FR2513987A1 - Procede et dispositif de fabrication d'une preforme de guide de lumiere - Google Patents

Abstract

L'INVENTION CONCERNE LA FABRICATION DES FIBRES OPTIQUES. DANS UN DISPOSITIF DE FABRICATION DE PREFORME DE FIBRE OPTIQUE PAR LE PROCEDE MCVD, LES AGENTS REACTIFS TRAVERSENT UN TUBE D'EVACUATION 52, UNE CHAMBRE DE RECUEIL D'AGENTS REACTIFS 54 PUIS UN DISPOSITIF DE COMMANDE DE PRESSION 56; 114 AVANT D'ETRE DIRIGES VERS UN EPURATEUR DE GAZ. LA PRESSION DANS L'ENSEMBLE DU SYSTEME D'EVACUATION 50 EST MAINTENUE PRATIQUEMENT CONSTANTE EN REGLANT LE DISPOSITIF DE COMMANDE DE PRESSION 56; 114 EN FONCTION DE LA PRESSION MESUREE EN PERMANENCE. APPLICATION AUX TELECOMMUNICATIONS OPTIQUES.

Description

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La présente invention concerne les techniques de fabrication de préformes de guide de lumière L'invention porte en particulier sur des procédés et des dispositifs pour déposer des agents réactifs sur la surface intérieure d'un tube de verre pour former de telles préformes. On étire une fibre constituant un guide de lumière, ou fibre optique, à partir d'un cylindre de verre plein, ou préforme La préforme, comportant un coeur central entouré par une matière de gaine, peut être fabriquée par le procédé de dép 8 t chimique en phase vapeur modifié (MCVD) qui est décrit dans le brevet U S 4 217 027 On fait accumuler des couches de silice dopée à l'intérieur d'un tube de substrat en verre de silice de forme allongée, en faisant réagir des vapeurs de précurseurs du verre qui forment des particules

qui se déposent sur la paroi intérieure du tube et se fon-

dent avec cette paroi On commande automatiquement la compo-

sition des vapeurs de précurseurs pour obtenir un saut ou un gradient d'indice de réfraction dans les couches de verre déposées qui formeront le coeur de la préforme Lorsqu'on étire une fibre à partir de la préforme, le verre de silice déposé devient le coeur de la fibre optique et le tube de

verre de silice devient la gaine de la fibre.

Plus précisément, on entraîne dans un gaz porteur tel que de l'oxygène des vapeurs de matières telles que Ge Cl 4, Si C 14, PO C 13 ou des matières analogues, et on les

dirige, en tant que courant de vapeurs réactives, à l'inté-

rieur d'un tube de verre qu'on fait tourner pendant qu'un chalumeau oxhydrique parcourt de façon répétée la longueur du tube Lorsque le courant de vapeurs traverse le tube et rencontre une zone de chaleur adjacente au chalumeau, il réagit en créant des oxydes qui se déposent sur la surface

intérieure du tube Après un grand nombre de passes du cha-

lumeau sur la longueur du tube pour déposer ces couches, on soumet le tube à des températures élevées (par exemple 1900 à 20000 C) au moyen du chalumeau, en plusieurs passes, pour rétrécir le tube et, en une passe finale, le tube est rétreint, ce qui donne une préforme ayant la forme d'un

barreau cylindrique plein.

Pendant ce traitement, tous les produits de réac-

tion ne se déposent pas à l'intérieur du tube de la préforme et certains sont évacués du tube sous une forme pulvérulente en compagnie du gaz porteur sortant Jusqu'à présent, ces produits de réaction non déposés ont été acheminés à partir du tube de préforme dans un tube de recueil d'agentsréactifs réalisé sous la forme d'un prolongement du tube de préforme ne faisant qu'un seul tenant avec ce dernier Les gaz et les agents réactifs traversant le tube de recueil sont dirigés

IO vers un épurateur de gaz.

Cependant, pendant le traitement de dépôt en phase vapeur, qui dure habituellement plusieurs heures, une partie des produits de réaction pulvérulents qui sortent du tube de préforme se déposent sur le tube de recueil et s'accumulent à l'intérieur de ce dernier Cette accumulation forme une restriction progressivement croissante à l'écoulement de fluideset d'autres produits de réaction qu'on fait passer ultérieurement dans le tube de recueil et, à son tour, ceci affecte la pression du courant de vapeur à l'intérieur du tube de préforme lui-même De petites variations de la pression et de la configuration d'écoulement à l'extrémité de sortie du tube de préforme peuvent affecter notablement l'opération de dépôt, du fait qu'il est impératif que les vapeurs soient introduites dans le tube de préforme avec des débits-masse définis avec précision Ainsi, cette restriction qui croit progressivement et les variations de

la configuration d'écoulement à l'intérieur du tube d'éva-

cuation influent défavorablement sur l'opération de dépôt à l'intérieur du tube de préforme, du fait de son caractère

imprévisible et mal défini.

On connaît une technique consistant à placer une

tige de raclage en silice, de forme cylindrique, à l'inté-

rieur du tube de recueil d'agents réactifs Pendant la rotation du tube de recueil, la tige agite et détache une

partie des produits de réaction qui se sont déposés et accu-

mulés sur les parois intérieures de ce tube, ce qui fait que

les produits de réaction peuvent être emmenés dans l'épura-

teur par le courant de vapeurs De plus, on peut déplacer

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périodiquement la tige de raclage en direction axiale comme

en direction radiale, dans le but de nettoyer encore davanta-

ge l'intérieur du tube de recueil, en raclant le produit pulvérulent qui a pu s'accumuler dans la région de col dans laquelle le tube de recueil est réuni au tube de préforme,

ainsi que dans le tube de recueil lui-même Une telle techni-

que procure de meilleurs résultats Cependant, elle n'empê-

che pas que certains produits de réaction s'accumulent et nuisent au processus de dépôt Même lorsqu'ils sont agités,

les produits tendent à diffuser vers l'amont dans une cer-

taine mesure, ce qui crée des anomalies dans les couches

déposées à l'intérieur du tube de préforme.

Il est donc nécessaire de disposer de procédés et

de dispositifs pour évacuer des produits de réaction à par-

tir de tubes de préforme de guide de lumière, pendant le

dépôt de couches à l'intérieur de-ces tubes, tout en éta-

blissant une configuration d'écoulement pratiquement unifor-

me et une pression constante à l'extrémité d'évacuation du

tube de préforme.

Les problèmes précédents ont été résolus par le procédé de l'invention pour la fabrication d'une préforme

de guide de lumière, dans lequel des agents réactifs entraî-

nés dans un gaz porteur sont introduits dans l'extrémité

amont d'un tube de préforme pour produire une réaction chi-

mique et se déposer dans ce tube, tandis qu'une partie des agents réactifs ne se dépose pas dans le tube et sort par

l'extrémité aval du tube Ce procédé comprend les opéra-

tions suivantes: on dirige les agents réactifs n'on déposés

vers un système d'évacuation d'agents réactifs qui communi-

que avec l'extrémité aval du tube, ce système ayant un ori-

fice de sortie de taille variable; on mesure la pression à l'intérieur du système; et on fait varier la taille de l'orifice de sortie en fonction de la pression mesurée afin

de maintenir une pression pratiquement constante à l'inté-

rieur du système d'évacuation d'agents réactifs.

On peut diriger dans le système d'évacuation un courant continu et uniforme de gaz exempt d'agents réactifs, afin d'extraire de ce système les agents réactifs non dépo sés. L'invention sera mieux comprise à la lecture de

la description qui va suivre d' un mode de réalisation et en

se référant aux dessins annexés sur lesquels La figure 1 est un schémad'un système de fabrica- tion de préforme de guide de lumière par le procédé de dépôt chimique en phase vapeur modifié;

La figure 2 est un schéma d'un dispositif d'évacua-

tion pour un tube de préforme qui met en oeuvre les principes de l'invention; La figure 3 est une coupe du tube d'évacuation qui est utilisé pour mettre en oeuvre l'invention La figure 4 montre deux représentations d'un raccord destiné au branchement du tube d'évacuation à une source de gaz; et

La figure 5 est une coupe partielle d'un collec-

teur de poussière utilisé pour la mise en oeuvre de l'inven-

tion.

On va décrire un exemple de réalisation de l'in-

vention qui concerne le procédé de dépôt chimique en phase vapeur modifié (MCVD) mentionné précédemment Cependant,

cette description n'est destinée qu'à illustrer l'invention

et non à la limiter La technique de l'invention est appli-

cable à n'importe-quel procédé de fabrication de préforme.

de guide de lumière dans lequel un courant d'agents réactifs

entraîné dans un gaz porteur est dirigé dans le passage -

intérieur d'un tube de verre pour s'y déposer, et dans

lequel une partie des agents réactifs sort du tube.

La figure 1 est un schéma d'un appareil de l'art antérieur utilisé pour fabriquer une préformé de guide de lumière par le procédé MCVD Un tube de substrat en verre 12 est monté-de façon tournante entre des mandrins opposés 14-14 dans un tour de travail du verre, désigné globalement par la référence 10 Un chalumeau 16 est fixé à un support 18 qui est monté de façon à pouvoir accomplir un mouvement latéral le long d'un banc 22, comme l'indiquent les flèches 24-24 De plus, un pyromètre 28 est placé sur le support 18 pour contrôler la température de la partie du tube 12 qui est exposée à la flamme 29 provenant du chalumeau 16 La sortie du pyromètre 28 est connectée par une ligne 31 à un dispositif de commande à ordinateur 32 qui commande un ensemble d'entrées reliées à des sources de gaz sélectionnées, désignées globalement par la référence 33, et une sortie 34 destinée à la commande de la vitesse du mouvement du

support de chalumeau 18.

Les gaz réactifs et porteur sont dosés et mélangés d'une manière connue à l'intérieur du dispositif de commande

à ordinateur 32 et ils sont dirigés dans le passage inté-

rieur du tube tournant 12, comme l'indique la flèche en trait épais 36 Une partie des agents réactifs se dépose sur la surface intérieure du tube 12, de la manière décrite dans le brevet précité concernant le procédé MCVD, pendant que le chalumeau 16 se déplace le long de la surface extérieure du tube Le chalumeau 16 produit une zone de chaleur qui se déplace lentement (par exemple 0,3 cm/s) de gauche à droite, retourne rapidement à gauche et recommence à parcourir le tube, ce qui provoque le dépôt d'une couche uniforme de silice dopée sur la surface intérieure du tube On dépose un certain nombre de telles couches pour produire le rapport de

masse tube/coeur et le profil d'indice appropriés.

Plus de 50 % des agents réactifs ne se déposent pas

sur la surface intérieure du tube de préforme 12, mais tra-

versent ce tube ainsi qu'un tube de recueil 42 qui est soudé

à l'extrémité du tube de préforme, et ils empruntent un con-

duit 44 en direction d'un épurateur (non représenté) De façon g 6 nante, une partie importante des agents réactifs non déposés s'accumulent à l'intérieur du tube de recueil 42 Cette accumulation forme une restriction qui croit progressivement, ce qui conduit à des configurations d'écoulement de fluide perturbées et à des fluctuations de pression qui peuvent affecter défavorablement l'opération

de dépôt chimique en phase vapeur modifié et rendre l'opé-

ration non reproductible, comme on l'a indiqué précédemment.

L'appareil d'évacuation de l'invention, désigné globalement par la référence 50 sur la figure 2, résout

pratiquement les problèmes précédents L'appareil 50 com-

prend de façon générale un tube d'évacuation à double paroi 52 (voir également la figure 3), une chambre de recueil d'agents réactifs 54 (voir la figure 5) et un dispositif de

commande de pression 56 Les agents réactifs sont intro-

duits dans le tube 12 d'une manière pratiquement identique à

celle indiquée sur la figure 1.

Le tube d'évacuation 52, représenté en détail sur

la figure 3, est un tube de verre ayant une première extré-

mité 58 de petit diamètre qui comporte une section conique 62 qui s'ouvre dans un tube extérieur allongé 64 Un tube intérieur allongé 66, de plus petit diamètre, est monté de façon coaxiale à l'intérieur du tube extérieur 64 et il

comporte une première extrémité 68 qui est soudée herméti-

quement au tube extérieur 64 et une seconde extrémité 69 qui se trouve dans le m 8 me plan qu'une extrémité 70 du tube extérieur Le tube intérieur 66 comporte un certain nombre d'ouvertures espacées 72-72 à proximité de sa première

extrémité 68.

La figure 4 montre deux représentations d'un

raccord 74, pratiquement cylindrique, qui comporte un alésa-

ge central 76 et une paire de canaux 78-78 qui traversent longitudinalement le raccord Le raccord 74, qui peut 8 tre en un polymère du type Teflon ou similaire, est monté de façon fixe à l'intérieur d'un bottier d'évacuation 82 (voir la figure 2) et il comporte des première et seconde gorges

annulaires concentriques 84 et 86 destinées à recevoir res-

pectivement de façon hermétique les extrémités 69 et 70 du tube d'évacuation 52, tout en permettant la rotation de ce dernier Deux conduits 88-88 (voir la figure 2) traversent la paroi du bottier 82 et se terminent au niveau des canaux 78-78 dans le raccord 74 pour relier à ce dernier une source

de gaz 92 (par exemple de l'oxygène ou de l'azote).

L'extrémité de sortie 94 du bottier d'évacuation 82 communi-

que avec la chambre de recueil d'agents réactifs 54 par

l'intermédiaire d'un tuyau flexible 96.

La chambre de recueil d'agents réactifs 54 est représentée en détail sur la figure 5 et elle comporte une

entrée 101, un volume ouvert 102 et un compartiment à chica-

nes 104 séparés par une paroi commune 106 qui comporte une ouverture 108 dans sa partie inférieure Le compartiment à

chicanes 104 comporte un certain-nombre de plaques interca-

lées 112-112 qui partent des parois du compartiment et sont dirigées vers le bas Un bottier de valve 114 est monté directement au-dessus du compartiment à chicanes 104 Le bottier de valve 114 comporte une pièce conique 116 qui est montée sur un arbre fileté 118 qui est disposé à l'intérieur du bottier et qui traverse une pièce taraudée 112 Un moteur 124 entratne des première et seconde poulies-126 et 128 qui sont reliées par une courroie 129 Lorsque le moteur 124 est actionné, l'arbre fileté 118 s'approche ou s'éloigne

d'une ouverture circulaire 132 formée au sommet du comparti-

ment à déflecteurs 104 Un tuyau d',évacuation 134 (voir la figure 2) fait communiquer le bottier de valve 114 et un

épurateur de gaz (non représenté).

Le dispositif de commande de pression 56 (voir la figure 2) comporte une entrée 142 reliée à un capteur de pression 144 monté à l'intérieur du bottier d'évacuation 82, et un conducteur de sortie 146 qui est connecté au

moteur 124 Dans un mode de réalisation pratique particu-

lier, le dispositif de commande de pression 56 était un manomètre/manocontact du type Photohelic fabriqué par la firme Dwyer Instruments, Inc, et décrit dans le brevet

U S 3 862 416.

En fonctionnement (voir la figure 2), on aligne axialement le tube de verre 12 avec la première extrémité de petit diamètre 58 du tube d'évacuation 52, au niveau

d'une jonction 148 o on chauffe ces éléments-pour les fon-

dre ensemble On introduit ensuite le tube d'évacuation 52

dans le bottier d'évacuation 82, avec les extrémités con-

centriques 70 et 69 positionnées respectivement dans les première et seconde gorges annulaires 84 et 86 du raccord 74 On positionne l'extrémité distale du tube 12 dans un mandrin tournant 14 d'un tour-à verre On introduit des gaz et des agents réactifs dans le tube 12 et on commande la température et le mouvement latéral du chalumeau 16 au moyen du dispositif de commande à ordinateur 32 qui est représenté sur la figure 1 On dépose un certain nombre de couches de verre sur la surface intérieure du tube 12 et les agents réactifs non déposés traversent ce tube, comme décrit précédemment Comme le montre la figure 2, on dirige une flamme 149 vers la partie de col 62 pour éviter que les

agents réactifs non déposés se déposent sur la surface inté-

rieure de cette partie du tube d'évacuation 52.

Les agents réactifs non déposés qui traversent le

tube 12 passent par la première extrémité 58 du tube -

d'évacuation 52 et pénètrent dans le tube intérieur 66.

Simultanément, on fait en sorte que de l'oxygène provenant de la source 92 circule dans les conduits 88-88, traverse les canaux 78-78 dans le raccord 74 et passe dans le volume

qui'est défini par le tube extérieur 64 et le tube exté-

rieur 66 du tube d'évacuation 52 Un écoulement d'oxygène

uniforme, sous pression, traverse radialement les ouvertu-

res 72-72 et entraîne une partie importante des agents

réactifs non déposés en leur faisant traverser le tube inté-

rieur 66, l'alésage 76 du raccord 74 et le boîtier d'évacua-

tion 82, pour passer dans la chambre de recueil d'agents réactifs 54 par l'intermédiaire du tuyau flexible 96 Pour améliorer encore l'efficacité du système d'évacuatibn de l'invention, on peut placer une tige de verre cylindrique 153 danis le tube de verre intérieur 66, comme le montré-la figure 3 Comme on l'a indiqué précédemment, la tige 153 contribue à détacher les agents réactifs qui peuvent se

déposer sur la surface intérieure du tube 66.

Les agents réactifs sont entraînés dans le volume ouvert 102 de la chambre de recueil d'agents réactifs 54 (voir la figure 5), dans laquelle les agents réactifs sous forme de particules lourdes tombent sur la surface de fond 152, tandis-que les particules restantes (plus légères)

passent dans le compartiment à chicanes 104 par l'intermé-

diaire de l'ouverture 108 Le compartiment à chicanes 104,

avec l'ensemble de plaques intercalées 112-112, fait fonc-

tion de région tampon entre l'épurateur (non représenté) et le tube d'évacuation 52 et il présente un chemin en méandres relativement long On peut régler l'aire comprise entre la surface du c 8 ne 116 et la surface de l'ouverture 132, sous la commande du dispositif de commande de pression 56, en actionnant le moteur 124 pour éloigner ou approcher

l'arbre 118 de l'ouverture.

On peut donc commander la pression à l'intérieur du système d'évacuation 50 en déplaçant le c 8 ne 116 de façon à faire varier l'aire de section droite de l'ouverture 132 sous la dépendance du capteur de pression 144 De plus,

on peut également régler la pression à l'intérieur du systè-

me d'évacuation 50 en modifiant le débit d'oxygène de la source 92 vers le tube d'évacuation 52 En maintenant à la fois une pression pratiquement constante (par exemple 0,5 cm + 0,02 cm d'eau) et un débit d'oxygène constant (par exemple 1 1/mn) à l'intérieur du système d'évacuation 50,

cette pression étant inférieure à celle qui existe à la sor-

tie du tube 12, on a obtenu avantageusement un degré de

reproductibilité élevé de l'indice de réfraction de préfor-

mes De plus, en utilisant un système d'introduction de gaz

réactifs commandé par ordinateur, tel que le système indi-

qué en 32, en compagnie du système d'évacuation 50 de l'in-

vention, on obtient un système qui est pratiquement entière-

ment automatisé.

En outre, une partie des agents réactifs sous

forme de particules fines se dépose également sur les pla-

ques 112-112 Périodiquement, on ouvre la chambre de recueil

de suie 54, on la nettoie et on recueille les agents réac-

tifs non déposés qui se trouvent sur les plaques 112-112 et sur la surface de fond 152 On peut traiter chimiquement et

réutiliser ces agents réactifs de haute pureté et relative-

ment coûteux.

Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au procédé et au dispositif décrits

et représentés, sans sortir du cadre de l'invention.

Claims (8)

REVENDICATIONS

1 Procédé de fabrication d'une préforme de guide de lumière, dans lequel des agents réactifs entraînés dans un gaz porteur sont introduits dans l'extrémité amont d'un tube de préforme pour produire une réaction chimique et se déposer dans ce tube, une partie des agents réactifs ne se déposant pas dans le tube et sortant par l'extrémité aval du tube, caractérisé en ce qu'on fait passer les agents réactifs non déposés dans un système d'évacuation d'agents réactifs qui communique avec l'extrémité aval du tube, ce système comportant un orifice de sortie de taille variable; on mesure la pression à l'intérieur du système; et on fait varier la taille de l'orifice de sortie conformément à la pression mesurée, pour maintenir une pression pratiquement constante à l'intérieur du système d'évacuation d'agents réactifs. 2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on introduit dans le tube d'évacuation un courant uniforme et continu de gaz exempt d'agents réactifs, pour entraîner à travers le système les agents réactifs non déposés. 3 Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'on introduit le gaz exempt d'agents réactifs dans le système d'évacuation à proximité de l'extrémité aval du

tube de préforme.

4 Procédé selon l'une quelconque de's revendica-

tions 2 ou 3, caractérisé en ce que le courant uniforme de gaz exempt d'agents réactifs consiste en oxygène circulant entre des tubes de verre intérieur et extérieur d'un tube

d'évacuation à double paroi; le tube d'avacuation communi-

que avec l'extrémité d'évacuation du tube de préforme; on fait circuler l'oxygène à travers au moins une ouverture formée dans la paroi du tube intérieur -à proximité de

l'extrémité d'évacuation du tube de préforme; on fait cir-

culer l'oxygène, contenant les agents réactifs non déposés, de façon qu'il traverse le tube intérieur et pénètre dans une chambre de recueil d'agents réactifs, pour y déposer

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une partie des agents réactifs qu'il contient; et on évacue l'oxygène, avec les agents réactifs restants, par l'orifice

de sortie.

Système d'évacuation d'agents réactifs destiné à 8 tre utilisé pour la fabrication d'une préforme de guide de lumière conformément au procédé de la revendication 1, dans lequel des agents réactifs entraÂnés dans le gaz porteur sont introduits dans l'extrémité amont du tube de préforme pour donner lieu à une réaction chimique et pour se déposer dans le tube de préforme, une partie des agents réactifs ne se déposant pas dans le tube et sortant par l'extrémité aval du tube, caractérisé en ce que le système d'évacuation d'agents réactifs ( 50) communique avec l'extrémité aval du tube ( 12) pour recevoir les agents réactifs non déposés; le système comporte un orifice de sortie de taille variable ( 132); des moyens de mesure de pression ( 144, 142, 56) sont positionnés à l'intérieur du système; et des moyens ( 116, 118, 122, 124, 126, 128) sont conçus de façon à faire varier la taille

de l'orifice de sortie ( 132) conformément à la pression mesu-

rée, pour maintenir une pression pratiquement constante à

l'intérieur du système d'évacuation d'agents réactifs.

6 Système selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens ( 88, 92, 52) destinés à introduire dans le système d'évacuation un courant uniforme et continu de gaz exempt d'agents réactifs, à proximité de l'extrémité aval du tube de préforme, pour faire circuler

les agents réactifs à travers' le système.

7 Système selon l'une quelconque des revendica-

tions 5 ou 6, caractérisé en ce qu'il comprend un tube d'évacuation ( 52) comprenant des première ( 58) et seconde

extrémités, la première extrémité communiquant avec l'extré-

mité aval du tube de préforme ( 12) pour recevoir les agents réactifs qui sortent; et une chambre de recueil d'agents

réactifs ( 54) comportant une entrée ( 101) est réliée à la.

seconde extrémité du tube d'évacuation ( 52) et à l'orifice

de sortie de taille variable ( 132).

8 Système selon la revendication 7, caractérisé en ce que le tube d'évacuation ( 52) est constitué par un tube de verre extérieur ( 64) qui comporte la

première extrémité ( 58) ayant un diamètre prati-

quement égal à celui du tube de préforme et la seconde extrémité ( 70) ayant un diamètre supérieur à celui de la première extrémité, et par un tube de verre intérieur ( 66), monté à l'intérieur du tube de verre extérieur ( 64) et en position coaxiale, qui comporte une première extrémité ( 68) reliée hermétiquement au tube extérieur à proximité de la première extrémité ( 58) du tube extérieur ( 64), tandis qu'une seconde extrémité du tube de verre intérieur est alignée avec la seconde extrémité ( 70) du tube de verre extérieur, et le tube-de verre intérieur ( 66) comporte un certain nombre d'ouvertures ( 72) qui se trouvent à proximité

de sa première extrémité ( 68) -

9 Système selon la revendication 8, caractérisé en ce que le tube d'évacuation ( 52) est prévu pour recevoir un courant uniforme de gaz exempt d'agents réactifs, entre

les tubes de verre intérieur ( 66) et extérieur ( 64).

Système selon l'une quelconque des revendica-

tions 7 à-9, caractérisé en ce que la chambre de recueil

d'agents réactifs ( 54) comprend une entrée ( 101), un compar-

timent consistant en un volume ouvert ( 102) et un comparti-

ment à chicanes ( 104) séparés partiellement par une paroi

commune dans laquelle se trouve une ouverture ( 108) permet-

tant le passage des fluides entre les deux compartiments le compartiment consistant en un volume ouvert ( 102) est prévu pour-recevoir le courant des agents réactifs sortant du tube d'évacuation ( 52); le compartiment à chicanes ( 104) comporte un certain nombre de plaques intercalées ( 112) qui partent des parois du compartiment et s'étendent vers le bas, en présentant un chemin en méandres au courant d'agents réactifs et de gaz qui passe entre elles; et l'orifice de sortie à taille variable comprend une valve

( 132, 116) qui se trouve -au sommet du compartiment à chica-

nes de façon à commander l'ouverture variable par laquelle

passe le courant de gaz et d'agents réactifs.

11 Système selon l'une quelconque des revendica-

tions 7 à 10, caractérisé en ce que les moyens destinés à

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mesurer la pression ( 114) se trouvent dans le tube d'évacua-

tion ( 52); et des moyens de réaction qui peuvent fonction-

ner sous la dépendance des moyens de mesure de pression sont prévus de façon à régler la taille de l'orifice de taille variable, afin de maintenir une pression pratiquement cons-

tante dans le tube d'évacuation.

12 Système selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'une tige de verre allongée ( 153) est placée dans le

tube de verre intérieur ( 66) pour détacher les agents réac-

tifs qui se déposent à la surface du tube de verre intérieur,

pendant que le tube d'évacuation tourne.