DE3819947A1 - Piezoelektrisches druckempfindliches element und verfahren zu dessen herstellung - Google Patents
Piezoelektrisches druckempfindliches element und verfahren zu dessen herstellungInfo
- Publication number
- DE3819947A1 DE3819947A1 DE3819947A DE3819947A DE3819947A1 DE 3819947 A1 DE3819947 A1 DE 3819947A1 DE 3819947 A DE3819947 A DE 3819947A DE 3819947 A DE3819947 A DE 3819947A DE 3819947 A1 DE3819947 A1 DE 3819947A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- sensitive element
- pressure sensitive
- piezoelectric pressure
- groups
- epoxy resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 29
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 26
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 26
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 20
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 17
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 16
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 14
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 claims description 11
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 10
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 claims description 10
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 10
- 125000001570 methylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])[*:2] 0.000 claims description 9
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims description 7
- -1 polytetramethylene Polymers 0.000 claims description 7
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims description 5
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 claims description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 5
- 150000003222 pyridines Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 4
- 239000013081 microcrystal Substances 0.000 claims description 4
- 238000001029 thermal curing Methods 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 6
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 6
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 4
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 4
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 4
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 3
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 3
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 3
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WJJMNDUMQPNECX-UHFFFAOYSA-N Dipicolinic acid Natural products OC(=O)C1=CC=CC(C(O)=O)=N1 WJJMNDUMQPNECX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- PVNIIMVLHYAWGP-UHFFFAOYSA-N Niacin Chemical compound OC(=O)C1=CC=CN=C1 PVNIIMVLHYAWGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001993 dienes Chemical class 0.000 description 2
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940079865 intestinal antiinfectives imidazole derivative Drugs 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical class C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ALYNCZNDIQEVRV-UHFFFAOYSA-N 4-aminobenzoic acid Chemical compound NC1=CC=C(C(O)=O)C=C1 ALYNCZNDIQEVRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N Epichlorohydrin Chemical compound ClCC1CO1 BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001413 amino acids Chemical group 0.000 description 1
- 229940064734 aminobenzoate Drugs 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229910052729 chemical element Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- MUYSADWCWFFZKR-UHFFFAOYSA-N cinchomeronic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=NC=C1C(O)=O MUYSADWCWFFZKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 125000000816 ethylene group Chemical group [H]C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- LVPMIMZXDYBCDF-UHFFFAOYSA-N isocinchomeronic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)N=C1 LVPMIMZXDYBCDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VJPLIHZPOJDHLB-UHFFFAOYSA-N lead titanium Chemical compound [Ti].[Pb] VJPLIHZPOJDHLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000004072 lung Anatomy 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 235000019988 mead Nutrition 0.000 description 1
- XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N methylimidazole Natural products CC1=CNC=N1 XLSZMDLNRCVEIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 239000004848 polyfunctional curative Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 1
- HDOUGSFASVGDCS-UHFFFAOYSA-N pyridin-3-ylmethanamine Chemical compound NCC1=CC=CN=C1 HDOUGSFASVGDCS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXQWFIVRZNOPCK-UHFFFAOYSA-N pyridin-4-ylmethanamine Chemical compound NCC1=CC=NC=C1 TXQWFIVRZNOPCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007348 radical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid Substances OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/09—Forming piezoelectric or electrostrictive materials
- H10N30/092—Forming composite materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/48—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates
- C04B35/49—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates
- C04B35/491—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on zirconium or hafnium oxides, zirconates, zircon or hafnates containing also titanium oxides or titanates based on lead zirconates and lead titanates, e.g. PZT
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/852—Composite materials, e.g. having 1-3 or 2-2 type connectivity
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Epoxy Resins (AREA)
- Organic Insulating Materials (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches druckemp
findliches Element und ein Verfahren zu dessen Herstel
lung.
Piezoelektrische druckempfindliche Elemente werden zur
Erkennung der Greifkraft eines Manipulators, etwa eines
Roboters, verwendet, sie sind weiter als Ultraschall-
Sonden für medizinische Zwecke verwendbar.
In den vergangenen Jahren wurden piezoelektrische druck
empfindliche Elemente auf verschiedenen Gebieten einge
setzt. Diese Elemente nutzen den piezoelektrischen Ef
fekt, wonach bei Aufbringen von Druck auf ein geeignetes
Material eine dielektrische Polarisation in einer be
stimmten Richtung auftritt, d.h. eine positive Ladung an
dem einen Ende unter Entwicklung einer negativen Ladung
an dem anderen Ende festzustellen ist. Der piezoelektri
sche Effekt kann verwendet werden, um sich als Druck
ausdrückende mechanische Signale in elektrische Signale
zu wandeln.
Bekannte piezoelektrische druckempfindliche Elemente
sind, beispielsweise, solche, die durch Sintern eines
ferroelektrischen keramischen Pulvers, das einen piezo
elektrischen Effekt zeigt, beispielsweise Bleititanzir
konat (im folgenden als PZT abgekürzt) bei hohen Tempe
raturen, oder durch Dispergieren eines solchen ferro
elektrischen keramischen Pulvers, wie es eben angegeben
wurde, in einem wärmeaushärtenden Harz, etwa einem Epo
xyharz, einem thermoplastischen Harz wie Gummi oder ei
nem ferroelektrischen Harz wie Polyvinylidenfluorid
(PVDF) oder durch Verwendung allein von PVDF. Piezoelek
trische druckempfindliche Elemente, die ein gesintertes
PZT-Produkt verwenden, haben jedoch den Nachteil, daß
sie hart und brüchig sind, so daß das Element dazu
neigt, bei Aufbringen eines Schlags zu brechen. Dies
macht es schwierig, kleine und dünne Elemente zu schaf
fen. Dies ist ein erhebliches Problem bei Verwendung ei
nes solchen Elements in einer Einheit zum Handhaben ei
nes feinen Körpers wie dem Manipulator eines Roboters
zum Aufnehmen von Druck. Das ergriffene Objekt kann ge
brochen werden, auch kann das Element selbst brechen.
Wenn ein piezoelektrisches druckempfindliches Element
unter Verwendung eines gesinterten Produkts wie ein sol
ches aus PZT in einem Manipulator eines Roboters verwen
det wird, um einen auf einen Gegenstand ausgeübten Druck
zu erfassen, ist darauf zu achten, daß die auf den Ge
genstand und das druckempfindliche Element wirkende
Kraft so gering wie möglich ist. Dies führt zu einem
komplizierten Steuerprogramm zur Steuerung des Manipula
tors oder zu einer geringen Arbeitsgeschwindigkeit, was
erhebliche Schwierigkeiten bei der Entwicklung von hoch
intelligenten Robotern bedeutet.
Piezoelektrische druckempfindliche Elemente, die aus ei
ner Dispersion eines ferroelektrischen keramischen Pul
vers wie PZT in Epoxyharzen oder PVDF bestehen, sind auf
der anderen Seite flexibler als druckempfindliche Ele
mente aus einem gesinterten Produkt. Die piezoelektri
sche Spannungskonstante ist jedoch weniger als 1/2 der
Konstante des Elements des gesinterten Produkts, was da
zu führt, daß die Druckempfindlichkeit gering ist. Ein
druckempfindliches Element bestehend aus einer Dispersi
on eines Pulvers aus PZT in Gummi führt zu entsprechen
den Problemen wie den oben angegebenen. Diese Probleme
beruhen auf der Tatsache, daß Polymermaterialien wie
Epoxyharze, Gummi und dergleichen keinerlei Piezoelek
trizität zeigen. Bei PVDF entstehen die Probleme aus
folgenden Gründen. Wenn ein Pulver wie PZT dispergiert
wird, wird die sich ergebende Dispersion brüchig, so daß
eine Polarisationsbehandlung des PVDF selbst - etwa
durch Dehnen - schwierig ist.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, ein piezoelektri
sches druckempfindliches Element zu schaffen, das die
Nachteile derjenigen nach dem Stand der Technik überwin
det.
Dabei soll ein piezoelektrisches druckempfindliches Ele
ment geschaffen werden, das aus einer Zusammensetzung
gewonnen wird, die stoßfest ist und so bearbeitet werden
kann, daß ein kleines oder dünnes Element geschaffen
werden kann.
Weiter soll ein piezoelektrisches druckempfindliches
Element geschaffen werden, das eine hohe Druckempfind
lichkeit hat, die derjenigen eines bekannten Elementes
aus einem gesinterten Produkt aus PZT entspricht und so
zur Erkennung der Greifkraft eines Manipulators eines
Roboters oder aber als medizinische Ultraschallsonde ein
gesetzt werden kann.
Weiter soll durch die Erfindung ein Verfahren zur Her
stellung eines solchen piezoelektrischen druckempfindli
chen Elements vorgeschlagen werden.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch eine Di
spersion eines dipolar orientierten ferroelektrischen
keramischen Pulvers in einem ausgehärteten Produkt einer
Zusammensetzung bestehend aus einem Epoxyharz mit wenig
stens zwei Epoxygruppen in dem Molekül, einer Verbin
dung, die in dem Molekül wenigstens zwei Aminogruppen,
wenigstens zwei Benzolringe, wenigstens zwei Carbonyl
gruppen und wenigstens zwei Methylengruppeneinheiten,
von denen jede aus wenigstens vier Methylengruppen be
steht, aufweist, und einem Vernetzungswirkstoff für das
Epoxyharz. Dabei sollen die wenigstens zwei Aminogrup
pen, die wenigstens zwei Benzolringe, die wenigstens
zwei Karbonylgruppen und die wenigstens 52 Methylengrup
pen der Verbindung (2) linear angeordnet sein.
Das piezoelektrische druckempfindliche Element wird her
gestellt durch Mischen einer Zusammensetzung aus 1) ei
nem Epoxyharz mit wenigstens zwei Epoxygruppen in dem
Molekül, 2) einer Verbindung, die in dem Molekül wenig
stens zwei Aminogruppen, wenigstens zwei Benzolringe,
wenigstens zwei Carbonylgruppen und wenigstens zwei Met
hylengruppeneinheiten, von denen jede aus wenigstens
vier Methylengruppen besteht, wobei diese Gruppen linear
angeordnet sind, und 3) einem Vernetzungswirkstoff für
das Epoxyharz, mit einem dielektrischen Keramikpulver,
thermisches Aushärten der Mischung durch Vernetzung, und
Aufbringen eines elektrischen Feldes auf das in dem aus
gehärteten Produkt dispergierte keramische Pulver zur
Bewirkung dessen dipolarer Ausrichtung. Dabei wird wei
ter vorgeschlagen, daß das Aufbringen des elektrischen
Feldes bei Temperaturen von 100°C bis 180°C erfolgt und
elektrische Feld nicht geringer als 10 kV/cm ist. Das das
dipolar orientierte Pulver enthaltende Produkt wird auf
normalen Temperaturen abgekühlt, während das elektrische
Feld aufgebracht wird.
Wenn ein Epoxyharz, das an sich im wesentlichen amorph
ist, thermisch ausgehärtet und vernetzt wird nach Zugabe
der ABCM-Verbindung und eines Vernetzungswirkstoffes für
das Epoxyharz, werden Mikrokristalle langer Ketten in
dem ausgehärteten Produkt oder Zusammensetzung ausgebil
det. Wenn ein elektrisches Feld auf das ausgehärtete
Harz bei geeigneten Temperaturen aufgebracht wird, wer
den das ferroelektrische Pulver und die Mikrokristalle
dipolar ausgerichtet. Da das keramische Pulver und die
Mikrokristalle durch die ganze Zusammensetzung disper
giert sind, kann das sich ergebende Element von außen
auftretenden Stoßkräften widerstehen und kann verarbei
tet werden zu kleinen und dünnen Elementen. Weiter hat
das Element eine hohe Druckempfindlichkeit, das im we
sentlichen derjenigen von gesinterten PCT-Produkten ent
spricht und kann zur Erkennung der Greifkraft eines Ma
nipulators eines Roboters oder aber als Ultraschall-
Sonde für medizinische Zwecke eingesetzt werden.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich
aus der folgenen Beschreibung, in der auf die beiliegen
den Zeichnungen Rückbezug genommen wird. Dabei zeigt:
Fig. 1 eine Darstellung des Zusammenhangs zwischen
dem piezoelektrischen Längeneffekt und der Va
riation des zur Polarisation dienenden elek
trischen Feldes, und
Fig. 2 eine Darstellung des Zusammenhanges des Betra
ges einer solchen elektrischen Ladung und der
Änderung des aufgebrachten Drucks.
Dem bei Verwirklichung der Erfindung eingesetzten fer
roelektrischen keramischen Pulver sind bekannte ferro
elektrisch keramische Pulver einschließlich bleimetalli
scher Oxide wie PCT, Bleititanat, Bleiniobat, Bleitita
nat Lantanat Zirkonat (PLZT) und dergleichen und Lithi
umniobat, Zinkoxid, Caliumtantalatniobat und der
gleichen.
Die ferroelektrischen keramischen Pulver werden übli
cherweise in großen Mengen von nicht mehr als 90 Gew.-%
des piezoelektrischen druckempfindlichen Elements ver
wendet.
Wenn der Betrag zu gering ist, wird die Druckempfind
lichkeit ungünstig gering. Wenn der Betrag andererseits
90 Gew.-% übersteigt, wird die Formbarkeit mit einer
Verringerung der Flexibilität zerstört.
Das keramische Pulver sollte vorzugsweise eine Größe von
etwa 0,5 bis etwa 100 µm haben.
Das Ausgangsharz, in dem das keramische Puder disper
giert wird, ist eine aushärtende Harzzusammensetzung,
die ein Epoxyharz mit wenigstens zwei Epoxygruppen in
dem Molekül und der ABCM-Verbindung aufweist, und einem
Vernetzungswirkstoff für das Epoxyharz. Das Epoxyharz
ist unkritisch unter der Voraussetzung, daß es wenig
stens zwei Epoxyharz in dem Molekül hat.
Beispiele von Epoxyharzen schließen epoxydierte Produkte
ungesättigter Karboxylate mit konjugierten oder nicht
konjugierten Dienes, konjugierte oder nicht konjugierte
zyklische Dienes und konjugierte oder nicht konjugierte
Dienes, Polyglycidyläther, gewonnen durch Reaktion zwi
schen aliphatischen Diolen, aliphatischen polyhydrischen
Alkoholen, Bisphenolen, Phenol-Novolaken und Epichlore
hydrin oder Betamethylepichlorohydrin, Polyglycidyle
ster, gewonnen durch Reaktion zwischen dicarboxylischen
Säuren oder epichlorohydrin oder Beta-Methylepichloro
hydrin, oder dergleichen, ein.
Die ABCM-Verbindungen sind Polytetramethylenoxid-di-p-
Aminobenzoat, das an den Enden Aminogruppen aufweist,
ein Benzolring, der an der Innenseite der jeweiligen
Aminogruppen angeordnet ist, eine Carbonylgruppe, die an
der inneren Seite der jeweiligen Benzolringe angeordnet
ist, und wenigstens dreizehn Einheiten, die jeweils aus
wenigstens vier Methylgruppen bestehen, angeordnet an
der inneren Seite der jeweiligen Karbonylgruppen. Es ist
bevorzugt, daß die Verbindung die Aminogruppen, die Ben
zolringe, die Karbonylgruppen und die Methylgruppen in
dem Molekül linear angeordnet aufweist.
Die Polytetramethylenoxid-di-p-Aminobenzoat ist eine
Verbindung, die in dem Molekül zwei Aminogruppen, zwei
Benzolringe, zwei Karbonylgruppen und 52 Methylgruppen
aufweist. In diesem Zusammenhang ist jedoch darauf hin
zuweisen, daß die ABCM-Verbindung nicht auf das oben er
wähnte Aminobenzoat beschränkt ist, daß vielmehr jede
Verbindung verwendet wird unter der Voraussetzung, daß
diese Verbindung in dem Molekül wenigstens zwei Amino
gruppen, wenigstens zwei Benzolringe, wenigstens zwei
Karbonylgruppen und wenigstens zwei Einheiten, jeweils
bestehend aus wenigstens vier Methylgruppen aufweist,
und daß diese Gruppen linear angeordnet sind.
Der Vernetzungswirkstoff kann jeder geeignete Härter für
Epoxyharze, ein Beschleuniger, ein Radikalreaktionshär
ter oder dergleichen sein. Vorzugsweise werden Mischun
gen aus Imidazol-Derivaten und Pyridin-Derivaten verwen
det.
Besonders geeignet sind Imidazol-Derivate mit 2-Ethyl-4-
Methylimidazol und dergleichen. Bevorzugte Beispiele von
Pyridin-Derivaten schließen 2,6-Pyridinkarboxylsäure,
2,5-Pyridindikarboxylsäure, 3,4-Pyridindikarboxylsäure,
3,5-Pyridinkarboxylsäure, 4-Pyridinethanschwefelsäure,
3-Pyridinschwefelsäure, 4-(Aminomethyl)Pyridin, 3 (Ami
nomethyl)Pyridin und dergleichen.
Die Epoxyharzzusammensetzungen der genannten Bestand
teile sollten vorzugsweise 100 Gewichtsteile des Epoxy
harzes, von 70 bis 85 Gewichtsanteilen der ABCM-Verbin
dung und von 10 bis 30 Gewichtsanteilen des Vernetzungs
wirkstoffs aufweisen.
Das Verfahren zur Herstellung des piezoelektrisch druck
empfindlichen Elements nach der Erfindung wird im fol
genden beschrieben.
Zunächst werden ein Epoxyharz mit wenigstens zwei Epoxy
gruppen in dem Molekül und die ABCM-Verbindung ver
mischt. Ein Vernetzungs-Wirkstoff für das Epoxyharz,
beispielsweise eine Mischung aus einem Imidazol-Derivat
und einem Pyridin-Derviat wird hinzugefügt. Anschließend
wird ein ferroelektrisches keramisches Pulver zu der Mi
schung hinzugefügt und ausreichend dispergiert.
Die Mischung wird sodann geformt oder durch Gießen in
die gewünschte Form gebracht, beispielsweise zu einem
Blatt ausgeformt und erhitzt, um die Vernetzungs- und
Aushärtungsreaktion zu bewirken. Die Aushärungsreaktion
wird vorzugsweise bei 140°C bzw. 200°C, ganz besonders
bevorzugt bei 150°C bis 180°C bewirkt. Dies beruht dar
auf, daß bei Temperaturen unterhalb von 140°C das Aus
härten einen unerwünscht langen Zeitraum benötigt. Ober
halb von 200°C beginnt das Epoxyharz zu verdampfen.
Das ausgehärtete Produkt in der gewünschten Form wird
sodann auf den gegenüberliegenden Seiten mit einem leit
fähigen Anstrich, beispielsweise einem leitenden Silber
anstrich versehen, um die Elektroden zu bilden. Ein
elektrisches Gleichspannungsfeld wird zwischen die Elek
troden bei einer Temperatur von 100 bis 180°C, vorzugs
weise 120 bis 160°C angelegt, wodurch eine dipolare
Orientierung in dem ausgehärteten Produkt erzeugt wird.
Anschließend wird die Temperatur unter weiterem Anliegen
der Spannung auf Normaltemperaturen abgesenkt, woraufhin
das Anlegen der Spannung beendet wird. Bei einer Tempe
ratur, bei der die dipolare Orientation des piezoelek
trischen druckempfindlichen Elements bewirkt wird, un
terhalb von 100°C, ist die Polarisation unzureichend.
Oberhalb von 180°C besteht eine unerwünschte Neigung zu
einem dielektrischen Zusammenbruch. Das zur dipolaren
Ausrichtung angelegte elektrische Feld sollte vorzugs
weise nicht geringer als 10 kV/cm sein. Unterhalb 10
kV/cm besteht die Möglichkeit, daß die Polarisation
nicht ausreichend fortschreitet.
Das piezoelektrische druckempfindliche Element kann in
der Form eines Blattes, wie oben erwähnt, sein, es kann
aber auch ein sehr dünner Film von ungefähr 100 µm sein,
das durch eine Siebdrucktechnik aufgebracht wird, wenn
die Mischung des Grundharzes und des ferroelektrischen
keramischen Pulvers in Form einer Paste vorliegt.
Das piezoelektrische druckempfindliche Element nach der
Erfindung hat eine hohe Widerstandsfähigkeit gegenüber
Stoßkräften, die von außen ausgeübt werden, es kann wei
ter zu kleinen oder dünnen Elementen verarbeitet werden.
Das Element hat weiter eine solche hohe Druckempfind
lichkeit, daß es zur Erfassung der Greifkraft eines Ma
nipulators eines Roboters oder einer medizinischen Ul
traschallsonder eingesetzt werden kann.
Im folgenden wird ein Beispiel angegeben, auf das die
Erfindung jedoch nicht beschränkt ist.
Ein Bisphenol Epoxyharz vom F-Typ (Epikote 807, erhält
lich von Yuka Shell Epoxy Kabushiki Kaisha) wurde als
Epoxyharz mit wenigstens zwei Epoxygruppen in dem Mole
kül verwendet. Polytetramethylenoxid-di-p-Aminobenzoat
(Elastomer 1000, erhältlich von Ihara Chem. Ind. Co.,
Ltd.) wurde als ABCM-Verbindung eingesetzt. 100 Ge
wichtsteile des Bisphenol Epoxyharzes vom F-Typ und 85
Gewichtsteile des Polytetramethylenoxid-di-p-Aminoben
zoat wurden unter Rühren vermischt zur Gewinnung einer
gleichförmigen Lösung (eine Lösung mit diesem Mischver
hältnis wird im folgenden als Lösung A bezeichnet).
Sodann wurde ein 2-Ethyl-4-Methylimidazol (Reagenz, er
hältlich von Waki Junyaku Ind. Co., Ltd.) als Imidazol-
Derivat und 2,6-Pyridinkarboxylsäure wurde als Pyridin-
Derivat eingesetzt. 100 Gewichtsteile von 2-Ethyl-4-
Methylimidazol und 50 Gewichtsteile von 2,6-Pyridinkar
bonsäure wurden unter Rühren vermischt, um eine gleich
förmige Lösung zu gewinnen (die Lösung mit diesem Misch
verhältnis wird im folgenden als Lösung B bezeichnet).
Die Lösung B wurde zu der Lösung A in eine Menge von 10
Gew.-% eingegeben (die Lösung mit diesem Mischverhältnis
wird im folgenden als Lösung C bezeichnet).
Bleititanat und Bleizirkonat wurden in einem Molarver
hältnis von 48: 52 zur Verwendung als ferroelektrisches
keramisches Pulver abgewogen und in einem selbsttätigen
Mörser vermischt. Polyvinylalkohol wurde als Binder hin
zugegeben. Anschließend wurde die Substanz gemischt, ge
trocknet und in einer Form preßgeformt und anschließend
zweimal bei einer Temperatur von 1000°C gesintert. Das
sich ergebende gesinterte Produkt wurde wieder in dem
selbsttätigen Mörser gemahlen, um einen vorgegebenen
Größenbereich zu erreichen, wodurch ein Pulvermuster ge
wonnen wurde. Das Pulver hat eine Durchschnittsgröße von
etwa 5 µm (im folgenden wird dieses Pulver als PZT-
Pulver bezeichnet).
Die Lösung C und das PZT-Pulver wurden abgewogen, um ein
Mischgewichtsverhältnis von 20: 80 zu gewinnen und unter
Rühren in einem selbsttätigen Mörser vermischt. Die sich
ergebende Mischung wurde in einen Teflonbehälter mit ei
ner Innenfläche von 10×10×1 cm eingegossen und durch
Aufbringung von Unterdruck entgast. Anschließend erfolg
te die Aushärtung durch Vernetzung bei 180°C über eine
Stunde.
Das sich ergebende Muster wurde geschnitten und in Mu
ster mit einer Größe von 20×20×0,1 mm gebracht. Ein
leitfähiger Silberanstrich wurde auf das Musterblatt auf
den gegenüberliegenden Seiten aufgebracht, um eine Elek
trode mit einer Größe von 18×18 mm zu bilden. Ein
elektrisches Feld von 0 bis 20 kV/cm wurde zwischen die
Elektroden bei Temperaturen von 120°C über 60 Minuten
aufgebracht und sodann auf Normaltemperatur gebracht,
wobei das elektrische Feld anlag.
Das piezoelektrische druckempfindliche Element, das der
art hergestellt worden war, wurde mit einem Ladungsver
stärker verbunden, um die piezoelektrische Eigenschaft
(die piezoelektrische Druckkonstante) im Verhältnis zu
den jeweiligen elektrischen Feldern für die Polarisati
on. Das Ergebnis ist in Fig. 1 dargestellt.
Weiter wurde das piezoelektrische druckempfindliche Ele
ment, das in einem elektrischen Feld von 20 kV/cm pola
risiert worden war, mit einem Ladungsverstärker verbun
den. Es wurde ein Druck von 0 bis 1000 gf aufgebracht,
um die Menge der elektrischen Ladung im Verhältnis zu
der Änderung des Drucks zu bestimmen. Das Ergebnis ist
in Fig. 2 dargestellt.
Die piezoelektrische Druckkonstante und die piezoelek
trische Ladung wurden auf folgende Weise gemessen.
Ein piezoelektrisches druckempfindliches Element wurde
in eine Vorrichtung zum Messen der piezoelektrischen
Druckkonstante, der ein Drucksignalgenerator, eine Bela
stungseinheit, ein Ladungsmesser und ein Synchroskop
aufweist, eingesetzt. Das Element wurde mit der Bela
stungseinheit unter Druck gesetzt, die in dem Element
erzeugte elektrische Spannung wurde in eine Spannung um
gewandelt und auf dem Synchroskop dargestellt, woraus
die piezoelektrische Spannungskonstante und die piezoe
lektrische Ladung bestimmt wurden.
In den Figuren haben die Einheiten von d33 folgende Be
deutung: p ist Pico (10-12), C ist Coulomb und N ist
Newton.
Die in der vorstehenden Beschreibung, den Ansprüchen und
der Zeichnung offenbarten Merkmale der Erfindung können
sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für
die Verwirklichung der Erfindung sein.
Claims (13)
1. Piezoelektrisches druckempfindliches Element,
gekennzeichnet durch
eine Dispersion eines dipolar orientierten ferroelektri
schen keramischen Pulvers in einem ausgehärteten Produkt
einer Zusammensetzung bestehend aus
- 1) einem Epoxyharz mit wenigstens zwei Epoxygruppen in dem Molekül,
- 2) einer Verbindung, die in dem Molekül wenigstens zwei Aminogruppen, wenigstens zwei Benzolringe, wenig stens zwei Carbonylgruppen und wenigstens zwei Met hylengruppeneinheiten, von denen jede aus wenigstens vier Methylengruppen besteht, aufweist, und
- 3) einem Vernetzungswirkstoff für das Epoxyharz.
2. Piezoelektrisches druckempfindliches Element nach
Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens
zwei Aminogruppen, die wenigstens zwei Benzolringe, die
wenigstens zwei Karbonylgruppen und die wenigstens 52
Methylengruppen der Verbindung (2) linear angeordnet
sind.
3. Piezoelektrisches druckempfindliches Element nach
Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Verbindung (2) Polytetramethylenoxid-di-p-Aminoben
zoat ist.
4. Piezoelektrisches druckempfindliches Element nach
einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich
net, daß der Vernetzungswirkstoff eine Mischung aus ei
nem Imidazol-Derivat und einem Pyridin-Derivat ist.
5. Piezoelektrisches druckempfindliches Element nach
einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich
net, daß das gehärtete Produkt aus 100 Gewichtsteilen
des Epoxyharzes, 70 bis 85 Gewichtsteilen der Verbindung
und 10 bis 30 Gewichtsteilen des Vernetzungswirkstoffes
besteht.
6. Piezoelektrisches druckempfindliches Element nach
enem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich
net, daß das Element blattförmig ist.
7. Piezoelektrisches druckempfindliches Element nach
einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich
net, daß das ausgehärtete Produkt dipolar ausgerichtete
Mikrokristalle hat.
8. Piezoelektrisches druckempfindliches Element nach
einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeich
net, daß das keramische Pulver in einer Menge von 90 Ge
wichtsprozent der Gesamtzusammensetzung verwendet wird.
9. Piezoelektrisches druckempfindliches Element nach
Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das keramische
Pulver eine Größe von 0,5 bis 100 µm hat.
10. Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen
druckempfindlichen Elements,
gekennzeichnet durch
Mischen einer Zusammensetzung aus
- 1) einem Epoxyharz mit wenigstens zwei Epoxygruppen in dem Molekül,
- 2) einer Verbindung, die in dem Molekül wenigstens zwei Aminogruppen, wenigstens zwei Benzolringe, wenig stens zwei Carbonylgruppen und wenigstens zwei Met hylengruppeneinheiten, von denen jede aus wenigstens vier Methylengruppen besteht, wobei diese Gruppen linear arrangiert sind aufweist, und
- 3) einem Vernetzungswirkstoff für das Epoxyharz,
mit einem dielektrischen Keramikpulver,
thermisches Aushärten der Mischung durch Vernetzung, und
Aufbringen eines elektrischen Feldes auf das in dem aus gehärteten Produkt dispergierte keramische Pulver zur Bewirkung dessen dipolarer Ausrichtung.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß das thermische Aushärten bei Temperaturen von 140°C
bis 200°C erfolgt.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Aufbringen des elektrischen Feldes bei
Temperaturen von 100°C bis 180°C erfolgt und elektrische
Feld nicht geringer als 10 kV/cm ist.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, gekenn
zeichnet durch Abkühlen des ausgehärteten Produkts auf
Normaltemperatur unter Aufbringen des elektrischen Fel
des.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22449287A JP2585018B2 (ja) | 1987-09-08 | 1987-09-08 | 圧電型感圧素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3819947A1 true DE3819947A1 (de) | 1989-03-23 |
DE3819947C2 DE3819947C2 (de) | 1993-06-17 |
Family
ID=16814643
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3819947A Granted DE3819947A1 (de) | 1987-09-08 | 1988-06-11 | Piezoelektrisches druckempfindliches element und verfahren zu dessen herstellung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4826616A (de) |
JP (1) | JP2585018B2 (de) |
DE (1) | DE3819947A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10104605A1 (de) * | 2001-02-02 | 2002-08-14 | Daimler Chrysler Ag | Klebeverbindung von Bauteilen, Kleber sowie Verfahren zur Herstellung der Klebeverbindung |
DE10104604A1 (de) * | 2001-02-02 | 2002-08-22 | Daimler Chrysler Ag | Bauteil mit schwingungsdämpfenden Eigenschaften, Gemenge zur Herstellung des Bauteils, sowie Verfahren zur Herstellung eines derartigen Bauteils |
US9208921B2 (en) | 2005-07-08 | 2015-12-08 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Electrolyte membrane and process for producing the same |
Families Citing this family (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0796607B2 (ja) * | 1987-09-07 | 1995-10-18 | 富山県 | 高分子圧電材及びその製造方法 |
US5194181A (en) * | 1988-07-15 | 1993-03-16 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Process for shaping articles from electrosetting compositions |
US5190624A (en) * | 1988-07-15 | 1993-03-02 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Electrorheological fluid chemical processing |
US5938978A (en) * | 1988-07-15 | 1999-08-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Intermittent programming of electrosettable compositions |
GB2237928A (en) * | 1989-11-06 | 1991-05-15 | Plessey Co Plc | Piezoelectric composite material |
US5112934A (en) * | 1989-11-27 | 1992-05-12 | The Dow Chemical Company | Epoxy polymeric nonolinear optical materials based on glycidyl amines |
US5232639A (en) * | 1990-09-19 | 1993-08-03 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Process for forming articles with anisotropic properties |
WO1992005567A1 (en) * | 1990-09-19 | 1992-04-02 | Reitz Ronald P | Electroset compositions, articles and processes |
DE69304443T2 (de) * | 1992-06-24 | 1997-04-03 | Algra Holding Ag | Verfahren zur Herstellung einer piezoelektrischen drucksensitiven Taste oder Tastatur und durch dieses Verfahren erhaltenes Produkt |
US5702629A (en) * | 1996-03-21 | 1997-12-30 | Alliedsignal Inc. | Piezeoelectric ceramic-polymer composites |
JP3376916B2 (ja) * | 1998-05-26 | 2003-02-17 | 株式会社村田製作所 | セラミックグリーンシートの製造方法 |
US6274939B1 (en) | 1998-09-11 | 2001-08-14 | American Electronic Components | Resin ceramic compositions having magnetic properties |
US6861782B2 (en) * | 2001-04-05 | 2005-03-01 | Head Sport Ag | Flexible piezoelectric films |
JP4742467B2 (ja) * | 2001-08-24 | 2011-08-10 | 住友ベークライト株式会社 | エポキシ樹脂組成物および半導体装置 |
US20030183954A1 (en) * | 2002-03-15 | 2003-10-02 | Wolf Ronald J. | Magnetic resin composition and method of processing |
JP2005244123A (ja) | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Fujimi Inc | 研磨用組成物 |
JP2007089614A (ja) * | 2005-09-26 | 2007-04-12 | Inax Corp | 型紙および型紙を用いた衛生陶器の施工方法 |
US20090309259A1 (en) * | 2008-06-12 | 2009-12-17 | General Electric Company | High temperature polymer composites comprising antiferroelectric particles and methods of making the same |
US10006281B2 (en) * | 2012-02-10 | 2018-06-26 | Austin Star Detonator Company | Calibration of molded piezoelectric longitudinal charge coefficient of a pressure sensor for blasting operation |
KR20140073201A (ko) * | 2012-12-06 | 2014-06-16 | 한국전자통신연구원 | 압전 에너지 하베스팅 장치 및 그 제조 방법 |
CN103346253B (zh) * | 2013-06-08 | 2015-01-21 | 西安交通大学 | 铁电单晶/环氧2-2结构及应力板加固的2-2结构复合材料 |
JP2016060898A (ja) * | 2014-09-22 | 2016-04-25 | 京セラケミカル株式会社 | 2液性注型用エポキシ樹脂組成物、及びコイル部品 |
JP6618035B2 (ja) * | 2015-03-09 | 2019-12-11 | 株式会社リコー | 素子、及び発電装置 |
US10498001B2 (en) | 2017-08-21 | 2019-12-03 | Texas Instruments Incorporated | Launch structures for a hermetically sealed cavity |
US10775422B2 (en) | 2017-09-05 | 2020-09-15 | Texas Instruments Incorporated | Molecular spectroscopy cell with resonant cavity |
US10589986B2 (en) | 2017-09-06 | 2020-03-17 | Texas Instruments Incorporated | Packaging a sealed cavity in an electronic device |
US10551265B2 (en) | 2017-09-07 | 2020-02-04 | Texas Instruments Incorporated | Pressure sensing using quantum molecular rotational state transitions |
US10424523B2 (en) | 2017-09-07 | 2019-09-24 | Texas Instruments Incorporated | Hermetically sealed molecular spectroscopy cell with buried ground plane |
US10131115B1 (en) | 2017-09-07 | 2018-11-20 | Texas Instruments Incorporated | Hermetically sealed molecular spectroscopy cell with dual wafer bonding |
US10444102B2 (en) | 2017-09-07 | 2019-10-15 | Texas Instruments Incorporated | Pressure measurement based on electromagnetic signal output of a cavity |
US10549986B2 (en) | 2017-09-07 | 2020-02-04 | Texas Instruments Incorporated | Hermetically sealed molecular spectroscopy cell |
US10544039B2 (en) | 2017-09-08 | 2020-01-28 | Texas Instruments Incorporated | Methods for depositing a measured amount of a species in a sealed cavity |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2144906A (en) * | 1983-07-01 | 1985-03-13 | Philips Nv | Piezo-electric sensor and method of manufacture |
DE3819946A1 (de) * | 1987-09-07 | 1989-03-23 | Katsumi Tanino | Piezoelektrisches material und verfahren zu dessen herstellung |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS517498A (en) * | 1974-07-09 | 1976-01-21 | Mitsubishi Petrochemical Co | Atsudenzairyo oyobi sonoseizoho |
JPS6053475B2 (ja) * | 1976-07-01 | 1985-11-26 | 松下電器産業株式会社 | 高分子圧電材料 |
JPS53126200A (en) * | 1977-04-11 | 1978-11-04 | Ngk Spark Plug Co | Piezooelectric composite material for pickup element |
JPS5421597A (en) * | 1977-07-19 | 1979-02-17 | Post Office | Piezoelectric material and method of making same |
DE3166101D1 (en) * | 1980-02-07 | 1984-10-25 | Toray Industries | Piezoelectric polymer material, process for producing the same and an ultrasonic transducer utilizing the same |
FR2535113B1 (fr) * | 1982-10-22 | 1986-05-16 | Thomson Csf | Procede de fabrication d'un materiau polymere piezo- ou pyroelectrique comportant une etape de reticulation |
US4726099A (en) * | 1986-09-17 | 1988-02-23 | American Cyanamid Company | Method of making piezoelectric composites |
EP0478177A1 (de) * | 1990-09-28 | 1992-04-01 | The Mead Corporation | Verstärkte Pappe |
-
1987
- 1987-09-08 JP JP22449287A patent/JP2585018B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-06-11 DE DE3819947A patent/DE3819947A1/de active Granted
- 1988-06-17 US US07/208,062 patent/US4826616A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2144906A (en) * | 1983-07-01 | 1985-03-13 | Philips Nv | Piezo-electric sensor and method of manufacture |
DE3819946A1 (de) * | 1987-09-07 | 1989-03-23 | Katsumi Tanino | Piezoelektrisches material und verfahren zu dessen herstellung |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10104605A1 (de) * | 2001-02-02 | 2002-08-14 | Daimler Chrysler Ag | Klebeverbindung von Bauteilen, Kleber sowie Verfahren zur Herstellung der Klebeverbindung |
DE10104604A1 (de) * | 2001-02-02 | 2002-08-22 | Daimler Chrysler Ag | Bauteil mit schwingungsdämpfenden Eigenschaften, Gemenge zur Herstellung des Bauteils, sowie Verfahren zur Herstellung eines derartigen Bauteils |
US6761831B2 (en) | 2001-02-02 | 2004-07-13 | Daimlerchrysler Ag | Component having vibration-damping properties, mixture for manufacturing the component, and method of manufacturing such a component |
US9208921B2 (en) | 2005-07-08 | 2015-12-08 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Electrolyte membrane and process for producing the same |
DE112006001746B4 (de) * | 2005-07-08 | 2019-06-27 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Elektrolytmembran und Verfahren zu ihrer Herstellung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6467986A (en) | 1989-03-14 |
JP2585018B2 (ja) | 1997-02-26 |
US4826616A (en) | 1989-05-02 |
DE3819947C2 (de) | 1993-06-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3819947C2 (de) | ||
DE3005057C2 (de) | ||
DE3819946C2 (de) | Verfahren zum Herstellen eines piezoelektrischen Polymermaterials und nach dem Verfahren hergestelltes Polymermaterial | |
DE68919556T2 (de) | Schichtartiges piezoelektrisches Element und dessen Herstellungsverfahren. | |
DE4304265C2 (de) | Ultraschallwandler | |
DE2454567B2 (de) | Signalabnahmesystem für elektrische Kdrpersignale | |
DE2536361A1 (de) | Elektrisch leitender klebstoff | |
DE2828647C3 (de) | Verfahren zur Herstellung einer elektrooptischen Anzeigezelle mit Übertragkontakten zwischen zwei Kontaktebenen | |
CH658739A5 (de) | Elektrochrome anzeigevorrichtung. | |
DE3887731T2 (de) | Material für Widerstände und daraus hergestellter nichtlinearer Widerstand. | |
DE69621378T2 (de) | Isolierender Abstandshalter | |
DE2445626C2 (de) | Varistor | |
DE19811127C2 (de) | Piezoelektrische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen derselben | |
DE2240286A1 (de) | Druckempfindliches widerstandselement und verfahren zu seiner herstellung | |
DE3786955T2 (de) | Auf einem piezoelektrischem Hochfrequenzelement montierte Kathode. | |
DE2315767B2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Körpers | |
DE2445627A1 (de) | Varistor fuer niedrige spannung und verfahren zu dessen herstellung | |
EP0714866A1 (de) | Komplexer, substituierter Lanthan-Blei-Zirkon-Titan-Perowskit, keramische Zusammensetzung und Aktuator | |
DE2607454C3 (de) | Selbst spannungsabhängiger Widerstand auf der Basis von Zinkoxid | |
EP0344670B1 (de) | Pyroelektrischer Sensor | |
EP0637089B1 (de) | Verfahren zur Herstellung von PZT-Schichten | |
DE879920C (de) | Bimorphes UEbertragerelement und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE4314911C1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer PZT-Keramik | |
DE4327993C1 (de) | Verfahren zur Herstellung von PZT-Werkstoffen mit hoher Depolarisationsfestigkeit und niedriger Sintertemperatur | |
DE1940974A1 (de) | Piezoelektrische Keramikmassen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |