DE3727866C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3727866C2 DE3727866C2 DE3727866A DE3727866A DE3727866C2 DE 3727866 C2 DE3727866 C2 DE 3727866C2 DE 3727866 A DE3727866 A DE 3727866A DE 3727866 A DE3727866 A DE 3727866A DE 3727866 C2 DE3727866 C2 DE 3727866C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- weight
- roberval
- scales
- controller
- rotatable element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
- B65B1/00—Packaging fluent solid material, e.g. powders, granular or loose fibrous material, loose masses of small articles, in individual containers or receptacles, e.g. bags, sacks, boxes, cartons, cans, or jars
- B65B1/30—Devices or methods for controlling or determining the quantity or quality or the material fed or filled
- B65B1/32—Devices or methods for controlling or determining the quantity or quality or the material fed or filled by weighing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
- B67C—CLEANING, FILLING WITH LIQUIDS OR SEMILIQUIDS, OR EMPTYING, OF BOTTLES, JARS, CANS, CASKS, BARRELS, OR SIMILAR CONTAINERS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; FUNNELS
- B67C3/00—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus; Filling casks or barrels with liquids or semiliquids
- B67C3/02—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus
- B67C3/20—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus with provision for metering the liquids to be introduced, e.g. when adding syrups
- B67C3/202—Bottling liquids or semiliquids; Filling jars or cans with liquids or semiliquids using bottling or like apparatus with provision for metering the liquids to be introduced, e.g. when adding syrups by weighing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
- B65B1/00—Packaging fluent solid material, e.g. powders, granular or loose fibrous material, loose masses of small articles, in individual containers or receptacles, e.g. bags, sacks, boxes, cartons, cans, or jars
- B65B1/04—Methods of, or means for, filling the material into the containers or receptacles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
- B65B3/00—Packaging plastic material, semiliquids, liquids or mixed solids and liquids, in individual containers or receptacles, e.g. bags, sacks, boxes, cartons, cans, or jars
- B65B3/26—Methods or devices for controlling the quantity of the material fed or filled
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65B—MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGING ARTICLES OR MATERIALS; UNPACKING
- B65B3/00—Packaging plastic material, semiliquids, liquids or mixed solids and liquids, in individual containers or receptacles, e.g. bags, sacks, boxes, cartons, cans, or jars
- B65B3/26—Methods or devices for controlling the quantity of the material fed or filled
- B65B3/28—Methods or devices for controlling the quantity of the material fed or filled by weighing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Basic Packing Technique (AREA)
- Filling Of Jars Or Cans And Processes For Cleaning And Sealing Jars (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Weight Measurement For Supplying Or Discharging Of Specified Amounts Of Material (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein gewichtsbetätigtes Füllsystem
vom Rotationstyp, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1,
in dem der Füllbetrieb abgeschlossen
wird, wenn ein durch eine Waage festgestelltes Gewicht
einen vorgegebenen Wert erreicht und genauer ein
gewichtsbetätigtes Füllsystem vom Rotationstyp, das eine
Roberval-Waage einsetzt.
Gewichtsbetätigte Füllsysteme vom Rotationstyp, die eine
Roberval-Waage einsetzen sind bekannt (siehe japanische
Patentoffenlegungsschrift, 57-111 417), die ein drehbares
Element, das zur Rotation in eine Richtung angetrieben
wird, eine Roberval-Waage, die einen horizontalen Balken
aufweist, von dem ein Ende mit dem drehbaren Element
verbunden ist und von dem das andere oder freie Ende mit
einem Tragetisch verbunden ist, auf dem ein Gefäß steht,
ein Füllventil, das über dem Tragetisch zum Füllen des
Gefäßes, das auf dem Tragetisch steht, angeordnet ist,
und eine Steuerung umfaßt, die in Abhängigkeit von einem
Meßsignal von der Roberval-Waage das Öffnen und das
Schließen des Füllventils steuert. Wenn das durch die
Roberval-Waage festgestellte Gewicht einen vorgegebenen
Wert erreicht, schließt die Steuerung das Ventil.
Um die Anordnung einer Roberval-Waage in einem
gewichtsbetätigten Füllsystem zu erleichtern, ist in der
Konstruktion nach dem Stand der Technik der horizontal
angeordnete Balken normalerweise so angeordnet, daß er in
der radialen Richtung des drehbaren Elements ausgerichtet
ist, wobei das radial innere Ende des Balkens an dem
drehbaren Element gelagert ist und das andere oder radial
äußere Ende mit dem Tragetisch verbunden ist.
Man stellt fest, daß eine Roberval-Waage in der Lage ist,
eine Messung höherer Präzision auszuführen als andere
Waagen und dementsprechend brachte die Anordnung der Waage
keine Schwierigkeiten, wenn ein üblicher Füllstoff
abgefüllt wird. Wenn jedoch bestimmte Füllstoffe, wie z.B.
ein Arzneimittel abgefüllt werden, was einen Abfüllvorgang
mit einem sehr genau festgelegten Gewicht verlangt, stellt
man fest, daß die oben beschriebene Anordnung bewirkt, daß
das Gewicht, das festgestellt wird, einen etwas kleineren
Wert als den tatsächlichen Wert aufweist, weil die
Zentrifugalkraft einen nach oben gerichteten Anteil hat,
der auf das Gefäß auf dem Tragetisch und auf dessen Inhalt
wirkt. Man stellt weiter fest, daß der nach oben
gerichtete Anteil der Zentrifugalkraft sich mit der Anzahl
der Umdrehungen des drehbaren Elements verändert, was eine
Veränderung des Gewichts des Füllstoffs, der eingefüllt
wird, mit sich bringt.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, bei einem gewichtsbetätigten
Füllsystem vom Rotationstyp gemäß dem
Oberbegriff des Patentanspruches 1, welches zur Gewichtsbestimmung
eine Roberval-Waage verwendet, eine Korrektur
des Einflusses der rotierenden Bewegung auf die Gewichtsbestimmung
zu erreichen, um eine Bestimmung des echten
Gewichts, insbesondere das verläßliche Einfüllen tatsächlichen
Füllstoffes mit einem vorgegebenen Gewicht zu ermöglichen.
Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 angegebenen
Merkmale gelöst.
Gemäß der Erfindung wird ein Rotationsdetektor für die
Erfassung der Rotation des drehbaren Elements vorgesehen
und das Erfassungssignal des Detektors wird an die
Steuerung weitergegeben. Auf das Meßsignal der
Roberval-Waage und das Erfassungssignal des
Rotationsdetektors zurückgehend bewirkt die Steuerung eine
Korrektur des Gewichts, das durch die Roberval-Waage
festgestellt wird, aufgrund eines nach oben gerichteten
Anteils der Zentrifugalkraft, die auf das Gefäß und den
Füllstoff wirkt, um das tatsächliche Gewichts abzuleiten.
Wenn das tatsächliche Gewicht einen vorgegebenen Wert
erreicht, wird das Füllventil geschlossen.
Mit der beschriebenen Anordnung kann jeder
aufwärtsgerichtete Anteil der Zentrifugalkraft, der auf das
Gefäß und den Füllstoff wirkt und die Erfassung eines
Gewichts, das kleiner als das tatsächliche Gewicht ist,
verursacht, korrigiert werden, um das Schließen des
Füllventils auf der Grundlage des tatsächlichen Gewichts
zu ermöglichen. Auf diese Art kann ein Füllstoff mit einem
vorgegebenen Gewicht verläßlich in das Gefäß eingefüllt
werden, unabhängig von der Veränderung in der Anzahl der
Umdrehungen des drehbaren Elements. Die oben genannte
Aufgabe, Eigenschaften und Vorteile der Erfindung
werden verständlich aus der folgenden Beschreibung einer
Ausführungsform der Erfindung unter Bezugnahme auf die
Zeichnung.
Fig. 1 zeigt einen Querschnitt einer Ausführungsform der
Erfindung.
Fig. 2 zeigt einen Querschnitt entlang einer anderen Ebene
der Ansicht aus Fig. 1.
Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung eines
aufwärtsgerichteten Anteils der Zentrifugalkraft, die sich
bei Roberval-Waagen zeigt.
Bezugnehmend auf die Zeichnungen und speziell auf Fig. 1
umfaßt eine gewichtsbetätigtes Füllsystem vom Rotationstyp
ein zylindrisches drehbares Element (1), das auf einer
vertikalen Welle befestigt ist (nicht dargestellt), und
das für Rotation in eine Richtung angetrieben wird. Das
drehbare Element (1) nimmt in sich eine Vielzahl von
Roberval-Waagen (parallelogrammförmige Waagen) (2) auf.
Eine Anzahl von Roberval-Waagen (2) sind in der Nähe der
äußeren Wand (3) des drehbaren Elements (1) in gleichem
Abstand entlang des Umfangs angeordnet. Jede Waage (2)
enthält einen horizontal angeordneten Balken (4) der
entlang der Radialrichtung des drehbaren Elements (1)
angeordnet ist, wobei das radialinnere Ende (4 a) des
Balkens (4) am drehbaren Element (1) über ein Halteelement
(5), das seinerseits fest an der äußeren Wand (3)
befestigt ist, gehalten wird.
Jeder Balken besitzt ein radialäußeres oder freies Ende
(4 b), an dem ein Verbindungselement (6) angebracht ist.
Das Verbindungselement (6) reicht frei durch eine Öffnung
(7) in der Wand (3) hindurch, wobei sein freies Ende aus
dem drehbaren Element (1) herausragt. Ein Tragetisch (9),
der einen Behälter (8) trägt, ist mit dem herausstehenden
Ende des Verbindungselements (6) so befestigt, daß er
horizontal gegenüber der Roberval-Waage (2) mit der
äußeren Wand (3) des drehbaren Elements (1) dazwischen
angeordnet ist. Labyrinthelemente (10, 11) sind an dem
Verbindungselement (6) und an der Öffnung (7) befestigt, um
eine Abdichtung zwischen dem Innenraum und dem Außenraum
des drehbaren Elements (1) so gut wie möglich zu schaffen.
Die Roberval-Waage (2) umfaßt bekannterweise grundlegend
einen Dehnungsmeßstreifen, der auf dem Balken (4)
befestigt ist, und der dazu dient, das Gewicht, das auf
das freie Ende (4 b) des Balkens (4) aufgebracht wird,
festzustellen. Bei der Roberval-Waage (2), die in der
vorliegenden Erfindung eingesetzt wird, ist eine
Roberval-Waage (2′) von identischem, aber kleinerem
Aufbau, unter dem Balken (4) angeordnet und ein
Einstellstift (12) ist am freien Ende des Balkens (4′) so
befestigt, daß er mechanisch mit dem freien Ende (4 b) des
Balkens (4) verbunden ist. Wenn das freie Ende (4 b) des
Balkens (4) nach unten versetzt wird, wird diese
Versetzung über den Einstellstift (12) übertragen und
bewirkt eine nach unten gerichtete Versetzung des Balkens
(4′) der Waage (2′), wobei es möglich wird, durch einen
Dehnungsmeßstreifen (nicht dargestellt), der auf dem Balken
(4′) befestigt ist, das Gewicht zu bestimmen, das auf das
freie Ende (4 b) des Balkens (4) aufgebracht wird.
Ein Füllventil (15) ist über jedem Tragetisch (9) für die
Befüllung eines Gefässes (8) mit einem flüssigen Inhalt
angeordnet, das auf dem Tragetisch (9) steht. Jedes
Füllventil (15) ist am oberen Ende eines Anhebeelements
(16) befestigt, das anhebbar auf dem drehbaren Element (1)
befestigt ist und auf und ab durch einen Hebemechanismus
angetrieben wird, der innerhalb des drehbaren Elements
(1), wie später beschrieben wird, enthalten ist.
Jedes Füllventil umfaßt ein Ventilgehäuse (17), das in
Form eines Fülldurchlasses (18) in seinem axial unteren
Ende ausgebildet ist, wobei das obere Ende des Durchlasses
(18) mit einem Tank (nicht dargestellt) der einen Vorrat
der Flüssigkeit, die abgefüllt werden soll, enthält, über
eine radiale Bohrung und eine daran angeschlossene
flexible Zuleitung verbunden ist. Das untere Ende des
Durchlasses (18) steht in Verbindung mit einer Fülldüse
(21), die an dem Ventilgehäuse (17) befestigt ist.
Das Ventilgehäuse (17) enthält ein Ventil (25) mit einem
zylindrischen Faltenbalg mit geschlossenem Boden. Das
Ventil (25) ist mit einer Kolbenstange (27), einer
Zylindereinheit (26) so verbunden, daß wenn die
Kolbenstange (27) nach unten bewegt wird, ein
Ventilelement (25 a), das am Boden des Ventils ausgebildet
ist, dazu gezwungen wird, auf dem Ventilsitz (17 a)
aufzusitzen, der im Ventilgehäuse (17) ausgebildet ist,
wodurch der Fülldurchlaß (18) verschlossen wird.
Das obere Ende der Kolbenstange (27) wird durch einen
Kolben der Zylindereinheit (26) gebidet, über dem eine
erste Druckkammer (29) festgelegt ist und unter dem sich
eine zweite Druckkammer (30) befindet. Das Ventilgehäuse
(17) ist mit einem ersten Versorgungskanal (31), durch den
Druckluft in die erste Druckkammer (29) gefüllt werden
kann, ausgestattet, um den Kolben (28) und die
Kolbenstange (27) nach unten zu bewegen, wodurch das
Ventilelement (25 a) auf dem Ventilsitz (17 a) aufsitzt, und
der Fülldurchlaß (18) verschlossen wird.
Das Ventilgehäuse (17) ist auch mit einem zweiten
Versorgungskanal (32) ausgerüstet, durch den Druckluft in
die zweite Druckkammer (30) geleitet werden kann, was
bewirkt, daß der Kolben (28) und die Kolbenstange (27)
nach oben bewegt werden, wodurch das Ventilelement (25 a)
vom Ventilsitz (27 a) wegbewegt wird, wodurch der
Fülldurchlaß (18) geöffnet wird.
Ein zweiter Kolben (33) ist anhebbar im Ventilgehäuse (17)
an einer Stelle unterhalb des Kolbens (28) eingepaßt,
wobei die Kolbenstange (27) verschiebbar durch den
Schaftteil des zweiten Kolbens (33) hindurchragt. Der
zweite Kolben (33) besitzt einen größeren Durchmesser als
der Kolben (28) und die zweite Druckkammer (30) liegt über
dem zweiten Kolben, während sich eine dritte Druckkammer
(34) unterhalb des zweiten Kolbens (33) befindet.
Wenn dementsprechend Druckluft in die zweite Druckkammer
(30) der Zylindereinheit (26) eingeleitet wird, befindet
sich der zweite Kolben (33) an seinem unteren Ende, um
eine nach oben gerichtete Bewegung des Kolbens (28) zu
ermöglichen. Der Fülldurchlaß (18) ist unter diesen
Bedingungen vollständig geöffnet. Wenn im Gegensatz dazu
Druckluft in die dritte Druckkammer (34) durch einen
Versorgungskanal (35), der innerhalb des Ventilgehäuses
(17) ausgebildet ist, eingeleitet wird, um dem zweiten
Kolben (33) an sein oberes Ende zu bringen, während
gleichzeitig Druckluft in die erste Druckkammer (29)
geleitet wird, um den Kolben (28) nach unten zu bewegen,
so wird die freie, nach unten gerichtete Bewegung des
Kolbens (28) beschränkt durch den Anschlag am zweiten
Kolben (33) bevor der Kolben (28) seine untere Endlage
erreicht, wodurch das Ventil (25) mit einer kleineren
Öffnung bestimmter Größe geöffnet ist.
Zusätzlich zu den Versorgungskanälen (31, 32, 35) ist das
Ventilgehäuse (17) auch mit einem atmosphärischen Kanal
(37) ausgestattet, der die Öffnung einer atmosphärischen
Kammer (36), die in dem Ventil (25) ausgebildet ist, eine
Öffnung zur Atmosphäre ermöglicht, wodurch eine
Veränderung des Volumens der Kammer (36) ermöglichst wird.
Die Kanäle (31, 32, 35 und 37) sind mit den entsprechenden
Kanälen (38 bis 41) verbunden, die in dem anhebenden
Element (16) ausgebildet sind.
Bezugnehmend auf Fig. 2 ragt das Anhebeelement (16)
verschiebbar durch ein Tragerohr (46) das vertikal durch
die obere Wand (45) des drehbaren Elements (1)
hindurchragt, und an einer Stelle zwischen benachbarten
Roberval-Waagen (2) befestigt ist, wobei sein unteres Ende
mechanisch mit dem Anhebemechanismus (47) wie oben
erwähnt, verbunden ist, der innerhalb des drehbaren
Elements (1) enthalten ist.
In der dargestellten Ausführungsform besteht der
Anhebemechanismus (47) aus einem Nockenmechanismus.
Genauer trägt der Anhebemechanismus (16) ein erstes
Nockenstößel (48) an seinem unteren Ende, das so
angeordnet ist, das es um eine ringförmige stationäre
Kurvenscheibe (49) abrollbar ist, die an einem
Maschinenrahmen befestigt ist. Das Anhebeelement (16)
trägt ebenso ein zweites Nockenstößel (50) an seinem
Boden, das für den Eingriff mit einem vertikal
verlaufenden Schloßkanal (51), der in dem drehbaren
Element (1) ausgebildet ist, vorgesehen ist, wodurch das
Anhebeelement (16) an einer Rotation gehindert wird.
Im Hinblick auf die Kanäle (38 bis 41), die innerhalb des
Anhebeelements (16) ausgebildet sind, öffnet der Kanal
(41), der mit der atmosphärischen Kammer (36) verbunden
ist, gegen die Atmosphäre an dem unteren Ende des
Anhebeelements (16), während die verbleibenden Kanäle (38
bis 40) mit einer Druckluftquelle über eine flexible
Zuleitung (52) und ein Magnetventil (nicht dargestellt)
verbunden sind.
Wie in Fig. 1 angedeutet, wird ein Meßsignal von der
Roberval-Waage (2) zu einer Steuerung (56) geführt, die
einen Microcomputer umfaßt, ebenso wie das
Erfassungssignal des Rotationsdetektors (57), wie eine
Kodiereinrichtung, die die Anzahl der Umdrehungen des
drehbaren Elements (1) feststellt, zu der Steuerung (56)
geführt wird.
Bezugnehmend auf Fig. 3 wird das Gesamtgewicht W
dargestellt durch die folgende Gleichung, wobei eine
kombinierte Masse des Gefäßes (8), das mit einer
Flüssigkeit gefüllt ist, die durch die Roberval-Waage (2)
gewogen wird, durch m und die Erdbeschleunigung durch g
wiedergegeben wird:
W = mg (1)
Ist F die Zentrifugalkraft, die auf das Gefäß (8) wirkt, r
der Zentralradius des Gefäßes in bezug auf den
Zentralpunkt der Drehung und v die
Rotationsgeschwindigkeit des Gefäßes, wird die
Zentrifugalkraft F wiedergegeben durch Gleichung (2), die
unten angegeben ist. Es ist verständlich, daß die
Rotationsgeschwindigkeit des Gefäßes aus der Anzahl der
Umdrehungen des drehbaren Elements (1) abgeleitet wird:
F = mv²/r (2)
Wenn das Gewicht W auf das freie Ende (4 b) der
Roberval-Waage (2) wirkt, um eine Ablenkung des Balkens
(4) nach unten um einen Winkel R zu bewirken, wird ein
nach oben gerichteter Anteil F′ der Zentrifugalkraft
erzeugt, der durch die folgende Gleichung gegeben ist:
F′ = F × tan R = (mv² × tan R)/r (3)
Man stellt fest, daß der Wert von tan R aus der
Neigungsempfindlichkeit der Roberval-Waage (2) abgeleitet
wird. Aus einer Untersuchung der Fig. 3 wird ersichtlich,
daß das festgestellte Gewicht W′, das durch die
Roberval-Waage (2) festgestellt wird, das tatsächlich
Gewicht W wiedergibt, von dem der nach oben gerichtete
Anteil F′ der Zentrifugalkraft abgezogen wurde, wobei der
Anteil F′ mit der Rotationsgeschwindigkeit v oder der
Anzahl der Umdrehungen des drehbaren Elements (1) variiert.
Dementsprechend kann durch den Einsatz der Steuerung (56),
die einen Microcomputer enthält, die Größe des nach oben
gerichteten Anteils F′ der Zentrifugalkraft, die auf das
Gefäß (8) und dessen Inhalt wirkt, berechnet werden, und
zu dem festgestellten Gewicht W′ addiert werden, das durch
die Roberval-Waage (2) festgestellt wird, um das
tatsächliche Gewicht W auf der Basis des Erfassungssignals
des Detektors (57) und des Meßsignals der Waage (2) zu
erhalten.
Die Steuerung (56) kann derart arbeiten, daß sie das
tatsächliche Gewicht W in Übereinstimmung mit den oben
angegebenen Gleichungen zu den Zeitpunkten ermittelt, an
denen Signale von der Roberval-Waage (2) und dem
Rotationsdetektor (57) geliefert werden. Um jedoch die
Zeit, die für die Berechnung notwendig ist, zu verkürzen,
kann zuvor eine Tabelle aufgestellt werden, in der das
festgestellte Gewicht W′ in der Ordinate aufgenommen
wurde, während die Anzahl der Umdrehungen des drehbaren
Elements (1) in der Abszisse aufgenommen wurde, so daß der
Anteil F′ oder das tatsächliche Gewicht W aus einer
speziellen Kombination der beiden Koordinaten entnommen
werden kann. Eine derartige Tabelle kann in einem Speicher
des Microcomputers abgelegt sein. Mit dieser Anordnung
erhält man direkt aus der Tabelle, sobald ein Meßsignal
von der Waage (2) und ein Erfassungssignal vom Detektor
(57) eingegeben wird, den Anteil F′ oder das tatsächliche
Gewicht W.
Im Betrieb speichert die Steuerung (56) das tatsächliche
Gewicht des leeren Gefäßes (8) in Abhängigkeit von den
Eingangssignalen der Roberval-Waage (2) und dem
Rotationsdetektor (57), wenn ein leeres Gefäß (8) von
einem Versorgungssternrad (nicht dargestellt) auf den
Tragetisch (9) gestellt wird. Das Versorgungssternrad
dreht sich dabei synchron mit dem drehbaren Element (1)
und der Vorgang läuft ab unter der Bedingung, daß das
Füllventil (15) sich in seiner oberen Position befindet
und das Ventil (25) geschlossen ist. Gleichzeitig werden
das Anhebeelement (16) und das Füllventil (15) durch das
Nockenprofil der stationären Kurvenscheibe (49) so
angetrieben, daß sie sich abwärts bewegen, wodurch das
untere Ende der Einfülldüse (21) in das Gefäß (8)
eingeführt wird.
Es muß darauf hingewiesen werden, daß die Steuerung (56)
eine Anzeige für die Winkellage der Rotation des drehbaren
Elements (1) besitzt als Ergebnis eines Eingabewertes von
dem Rotationsdetektor (57) oder eines anderen Detektors
(nicht dargestellt) und daß, wenn sie feststellt, daß das
drehbare Element (1) sich in eine bestimmte Winkelposition
gedreht hat, in der das untere Ende der Einfülldüse (21)
sich in dem Gefäß (8) befindet, sie ein Magnetventil
(nicht dargestellt) öffnet, um Druckluft in die zweite
Druckkammer (30) zu leiten, wodurch das Ventil (25)
vollständig geöffnet wird und wodurch Flüssigkeit aus dem
Tank durch die Zuleitung (20), die radiale Bohrung (19),
den Einfülldurchlaß (18) und die Einfülldüse (21)
herangeführt wird, um das Gefäß (8) zu füllen. Wenn
während des Einfüllens der Flüssigkeit in das Gefäß (8)
fortgesetzt wird, das Gewicht einen vorher festgelegten
Wert erreicht, schaltet die Steuerung (56) das oben
beschriebene Magnetventil, wodurch Druckluft in die erste
Druckkammer (29) und die dritte Druckkammer (34)
gleichzeitig geleitet wird. Als Folge davon wird die
Öffnung des Ventils (25) verkleinert, wodurch die
Flüssigkeit in kleinen Mengen eingefüllt wird. Wenn die
Steuerung (56) feststellt, daß ein bestimmtes Gewicht
erreicht wurde, wird die Druckluft nur noch in die erste
Druckkammer (29) geleitet, wodurch das Ventil (25)
geschlossen wird.
An dieser Stelle wird darauf hingewiesen, daß das Ventil
(25) durch die Steuerung (56) geschlossen wird, wodurch
die Druckluft nur in die erste Druckkammer (29) geleitet
wird, wenn festgestellt wird, daß das kombinierte Gewicht
des Gefäßes (8) und dessen Inhalts, wovon das Gewicht des
leeren Gefäßes (8), das zuvor ermittelt wurde, abgezogen
wird oder das tatsächliche Gewicht der eingefüllten
Flüssigkeit allein gleich einem vorgegebenen Wert auf der
Grundlage der Eingangssignale von der Roberval-Waage (2)
und dem Rotationsdetektor (57) ist. Dementsprechend ist
sichergestellt, daß ein vorgegebenes Gewicht der
Flüssigkeitsfüllung in das Gefäß (8) eingefüllt werden
kann, unabhängig von jeder Art der Veränderung in der
Anzahl der Umdrehungen des drehbaren Elements (1) oder
einer Veränderung des Gewichts des Gefäßes (8).
In der vorliegenden Ausführungsform sind die
Roberval-Waage (2) und der Tragetisch (9) zueinander in
der horizontalen Richtung auf den gegenüberliegenden
Seiten der Außenwand (3) des drehbaren Elements (1) im
wesentlichen ausgerichtet und miteinander durch die
Verbindungselemente (6) verbunden, die durch die Öffnung
(7), die in der Wand (3) ausgebildet ist, hindurchreichen.
Falls die eingefüllte Flüssigkeit von dem Füllventil (15),
das über dem Tragetisch (9) angeordnet ist, verschüttet
wird, ist dementsprechend die Wahrscheinlichkeit, daß
diese Flüssigkeit durch die Öffnung (7) hindurchdringt und
die Roberval-Waage (2) verschmutzt, erheblich verkleinert
gegenüber der Anordnung gemäß dem Stand der Technik, in
dem die Öffnung vertikal in der oberen Wand angeordnet ist.
In der vorliegenden Ausführungsform reichen die Kanäle
(31, 32, 35 und 37), die den Betriebsdruck oder den
atmosphärischen Druck für die Zylindereinheit (26)
bereitstellen, durch die Kanäle (38 bis 41), die innerhalb
des Anhebeelements (16) ausgebildet sind, in das drehbare
Element (1), das als Hauptgehäuse dient und sind dann mit
einer Druckquelle, wie z.B. einen Druckluftanschluß, über
die Zuleitung (52) aus dem Inneren des drehbaren Elements
(1) verbunden, wodurch der Einsatz von außenliegenden
Zuleitungen außerhalb des drehbaren Elements vermieden
wird, die erforderlich wären, wenn die Zylindereinheit
(26) direkt mit flexiblen Zuleitungen angeschlossen ist.
Dies beseitigt die Notwendigkeit, die Zuleitungen
zusätzlich zu spülen, auch wenn das Füllventil (15) und
der Zylinder (26) integral zusammenhängend ausgebildet
sind, wobei das Füllventil (15) und der Zylinder (26)
gespült werden können, indem sie lediglich von dem
Anhebeelement (16) entfernt werden, ohne die
Notwendigkeit, daß die Zuleitungen von der Zylindereinheit
entfernt werden, was gemäß dem Stand der Technik
erforderlich war, wodurch der Füllvorgang verbessert wird.
Man stellt fest, daß eine Vielzahl von Konfigurationen als
Steuerung (56) eingesetzt werden können. In einer Form
kann das tatsächliche Gewicht festgestellt werden,
jedesmal wenn die Roberval-Waage (2) ein gemessenes
Gewicht bereitstellt und der Füllvorgang kann unterbrochen
werden, wenn das tatsächliche Gewicht einen gegebenen Wert
erreicht. In einer anderen Form kann ein Korrekturwert
zuvor berechnet werden auf der Grundlage des gegebenen
Wertes des tatsächlichen Gewichts und der Anzahl der
Umdrehungen des drehbaren Elements (1) und kann zu dem
festgestellten Gewicht der Roberval-Waage (2) addiert
werden, um den Einfüllvorgang dann zu unterbrechen, wenn
die Summe einen gegebenen Wert erreicht. In einer weiteren
Form kann der Korrekturwert von einem vorher festgelegten
Wert des tatsächlichen Gewichts abgezogen werden, um einen
Wert für das festgestellte Gewicht zu erhalten, dessen
Erkennung durch die Roberval-Waage (2) den Einfüllvorgang
beendet.
In der beschriebenen Ausführungsform umfaßt die Steuerung
(56) eine einzelne Einheit, aber es wird darauf
hingewiesen, daß eine geeignete Anordnung eingesetzt
werden kann, abhängig von der Verarbeitungsgeschwindigkeit
und den Kostenerfordernissen. Z.B. können mehrere
Steuerungen eingesetzt werden, um eine oder mehrere
Ventile (25) zu steuern. Alternativ kann die Steuerung
eine Hauptsteuerung und mehrere Untersteuerungen umfassen,
in der Form, daß die einzelnen Untersteuerungen das
tatsächliche Gewicht für jede zugeordnete Waage (2)
feststellen, während die Hauptsteuerung das Öffnen der
einzelnen Ventile (25) steuert, in Abhängigkeit von
Signalen, die von den Untersteuerungen geliefert werden.
Während die Erfindung oben dargestellt und beschrieben
wurde in Verbindung mit einer Ausführungsform, ist es
verständlich, daß eine Anzahl von Veränderungen,
Ersetzungen oder Modifikationen für einen Fachmann,
ausgehend von der Offenbarung, selbstverständlich sind
ohne den Bereich der Erfindung, die durch die
voranstehenden Patentansprüche festgelegt sind, zu
verlassen.
Claims (10)
1. Gewichtsbetätigtes Füllsystem vom Rotationstyp mit
- - einem drehbaren Element (1), das zur Rotation in einer Richtung angetrieben wird,
- - einer Roberval-Waage (2), die horizontal angeordnet ist, von der ein Ende mit dem drehbaren Element (1) und ein anderes oder freies Ende mit einem Tragetisch (9), auf dem ein Gefäß (8) steht, verbunden ist,
- - einem Füllventil (15), das über dem Tragetisch (9) zur Füllung des Gefäßes (8), das auf dem Tragetisch (9) steht, angeordnet ist,
- - einer Steuerung (56), die ein Meßsignal von der Roberval-Waage (2) empfängt und das Öffnen und das Schließen des Füllventils (15) steuert, wobei die Steuerung (56) das Füllventil (15) schließt, wenn das Gewicht, das durch die Roberval-Waage festgestellt wird, einen vorgegebenen Wert erreicht,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein Rotationsdetektor (57) vorgesehen ist, der die
Rotation des drehbaren Elements (1) feststellt, wobei
ein Erfassungssignal vom Detektor (57) der Steuerung
(56) zugeführt wird, die auf das Meßsignal der
Roberval-Waage (2) und das Erfassungssignal des
Rotationsdetektors (57) reagiert, um das tatsächliche
Gewicht zu ermitteln, durch die Korrektur des
Gewichts, das durch die Roberval-Waage (2)
festgestellt wird, um einen nach oben gerichteten
Anteil der Zentrifugalkraft, der auf das Gefäß (8) und
dessen Inhalt einwirkt, und wobei die Steuerung (56)
das Füllventil (15) schließt, wenn das tatsächliche
Gewicht einen vorgegebenen Wert erreicht.
2. Gewichtsbetätigtes Füllsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein Mikroprozessor innerhalb der Steuerung (56) das
tatsächliche Gewicht auf der Grundlage des Meßsignals
von der Roberval-Waage (2) und des Erfassungssignals
vom Detektor (57) berechnet.
3. Gewichtsbetätigtes Füllsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Steuerung (56) die Korrekturwerte für gegebene Werte
des tatsächlichen Gewichts und der veränderlichen
Anzahl der Umdrehungen des drehbaren Elements (1)
abspeichert, so daß einer der Korrekturwerte der
einer vorherrschenden Anzahl von Umdrehungen
entspricht, zu dem von der Roberval-Waage (2)
festgestellten Gewicht addiert wird, um das
tatsächliche Gewicht zu erhalten.
4. Gewichtsbetätigtes Füllsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Steuerung (56) die Korrekturwerte vorher berechnet in
Übereinstimmung mit dem gegebenen Wert des
tatsächlichen Gewichts und einer veränderlichen
Anzahl von Umdrehungen des drehbaren Elements (1)
einen Wert des festgestellten Gewichts abspeichert,
der einem gegebenen Wert des tatsächlichen Gewichts
durch Subtraktion eines ausgewählten Korrekturwertes
von diesem Wert entspricht und den Einfüllvorgang
abbricht, wenn das festgestellte Signal von der
Roberval-Waage (2) ein ermitteltes Gewicht, das auf
diese Art festgelegt wurde, erreicht.
5. Gewichtsbetätigtes Füllsystem nach Anspruch (1),
dadurch gekennzeichnet, daß eine
Vielzahl von Steuerungen vorgesehen ist, wobei jede
Steuerung das Öffnen oder Schließen von einem oder
mehreren Füllventilen steuert.
6. Gewichtsbetätigtes Füllsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Steuerung (56) eine Hauptsteuerung und eine Vielzahl
von Untersteuerungen umfaßt, die jeweils
Roberval-Waagen zugeordnet sind, wobei jede
Untersteuerung genau einer Roberval-Waage zugeordnet
ist, um die Berechnung des Gewichts auszuführen und
wobei die Hauptsteuerung auf Signale, die von der
Untersteuerung herangeführt werden, reagiert, um das
Öffnen und das Schließen der einzelnen Füllventile zu
steuern.
7. Gewichtsbetätigtes Füllsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der
Tragetisch (9) außerhalb des drehbaren Elements (1)
angeordnet ist, während die Roberval-Waage (2)
innerhalb des drehbaren Elements angeordnet ist, so
daß der Tragetisch (9) und die Roberval-Waage (2) im
wesentlichen einander gegenüberliegend mit der
Außenwand des drehbaren Elements (1) zwischen ihnen
liegend angeordnet sind und wobei die Außenwand (3)
eine Öffnung aufweist, durch die ein
Verbindungselement (6) hindurchragt, um den
Tragetisch (9) mit der Roberval-Waage (2) zu
verbinden.
8. Gewichtsbetätigtes Füllsystem nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß eine
zweite kleinere Roberval-Waage (2′) unterhalb der
Roberval-Waage (2) angeordnet ist, wobei die
Roberval-Waage (2′), die darunter angeordnet ist,
einen horizontal gelagerten Balken (4′) umfaßt, von
dem ein Ende mit dem drehbaren Element (1) verbunden
ist, und von dem ein anderes freies Ende mechanisch
mit der Roberval-Waage (2) gekoppelt ist, darüber
angeordnet ist, und wobei die Roberval-Waage (2′),
die darunter angeordnet ist, dazu dient, ein Gewicht
festzustellen, das auf den Tragetisch (9) wirkt, der
mit der Roberval-Waage (2) die darüber liegt,
verbunden ist.
9. Gewichtsbetätigtes Füllsystem nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß es weiter
ein Anhebeelement (16), das anhebbar auf dem
drehbaren Element (1) angeordnet ist, wobei das
Füllventil (15) an dem Anhebeelement außerhalb des
drehbaren Elements (1) befestigt ist, eine
Zylindereinheit (26), die mechanisch mit dem
Füllsystem für das Öffnen und Schließen verbunden ist
und einen Anhebemechanismus (47) umfaßt für die Auf-
und Abbewegung des Anhebeelements (16), wobei ein
Versorgungskanal, der einen Betriebsdruck zu der
Zylindereinheit (26) leitet, in dem Anhebeelement
(16) ausgebildet ist, und in das drehbare Element (1)
ragt, um mit einer Zuleitung und schließlich mit
einer Druckquelle verbunden zu werden.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61194151A JPH0798521B2 (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 | 回転式重量充填装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3727866A1 DE3727866A1 (de) | 1988-02-25 |
DE3727866C2 true DE3727866C2 (de) | 1989-05-11 |
Family
ID=16319764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19873727866 Granted DE3727866A1 (de) | 1986-08-20 | 1987-08-20 | Gewichtsbetaetigtes fuellsystem vom rotationstyp |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US4832092A (de) |
JP (1) | JPH0798521B2 (de) |
KR (1) | KR900004982B1 (de) |
DE (1) | DE3727866A1 (de) |
FR (1) | FR2603017B1 (de) |
GB (1) | GB2195779B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006002711B3 (de) * | 2006-01-19 | 2007-06-28 | Wipotec Wiege- Und Positioniersysteme Gmbh | Wägeaufnehmer |
Families Citing this family (72)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5591267A (en) * | 1988-01-11 | 1997-01-07 | Ohmi; Tadahiro | Reduced pressure device |
US5906688A (en) * | 1989-01-11 | 1999-05-25 | Ohmi; Tadahiro | Method of forming a passivation film |
JP2779937B2 (ja) * | 1988-06-20 | 1998-07-23 | 大和製衡株式会社 | 重量式計量充填包装機 |
US5683072A (en) * | 1988-11-01 | 1997-11-04 | Tadahiro Ohmi | Thin film forming equipment |
JPH02139391A (ja) * | 1988-11-11 | 1990-05-29 | Shigeo Kanetani | 液体供給装置 |
US5789086A (en) * | 1990-03-05 | 1998-08-04 | Ohmi; Tadahiro | Stainless steel surface having passivation film |
JPH0395922A (ja) * | 1989-09-07 | 1991-04-22 | Canon Inc | 半導体薄膜の形成方法 |
US5300460A (en) * | 1989-10-03 | 1994-04-05 | Applied Materials, Inc. | UHF/VHF plasma for use in forming integrated circuit structures on semiconductor wafers |
JP2758948B2 (ja) * | 1989-12-15 | 1998-05-28 | キヤノン株式会社 | 薄膜形成方法 |
US5707486A (en) * | 1990-07-31 | 1998-01-13 | Applied Materials, Inc. | Plasma reactor using UHF/VHF and RF triode source, and process |
EP0609237A1 (de) * | 1991-09-09 | 1994-08-10 | Sematech, Inc. | Isolator gegen harmonische und subharmonische frequenzen bei gasentladung |
US5302882A (en) * | 1991-09-09 | 1994-04-12 | Sematech, Inc. | Low pass filter for plasma discharge |
US5490910A (en) * | 1992-03-09 | 1996-02-13 | Tulip Memory Systems, Inc. | Circularly symmetric sputtering apparatus with hollow-cathode plasma devices |
US5203385A (en) * | 1992-03-31 | 1993-04-20 | Donald Waber | Apparatus and process for automatically reconstituting dry materials, especially pharmaceuticals |
JPH0653137A (ja) * | 1992-07-31 | 1994-02-25 | Canon Inc | 水素化アモルファスシリコン膜の形成方法 |
US5325019A (en) * | 1992-08-21 | 1994-06-28 | Sematech, Inc. | Control of plasma process by use of harmonic frequency components of voltage and current |
US6022458A (en) * | 1992-12-07 | 2000-02-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of production of a semiconductor substrate |
JP3351843B2 (ja) * | 1993-02-24 | 2002-12-03 | 忠弘 大見 | 成膜方法 |
JPH06279185A (ja) * | 1993-03-25 | 1994-10-04 | Canon Inc | ダイヤモンド結晶およびダイヤモンド結晶膜の形成方法 |
US5911856A (en) * | 1993-09-03 | 1999-06-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for forming thin film |
JP3387616B2 (ja) * | 1994-04-18 | 2003-03-17 | キヤノン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP3419899B2 (ja) * | 1994-07-26 | 2003-06-23 | 東京エレクトロン株式会社 | スパッタリング方法及びスパッタリング装置 |
DE69509046T2 (de) * | 1994-11-30 | 1999-10-21 | Applied Materials Inc | Plasmareaktoren zur Behandlung von Halbleiterscheiben |
JPH08220304A (ja) * | 1995-02-13 | 1996-08-30 | Tadahiro Omi | 光学物品及びそれを用いた露光装置又は光学系並びにその製造方法 |
US6224724B1 (en) | 1995-02-23 | 2001-05-01 | Tokyo Electron Limited | Physical vapor processing of a surface with non-uniformity compensation |
US5800688A (en) * | 1997-04-21 | 1998-09-01 | Tokyo Electron Limited | Apparatus for ionized sputtering |
JP3630982B2 (ja) * | 1997-05-22 | 2005-03-23 | キヤノン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
US5921759A (en) * | 1997-10-14 | 1999-07-13 | Sandeep Khan | Liquid metering piston pump and valves capable of being cleaned and sterilized without disassembly |
JP3565311B2 (ja) * | 1997-12-17 | 2004-09-15 | アルプス電気株式会社 | プラズマ処理装置 |
US6287977B1 (en) * | 1998-07-31 | 2001-09-11 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for forming improved metal interconnects |
US6236001B1 (en) * | 1999-08-03 | 2001-05-22 | Wayne W. Shymko | Scoop with weigh scale |
DE10065094A1 (de) * | 2000-12-28 | 2002-07-04 | Wipotec Wiege & Positioniersys | Wägevorrichtung mit Freistellungseinrichtung |
US6631693B2 (en) * | 2001-01-30 | 2003-10-14 | Novellus Systems, Inc. | Absorptive filter for semiconductor processing systems |
US7100532B2 (en) * | 2001-10-09 | 2006-09-05 | Plasma Control Systems, Llc | Plasma production device and method and RF driver circuit with adjustable duty cycle |
US7132996B2 (en) * | 2001-10-09 | 2006-11-07 | Plasma Control Systems Llc | Plasma production device and method and RF driver circuit |
US7084832B2 (en) * | 2001-10-09 | 2006-08-01 | Plasma Control Systems, Llc | Plasma production device and method and RF driver circuit with adjustable duty cycle |
JP4207543B2 (ja) * | 2002-11-21 | 2009-01-14 | 澁谷工業株式会社 | 回転式重量充填装置 |
US7405521B2 (en) * | 2003-08-22 | 2008-07-29 | Lam Research Corporation | Multiple frequency plasma processor method and apparatus |
US7042311B1 (en) | 2003-10-10 | 2006-05-09 | Novellus Systems, Inc. | RF delivery configuration in a plasma processing system |
JP4703965B2 (ja) * | 2004-03-22 | 2011-06-15 | 大和製衡株式会社 | 回転式重量充填装置および回転式重量充填方法 |
KR101277232B1 (ko) * | 2004-09-10 | 2013-06-26 | 카네기 인스티튜션 오브 워싱턴 | 초인성 cvd 단결정 다이아몬드 및 이의 삼차원 성장 |
US7399943B2 (en) * | 2004-10-05 | 2008-07-15 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for metal plasma vapor deposition and re-sputter with source and bias power frequencies applied through the workpiece |
US7268076B2 (en) * | 2004-10-05 | 2007-09-11 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for metal plasma vapor deposition and re-sputter with source and bias power frequencies applied through the workpiece |
US7214619B2 (en) * | 2004-10-05 | 2007-05-08 | Applied Materials, Inc. | Method for forming a barrier layer in an integrated circuit in a plasma with source and bias power frequencies applied through the workpiece |
JP4675612B2 (ja) * | 2004-11-18 | 2011-04-27 | 大和製衡株式会社 | 回転式重量計 |
US20060172536A1 (en) * | 2005-02-03 | 2006-08-03 | Brown Karl M | Apparatus for plasma-enhanced physical vapor deposition of copper with RF source power applied through the workpiece |
US20070074968A1 (en) * | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Mirko Vukovic | ICP source for iPVD for uniform plasma in combination high pressure deposition and low pressure etch process |
US7816612B2 (en) | 2005-12-21 | 2010-10-19 | Ishida Co., Ltd. | Rotary measuring device |
ITBO20060108A1 (it) * | 2006-02-14 | 2007-08-15 | Azionaria Costruzioni Acma Spa | Dispositivo di supporto e pesatura per contenitori. |
US7645710B2 (en) | 2006-03-09 | 2010-01-12 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for fabricating a high dielectric constant transistor gate using a low energy plasma system |
US20070209930A1 (en) * | 2006-03-09 | 2007-09-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for fabricating a high dielectric constant transistor gate using a low energy plasma system |
US7678710B2 (en) | 2006-03-09 | 2010-03-16 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for fabricating a high dielectric constant transistor gate using a low energy plasma system |
US7837838B2 (en) * | 2006-03-09 | 2010-11-23 | Applied Materials, Inc. | Method of fabricating a high dielectric constant transistor gate using a low energy plasma apparatus |
ITBO20070549A1 (it) | 2007-08-02 | 2009-02-03 | Acma Spa | Giostra di supporto e pesatura per contenitori. |
US9856558B2 (en) * | 2008-03-14 | 2018-01-02 | Applied Materials, Inc. | Physical vapor deposition method with a source of isotropic ion velocity distribution at the wafer surface |
US8568571B2 (en) * | 2008-05-21 | 2013-10-29 | Applied Materials, Inc. | Thin film batteries and methods for manufacturing same |
DE102008030721A1 (de) | 2008-07-01 | 2010-01-07 | Krones Ag | Vorrichtung zum Abfüllen von zähfließenden Medien |
US8920611B2 (en) * | 2008-07-15 | 2014-12-30 | Applied Materials, Inc. | Method for controlling radial distribution of plasma ion density and ion energy at a workpiece surface by multi-frequency RF impedance tuning |
US9017533B2 (en) * | 2008-07-15 | 2015-04-28 | Applied Materials, Inc. | Apparatus for controlling radial distribution of plasma ion density and ion energy at a workpiece surface by multi-frequency RF impedance tuning |
JP5773346B2 (ja) * | 2009-03-12 | 2015-09-02 | 株式会社アルバック | セルフイオンスパッタリング装置 |
IT1393740B1 (it) * | 2009-03-27 | 2012-05-08 | Cft Packaging S P A | Dispositivo di riempimento ponderale e riempitrice ponderale |
FR2946623B1 (fr) * | 2009-06-11 | 2016-07-01 | Serac Group | Dispositif de delivrance suspendu et installation de remplissage de recipients comportant de tels dispositifs. |
JP5064533B2 (ja) * | 2010-06-07 | 2012-10-31 | 大和製衡株式会社 | 回転式重量充填装置および回転式重量充填方法 |
CN103608966B (zh) | 2011-06-17 | 2017-02-15 | 应用材料公司 | 无针孔介电薄膜制造 |
DE102011110488B4 (de) * | 2011-08-17 | 2013-05-29 | Flintec Gmbh | Wägevorrichtung für Füllmaschinen zum gewichtsabhängigen Füllen von Behältern sowie Füllmaschine |
US9735280B2 (en) | 2012-03-02 | 2017-08-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, method for manufacturing semiconductor device, and method for forming oxide film |
CN104272519B (zh) | 2012-04-18 | 2017-06-30 | 应用材料公司 | 具有高离子导电性的无针孔固态电解质 |
JP6196529B2 (ja) * | 2013-10-31 | 2017-09-13 | 澁谷工業株式会社 | ピストン式充填機 |
GB201319654D0 (en) * | 2013-11-07 | 2013-12-25 | Spts Technologies Ltd | Deposition of silicon dioxide |
DE102013020638A1 (de) * | 2013-12-16 | 2015-06-18 | Merck Patent Gmbh | Abfüllvorrichtung und deren Verwendung zur Abfüllung eines Fluids |
US10264663B1 (en) | 2017-10-18 | 2019-04-16 | Lam Research Corporation | Matchless plasma source for semiconductor wafer fabrication |
JP7060796B6 (ja) * | 2018-05-09 | 2022-05-17 | 慶應義塾 | 重量充填装置 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3704219A (en) * | 1971-04-07 | 1972-11-28 | Mcdowell Electronics Inc | Impedance matching network for use with sputtering apparatus |
US3785412A (en) * | 1972-01-26 | 1974-01-15 | Richardson Co | Mill apron automatic can filling machine |
US4060109A (en) * | 1976-05-14 | 1977-11-29 | Kewpie Kabushiki Kaisha | Filling quantity regulating system in container filling apparatus |
FR2493800A1 (fr) * | 1980-11-13 | 1982-05-14 | Serac Sa | Procede et dispositif de controle de materiaux de remplissage dans une machine de remplissage a dosage ponderal |
JPS5873821A (ja) * | 1981-10-28 | 1983-05-04 | Yamato Scale Co Ltd | ロ−ドセル式はかり |
US4525262A (en) * | 1982-01-26 | 1985-06-25 | Materials Research Corporation | Magnetron reactive bias sputtering method and apparatus |
US4453575A (en) * | 1982-02-05 | 1984-06-12 | Hi-Speed Checkweigher Co., Inc. | Container filling system |
US4579618A (en) * | 1984-01-06 | 1986-04-01 | Tegal Corporation | Plasma reactor apparatus |
JPS61246631A (ja) * | 1985-04-25 | 1986-11-01 | Tokyo Electric Co Ltd | マルチレンジロ−ドセル秤 |
US4718287A (en) * | 1985-05-07 | 1988-01-12 | Esselte Moreau | Force sensing device for measurement apparatus |
US4703780A (en) * | 1986-10-20 | 1987-11-03 | Velasco Scale Company | Drum filling apparatus and method |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP61194151A patent/JPH0798521B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-08-07 US US07/083,572 patent/US4832092A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-08-12 GB GB8719067A patent/GB2195779B/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-08-14 US US07/085,157 patent/US4824546A/en not_active Ceased
- 1987-08-19 FR FR878711729A patent/FR2603017B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1987-08-20 KR KR1019870009117A patent/KR900004982B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1987-08-20 DE DE19873727866 patent/DE3727866A1/de active Granted
-
1991
- 1991-04-23 US US07/690,541 patent/USRE34106E/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006002711B3 (de) * | 2006-01-19 | 2007-06-28 | Wipotec Wiege- Und Positioniersysteme Gmbh | Wägeaufnehmer |
DE102006002711C5 (de) * | 2006-01-19 | 2009-11-12 | Wipotec Wiege- Und Positioniersysteme Gmbh | Wägeaufnehmer |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB8719067D0 (en) | 1987-09-16 |
US4832092A (en) | 1989-05-23 |
US4824546A (en) | 1989-04-25 |
USRE34106E (en) | 1992-10-20 |
GB2195779B (en) | 1991-03-13 |
DE3727866A1 (de) | 1988-02-25 |
JPH0798521B2 (ja) | 1995-10-25 |
GB2195779A (en) | 1988-04-13 |
JPS6355002A (ja) | 1988-03-09 |
FR2603017A1 (fr) | 1988-02-26 |
KR900004982B1 (ko) | 1990-07-16 |
FR2603017B1 (fr) | 1990-08-31 |
KR880002720A (ko) | 1988-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3727866C2 (de) | ||
DE2123375C3 (de) | ||
DE19617014A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Nachfüllen von Füllgut in Näpfe einer Folienbahn | |
DE212008000123U1 (de) | Vorrichtung zum schnellen Wiegen von Kapseln | |
EP0297329B1 (de) | Anordnung zur Übernahme, Massenbestimmung und -abgrenzung von Flüssigkeiten, insbesondere für Getränke wie Milch oder Bier | |
DE10128404A1 (de) | Magnetventil | |
EP0691932B1 (de) | Verfahren zum abfüllen eines flüssigkeitsvolumens in gefässe | |
DE3048257C2 (de) | ||
EP0181946A1 (de) | Einrichtung zum Entnehmen und Wiegen insbesondere von Tabletten | |
EP0203364B1 (de) | Fluidlagerung eines Kolbens einer Druckmesseinrichtung | |
DE3036294C2 (de) | ||
DE3006995A1 (de) | Vorrichtung zur mass- und hoehenfuellung von gefaessen | |
DE2526899A1 (de) | Automatische wiegemaschine | |
DE1598522B2 (de) | Verfahren zur bestimmung des fettgehaltes von fleisch und wurstmassen | |
DE2262699A1 (de) | Leckanzeigevorrichtung | |
DE4446548A1 (de) | Verfahren sowie Füllmaschine zum Füllen von Behältern mit einem flüssigen Füllgut | |
DE4119559A1 (de) | Mechanische vorrichtung zur ausfuehrung des arbeitszyklus eines automatischen apparates fuer die zubereitung von kaffee oder von anderen heissen getraenken | |
EP0106971B1 (de) | Vorrichtung zum volumetrischen Messen von Flüssigkeiten insb. Milch | |
EP0944814A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung des volumens eines gases und/oder des materialvolumens einer probe aus feststoff- und/oder flüssigstoff-material | |
EP0105197B1 (de) | Vorrichtung zum gleichzeitigen Abfüllen eines flüssigen, gasförmigen oder festen, fliessfähigen Mediums in mehrere Gebinde, wie Behälter, Fässer, Packungen od.dgl. | |
EP0333910B1 (de) | Fassfüllvorrichtung mit Waage und höhengesteuerter Absaugeinrichtung | |
EP3003864B1 (de) | Packmaschine und verfahren | |
DE2553813B2 (de) | Vorrichtung zum Messen der Oberflächenrauhigkeit eines Prüflings | |
DE2909362A1 (de) | Abgabe- und fuehrungsvorrichtung fuer fliessfaehige materialien | |
DE3820341C1 (en) | Method and apparatus for filling receiving containers, in particular sacks, with pourable material in a specified quantity |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |