DE3337227A1 - Verfahren zum bestimmen des durchmessers von mikroloechern - Google Patents

Verfahren zum bestimmen des durchmessers von mikroloechern

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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6199249A (ja) * 1984-10-18 1986-05-17 Matsushita Electronics Corp 受像管装置
DE68925774T2 (de) * 1988-10-02 1996-08-08 Canon Kk Feinbearbeitungsmethode für kristallines Material
US5086248A (en) * 1989-08-18 1992-02-04 Galileo Electro-Optics Corporation Microchannel electron multipliers
US5205902A (en) * 1989-08-18 1993-04-27 Galileo Electro-Optics Corporation Method of manufacturing microchannel electron multipliers
US4988877A (en) * 1989-10-03 1991-01-29 Tencor Instruments Via hole checker
US5296090A (en) * 1991-12-03 1994-03-22 New England Medical Center Hospitals, Inc. High resolution track etch autoradiography
US5264328A (en) * 1992-04-24 1993-11-23 International Business Machines Corporation Resist development endpoint detection for X-ray lithography
US5458731A (en) * 1994-02-04 1995-10-17 Fujitsu Limited Method for fast and non-destructive examination of etched features
US5904846A (en) * 1996-01-16 1999-05-18 Corning Costar Corporation Filter cartridge having track etched membranes and methods of making same
JP2873930B2 (ja) * 1996-02-13 1999-03-24 工業技術院長 カーボンナノチューブを有する炭素質固体構造体、炭素質固体構造体からなる電子線源素子用電子放出体、及び炭素質固体構造体の製造方法
US7154086B2 (en) * 2003-03-19 2006-12-26 Burle Technologies, Inc. Conductive tube for use as a reflectron lens
US20080073516A1 (en) * 2006-03-10 2008-03-27 Laprade Bruce N Resistive glass structures used to shape electric fields in analytical instruments

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2951376C2 (de) * 1979-12-20 1983-09-15 Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH, 6100 Darmstadt Verfahren zur Erzeugung einer Kernspur oder einer Vielzahl von Kernspuren von schweren Ionen und von aus den Kernspuren durch Ätzung gebildeten Mikrolöchern, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3303085A (en) * 1962-02-28 1967-02-07 Gen Electric Molecular sieves and methods for producing same
US3612871A (en) * 1969-04-01 1971-10-12 Gen Electric Method for making visible radiation damage tracks in track registration materials
US3852134A (en) * 1969-05-05 1974-12-03 Gen Electric Method for forming selectively perforate bodies
US3677844A (en) * 1970-11-19 1972-07-18 Gen Electric Process for making an elastic stretchy sheet containing apertures having a diameter of at least five angstroms and being suitable as a molecular sieve
DE2717400C2 (de) * 1977-04-20 1979-06-21 Gesellschaft Fuer Schwerionenforschung Mbh, 6100 Darmstadt Ätzverfahren zur Herstellung von Strukturen unterschiedlicher Höhe
DD149845A3 (de) * 1979-04-05 1981-08-05 Hans B Lueck Verfahren zur steuerung der porendurchmesser bei der aetzung von teilchenspuren

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2951376C2 (de) * 1979-12-20 1983-09-15 Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH, 6100 Darmstadt Verfahren zur Erzeugung einer Kernspur oder einer Vielzahl von Kernspuren von schweren Ionen und von aus den Kernspuren durch Ätzung gebildeten Mikrolöchern, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"Nuclear Instr. a. Meth.", Bd. 173, 1980, S. 205-210 *

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DE3337227C2 (enExample) 1988-03-10
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