DE3235465A1 - Verfahren und vorrichtung zum herstellen einer lichtleitervorform - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum herstellen einer lichtleitervorform

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Description

Beschreibung
Verfahren und Vorrichtung .zum Herstellen einer Lichtleitervorform
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen einer Lichtleiter-Vorform, wobei im einzelnen zum Herstellen solcher Vorformen Reaktionsmittel auf die Innenfläche eines Glasrohrs niedergeschlagen werden.
Faser-Lichtbiter werden von einem festen Glaszylinder, der- Vorform, gezogen. Die Vorform, die einen von einem Ummantelungsmaterial umgebenen zentralen Kern hat, kann im modifizierten Dampfreaktionsniederschlagsverfahren nach der US-PS 42 17 027, im sogenannten MCVD-Verfahren (Modified Chemical Vapor Deposition} hergestellt werden. Dabei werden auf der Innenseite eines Quarzglas-Substratrohrs Schichten aus dotiertem SiO„ aufgebaut durch Reaktion von Glasvorläuferdämpfen, die Partikel bilden, wobei dann diese Partikel an der Innenwand des Rohrs niedergeschlagen und dort angeschmolzen werden.
Die Zusammensetzung der Vorläuferdämpfe wird automatisch gesteuert, und zwar mit dem Ziel, entweder einen Stufen-Brechung sindex oder einen Brechungsindexgradienten in den niedergeschlagenen Glasschichten, welche den Kern der Vorform bilden werden, zu erhalten. Wenn eine Faser von der Vorform gezogen wird, wird das niedergeschlagene Quarzglas der Kern der optischen Faser und wird das Quar2glasrohr zum Mantel der Faser.
Im einzelnen werden Dämpfe aus beispielsweise GeCl., SiCl., POCl., oder dergleichen in ein Trägergas, beispielsweise Sauerstoff, eingeführt und als Reaktionsmitteldampf strömung in das Innere des Glasrohrs gerichtet, das seinerseits gedreht wird, während ein Sauerstofff/Wasserstoff-Brenner wiederholt das Rohr auf seiner Länge überquert. Wenn die Dampfströmung das Rohr durchquert und in die erhitzte Zone benachbart zum Brenner gelangt, findet dort eine zu Oxiden führende Reaktion statt. Die gebildeten Oxide schlagen sich dann auf der Innenfläche des Rohrs nieder. Nach mehreren oder vielen Brennerdurchgängen längs des Rohrs, um die Schichten niederzuschlagen, wird das Rohr durch den Brenner während mehrerer Durchgänge erhöhten Temperaturen (beispielsweise 1900 bis 2000 0C) ausgesetzt, um den Rohrdurchmesser schrumpfen zu fessen, wonach in einem letzten Durchgang
- ίο -
das Rohr kollabiert wird, so daß eine f ste, zylindrische, stabförmige Vorform resultiert.
Während dieses Verfahrens schlägt sich nicht das ganze Reaktionsprodukt innerhalb des Vorformrohrs nieder, vielmehr wird ein Teil aus dem Rohr in pulvriger Form zusammen mit dem austretenden Trägergas ausgetragen. Bisher wurden diese nicht niedergeschlagenen Reaktionsprodukte aus dem Vorformrohr über ein Reaktionsmittelsammelrohr ausgetragen, das als einteilige Verlängerung des Vorformrohres ausgebildet ist. Gase und·Reaktionsmittel, die durch das Sammelrohr durchgehen, werden in einen Gas-Wascher gerichtet.
Während des Dampfniederschlagsverfahrens, das gewöhnlich mehrere Stunden dauert, schlägt sich jedoch ein Teil der pulvrigen Reaktionsprodukte, die aus dem Vorformrohr" austreten, im Sammelrohr nieder und sammelt sich dort an. Diese Ansammlung bildet eine fortschreitend zunehmende Beschränkung für die Gasströmung und den mitgeführten Reaktionsprodukten, die spHter das Sammelrohr passieren, was wiederum den Druck der Dampfströmung innerhalb des Vorformrohrs selbst beeinflußt. Kleine Änderungen im Druck und in der Strömungsform am austrittsseltigen Ende des Vorformrohrs können den Niederschlags-
1 -
prozeß wesentlich bsein trächtigen, da es zwir»qen<3 J, i;r-s daß die angelieferten Dampfs durch das '/Grfonv-r-j-ur :-'i'-genau gesteuerten Massendurchsätzen strömen. Sonach beeinflussen diese fortschreitend sunehrasn'le Eeschi'lv, kung und Änderungen im Strömung sinus ter innerhalb dr?>3 Austragrohrs d?.ü Hie-äerschl&gsprozeß Im Vorforsta/i ch, di? es sich hierbei u;n
l3 ierti» Effekte hr^idalt.
Es ist bekaoat.« einen zylindrischen Quar-ssteJr-FciO^-er innerhalb Gis RcaktjCii3^ittelscinr-T:clro*irs ^.ινζχιοχβ/,ΐ-": t Während der Drehung des Sammelrohrs rührt der Stab einiges der Reaktionsprodukte, die sich an den Innenwänden des Sammelrohrs niedergeschlagen und angesammelt haben, lockernd auf. Hierdurch wird es möglich, daß die Reaktionsprodukte durch die Dampfströmung in den Wascher verbracht werden können. Außerdem kann der Schabstab periodisch sowohl in axialer als auch radialer Richtung bewegt werden, um die Innenseite des Sammelrohrs durch Abschaben des pulvrigen Produktes weiter zu reinigen, die sich im Einschnürungsgebiet, wo das Sammelrohr mit dem Vorformrohr verbunden ist, und auch im Sammelrohr selbst, angesammelt haben. Diese Methode liefert verbesserte Ergebnisse. Jedoch konnte damit nicht verhindert werden, daß einiges Reaktionsprodukt sich nach wie
vor ansammelt und den Nisäerschlagsprozeß schädlich beeinflußt. Die Reaktionsprodukte neigen sogar bei Rührung, in einem gewissen Ausmaß stromaufwärts zu diffundieren und Anomalien in den niedergeschlagenen Schichten innerhalb des Vorformrohrs zu erzeugen.
Demgemäß besteht ein Bedürfnis nach einem Verfahren und einer Vorrichtung zum Austragen von Reaktionsprodukten aus Lichtleitervorformrohren, während der Schichtniederschlag erfolgt, wobei ein praktisch gleichförmiges Strömungsmuster und konstanter Druck am'Austragsende des Vorformrohrs sichergestellt sind.
Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe erfolgt für ein Verfahren der in Rede stehenden und im Oberbegriff des Anspruches 1 definierten Art mit den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1, nämlich durch
- Richten der nicht-niedergeschlagenen Reaktionsruittel in eine Reaktionsmittclaustraganlage, die mit dem stromabwärtigen Ende des Rohrs in Verbindung steht und einen Auslaß-Durchtritt variabler Größe besitzt,
- Messen des Druckes innerhalb der Anlage und
- Ändern der Größe des Auslaß-Durchtritts entsprechend dem gemessenen Druck zum Aufrechthalten eines im
wesentlichen konstanten Druckes innerhalb der Reaktionsmittelaustraganlage.
In Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens kann eine kontinuierliche, gleichförmige, reaktionsmittelfreie Gasströmung in die Reaktionsmittelaustraqanlage zur Entfernung von nicht-niedergeschlaqenen Reaktionsmitteln aus dem System gerichtet werden.
Eine bevorzugte Anlage zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens besitzt die Merkmale des Anspruches 5.
Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Ansicht einer MCVD-Liehtleitervorformherstellungsanlage,
Fig. 2 eine schematische Ansicht einer Anlage für den Reaktionsmittel- oder Reaktionspartner-Austrag aus einem Vorformrohr in erfindungsgemäßer Ausbildung,
Fig. 3 eine Schnittansicht des Austragrohrs, wie dieses zur Durchführung des vorliegenden Verfahrens verwendbar ist,
Fig. 4 zwei Ansichten einer Fassung zur Ankopplung des Austragrohrs an eine Gasquelle und
Fig. 5 eine schematische Teilschnittansicht eines Staubsammlers, wie dieser beim vorliegenden Verfahren benutzt werden kann.
Eine beispielhafte Ausführungsform des vorliegenden Verfahrens wird in Verbindung mit dem oben erörterten MCVD-Verfahren im einzelnen beschrieben. Andererseits ist das vorliegende Verfahren bei jedem Lichtleitervorformherstellungsverfahren anwendbar, bei dem eine Reaktionsini ttelströmung, die in einem Trägergas mitgeführt werden, in die Bohrung eines Glasrohrs für einen Niederschlag hierin eingeführt werden und wobei ein Teil der Reaktionsmittel, ob reagiert habend oder nicht, das Rohr wieder verlassen.
Fig. 1 ist eine schematische Ansicht einer bekannten Anlage zur Herstellung einer Lichtleitervorform im MCVD-Verfahren. Eline Glasdrehbank 10 trägt ein beidendig in gegenüberstehenden Einspannfuttern 14-14 drehbar befestigtes Glassubstratrohr 12. Ein Brenner 16 ist auf einem Support 18 befestigt, der längs des Drehbankbettes 22 in Richtung der Pfeile 24-24 verschiebbar ist.
Zusätzlich ist ein Pyrometer 28 auf dem Support 18 angeordnet, um die Temperatur desjenigen Teils des Rohrs 12 zu überwachen, welcher der Flamme 29 des Brenners 16 ausgesetzt ist. Der Ausgang des Pyrometers 28 ist über die Leitung 31 mit einer Rechner-Steuereinheit 32 verbunden, die eine Mehrzahl Zufuhrleitungen von ausgewählten Gasquellen 33 steuert. Die Steuereinheit 32 steuert auch über die Ausgangsleitung 34 die Bev/egungsgeschwindigkeit des Brennersupports 18.
Reaktionsmittel und TrSgergase werden in der Rechner-Steuereinheit 32 in bekannter Weise zugemessen und gemischt und in die Bohrung des sich drehenden Rohrs 12 gerichtet, wie dieses durch den dick ausgezogenen Pfeil 36 angedeutet ist. Ein Teil der Reaktionsmittel v/erden sich auf der Innenfläche des Rohrs 12 niederschlagen, wenn der Brenner 16 längs der Außenfläche des Rohrs bewegt wird, wie dieses im einzelnen in der oben erwähnten US-PS 42 17 027 beschrieben ist. Der Brenner 16 liefert eine Heizzone, die sich langsam, beispielsweise mit 0,3 cm/Sekunde, von links nach rechts bewegt, kehrt dann rasch nach links zurück, um den Durchgang zu wiederholen, und verursacht den Niederschlag einer gleichförmigen Schicht aus dotiertem Quarz auf der Innenfläche des Rohrs. Eine Vielzahl solcher Schichten werden niedergeschlagen,
um das richtige Rohr/Kern-Massenverhältnis und Brechungsindexprofil zu erzeugen.
Mehr als 50 % der Reaktionsmittel schlagen sich auf der Innenfläche des Vorformrohrs 12 nicht nieder, sondern passieren dieses sowie ein nachgeschaltetes Sammelrohr 42, das an das Ende des Vorformrohrs angeschmolzen ist, und werden über eine Leitung 4 4 einem Gaswäscher (nicht dargestellt) zugeführt. In unerwünschter Weise wird sich ein beachtlicher Teil der nicht-niedergeschlagenen Reaktionsmittel innerhalb des Sammelrohrs 42 ansammeln. Diese Ansammlung bildet eine fortschreitend zunehmende Einschnürung, die zu geänderten Strömungsmustern und Druckschwankungen führt, welche das MCVD-Verfahren nachteilig beeinflussen und die Wiederholbarkeit des Verfahrens blockieren können.
Die erfindungsgernäß ausgebildete Reaktionsmittelaustragapparatur 50 (Fig. 2} überwindet die vorstehenden Probleme im wesentlichen. Die Apparatur 50 besitzt im wesentlichen ein doppelwandiges Austragrohr 52 (siehe auch Fig. 3), eine Reaktionsmittelsammelkammer 54 (siehe Fig. 5} und eine Drucksteuereinrichtung 56. Die Reaktionsmittel werden in das Rohr 12 in praktisch derselben Weise eingeführt, wie dieses in Verbindung mit Fig. 1 beschrieben wurde.
Das im einzelnen in Fig. 3 dargestellte Austragrohr ist ein Glasrohr mit einem ersten Ende 58 kleinen Durchmessers, das einen sich auf ein äußeres Rohr 64 erweiternden Abschnitt 62 besitzt. Ein Innenrohr G6 kleineren Durchmessers ist innerhalb des Außenrohrs koaxial montiert und ist mit seinem ersten Ende 68 an das Außenrohr 64 dichtend angeschmolzen, während sein zweites Ende 69 mit dem anderen Ende 70 des Außenrohrs 69 bündig abschließt. Das Innenrohr 66 hat eine Mehrzahl im Abstand gelegener öffnungen 72-72 in der Nähe des ersten Endes 68 des Innenrohrs 66.
Fig. 4 zeigt in Schnittansicht und Aufsicht eine im wesentlichen zylindrische Fassung 74 mit einer Zentralbohrung 76 und einem Paar Kanäle 78-78, die in Längsrichtung beidseits der Zentralbohrung 76 verlaufen. Die Fassung 74, die aus Polytetrafluoräthylon (Teflon) oder dergleichen hergestellt sein kann, ist innerhalb eines Austrag-Gehäuses 82 (Fig. 2) angeordnet und hat eine erste und eine zweite Ringnut 84 und 86, die konzentrisch zueinander verlaufen und zur dichtenden Aufnahme der Enden 69 und 70 des Austragrohrs 52 dienen, wahrend die Drehbarkeit des Rohrs erhalten bleibt. Ein Paar Leitungen 88-88 (Fig. 2) gehen durch die Wand des Gehäuses 82 und endigen bei den Kanälen 78-78 in der Fassung 74, um eine
Gasquelle 92 (ζ. Β. Sauerstoff, Stickstoff) hieran anzuschließen. Das Ausgangsende 94 des Austrag-Gehäuses 82 steht mit der Reaktionsmittelsanunelkammer 54 über ein flexibles Rohr 96 in Verbindung.
Die Reaktionsmittelsaimnelkainmer 54 ist in Fig. 5 im einzelnen dargestellt und hat einen Einlaß 101, ein offenes Volumen 1ö2, einen Baffeiabschnitt 104, der durch eine gemeinsame Wand 106 vom Volumen 102 getrennt ist. Die Wand 106 hat eine öffnung 108 im unteren Teil. Der Baffeiabschnitt 1O4 hat eine Vielzahl abwärts weisender, ineinandergeschachtelter Platten 112-112, die sich von den Wänden aus erstrecken und eine serpentinenförmige Passage definieren. Ein Ventilgehäuse 114 befindet sich direkt oberhalb des Baffelabschnitts 104. Das Ventilgehäuse 114 hat einen konischen Ventilkörper 116 am Ende eines Gewindeschafts 118, der in einer Gewindebohrung gelagert ist. Ein Motor 124 steuert eine erste und eine zweite Riemenscheibe 126, 128, die über einen Treibriemen 129 miteinander gekoppelt sind. Bei Aktivierung des Motors 124 wird der Gev/indeschaft 118 in Richtung auf eine als Ventilsitz dienende auf der Oberseite des Baffelabschnitts 104 vorgesehene kreisförmige Öffnung 132 hin bewegt oder von dieser wegbewegt. Ein Auslaßrohr 134 (siehe Fig. 2) verbindet das Ventilgehäuse 114
mit einem Gaswäscher (nicht dargestellt).
Die Drucksteuereinrichtung 56 (Fig. 2) hat einen Eingang 142 von einem Drucksensor 144, der im Austrag-Gehäuse 82 befestigt ist, und eine Ausgangsleitung 146, die mit dem Motor 124 verbunden ist. Bei einer speziellen Ausführungsform war die Drucksteuereinrichtung 56 ein Photowendel-Sehaltmeßgerät, wie dieses von Dwyer Instruments, Incorporated hergestellt und in der US-PS 38 62 416 beschrieben ist.
Beim Betrieb (siehe Fig. 2) wird das Glasrohr 12 mit dem ersten Ende 58 des Austragrohrs 52, das einen kleinen Durchmesser besitzt, bei der Grenzfläche 148 ausgerichtet, wo sie erhitzt und miteinander verschmolzen werden. Das Austragrohr 52 wird dann innerhalb des Austraggehäuses 82 eingesetzt, wobei die konzentrischen Enden 70 und von den Ringnuten 84 bzw. 86 der Fassung 74 aufgenommen werden. Das entfernte Ende des Rohrs 12 wird in einem drehbaren Einspannfutter 14 einer Glasdrehbank eingespannt. Gase und Reaktionsmittel werden in das Rohr eingeführt, und die Temperatur und die seitliche Bewegung des Brenners 16 durch die Rechner-Steuereinheit gesteuert, wie dieses in Fig. 1 dargestellt ist. Eine Vielzahl Glasschichten werden auf der Innenfläche des
Rohrs 12 niedergeschlagen, und nicht-niedergeschlagene Reaktionsmittel gehen durch das Rohr in der oben beschriebenen Weise durch. Wie in Fig. 2 dargestellt, wird eine Flamme 149 auf den Halsteil 62 gerichtet, um einen Niederschlag der bisher nicht-niedergeschlagenen Reaktionsmittel auf der Innenfläche dieses Teils des Austragrohrs 52 zu vermeiden.
Die das Rohr 12 verlassenden nicht-niedergeschlagenen Reaktionsmittel strömen zunächst durch das erste Ende 58 des Austragrohrs 52 in das Innenrohr 66. Gleichzeitig wird Sauerstoff der Quelle 92 veranlaßt, längs der Leitungen 88-88 über die Kanäle 78-78 in der Fassung 74 und längs des von Außenrohr und Innenrohr 64 und 66 des Austragrohrs 52 definierten Ringraums zu strömen. Eine gleichförmige, unter Druck stehende Sauerstoffströmung geht daher radial durch die öffnungen 7 2-72 und strömt zusammen mit einem wesentlichen Teil der nicht-niedergeschlagenen Reaktionsmittel unter Mitnahme derselben durch das Innenrohr 66, die Bohrung 7 6 der Fassung 74, durch das Austraggehäuse 82 in die Reaktionsmittelsammelkammer 54 über die flexible Leitung 96. Zur weiteren Verbesserung des Wirkungsgrades des vorliegenden Austrag-Systems kann ein zylindrischer Glasstab 152 im Innenrohr 66 angeordnet werden, wie dieses in Fig. 3
dargestellt ist. Wie oben beschrieben, wird der Stab dazu beitragen, Reaktionsmittel aufzulockern, die sich auf der Innenseite des Rohrs 66 niedergeschlagen haben.
Die Reaktionsmittel werden in das offene Volumen 102 der Reaktionsmittelsammelkaniincr 54 ausgetragen (siehe Fig. 5) , wo die schweren, partikelförmigen Reaktionsmittel bzw. Produkte auf die Bodenflache 172 fallen und die restlichen (leichteren) Partikel in den Baffeiabschnitt 104 über die Öffnung 108 eintreten. Der Baffeiabschnitt 104 mit seinen ineinandergeschachtelten Platten 112-112 wirkt als eine Pufferzone zwischen dem nicht dargestellten Wascher und dem Austragrohr 52, und bildet einen relativ langen, serpentinenförmigen Weg. Das Durchtrittsgebiet zwischen der Oberfläche des Ventilkonus 116 und der Oberfläche der Ventilsitzöffnung 132 kann unter der Steuerung der Drucksteuereinrichtung 56 durch Aktivierung des Motors 124 eingestellt werden, um die Welle in Richtung auf die Öffnung 132 oder von dieser weg zu bewegen.
Demgemäß kann der Druck innerhalb der Reaktionsmittelaustraganlage 50 durch Verschieben des Ventilkonus 116 dadurch gesteuert werden, daß das Querschnittsgebiet der Öffnung 132 in Abhängigkeit vom Drucksensor 144 geändert
wird. Zusätzlich kann der Druck in der Reaktionsmittelaustray'ialage 50 auch durch Ändern der Sauerstoffströ~ mung von der Quelle 92 in das Austragrohr 52 eingestellt werden. Durch Aufrechthalten sowohl eines praktisch konstanten Druckes (beispielsweise von O,5 cm ± O,02 cm Wassersäule) als auch eines Sauerstoffdurchsatzes (z. B. von 1 Liter pro Minute) in der Reaktionsmittelaustraganlage 50, wobei dieser Druck niedriger ist als der am Ausgang des Rohrs 12, konnte mit Vorteil ein hoher Reproduzierungsgrad für den Brechungsindex von Vorformen erreicht werden. Zusätzlich wird unter Verwendung einer rechnergesteuerten Gas-Reaktionsmittel-Zufuhranlage, wie diese bei 32 dargestellt ist, zusammen mit der vorliegenden Reaktionsmittelaustrag-Anlage 50 eine praktisch vollautomatische Anlage erhalten.
Des weiteren wird ein Teil der feinkörnigen Reaktionsmittel auch auf den Platten 112-112 niedergeschlagen. In periodischen Zeitabständen wird die "Soot"-Sammelkammer 54 geöffnet und gesäubert, wobei die niedergeschlagenen Reaktionsmittel auf den Platten 112-112 und auf der Bodenfläche 152 gesammelt werden. Diese hochreinen und relativ teuren Reaktionsmittel können chemisch behandelt und wiederverwendet werden.

Claims (12)

  1. BLUMBACH · WSSBR .-BERGi=N:, KRAMER ZWIRNER - HOFFMANN
    PATENTANWÄLTE IN MÖNCHEN UND WIESBADEN
    Paierrtcor:sult Rarjeckestraße<ts 8D00 München 60 Telefon (089) 883605/S8J604 Tclox 05-212313 Telegramme Potentr.onsuft PatentconsuH Sonnenbergor Straße 43 6200 Wiesbaden Telefon {06121} 562945/561998 Telex 04-184237 Telegramms Patentccmsult
    Western Electric Company, Incorporated
    New York, N.Y., USA Jang 1
    Patentansprüche
    , Verfahren zum Herstellen einer Lichtleiter-Vorform, bei dem
    - in einem Trägergas geführte Reaktionsmittel in das stromaufwärtige Ende eines Vorform-Rohrs zur chemischen Reaktion und zu einem Niederschlag im Rohr eingeführt werden, wobei
    - ein Teil der Reaktionsmittel sich in dem Rohr nicht niederschlägt und am stromabwärtigen Ende des Rohrs austritt,
    gekennzeichnet durch
    - Richten der nicht-niedergeschlagenen Reaktionsmittel in eine Reaktionsmittelaustraganlage, die mit dem stromabwärtigen Ende des Rohrs in Verbindung steht und einen Auslaß-Durchtritt variabler Größe besitzt,
    - Messen des Druckes innerhalb der Anlage und
    - Ändern der Größe des Auslaß-Durchtritts entsprechend dem gemessenen Druck zum Aufrechthalten eines im
    München: R. Kramer Dipl.-Ing, . W. Weser Dip! -Phys Or. rer. nat. · E. Hoffmann Dipl.-!ng. Wiesbaden: P. G. Blumbacfi Dipl.-Inrj. . P. Bergen Prof. Dr jut.Dif i Ing, P.il Λ .s, Pol.-Anw. tah 1979 · G. Zwirner Dipl.-Ing. Dipl.-W.-Imj.
    wesentlichen konstanten Druckes innerhalb der Reaktionsmittelaustraganlage.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1,
    gekennzeichnet durch
    - Richten einer kontinuierlichen, gleichförmigen reaktionsmittolfreien Gasströmung in die Austraganlage zum Hindurchbewegen der nicht-niedergeschlagenen Reaktionsmittel durch die Anlage.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 2,
    gekennzeichnet durch
    - Einführen des reaktionsmittelfreien Gases in die Austraganlage in der Nähe des stromabwärtigen Endes des Vorformrohrs.
  4. 4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3,
    dadurch gekennzeichnet , daß
    - die kontinuierliche, gleichförmige, reaktionsmittelfreie Gasströmung Sauerstoff umfaßt und zv/ischen innerem und äußerem Glasrohr eines doppelwandigen Austragrohrs geführt wird,
    - das Austragrohr mit dem Austrag-Ende des Vorformrohrs in Verbindung steht,
    - der Sauerstoff durch weniqstens eine öffnung in der Wandung des Innenrohrs in der Nahe des Vorformrohr-Äustragendes strömengelassen wird,
    - der Sauerstoff mit den hierin befindlichen nichtniedergeschlagenen Reaktionsmitteln durch das Innenrohr in eine Reaktionsmittelsammelkammer strömengelassen wird, um dort einen Teil dor Reaktionsmittel niederzuschlagen, und
    - der Sauerstoff mit den restlichen mitgeführten Reaktionsmitteln durch den Auslaßdurchtritt ausgetragen wird.
  5. 5. Reaktionsmittelaustraganlage zur Verwendung bei der Herstellung einer Lichtleiter-Vorform im Verfahren nach Anspruch 1, wobei die im Trägergas mitgeführten Reaktionsmittel in das stromaufwartige Binde des Vorformrohrs zur chemischen Reaktion und Niederschlagung hierin eingeführt werden und ein Teil der Reaktionsmittel sich im Rohr nicht niederschlägt und am stromabwärtigen Ende des Rohrs austritt, dadurch gekennzeichnet , daß
    - die Reaktionsmittel-Austraganlage (50) mit dem stromabwärtigen Ende des Rohrs (12) zur Aufnahme der nicht-niedergeschlagenen Reaktionsmittel in Verbindung steht.
    - die Anlage einen Auslaß-Durchtritt (132) variabler Größe besitzt,
    - eine Druckmeßeinrichtung (144, 142, 56) in der Anlage angeordnet ist, und
    - eine Einrichtung (116, 118, 122, 124, 126, 128) vorgesehen und dafür ausgelegt ist, die Größe des Auslaß-Durchtritts (132) entsprechend dem gemessenen Druck so zu ändern, daß innerhalb der Reaktionsmittelaustraganlage ein im wesentlichen konstanter Druck aufrechterhalten wird.
  6. 6. Anlage nach Anspruch 5,
    gekennzeichnet durch
    - eine Einrichtung (88, 92, 52) zum Einführen einer kontinuierlichen, gleichförmigen reaktionsmittelfreien Gasströmung in die Austraganlage, und zwar in der Nähe des stromabwärtigen Endes des Vorformrohrs, um die Reaktionsmittel durch die Anlage hindurch zu bewegen.
  7. 7. Anlage nach Anspruch 5 oder 6,
    dadurch gekennzeichnet , daß
    - ein Austragrohr (52) mit einem ersten (58) und einem zweiten Ende vorgesehen ist, wobei das erste Ende mit dem stromabwärtigen Ende des Vorformrohrs (12)
    zur Aufnahme der austretenden Reaktionsmittel in Verbindung steht, und
    - eine Reaktionsmittelsammelkammer (54) einerseits mit ihrem Einlaß (101) mit dem zweiten Ende des Austragrohrs (52) und andererseits mit dem Ausgangs-
    - durchtritt (132) variabler Größe verbunden ist.
  8. 8. Anlage nach Anspruch 7,
    dadurch gekennzeichnet, daß
    - das Austragrohr (52) aufgebaut ist aus
    - einem äußeren Glasrohr (64), dessen erstes Ende (58) einen im wesentlichen gleichen Durchmesser wie das Vorformrohr hat, und dessen zweites Ende (70) einen größeren Durchmesser als der am ersten Ende besitzt, und
    - einem inneren Glasrohr (66) , das innerhalb des äußeren Glasrohrs (64) und koaxial zu diesem befestigt ist, wobei das erste Ende (68) des inneren Glasrohrs mit dem äußeren Glasrohr (64) in der Nähe dessen ersten Endes (58) schmelz-verbunden ist und das zweite Ende des inneren Glasrohrs mit dem zweiten Ende (70) des äußeren Glasrohrs ausgerichtet ist,
    - wobei das innere Glasrohr (66) eine Vielzahl von
    .;■·:■- : : ;;: - :'λ·:; 3235485
    Öffnungen (72) in der Nähe eines ersten Endes (68) aufweist.
  9. 9, Anlage nach Anspruch 8,
    dadurch gekennzeichnet, daß
    - das Austragrohr (52) dafür ausgelegt ist, eine gleichförmige Strömung eines reaktionsmittelfreien Gases zwischen dem inneren und dem äußeren Glasrohr (66, 64) aufzunehmen.
  10. 10. Anlage nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet , daß die Reaktionsmittelsammelkammer (54) aufgebaut ist aus
    - einem Gehäuse (101) mit einem offenen Volumabschnitt (102) und einem Baffeiabschnitt ( 1O4), wobei die beiden Abschnitte durch eine gemeinsame Wand getrennt sind, die eine Öffnung (108 besitzt, um eine Fließverbindung hierzwischen herzustellen,
    - wobei der offene Volumabschnitt (102) dafür ausgelegt ist, die aus dem Austragrohr (52) austretende Reaktionsmittelströmung aufzunehmen,
    - und wobei der Baffeiabschnitt (104) versehen ist mit einer Vielzahl abwärts geneigter, ineinandergeschachtelter Platten (112) , die sich von den Wänden des
    *· "7 —·
    Baffelabschnittes erstrecken und einen Serpentinenweg für die hierdurch hindurchströmende Reaktionsmittel/Gas-Mischung bilden, und
    - der Auslaßdurchtritt variabler Größe versehen ist mit
    - einem Ventil {132, 116), das oberseitig am Baffeiabschnitt zur Steuerung der variablen Öffnung, durch die das strömende Gas und die Reaktionsmittel passieren, angeordnet ist.
  11. 11. Anlage nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet , daß
    - die Druckineßeinrlchtung (144) im Austragrohr (52) angeordnet ist und
    - eine auf die Druckmeßeinrichtung ansprechende Rückkopplungseinrichtung dafür vorgesehen ist, die Größe des Durchtrittes variabler Größe so einzustellen, daß ein praktisch konstanter Druck im Austragrohr aufrechterhalten wird.
  12. 12. Anlage nach Anspruch 8,
    dadurch gekennzeichnet daß
    - ein Glasstab (152) innerhalb des inneren Glasrohrs (66) angeordnet ist, um die Reaktionsmittel, die sich auf der Oberfläche des inneren Glasrohrs niedergeschlagen haben, während der Drehung des Austragrohrs zu lockern.
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Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1155119B (it) * 1982-03-05 1987-01-21 Cselt Centro Studi Lab Telecom Procedimento e dispositivo per la produzione di preforme per fibre ottiche
JPS5969438A (ja) * 1982-10-15 1984-04-19 Hitachi Ltd 光フアイバ母材の製造方法
US4518623A (en) * 1982-11-24 1985-05-21 Riley Thomas J Polymeric film coating method with continuous deposition pressure control
US4495889A (en) * 1982-11-24 1985-01-29 Riley Thomas J Polymeric film coating apparatus
DE3324539A1 (de) * 1983-07-07 1985-01-17 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur herstellung von glas durch abscheidung aus der gasphase
GB2143519B (en) * 1983-07-20 1986-12-17 Standard Telephones Cables Ltd Optical fibre preform manufacture
US4632684A (en) * 1984-07-31 1986-12-30 Itt Corporation Method of and apparatus for making optical preforms from tubular bodies
US4594763A (en) * 1984-12-21 1986-06-17 At&T Technologies, Inc. Method and apparatus for inserting a glass rod into a glass tube
US4635314A (en) * 1985-04-15 1987-01-13 Itt Corporation Arrangement for removing glass soot from an exhaust tube during optical preform fabrication
JPS61295248A (ja) * 1985-06-21 1986-12-26 Furukawa Electric Co Ltd:The 光フアイバ母材の製造装置
CN1011227B (zh) * 1985-06-25 1991-01-16 占河电气工业有限公司 光纤的制造方法
US4820322A (en) * 1986-04-28 1989-04-11 American Telephone And Telegraph Company At&T Bell Laboratories Method of and apparatus for overcladding a glass rod
US4932990A (en) * 1987-07-30 1990-06-12 At&T Bell Laboratories Methods of making optical fiber and products produced thereby
JP2554356B2 (ja) * 1988-05-17 1996-11-13 住友電気工業株式会社 ガラス原料供給方法及びガラス原料供給装置
US5211730A (en) * 1989-12-15 1993-05-18 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method for heating glass body
DE3941865A1 (de) * 1989-12-19 1991-06-20 Rheydt Kabelwerk Ag Verfahren zum entfernen von verunreinigungen aus einer vorform
DE3941863A1 (de) * 1989-12-19 1991-06-20 Rheydt Kabelwerk Ag Verfahren zum herstellen einer vorform fuer lichtwellenleiter
DE3941864A1 (de) * 1989-12-19 1991-06-20 Rheydt Kabelwerk Ag Verfahren zum entfernen von verunreinigungen aus einer ausgangsvorform
KR100263729B1 (ko) * 1998-06-24 2000-08-01 최만수 내부 제트 분사를 이용한 광섬유 제조장치 및 제조방법
US6430967B1 (en) * 1999-10-26 2002-08-13 Fitel Usa Corp. Pressure monitoring system using disposable seals
US6502427B1 (en) * 2000-10-31 2003-01-07 Alcatel Method and apparatus for controlling an outside diameter of a preform bait tube during a glass layer deposition process
US6605176B2 (en) * 2001-07-13 2003-08-12 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Aperture for linear control of vacuum chamber pressure
US20030061990A1 (en) * 2001-10-03 2003-04-03 Alcatel CVD diameter control with particle separation
US20030115909A1 (en) * 2001-12-21 2003-06-26 House Keith L. Plasma chemical vapor deposition methods and apparatus
US20030221616A1 (en) * 2002-05-28 2003-12-04 Micron Technology, Inc. Magnetically-actuatable throttle valve
KR100526534B1 (ko) * 2003-11-27 2005-11-08 삼성전자주식회사 광섬유 모재 제작 방법과 장치
NL1030749C2 (nl) * 2005-12-22 2007-06-25 Draka Comteq Bv Inrichting en werkwijze voor het vervaardigen van een optische voorvorm.
US8137463B2 (en) * 2007-12-19 2012-03-20 Applied Materials, Inc. Dual zone gas injection nozzle
US9941100B2 (en) * 2011-12-16 2018-04-10 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Adjustable nozzle for plasma deposition and a method of controlling the adjustable nozzle
WO2014119177A1 (ja) * 2013-01-30 2014-08-07 京セラ株式会社 ガスノズルおよびこれを用いたプラズマ装置
NL2012866B1 (en) 2014-05-22 2016-03-15 Draka Comteq Bv A method and a device for manufacturing an optical preform by means of an internal vapour deposition process, as well as corresponding substrate tube assembly.
US10465288B2 (en) * 2014-08-15 2019-11-05 Applied Materials, Inc. Nozzle for uniform plasma processing
KR102553629B1 (ko) * 2016-06-17 2023-07-11 삼성전자주식회사 플라즈마 처리 장치

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4278459A (en) * 1980-03-03 1981-07-14 Western Electric Company, Inc. Method and apparatus for exhausting optical fiber preform tubes
US4280829A (en) * 1980-05-12 1981-07-28 Corning Glass Works Apparatus for controlling internal pressure of a bait tube

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3250263A (en) * 1964-05-18 1966-05-10 Fred W Gerjets Apparatus for reducing air pollution by combustion engines
US3890921A (en) * 1971-11-01 1975-06-24 Harry Szczepanski Rotatively indexed spray-painting machine
US3712733A (en) * 1972-03-30 1973-01-23 Rca Corp Magneto-electric apparatus for reproducing an image on a recording element
US3925050A (en) * 1974-02-01 1975-12-09 Nippon Sheet Glass Co Ltd Process and apparatus for producing glass having metal oxide coating
US4217027A (en) * 1974-02-22 1980-08-12 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Optical fiber fabrication and resulting product
US3956532A (en) * 1974-11-29 1976-05-11 Owens-Illinois, Inc. Recovery of metal halides
GB1524326A (en) * 1976-04-13 1978-09-13 Bfg Glassgroup Coating of glass
GB1523991A (en) * 1976-04-13 1978-09-06 Bfg Glassgroup Coating of glass
JPS5516979A (en) * 1978-07-25 1980-02-06 Nippon Synthetic Chem Ind Paper treating agent
US4233045A (en) * 1978-11-27 1980-11-11 Corning Glass Works Apparatus and method for making optical filament preform
JPS5621777U (de) * 1979-07-25 1981-02-26
JPS5637243A (en) * 1979-08-31 1981-04-10 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Internally sticking cvd apparatus for optical fiber
DE3036915C2 (de) * 1979-10-09 1987-01-22 Nippon Telegraph And Telephone Corp., Tokio/Tokyo Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Lichtleitfaserausgangsformen sowie deren Verwendung zum Ziehen von Lichtleitfasern

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4278459A (en) * 1980-03-03 1981-07-14 Western Electric Company, Inc. Method and apparatus for exhausting optical fiber preform tubes
US4280829A (en) * 1980-05-12 1981-07-28 Corning Glass Works Apparatus for controlling internal pressure of a bait tube

Also Published As

Publication number Publication date
JPS58145633A (ja) 1983-08-30
NL191180C (nl) 1995-03-01
DE3235465C2 (de) 1987-11-19
US4389229A (en) 1983-06-21
GB2106892A (en) 1983-04-20
JPH027889B2 (de) 1990-02-21
IT1156114B (it) 1987-01-28
CA1193425A (en) 1985-09-17
NL191180B (nl) 1994-10-03
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NL8203822A (nl) 1983-05-02
FR2513987B1 (fr) 1985-12-20
IT8223520A0 (it) 1982-09-29
FR2513987A1 (fr) 1983-04-08

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