DE3625803A1 - Verfahren zur evakuierung der atmosphaere aus vakuumgefaessen, insbesondere aus elektronen- oder fernsehbildroehren, und anlage zur durchfuehrung des verfahrens - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Evakuierung der Atmosphäre aus Vakuumgefäßen, insbesondere aus Elektronen- oder Fernsehbildröhren, bei dem ein Vakuum­ gefäß in mindestens eine Arbeitsstation gebracht, in dieser gesteuert aufgeheizt und zugleich evakuiert sowie nach Erreichen einer vorgegebenen Temperatur verschlos­ sen wird, und bei dem nach Abschalten der Aufheizung das evakuierte Vakuumgefäß abgekühlt wird.

Die Erfindung betrifft ferner eine Anlage zur Durch­ führung eines derartigen Verfahrens, mit mindestens ei­ ner Arbeits- und Kühlstation mit mindestens einer Vor­ richtung zur Aufnahme des Vakuumgefäßes, die Halterungs­ einrichtungen für letzteres sowie eine Heiz- und Wärme­ austauscheinrichtung aufweist, mit einem an das Vakuum­ gefäß anschließbaren Pumpenaggregat, mit einer Einrich­ tung zum Verschließen des Vakuumgefäßes, mit Kühlein­ richtungen sowie mit Steuer- und Regeleinrichtungen.

Bei bekannten ähnlichen Verfahren und Anlagen (z.B. US-PS 25 32 315, US-PS 31 15 732, DE-OS 25 12 906) wer­ den Fernsehbildröhren in Tunnelöfen einer Arbeitsstation eingebracht und gehaltert. Der Glaskolben der Fernseh­ bildröhre wird dann erwärmt, wobei gleichzeitig das im Glaskolben befindliche Gasgemisch mittels eines Pumpenaggregats evakuiert wird. Während der Evaku­ ierung des Gasgemisches findet eine Entgasung der Me­ tallteile des Systems der Fernsehbildröhre statt. Nach einer bestimmten Zeit wird die Fernsehbildröhre vom Pumpenaggregat abgetrennt, worauf die Abkühlung der Fernsehbildröhre in der Arbeitsstation erfolgt. Die thermischen Eigenschaften des Materials des Vakuumge­ fäßes, z.B. des Glases des Kolbens der Elektronen- oder Fernsehbildröhre sind von Wichtigkeit für die Erwär­ mungs- und Abkühlzeiten, die wiederum die Effektivität und den Ausstoß des Verfahrens und der Anlage mit be­ stimmen. Die Belegung eines Pumpenaggregats dauert bis zu 3 Std. Bei den bekannten Anlagen wirken sich die Ab­ kühlungszeiten besonders kritisch aus. Einerseits ist eine lange Abkühlzeit aus Qualitätsgründen des Vakuum­ gefäßes erwünscht, andererseits beschränkt die lange Belegungszeit der Arbeitsstation, in der sich auch die Abkühlung des Vakuumgefäßes vollzieht, eine gewünschte Erhöhung des Ausstoßes. Außerdem sind die bekannten Ver­ fahren und Anlagen unbefriedigend hinsichtlich des Energieverbrauches.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren sowie eine Anlage zu dessen Durchführung gemäß der ein­ gangs erwähnten Art zu schaffen, mit dem bzw. der bei erheblicher Energieeinsparung der Ausstoß fertiggestell­ ter Vakuumgefäße hoher Qualität beträchtlich erhöht wer­ den kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Aufheizung und Evakuierung des Vakuumgefäßes in der Arbeitsstation unter gleichzeitiger in sich geschlossener thermischer Isolierung des Vakuumgefäßes gegenüber der Außenatmosphäre durchgeführt wird, wobei innerhalb der thermischen Isolierung eine Wärmeumwälzung erfolgt, daß nach dem Evakuieren und Verschließen das Vakuumgefäß un­ ter Aufrechterhaltung seiner in sich geschlossenen ther­ mischen Isolierung gegenüber der Außenatmosphäre in eine von der Arbeitsstation räumlich getrennte Kühlstation überführt wird, in der seine Abkühlung unter Aufrechter­ haltung der in sich geschlossenen thermischen Isolierung gesteuert vorgenommen wird, und daß anschließend das Vakuumgefäß nach Abkühlung auf eine weitere vorgegebene Temperatur von der gegenüber der Außenatmosphäre in sich geschlossenen thermischen Isolierung befreit wird.

Die erfindungsgemäße Anlage zur Durchführung des Verfah­ rens zeichnet sich dadurch aus, daß die Arbeitsstation und die Kühlstation räumlich voneinander getrennt sind, und daß die Vorrichtung zur Aufnahme des Vakuumgefäßes von einem hermetisch verschließbaren, zwischen der Arbeits­ station und der Kühlstation und umgekehrt transportier­ baren sowie an beiden montier- und funktionsmäßig an­ schließbaren Thermobehälter gebildet ist.

Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Ver­ fahrens sowie der Anlage zu seiner Durchführung ergeben sich aus den Unteransprüchen 2 bis 19 bzw. 20 bis 34.

Wird das zu evakuierende Vakuumgefäß in dem Thermobehäl­ ter an das Pumpenaggregat und die übrigen Einrichtungen der Arbeitsstation angeschlossen, so erfolgt die Erwär­ mung des Vakuumgefäßes im Thermobehälter über den An­ schluß an einen Heißluftkollektor mit konstanter Tempe­ ratur. Die Temperatur der Heißluft ist konstant und liegt entsprechend über der maximal im Vakuumgefäß zu errei­ chenden Temperatur. Der Temperaturanstieg bei der Auf­ heizung beträgt vorzugsweise 8,9°C/min. und der Abküh­ lungsgrad in der Kühlstation 3,4°C/min. Wenn von einer Umgebungstemperatur von 30°C und von einer erforderlichen Temperatur von 450°C am Ende des Evakuierungsvorgangs in dem Vakuumgefäß ausgegangen wird, so läßt sich die Aufheizzeit t _H berechnen zu 450°-30° = 420° und 420° : 8,9°/ min. = 47,19 min. Da die Vakuumgefäße bei einer Temperatur von 60°C aus dem Thermobehälter entnommen werden, ergibt sich entsprechend für die erforderliche Abkühlzeit 450° - 60° = 390°; 390° : 3,4°/min. = 114,71 min.

In der praktischen Ausführung wurden in einer ersten Ver­ sion an der Arbeitsstation 60 bis 70 min. und an der Kühlstation 120 bis 140 min. sowie in einer zweiten Ver­ sion an der Arbeitsstation 90 bis 100 min. sowie an der Kühlstation 120 bis 140 min. benötigt.

Ausgehend von den Wärmeparametern des Vakuumgefäßes, des Thermogefäßes, der Heißluft und den durch die Wärmeei­ genschaften des Vakuumgefäßes bedingten Begrenzungen wird ein bestimmtes Quantum Heißluft in einem Mischven­ til mit der aus dem Erwärmungsraum kommenden Umluft des Thermobehälters gemischt. Im Prinzip ist das Heißluft­ quantum sowie die Temperatur der Heißluft konstant. Bei über die im Thermogefäß installierten Temperaturfühlern festgestellten Abweichungen von den festgelegten Bedin­ gungen erfolgt eine Angleichung über eine Drehzahlrege­ lung eines im Umwälzkanal installierten Ventilators. Die im Vorraum des Thermobehälters aus dem Mischventil aus­ strömende Luft wird durch mindestens zwei Siebgitter gleichmäßig in den Erwärmungsraum geleitet. Da die über die Umwälzkanäle ins Mischventil einströmende Umluft je Umlauf höheres Temperaturniveau hat, kann je nach Dosie­ rung und Umwälzgeschwindigkeit in abschätzbarer Zeit eine Annäherung an die Temperatur der Heißluft erreicht werden. Das Prinzip der Erwärmung im Thermogefäß ermög­ licht die unabhängige Nutzung einer Wärmequelle durch eine Vielzahl individuell betriebener Arbeitsstände. Da nach dem Aufheizen des Vakuumgefäßes das Thermogefäß vom Pumpenaggregat und Nebeneinrichtungen entfernt wer­ den kann, kann der Ausstoß pro Pumpenaggregat erhöht wer­ den. Während der Pumpzeit werden auch andere technolo­ gisch bedingte Prozesse (z.B. Formen der Kathode) reali­ siert. Untersuchungen an einer Pilotanlage ergaben, daß 6 Thermogefäße pro Pumpenaggregat einen reibungslosen Betrieb ermöglichen. Die Überwachung der Verfahrenspara­ meter kann sowohl durch individuelle am Thermogefäß ange­ brachte Regeleinrichtungen als auch über ein zentrales Überwachungs- und Steuersystem erfolgen. Die während des Abkühlungsprozesses freiwerdende Wärme wird über Sammel­ leitung in den Heißluftkollektor gebracht, um eventuell durch Undichtigkeit verursachte Verluste auszugleichen. An einer Versuchsanlage durchgeführter Betrieb ergab einen Ausstoß von im Schnitt 18 Röhren pro Stand/24 h, wobei der Charakter der Versuchsanlage keine optimalen Betriebs­ bedingungen gestattete.

Das erfindungsgemäße Verfahren und die Anlage zu seiner Durchführung ermöglichen eine individuelle Bearbeitung der Vakuumgefäße. Im Vergleich zu herkömmlichen Verfahren läßt sich der Ausstoß etwa verdoppeln, wobei durch die effektive Nutzung der Abwärme eine Energieersparnis von ca. 40% erzielbar ist. Die individuelle Steuerung des Heiz- und Kühlprozesses garantiert zugleich eine hohe Qualität der evakuierten Vakuumgefäße, wobei die Prozeß­ führung durch die Einsetzbarkeit individueller Regel- und Steuereinrichtungen günstig ist.

Eine bevorzugte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anlage wird nun anhand der Zeichnungen beschrieben. In diesen sind:

Fig. 1 eine Schnittansicht eines an einer Arbeits- oder einer Kühlstation ange­ ordnetem Thermobehälters der Anlage,

Fig. 2 eine weitere Schnittansicht entspre­ chend der Fig. 1 und

Fig. 3 eine regeltechnische Zueinanderordnung einer Produktionslinie mit einer Vielzahl Arbeitsständen, einer räumlich getrennten Kühllinie mit einer entsprechenden Viel­ zahl Kühlstände sowie eines Sammelkanals einer Wärmeaustauscheinrichtung.

Wie die Fig. 1 und 2 zeigen, ist ein Thermobehälter 1 an einer Arbeitsstation 2 oder eine Kühlstation 3 montiert und funktionsmäßig angeschlossen. Der Thermobehälter 1 besteht aus einem Oberteil 4 sowie einem Unterteil 5. Das Oberteil 4 ist mit dem Unterteil 5 durch einen keil­ förmigen unteren Rand 6 in der Arbeitsstellung des Ther­ mobehälters 1 hermetisch abgeschlossen. Das Oberteil 4 ist um eine Schwenkachse 7 in eine Beschickungs- oder Entnahmestellung schwenkbar, die in Fig. 1 gestrichelt dargestellt ist. Das Oberteil 4 ist domförmig und doppel­ wandig ausgebildet, wobei sich zwischen den beiden Behäl­ terwänden ein Vakuum befindet, wodurch eine ausgezeichne­ te thermische Isolierung gewährleistet ist. Der Thermo­ behälter 1 ist zwischen Arbeitsstationen 2 und Kühlsta­ tionen 3, die räumlich voneinander getrennt sind, bequem transportierbar. Zu- und Ableitungen 8 bzw. 9 für ein Heiz- oder Kühlmedium verlaufen durch das Unterteil 5 des Ther­ mobehälters 1 und sind zu- bzw. abstromseitig über nicht dargestellte Verbindungsleitungen an einer Wärmeaustausch­ einrichtung in der Arbeits- und der Kühlstation angeschlos­ sen, enthalten regelbare Durchlaßventile und kommunizieren mit dem Innenraum 10 des Thermobehälters 1. Die Zuleitun­ gen 8 erstrecken sich etwa bis ins obere Drittel des Innen­ raums 10 des Thermobehälters 1 und bilden zusammen mit einem Haltering 11 die Halteeinrichtung für ein Vakuumge­ fäß 12, das im dargestellten Fall von einer Fernsehbild­ röhre gebildet wird. An dem das Elektrodensystem auf­ nehmenden Hals der Fernsehbildröhre ist ein im Unterteil 5 befindlicher Kanal 13 mittels Dichtungen 14 geeignet anschließbar, an den wiederum ein nicht dargestelltes Pumpenaggregat zum Evakuieren des Vakuumgefäßes 12 an­ schließbar ist. Im Thermobehälter 1 sind zwei Temperatur­ fühler 15 und 16 mit unterschiedlichen Zeitkonstanten an­ geordnet, die mit der Heiz- und Umwälzeinrichtung in Wirk­ verbindung stehen. Der Temperaturfühler 15 ist in einem Glasmaterial eingebettet, das mit dem Material des Glas­ kolbens 17 der Fernsehbildröhre identisch ist, womit in­ direkt die Aufheiztemperatur im Glaskolben 17 erfaßbar ist. Der zweite Temperaturfühler 16 erfaßt die Temperatur im Innenraum 10 des Thermobehälters 1. Die Arbeits- und die Kühlstation 2 bzw. 3 weisen nicht dargestellte, auto­ matische Ventile zwecks Zu- und Ableitung des Heizmediums auf. Im oberen Drittel des domförmigen Oberteils 4 des Thermobehälters 1 ist eine perforierte, an die domförmi­ ge Innenwand angepaßt verlaufende, siebartige Zwischen­ wand 18 vorgesehen, die den Innenraum 10 in einen Vor- und einen Erwärmungsraum unterteilt. Die Zuleitungen 8 des Heizmediums erstrecken sich bis zu dieser Zwischen­ wand 18 und münden abstromseitig in den Raum 19 zwischen der Zwischenwand 18 und der gebeogenen oberen Innenwand des Thermobehälters 1, so daß das Heizmedium von oben durch die Perforierung der Zwischenwand 18 auf die Stirnwand 20 des Vakuumgefäßes 12 lenkbar ist.

Das Unterteil 5 des Thermobehälters 1 weist ebenfalls eine perforierte, siebartige Wand 21 auf, die von den Seitenflächen zweier umgekehrter und miteinander verbundener abgestumpfter Kegel gebildet ist und deren Perforierung zu der der Zwischenwand 18 unterschiedlich ist. Die Neigungen der die Wand 21 bildenden Seitenflä­ chen der beiden umgekehrten, miteinander verbundenen ab­ gestumpften Kegel sowie die Perforierungen der Seiten­ flächen sind unterschiedlich.

Das Unterteil 5 des Thermobehälters 1 weist einen Strom­ anschluß 22 für das Vakuumgefäß 12 auf. Der Innenraum des Thermobehälters 1 bildet mit der Arbeitsstation 2 oder Kühlstation 3 und den Zu- und Ableitungen 8 bzw. 9 sowie dem von einem Heißluftkollektor und einem Umwälz­ gebläse gebildeten Wärmeaustauscher ein geschlossenes Umlaufsystem. An der Ansaugseite und an der Abströmseite des Umlaufsystems befindet sich ein Zulauf- bzw. ein Aus­ laufstutzen des Heizmediums. Die Verbindungen nach außen sind mit einem regelbaren Ventil ausgerüstet. Die Zulei­ tungen sind zumindest mit einem Absperrventil ausgerüstet.

Fig. 3 zeigt die Regelung des Heizmediums in der Anlage, wobei in einer Produktionslinie 23 fünf miteinander ver­ bundene Arbeitsstationen 2 mit jeweils einem installier­ ten Thermobehälter 1 und in einer Kühllinie 24, die räum­ lich von der Produktionslinie 23 getrennt ist, eine ent­ sprechende Anzahl von miteinander verbundene Kühlsta­ tionen 3 vorgesehen ist. Die Arbeitsstationen 2 sowie die Kühlstationen 3 sind jeweils zusätzlich über eine Heißluft-Ringleitung 25 bzw. eine Abluft-Ringleitung 26 miteinander verbunden, die wiederum über Verbindungs­ leitungen 27 mit einer Sammelleitung 28 verbunden sind, die eine Heizeinrichtung 29 und ein Umwälzgebläse 30 einschließt. In den Verbindungsleitungen 27 und den Ring­ leitungen 25 und 26 sind Regelventile 31 vorgesehen, die für eine Energieverteilung in den Ringleitungen sorgen. Da der Temperaturanstieg langsam erfolgt, z.B. 8,9°/min. und jede Arbeitsstation 2 mit einer individuellen Tempe­ raturregelung ausgestattet ist, kann der nicht benutzte Teil der Energie jeweils dem nächsten Arbeitsstand mit höherem Temperaturniveau zugefügt werden. Die gleiche Arbeitsweise jedoch in umgekehrter Folge des Temperatur­ niveaus gilt auch für Abkühlbetrieb. Die übriggebliebene Energie wird dem Sammelkanal 28 zugeführt, in dem der Wärmetauscher 29, 30 für Wiederaufheizung sorgt. Diese aufgeheizte Luft wird zur Aufheizung der Arbeitsstände 2 wieder verwendet. Der Heiz- und Kühlkreislauf wird durch das Gebläse gewährleistet. Diese Anordnung der

Arbeitsstände 2 ermöglicht einen kontinuierlichen Aus­ stoß bei maximaler Ausnutzung der zugeführten Energie.

• Bezugszeichenliste:  1 Thermobehälter
   2 Arbeitsstation
   3 Kühlstation
   4 Oberteil
   5 Unterteil
   6 Rand
   7 Schwenkachse
   8 Zuleitung
   9 Ableitung
  10 Innenraum
  11 Haltering
  12 Vakuumgefäß
  13 Kanal
  14 Dichtungen
  15 Temperaturfühler
  16 Temperaturfühler
  17 Glaskolben
  18 Zwischenwand
  19 Raum
  20 Stirnwand
  21 Wand
  22 Stromanschluß
  23 Produktionslinie
  24 Kühllinie
  25 Heißluft-Ringleitung
  26 Abluft-Ringleitung
  27 Verbindungsleitungen
  28 Sammelleitung
  29 Heizeinrichtung
  30 Umwälzgebläse
  31 Regelventile
  32 Durchlaßventil

Claims (34)

1. Verfahren zur Evakuierung der Atmosphäre aus Vakuumgefäßen, insbesondere aus Elektronen- oder Fern­ sehbildröhren, bei dem ein Vakuumgefäß in mindestens eine Arbeitsstation gebracht, in dieser gesteuert auf­ geheizt und zugleich evakuiert sowie nach Erreichen ei­ ner vorgegebenen Temperatur verschlossen wird, und bei dem nach Abschaltung der Aufheizung das evakuierte Vaku­ umgefäß abgekühlt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufheizung und Evakuierung des Vakuumgefäßes in der Ar­ beitsstation unter gleichzeitiger in sich geschlossener thermischer Isolierung des Vakuumgefäßes gegenüber der Außenatmosphäre durchgeführt wird, wobei innerhalb der thermischen Isolierung eine Wärmeumwälzung erfolgt, daß nach dem Evakuieren und Verschließen das Vakuumgefäß unter Aufrechterhaltung seiner in geschlossenen thermischen Iso­ lierung gegenüber der Außenatmosphäre in eine von der Ar­ beitsstation räumlich getrennte Kühlstation überführt wird, in der seine Abkühlung unter Aufrechterhalten der in sich geschlossenen thermischen Isolierung gesteuert vorgenommen wird, und daß anschließend das Vakuumgefäß nach Abkühlung auf eine weitere vorgegebene Temperatur von der gegenüber der Außenatmosphäre in sich geschlossenen thermischen Isolierung befreit wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als in sich geschlossene thermische Isolierung des Vakuumgefäßes gegenüber der Außenatmosphäre ein Thermo­ behälter verwendet wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeich­ net, daß nach Erreichen der vorgegebenen Aufheizungstempe­ ratur des Vakuumgefäßes und vor Beendigung seiner Evaku­ ierung das Vakuumgefäß eine zusätzliche Aufheizung erfährt, wobei während letzterer die Wärmeverluste im Thermobehälter durch die Heizleistung und Umwälzung ausgeglichen werden.

4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeich­ net, daß das Vakuumgefäß zunächst in den Thermobehälter ein­ gebracht wird, der dann in die Arbeitsstation eingeführt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeich­ net, daß der Thermobehälter an die Arbeitsstation ange­ schlossen wird und das Vakuumgefäß dann in diesen einge­ bracht wird.

6. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5, bei dem als Vakuum­ gefäß eine Elektronenröhre gewählt wird, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Elektronenröhre kathodenseitig an eine entsprechende Stromzuführung angeschlossen und die Strom­ zufuhr gesteuert wird.

7. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5, bei dem als Vakuum­ gefäß eine Fernsehbildröhre verwendet wird, dadurch gekennzeichnet, daß das System der Fernsehbildröhre an die Stromzufuhr angeschlossen wird.

8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Steuersignal mit einem zum Temperaturunterschied zweier Temperaturfühler mit unterschiedlichen, vorgegebenen Zeitkonstanten proportionalen Wert verglichen wird und einen kontrollierten Temperaturanstieg oder eine kontrollierte Tem­ peraturabnahme bewirkt, wobei bei einem Signalpegel, der einem minimalen Temperaturanstieg oder einer minimalen Temperaturabnahme entspricht, eine maximale Heiz- bzw. Kühl­ leistung angesteuert wird, bei einem Signalpegel, der zwi­ schen minimalen und maximalen Werten liegt, der Wärmeaus­ tausch begrenzt wird und bei Erreichung oder Überschreitung des maximalen Wertes der Wärmeaustausch unterbrochen wird.

9. Verfahren gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Zeitkonstante des Vakuumgefäßes so gewählt wird, daß ihr Wert immer kleiner als die Werte der Zeitkonstanten der Temperaturfühler ist.

10. Verfahren nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Steuerungsprozeß diskontinuierlich ver­ läuft.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Kühlprozeß im Thermobehälter durch gesteuerten Zu­ lauf eines Mediums mit einem niedrigeren Temperaturniveau beeinflußt wird, und daß ein Überschuß des Mediums aus dem Thermobehälter entfernt wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das den Innenraum des Thermobehälters ausfüllende Me­ dium mit niedrigerem Temperaturniveau in einen Thermobehäl­ ter mit höherem Temperaturniveau geleitet wird, während das Medium aus einem Thermobehälter mit maximalem Temperatur­ niveau in eine Sammelleitung überführt wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß während der Aufheizung des Thermobehälters der Wärmeaus­ tauschprozeß durch gesteuerten Zulauf eines Mediums mit höhe­ rem Temperaturniveau und Ableitung des Überschusses des Me­ diums außerhalb des Thermobehälters beeinflußt wird.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Temperaturverlauf am Vakuumgefäß über eine mittel­ bare Messung an Temperaturfühlern mit einer Zeitkonstante, die der Zeitkonstante des Vakuumgefäßes entspricht, kontrol­ liert wird.

15. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizmedium vom Arbeitsstand mit höherem Temperatur­ niveau an einen Arbeitsstand mit niedrigerem Temperaturniveau überführt wird.

16. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Heizmedium aus der Sammelleitung zusätzlich aufge­ heizt und an die Arbeitsstände geleitet wird.

17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß das Medium im Umwälzsystem des Thermobehälters und zu­ geordneten Arbeitsstandes zusätzlich aufgeheizt wird.

18. Verfahren nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Intensität des Wärmeaustausches über eine Regelung des von außen zugeführten Mediums bestimmt wird.

19. Verfahren nach Anspruch 1 und 7, dadurch gekennzeich­ net, daß das Heizmedium von der Stirnseite des Kolbens der Fernsehbildröhre in den Thermobehälter eingeführt und der gegenüberliegenden Seite des Kolbens der Fernsehbildröhre über eine perforierte Wand am Boden des Thermobehälters abgesaugt wird.

20. Anlage zur Durchführung des Verfahrens nach den Patentansprüchen 1 bis 19, mit mindestens einer Arbeits- und Kühlstation mit mindestens einer Vorrichtung zur Auf­ nahme des Vakuumgefäßes, die Halterungseinrichtungen für letzteres sowie eine Heiz- und Wärmeaustauscheinrichtung aufweist, mit einem an das Vakuumgefäß anschließbaren Pumpenaggregat, mit einer Einrichtung zum Verschließen des Vakuumgefäßes, mit Kühleinrichtungen sowie mit Steuer- und Regeleinrichtungen, dadurch gekennzeichnet, daß die Arbeitsstation (2) und die Kühlstation (3) räumlich von­ einander getrennt sind, und daß die Vorrichtung zur Auf­ nahme des Vakuumgefäßes (12) von einem hermetisch ver­ schließbaren, zwischen der Arbeitsstation (2) und der Kühl­ station (3) und umgekehrt transportierbaren sowie an bei­ den montier- und funktionsmäßig anschließbaren Thermobe­ hälter (1) gebildet ist.

21. Anlage nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Thermobehälter (1) ein an die Arbeits- und die Kühl­ station (2 bzw. 3) montier- und funktionsmäßig anschließ­ bares Unterteil (5) und ein doppelwandiges, domförmiges Oberteil (4), das aus einer mit dem Unterteil (5) herme­ tisch abgeschlossenen Betriebsstellung um eine horizon­ tale Schwenkachse (7) in eine Beschickungs- und Entnahme­ stellung schwenkbar ist.

22. Anlage nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß der von der Doppelwand des Oberteils (4) des Thermobehäl­ ters (1) eingeschlossene Isolierraum ein Vakuum aufweist.

23. Anlage nach Anspruch 20 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß zwei im Thermobehälter (1) angeordnete, mit der Heiz- und der Umwälzeinrichtung (29, 30) in Wirkverbindung stehende Temperaturfühler (15, 16) mit unterschiedlicher Zeitkonstante, wobei der eine Temperaturfühler (15) in einem dem Material des Vakuumgefäßes (12) entsprechen­ den Material eingebettet ist.

24. Anlage nach Anspruch 20 bis 23, dadurch gekennzeich­ net, daß Zu- und Ableitungen (8 bzw. 9) für das Heizmedium durch das Unterteil (5) des Thermobehälters (1) verlaufen, zu- bzw. abstromseitig an die in der Arbeits- und der Kühl­ station (2 und 3) befindliche Wärmeaustauscheinrichtung (29, 30) anschließbar sind und regelbare Durchlaßventile (32) enthalten, sowie ab- bzw. zustromseitig mit dem Innen­ raum (10) des Thermobehälters (1) kommunizieren, und daß im Thermobehälter (1) ein Kanal (13) vorgesehen ist, an den das Pumpenaggregat der Arbeitsstation (2) anschließbar ist.

25. Anlagen nach Anspruch 20 bis 24, dadurch gekennzeich­ net, daß die Arbeits- und die Kühlstation (2 bis 3) selbst­ tätig arbeitende Ventile (31) zwecks Zu- und Ableitung des Heizmediums aufweisen.

26. Anlage nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß im oberen Drittel des domförmigen Oberteils (4) des Thermobehälters (1) eine perforierte, an die domförmige Wand angepaßt verlaufende Zwischenwand (18) vorgesehen ist, und daß die Zuleitungen (8) des Heizmediums sich bis zu der Zwischenwand (18) erstrecken, in den Raum (19) zwischen der oberen Innenwand des Thermobehälters (1) und der Zwischenwand (18) münden und einen das Vakuumge­ fäß (12) abstützenden Haltering (11) haltern.

27. Anlage nach Anspruch 20 bis 26, dadurch gekennzeich­ net, daß das Unterteil (5) des Thermobehälters (1) eine perforierte Wand (21) aufweist, die von Seitenflächen zweier umgekehrter und miteinander verbundener abge­ stumpfter Kegel gebildet ist und deren Perforierung zu der der Zwischenwand (18) unterschiedlich ist.

28. Anlage nach Anspruch 27, dadurch gekennzeichnet, daß die Neigungen der die Wand (21) bildenden Seitenflä­ chen der beiden umgekehrten, miteinander verbundenen ab­ gestumpften Kegel sowie die Perforierungen der Seiten­ flächen unterschiedlich sind.

29. Anlage nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß das Unterteil (5) des Thermobehälters (1) einen Strom­ anschluß (22) für das Vakuumgefäß (12) aufweist.

30. Anlage nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Innenraum des Thermobehälters (1) mit der Ar­ beitsstation (2) oder der Kühlstation (3) und den Zu- und Ableitungen (8 bzw. 9) sowie dem von einem Heißluft­ kollektor (29) und einem Umwälzgebläse (30) gebildeten Wärmeaustauscher (29, 30) ein geschlossenes Umlaufsystem bilden.

31. Anlage nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, daß sich an der Ansaugseite und an der Abströmseite des Umlaufssystems ein Zulauf- bzw. ein Auslaufstutzen des Heizmediums befindet.

32. Anlage nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindungen nach außen mit einem regelbaren Ven­ til (31) ausgerüstet sind.

33. Anlage nach Anspruch 20 mit einer Vielzahl Arbeits- und Kühlstationen und zugeordneten Thermobehältern, dadurch gekennzeichnet, daß die Arbeitsstationen (2) in einer Produktionslinie (23) untereinander verbunden ange­ ordnet sowie über eine Heißluft-Ringleitung (25) mitein­ ander verbunden sind, die über jeder Arbeitsstation (2) zugeordnete Verbindungsleitungen (27) an einen den aus der Heizeinrichtung (29) und dem Umwälzgebläse (30) ge­ bildeten Wärmeaustauscher (29, 30) einschließenden Sam­ melkanal (28) verbunden ist, und daß die entsprechende Anzahl Kühlstationen (3) in einer räumlich getrennten Kühllinie (24) untereinander verbunden angeordnet sowie über eine Abluft-Ringleitung (26) miteinander verbunden sind, die über die Kühlstationen (3) und diesen zugeord­ nete Verbindungsleitungen (27) an den Sammelkanal (28) angeschlossen ist, wobei den Arbeitsstationen (2) zuge­ ordnete Ventile in der Heißluft-Ringleitung (25) sowie die individuelle Temperaturregelung jeder Arbeitsstation (2) für eine Energieverteilung derart sorgen, daß der un­ genutzte Teil der Energie jeweils der nächsten Arbeits­ station (2) mit höherem Energieniveau und die überschüs­ sige Energie dem Sammelkanal (28) zuführbar ist, und wo­ bei durch entsprechende Ventilsteuerung in der Abluft- Ringleitung (26) eine entsprechende Energieverteilung, jedoch in umgekehrter Folge des Temperaturniveaus er­ zielbar ist.

34. Anlage nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß das Oberteil (4) des Thermobehälters (1) von dessen Unter­ teil (5) nach oben abhebbar ist.