DE3741436A1 - Waermebehandlungsofen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Wärmebehandlungsofen zum Durchführen einer Wärmebehandlung verschiedener Substra­ te wie einem Halbleiter-Wafer, einem Ferrit-Substrat zur magnetischen Aufzeichnung oder dergleichen durch Wärme­ mittel, insbesondere eine Wärmebehandlungsvorrichtung, die die Temperatur eines Substrats während der Erwärmung mißt auf der Grundlage von Ausgangssignalen von auf dem Substrat befestigten Thermoelementen.

Bei der bekannten Vorrichtung zur Wärmebehandlung eines Sub­ strats wie einem Halbleiter-Wafer durch wärmeerzeugende Mittel werden Steuerdaten zum Betreiben der wärmeerzeu­ genden Mittel, sogenannte Profildaten, zuvor in einem Speicher gespeichert. Zur Wärmebehandlung des Substrats in einer solchen Vorrichtung werden die wärmeerzeugenden Mittel durch einen Computer auf der Grundlage der Pro­ fildaten gesteuert, so daß die Wärmebehandlung durchge­ führt wird nach einem gewünschten Temperaturprogramm für das jeweilige Substrat. Um die Profildaten in der Wärme­ behandlungsvorrichtung zu erzeugen, wird ein Tempera­ turmeßsubstrat unabhängig hergestellt, das aus demselben Material wie das zu behandelnde Substrat besteht. Ein Thermoelement wird auf dem Temperaturmeßsubstrat mon­ tiert, das wiederum von einem Wärmeofen aufgenommen und ausreichend erwärmt wird, um die Oberflächentemperaturen des Substrats stündlich auf der Grundlage von Ausgangs­ signalen des Thermoelementes zu messen, wodurch die zur Erzeugung des Profildaten erforderlichen Werte gewonnen werden.

In einer solchen Vorrichtung zur Wärmeerzeugung wird die Wärmebehandlung des Substrats im allgemeinen ausgeführt durch Schließen der Tür des Wärmeofens, um den Ofen von der Umgebung luftdicht abzuschließen, wobei der Ofen un­ ter ein Vakuum gebracht wird oder aber die erforderliche Gasatmosphäre erzeugt wird. Um Profildaten hoher Genau­ igkeit zu erzeugen, ist es also notwendig, bei der Tem­ peraturmessung des Temperaturmeßsubstrats in dem Ofen diesen von der Umgebung luftdicht abzuschließen, wodurch der Ofen in demselben Zustand bleibt wie bei der Wärme­ behandlung des eigentliche Substrats. Wenn die Tempera­ turmessung des Temperaturmeßsubstrats durchgeführt wird durch ein Thermoelement, das auf dem Substrat montiert ist, wie dies unten beschrieben werden wird, ist es er­ forderlich, zwei Arten von Metalldrähten, die das Ther­ moelement bilden, aus dem Ofen herauszuführen, um Signa­ le von dem Thermoelement zu gewinnen. Diese Metalldrähte wurden bisher im allgemeinen durch einen Spalt heraus­ geführt, der durch ein leichtes Öffnen der Tür des Wär­ meofens gebildet wird, wodurch die Luftabgeschlossenheit des Ofens beeinträchtigt wird, so daß genaue Daten nicht gewonnen werden können.

Als Verfahren zum Herausziehen von zwei Arten von Me­ talldrähten, die ein Thermoelement bilden, aus dem Ofen unter Gewährleistung der Luftdichtheit des Ofens, kann ein Drahtdurchgang geschaffen werden in einer Ofenwand, um die Metalldrähte durch dieses Loch zu führen. Bei diesem Verfahren ist es jedoch erforderlich, die Enden der beiden Metalltypen herauszuführen, die zuvor durch die Durchgänge in den Ofen hereingeführt worden sind, durch einen Einlaß des Wärmeofens zur Verbindung dieser mit dem Temperaturmeßsubstrat und sodann Wiedereinbrin­ gen der Metalldrähte in den Ofen mit dem Temperaturmeß­ substrat. Die Metalldrähte des Thermoelementes können sich lockern, wenn das Temperaturmeßsubstrat in den Ofen eingeführt wird, so daß sie sich miteinander verschlin­ gen. Eine derartige Verschlingung der Metalldrähte kann auch stattfinden, wenn das Temperaturmeßsubstrat aus dem Ofen herausgeholt wird. Die Wahrscheinlichkeit einer derartigen Verschlingung der Metalldrähte wird stark er­ höht insbesondere dann, wenn eine Vielzahl von Thermo­ elementen auf dem Temperaturmeßsubstrat angeordnet sind, um die Temperaturverteilung auf dem Temperaturmeßsub­ strat zu erfassen.

Aufgabe der Erfindung ist es, dies Problem zu überwin­ den.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch einen Wärmeofen mit einem Einlaß/Auslaß für das Substrat, eine Wärmequelle zum Aufheizen des Wärmeofens, eine Tür, die an dem Einlaß/Auslaß des Wärmeofens befestigt ist, ein Thermoelement bestehend aus zwei Arten von Drähten, die einen gemeinsamen Kontaktpunkt haben, der gebildet wird durch Verbindung der Enden der Metalldrähte, die auf dem Substrat befestigt sind, eine Anschlußbefestigung, die mit festen Anschlüssen versehen ist entsprechend den Me­ talldrähten des Thermoelements, wobei die anderen Enden der Metalldrähte des Thermoelementes jeweils mit den fe­ sten Anschlüssen verbunden sind, Trägermittel zum Ein­ führen des Substrats, des Thermoelementes und der An­ schlußbefestigung, die miteinander verbunden sind, in eine vorgegebene Position in den Wärmeofen durch den Einlaß/Auslaß und zum Entnehmen des Substrats, wobei das Thermoelement und die Anschlußbefestigung miteinan­ der verbunden sind aus der vorgegebenen Position in den Wärmeofen, und eine Anschlußantriebseinrichtung, die mit be­ weglichen Anschlüssen versehen ist entsprechend den fe­ sten Anschlüssen und auf einem Deckenabschnitt des Wär­ meofens befestigt sind, wobei die Anschlußantriebsein­ richtung die beweglichen Anschlüsse gegen die Oberflä­ che beweglich hält, so daß diese frei beweglich sind zwischen einer Position in Berührung mit bzw. im Abstand gelöst zu den festen Anschlüssen, die in der vorgegebe­ nen Position der Ofenfläche gehalten werden, wodurch Ausgangssignale des Thermoelementes von den beweglichen Anschlüssen herausgeführt werden.

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zur Wär­ mebehandlung zu schaffen, die die Temperatur eines Sub­ strats in den Wärmeofen mittels eines Thermoelementes exakt erfaßt, das auf dem Substrat befestigt ist, wäh­ rend der Ofen luftdicht abgeschlossen ist.

Dabei soll die Wärmebehandlungsvorrichtung so ausgebil­ det sein, daß die das Thermoelement bildenden Drähte da­ vor geschützt sind, sich miteinander zu verschlingen bei dem Einführen bzw. Herausholen des Substrats in bzw. aus dem Wärmeofen.

Nach der Erfindung werden bewegliche Anschlüsse mittels einer Anschlußantriebseinrichtung in Positionen entfernt von den festen Anschlüssen geführt, so daß ein Substrat, ein Thermoelement und eine Anschlußbefestigung, die mit­ einander verbunden sind, in den Ofen eingeführt werden können und aus dem Ofen mittels eines Trägers wieder herausgeholt werden können. Bei der Temperaturmessung werden die beweglichen Anschlüsse mit den festen An­ schlüssen in Verbindung gebracht durch die Anschlußan­ triebseinrichtung, um Signale von dem Thermoelement nach außen zu führen. Die Temperatur des Substrats in dem Wärmeofen kann genau gemessen werden durch die Thermo­ elemente, wobei der Luftabschluß des Ofenraumes gewähr­ leistet ist. Die Metalldrähte, die das Thermoelement bilden, sind vor einer Verschlingung bei dem Einführen bzw. Herausholen des Substrats in bzw. aus dem Ofen geschützt.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen und der Beschreibung, in der ein Aus­ führungsbeispiel der Erfindung anhand einer Zeichnung erläutert wird. Dabei zeigt

Fig. 1 eine schematische Schnittansicht ei­ ner Vorrichtung zur Wärmebehandlung nach einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 2 eine perspektivische Ansicht einer Anschlußbefestigung, mit der die Thermoelemente verbunden sind, sowie eine Anschlußantriebseinrichtung, und

Fig. 3 eine Teilschnittansicht der An­ schlußantriebseinrichtung.

Die Vorrichtung zur Wärmebehandlung weist einen Wärme­ ofen 3 auf, der aus einer Kammer 1 aus einem Quarz be­ steht und eine Wärmebehandlungskammer bildet, einer wei­ teren Kammer 2, die eine Vorderkammer bildet, und dem in einem Gehäusekasten 4 befestigten Wärmeofen 3. Eine Tür 5 ist an einem Einlaß/Auslaß-Port für ein Substrat be­ festigt. Dieser bildet einen Eingang für den Wärmeofen 3. Bei geschlossener Tür 5 ist das Innere 3 a des Wärme­ ofens 3 luftdicht gegen die Umgebung abgeschlossen. Der Wärmeofen 3 ist an seiner rückwärtigen Ofenwand mit ei­ nem Luftansaugweg 6 versehen, der mit einer Vakuumpumpe zum Entspannen des Inneren des Ofens 3 a kommuniziert und einer Gaszuleitung 7 zum Einbringen des erforderlichen Gases in das Innere 3 a des Ofens versehen. Wärmende Lichtquellen 8, beispielsweise Hallogenlampen, sind an­ einander gegenüber oberhalb und unterhalb der Kammer 1 angeordnet. Reflexionsplatten 9 sind an der Rückseite der wärmenden Lichtquellen 8 angeordnet. Ein Paar von Stützen 11 sind vorgesehen auf dem Boden des Ofens in der Kammer 1 zum Tragen eines Substrats, etwa eines Halbleiter-Wafers 10, während ein Paar von Stützen 13, die jeweils mit einer Aufnahmeöffnung 13 a in ihrer Ober­ fläche versehen sind, auf der Bodenfläche der Kammer 2 vorgesehen sind, um eine Anschlußbefestigung 12 aufzu­ nehmen. Ein solches Paar von Stützen 11 ist in regelmä­ ßigen Abständen rechtwinklig zu der Ebene von Fig. 1 angeordnet, wodurch ein Abstand gebildet wird, der das Einsetzen eines Trägerarms 14 zwischen den Stützen 11, 11 ermöglicht. Entsprechend ist ein Paar von Stützen 13 vorgesehen in regelmäßigen Abständen senkrecht zu der Ebene von Fig. 1, wodurch ein Raum gebildet wird, der das Einsetzen eines Trägerarms 14 zwischen die Stützen 13, 13 ermöglicht.

Der Wafer 10 zum Temperaturmessen ist gebildet durch dasselbe Material mit ein zu behandelnder Wafer, Thermo­ elemente 15 sind an dem behandelten Wafer vorgesehen. Fig. 2 zeigt, daß jede der Thermokopplungen 15 durch zwei Arten von Metalldrähten 16, 17 gebildet sind, etwa als Chromdraht oder Aluminiumdraht. Gemeinsame Kontakt­ punkte 18, die durch Verbindung der Seitenenden der Me­ talldrähte 16 und 17 gebildet sind, sind an den ge­ wünschten Temperaturmeßpunkten auf der Wafer-Oberfläche befestigt. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind drei der­ artige Thermoelemente 15 vorgesehen, um die Verteilung der Oberflächentemperatur des Wafers 10 zu messen. Die jeweiligen gemeinsamen Kontaktpunkte 18 sind an ver­ schiedenen Positionen auf der Wafer-Oberfläche fixiert. Die Anzahl der Thermoelemente 15 ist jedoch nicht be­ schränkt, wenigstens ist jedoch ein Thermoelement 15 vorgesehen.

Die Metalldrähte 16 und 17 der Thermoelemente 15 sind vor einer versehentlichen Berührung geschützt. Sie sind an den äußeren Kanten des Wafers 10 in einer geeigneten Zwischenstellung der Metalldrähte 16 und 17 befestigt, während die anderen Enden mit den festen Anschlüssen 15 mit der Anschlußbefestigung 12 verbunden sind. Die fe­ sten Anschlüsse 19 sind vorgesehen entsprechend der An­ zahl der Metalldrähte 16 und 17 der Thermoelemente 15 und sind über einen gekerbten Abschnitt der Anschlußbe­ festigung 12 entlang der Längsrichtung der Anschlußbefe­ stigung 12 angeordnet. Die festen Anschlüsse 19 bestehen vorzugsweise aus demselben Material wie die Metalldrähte 16 und 17, die mit den festen Anschlüssen 19 verbunden sind.

Oberhalb der Stützen 13 (Fig. 1) zum Stützen der An­ schlußbefestigung 12 ist eine Anschlußantriebseinrich­ tung zur Hin- und Herbewegung der Anschlüsse 20 in Rich­ tung auf das Innere 3 a des Wärmeofens 3 auf der Decken­ wand der Kammer 2 angeordnet. Fig. 2 zeigt, daß die An­ schlußantriebseinrichtung 21 eine Befestigungsplatte 22 aufweist, die an der Deckenwand der Kammer 2 befestigt ist. Eine Zylinderbefestigung 24 ist oberhalb der Befe­ stigungsplatte 20 vorgesehen über ein Paar von Trägern 23. Ein Zylinder 25 ist auf einem Mittelabschnitt der Zylinderbefestigung 24 befestigt, während eine Kolben­ stange 25 a des Zylinders 25 mit einer höhenverstellbaren Platte verbunden ist, die von den Trägern 23 für eine Auf- und Abbewegung geführt ist, wodurch die Platte 26 von dem Zylinder auf- und abwärts bewegt wird. Sechs Bohrungen 27 zur Aufnahme von Stangen sind in der Befe­ stigungsplatte 22 entsprechend den festen Anschlüssen 19 vorgesehen. Die oberen Enden von Metallbalgen 28 sind mit dem unteren Ende der Befestigungsplatte 22 verbun­ den, um die Bohrungen 27 abzuschließen, wie dies in Fig. 3 gezeigt wird. Als Rohre ausgebildete Stangen 29 sind vorgesehen, die durch die Bohrungen 27 hindurchgeführt sind, so daß Flanschabschnitte 29 a an den unteren Enden der Stangen 29 luftdicht mit den oberen Enden der Me­ tallbalge 28 verbunden sind, während die oberen Enden der Stangen 29 an der höhenverstellbaren Platte 26 befe­ stigt sind und sich durch diese erstrecken, wie dies in Fig. 2 gezeigt ist. Unterhalb der Flanschabschnitte 29 a der Stangen 29 sind untere Endblockplatten 28 a über Me­ tallbälge 30 befestigt, so daß die jeweiligen Anschlüs­ se 20 an den unteren Endblockplatten 28 a befestigt sind. Die Metallbalge 30 wirken als Kompressionsfedern zur Aufbringung eines Kontaktdrucks zwischen den beweglichen Anschlüssen 20 und den festen Anschlüssen 19. Die beweg­ lichen Anschlüsse 20 sind mit Metalldrähten 31 verbun­ den, die sich durch die Zylinderräume 29 b in den Stangen 29 erstrecken, um über obere Öffnungen in den Stangen 29 herausgeführt zu werden, wodurch sie zu einer außerhalb des Gehäusekasten 4 angeordneten Temperaturelement-Tem­ peraturmeßeinrichtung geleitet werden. Der Zylinder 25 der Anschlußantriebseinrichtung 21 ist hin- und herbe­ wegbar, so daß die höhenverstellbaren Stangen 29 auf- und abwärts bewegt werden durch die Platte 26. Die Me­ tallbalge 28 werden kontrahiert bzw. extrahiert bei Aufwärts- bzw. Abwärtsbewegung der beweglichen Anschlüs­ se 20. Die Anschlußantriebseinrichtung 21 ist durch Bil­ den einer Öffnung 2 a in der Deckenfläche der Kammer 2 befestigt, wie dies in Fig. 1 gezeigt ist. Die Metall­ balge 28 werden von den Öffnungen 2 a aufgenommen, wobei die Außenkante der Befestigungsplatte 22 an der oberen Öffnungskante der Kammer 2 fixiert ist. In diesem Fall ist die Anschlußantriebseinrichtung 21 so angeordnet, daß die beweglichen Anschlüsse 20 in Kontakt mit den entsprechenden Anschlüssen 19 gebracht werden kann, wenn die beweglichen Anschlüsse 20 von dem Zylinder 25 ange­ trieben nach unten bewegt werden. Die beweglichen Anschlüsse 20 und die mit diesen verbundenen Metalldrähte 31 bestehen vorzugsweise aus demselben Material wie die festen Anschlüsse 19.

Andererseits hat der Trägerarm 14, der als Träger zum Einführen bzw. Entnehmen der Temperaturmeß-Wafer 10 und den Anschlußpunkt 12 in und aus dem Wärmeofen 3 dient, Stützen 14 a, 14 b, die den Temperatur-Wafer 10 und den Anschlußpunkt 12 tragen. Die Entfernung zwischen den Stützen 14 a und den Stützen 14 b entspricht der Entfer­ nung zwischen den Stützen 11 und den Stützen 13.

Um Profildaten zu erzeugen, wird die Temperaturmeßein­ richtung des Temperaturmeß-Wafers 10 durch die eben be­ schriebene Vorrichtung zur Wärmebehandlung wie folgt durchgeführt. Zunächst werden der Temperaturmeß-Wafer 10 und der mit diesem über die Thermoelemente 15 verbunde­ nen Anschlußbefestigungen 12 auf den Stützen 14 a und 14 b des Trägerarms 14 in dem Inneren des Ofens 3 aufge­ bracht, wie dies durch die gestrichelten Linien in Fig. 1 dargestellt ist. Sodann werden der Temperaturmeß-Wafer 10 und der Anschlußpunkt 12 in den Wärmeofen 3 über den Trägerarm 14 eingeführt, um auf den Stützen 11 und 13 aufgebracht zu werden. Sodann wird der Zylinder 15 der Anschlußantriebseinrichtung 21 angetrieben, um die be­ weglichen Anschlüsse 20 nach unten zu bewegen. Auf diese Weise werden die beweglichen Anschlüsse 20 in Kontakt mit den entsprechenden festen Anschlüssen 19 gebracht. Die auf dem Temperaturmeß-Wafer 10 befestigten Thermo­ elementen 15 sind so mit der Thermoelement-Temperatur­ meßeinrichtung über die festen Anschlüsse 19, die beweg­ lichen Anschlüsse 20 und die Metalldrähte 31 verbunden, um eine Temperaturmessung des Wafers 10 zu ermöglichen. Sodann wird die Tür 5 geschlossen, um das Innere 3 a des Ofens 3 luftdicht abzuschließen. Die Lichtquellen 8 wer­ den eingeschaltet, um den Wafer 10 zu erwärmen, während das Innere 3 a des Ofens evakuiert wird oder - bei Erfor­ dernis - ein Gas in das Innere des Ofens eingebracht wird, wodurch die Temperaturmessungen des Wafers 10 über die Thermoelement-Temperaturmeßeinrichtung stündlich durchgeführt wird unter Erfassen der Ausgangssignale der Thermoelemente 15. Nachdem die Temperaturmessung abge­ schlossen ist, werden der Wafer 10 und die Anschlußbefe­ stigung 12 umgekehrt dem eben beschriebenen Vorgehen entnommen. Die beweglichen Anschlüsse 20 werden nach oben bewegt durch den Zylinder 25 der Anschlußantriebs­ einrichtung 21, um von den festen Anschlüssen 19 ge­ trennt zu werden. Die Tür 5 wird geöffnet, um den Wafer 10 und die Anschlußbefestigung 12 aus dem Ofen 3 über den Trägerarm 14 zu entnehmen.

Die Metalldrähte 16 und 17 der auf dem Wafer 10 befe­ stigten Thermoelemente 15 sind mit den festen Anschlüs­ sen 19 der Anschlußbefestigung 12 verbunden, während die beweglichen Anschlüsse 20 der Anschlußantriebseinrich­ tung 21 in Kontakt gebracht werden mit den festen An­ schlüssen 19, um die Ausgangssignale der Thermoelemente 15 nach außen zu bringen, wodurch die Temperaturen des Wafers 10 über die Thermoelemente 15 gemessen werden kann, während die Tür 5 geschlossen ist, um eine ausrei­ chende Luftdichtheit des Inneren 3 a des Ofens 3 zu ge­ währleisten. Da der mit den Thermoelementen 15 versehene Wafer 10 weiter mit der Anschlußbefestigung 12 in den Ofen eingeführt bzw. aus diesem entnommen wird unter Verwendung eines Trägerarms 14, werden die Metalldrähte 16 und 17 der Thermoelemente 15 nicht miteinander in Be­ rührung kommen bei dem Einführen bzw. Entnehmen.

Obwohl in dem eben dargestellten Ausführungsbeispiel die Anschlußantriebseinrichtung 21 auf dem Dachabschnitt der Kammer 2 befestigt ist, kann dieser auch an den Boden der Kammer 2 befestigt sein. In diesem Fall können die Anschlußbefestigungen 12 auf den Trägern 13 plaziert werden, so daß die festen Anschlüsse 19 nach unten ge­ richtet sind, um den beweglichen Anschlüssen 20 zuge­ wandt zu sein. Weiter können die Thermoelemente 15 zur Temperaturmessung anderer Substrate als eines Wafers verwendet werden. Weiter können statt der dargestellten Lichtquellen 8 andere Lichtquellen verwendet werden.

Die in der vorstehenden Beschreibung, der Zeichnung so­ wie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebigen Kombinatio­ nen in ihren verschiedenen Ausführungsformen für die Er­ findung wesentlich sein.

• Bezugszeichenliste  1  Kammer
   2  Kammer
   2 a  Öffnung
   3  Wärmeofen
   3 a  Innenraum (von 3)
   4  Gehäusekasten
   5  Tür
   6  Luftpassage
   7  Gaszuleitung
   8  Lichtquelle
   9  Reflexionsplatte
  10  Wafer
  11  Stütze
  12  Anschlußbefestigung
  13  Stütze
  13 a  Ausnehmung
  14  Trägerarm
  14 a  Stütze
  14 b  Stütze
  15  Thermoelement
  16  Draht
  17  Draht
  18  Kontaktpunkt
  20  Anschluß
  21  Anschlußantriebselement
  22  Befestigungspunkte
  23  Träger
  24  Zylinderbefestigung
  25  Zylinder
  25 a  Kolbenstange
  26  Platte
  27  Bohrung
  28  Balg
  28 a  Endblockplatte
  29  Stange
  29 a  Flanschabschnitt
  29 b  Hohlraum
  30  Balg

Claims (6)

1. Wärmebehandlungsvorrichtung zur Durchführung einer Wärmebehandlung eines Substrats, gekennzeichnet durch

• - einen Wärmeofen (3) mit einem Einlaß/Auslaß für das Substrat,
• - eine Wärmequelle zum Aufheizen des Wärmeofens (3),
• - eine Tür (5), die an dem Einlaß/Auslaß des Wärme­ ofens (3) befestigt ist,
• - ein Thermoelement (15) bestehend aus zwei Arten von Drähten (16, 17), die einen gemeinsamen Kontaktpunkt (13) haben, der gebildet wird durch Verbindung der Enden der Metalldrähte (16, 17), die auf dem Substrat befe­ stigt sind,
• - eine Anschlußbefestigung (12), die mit festen An­ schlüssen versehen ist entsprechend den Metalldrähten (16, 17) des Thermoelement (15), wobei die anderen Enden der Metalldrähte (16, 17) des Thermoelementes (15) je­ weils mit den festen Anschlüssen verbunden sind,
• - Trägermittel (14) zum Einführen des Substrats, des Thermoelementes (15) und der Anschlußbefestigung (12), die miteinander verbunden sind, in eine vorgegebene Po­ sition in den Wärmeofen (3) durch den Einlaß/Auslaß und zum Entnehmen des Substrats, wobei das Thermoelement (15) und die Anschlußbefestigung (12) miteinander ver­ bunden sind aus der vorgegebenen Position in den Wärme­ ofen (3), und
• - eine Anschlußantriebseinrichtung (21), die mit den festen Anschlüssen entsprechenden beweglichen Anschlüs­ sen (20) versehen ist und auf einem Deckenabschnitt des Wärmeofens (3) befestigt ist,

wobei die Anschlußantriebseinrichtung (21) die bewegli­ chen Anschlüsse gegen die Ofenfläche beweglich hält, so daß diese frei beweglich sind zwischen einer Position in Berührung mit bzw. mit Abstand zu den festen Anschlüs­ sen, die in der vorgegebenen Position der Ofenfläche ge­ halten werden, wodurch Ausgangssignale des Thermoelemen­ tes von den beweglichen Anschlüssen herausgeführt wer­ den.

2. Wärmebehandlungsvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die beweglichen Anschlüsse (20) mittels eines Zylinders (25) hin- und herbewegt werden.

3. Wärmebehandlungsvorrichtung nach einem der voran­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Thermoelementen (15) auf dem Substrat befe­ stigt sind und eine Vielzahl von Paaren von festen An­ schlüssen (19) und beweglichen Anschlüssen (20) entspre­ chend der Vielzahl von Thermoelementen (15) vorgesehen sind.

4. Wärmebehandlungsvorrichtung nach einem der voran­ gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die An­ schlußantriebseinrichtung (20) auf dem Dach des Wärme­ ofens (3) angeordnet ist.

5. Wärmebehandlungsvorrichtung nach einem der Ansprü­ che 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlußan­ triebseinrichtung (21) auf dem Boden des Wärmeofens (3) angeordnet ist.