FR2644567A1 - Dispositif pour l'execution de traitements thermiques enchaines en continu sous vide - Google Patents

Dispositif pour l'execution de traitements thermiques enchaines en continu sous vide Download PDF

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Abstract

L'invention concerne un dispositif qui permet d'effectuer en continu ces opérations de traitements thermiques enchaînés sous vide. Il est constitué d'un collecteur de vide 1, pourvu d'orifices correspondant à plusieurs cellules (ex : 15 et 16), et à une cellule de chargement/déchargement. L'ensemble est maintenu sous vide par un dispositif de pompage 9. Le collecteur renferme une couronne tournante 10, supportant 2 ascenseurs 11 et 12, permettant d'assurer le transfert des charges d'une cellule à l'autre. L'entrée et la sortie des charges dans le dispositif se fait par une potence ou autre moyen, qui assure le transfert de la cellule de chargement/déchargement.

Description

La présente invention a pour objet, à titre de produit industriel nouveau,
un dispositif qui permet d'effectuer en continu des opérations de
traitements thermiques enchainées sous vide.
Traditionnellement, les opérations de traitement thermique sous vide sont effectuées dans des fours dits à charge qui nécessitent les transferts de charge d'une cellule sous vide à l'autre après avoir cassé le vide, qui doit être ensuite reconstitué; ainsi, des opérations enchainées ne peuvent pas être
effectuées sous vide.
Le dispositif selon l'invention, permet de remédier à ces inconvénients et d'effectuer des opérations enchainées de manière continue dans une série de cellules reliées par un collecteur de vide et de transfert, l'ensemble des manutentions d'enchainement se faisant sous vide, lequel doit
seulement être entretenu.
L'entrée et la sortie des charges se fait par une (ou plusieurs) cellule de chargement et déchargement, dans laquelle on réalise un vide partiel à chaque entrée d'une charge, constituée d'un lot de pièces agencées
sur un montage (ex: rep. 27 et 28).
Ceci permet d'assurer le transfert des pièces d'une cellule à l'autre, en restant constamment sous vide au cours des phases de traitement
les plus délicates.
Le dispositif selon l'invention est représenté sur les figures jointes.
La figure "1" montre l'ensemble vu en élévation/section avec une
cellule de chauffe et de cémentation (16), et une cellule de trempe (15).
La figure "2" montre le dispositif vu en plan avec répartition
indicative d'un certain nombre de cellules.
La figure "3" montre la cellule de chargement/déchargement avec
sa potence de manutention.
Le dispositif selon l'invention est constitué: - d'un collecteur de vide et de transfert (1) en forme de couronne, de cylindre ou toute autre forme, pourvu de trappes de visite (2) et d'orifices de raccordement (ex: 3 - 4 - 5 - 6 - 7 - 8) dont le nombre et la forme sont
déterminés suivant le nombre et le type de cellules à implanter.
- d'un dispositif de pompage de vide (9) raccordé sur le collecteur pour établir initialement le vide et l'entretenir ensuite - d'une couronne tournante motorisée (10) située dans le collecteur, et supportant 2 ascenseurs de charge (I I et 12) - d'une pompe à vide (13) pour effectuer le vide partiel de la cellule de chargement et déchargement (14) -2 - d'un ensemble de cellules (15, 16, 17, 19,20), implantées sur le collecteur, avec lequel elles communiquent, et dont le nombre peut varier selon l'application: La cellule (16) par exemple, est une cellule de chauffe et cémentation, contituée d'une enceinte à parois froides de construction traditionnelle, mais qui se caractérise par une porte constituée de 2 volets articulés (21) étanches optiquement, uniquement pour assurer la communication du vide avec le collecteur tout en assurant une protection thermique entre la
cellule et le cosecteur.
10. La cellule (15) par exemple, est une cellule de trempe sous gaz en surpression, constituée d'une enceinte à parois froides de construction traditionnelle et munie d'un échangeur de température, mais qui se caractérise par une porte (22), à opercule, que l'on manoeuvre et qui se plaque sur le collecteur du fait de la différence de pression du gaz contenu dans la cellule, par rapport à la partie inférieure maintenue sous vide. - De mécanismes à pinces (23) d'accrochage des charges placés au sommet des cellules, pour reprendre les charges hissées dans les cellules par les élévateurs - D'une armoire de commande d'automatisme (24) équipée d'un automate programmable ou d'un micro ordinateur qui assure la gestion des cycles de traitement, et la commande des différents mécanismes correspondants - d'une potence (25) élévatrice et tournante, ou autre moyen de manutention, assurant le transfert des cellules de chargement / déchargement (14) pour l'entrée ou la sortie des charges Le fonctionnement de ce dispositif, qui peut être intégré à des chaines de production de pièces mécaniques, s'établit comme suit: - Les charges préparées sont coiffées à l'extérieur du collecteur par la cellule de chargement/déchargement manoeuvrée par la potence (25) (elles sont saisies en haut de la cellule par la pince (23) La cellule de chargement est placée sur le collecteur par la potence (25) - Le collecteur placé préalablement sous vide avec l'ensemble des cellules, est isolé de l'extérieur par une porte (type 22), correspondant à l'orifice (6)
de la cellule (14).
- Après mise en place de la cellule (14), on la met sous vide avec la pompe (13) - On peut alors ouvrir la porte (22) et transférer la charge dans le collecteur
par l'un des ascenseurs (Il ou 12). -
-3 - - Les charges reprises par les ascenseurs peuvent tourner (action de la couronne "10"), et être placées en regard de la cellule choisie par le programme. Exemple: La porte (21) de la cellule (16) a été ouverte avant l'arrivée de la charge portée par l'ascenseur (12). La charge peut, à l'arrivée à l'aplomb de la cellule (16), être hissée puis reprise par la pince (23); l'ascenseur peut alors redescendre, et le traitement être effectué dans la cellule (16) après
fermeture de la porte (21).
Autre exemple: la porte (22) de la cellule (15) s'ouvre latéralement après écartement de son opercule; la charge arrivant à l'intérieur est reprise par la pince (23). La porte est refermée après descente de l'ascenseur et le traitement peut alors être effectué. Dans le cas de la trempe sous gaz en
surpression, la cellule (15) est remise sous vide par un dispositif externe.
avant réouverture de la porte (22).
- Les charges sont ressorties du dispositif par l'intermédiaire de la cellule
(14), et de la potence (25).
Le dispositif selon l'invention peut être utilisé industriellement pour la réalisation de traitements thermiques enchainés en continu et peut, de ce fait, être intégré directement dans des lignes de fabrication de pièces,
grâce à son automatisation.
Il est bien entendu que la présente invention n'est pas limitée au mode de réalisation décrit et représenté, qui constitue seulement un exemple auxquelles de nombreuses modifications peuvent être apportées sans qu'on s'écarte de la présente invention, et en particulier en ce qui concerne la forme ou la disposition du collecteur (1), des ascenseurs (1l1 et 12). de la potence (25)
et des portes (21) et (22).
4 -

Claims (7)

REVENDICATIONS
1) Dispositif continu de traitements thermiques enchainés sous vide constitué par un collecteur de vide et de transfert (1), dans lequel le vide est entretenu par un dispositif de pompage (9), qui reçoit et communique avec un ensemble de cellules en nombre variable selon l'application, l'ensemble étant desservi par une potence (25) ou tout autre dispositif de manutention. 2) Un dispositif selon revendication 1 caractérisé par un collecteur de vide (1) en forme de couronne, de cylindre ou toute autre forme, et comportant des orifices (3, 4, 5, 6, 7 et 8) permettant d'implanter des cellules et assurant la communication du vide avec les cellules au moyen de portes (21
et 22).
3) Un dispositif selon revendication I qui est caractérisé par une armoire de commande et d'automatisme (24) équipée d'un automate programmable ou d'un micro ordinateur pour assurer la gestion des cycles de
traitement et la commande des différents mécanismes correspondants.
4) Un dispositif selon revendications 1 et 2 qui se caractérise par une
couronne tournante motorisée (10) située dans le collecteur (1) et qui supporte
des ascenseurs de charge (1l1 et 12).
) Un dispositif selon revendications 1 et 2 qui se caractérise par des
cellules en nombre variable et par exemple, de chauffe et de cémentation (16),
de trempe sous gaz (15), de chargement/déchargement (14).
6) Un dispositif selon revendications 1, 2 et 4 qui se caractérise par
des portes de cellules à deux volets étanches optiquement (21), permettant la
communication du vide vers la cellule du type 16.
7) Un dispositif selon revendications 1, 2, et 4 qui se caractérise par
des portes de cellules à opercule (22) que l'on manoeuvre et qui sont plaquées sur le collecteur du fait de la pression du gaz dans la cellule type 15, ou de la pression atmosphérique dans le cas de la cellule (14), et dans le cas de la
cellule (15) quand elle n'est pas sous pression.
8) Un dispositif selon revendications 1, 3 et 4 qui se caractérise par
des mécanismes à pinces (23) d'accrochage des charges placés au sommet des
cellules, pour reprendre les charges hissées par les élévateurs dans les cellules.
9) Un dispositif selon revendications 1, 2 et 3 qui se caractérise par
une pompe à vide (13), raccordée à la cellule de chargement / déchargement.
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DE69010358T DE69010358T2 (de) 1989-03-17 1990-03-13 Vorrichtung zu kontinuierlichen folgenden Vakuumwärmebehandlungen.
EP90420136A EP0388333B1 (fr) 1989-03-17 1990-03-13 Dispositif pour l'exécution de traitements thermiques enchainés en continu sous vide
AT90420136T ATE108213T1 (de) 1989-03-17 1990-03-13 Vorrichtung zu kontinuierlichen folgenden vakuumwärmebehandlungen.
ES90420136T ES2057493T3 (es) 1989-03-17 1990-03-13 Dispositivo para la ejecucion de tratamientos termicos encadenados en continuo bajo vacio.
CA002012270A CA2012270C (fr) 1989-03-17 1990-03-15 Un dispositif pour effectuer des traitements thermiques sequentiels sousvide
KR1019900003496A KR0181176B1 (ko) 1989-03-17 1990-03-15 진공하에서의 연속 열처리 수행장치
US07/494,374 US5033927A (en) 1989-03-17 1990-03-16 Device for carrying out sequential thermal treatments under a vacuum
JP02064479A JP3092136B2 (ja) 1989-03-17 1990-03-16 真空中の連続熱処理装置

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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3935014A1 (de) * 1989-10-20 1991-04-25 Pfeiffer Vakuumtechnik Mehrkammer-vakuumanlage
US5516732A (en) * 1992-12-04 1996-05-14 Sony Corporation Wafer processing machine vacuum front end method and apparatus
JP3258748B2 (ja) * 1993-02-08 2002-02-18 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置
US5378107A (en) * 1993-04-01 1995-01-03 Applied Materials, Inc. Controlled environment enclosure and mechanical interface
US6702540B2 (en) 1995-11-27 2004-03-09 M2 Engineering Ab Machine and method for manufacturing compact discs
US6157866A (en) * 1997-06-19 2000-12-05 Advanced Micro Devices, Inc. Automated material handling system for a manufacturing facility divided into separate fabrication areas
US5924833A (en) * 1997-06-19 1999-07-20 Advanced Micro Devices, Inc. Automated wafer transfer system
IT1293740B1 (it) * 1997-07-21 1999-03-10 Refrattari Brebbia S R L Impianto automatico per trattamenti termici di materiali metallici, in particolare acciai.
FR2771754B1 (fr) * 1997-12-02 2000-02-11 Etudes Const Mecaniques Installation de traitement thermique sous vide modulaire
ES2199416T3 (es) * 1998-10-23 2004-02-16 Pierre Beuret Instalacion para el tratamiento termico de una carga de piezas metalicas.
JP4537522B2 (ja) * 2000-02-07 2010-09-01 中外炉工業株式会社 間欠駆動式真空浸炭炉
FR2809746B1 (fr) 2000-06-06 2003-03-21 Etudes Const Mecaniques Installation de cementation chauffee au gaz
JP2003183728A (ja) * 2001-12-14 2003-07-03 Jh Corp 真空熱処理装置
KR100605362B1 (ko) * 2004-10-27 2006-07-28 재단법인 포항산업과학연구원 대량 금속분말용 진공 열처리로 장치
DE102005029616B3 (de) * 2005-06-23 2006-11-16 Jrw Technology + Engineering Gmbh Vakuumschweißanlage mit Beladungsvorrichtung
EP2541176A3 (fr) * 2005-11-23 2014-09-24 Surface Combustion, Inc. Système de distribution de fluide d'un four atmosphérique pour le traitement de surface d' articles métalliques
MY157637A (en) * 2009-03-18 2016-07-15 Oerlikon Advanced Technologies Ag Vacuum treatment apparatus
EP2607504B1 (fr) * 2011-12-23 2018-02-28 Ipsen International GmbH Mécanisme de transport de charge pour système de traitement thermique multi station

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2106656A5 (en) * 1970-09-18 1972-05-05 Inst Elektrotermicheskogo Obor Three chamber vacuum sintering plant - with two turn table mounted chambers
FR2537260A1 (fr) * 1982-12-02 1984-06-08 Traitement Sous Vide Four multicellulaire pour le traitement thermique, thermochimique ou electrothermique de metaux sous atmosphere rarefiee

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1610809A (en) * 1926-02-15 1926-12-14 Gen Electric Electric furnace
US2042521A (en) * 1935-04-06 1936-06-02 Libbey Owens Ford Glass Co Method and apparatus for case hardening glass sheets
US3399875A (en) * 1966-04-21 1968-09-03 Alco Standard Corp Heat treating furnace
US3778221A (en) * 1969-02-26 1973-12-11 Allegheny Ludlum Ind Inc Annealing furnace and method for its operation
US3652444A (en) * 1969-10-24 1972-03-28 Ibm Continuous vacuum process apparatus
FR2426877A1 (fr) * 1978-05-23 1979-12-21 Physique Appliquee Ind Perfectionnements apportes aux fours a vide a dispositif incorpore de trempe en lit fluidise
US4815912A (en) * 1984-12-24 1989-03-28 Asyst Technologies, Inc. Box door actuated retainer
SE456570B (sv) * 1986-01-20 1988-10-17 Applied Vacuum Scandinavia Ab Sett att transportera alster vid en tillverknings- och/eller efterbehandlingsprocess
FR2594102B1 (fr) * 1986-02-12 1991-04-19 Stein Heurtey Installation flexible automatisee de traitement thermochimique rapide
JPS62222625A (ja) * 1986-03-25 1987-09-30 Shimizu Constr Co Ltd 半導体製造装置
DE3912297C2 (de) * 1989-04-14 1996-07-18 Leybold Ag Katodenzerstäubungsanlage

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2106656A5 (en) * 1970-09-18 1972-05-05 Inst Elektrotermicheskogo Obor Three chamber vacuum sintering plant - with two turn table mounted chambers
FR2537260A1 (fr) * 1982-12-02 1984-06-08 Traitement Sous Vide Four multicellulaire pour le traitement thermique, thermochimique ou electrothermique de metaux sous atmosphere rarefiee

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
H[RTEREI-TECHNISCHE MITTEILUNGEN, vol. 35, no. 5, 1980, pages 245-250, Munich, DE; E. HEUM]LLER: "Neuzeitliche Vakuumanlagen für Wärmebehandlung und Löten" *
METAL PROGRESS, vol. 126, no. 4, septembre 1984, page 97, Metals Park, Ohio, US; "New products" *

Also Published As

Publication number Publication date
EP0388333B1 (fr) 1994-07-06
DE69010358D1 (de) 1994-08-11
CA2012270A1 (fr) 1990-09-17
US5033927A (en) 1991-07-23
KR900014605A (ko) 1990-10-24
JPH02275289A (ja) 1990-11-09
JP3092136B2 (ja) 2000-09-25
ES2057493T3 (es) 1994-10-16
KR0181176B1 (ko) 1999-02-18
DE69010358T2 (de) 1994-12-22
EP0388333A1 (fr) 1990-09-19
ATE108213T1 (de) 1994-07-15
CA2012270C (fr) 2000-05-09

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