiner ist als 25, kann in dieser Stufe
ein Los nicht gebildet werden. Bezüglich M1-003P wird ein
gleichmäßiges Los mit in der Kassette zu speichernden Wa
fern gebildet und 5 Wafer bleiben übrig.
Im Fall, wo die Anzahl der Wafer kleiner ist als die vorge
gebene Anzahl von Wafern, die in einer Kassette gespeichert
werden können, und zwar beim Schritt S3, schreitet die Ver
arbeitung zum Schritt S6 fort, um zu überprüfen, ob es Wa
fer mit den gleichen Produktionsparametern gibt oder nicht.
Wenn es welche gibt, wird überprüft, ob die Anzahl der Wa
fer kleiner als die angegebene Anzahl von Wafern, die in
der Kassette gespeichert werden können (Schritt S7), ist.
Wenn die Anzahl der Zahl der in einer Kassette zu spei
chernden Wafer entspricht oder größer ist, wird eine An
zeige zum Bilden eines gemischten Loses mit der in einer
Kassette zu speichernden Anzahl ausgegeben (Schritt S8). In
dem Beispiel nach Fig. 4 haben M1-001P, M1-002P und
M1-003P die gleichen Produktionsparameter OI-A und OI-B. Die
Summe der einzelnen Anzahlen an Wafern, die übrig bleiben,
beträgt 10+10+5=25, d. h., gerade die Anzahl, die in einer
Kassette gespeichert werden kann. Eine Anzeige zum Bilden
eines gemischten Loses mit M1-001P, M1-002P und M1-003P
wird dann durchgeführt und in der Losdatendatei 6 regi
striert. Im Fall, wo die Anzahl der Wafer kleiner ist als
die Anzahl der in einer Kassette zu speichernden Wafer,
wird eine Anzeige zum Bilden eines gemischten Loses durch
geführt, und zwar für die Wafer, deren Zahl geringer ist
als die in einer Kassette zu speichernde Zahl (Schritt
S10).
Andererseits, da M2-001P und M2-002P die gleichen Produkti
onsparametern OI-E und OI-F haben, beträgt die Anzahl die
ser Wafer 15+10=25, die das gemischte Los mit M2-001P und
M2-002P bilden.
Auf diese Art und Weise wird ein gemischtes Los gebildet
und wenn es immer noch Wafer gibt, die im Schritt S11 übrig
bleiben, kehrt die Verarbeitung zum Schritt S7 zurück. Wa
fer mit denselben Produktionsbedingungen werden dann dar
aufhin überprüft, ob sie ein gemischtes Los auf gleiche Art
und Weise bilden können. Wenn keine Wafer übrig bleiben,
ist die Verarbeitung beendet. Wenn es keine Wafer mit den
gleichen Produktionsbedingungen beim Schritt S6 gibt, wird
ein Los mit der gleichen Art von Wafern gebildet, deren An
zahl kleiner als die vorgegebene, in einer Kassette zu
speichernden Anzahl ist, und die Verarbeitung ist beendet.
Wenn ein Los gebildet wird und die Losdaten in der Losda
tendatei 6 auf diese Art und Weise gespeichert werden,
liest der losformende Abschnitt 4 Losdaten, die von der Da
tenverarbeitungseinheit 1 gebildet worden sind, gemäß dem
Zuführdatum des Waferprozesses aus und auf der Basis der
Losdaten nimmt sie die erforderliche Anzahl von Wafern der
jeweiligen Arten heraus, um sie in einer Kassette Los für
Los zu speichern. Dann wird die ID-Nummer, betreffend die
Zuführdaten für den Waferprozeß, an die Kassette ausgege
ben, um die Bildung zu beenden.
Fig. 5 ein schematisches Diagramm, das den Vorgang des
Bildens von Losen gemäß eines herkömmlichen Verfahrens in
Übereinstimmung mit dem Beispiel nach Fig. 4 zeigt. Es ist
klar, daß bei dem herkömmlichen Verfahren fünf Lose gebil
det werden, die jeweils weniger als 25 Wafer haben, was der
vorgegebenen Anzahl von in einer Kassette zu speichernden
Wafern entspricht, da Lose nur innerhalb der gleichen Art
von Wafern gebildet werden, was zu einer ineffizienten Her
stellung führt. Die Bedingung für das Bilden des oben ange
gebenen gemischten Loses besteht darin, daß die Produkti
onsbedingungen die gleichen sind. Bei einem Waferprozeß für
Halbleiterprodukte können aber gemischte Lose tatsächlich
gebildet werden, wenn die nachfolgende Bedingung erfüllt
wird. Unter den Herstellungsvorrichtungen bei einem Wafer
prozeß gibt es eine Vorrichtung für Photolithographie, die
anzeigt, daß der jeweilige Wafer verarbeitet wird, und die
ihn verarbeitet, und eine Vorrichtung für die Diffusion,
die alle Wafer in einer Kassette zusammen zur gleichen Zeit
unter denselben Verarbeitungsbedingungen verarbeitet. Die
Beförderung von Wafern zwischen den jeweiligen Produktions
vorrichtungen wird kassettenweise ausgeführt. Deshalb kön
nen nach der vorliegenden Verarbeitungsanordnung gemischte
Lose gebildet werden, wenn der Fluß des Prozesses und die
Produktionsparameter der Vorrichtungen zum gemeinsamen Ver
arbeiten der Wafer die gleichen sind.
Bei der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wurde
eine Erläuterung bezüglich des Aufbaus bei der Anwendung
für den Waferprozeß von Halbleiterprodukten gegeben, es ist
jedoch anzumerken, das die Erfindung bzw. die Ausführungs
form nicht nur darauf beschränkt ist, sondern vielmehr bei
allen Verfahren anwendbar ist, bei denen unterschiedliche
Arten von Produkten mit dem gleichen Aufbau losweise produ
ziert werden.
Außerdem ist die losbildende Einrichtung zum Bilden der
Lose auf der Basis der Losdaten nicht unverzichtbar für die
vorliegende Erfindung. Wenn es keine losbildende Einrich
tung gibt, können die Lose durch menschliche Kraft auf der
Basis der Losdaten, angezeigt auf einem CRT oder ähnlichem,
gebildet werden.
Wie vorher erwähnt, können bei dem Verfahren und der Vor
richtung zum Bilden von Losen gemäß der vorliegenden Erfin
dung sogar dann, wenn Gegenstände, die herkömmlich verar
beitet werden sollen und zum Bilden eines Loses erforder
lich sind, mit einer Anzahl von Wafern kleiner als der vor
gegebenen Anzahl zum Bilden eines Loses vorliegen, automa
tisch in einem gemischten Los durch Sammeln unterschiedli
cher Arten von zu verarbeitenden Objekten untergebracht
werden, und zwar auf der Basis der Produkttypen und der
Verarbeitungsbedingungen.
Deshalb wird in dem Fall der Anwendung für Waferverarbei
tung von Halbleiterprodukten ein unnötiger Bestand nicht
erzeugt, im Gegensatz zu dem herkömmlichen Verfahren. Auch
unnötige Instandhaltungskosten für den Bestand sind nicht
erforderlich, da Wafer im Umfang der erforderlichen Menge
ohne ein Absenken der Produktionseffizienz für Wafer herge
stellt werden können, woraus sich ergibt, daß die Kosten
des Produkts abgesenkt werden können und auch der Arbeits
aufwand reduziert werden kann.
Claims (5)
1. Verfahren zum Bilden eines Loses durch Sammeln einer
vorgegebenen Anzahl von Gegenständen, die in einer Stapel
verarbeitung verarbeitet werden sollen, wobei die zu verar
beitenden Gegenstände gesammelt werden und gemäß Verarbei
tungsbedingungen verarbeitet werden und wobei das Verfahren
die Schritte aufweist:
Speichern von Daten, die die Verarbeitungsbedingungen der jeweiligen, zu verarbeitenden Gegenstandsarten betreffen;
Holen der gespeicherten Daten während des Bildens eines Lo ses; und
Sammeln der vorgegebenen Anzahl aus einer Vielzahl von Ar ten von zu verarbeitenden Gegenständen, um ein gemischtes Los auf der Basis der geholten Daten zu bilden, wobei jede Anzahl der Vielzahl von Arten von zu verarbeitenden Gegen ständen kleiner ist als die vorgegebene Anzahl.
Speichern von Daten, die die Verarbeitungsbedingungen der jeweiligen, zu verarbeitenden Gegenstandsarten betreffen;
Holen der gespeicherten Daten während des Bildens eines Lo ses; und
Sammeln der vorgegebenen Anzahl aus einer Vielzahl von Ar ten von zu verarbeitenden Gegenständen, um ein gemischtes Los auf der Basis der geholten Daten zu bilden, wobei jede Anzahl der Vielzahl von Arten von zu verarbeitenden Gegen ständen kleiner ist als die vorgegebene Anzahl.
2. Verfahren zum Bilden eines Loses nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß der Schritt des Holens einen
Schritt des Auslesens von Daten enthält, die die Verarbei
tungsbedingung der zu verarbeitenden Gegenstände betreffen,
die in dem Schritt des Speicherns gespeichert wird, und
einen Schritt des Vergleichens der Auslesedaten miteinan
der.
3. Verfahren zum Bilden eines Loses nach Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, das die gleichen Daten aus den Daten
gesammelt werden, die die Verarbeitungsbedingungen betref
fen, und zwar beim Schritt des Sammelns.
4. Vorrichtung zum Bilden eines Loses durch Sammeln einer
vorgegebenen Anzahl von in einem Stapelprozeß zu verarbei
tenden Objekten, wobei die zu verarbeitenden Gegenstände
gesammelt werden und gemäß Verarbeitungsbedingungen verar
beitet werden und wobei die Vorrichtung aufweist:
eine Eingabeeinrichtung zum Eingeben von Daten, die die Verarbeitungsbedingungen der jeweiligen Arten der zu verar beitenden Gegenstände betreffen;
eine Speichereinrichtung zum Speichern von Daten, die von der Eingabeeinrichtung eingegeben werden; und
eine losbildende Einrichtung zum Bilden eines gleichmäßigen Loses durch Sammeln der vorgegebenen Anzahl der gleichen Art von zu verarbeitenden Gegenständen und zum Bilden eines gemischten Loses durch Sammeln der vorgegebenen Anzahl aus einer Vielzahl von Arten von zu verarbeitenden Gegenständen auf der Basis der gespeicherten Daten, wobei jede Anzahl der Vielzahl von Arten von zu verarbeitenden Gegenständen kleiner ist als die vorgegebene Anzahl.
eine Eingabeeinrichtung zum Eingeben von Daten, die die Verarbeitungsbedingungen der jeweiligen Arten der zu verar beitenden Gegenstände betreffen;
eine Speichereinrichtung zum Speichern von Daten, die von der Eingabeeinrichtung eingegeben werden; und
eine losbildende Einrichtung zum Bilden eines gleichmäßigen Loses durch Sammeln der vorgegebenen Anzahl der gleichen Art von zu verarbeitenden Gegenständen und zum Bilden eines gemischten Loses durch Sammeln der vorgegebenen Anzahl aus einer Vielzahl von Arten von zu verarbeitenden Gegenständen auf der Basis der gespeicherten Daten, wobei jede Anzahl der Vielzahl von Arten von zu verarbeitenden Gegenständen kleiner ist als die vorgegebene Anzahl.
5. Vorrichtung zum Bilden eines Loses nach Anspruch 4, da
durch gekennzeichnet, das die losbildende Einrichtung ein
gemischtes Los durch Sammeln von Gegenstände mit den glei
chen Daten bildet, die die Verarbeitungsbedingungen betref
fen.
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