NL8203822A - Werkwijze voor het vervaardigen van een lichtgeleidervoorvorm en inrichting voor het toepassen van deze werkwijze. - Google Patents

Description

f -

L

VO 3703. .

Betr.: Werkwijze voor het vervaardigen van een lichtgeleidervcorvorm en inrichting voor .het toepassen van deze. werkwijze.

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het vervaar-digen van een lichtgeleidervcorvorm. Meer in het bijzonder is de uitvinding gericht cp een werkwijze en inrichting voor het neerslaan van reagentia op het' birmenoppervlak van een glazen buis cm een dergelijke 5 voorvorm te verschaffen.

Lichtgeleiderve2el wordt uit een massieve, glazen cilinder of voorvorm getrakken. De voorvorm, voorzien van een centrale kern, die door een bekledingsmateirLaal is crageven, kan worden vervaardigd door het in het Amarikaanse octrooiscfarift 4.217.027 beschreven, gemodi-10 fieerde chemische dampneerslag (MCVD)-proces.

lagen van gedoteerd silica worden op de binnenzijde van een langwerpige, uit silicaglas bestaande substraatbuis opgebouwd, door de reactie van glasvoorloopdanpen, welke deeltjes vorxnen, die zich afzet-ten op en versmolten worden met de binnenwand van de buis. De samen-15 stelling van de danpen wordt autcmatisch zodanig geregeld, dat in de neergeslagen glaslagen,· die de kern van de voorvorm zullen vormen, 5f een stapsgewijze df een gegradeerde brekingsindex cptreedt. Wanneer uit de voorvorm een vezel wordt getrokken wordt het neergeslagen silicaglas de lichtgeleideryezelkem en wordt de silicaglasbuis de vezelbekleding.

20 Meer in het bijzonder worden dampen van een materiaal, zoals

GeCl4, SiCl4, POCl^ of dergelijke meegenonen in een dragergas, zoals zuurstof en, als een reagensdampstrocm in het inwendige van de glazen buis gevoerd, welke wordt geroteerd, terwijl een zuurstof-waterstof toorts een aantal mien over de lengte van de buis wordt bewogen. Whn-25 neer de danpstroom de buis passeert en een verhitte zone bij de toorts ontmoet, reageert de danpstroom, waardoor oxyden worden gevormd, die zich op het binnencppervlak van de buis afzetten. Nadat de toorts een aantal malen over de lengte van de buis heen-en-weer is bewogen cm deze lagen te vormen, wordt de buis vervolgens door de toorts bij een aantal 30 passages aan hogere tenperaturen {bijvoarbeeld 1900 - 2000° C) onder-worpen cm de buis te doen krimpen en bij een laatste passage laat men de buis samenklappen, hetgeen leidt tot een massieve voorvorm in de vorm van een cilindrische staaf.

Gedurende dit proces worden niet alle reactieprodukten in de 35 voorvormbuis neergeslagen, doch soimige worden in poedervorm, tezamen 8203822 * \ t - 2 -a met het uittredende dragergas uit de buis afgevoerd. Tot nu toe worden deze niet neergeslagen reactieprodukten via een reagensopzamelbuis, die een integraal verlengstuk van de voorvonribuis vonnt, uit deze laat-ste afgevoerd. Gassen en reagentia, die de opzamelbuis passer en, wor-5 den toegevoerd aan een gaswasser.

Tijdens het dampneerslagproces, dat nonnaliter enige uren duurt, zetten echter enige van de poedervorraige reactieprodukten, die uit de voorvonribuis afkcmstig zijn, zich af in de opzamelbuis en accumuleren daar. Deze accuinulatie leidt tot een progressief toenemende vernauwing 10 vcor de strcom van fluids en andere reactieprodukten, welke later door de opzamelbuis worden gevoerd, die op hun beurt de druk van de damps troon in de voorvorrtibuis zelf op een schadelijke wijze beinvloeden. KLeine veranderingen in druk en stroorpatrcon aan het uittreedeind van de voorvorrtibuis kunnen het neerslagproces aaniterkelijk beinvloeden, aangezien 15 het nccdzakelijk is, dat de dampen met nauwkeurig bestuurde massastrcaft-snelheden door de voorvonribuis warden gevoerd. ‘Derhalve beinvloeden deze progressief toenemende vernauwing en veranderingen in strocmpatroon in de uitlaatbuis het neerslagproces in de voorvonrbuis op een schadelijke wijze, aangezien zij onvoorspelbaar en ongeregeld zijn.

20 Het is bekend binnen de reagensopzamelbuis een cilindrische si lica schraperstaaf aante brengen. Tijdens de rotatie van de qpzamel-buis wordt de staaf geagiteerd en schudt deze een deel van de reactie-produkten, die op de binnenwanden daarvan zijn neergeslagen en daarop zijn geaccumuleerd, los, waardoor de reactieprodukten door de danp-25 strocm naar de wasser worden afgevoerd. Verder kan de schraperstaaf periodiek in zcwel axiale als radiale richtingen worden bewogen cm de binnenzijde van de opzamelbuis verder te reinigen doordat het poeder-vormige prcdukt, dat bij het halsgebied kan zijn geaccumuleerd, waar de opzamelbuis met de vcorvormbuis is verbonden, en ook in de opzamel-30 buis zelf kan zijn geaccumuleerd, wordt weggeschraapt. Een dergelijke nethcde leidt tot verbeterde resultaten. Daarbij wordt evenwel niet vcor-karen, dat sanmige reactieprcdukten accumuleren en het .neerslagproces op een schadelijke wijze beinvloeden. Zelfs bij agitatie hebben de pro-dukten de neiging in enige mate stroomopwaarts te diffunderen, waar-35 door ancmalieen in de in de voorvonribuis neergeslagen lagen optreden.

Derhalve bestaat er vraag naar een werkwijze en inrichting voor het afvoeren van reactieprodukten uit lichtgeleidervoorvormbuizen tij- 820 3 8 22.

it · .- 3 - deals het aanbrengen van lagen daarin, waarbij wordt voor2ien in een in hoofdzaak uniform strconpatroon en een constante druk aan het uitlaat-eind van de vocxrvorrnbuis.

Daartoe voorziet de uitvinding in een werkwijze voor het vervaar-5 digen van een lichtgeleidervoorvorm, waarbij reagentia, die in een dra-gergas warden meegenanen, aan het strcomcpwaartse uiteinde van een vcor-vormbuis warden toegevoerd voor chemische reactie en neerslag daarin, waarbij een gedeelte van de reagentia niet in de buis wordt neergeslagen en aan het strccmafwaartse uiteinde van de buis uittreedt, welke daarin 10 is gekenmerkt, dat de niet-neergeslagen reagentia warden toegevoerd aan een reagensafvoerstelsel, dat met het stroanafwaartse uiteinde van. de buis in verbinding staat,. welk stelsel. is voorzien van een uitlaatope-ning met variabele afmeting, waarbij de druk in het stelsel wordt geme-ten en de afmeting van de uitlaatopening overeenkamstig de gemeten druk 15 wordt gevarieerd teneinde in het reagensafvoerstelsel een in hoofdzaak constante druk te onderhouden.

Aan het afvoerstelsel kan een continue, uniforme stroan van gas zonder ragentie worden toegevoerd an de niet-neergeslagen reagentia daar-uit te verwijderen.

20 De uitvinding zal onderstaand nader worden toegelicht onder ver- wijzing naar de tekaiing. Daarbij toont : fig. 1 een schematiscfee afbeelding van een MCVD-lichtgeleider-voorvormvervaardigingsstelsel; fig. 2 een schema van een inrichting voor het leegzuigen van een 25 vcorvccmbuis volgens de uitvixiding; fig. 3 een dwarsdoorsnede van de afvoerbuis, welke wordt gebruikt voor het realiseren van de iiitvinding; fig. 4 twee aanzichten van een fitting can de uitlaatbuis met een gastoevoerbron te koppelen; en 30 fig. 5 een gedeeltelijke dwarsdoorsnede van een stofopzarnelinrich- ting, welke wordt gdoruikt cm de uitvinding te realiseren.

Thans zal een bij wijze van voorbeeld gekozen uitvoeringsvorm volgens de uitvinding worden beschreven, welke verband houdt met het bo-vengeooemde MCVD-proces. Er wordt evenwel op gewezen, dat deze toelich-35 ting sleehts bij wijze van voorbeeld en niet in beperkende zin dient te warden cpgevat. De werkwijze volgens de uitvinding is van toepassing op elk lichtgeleidervcorvormvervaardigingsproces, waarbij een strcom van 8203822 4 % - 4 - reagentia, welke in een dragergas worden medegenonen, wordt toegevoerd aan de baring van een glazen buis am daarin te warden neergeslagen, waarbij een gedeelte van de reagentia de buis verlaat.

Fig.. 1 toont schematisch een bekende inrichting, welke wordt ge-5 bruikt voor het vervaardigen van een lichtgeleidervoorvona cmder gebruik van het MCVD-proces. Op een glasbewerkingsdraaibank, in het algemeen aan-geduid met 10, is een glazen substraatbuis 12 roteerbaar tussen tegen-over elkaar gelegen klauwen 14-14 gemonteerd. Een toorts 16 is beves-tigd aan een steun 18, die een laterale beweging langs een bed 22 kan 10 uitvoeren, als aangegeven door de pijlen 24-24. Verder bevindt zich op de steun 18 een pyrometer 28 cm de temperatuur van het gedeelte van de buis 12, dat aan de vlam 29 uit de toorts 16 wordt bloot gesteld, te controle-ren. De uitgang van de pyrometer 28 is via een lijn 31 verbonden met een rekentuigregelaar 32, die een aantal ingangen uit gekozen gasbronnen, 15 in het algemeen aangegeven met 33, en een uitgang 34 bestuurt teneinde de bewegingssnelheid van de toortssteun 18 te regelen.

De reagentia en dragergassen worden (¾) een bekende wijze in de re-gelaar 32 gedoseerd en gemengd en aan de boring van de roterende buis 12 toegevoerd, als aangegeven door de dikke pijl 36. Een gedeelte van de re-20 agentia zal aan het binnenoppervlak van de buis 12 worden neergeslagen, zoals in het bovengenoende Amerikaanse octrooischrift is beschreven, wanneer de toorts 16 zich langs het buitenoppervlak daarvan beweegt. De toorts 16 vcorziet in een verhittingszone, die zich langzaam (bijvoorbeeld 0,3 cm/sec) van links naar rechts beweegt, snel naar links terugkeert en 25 daama zijn beweging herhaalt, waardoor een uniforme laag van gedoteerd silica op het binnenvlak van de buis wordt neergeslagen. Er wordt een aantal van dergelijke lagen neergeslagen an de juiste buis-kemmassaver-houding en het juiste indexprofiel te verkrijgen.

Meer dan 50% van de reagentia wordt niet op het binnenvlak van de 30 vcorvormbuis 12 neergeslagen, doch passeert deze, evenals een opzamel-buis 42, die aan het eind van de vcorvormbuis is aangesroolten, en door-loopt een leiding 44 naar een (niet afgebeelde) wasser. Een aanmerkelijk gedeelte van de niet-neergeslagen reagentia zal op een ongewenste wijze in de opzamelbuis 42 accumuleren. Door deze accumulatie verkrijgt men een 35 geleidelijk toenemende vemauwing, welke leidt tot gewijzigde fluidum-stroompatronen en drukfluctuaties, die het iCVD-proces op een schadelijke wijze kunnen beinvloeden en het herhalingsverrnogen van het proces belem- 8203822 * » -r 5 - meren, zoals boven is vermeld.

De afvoerinrichting volgens de uitvinding, welke in het algeneen met 50 in fig. 2 is aangegeven, heft deze problemen in hoofdzaak op. De inrichting 50 amvat in het algemeen een dubbelwandige afvoerbuis 52 5 (zie ook fig. 3), een reagensopzamelkamer 54 (zie fig. 5) en een druk-regelinrichting 56. De reagentia warden op In hoofdzaak dezelfde wijze als in fig. 1 is aangegeven/ aan de buis 12 toegevoerd.

De afvoerbuis 52, walke gedetailleerd in fig. 3 is afgebeeld, be-staat uit een glazen buis met een eerste uiteinde 58 met kleine diameter, 10 dat voarzien is van een afgeschuinde sectie 62, welke overgaat in een langwerpige buitenbuis 64. Baa langwerpige binnenbuis 66 met kleinere diameter is coaxiaal binnen de buitenbuis 64 gemonteerd en het eerste uiteinde 68 hiervan is afdichtbaar daarmede versmolten, terwijl een twee-de uiteinde 69 daarvan ccplanair is met een eind 70 van de buitenbuis.

15 De binnenbuis 66 is voorzien van een aantal op een afstand van elkaar gelegen openingen 72 - 72 bij het eerste uiteinde 68 van de binnenbuis 66.

Fig. 4 toont twee aanzichten van een in hoofdzaak cilindrische fitting 74 met een centrale boring 76, voorzien van een paar kanalen 78 20 -78, die zich in de lengterichting daardoor uitstrekken. De fitting 74, welke uit teflon polymeer of dergelijke kan bestaan, is stationair in een afvoerbuis 82 (zie fig. 2) gemonteerd en bezit eerste en tweede concentrische ringvormige groeven 84 en 86 vcor het afdichtbaar cpnemen van de respec-tieve einden 69 en 70 van de afvoerbuis 52, waarbij een rotatie daarvan 25 irogelijk is. Ben paar leidingen 88-88 (zie fig. 2) strekt zich door de wand van het huis 82 uit en eindigt bij de kanalen 78-78 in de fitting 74 an daannede een gastoevoerbron 92 (bijvoorbeeld een zuurstof-stikstof-bron) te verbinden. Het afvoereind 94 van het afvoerhuis 82 staat via een buigzame buis 96 in verbinding met de reagensqpzamelkamer 54.

30 De reagensopzamelkamer 54 is gedetailleerd weergegeven in fig. 5 en bezit een inlaat 101, een open volume 102 en een sectie 104, die ge-scheiden zijn door een gemeenschappelijke wand 106 in het onderste ge-deelte waarvan zich een opening 108 bevindt. De sectie 104 bezit een aantal naar beneden gerichte dcorschoten platen 112 - 112, die zich uit de 35 warden daarvan uitstrekken. Een klephuis 114 is direkt boven de sectie 104 gemonteerd. Het huis 114 bezit een kegelvormig onderdeel 116, dat op een van schroefdread voorziene as 118 is gemonteerd, welke zich in het 8203822 - 6 - •u 4 > huis fcevindt en zich door een van inwendige schroefdraad voorzien onder-deel 122 uitstrekt. De motor 124 bestuurt eerste en tweede riemschijyen 126 en 128, die door een riem 129 met elkaar zijn verbonden. Wanneer de motor 124 in werking wordt gesteld zal de van schroefdraad voorziene 5 as 118 zich naar of vanaf een cirkelvormige opening 132 in de bovenzijde van de sectie 104 bewegen. Een afvoerpijp 134 (zie fig. 2) vorrnt de ver-binding tussen het klephuis 114 en een (niet afgebeelde) gaswasser.

De drukregeiinrichting 56 (zie fig. 2) bezit een ingang 142 uit een drukaftastinrichting 144, die in het huis 82 is gemonteerd, en een 10 uitgangsgeleider 146, die met de motor 124 is verbonden. Bij een bepaalde uitvceringsvorrn bestaat de drukregeiinrichting 56 uit een Photohelic drukschakelaar/meter, vervaardigd door Dwyer Instruments, Inc., beschre-ven in het Amerikaanse octrooischrift 3.862.416.

Tijdens het bedrijf (zie fig. 2) wordt de glazen buis 12 in axia-15 le richting gecentreerd met het eerste uiteinde 58 met kleine diameter van de afvoerbuis 52 bij het scheidingsvlak 148, waar zij worden verhit en aan elkaar worden gesmolten. De afvoerbuis 52 wordt dan in het af-voerhuis 82 gestoken, waarbij de concentrische einden 70 en 69 zich in de eerste en tweede respectieve ringvormige groeven 84 en 86 van de fit-20 ting 74 bevinden. Het verste uiteinde van de buis 12 wordt in een roteer-bare klauw 14 van een glasdraaibank geplaatst. Gassen en reagentia worden aan de buis 12 toegevoerd en de temperatuur en de laterale beweging van de toorts 16 warden bestuurd door de regelaar 32, als aangegeven in fig. 1. (¾) het binnenvlak van de buis 12 wordt een aantal lagen glas 25 neergeslagen en niet-neergeslagen reagentia dcorlopen de buis, zoals bo-ven is beschreven. Zoals aangegeven in fig. 2, wordt een vlam 149 op het halsgedeelte 62 gericht cam het neerslaan van de niet-neergeslagen reagentia qp het binnenvlak van dat gedeelte van de afvoerbuis 52 te beletten.

De niet-neergeslagen reagentia, welke de buis 12 passeren, bewegen 30 zich door het eerste uiteinde 58 van de afvoerbuis 52 naar de binnenbuis 66. Tegelijkertijd laat men zuurstof uit de bron 92 langs de leiding 88-88, via de kanalen 78-78 van de fitting 74 en het volume, bepaald door de respectieve buiten- en binnenbuizen 64 en 66 van de afvoerbuis 52 stromen. Een uniforms zuurstofstroom onder druk beweegt zich in radia-35 le richting door de openingen 72-72'en stroomt tezamen net een groot gedeelte van de niet-neergeslagen reagentia door de binnenbuis 66, de boring 76 van de fitting 74, het afvoerhuis 82 en via de buigzame leiding 8203822 - 7 - 96 naar de kamer 54. Cm. het renderaent van het afvoerstelsel volgens de uiijnjding verder te verbeteren, kan in de binnenbuis 66 een cilinr-drische glazen staaf 152 warden geplaatst, als aangegeven In fig. 3.

Zoals boven is cpgemefkt, draagt de staaf 152 ertoe bij reagentia los te 5 maken, die op het binnenvlak van de buis 66 zijn neergeslagen.

De reagentia warden naar het open volume 102 van de opzamelkamer 54 (zie fig. 5) bewogen, waarin zware reagentia in deeltjesvarm zich naar het bodemvlak 152 bewegen en de resterende (lichtere) deeltjes zich via de opening 108 naar de sectie 104 bewegen.. De sectie 104 met het aantal 10 doorschoten platen 112-112 werkt als een buffergebied tussen de (niet afgebeelde) wasser en de afvoerbuis 52 en verschaft een betrekkelijke lange serpentinevonnige baan. Het gebied tussen het oppervlak van de ke-gel 116 en het oppervlak van de opening 132 kan warden ingesteld onder bestnur van de drukregelaar 56 door de motor 124 in werking te stellen 15 teneinde de as 118 naar of vanaf de opening te bewegen.

Derhalve kan de druk in het afvoerstelsel 50 warden geregeld door de kegel 116 te bewegen teneinde het dwarsdoorsnede-oppervlak van de . opening 132 te wijzigen in responsie qp de drukaftastinrichting 144. Verder kan de druk in het afvoerstelsel 50 oak warden ingesteld door de zuur-20 stofstroam uit de bron 92 naar de afvoerbuis 52 te wijzigen. Door zowel een in hoofdzaak constante druk (bijvoorbeeld 0,5 cm + 0,02 cm water) en zuurstofstrocm (bijvoorbeeld 1 liter/minuut) in het afvoerstelsel 50 te anderhouden, welke druk lager is dan die aan de uitgang van de buis 12, wordt een grote mate van herhaalbaarheid van de brekingsindex van voor-25 vormen verkregen. Door verder gebruik te maken van een door een reken-tuig bestuurd gasreactie-ingangsstelsel, zoals 32, wordt tezamen met het afvoerstelsel 50 volgens de udtvinding een in hoofdzaak volledig geauto-matiseerd stelsel verkregen.

Verder zal een gedeelte van de fijne deeltjesvormige reagentia 30 oak warden neergeslagen op de platen 112-112. De opzamelkamer 54 wordt periodiek geopend, gereinigd en de niet-neergeslagen reagentie op de platen 112-112 en het bodemvlak 152 warden opgezamsld. Deze zeer zuivere en betrekkelijk dure reagentia kunnen chemisch worden behandeld en op-nieuw Worden gebruikt.

8203822 - .

Claims (12)

1. 4 v - 8 -
2. 1. Vferkwijze voor het vervaardigen van een liditgeleidervoorvorm, waarln reagentia, die in een dragergas warden medegenanen, aan het strcanopwaartse uiteinde van een voorvormbuis worden toegevoerd voor cbsnische reactie en neerslag daarin, waarbij een gedeelte van de rea- 5 gentia niet in de buis wordt neergeslagen en aan het stroonafwaartse uiteinde van de buis uittreedt met het kenmerk, dat de niet-neergeslagen reagentia worden toegevoerd aan een reagensafvoerstelsel, dat met het stroomafwaartse uiteinde van de buis in verbinding staat, welk stelsel is voorzien van een uitlaatopening met variabele afmeting, waarbij de 10 druk in het stelsel wordt gemeten, en de afmeting van de uitlaatopening overeenkamstig de gemeten druk wordt gevarieerd teneinde in het reagens-uitlaatstelsel een in hoofdzaak constante druk te onderhouden.
3. 2. Werkwijze volgens conclusie 1 met het kenmerk, dat een continu uniforme stroon van gas zonder reagentie aan het afvoerstelsel wordt 15 toegevoerd teneinde de niet-neergeslagen reagentia door het stelsel te bewegen.
4. 3. Werkwijze volgens conclusie 2 met het kenmerk, dat het gas zonder reagentia aan het afvoerstelsel bij het stroomafwaartse uiteinee van de vcorvormbuis wordt toegevoerd. 4. flterkwijze volgens conclusie 2 of 3 met het kenmerk, dat de continue uniforme stroom van gas zonder reagentia zuurstof bevat, die tussen binnenste en buitenste glazen buizen van een dubbelwandige afvoerbuis wordt gevoerd, waarbij de afvoerbuis in verbinding staat met het afvoer-eind van de vcorvormbuis, de zuurstof door tenminste een opening in de 25 wand van de binnenbuis bij het afvoereind van de voorvormbuis wordt gevoerd, de zuurstof met niet-neergeslagen reagentie daarin via de binnenbuis aan een reagensopzamelkamer wordt toegevoerd teneinde een gedeelte van de reagentia daarin neer te slaan, en de zuurstof met de resterende reagentia daarin via de uitlaatopening wordt afgevoerd.
5. 5. Reagensafvoerstelsel ten gebruike bij de vervaardiging van een lichtgeleidervoorvorm overeenkonstig de werkwijze volgens conclusie 1, waarbij reagentia, die in het dragergas worden medegenanen, aan het stroomopwaartse uiteinde van de voorvormbuis worden toegevoerd voor che-mische reactie en neerslag daarin, waarbij een gedeelte van de reagentia 35 niet in de buis wordt neergeslagen en aan het stroonafwaartse uiteinde 8203822 - 9 - van de buis uittreedt, met het kenmerk, dat het reagensafvoerstelsel (50) in verbinding staat met het strocsmafwaartse uiteinde van de buis (12) voar het opnemen van de niet-neergeslagen reagentia, het stelsel is voorzien van een uitlaatopening (132) met variabele afmeting, in het 5 stelsel drukmeetorganen (144, 142 , 56) aanwezig zijn, en organen (116, 118, 122, 124, 126, 128) aanwezig zijn, welke bestemd zijn an de afmeting van de uitlaatopening (132) overeenkonstig de gemeten druk te varieren ten-einde in het reagensafvoerstelsel een in hoofdzaak constante druk te on-derhouden.
6. 6. Stelsel volgens conclusie 5 gekenmerkt door arganen (88, 92, 52) an een continue, uniforme stroan van gas zonder reagentia aan het afvcer-stelsel bij het stroonafwaartse uiteinde van de voorvormbuis toe te voe-ren teneinde de reagentia door het stelsel te bewegen.
7. 7. Stelsel volgens conclusie 5 of 6 met het kenmerk, dat het stelsel 15 is voorzien van een afvoerbuis (52) met eerste (58) en tweeds uiteinden, waarbij het eerste uiteinde in verbinding staat met het stroonafwaartse uiteinde van de voorvormbuis (12) voor het opnemen van de uittredende reagentia, en een reagensopzamelkamer (54) met een ingang (101), die met het tweede uiteinde van de afvoerbuis (52) en de uitlaatopening (132) 20 met variabele afmeting is verbonden.
8. 8. Stelsel volgens conclusie 7 met het kenmerk, dat de afvoerbuis (52) is voorzien van een buitenste glazen buis (64), waarvan hat eerste uiteinde (58) een diameter heeft die in hoofdzaak dezelfde is als die van de voorvormbuis, en het tweede uiteinde (70) een diameter heeft, welke 25 groter is dan die van het eerste uiteinde, een binnenste glazen buis (66), die in en coaxiaal met de buitenste glazen buis (64) is gemonteerd, voorzien van een eerste uiteinde (68), dat afdichtbaar met het buitenste on-derdeel bij het eerste uiteinde (58) van het buitenste onderdeel (64) is verbonden en waarbij een tweede uiteinde van de binnenste glazen buis 30 op §en lijn ligt met het tweede uiteinde (70) van de buitenste glazen buis, waarbij de binnenste glazen buis (66) is voorzien van een aantal cpeningen (72), die bij het eerste uiteinde (68) daarvan zijn gelegen.'
9. 9. Stelsel volgens conclusie 8 met het kenmerk, dat de afvoerbuis (52) bestemd is voor het opnemen van een uniforme stroan van gas zonder reagen- 35 tia tussen de binnenste (66) en buitenste (64) glazen buizen.
10. 10. Stelsel volgens een der conclusies 7 - 9 net het kenmerk, dat de reagensopzamelkamer (54) is voorzien van een huis (101) met een open-volumesectie (1Q2) en een schotsectie (104), die gedeeltelijk zijn ge- 8203822 * V - 10 - scheiden door een gemeenschappelijke wand met daarin een opening (108) teneinde een fluidtmrmnunicatie daartussen mogelijk te maken, waarbij de open-volumesectie (102) besterad is vcor het opnemen van de stroon van de uit de uitlaatbuis (52) uittredende reagentia, de schotsectie (104) 5 is voorzien van een aantal naar beneden gerichte, doorschoten platen (112), die zich van de warden daarvan uitstrekken en een serpentine-vormige baan vormen voor de stroon van reagentia en gas, welke zich daar-door beweegt, en de uitlaatopening met variabele opening is voorzien van een klep (132, 116), die zich bij de bovenzijde van de schotsectie be-10 vindt teneinde de variabele opening via welke de stronende gassen en reagentia passeren, te regelen.
11. 11. Stelsel volgens een der conclusies 7-10 met het kenmerk, dat de organen voor het meten van de druk (144) zich in de afvoerbuis (52) be-vinden en terugkoppelorganen aanwezig zijn, die in responsie qp de druk- 15 meetorganen de afmeting van de opening met variabele afmeting instellen teneinde in de afvoerbuis een in hoofdzaak constante druk te onderhouden.
12. 12. Stelsel volgens conclusie -8 met het kenmerk, dat in de binnenste glazen buis (66) een langwerpige glazen staaf (152) is opgesteld cm reagentia, die op het oppervlak van de binnenste glazen buis is afgezet 20 wanneer de uitlaatbuis roteert, los te maken. 8203822