JPH05257944A - 生産品名による製造条件決定方法 - Google Patents
生産品名による製造条件決定方法Info
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- JPH05257944A JPH05257944A JP5206492A JP5206492A JPH05257944A JP H05257944 A JPH05257944 A JP H05257944A JP 5206492 A JP5206492 A JP 5206492A JP 5206492 A JP5206492 A JP 5206492A JP H05257944 A JPH05257944 A JP H05257944A
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- Japan
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- manufacturing
- product
- product name
- manufacturing condition
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
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- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】製品の品名よりその品名の各工程での製造条件
の決定を行うとともに、装置の決定を行う。 【構成】品名を工程を示す識別子＃１、＃２、＃３と工
程毎の製造条件を決定する要素Ａ、Ｂ、Ｃの集まりとす
るとともに、各工程で稼働情報３をもつことにより、各
工程では流れてきた半製品５、６と製造条件４より速や
かに製造を行うとともに、各装置に適当に負荷をかけ、
効率よく製造を行う。
の決定を行うとともに、装置の決定を行う。 【構成】品名を工程を示す識別子＃１、＃２、＃３と工
程毎の製造条件を決定する要素Ａ、Ｂ、Ｃの集まりとす
るとともに、各工程で稼働情報３をもつことにより、各
工程では流れてきた半製品５、６と製造条件４より速や
かに製造を行うとともに、各装置に適当に負荷をかけ、
効率よく製造を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は生産品名による製造条件
決定方法に関し、特に半導体製造における各工程の製造
条件の決定と装置の管理における生産品名による製造条
件決定方法に関する。
決定方法に関し、特に半導体製造における各工程の製造
条件の決定と装置の管理における生産品名による製造条
件決定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より各生産現場間、販売と設計で管
理名称の違いは問題となっており、最近では多品種少量
化に伴い顧客の求める品種への販売及び設計での対応、
あるいはこのとき使用される命名ルールのあいまいさ、
非統一性により管理名称は一段と複雑化、冗長化の傾向
にある。
理名称の違いは問題となっており、最近では多品種少量
化に伴い顧客の求める品種への販売及び設計での対応、
あるいはこのとき使用される命名ルールのあいまいさ、
非統一性により管理名称は一段と複雑化、冗長化の傾向
にある。
【０００３】このような背景の中で、増大するさまざま
な情報は、もはや人間を介した方法では限界があり、管
理のための管理が必要になったり、誤りを発見し修正を
する管理が必要となるなど、不必要な管理工数が発生す
ることはまぬがれない環境にある。また多品種少量化が
進む中、さまざまな品種をいかに効率よく製造できるか
が問題となっている。従来、半導体製造工業においては
品名は工程での製造条件とは無関係な単なるキーであ
り、各工程毎である品名に対する製造条件をその都度検
索する必要があった。
な情報は、もはや人間を介した方法では限界があり、管
理のための管理が必要になったり、誤りを発見し修正を
する管理が必要となるなど、不必要な管理工数が発生す
ることはまぬがれない環境にある。また多品種少量化が
進む中、さまざまな品種をいかに効率よく製造できるか
が問題となっている。従来、半導体製造工業においては
品名は工程での製造条件とは無関係な単なるキーであ
り、各工程毎である品名に対する製造条件をその都度検
索する必要があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の製造条件決
定方法では、各製造工程において製造条件の検索を品名
単位に行う必要があり、大量の製造条件を保持しておく
必要があった。
定方法では、各製造工程において製造条件の検索を品名
単位に行う必要があり、大量の製造条件を保持しておく
必要があった。
【０００５】また、製造装置が複数存在する時、どの装
置に製品の製造を割り当てたらよいかまでは考慮されて
いなかった。
置に製品の製造を割り当てたらよいかまでは考慮されて
いなかった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１の発明の生産品名に
よる製造条件決定方法は、製品の品名を各製造工程を表
す識別子と各製造工程の製造条件を決定する要素の集ま
りとすることにより、前記識別子と前記要素より、製品
の製造の各工程における製造条件を決定し、製品を製造
する機能を備える。
よる製造条件決定方法は、製品の品名を各製造工程を表
す識別子と各製造工程の製造条件を決定する要素の集ま
りとすることにより、前記識別子と前記要素より、製品
の製造の各工程における製造条件を決定し、製品を製造
する機能を備える。
【０００７】また、第２の発明の生産品名による製造条
件決定方法は、第１の発明に各工程に稼働情報を設ける
ことにより、その工程で最も稼働率の低い装置に製造を
割り当てる機能を備える。
件決定方法は、第１の発明に各工程に稼働情報を設ける
ことにより、その工程で最も稼働率の低い装置に製造を
割り当てる機能を備える。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００９】図５は第１の発明の生産品名による製造条
件決定方法の一実施例を示すシステムフロー図である。
件決定方法の一実施例を示すシステムフロー図である。
【００１０】図５は本実施例における製造指示１６、製
造予定情報１７、製造条件１８の内容を示す図である。
造予定情報１７、製造条件１８の内容を示す図である。
【００１１】本第１の発明の生産品名による製造条件決
定方法は図４に示すとおり、品名の構成要素がそのまま
各工程を示す識別子とその工程の製造条件を示す要素か
らなり、各工程では製造指示の投入により各工程の持つ
製造予定情報と製造条件より製品を製造している。
定方法は図４に示すとおり、品名の構成要素がそのまま
各工程を示す識別子とその工程の製造条件を示す要素か
らなり、各工程では製造指示の投入により各工程の持つ
製造予定情報と製造条件より製品を製造している。
【００１２】図４、図５において＃１Ａ＃２Ｂ＃３Ｃと
いう製品の生産を工程１、２、３において工程１→２→
３の順番で行うものとする。ここで＃１、＃２、＃３は
それぞれ工程１、工程２、工程３を示す識別子でＡ、
Ｂ、Ｃは製造条件を決定する要素とする。工程１におい
ては製造指示１６により＃１Ａ＃２Ｂ＃３Ｃという製品
名を受けとり、工程１の製造予定情報１７より工程１で
製造を行うことを確認し、品名の要素で＃１の次の要素
であるＡで製造条件１８を検索し製造条件２０℃を得て
この条件で＃１Ａという半製品１９を生産する。工程２
においては半製品＃１Ａを工程１より受け取り、その半
製品名＃１Ａを要素にもつ製造予定情報を検索し、検索
できなければそのまま次工程に半製品＃１Ａを渡す。製
造予定情報で検索できればその製造予定情報の品名の要
素で＃２の次の要素であるＢで製造条件を検索し製造条
件３０℃を得てこの条件で＃１Ａ＃２Ｂという半製品２
０を生産する。同様の処理を工程３でも行い、＃１Ａ＃
２Ｂ＃３Ｃという製品２１を生産する。
いう製品の生産を工程１、２、３において工程１→２→
３の順番で行うものとする。ここで＃１、＃２、＃３は
それぞれ工程１、工程２、工程３を示す識別子でＡ、
Ｂ、Ｃは製造条件を決定する要素とする。工程１におい
ては製造指示１６により＃１Ａ＃２Ｂ＃３Ｃという製品
名を受けとり、工程１の製造予定情報１７より工程１で
製造を行うことを確認し、品名の要素で＃１の次の要素
であるＡで製造条件１８を検索し製造条件２０℃を得て
この条件で＃１Ａという半製品１９を生産する。工程２
においては半製品＃１Ａを工程１より受け取り、その半
製品名＃１Ａを要素にもつ製造予定情報を検索し、検索
できなければそのまま次工程に半製品＃１Ａを渡す。製
造予定情報で検索できればその製造予定情報の品名の要
素で＃２の次の要素であるＢで製造条件を検索し製造条
件３０℃を得てこの条件で＃１Ａ＃２Ｂという半製品２
０を生産する。同様の処理を工程３でも行い、＃１Ａ＃
２Ｂ＃３Ｃという製品２１を生産する。
【００１３】次に、図１は第２の発明の生産品名による
製造条件決定方法の一実施例を示すシステムフロー図で
ある。
製造条件決定方法の一実施例を示すシステムフロー図で
ある。
【００１４】図２は本実施例における製造指示１、製造
予定情報２、稼働情報３、製造条件４の内容を示す図で
ある。
予定情報２、稼働情報３、製造条件４の内容を示す図で
ある。
【００１５】図１において＃１Ａ＃２Ｂ＃３Ｃという製
品の生産を工程１、２、３において工程１→２→３の順
番で行うとする。ここで＃１、＃２、＃３はそれぞれ工
程１、工程２、工程３を示す識別子でＡ、Ｂ、Ｃは製造
条件を決定する要素とする。工程１においては製造指示
１により＃１Ａ＃２Ｂ＃３Ｃという製品名を受けとり、
工程１の製造予定情報２より工程１で製造を行うことを
確認し、工程１の稼働情報３により工程１の２号機で製
造することを決定し、工程１の製造条件４により２０℃
の条件で＃１Ａという半製品５を製造し、工程２に渡
す。工程２においては＃１Ａという半製品５を受け取
り、製造予定情報により工程２で製造を行うことを確認
し、稼働情報により工程２の２号機で製造することを決
定し、工程２の製造条件により３０℃の条件で＃１Ａ＃
２Ｂという半製品６を製造し、工程３に渡す。工程３で
は同様の処理を行い、＃１Ａ＃２Ｂ＃３Ｃという製品７
を製造する。
品の生産を工程１、２、３において工程１→２→３の順
番で行うとする。ここで＃１、＃２、＃３はそれぞれ工
程１、工程２、工程３を示す識別子でＡ、Ｂ、Ｃは製造
条件を決定する要素とする。工程１においては製造指示
１により＃１Ａ＃２Ｂ＃３Ｃという製品名を受けとり、
工程１の製造予定情報２より工程１で製造を行うことを
確認し、工程１の稼働情報３により工程１の２号機で製
造することを決定し、工程１の製造条件４により２０℃
の条件で＃１Ａという半製品５を製造し、工程２に渡
す。工程２においては＃１Ａという半製品５を受け取
り、製造予定情報により工程２で製造を行うことを確認
し、稼働情報により工程２の２号機で製造することを決
定し、工程２の製造条件により３０℃の条件で＃１Ａ＃
２Ｂという半製品６を製造し、工程３に渡す。工程３で
は同様の処理を行い、＃１Ａ＃２Ｂ＃３Ｃという製品７
を製造する。
【００１６】図３は第２の発明の実施例の生産品名によ
る製造条件決定方法における動作の一例を示すフローチ
ャートである。
る製造条件決定方法における動作の一例を示すフローチ
ャートである。
【００１７】生産品名による製造条件決定の各工程にお
ける具体的な動作を図３に示すフローチャートをもとに
説明する。
ける具体的な動作を図３に示すフローチャートをもとに
説明する。
【００１８】前工程より受け取った半製品（最初の工程
の場合は製造指示）に該当する要素をもつ品名が製造予
定情報に存在するか検索する。（ステップ８） 検索できなければ前工程より受け取った半製品（最初の
工程の場合は製造指示）をそのまま次の工程に渡し次工
程においてステップ８から処理を始める。検索できれば
該工程の稼働情報の各装置の現在製造中の製品数を比較
する。（ステップ９、１０） 製造中の製品数が一番少ない装置を抽出しその装置で製
造を行うことを決定する。ステップ８で検索できた製造
予定情報の該当品名の該工程にあたる品名要素で製造条
件を検索し、検索できた製造条件で製造を開始する。
（ステップ１１） 製造を開始した装置の稼働情報の現製造製品数に１を加
える。（ステップ１２） 該工程での製造が完了したら前工程から受け取った半製
品名の後ろに該工程を示す識別子（＃１、＃２等）と該
工程で製造条件を示す品名要素（Ａ、Ｂ）を付加してそ
の半製品名で次工程に渡す。（ステップ１３） 製造が終了した装置の稼働情報の現製造製品数より１を
減ずる。（ステップ１４） 次工程の処理に移る（ステップ１５）
の場合は製造指示）に該当する要素をもつ品名が製造予
定情報に存在するか検索する。（ステップ８） 検索できなければ前工程より受け取った半製品（最初の
工程の場合は製造指示）をそのまま次の工程に渡し次工
程においてステップ８から処理を始める。検索できれば
該工程の稼働情報の各装置の現在製造中の製品数を比較
する。（ステップ９、１０） 製造中の製品数が一番少ない装置を抽出しその装置で製
造を行うことを決定する。ステップ８で検索できた製造
予定情報の該当品名の該工程にあたる品名要素で製造条
件を検索し、検索できた製造条件で製造を開始する。
（ステップ１１） 製造を開始した装置の稼働情報の現製造製品数に１を加
える。（ステップ１２） 該工程での製造が完了したら前工程から受け取った半製
品名の後ろに該工程を示す識別子（＃１、＃２等）と該
工程で製造条件を示す品名要素（Ａ、Ｂ）を付加してそ
の半製品名で次工程に渡す。（ステップ１３） 製造が終了した装置の稼働情報の現製造製品数より１を
減ずる。（ステップ１４） 次工程の処理に移る（ステップ１５）
【発明の効果】以上説明したように、本発明の生産品名
による製造条件決定方法は、第１の発明の生産品名によ
る製造条件決定方法は、品名の構成要素がそのまま各工
程の製造条件を示すので各工程において速やかに製造条
件を決定できる。
による製造条件決定方法は、第１の発明の生産品名によ
る製造条件決定方法は、品名の構成要素がそのまま各工
程の製造条件を示すので各工程において速やかに製造条
件を決定できる。
【００１９】さらに、第２の発明を実施すれば、各工程
において稼働情報を持つことによってその工程において
どの装置で製造すればよいかが即時に判断できる。
において稼働情報を持つことによってその工程において
どの装置で製造すればよいかが即時に判断できる。
【図１】第２の発明の生産品名による製造条件決定方法
の一実施例を示すシステムフロー図である。
の一実施例を示すシステムフロー図である。
【図２】第２の発明の実施例における製造指示、製造予
定情報、稼働情報、製造条件の内容を示す図である。
定情報、稼働情報、製造条件の内容を示す図である。
【図３】図３は第２の発明の実施例の生産品名による製
造条件決定方法における動作の一例を示すフローチャー
トである。
造条件決定方法における動作の一例を示すフローチャー
トである。
【図４】第１の発明の生産品名による製造条件決定方法
の一実施例を示すシステムフロー図である。
の一実施例を示すシステムフロー図である。
【図５】第１の発明の実施例における製造指示、製造予
定情報、製造条件の内容を示す図である。
定情報、製造条件の内容を示す図である。
１，１６ 製造指示 ２，１７ 製造予定情報 ３ 稼働情報 ４，１８ 製造条件 ５，６，１９，２０ 半製品 ７，２１ 製品
Claims (2)
- 【請求項１】 製品の品名を各製造工程を表す識別子
と各製造工程の製造条件を決定する要素の集まりとする
ことにより、 前記識別子と前記要素より、製品の製造の各工程におけ
る製造条件を決定し、製品を製造する機能を備えること
を特徴とする生産品名による製造条件決定方法。 - 【請求項２】 各工程に稼働情報を設けることにより、
その工程で最も稼働率の低い装置に製造を割り当てる機
能を備えることを特徴とする請求項１記載の生産品名に
よる製造条件決定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5206492A JPH05257944A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | 生産品名による製造条件決定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5206492A JPH05257944A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | 生産品名による製造条件決定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05257944A true JPH05257944A (ja) | 1993-10-08 |
Family
ID=12904387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5206492A Pending JPH05257944A (ja) | 1992-03-11 | 1992-03-11 | 生産品名による製造条件決定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05257944A (ja) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5943524A (ja) * | 1982-09-06 | 1984-03-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
| JPH03214743A (ja) * | 1990-01-19 | 1991-09-19 | Nec Corp | 半導体装置の製造システム |
| JPH03293712A (ja) * | 1990-04-11 | 1991-12-25 | Fujitsu Ltd | 半導体ウェーハの処理装置 |
| JPH042450A (ja) * | 1990-04-16 | 1992-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 混成ロット管理方法及び装置 |
| JPH0425349A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 混成ロット編成方法及び装置 |
-
1992
- 1992-03-11 JP JP5206492A patent/JPH05257944A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5943524A (ja) * | 1982-09-06 | 1984-03-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
| JPH03214743A (ja) * | 1990-01-19 | 1991-09-19 | Nec Corp | 半導体装置の製造システム |
| JPH03293712A (ja) * | 1990-04-11 | 1991-12-25 | Fujitsu Ltd | 半導体ウェーハの処理装置 |
| JPH042450A (ja) * | 1990-04-16 | 1992-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 混成ロット管理方法及び装置 |
| JPH0425349A (ja) * | 1990-05-21 | 1992-01-29 | Mitsubishi Electric Corp | 混成ロット編成方法及び装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980217 |