DE3520713C2 - - Google Patents
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- DE3520713C2 DE3520713C2 DE3520713A DE3520713A DE3520713C2 DE 3520713 C2 DE3520713 C2 DE 3520713C2 DE 3520713 A DE3520713 A DE 3520713A DE 3520713 A DE3520713 A DE 3520713A DE 3520713 C2 DE3520713 C2 DE 3520713C2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/005—Control means for lapping machines or devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
- B24B49/16—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation taking regard of the load
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Description
Die Erfindung geht aus von einer Steuereinrichtung für
den Bearbeitungsdruck an einer Läpp-, Hon- oder Poliermaschine nach
dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Eine Steuereinrichtung dieser Art ist aus der DE-PS 29 50 881 bekannt.
Die Spindel ist hier in einer achsparallelen Hülse drehbar gelagert,
die ihrerseits im Lagerbauteil für die Spindel gelagert ist.
Die Hülse ist in mindestens einem Bereich elastisch verformbar
und trägt einen Dehnungsmeßstreifen, dessen Signale in einer
Vergleichsvorrichtung mit Sollsignalen verglichen werden. Die
Istsignale geben den jeweils herrschenden Bearbeitungsdruck
wieder. Das Lagerbauteil für die Spindel ist als doppelt wir
kender hydraulischer Kolben ausgebildet, der in einem gestell
festen Zylinder verschiebbar gelagert ist.
Die bekannte Vorrichtung ist mit einigen Nachteilen behaftet.
Der Kraftsensor ist zwar in der Lage, dem Bearbeitungsdruck
genau proportionale Signale zu liefern, er ist jedoch in der
Herstellung aufwendig. Ferner ist der Kraft
sensor nicht ohne weiteres zugänglich und erfordert daher eine
aufwendige Montage und bei fälligen Reparaturarbeiten eine auf
wendige Demontage. Nachteilig ist ferner, daß die Zustellung
des Werkzeugs über einen hydraulischen Antrieb erfolgt. Ein
hydraulischer Antrieb ist ebenfalls verhältnismäßig aufwendig.
Ferner stellt ein hydraulischer Antrieb ein starres System dar,
das in seiner Wirkung eine relativ steife Charakteristik hat.
Um unerwünschte Beeinträchtigungen der Oberfläche des Werk
stücks zu vermeiden, wird bei Maschinen zur Oberflächen-Fein
bearbeitung angestrebt, den Bearbeitungsdruck nicht schlagartig
aufzubauen, sondern allmählich, unter Vermeidung eines zu
harten Aufsetzens; erst nach einer gewissen Zeit soll das
Werkzeug, etwa die Läppscheibe, mit Nenndruck auf dem Werkstück
aufliegen. Andererseits soll der Aufbau des Bearbeitungsdrucks
so rasch wie möglich vor sich gehen, um die Produktionszeit
zu reduzieren. Es ist jedoch verhältnismäßig schwierig, vor
allem, wenn nicht lineare bzw. nicht stetige Belastungskurven
gefahren werden sollen, weiche Übergänge zu erhalten, die
eine Beschädigung der Werkstückoberflächen ausschließen. Auf
grund von Reibungswiderständen im Hydraulikantrieb und einer
charakteristischen Hysterese bereitet es Probleme, bei jedem
neuen Arbeitsvorgang einen genau reproduzierbaren Druckaufbau
zu erhalten. Nur dieser sichert eine völlig gleichmäßige
Flächenbearbeitung der einzelnen Werkstücke.
Aus der DE-AS 22 24 459 ist es in diesem
Zusammenhang bekannt, die Verstellanordnung
pneumatisch mit Hilfe von Drosseln und Steuerventilen
auszubilden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Steuereinrichtung
nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 derart
weiterzubilden, daß
ein genau reproduzierbarer stoßfreier und weicher Aufbau des
Bearbeitungsdrucks ohne Einbuße an Produktionsgeschwindigkeit erfolgt, auch wenn der geforderte
Bearbeitungsdruck einen nicht linearen Verlauf hat.
Diese Aufgabe wird mit dem Gegenstand des Patentanspruchs
1 gelöst; Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben.
Die pneumatischen Verstelleinrichtungen werden nach Möglichkeit
so ausgelegt, daß bei vollständig entlüfteter erster Verstellvorrichtung
der maximale Arbeitsdruck aufgebracht wird.
Hierbei ist das Gewicht des Werkzeugs, zum Beispiel der Läpp
scheibe, zu berücksichtigen. Eine Läppscheibe wiegt im neuen
Zustand meist mehr als für die Aufbringung des maximalen Bear
beitungsdruckes notwendig ist. Für einen solchen Fall darf daher
die erste Verstellvorrichtung nicht vollständig auf
Atmosphärendruck entlüftet werden.
In der Außerbetriebsstellung herrscht in der ersten
Verstellvorrichtung maximaler Druck, so daß sich das Werkzeug in
größtmöglicher Entfernung vom Werkstück befindet. Mit Hilfe der
steuerbaren Drosselanordnung läßt sich der Druck in der
Verstellvorrichtung auf gezielte Werte verringern.
Da pneumatische Verstellvorrichtungen nahezu reibungsfrei
arbeiten, entstehen beim Zustellen des Werkzeugs keinerlei
Stöße, vielmehr kann das Werkzeug sanft und mit weichen Über
gängen in gewünschter Geschwindigkeit in die Arbeitsstellung
gebracht werden. Infolge der vernachlässigbaren Reibungseigen
schaften entfällt fast jede Hysterese, so daß auch bei jedem
wiederholten Arbeitsvorgang der Druckaufbau mit den gleichen
Werten erfolgt. Die
Steuervorrichtung ermöglicht eine Oberflächen
bearbeitung mit wiederholbarer Qualität.
Wie bereits erwähnt, ist bei den genannten Werkzeugmaschinen
ein allmählicher Aufbau des Druckes bis zum gewünschten Bear
beitungsdruck gefordert. Dieser Aufbau ist daher eine Funktion
der Zeit. In der Programmsteuerung kann vorgegeben werden,
innerhalb welcher Zeitabstände welcher gewünschte Druck er
reicht sein muß. Der Kraftsensor liefert ständig den Ist-
Bearbeitungsdruck, der in der Programmsteuerung mit dem jewei
ligen Solldruck verglichen wird. Die Be- und Entlüftung der
pneumatischen Verstellvorrichtung läßt sich über die Gasdruck
quelle bzw. die Drosselanordnung erreichen.
Die Programmsteuerung kann ein Zeitglied enthalten, um festzu
stellen, ob in bestimmten Zeitintervallen der gewünschte Bear
beitungsdruck erreicht ist. Alternativ kann die Zeit, die zum
Aufbau bestimmter Bearbeitungsdrücke notwendig ist, über die
Drosselanordnung eingestellt werden. In diesem Fall wird in
der Programmsteuerung nur festgestellt, wann der Istdruck einen
vorgegebenen Soll-Druckwert erreicht. Die hierfür benötigte
Zeit wird durch Wahl entsprechender Drosselquerschnitte einge
stellt, welche die Zustellgeschwindigkeit bestimmen. Ist an
schließend ein geänderter Verlauf des Druckanstiegs erwünscht,
gibt die Programmsteuerung nunmehr eine andere Konstellation
für die Drosselanordnung vor, d. h. es wird bis zu einem weiteren
gewünschten Druckwert eine andere Bearbeitungsdruckkurve ge
fahren. Mit jeweils geänderten Werten für die unter Betriebs
druck liegenden Sollwerte und Zustellgeschwindigkeiten läßt sich
die angestrebte Kurve für den Bearbeitungsdruck verwirklichen.
Es ist zwar denkbar, durch Veränderung einer einzigen Drossel,
die über ein Steuerventil mit der pneumatischen Verstellvor
richtung verbunden ist, einen gewünschten Verlauf des Drucks in
der pneumatischen Verstellvorrichtung zu erzielen und damit den
angestrebten Aufbau des Bearbeitungsdruckes. Es ist vom appara
tiven Aufwand her jedoch einfacher, wenn nach einer Ausgestaltung
der Erfindung an die pneumatische Verstellvorrichtung mindestens
zwei, vorzugsweise verstellbare Drosseln über eigene Steuer
ventile angeschlossen sind. Die eine Drossel dient beispiels
weise dazu, ein Absenken des Werkzeugs mit relativ großer
Geschwindigkeit zu gewährleisten. Die zweite Drossel kann ein
gesetzt werden, um ab einem bestimmten Punkt eine geringere
Zustellgeschwindigkeit zu fahren, so daß das Werkzeug, zum
Beispiel eine Läppscheibe, sanft auf das Werkzeug aufsetzt.
Diese Drossel kann dann auch für einen sanften Aufbau des Bear
beitungsdruckes in der ersten Phase sorgen. Es können jedoch
weitere Drosseln vorgesehen werden, um dem Verlauf des Druckauf
baus die gewünschte Richtung zu geben. Wird der gewünschte dem
Betriebsdruck entsprechende Enddruck vom Kraftsensor festge
stellt, wird die Entlüftung der pneumatischen Verstellvorrich
tung beendet; sodann bleibt der Bearbeitungsdruck über die
gewünschte Zeit konstant.
Da zwei fein einstellbare pneumatische Verstelleinrichtungen am Lagerbauteil gegeneinander
wirken, die im wesentlichen frei von Reibungen sind, werden
wiederkehrende Werte für den Bearbeitungsdruck erhalten.
Als pneumatische Verstellvorrichtungen können pneumatische Verstellzylinder,
Balgzylinder und ähnliche pneumatische Verstellorgane
dienen.
Die Zwischenschaltung eines Hebels gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung
hat den Vorteil, daß ein gewünschtes Übersetzungsverhältnis gewählt werden
kann. Damit läßt sich im übrigen auch ein verhältnismäßig
geringer effektiver Verstellweg kompensieren. Es versteht
sich, daß die Anbringung der pneumatischen Verstellvorrich
tung am Hebel derart ist, daß nur vernachlässigbare Reibung
auftritt. Die Anbringung des anderen Hebelarms am Lagerbau
teil muß selbstverständlich berücksichtigen, daß sich der
Anlenkpunkt bei der Vertikalbewegung des Lagerbauteils
verschiebt. So kann beispielsweise im Hebel ein Langloch
vorgesehen werden, in den ein Zapfen des Lagerbauteils ein
greift.
Vorzugsweise ist nach einer weiteren Ausgestaltung der Er
findung der Kraftsensor zwischen der pneumatischen Verstell
vorrichtung und dem Hebel angeordnet. Die Kraft zwischen
der oberen pneumatischen Verstellvorrichtung und dem Hebel
arm ist jederzeit ein Maß für den Bearbeitungsdruck, solange
dieser unterhalb des Gewichts des Werkzeugs liegt. Wird
hingegen das Werkzeug zusätzlich angedrückt, muß bei der
Bestimmung des Bearbeitungsdruckes das Gewicht des Werkzeugs
hinzugezählt werden, sofern der Druck in der oberen pneu
matischen Verstellvorrichtung Null ist.
Aus produktionstechnischen Gründen ist ein schneller Durch
lauf erwünscht, so daß außer der reinen Bearbeitungszeit
möglichst kurze Zeiten für die Zustellung und das Entfernen
des Werkzeugs erwünscht sind. Das Werkzeug wird daher nach
Möglichkeit rasch bis zu einem bestimmten Punkt kurz vor
Anlage am Werkstück zugestellt. Da sich das Werkzeug in
dessen abnutzt, führt eine rein zeitabhängige Steuerung der Ge
schwindigkeit nicht zum gewünschten Ziel.Wird die Zustellung mit
zunächst hoher Geschwindigkeit bei stark abgenutztem Werkzeug
durchgeführt, ist der Abstand zum Werkstück,ab dem eine lang
samere Zustellung erfolgt, naturgemäß weitaus größer als bei nicht
abgenutztem Werkzeug, wenn in beiden Fällen gleiche Zeitintervalle
gewählt werden. Daher sieht der Gegenstand des Patentanspruchs 1 vor,
daß von dem Lagerbauteil bzw. dem Werkzeug ein gestell
fester Abfangschalter betätigbar ist, der ein Signal auf
die Programmsteuerung gibt zwecks Verringerung der Absenk
geschwindigkeit, wenn das Werkzeug sich dem Werkstück auf
ein vorgegebenes Maß genähert hat. Nach Möglichkeit soll der
Abfangschalter die Abnutzung des Werkzeugs automatisch berück
sichtigen. In diesem Zusammenhang sieht eine weitere Aus
gestaltung der Erfindung vor, daß mit dem Werkzeug oder dem
Lagerbauteil eine Betätigungsstange verbunden ist, auf der
verschiebbar ein Halteglied gelagert ist, das seinerseits
mit einem an die Programmsteuerung angeschlossenen Fest
stellmechanismus wahlweise an der Betätigungsstange fest
klemmbar ist und das Halteglied ein verstellbares an die
Programmsteuerung angeschlossenes Betätigungsglied für den
Abfangschalter aufweist, das Halteglied mit einem gestell
festen Anschlag derart zusammenwirkt, daß bei Annäherung des
Halteglieds am Anschlag der Abfangschalter nur betätigt
wird, wenn das Betätigungsglied in der ausgefahrenen Position
ist. Zur Justierung des Abfangschalters wird das Werkzeug zu
nächst, ohne in Drehrichtung angetrieben zu sein, auf das Werk
stück abgesenkt. Das Betätigungsglied am Halteglied befindet
sich in der zurückgezogenen Position. Das frei auf der
Betätigungsstange verschiebbare Halteglied liegt dabei auf
dem gestellfesten Anschlag. Vor dem erneuten Zustellen des
Werkzeugs wird das Halteglied festgeklemmt. Beim Zustellen
ist das Betätigungsglied ausgefahren und betätigt den
Schalter, kurz bevor der Anschlag erreicht ist.
Der
vorzugsweise verstellbare Anschlag ist so gewählt, daß die
Betätigung des Abfangschalters durch das ausgefahrene
Betätigungsglied erfolgt, wenn das Werkzeug einen Mindest
abstand zum Werkstück hat, der vorzugsweise sehr gering ist.
Bei der Betätigung des Abfangschalters wird von der Pro
grammsteuerung dafür gesorgt, daß die Zustellung des Werk
zeugs nunmehr mit weitaus geringerer Geschwindigkeit von
statten geht. Ferner wird ein Signal für das Einfahren des
Betätigungsglieds und das Lösen des Feststellmechanismus
gegeben, so daß sich das Halteglied auf den Anschlag ab
senken kann. Wird das Werkzeug nach dem Bearbeitungsvorgang
angehoben, wird der Feststellmechanismus erneut betätigt
und in die angehobene Position gefahren. Bei den weiteren Bear
beitungen wiederholen sich die beschriebenen Schritte.
Die Verwendung des Abfangschalters ist nicht nur bei einer Hebel-
Lagerung der Spindel von Vorteil. Der Abfangschalter kann auch
für herkömmliche Werkzeughalterungen eingesetzt werden.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Zeichnungen näher
erläutert.
Fig. 1 zeigt eine Seitenansicht im vertikalen Schnitt durch eine
Zweischeibenläppmaschine mit einer Steuervorrichtung.
Fig. 2 zeigt eine Draufsicht auf die Zweischeibenläppmaschine
nach Fig. 1 im horizontalen Schnitt.
Fig. 3 zeigt ein typisches Belastungsdiagramm bei einer Läpp
maschine nach den Fig. 1 und 2.
Fig. 4 zeigt im Schnitt einen Abfangschalter für die Steuervorrichtung.
Fig. 5 zeigt eine Draufsicht auf das Halteglied des Abfang
schalters nach Fig. 4.
Fig. 6a bis 6c zeigen verschiedene Stellungen eines Abfang
schalters in Verbindung mit der jeweiligen Stellung der
oberen Läppscheibe.
Fig. 7 zeigt äußerst schematisch das Steuerschema der Steuervorrichtung.
Die in den Fig. 1 und 2 dargestellte Zweischeibenläpp
maschine, die auf einem Fundament 1 ruht, untergliedert sich
in Oberteil 2 mit Haube 3 und Unterteil 4 mit Schaltschrank 5.
Das Unterteil 4 weist ein Gestell 6 auf, in dem die untere
Läppscheibe 7 mit ihrem nicht dargestellten Antrieb ge
lagert ist. Auf dem Gestell 6 sitzt der Schaltschrank 5 und
ein Säulenständer 8 für das Oberteil 2. Das Oberteil 2 ist
am Säulenständer 8 in Lagern 9.1 und 9.2 schwenkbar gelagert.
Im Oberteil 2 ist ein doppelarmiger Hebel 10 angeordnet,
der mittels Schwenklagern 11.1 und 11.2 in den Seitenwänden
2.1 und 2.2 des Oberteils 2 schwenkbar gelagert ist (siehe
Fig. 2). Am Ende des linken längeren Arms des Hebels 10
sind Langlöcher 10.1 geformt, in die Rollenzapfen 12.1, 12.2
einer Pinole als Lagerbauteil 12 aufgenommen sind. Die Pinole 12 lagert eine
Arbeitsspindel 13,und zwar mit Hilfe eines oberen und eines
unteren Kugellagers, welche im einzelnen nicht dargestellt
sind.
Die Pinole 12 ist ihrerseits in Gleitlagern 6.2, 6.3 des
Oberteils 2 zentriert und axial geführt. Sie steht nach
unten über das Oberteil hinaus. Ein Schutzbalg 14, der nach
unten durch die die Pinole 12 umgebende Scheibe 14 a geschlossen
ist, dient zum Schutz des unteren Lagers 6.3 und der Pinolen
oberfläche. Am oberen Ende trägt die Pinole 12 einen Antrieb,
bestehend aus einem Getriebe 15 und einem Motor 16. Am unteren
Ende der Spindel 13 ist in bekannter Weise eine obere Läpp
scheibe als Werkzeug 27 gelenkig angehängt. Zwischen den Scheiben 7 und 27
werden Werkstücke 28 in bekannter Weise bearbeitet.
Am anderen Ende des Oberteils 2 sind gegenüberliegend Konsolen
6.4 und 6.5 gebildet, an denen sich jeweils ein pneumatisches
Verstellorgan (z. B. Verstellzylinder oder ein Balg aus geeig
netem polymerem oder metallischem Material) abstützt. Das
obere Verstellorgan ist mit 17 und das untere mit 18 bezeichnet.
Am anderen Ende der pneumatischen Verstellorgane 17, 18 sind
Montageplatten 20, 21 angebracht, die mit Drehlagerzapfen 22,
23 über Schrauben 24 verbunden sind. Mindestens ein Drehlager,
beispielsweise das zum Drehlagerzapfen 22 gehörende, ist als
Kraftsensor 23 ausgebildet.
Eine Druckluftquelle 40 ist über einen Druckregler 41 mit
Manometer 30, ein Steuerventil 24.1 und eine Drossel 26.1
an das obere pneumatische Verstellorgan 17 angeschlossen.
Die Druckluftquelle 40 ist außerdem über ein Steuerventil
24.6 und eine Drossel 26.6 an das untere Verstellorgan 18
angeschlossen. Mit dem oberen Verstellorgan 17 sind außerdem
Steuerventile 24.2, 24.3 und 24.4 parallel verbunden, an die
ihrerseits an Drosseln 26.2, 26.3 und 26.4 angeschlossen
sind. Die Drosselquerschnitte sind verstellbar. An das
untere Verstellorgan 18 ist außerdem ein Steuerventil 24.5
angeschlossen, das mit einer Drossel 26.5 verbunden ist.
Die Drosseln 26.2 bis 26.5 liegen an Atmosphäre.
Im Oberteil 2 ist schließlich ein Abfangschalter 43 ange
ordnet, der von einer Betätigungsstange 44 betätigt wird,
die mit der Scheibe 14 a verbunden ist. Der Aufbau des
Abfangschalters 43 geht aus den Fig. 4 bis 6 hervor.
Die mit der Scheibe 14 a verbundene Betätigungsstange 44
erstreckt sich durch die untere Wand des Oberteils 2 und
durch eine Stützhülse 46, die in der Bohrung des Oberteils 2
angeordnet ist. Eine Verbreiterung 47 am oberen Ende der
Stützhülse 46 trägt einen elektrischen Schalter 48 und auf
der gegenüberliegenden Seite einen verstellbaren Anschlag 49.
Oberhalb der Stützhülse 46 ist ein als Halteklotz ausgebildetes Halteglied 50 gleitend auf
die Betätigungsstange 44 aufgeschoben. In dem Halteklotz 50
sitzt, wie durch 51 angedeutet, ein Verstellzylinder, dessen
Kolbenstange 52 mit einem Klemmkeil 53 a zusammenwirkt, der in
einer im Querschnitt rechteckförmigen achsparallelen Längs
nut 54 in der Betätigungsstange 44 sitzt. Wird der Verstell
zylinder 51 betätigt, wird der Halteklotz 50 an der Be
tätigungsstange 44 festgeklemmt.
Am Halteklotz 50 sitzt ferner ein Schaltzylinder 52 a,
dessen Kolbenstange einen Schaltnocken 53 trägt. In Fig. 4, 6a
und 6b ist der Schaltnocken in der zurückgefahrenen Stellung ge
zeigt,während er in Fig. 6c in der ausgefahrenen Position
dargestellt ist. Liegt der Halteklotz
50 am Anschlag 49 an und ist der Schaltnocken 53 zurückge
zogen, wird der Schalter 48 nicht betätigt. Die Verstell
zylinder 51 und 52 a sind mit einer geeigneten Hydraulik- oder
Pneumatikquelle verbunden, wie bei 55 bzw. 56 angedeutet.
Die gezeigte Läppmaschine wird von einer Programmsteuerungseinheit
gesteuert (siehe Fig. 7). In der Programmsteuerungseinheit sind die
einzelnen Bearbeitungsschritte gespeichert, insbesondere
die Geschwindigkeit beim Zustellen der oberen Läppscheibe
27, ihr Bearbeitungsdruck in Abhängigkeit von der Zeit,
die Bearbeitungszeit, die eventuelle Nachbearbeitungszeit
sowie das automatische Zurückstellen der Läppscheibe zur
Entnahme der Werkstücke und der Beladung mit neuen Werk
stücken.
Zu diesem Zweck erhält die Programmsteuerungseinheit die Signale
vom Abfangschalter 43 und vom Kraftsensor 23.
In Fig. 3 ist ein Kraftzeitdiagramm dargestellt, das den
Bearbeitungsdruck, wie er von der Läppscheibe 27 auf die
Werkstücke 28 ausgeübt wird, über der Zeit wiedergibt.
In der Zeit bis t 1 erfolgt das Aufsetzen der Läppscheibe
27 und das allmähliche Aufbringen des Bearbeitungsdruckes
während drei linearer Phasen. In der Zeit t 1 bis t 2 erfolgt
der eigentliche Bearbeitungsvorgang mit dem gewünschten
Betriebsdruck. Zum Zeitpunkt t 2 wird der Betriebsdruck
mehr oder weniger abrupt auf einen
vorgegebenen Prozentsatz reduziert. Entsprechend erfolgt
die Bearbeitung in der Zeit t 2 bis t 3 mit reduziertem Bear
beitungsdruck. Zum Zeitpunkt t 3 wird der Bearbeitungsdruck
aufgehoben.
Die Wirkungsweise der beschriebenen Steuervorrichtung ist
wie folgt.
Nachdem in bekannter Weise die Maschine mit den
Werkstücken 28 beladen und das Oberteil 2 in die Arbeits
lage zurückgeschwenkt ist, beginnt die Zustellung der Läpp
scheibe 27, die sich in der obersten Position befindet, wie in
Fig. 1 bei 25 angedeutet und in Fig. 6b mittelbar gezeigt. In
der obersten Position der Läppscheibe ist das obere Verstellorgan
17 über das geöffnete Steuerventil 24.1 an die Druckquelle
40 angeschlossen. Das Steuerventil 24.5 ist ebenfalls ge
öffnet, so daß das untere Verstellorgan 18 entlüftet ist. Die
übrigen Ventile sind geschlossen. Wird in die Programm
steuerung (siehe Fig. 7) der Schaltbefehl EIN gegeben,
schließt das Steuerventil 24.1 und das Steuerventil 24.2
wird von der Programmsteuerung geöffnet. Über die im Quer
schnitt relativ groß bemessene Drossel 26.2 wird das obere Ver
stellorgan 17 rasch entlüftet, so daß die obere Läppscheibe 27
aufgrund ihres Eigengewichts sich relativ rasch absenken
kann. Zur Beschleunigung des Absenkvorgangs können auch die
Ventile 24.3 und 24.4 geöffnet sein, damit deren parallel
liegende Drosseln 26.3 und 26.4 für eine noch schnellere Ent
lüftung sorgen. Der Absenkvorgang und der Aufbau des Drucks
erfolgen normalerweise über die Programmsteuerung vollständig
automatisch. Zur Justierung des Abfangschalters 43 wird
jedoch die Läppscheibe 27 durch Handsteuerung weich auf die
Werkstücke 28 aufgesetzt, bis die Läppscheibe 27
mit einem leichten Druck aufliegt, der über den Kraft
sensor angezeigt wird. Bei diesem Vorgang ist durch ent
sprechende Betätigung des Verstellzylinders 31 der Halte
klotz 50 verschiebbar an der Betätigungsstange 44 ge
lagert, und der Verstellzylinder 52 a hält den Schalter
nocken 53 in zurückgezogener Position. Der Halteklotz 50
ruht daher auf dem verstellbaren Anschlag 49. Anschließend wird
der Halteklotz 50 an der Betätigungsstange 44 festgeklemmt
und die Läppscheibe wieder über den Abfangpunkt hochgefahren.
Auf die Betätigung der einzelnen Steuerventile beim Hochfahren
wird weiter unten eingegangen.
In der oben beschriebenen Weise wird nunmehr die Läppscheibe
27 erneut zugestellt, wobei der Halteklotz 50 fest an der
Betätigungsstange 44 sitzt und der Schaltnocken 53 aus
gefahren ist. Der Hub des Schaltnockens 53 sowie die Lage
des Kontaktes des Schalters 48 ist derart, daß eine Betäti
gung des Schalters 48 erfolgt, kurz bevor der Halteklotz 50
auf den Anschlag 49 stößt. Diese Position ist in Fig. 6c dar
gestellt. Bis zu diesem Punkt erfolgt das Absenken der
Läppscheibe 27 mit relativ großer Geschwindig
keit in der oben beschriebenen Art und Weise. Das Schalter
signal wird in der Programmsteuerung dazu verwendet, das
Steuerventil 24.2 zu schließen und das Steuerventil 24.3
zu öffnen. Der wirksame Querschnitt der Drossel 26.3 ist
erheblich geringer als der der Drossel 26.2, so daß nunmehr die
Entlüftung des oberen Verstellorgans 17 entsprechend langsamer
vor sich geht und damit auch die Absenkgeschwindigkeit der
Läppscheibe 27 sehr gering ist. Die Läppscheibe
27 setzt daher sehr sanft auf die Werkstücke 28 auf. Das
Signal des Schalters 48 wird auch dazu verwendet, den Halte
klotz 50 vom Klemmeingriff mit der Betätigungsstange 44
zu lösen und den Schaltnocken 53 wieder in die zurückge
zogene Position zu fahren (siehe Fig. 6a). Damit kommt der Halte
klotz 50 wieder auf den Anschlag 49 zu liegen. Man erkennt,
daß aufgrund des beschriebenen Aufbaus des Abfangschalters 43
der Abstand der Läppscheibe 27 vom Werkstück 28, ab dem das Ab
senken der Scheibe 27 mit geringerer Geschwindigkeit erfolgt,
unabhängig davon ist, um welchen Betrag die Läppscheibe 27
abgenutzt ist. Die Größe des Abstandes kann durch den ver
stellbaren Anschlag 49 eingestellt werden.
Die zunehmende Entlüftung des oberen Verstellorgans 17 über die
Drossel 26.3 führt zu einem Anstieg des Bearbeitungsdruckes
entlang des ersten Abschnitts der Anstiegskurve gemäß
Fig. 3. Die Steigung dieses Abschnitts wird durch den
Öffnungsquerschnitt der Drossel 26.3 bestimmt, der verändert
werden kann. Wird der Druck F 01 erreicht, was über den Kraft
sensor der Programmsteuerung übermittelt wird, sorgt diese
für ein Schließen des Ventils 24.3 und ein Öffnen des Ventils
24.4. Deren zugehörige Drossel 26.4 weist einen größeren
Querschnitt als die Drossel 26.3 auf, so daß der Anstieg
des Bearbeitungsdruckes entlang eines steileren Kurven
abschnitts erfolgt. Meldet der Kraftsensor den Druck F 02
der Programmsteuerung, wird das Ventil 24.6 geöffnet, so daß
das untere Verstellorgan 18 belüftet wird. Dadurch erfolgt ein
steiler Druckanstieg. Ist der Druck F 1 erreicht, schließt
die Programmsteuerung sämtliche Steuerventile und sorgt für
die Aufrechterhaltung des Druckes F 1 über den Zeitraum t 1 bis
t 2. Der Antriebsmotor 16 für die Spindel 13 wird erst einge
schaltet, wenn der Kraftsensor der Programmsteuerung einen
Mindestdruck meldet. Dadurch ist sichergestellt, daß die Läpp
scheibe 27 satt auf den Werkstücken 28 aufliegt,bevor sie in
Drehung versetzt wird.Dieser Mindestdruck kann zum Beispiel 250N
betragen. Erst wenn dieser Druck erreicht worden ist, wird der
Motor 16 eingeschaltet und die Läppscheibe 27 beginnt zu rotieren.
Falls die Läppscheibe 27 stets das gleiche Gewicht haben würde,
ist der zwischen den Verstellorganen 17, 18 herrschende
Differenzdruck proportional dem Bearbeitungsdruck. Das
Gewicht der Läppscheibe 27 ändert sich jedoch im Laufe
der Zeit erheblich. Für die Programmsteuerung muß daher
eine entsprechende Korrektur vorgenommen werden. Zu diesem
Zweck wird das Gewicht der Läppscheibe bei jedem Bearbei
tungsvorgang neu gemessen. Dies geschieht kurz bevor die
Läppscheibe 27 auf die Werkstücke 28 aufsetzt. Der im oberen
Verstellorgan 17 herrschende Druck ist proportional der
am anderen Hebelarm angreifenden Kraft. Da sämtliche Teile,
die vom Hebel 10 zu tragen sind, im Gewicht gleich bleiben
außer der Läppscheibe, stellt die jeweils zu einem bestimmten
Punkt gemessene Kraft am Verstellorgan 17 ein Maß für das Gewicht
der Läppscheibe 27 dar. Mit diesem Gewichtssignal können
die entsprechenden Werte in der Programmsteuerung stets
korrigiert und auf den neuesten Stand gebracht werden. Das
Austarieren der Läppscheibe 27 erfolgt automatisch, so daß
ein Eingriff des Bedienungspersonals nicht erforderlich ist.
Vielfach wird gefordert, daß nach einer Bearbeitung mit
dem gewünschten Betriebsdruck eine Nachbearbeitung mit
reduziertem Druck erfolgen soll. Zu diesem Zweck werden die
Ventile 24.1 und 24.5 geöffnet. Das bedeutet, im Verstellorgan
17 wird über die Drossel 26.1 ein Druck aufgebaut, während das
untere Verstellorgan 18 über die Drossel 26.5 entlüftet wird.
Dieser Vorgang geht verhältnismäßig rasch vor sich. Ist
der reduzierte Bearbeitungsdruck F 2 erreicht, schließen die
Ventile wieder. Die Nachbearbeitung erfolgt während der Zeit
t 2 bis t 3. Anschließend werden die Ventile 24.1 und 24.5 erneut
geöffnet und die Läppscheibe 27 fährt in ihre oberste Position
(siehe auch Fig. 6b). Das Oberteil 2 kann nunmehr geschwenkt
werden und das Herausnehmen und das Hineingeben der
Werkstücke zulassen. Der neue Fertigungsvorgang läuft dann wie
beschrieben ab.
Die beschriebene Vorrichtung wurde nur beispielshalber für
eine Zweischeibenläppmaschine näher erläutert. Es versteht
sich, daß zum Beispiel auch eine Einscheibenläppmaschine
entsprechend gesteuert werden kann. Ferner ist die Steuer
vorrichtung auch anwendbar auf Hon- und Poliermaschinen.
Schließlich ist der vorteilhafte Aufbau des Abfangschalters
43 nicht auf die Betätigung der Pinole durch die Verstellorgane 17,
18 beschränkt, sondern kann auch für andere Zustellvor
richtungen verwendet werden, bei denen eine Kompensation
des Verschleißes erfolgen soll.
Claims (5)
1. Steuereinrichtung für den Bearbeitungsdruck an einer Läpp-, Hon-
oder Poliermaschine
bei der das Werkzeug (27) eine horizontal gelagerte Arbeitsfläche aufweist und motorisch über eine vertikal angeordnete Spindel (13) angetrieben ist, die ihrerseits drehbar und axial fest in einem in Achsrichtung der Spindel (13) bewegbaren Lagerbauteil (12) gelagert ist,
bei der ferner von einem Fluid betätigte Verstellvorrichtungen (17, 18) von entgegengesetzten Seiten am Lagerbauteil (12) angreifen zum Absenken des Werkzeugs (27) auf das in einer Halterung bereitgehaltene Werkstück (28) sowie zum Anheben des Werkzeugs (27) vom Werkstück (28)
und bei der schließlich ein den Bearbeitungsdruck messender Kraftsensor (23) Ist-Drucksignale auf eine Programmsteuerungseinheit gibt, die in Abhängigkeit von der Zeit die Ist-Drucksignale mit einem jeweils geltenden Soll- Drucksignal vergleicht und aus dem Vergleich Steuersignale für die Verstellvorrichtungen (17, 18) erzeugt,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwei pneumatische Verstellvorrichtungen (17, 18) vorgesehen sind,
daß die erste, dem Eigengewicht des Werkzeugs (27) entgegenwirkende pneumatische Verstellvorrichtung (17) über ein Steuerventil (24.1) an eine Druckgasquelle (40) und an eine über weitere Steuerventile (24.2, 24.3, 24.4) steuerbare Drosselanordnung (26.2, 26.3, 26.4) angeschlossen ist,
daß die Programmsteuerung Stellsignale auf diese Steuerventile (24.2, 24.3, 24.4) zum Entlüften der ersten Verstellvorrichtung (17) gibt,
daß die zweite Verstellvorrichtung (18) über ein Steuerventil (24.6) an die Gasdruckquelle (40) angeschlossen und über ein weiteres Steuerventil (24.5) mit einer verstellbaren Drossel (26.5) verbunden ist
und daß ein von dem Lagerbauteil (12) oder von dem Werkzeug (27) betätigter gestellfester Abfangschalter (43) vorgesehen ist, der ein Signal auf die Programmsteuerung gibt zwecks Verzögerung der Absenkgeschwindigkeit, wenn das Werkzeug (27) sich dem Werkstück (28) auf ein vorgegebenes Maß genähert hat.
bei der das Werkzeug (27) eine horizontal gelagerte Arbeitsfläche aufweist und motorisch über eine vertikal angeordnete Spindel (13) angetrieben ist, die ihrerseits drehbar und axial fest in einem in Achsrichtung der Spindel (13) bewegbaren Lagerbauteil (12) gelagert ist,
bei der ferner von einem Fluid betätigte Verstellvorrichtungen (17, 18) von entgegengesetzten Seiten am Lagerbauteil (12) angreifen zum Absenken des Werkzeugs (27) auf das in einer Halterung bereitgehaltene Werkstück (28) sowie zum Anheben des Werkzeugs (27) vom Werkstück (28)
und bei der schließlich ein den Bearbeitungsdruck messender Kraftsensor (23) Ist-Drucksignale auf eine Programmsteuerungseinheit gibt, die in Abhängigkeit von der Zeit die Ist-Drucksignale mit einem jeweils geltenden Soll- Drucksignal vergleicht und aus dem Vergleich Steuersignale für die Verstellvorrichtungen (17, 18) erzeugt,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwei pneumatische Verstellvorrichtungen (17, 18) vorgesehen sind,
daß die erste, dem Eigengewicht des Werkzeugs (27) entgegenwirkende pneumatische Verstellvorrichtung (17) über ein Steuerventil (24.1) an eine Druckgasquelle (40) und an eine über weitere Steuerventile (24.2, 24.3, 24.4) steuerbare Drosselanordnung (26.2, 26.3, 26.4) angeschlossen ist,
daß die Programmsteuerung Stellsignale auf diese Steuerventile (24.2, 24.3, 24.4) zum Entlüften der ersten Verstellvorrichtung (17) gibt,
daß die zweite Verstellvorrichtung (18) über ein Steuerventil (24.6) an die Gasdruckquelle (40) angeschlossen und über ein weiteres Steuerventil (24.5) mit einer verstellbaren Drossel (26.5) verbunden ist
und daß ein von dem Lagerbauteil (12) oder von dem Werkzeug (27) betätigter gestellfester Abfangschalter (43) vorgesehen ist, der ein Signal auf die Programmsteuerung gibt zwecks Verzögerung der Absenkgeschwindigkeit, wenn das Werkzeug (27) sich dem Werkstück (28) auf ein vorgegebenes Maß genähert hat.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
an die erste Verstellvorrichtung (17) mindestens zwei vorzugsweise
verstellbare Drosseln (26.2, 26.3) über getrennte Steuerventile
(24.2, 24.3) angeschlossen sind und so die Drosselanordnung
bilden.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß das Lagerbauteil (12) an einem Arm eines doppelarmigen
Hebels (10) aufgehängt ist und die pneumatische Verstellvorrichtung
am anderen Hebelarm angreift.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß
der Kraftsensor zwischen der Verstellvorrichtung (17) und
dem Hebel (10) angeordnet ist.
5. Vorrichtung, nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß der Abfangschalter (43) derart ausgebildet ist,
daß mit dem Lagerbauteil (12) eine Betätigungsstange (44) verbunden ist, auf der axial verschiebbar ein Halteglied (50) gelagert ist, das seinerseits mit einem an die Programmsteuerung angeschlossenen Feststellmechanismus (51) an der Betätigungsstange (44) durch Festklemmen justierbar ist,
daß das Halteglied (50) ein verstellbares an die Programmsteuerung angeschlossenes Betätigungsglied (52 a) für einen Schalter (48) aufweist,
und daß das Halteglied (50) mit einem gestellfesten Anschlag (49) derart zusammenwirkt, daß bei Anlage des Halteglieds (50) am Anschlag (49) der Schalter (48) nur betätigt wird, wenn das Betätigungsglied (52 a) in einer ausgefahrenen Position ist.
daß mit dem Lagerbauteil (12) eine Betätigungsstange (44) verbunden ist, auf der axial verschiebbar ein Halteglied (50) gelagert ist, das seinerseits mit einem an die Programmsteuerung angeschlossenen Feststellmechanismus (51) an der Betätigungsstange (44) durch Festklemmen justierbar ist,
daß das Halteglied (50) ein verstellbares an die Programmsteuerung angeschlossenes Betätigungsglied (52 a) für einen Schalter (48) aufweist,
und daß das Halteglied (50) mit einem gestellfesten Anschlag (49) derart zusammenwirkt, daß bei Anlage des Halteglieds (50) am Anschlag (49) der Schalter (48) nur betätigt wird, wenn das Betätigungsglied (52 a) in einer ausgefahrenen Position ist.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853520713 DE3520713A1 (de) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | Steuervorrichtung fuer den bearbeitungsdruck an laepp-, hon- und poliermaschinen |
EP86107366A EP0205054B1 (de) | 1985-06-10 | 1986-05-30 | Steuervorrichtung für den Bearbeitungsdruck an Läpp-, Hon- und Poliermaschinen |
DE8686107366T DE3686205D1 (de) | 1985-06-10 | 1986-05-30 | Steuervorrichtung fuer den bearbeitungsdruck an laepp-, hon- und poliermaschinen. |
US06/872,236 US4742651A (en) | 1985-06-10 | 1986-06-09 | Control device for the processing pressure on lapping, honing and polishing machines |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19853520713 DE3520713A1 (de) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | Steuervorrichtung fuer den bearbeitungsdruck an laepp-, hon- und poliermaschinen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3520713A1 DE3520713A1 (de) | 1986-12-11 |
DE3520713C2 true DE3520713C2 (de) | 1989-06-15 |
Family
ID=6272861
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19853520713 Granted DE3520713A1 (de) | 1985-06-10 | 1985-06-10 | Steuervorrichtung fuer den bearbeitungsdruck an laepp-, hon- und poliermaschinen |
DE8686107366T Expired - Lifetime DE3686205D1 (de) | 1985-06-10 | 1986-05-30 | Steuervorrichtung fuer den bearbeitungsdruck an laepp-, hon- und poliermaschinen. |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE8686107366T Expired - Lifetime DE3686205D1 (de) | 1985-06-10 | 1986-05-30 | Steuervorrichtung fuer den bearbeitungsdruck an laepp-, hon- und poliermaschinen. |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4742651A (de) |
EP (1) | EP0205054B1 (de) |
DE (2) | DE3520713A1 (de) |
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Date | Code | Title | Description |
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: PETER WOLTERS AG, 2370 RENDSBURG, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |