DE3935014A1 - Mehrkammer-vakuumanlage - Google Patents
Mehrkammer-vakuumanlageInfo
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/74—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
- C21D1/773—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material under reduced pressure or vacuum
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Description
Die Erfindung betrifft eine Mehrkammer-Vakuumanlage nach dem
Oberbegriff des ersten Patentanspruches.
Insbesondere ist eine Anwendung bei Wärmebehandlungsanlagen,
wie z. B. Schmelz- und Gießanlagen oder Sinteranlagen, in wel
chen das Behandlungsgut unter Vakuum einem Taktbetrieb unter
worfen ist, vorgesehen.
Solche Anlagen bestehen aus zwei oder mehr Kammern, in wel
chen sehr unterschiedliche atmosphärische Bedingungen (Druck,
Temperatur und Gaszusammensetzung) herrschen können. Im Takt
betrieb wird das zu behandelnde Gut, welches mehrere Verfah
rensschritte durchlaufen soll, nacheinander in den einzelnen
Kammern den jeweiligen Prozessen unterzogen. Damit die spezi
fischen atmosphärischen Bedingungen, welche in den Kammern
herrschen, über eine längere Betriebsdauer aufrechterhalten
werden können, muß das Behandlungsgut beim Übergang von der
Atmosphäre in eine Kammer oder umgekehrt eine Schleuse durch
laufen.
Schleusen sind aufwendige Bauteile. Sie müssen mit mindestens
zwei Ventilen ausgestattet sein, an welche hohe Ansprüche ge
stellt werden. Besonders der Einsatz im Vakuumbereich und bei
hohen Temperaturen erfordert spezielle, konstruktive Maßnahmen,
wie z. B. passende Materialwahl und zusätzliche Kühlsysteme.
Aufgabe der Erfindung ist es, den oben genannten Aufwand für
Schleusen zu umgehen und ein einfaches System zum Ein- und
Ausschleusen von Behandlungsgut in und aus Mehrkammer-Vakuum
anlagen vorzustellen.
Die Aufgabe wird durch den kennzeichnenden Teil des ersten
Patentanspruches gelöst. Die Ansprüche zwei bis vier stellen
weitere Ausgestaltungsformen der Erfindung dar.
Durch die Verwendung einer der vorhandenen Prozeßkammern als
Schleusenkammer zum Ein- und Ausschleusen von Behandlungsgut
in und aus der Chargen-Wechselkammer, wird die Verwendung ei
ner zusätzlichen Schleuse überflüssig. Die oben geschilderten
Nachteile, welche den Einsatz einer zusätzlichen Schleuse mit
sich bringen würde, werden vermieden. Die gesamte Anlage wird
somit in ihrem Aufbau einfacher und im Betrieb sicherer und
bedienungsfreundlicher.
Die Erfindung wird in den Fig. 1 und 2 anhand eines
Beispiels näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 Querschnitt des Teils der Mehrkammer-Vakuumanlage, welcher
mit der Schleusenkammer verbunden ist.
Fig. 2 Grundriß der Mehrkammer-Vakuumanlage.
In Fig. 1 ist ein Ausschnitt aus einer Mehrkammer-Vakuumanlage
anlage im Querschnitt dargestellt. Fig. 2 zeigt einen Grund
riß der gesamten Anlage. Diese besteht in dem hier dargestell
ten Beispiel aus vier Prozeßkammern 1-4, welche über eine
Chargen-Wechselkammer 5 miteinander verbunden sind. Die mit
4 bezeichnete Prozeßkammer dient erfindungsgemäß gleichzei
tig als Schleusenkammer. Sie besteht aus einem unterem Teil 4a
und einem oberen Teil 4b.
Das untere Teil 4a ist mit der Innenseite und das obere Teil
4b mit der Außenseite der Chargen-Wechselkammer 5 vakuumdicht
und lösbar verbunden. Eine Hub-Schwenkvorrichtung 8 ermöglicht
es, das obere Teil 4b anzuheben und zur Seite zu schwenken.
In diesem Zustand kann die Schleusenkammer 4 mit einer Charge 6
beladen werden. Eine Hubvorrichtung 7 kann die Charge 6 nach
Druckausgleich in der Schleusenkammer 4 in die Chargen-Wechsel
kammer 5 befördern. Von hier aus kann die Charge durch einen
nicht dargestellten, ansich bekannten, Fördermechanismus in die
übrigen Prozeßkammern 1-3 gelangen. Das Ausschleusen der Char
ge geschieht entsprechend in umgekehrter Reihenfolge. Statt ei
ner können auch mehrere der Prozeßkammern als Schleusenkammer
ausgebildet sein.
Claims (4)
1. Mehrkammer-Vakuumanlage bestehend aus einer Chargenwechsel
kammer (5) und mehreren damit verbundenen Prozeßkammern,
dadurch gekennzeichnet, daß eine der Prozeßkammern (4) zu
sätzlich als Schleusenkammer zum Ein- und Ausschleusen von
Behandlungsgut in und aus der Anlage verwendet wird.
2. Mehrkammer-Vakuumanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Schleusenkämmer (4) aus zwei Teilen (4a, 4b)
besteht, wobei das untere Teile (4a) mit der Innenseite der
Chargen-Wechselkammer (5) und das obere Teil (4b) mit der
Außenseite der Chargen-Wechselkammer (5) vakuumdicht verbun
den sind.
3. Mehrkammer-Vakuumanlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich
net, daß das untere Teil (4a) der Schleusenkammer mit einer
Hubvorrichtung (7) verbunden ist, welche dieses in das Innere
der Chargen-Wechselkammer (5) befördern kann.
4. Mehrkammer-Vakuumanlage nach Anspruch 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß das obere Teil (4b) der Schleusenkammer mit
einer Hub-Schwenkvorrichtung (8) verbunden ist, welche
dieses zur Seite schwenken kann.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3935014A DE3935014A1 (de) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | Mehrkammer-vakuumanlage |
EP90119810A EP0423710A1 (de) | 1989-10-20 | 1990-10-16 | Mehrkammer-Vakuumanlage |
US07/599,668 US5054748A (en) | 1989-10-20 | 1990-10-18 | Multi-chamber vacuum installation |
JP2281684A JPH03207810A (ja) | 1989-10-20 | 1990-10-19 | 複数チャンバ真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3935014A DE3935014A1 (de) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | Mehrkammer-vakuumanlage |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3935014A1 true DE3935014A1 (de) | 1991-04-25 |
Family
ID=6391870
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3935014A Withdrawn DE3935014A1 (de) | 1989-10-20 | 1989-10-20 | Mehrkammer-vakuumanlage |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5054748A (de) |
EP (1) | EP0423710A1 (de) |
JP (1) | JPH03207810A (de) |
DE (1) | DE3935014A1 (de) |
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- 1990-10-16 EP EP90119810A patent/EP0423710A1/de not_active Withdrawn
- 1990-10-18 US US07/599,668 patent/US5054748A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-10-19 JP JP2281684A patent/JPH03207810A/ja active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03207810A (ja) | 1991-09-11 |
EP0423710A1 (de) | 1991-04-24 |
US5054748A (en) | 1991-10-08 |
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