DE340492C

DE340492C - Verfahren zum Messen mittels Interferenzerscheinungen

Info

Publication number: DE340492C
Application number: DE1919340492D
Authority: DE
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 1919-09-19
Filing date: 1919-09-19
Publication date: 1921-09-14

Description

Verfahren zum Messen mittels Interferenzerscheinungen. Die Erfindung betrifft eine weitere Ausbildung des nach Patent 339$93 geschützten Verfahrens zum Messen mittels Interferenzerscheinungen, die dieses Verfahren zum Messen von allen möglichen Längen, Dicken und Längenveränderungen, Winkeldrehungen usw. geeignet macht. Dies wird im wesentlichen dadurch erreicht, daß die zu messenden Gegenstände nicht unmittelbar, sondern durch Zwischenkörper mit den die optischen Flächen tragenden Platten oder Scheiben in Berührung gebracht werden. Dies kann in der Weise ausgeführt werden, daß an Stelle der zu prüfenden Kugel nach dem Hauptpatent ein achsparallel geführter Stift tritt, der an dem anderen Ende mit dem zu prüfenden Körper in Berührung gebracht wird. Man kann auch die Platten oder Scheiben um einen Drehpunkt gegeneinander schwingbar anordnen und an ihnen geeignete Kontakte oder Taststücke vorsehen, die mit den zu prüfenden Gegenständen in Berührung gebracht werden.
Die Zeichnung veranschaulicht schematisch mehrere Ausführungsformen von Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens.
Gemäß der Ausführungsform nach Fig. _ ist in einem festen Gestell a ein zylindrisches Stück b eingeklemmt, das mit einer Längsbohrung versehen ist, in der ein an beiden Seiten abgerundeter Kontaktstift c gleitet. Auf den oberen Enden dieses Stiftes liegt eine Glasplatte d, die gleichzeitig durch zwei feste an dem Klemmstück sitzende Punkte e getragen wird. Zwischen derUnterfläche der Platte und der polierten oberen Fläche des Klemmstückes b bilden sich unter geeigneter Beleuchtung Interferenzfransen(Ficeaustreifen oder Haidinger-Ringe) aus, aus deren Beschaffenheit auf die Lage der Platte gegen die Oberfläche des Klemmstückes und damit des Stiftes geschlossen werden kann. Der Stift c sitzt auf dem zu messenden Endmaß f auf. Nach Entfernung des Endmaßes wird das zu vergleichende Stück (Endmaß, Zylinder o. dgl.) unter den Stift gebracht. Aus der Differenz der Interferenzerscheinungen bei den zu vergleichenden Stücken kann auf den Dickenunterschied derselben unmittelbar geschlossen werden. Nebeneinrichtungen, z. B. zur Hebung des Stiftes, Vertauschung der Vergleichsstücke u3w., können beliebig angebracht werden.
Bei der Ausführung nach Fig. a ist auf der beweglichen oder festen Einrichtung (Arm i) der Arm h um die Kugel oder den Zylinder g drehbar gelagert. Die gegeneinander drehbaren Teile tragen auf der einen Seite je eine der Interferenzplatten y, y`, deren gegenseitige Lage aus der zwischen zwei Flächen derselben auftretenden Interferenzerscheinung beurteilt wird. Ist die gegenseitige Lage der Platten bekannt, so kennt man auch die Lage der am anderen Ende der Arme befindlichen Kontakte oder 'raststücke k, k', die je nach dem Zweck verschieden gestaltet werden. Die angegebene Ausführung ist zur Messung von Innendurchmessern, z. B. von Kugellaufringen, geeignet und in Verbindung mit einem solchen dargestellt. Der Laufring wird s o auf die Kontakte k und k' aufgesetzt, daß diese ihn berühren. Als Vergleichsmaß für absolute Messungen kann eine geeignete Rachenlehre oder ein mit Klemmbacken versehenes johannson-Endmaß dienen. Die ganze Einrichtung ähnelt einem Innentaster, bei dem die Ablesung mit Interferenzerscheinung gemacht wird. Auch diese Einrichtung kann in mannigfaltiger Weise abgeändert benutzt werden, z. B. in drr Weise, wie Fig. 3 zeigt, bei der die Kontaktplatten und Interferenzplatten auf derselben Seite des . Drehpunktes liegen. 1, l' sind die Platten. l dreht sich gegen l' um den Punkt m, und d' ist an dem Gleitstück o befestigt, das auf der Säule P zwecks Grobeinstellung verschoben werden kann. q, q' sind Kontakte oder Taststücke. Die Interferenzerscheinungen werden im Raum r zwischen den Innenflächen von d und P beobachtet.

Claims

PATENT-ANSPRÜcHE: i. Verfahren zum Messen mittels Interferenzerscheinungen nach Patent 339893, dadurch gekennzeichnet, daß die zu messenden Gegenstände nicht unmittelbar, sondern durch Zwischenkörper mit den die optischen Flächen tragenden Platten o. dgl. in Berührung gebracht werden.
2. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß an Stelle der zu prii-(enden Kugel ein achsparallel geführter Stift tritt, der mit dem zu prüfenden KZrper in. Berührung gebracht wird.
3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Platten o. dgl. gegeneinander schwingbar angeordnet und mit geeigneten Kontakten oder Taststücken versehen werden.