DE347411C - Vorrichtung zur Feststellung der Gleichlage zweier Wellen in einer Ebene - Google Patents

Vorrichtung zur Feststellung der Gleichlage zweier Wellen in einer Ebene

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DE347411C
DE347411C DE1921347411D DE347411DD DE347411C DE 347411 C DE347411 C DE 347411C DE 1921347411 D DE1921347411 D DE 1921347411D DE 347411D D DE347411D D DE 347411DD DE 347411 C DE347411 C DE 347411C
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

  • Vorrichtung zur Feststellung der üleichlage zweier Wellen in einer Ebene. Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Feststellung der Gleichlage zweier oder mehrerer Wellen in einer Ebene. Zwei Wellen sind nur dann genau parallel, wenn folgende Bedingungen erfüllt sind z. der Abstand zwischen den Wellen, an zwei Stellen gemessen, gleich ist und z. die Wellen mit ihren Achsen in der gleichen Ebene liegen.
  • Ob die erste Bedingung erfüllt ist, kann leicht und unmittelbar durch direkte Messung festgestellt werden, und die vorliegende Erfindulig betrifft eine Vorrichtung, welche bei Erfüllung der ersten Bedingung die der zweiten feststellt, d. h. also, ob die Wellen genau parallel liegen oder nicht. Die Vorrichtung ist ferner so eingerichtet, daß sie den Betrag anzeigt, um welchen die Wellen von der Parallellage abweichen, wobei sie gewünschtenfalls auch so ausgebildet ist, daß sie die Zeitpunkte verzeichnet, zu denen die Abweichung auftritt, gleichzeitig mit der Größe der Abweichung in diesen Zeitpunkten.
  • Die Vorrichtung kann unter gewissen Bedingungen auch dazu benutzt werden, die Lage der Wellen in einer gleichen Ebene anzuzeigen, wenn die Wellen nicht parallel verlaufen.
  • Für den Zahneingriff von Zahngetrieben ist es zum richtigen Arbeiten notwendig, daß nicht nur die Räder die richtige Zahnform haben, sondern daß auch die Treibwellen und die getriebenen Wellen ständig in ein und derselben Ebene liegen. Wird diese Bedingung nicht aufrechterhalten, so ist eine Abnutzung der Getriebe und eine Verringerung des Wirkungsgrades unausbleiblich.
  • Die Vorrichtung gemäß der Erfindung ist besonders für den Gebrauch für Wellen von Versetzungsgetrieben für Turbinen bestimmt, wie sie zur Zeit sowohl bei Land- als auch bei Schiffsturbinen immer mehr Anwendung finden.
  • Gemäß der Erfindung besteht die Vorrichtung in ihrer einfachsten Form aus einer Stange von der nötigen mechanischen Starrheit, die mit drei Lagern oder Stützpunkten versehen ist, von denen mindestens der eine einstellbar ist. Die Stange hat eine solche Form und solche Abmessungen, daß zwei Stützpunkte in Anlage mit den Wellen gebracht werden können, deren Lage in einer Ebene festgestellt bzw. angezeigt werden soll, und zwar erfolgt die Berührung der Wellen dann, wenn die Verbindungslinie dieser beiden Stützpunkte zu den Wellenachsen geneigt ist. Die Vorrichtung wird zunächst an den Wellen in solcher Weise angebracht, daß zwei Stützpunkte mit den Wellenoberflächen in Berührung kommen, während der dritte Stützpunkt an einem festen Punkt abgestützt wird, der einen Teil des Tragrahmens für die Meßstange bildet, wobei nötigenfalls der einstellbare Stützpunkt für die Meßstange zu diesem Zweck vorher eingestellt wird. Dann wird die Vorrichtung um den feststehenden Stützpunkt in eine andere Stellung gedreht, in welcher die Stützpunkte mit den Wellen in Berührung kommen. Wenn dann hierfür keine Nachstellung des oder der Stützpunkte nötig ist, liegen beide Wellen in der gleichen Ebene. Wenn dagegen der einstellbare Stützpunkt nachgestellt werden muß, ehe wieder eine Berührung mit den Wellen stattfindet, so sind die Wellen nicht in derselben Ebene, und die Lager an dem Rahmen müssen dann so lange verstellt werden, bis die. gewünschte Bedingung erfüllt ist. Die erste Anlegung der Vorrichtung an die Wellen dient dazu, eine Nullmarke zu erhalten, während die zweite Anstellung zeigt, um welchen Betiag die Einstellung des oder der Stützpunkte nötig wurde und damit, wie weit die Wellen von der gewünschten Lage in gleicher Ebene abweichen.
  • Um die Notwendigkeit des festen Stützpunktes an dem Rahmen zu vermeiden, der mit Rücksicht auf eine Verswindung des Rahmens oder durch eine Veränderung in den Lagern erfolgen könnte, kann für die Vorrichtung selbst ein fester Stützrahmen vorgesehen sein, welcher endgültig nur gegenüber den Wellen festgelegt wird, indem dieser Rahmen zwei Stangen erhält, von denen die eine die Stützstange bildet, die mit zwei Stützpunkten versehen ist und an den zu prüfenden Wellen angelegt wird. Diese Stange trägt eine geeignete, den festen Punkt für die zweite Stange, die Meßstange, bildende Stütze, und die 1Vleßstange hat drei Stützpunkte. Bei Anwendung dieser Ausführungsform wird die Lage der Stützstange, welche durch zwei Punkte -an den Wellen bestimmt -wird, nicht geändert, und die Prüfung erfolgt durch Handhabung der Meßstange in der vorherbeschriebe-:nen Weise. Zum'besseren Verständnis zeigt die Zeichnung die beispielsweise Ausführungsform der -neuen Vorrichtung.
  • Abb. x ist eine Draufsicht auf das Getriebegehäuse einer Turbine, dessen Wellenlage geprüft werden soll. Diese Abbildung zeigt eine Ausführungsform der neuen Vorrichtung.
  • Abb. 2 ist eine Endansicht der Abb. i mit Schnittstellen.
  • Abb.3 ist eine -Schnittansicht einer abgeänderten Ausführungsform, während die Abb. q. und 5 schematische Schaubilder zur Erläuterung der Gebrauchsweise dieser Vorrichtung -sind.
  • Abb.6 bis 9 sind Ansichten abgeänderter Einzelteile, während Abb. =o eine geeignete Aufzeichnungsvorrichtung darstellt.
  • In den Abb. i und 2 bedeutet i das Getriebegehäuse für ein Untersetzungsgetriebe einer Turbine und 2 sind ')`eile -der Lagergehäuse der zwei parallelen Wellen 3, deren Lage in einer Ebene geprüft werden soll. Wie vorher gesagt, kann der Abstand der beiden Wellen 3 durch direkte Messung festgestellt werden. Angenommen, der -gleiche Abstand der beiden Wellenachsen an zwei gleichen Punkten, beispielsweise in der Mitte der beiden Wellenenden, sei festgestellt, so kommt es nun darauf an, festzustellen, ob vier Punkte, d. h. zwei gleichliegende Punkte der Achse jeder Welle, in der gleichen Ebene liegen, in welchem Falle die Wellen parallel sind. Angenommen, daß die Wellen 3 gleichen Durchmesser haben, so kann man vier Punkte A, B, C, D an der Oberfläche der Wellen senkrecht über den Wellenachsen auswählen, die in derselben Ebene liegen sollen. Zugang zu diesen Punkten erhält man durch Bohrungen q., wie sie für Schmierungszwecke in den Lagergehäusen 2 vorgesehen sind, oder aber solche Bohrungen müssen für die Messung gemacht werden.
  • Die Ausführungsform nach Abb. i und 2 zur Feststellung der Lage der Punkte A, B, C, D in einer-Ebene besteht im wesentlichen aus einer Meßstange 5, welche, «ie aus Abb. 2 ersichtlich, eine gebogene Form hat, die mit ihrem Mittelpunkt frei über dem Zwischenteil des Getriebegehäuses zwischen den Wellen 3 liegt und damit die Meßstange die genügende Starrheit gegen Verwicklungen und Verwindungen beim Gebrauch besitzt. Die Stange kann aus vollem oder gepreßtem Metall sein, vorteilhaft hat sie Trägerkonstruktion, damit sie bei genügender Stärke leicht wird. Für große Stangen kann ein festes Leichtmetall, wie D-uraluminium, vorteilhaft Anwendung finden. Jedes Stangenende ist mit einem Auflegepunkt oder Fühler für die Punkte A-D versehen, die vorteilhaft aus konisch zugespitzten Stiften 6 und 7 von einer Normallänge bestehen und aus hartem Material, wie Stahl oder D.uraluminium, hergestellt sind. Diese Füllstifte 6 und 7 können durch die Bohrungen q. in Berührung mit den Wellen 3,3 an den diagonal gegenüberliegenden Punktenpaaren A-D bzw. B-C gebracht werden. Zu diesem Zwecke ist -die Stange 5 an ihren Enden mit Offnungen 8 zur Aufnahme der Stifte 6 und 7 versehen. Das rechte Ende .der Stange ist, wie Abb. 2 zeigt, mit einem wagerechten Schlitz 9 versehen, gegen dessen obere Fläche =o das obere Ende des Fühlstifte$ 6 anliegt, zum Zwecke der genauen Einstellung dieses Stangenendes gegenüber dem Stift 6 und damit gegenüber einem der Punkte A, B, C oder D der Wellen 3. Am linken Ende der Stange 5 ist statt einer Begrenzungsfläche =o eine Anzeigevorrichtung angebracht, um die gegenseitige Beziehung zwischen dem Stift 7 gegenüber der Stange 5 gleichzumachen. Die Anzeigevorrichtung besteht vorteilhaft aus einem Zifferblattmikrometer =i, das an einem senkrechten Schieber i2 sitzt, der an einem Halter 13 des Stangenendes einstellbar ist. Statt des Zifferblattmikrometers könnte auch eine andere geeignete Meßvorrichtung, wie ein mechanisches elektrisches oder auch akustisches Übersetzungsinstrument, benützt werden. Beispielsweise könnte der Stift 7 selbst mit einer Teilung versehen und daran ein Nonius angebracht sein, unter Anbringung eines Mikroskopes, um die feine Teilung abzulesen, auch ein Spiegel könnte zu diesem Zweck benutzt werden. Für Messungen im Betriebe -wird vorteilhaft ein Zifferblattmikrometer für genügend anzusehen sein. Die Einstellung des Schiebers 12 kann durch feine Stellschrauben 1q. erfolgen, während die Schraube 15 zum Festklemmen des Mikrometers ii in der eingestellten Lage dient. Der Mikrometerkolben Zia wird vom oberen Ende des Fühlstiftes 7 berührt.
  • Wie vorher auseinandergesetzt, ist die Stange 5 in zwei diagonalen Stellungen, d. h. also von A-D und von B-C, zu benutzen, während das dritte relativ feststehende Auflager an der Schnittstelle der Diagonallinie bei E angeordnet ist. Der Stützpunkt E wird durch einen einstellbaren konisch zugespitzten Zäpfen 16 gebildet, der in eine konische Aussparung 17 in der Mitte an der Unterseite der Stange- eingreift und an einem Teil des Getriebegehäuses i seine Auflage findet. Zum Gebrauch wird die Meßstange zunächst in solcher Weise an die Wellen 3 angelegt, daß die Stifte 6 und 7 beispielsweise mit den Punkten A und D der Wellen in Anlage kommen, während die Mitte der Stange auf dem Zapfen 16 aufliegt. Der Stift 6 am rechten Ende der Stange und der Zapfen 16 bilden dann feste Stützpunkte, und es ist zur bequemen Handhabung das rechte Ende der Stange vorteilhaft mit einem Übergewicht ioa oder einer Feder versehen, um die Berührung der Grenzfläche io mit denn Stift 6 -zu sichern. Um die Vorrichtung endgültig in ihre erste Stellung zu bringen, wird das Mikrometer ii an seinem Halter 13 eingestellt, bis der Zeiger auf Null zeigt, wenn der Kolben iia den Stift 7 berührt, wobei der Stift 6 bereits in Berührung mit der Welle und der Grenzfläche io ist. Hierauf wird das Mikrometer mittels der Schraube 15 festgeklemmt und die Stange um den mittleren Stützpunkt, d. h. den Zapfen 16, in die andere Diagonalstellung gedreht, in welcher die Fühlstifte 6 und 7 mit den Punkten B und C der Wellen 3 in Berührung kommen müssen. Ist dies in der neuen Stellung der Fall, so liegen die Wellen in gleicher Ebene, wenn nicht, so ist klar, daß jede Abweichung am Stift 7 durch das Mikrometer ii angezweigt wird, und man kann hiernach das Getriebegehäuse mittels Keile oder in anderer Weise verändern, um die Wellen gleich auszurichten.
  • Diese Ausführungsform der Vorrichtung eignet sich für die Feststellung der Lage von Wellen in gleicher Ebene, wenn das Turbinengetriebe in der Fabrik montiert wird. Bei Schiffen dagegen oder anderen Plätzen, wo die Getriebe laufen, ist es nicht immer tunlich, geeignete feststehende Mittelstützpunkte anzubringen mit Rücksicht auf Verziehungen des Gehäuses oder Änderung der Lagerpfanne in den Lagern, und zur Vermeidung dieser Schwierigkeit eignet sich die Ausführungsform nach den Abb.3 bis 5.
  • Diese Ausführungsform ist im Prinzip finit der vorbeschriebenen ähnlich, hat aber statt des mittleren Stützpunktes am Gehäuse i eine Hilfsstange oder Stützstange 18, die entweder durch die Wellen selbst oder aber durch Teile des Gehäuses oder Rahmens getragen wird, die in der Nähe der Wellen liegen. Die Stange hat an ihrer Oberseite einen konisch zugespitzten Zapfen i9, der in einer Aussparung 17 der Meßstange in gleicher Weise wie der Zapfen 16 bei der vorigen Ausführungsform aufgenommen -wird. Der Zapfen ig ist in der Regel fest angeordnet, kann aber mit Mitteln zur Anfangseinstellung in senkrechter Richtung versehen sein. Die Enden der Stützstange 18 sind, wie aus Abb. 3, ¢ und 5 ersichtlich, mit Öffnungen 2o versehen, durch welche die Fühlstifte 6 und 7 hindurchgehen können. Da es praktisch nicht vorteilhaft ist, die Stützstange auf die Wellen aufzulegen, so ist sie vorteilhaft, wie aus Abb. 3 ersichtlich ist, mittels Rohrstützen 2i aufgesetzt, welche in Bohrungen q. der Gehäuselager greifen. Jede Rohrstütze 21 tritt ferner in eine Erweiterung der Durchgangsöffnungen 2o, und an einer oder an beiden Rohrstützen kann ein Gewinde für eine Stellmutter 23 angeordnet sein, die mittels Hand gedreht werden kann, um die Stützstange 18 in der Anfangsstellung aufzusetzen. Für die Anfangsstellung der Meßstange sind, wie bei der vorigen Ausführungsform, Fühlstifte 6 @ und 7 vorgesehen. Die Stellmuttern 23 erleichtern auch das Umschwingen der Stützstange von der einen Stellung in die andere. Die Gebrauchsweise wurde an Hand der ersten Ausführungsform für Wellen beschrieben, wenn -keine oder wenig Belastung auf dem Getriebe ruht. Wenn dagegen das Getriebe unter Belastung läuft, so muß mit einer gewissen Verziehung des ganzen Gehäuses i und mit einen, geringen Spiel in den Lagern gerechnet werden, so daß die Wellen in ihren Lagern etwas auf- und abgehen. Wenn dann die 0-Stellung wie oben eingestellt ist, wird sie beeinträchtigt, so daß ein falsches Ablesungsergebnis entsteht. Für die Prüfung bei laufendem Getriebe ist es daher nötig, eine neue 0-Stellung einzustellen, und zu diesem Zweck genügt eine Nachstellung der Stützstange mittels der Mutter 23. Hierdurch wird der Stützzapfen ig gegenüber den Stützpunkten A und D in dieselbe Relativstellung wie vorher gebracht und die eingestellte 0-Lage wird wieder gewonnen, während die Meßstange in ihrer zweiten Stellung oder Anzeigestellung bleibt.
  • Oben wurde angenommen, daß der Durchmesser der Wellen 3 gleich ist, und es ist stets notwendiz. vor ieder PrüfunL- ,den Durchmesser zu bestimmen. Besteht ein Unterschied in den Abmessungen, so muß dies berücksichtigt werden. Haben die Wellen verschiedenen Durchmesser, so genügt es, einen anderen Satz von Normalfühlstiften 6 und 7 zu wählen, deren Länge genau nach den Durchmesserverschiedenheiten der Wellen hergestellt ist.
  • Die Enden der Stangen können gegenüber den Hauptteilen derselben einstellbar sein, so daß die Vorrichtung auch zur Bestimmung der Gleichlage in zwei Ebenen für Wellenpaare benutzt werden kann, die verschiedenen Abstand voneinander haben. Ist die Bestimmung der Gleichlage in einer Ebene durch zwei Wellen erwünscht, die nicht parallel laufen, so wird in ähnlicher Weise verfahren. Die beiden Stangenarme müssen dann ungleiche Länge haben, d. h. der wagerechte Abstand A-E CE ist verschieden von ED und BE. Wenn mehr als zwei Wellen bezüglich ihrer Gleichlage in einer Ebene geprüft werden sollen, so wird zunächst die Kraftlage bei zwei Wellen festgestellt und dann wird gleichzeitig hintereinander die Gleichlage j e zweier Wellen geprüft, so daß dann die Gleichlage aller Wellen untereinander feststeht. Bei der abgeänderten Ausführungsform des Mikrometers nach den Abb. 6 und 7 berührt der Fühlstift 7 nicht den Mikrometerkolben von unten, sondern er ist nach oben verlängert und mit einem Arm 7a versehen, der von oben auf dem Mikrometer iia aufliegt. Das Mikrometer kann an der Stange 5 in jeder geeigneten Weise befestigt sein, wobei eine Stellschraube 26 ein Festklemmen des Fühlstiftes 7 in den Meßarmen gestattet.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform kann, wie Abb. 8 zeigt, das Mikrometer ii auf dem oberen Ende des Fühlstiftes 7 getragen sein, wobei der Mikrometerkolben iia unter eine Fläche 26 am linken Ende der Meßstange greift. Diese Abbildung zeigt das linke Ende einer als Gitterträger ausgebildeten Meßstange. Der Fühlstift 7 ist an seinem Oberende rohrförmig @ und nimmt einen festen Zapfen iib des Mikrometers ii auf, wobei ein kleiner Kolben 27 mit leichter Feder 28 vorgesehen ist, welche das Gewicht des Kolbens und des Mikrometers ausgleicht. Dcr Stift 7 und das Mikrometer ii werden durch einen Schlitz gb am linken Ende des Meßarmes in Stellung gebracht, wobei eine Lasche 2g, die bei 3o drehbar ist und bei 31 festgeklemmt werden kann, zur Sicherung der Stifte 7 nach seinem Einbringen dient und die leichte Entfernung aus der Meßstange gestattet.
  • Bei einer weiteren Ausführungsform ist der einstellbare Stützpunkt der Meßstange in der Mitte statt an dem einen Ende. Diese Ausführungsform ist in senkrechter Linie in der Abb. 5 angedeutet. Das Mikrometer ii ist starr, aber einstellbar an der Stange 5 in der Mitte derselben angeordnet, und sein Kolben iia kommt in Anlage mit einer Verlängerung 32 des Zapfens ig, der durch eine Öffnung 33 in der Mitte der Stange hindurchgeht. Bei dieser Anordnung zeigt die Ablesung_ des Mikrometers nur die Hälfte des Betrages gegenüber der Anordnung des Mikrometers an einem Ende der Stange.
  • Wenn die Aufzeichnung der Bedingungen der Gleichlage in einer Ebene während des Laufes der Wellen gewünscht wird, kann das Ablesungsmikrometer ersetzt sein oder ergänzt werden durch eine Aufzeichnungsvorrichtung, z. B. eine Meßtrommel mit « Papierstreifen, die ihren Antrieb entweder durch ein Uhrwerk oder von der einen Welle aus erhalten kann. Der Schreibstift wird dann durch den Fühlstift 7 geführt. Eine solche Aufzeichnungsvorrichtung zeigt die Abb. ro. 35 ist eine drehbare Trommel auf dem Stift 7, welche sich nicht in der Längsrichtung bewegen kann und einen Seitenarm 36 hat, an welchem der Übersetzungshebel 37 anscharniert ist. Dieser trägt an seinem langen Arm einen Schreibstift 38, der an einem Papierstreifen der Trommel 35 aufliegt, während der kurze Arm des Hebels 37 mit der Meßstange 5 mittels eines Lenkers 39 für die Parallelbewegung verbunden ist. Der Lenker 39 ist mit einem Schieber 40 verbunden, der an der Stange 5 zur Einstellung des Stiftes 38 mittels einer feinen Stellschraube 41 mit Rändelkopf einstellbar ist. Das obere Ende des Fühlstiftes 7 gleitet in einer Bohrung 8 am Ende der Meßstange 5 und wird so geführt. Die Umdrehung der Trommel 35 kann mittels Uhrwerkes erfolgen oder auch durch Schnurantrieb 422 von einer Welle aus unter Einschaltung eines geeigneten Versetzungsgetriebes.
  • Mit dieser Anordnung erhält man eine Aufzeichnung über die Abnutzung oder das Verziehen der Wellen oder die Verziehung des Gehäuses zu verschiedenen Zeitpunkten, Belastungen, Geschwindigkeit u. dgl. und damit einen Anhalt für die Sicherheitsgrenze der Belastung.

Claims (5)

  1. PATCNT-ANSPRÜCHE: i. Vorrichtung zur Feststellung der Gleichlage zweier Wellen in einer Ebene, dadurch gekennzeichnet, daß eine Meßstange mit drei Stützpunkten versehen ist, von denen der eine in einer Festlage gegenüber den Wellen gehalten ist, während die beiden anderen mit den Wellen in zwei verschiedenen Stellungen der Meßstange Schräg zur Achse der Wellen in Berührung gebracht werden, wobei mindestens einer dieser Stützpunkte einstellbar ist.
  2. 2. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Stützpunkte durch Fühlstifte gebildet werden, die so angeordnet sind, daB sie einerseits mit den Wellen und anderseits mit der MeBstange in Berührung kommen, wobei der eine dieser Fühlstifte gegenüber der MeBstange einstellbar ist.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch i und 2, dadurch gekennzeichnet, daB zwischen der MeBstange und dem einstellbaren Fühlstift ein Mikrometer, beispielsweise ein Zifferblattmikrometer oder eine Anzeigevorrichtung, eingeschaltet ist, welche die gegenseitige Lage dieser Teile anzeigt, wodurch die Abweichung aus der Gleichlage in einer Ebene ablesbar ist. q..
  4. Vorrichtung nach Anspruch i und 2, dadurch gekennzeichnet, daB eine Aufzeichnungsvorrichtung zwischen der MeBstänge und dem einstellbaren Fühlstift eingeschaltet ist, _ tun die Abweichung während einer gewissen Zeitdauer aufzuzeichnen.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daB der feste Stützpunkt für die MeBstange durch eine Hilfsstange oder Stützstange gebildet wird, die entweder unmittelbar auf den Wellen aufliegt oder an Teilen des Lagergehäuses oder Rahmens, welche sich dicht an den Wellen befinden.
DE1921347411D 1920-01-30 1921-01-25 Vorrichtung zur Feststellung der Gleichlage zweier Wellen in einer Ebene Expired DE347411C (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3822597A1 (de) * 1988-07-04 1990-01-11 Siemens Ag Justiervorrichtung und verfahren zum justieren eines roboterarms zum einsatz in automatisierten produktionsbereichen insbesondere in der halbleitertechnik

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3822597A1 (de) * 1988-07-04 1990-01-11 Siemens Ag Justiervorrichtung und verfahren zum justieren eines roboterarms zum einsatz in automatisierten produktionsbereichen insbesondere in der halbleitertechnik

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