EP0423710A1 - Mehrkammer-Vakuumanlage - Google Patents

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Publication number
EP0423710A1
EP0423710A1 EP90119810A EP90119810A EP0423710A1 EP 0423710 A1 EP0423710 A1 EP 0423710A1 EP 90119810 A EP90119810 A EP 90119810A EP 90119810 A EP90119810 A EP 90119810A EP 0423710 A1 EP0423710 A1 EP 0423710A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
chamber
batch
vacuum system
chamber vacuum
lock
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP90119810A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Gerhard Hild
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH
Original Assignee
Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH filed Critical Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH
Publication of EP0423710A1 publication Critical patent/EP0423710A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C21—METALLURGY OF IRON
    • C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/74—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material
    • C21D1/773—Methods of treatment in inert gas, controlled atmosphere, vacuum or pulverulent material under reduced pressure or vacuum

Definitions

  • the invention relates to a multi-chamber vacuum system according to the preamble of the first claim.
  • Such systems consist of two or more chambers in which very different atmospheric conditions (pressure, temperature and gas composition) can prevail.
  • pressure, temperature and gas composition very different atmospheric conditions
  • cycle operation the material to be treated, which is to go through several process steps, is subjected to the respective processes in the individual chambers one after the other.
  • the material to be treated In order for the specific atmospheric conditions which prevail in the chambers to be maintained over a longer period of operation, the material to be treated must pass through a lock during the transition from the atmosphere into a chamber or vice versa.
  • Locks are complex components. They must be equipped with at least two valves, to which high demands are made. Especially in the vacuum area and at high temperatures require special, constructive measures, such as suitable material selection and additional cooling systems.
  • the object of the invention is to avoid the above-mentioned outlay for locks and to present a simple system for introducing and discharging material to be treated into and out of multi-chamber vacuum systems.
  • FIGS. 1 and 2 The invention is explained in more detail in FIGS. 1 and 2 using an example.
  • Figure 1 a section of a multi-chamber vacuum system is shown in cross section.
  • Figure 2 shows a floor plan of the entire plant. In the example shown here, this consists of four process chambers 1-4, which are connected to one another via a batch exchange chamber 5. According to the invention, the process chamber denoted by 4 also serves as a lock chamber. It consists of a lower part 4a and an upper part 4b.
  • the lower part 4a is connected to the inside and the upper part 4b to the outside of the batch exchange chamber 5 in a vacuum-tight and detachable manner.
  • a lifting swivel device 8 makes it possible to lift the upper part 4b and to swivel it to the side.
  • the lock chamber 4 can be loaded with a batch 6.
  • a lifting device 7 can convey the batch 6 into the batch exchange chamber 5 after pressure equalization in the lock chamber 4. From here, the batch can by a not shown, known, conveyor mechanism in the other process chambers 1 - 3. The batch is discharged in reverse order. Instead of one, several of the process chambers can also be designed as a lock chamber.

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Abstract

Die Erfindung beschreibt eine Mehrkammer-Vakuumanlage bestehend aus einer Chargen-Wechselkammer 5 und mehreren Prozeßkammern 1 - 4. Eine der Prozeßkammern dient gleichzeitig als Schleusenkammer 4. Sie besteht aus zwei Teilen, welche an der Innen- bzw. Außenseite der Chargen-Wechselkammer befestigt sind.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Mehrkammer-Vakuumanlage nach dem Oberbegriff des ersten Patentanspruches.
  • Insbesondere ist eine Anwendung bei Wärmebehandlungsanlagen, wie z.B. Schmelz- und Gießanlagen oder Sinteranlagen, in wel­chen das Behandlungsgut unter Vakuum einem Taktbetrieb unter­worfen ist, vorgesehen.
  • Solche Anlagen bestehen aus zwei oder mehr Kammern, in wel­chen sehr unterschiedliche atmosphärische Bedingungen (Druck, Temperatur und Gaszusammensetzung) herrschen können. Im Takt­betrieb wird das zu behandelnde Gut, welches mehrere Verfah­rensschritte durchlaufen soll, nacheinander in den einzelnen Kammern den jeweiligen Prozessen unterzogen. Damit die spezi­fischen atmosphärischen Bedingungen, welche in den Kammern herrschen, über eine längere Betriebsdauer aufrechterhalten werden können, muß das Behandlungsgut beim Übergang von der Atmosphäre in eine Kammer oder umgekehrt eine Schleuse durch­laufen.
  • Schleusen sind aufwendige Bauteile. Sie müssen mit mindestens zwei Ventilen ausgestattet sein, an welche hohe Ansprüche ge­stellt werden. Besonders der Einsatz im Vakuumbereich und bei hohen Temperaturen erfordert spezielle, konstruktive Maßnahmen, wie z.B. passende Materialwahl und zusätzliche Kühlsysteme.
  • Aufgabe der Erfindung ist es, den oben genannten Aufwand für Schleusen zu umgehen und ein einfaches System zum Ein- und Ausschleusen von Behandlungsgut in und aus Mehrkammer-Vakuum­anlagen vorzustellen.
  • Die Aufgabe wird durch den kennzeichnenden Teil des ersten Patentanspruches gelöst. Die Ansprüche zwei bis vier stellen weitere Ausgestaltungsformen der Erfindung dar.
  • Durch die Verwendung einer der vorhandenen Prozeßkammern als Schleusenkammer zum Ein- und Ausschleusen von Behandlungsgut in und aus der Chargen-Wechselkammer, wird die Verwendung ei­ner zusätzlichen Schleuse überflüssig. Die oben geschilderten Nachteile, welche den Einsatz einer zusätzlichen Schleuse mit sich bringen würde, werden vermieden. Die gesamte Anlage wird somit in ihrem Aufbau einfacher und im Betrieb sicherer und bedienungsfreundlicher.
  • Die Erfindung wird in den Figuren 1 und 2 anhand eines Beispiels näher erläutert.
  • Es zeigen:
    • Fig. 1:
      Querschnitt des Teils der Mehrkammer-Vakuumanlage, welcher mit der Schleusenkammer verbunden ist.
    • Fig. 2:
      Grundriß der Mehrkammer-Vakuumanlage.
  • In Figur 1 ist ein Ausschnitt aus einer Mehrkammer-Vakuumanlage anlage im Querschnitt dargestellt. Figur 2 zeigt einen Grund­riß der gesamten Anlage. Diese besteht in dem hier dargestell­ten Beispiel aus vier Prozeßkammern 1-4, welche über eine Chargen-Wechselkammer 5 miteinander verbunden sind. Die mit 4 bezeichnete Prozeßkammer dient erfindungsgemäß gleichzei­tig als Schleusenkammer. Sie besteht aus einem unterem Teil 4a und einem oberen Teil 4b.
  • Das untere Teil 4a ist mit der Innenseite und das obere Teil 4b mit der Außenseite der Chargen-Wechselkammer 5 vakuumdicht und lösbar verbunden. Eine Hub-Schwenkvorrichtung 8 ermöglicht es, das obere Teil 4b anzuheben und zur Seite zu schwenken. In diesem Zustand kann die Schleusenkammer 4 mit einer Charge 6 beladen werden. Eine Hubvorrichtung 7 kann die Charge 6 nach Druckausgleich in der Schleusenkammer 4 in die Chargen-Wechsel­kammer 5 befördern. Von hier aus kann die Charge durch einen nicht dargestellten, ansich bekannten, Fördermechanismus in die übrigen Prozeßkammern 1 - 3 gelangen. Das Ausschleusen der Char­ge geschieht entsprechend in umgekehrter Reihenfolge. Statt ei­ner können auch mehrere der Prozeßkammern als Schleusenkammer ausgebildet sein.

Claims (4)

1. Mehrkammer-Vakuumanlage bestehend aus einer Chargenwechsel­kammer (5) und mehreren damit verbundenen Prozeßkammern, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Prozeßkammern (4) zu­sätzlich als Schleusenkammer zum Ein- und Ausschleusen von Behandlungsgut in und aus der Anlage verwendet wird.
2. Mehrkammer-Vakuumanlage nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­net, daß die Schleusenkammer (4) aus zwei Teilen (4a, 4b) besteht, wobei das untere Teile (4a) mit der Innenseite der Chargen-Wechselkammer (5) und das obere Teil (4b) mit der Außenseite der Chargen-Wechselkammer (5) vakuumdicht verbun­den sind.
3. Mehrkammer-Vakuumanlage nach Anspruch 2, dadurch gekennzeich­net, daß das untere Teil (4a) der Schleusenkammer mit einer Hubvorrichtung (7) verbunden ist, welche dieses in das Innere der Chargen-Wechselkammer (5) befördern kann.
4. Mehrkammer-Vakuumanlage nach Anspruch 2, dadurch gekenn­zeichnet, daß das obere Teil (4b) der Schleusenkammer mit einer Hub-Schwenkvorrichtung (8) verbunden ist, welche dieses zur Seite schwenken kann.
EP90119810A 1989-10-20 1990-10-16 Mehrkammer-Vakuumanlage Withdrawn EP0423710A1 (de)

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DE3935014 1989-10-20
DE3935014A DE3935014A1 (de) 1989-10-20 1989-10-20 Mehrkammer-vakuumanlage

Publications (1)

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EP0423710A1 true EP0423710A1 (de) 1991-04-24

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ID=6391870

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EP90119810A Withdrawn EP0423710A1 (de) 1989-10-20 1990-10-16 Mehrkammer-Vakuumanlage

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US (1) US5054748A (de)
EP (1) EP0423710A1 (de)
JP (1) JPH03207810A (de)
DE (1) DE3935014A1 (de)

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