KR100526534B1 - 광섬유 모재 제작 방법과 장치 - Google Patents
광섬유 모재 제작 방법과 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100526534B1 KR100526534B1 KR10-2003-0085071A KR20030085071A KR100526534B1 KR 100526534 B1 KR100526534 B1 KR 100526534B1 KR 20030085071 A KR20030085071 A KR 20030085071A KR 100526534 B1 KR100526534 B1 KR 100526534B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- quartz tube
- charged
- chutes
- chute
- optical fiber
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01846—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
Abstract
본 발명에 따른 화학 반응에 의해서 생성된 슈트들을 석영관의 내벽에 증착시키는 광섬유 모재 제작 방법은 생성된 슈트들을 대전시키고, 상기 석영관의 내벽에 증착되지 않은 슈트들을 대전된 슈트들과 상반되는 전하로 대전된 대전체에 흡착시키며, 상기 슈트들이 대전된 상기 대전체를 상기 석영관의 외부로 이동시킨 후 대전된 상기 슈트와 동일한 전하를 갖도록 대전시킴으로써 상기 대전체에 흡착된 상기 슈트들을 대전 현상을 이용해서 상기 석영관의 외부로 배출한다.
Description
본 발명은 광섬유 모재 제작 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히 수정된 화학 기상 증착 방법에 의한 광섬유 모재 제작 장치 및 방법에 관한 것이다.
광섬유 제조 과정은 크게 모재 제조(Preform Manufacture), 인출(Drawing), 피복 코팅(Sheath Coating) 및 와이딩(Winding) 과정을 포함한다. 특히, 상기 모재 제조 과정은 광섬유를 인출하기 위한 기본 모재를 형성하는 과정으로서, 상기 모재를 형성하는 공법에는 기상 축 증착법(Vapor-phase Axial Deposition), 외부 증착법(Outer Chemical Vapor-phase Deposition), 플라즈마 화학 증착법(Plasma Chemical Vapor Deposition) 및 수정 화학 기상 증착법(Modified Chemical Vapor Deposition) 등이 있다.
특히, 수정 화학 기상 증착법은 광섬유 모재를 제작하고자 하는 중공형의 관 내부에 원료 가스 및 산소 가스를 주입하고, 상기 관을 가열함으로써 상기 관의 내부에 열산화 반응을 일으켜 투명한 유리막을 증착하는 방법을 말한다.
도 1은 수정 화학 기상 증착법에 의한 광섬유 모재 제작 장치를 나타낸다. 도 1을 참조하면, 종래의 광섬유 모재 제작 장치는 일정 속도로 회전 가능하게 설치된 석영관(140)과, 상기 석영관(140)의 양 단을 회전 가능하게 지지하는 한 쌍의 척들(130a, 130b)과, 그 양 측벽들(112a, 112b)에 상기 척들(130a, 130b)를 지지하는 선반(110)과, 상기 선반(110)의 기저면을 따라서 좌우로 왕복 이송하는 이송대(123)와, 상기 이송대(123) 상에 안착됨으로써 상기 석영관(150)의 장축을 따라서 좌우로 왕복 이송하며 상기 석영관(150)의 외벽을 가열하는 버너(150)와, 상기 이송대(123)를 관통하며 나사 선이 형성된 이송 나사(121)와, 상기 이송 나사(121)에 구동력을 전달하는 모터(122)와, 상기 석영관 내의 원료 가스 및 슈트의 흐름을 원할히 하기 위한 질소 가스를 주입하는 질소관(160)을 포함한다.
상기 석영관(140)은 상기 척들(130a, 130b)에 의해서 회전되며, 상기 석영관(140)은 그 내부에 SiCl4 및 GeCl4 등의 원료 가스와 산소 가스가 주입된다.
상기 버너(150)는 상기 석영관(140)의 장축을 따라서 좌우로 왕복 이송을 하며, 원료가스가 주입되고 있는 상기 석영관(140)의 외벽을 가열한다.
상기 석영관(140)은 상기 버너(150)에 의해 그 내부에 고온 상태가 형성되며, 상기 석영관(140)의 내부에 주입된 원료 가스와 산소 등은 상기 석영관(140) 내부의 온도 증가로 인해 산화 반응을 일으키며, 산화 반응에 의해서 형성된 SiO2, GeO2 등과 같은 슈트들이 상기 석영관(140)의 내벽에 증착된다.
그러나, 상기 석영관의 내부에 형성된 산화물인 슈트들은 석영관의 내벽에 증착되는 효율이 낮아서, 생성된 슈트들 중의 40 ~ 50% 정도만이 석영관의 내벽에 증착되고, 나머지 증착되지 못한 슈트들은 상기 광섬유 모재 제조 장치의 내부에 잔존하면서, 광섬유 모재 제조 공정이 중단시키거나 광섬유 모재의 불량을 유발하는 문제가 있다.
석영관의 내부에 증착되지 못한 슈트들을 상기 광섬유 모재의 외부로 배출하기 위해 제안된 수단으로는 상기 석영관의 일단에 연결된 배기관을 통해서 상기 슈트들을 배출하는 방법과, 상기 석영관의 내부에 질소 가스 등을 주입함으로써 상기 석영관 내부에 잔존하는 슈트들을 보다 원활히 배기시키는 방법 등이 제안되고 있다.
즉, 상기 질소관(160)은 상기 석영관(140)의 내부에 질소 가스를 주입함으로써 상기 석영관(140) 내에 인위적인 와류를 형성한다. 상기 석영관(140) 내에 형성된 와류는 과도하게 형성된 슈트 및 미처 배기되지 못한 원료 가스를 상기 석영관(140)의 외부로 밀어내게 된다.
그러나, 석영관 내부에 질소 가스를 주입하는 방법은 석영관 내부에 원료 가스의 주입 방향에 역방향으로 질소 가스를 주입 함으로써 질소 가스에 의해 형성된 와류가 원료 가스의 주입 방향과 역방향을 이룸으로써 슈트 등의 배기가 이루어지지 못하는 문제가 있다.
본 발명에 따른 광섬유 모재 제작 방법은 석영관 내부에 과도하게 생성된 슈트들을 석영관의 외부로 원활히 배출할 수 있는 광섬유 모재 제작 방법을 제공함에 있다.
본 발명에 따른 화학 반응에 의해서 생성된 슈트들을 석영관의 내벽에 증착시키는 광섬유 모재 제작 방법은,
생성된 슈트들을 대전시키고, 상기 석영관의 내벽에 증착되지 않은 슈트들을 대전된 슈트들과 상반되는 전하로 대전된 대전체에 흡착시키며, 상기 슈트들이 대전된 상기 대전체를 상기 석영관의 외부로 이동시킨 후 대전된 상기 슈트와 동일한 전하를 갖도록 대전시킴으로써 상기 대전체에 흡착된 상기 슈트들을 대전 현상을 이용해서 상기 석영관의 외부로 배출한다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 발명에 따른 석영관의 내벽에 화학 기상 증착법에 의해 형성된 슈트들을 증착시키는 광섬유 모재 제작 방법은 생성된 상기 슈트들을 대전시키고, 상기 석영관의 내벽에 증착되지 않은 슈트들을 대전된 슈트들과 상반되는 전하로 대전된 대전체에 흡착시키며, 상기 슈트들이 대전된 상기 대전체를 상기 석영관의 외부로 이동시킨 후 대전된 상기 슈트와 동일한 전하를 갖도록 대전시킴으로써 상기 대전체에 흡착된 상기 슈트들을 대전 현상을 이용해서 상기 석영관의 외부로 배출시킨다.
도 2는 본 발명의 바른 실시예에 따른 광섬유 모재 제작 장치를 나타낸다. 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 광섬유 모재 제작 장치는 제1 대전체(263)등을 포함하는 슈트 배출 수단(260)과, 그 기저면에 가이드 홈이 형성된 선반(210)과, 버너(250)와, 이송대(223)와, 한 쌍의 척들(230a, 230b)를 포함한다.
즉, 본 발명에 따른 광섬유 모재 제작 장치는 광섬유 모재를 형성하고자 하는 석영관(240)을 가열해서 상기 석영관(240)의 내부를 고온 상태로 형성한다. 또한, 고온 상태가 형성된 상기 석영관(240) 내부에 SiCl4, GeCl4 등의 원료 가스와, O2 등을 주입함으로써 상기 석영관(240) 내부에 화학 반응에 의한 슈트들을 형성하며, 형성된 상기 슈트들이 열영동 현상에 의해서 상기 석영관(240)의 내벽에 증착됨으로써 광섬유 모재가 형성된다.
상기 척들(230a, 230b)은 상기 선반(210)의 양 측벽(212a, 212b)을 관통하며 상기 석영관(240)을 상기 선반(210)에 회전 가능하게 고정시킨다.
상기 선반(210)은 양 측벽(212a, 212b)을 관통하는 상기 척들(230a, 230b)을 지지하며, 그 기저면(211)에 상기 이송대(223)를 상기 석영관(240)의 장축을 따라서 좌우로 왕복 이송시키기 위한 가이드 홈(211a)이 형성된다.
상기 버너(250)는 상기 이송대(223) 상의 일측에 안착됨으로써 상기 석영관(240)의 장축을 따라서 좌우로 이송하며, 상기 석영관(240)의 외벽을 가열한다.
상기 이송대(223)는 상기 선반(210)의 가이드 홈(211a) 상에 위치되며, 그 중앙부에 형성된 나사산이 형성된 이송 나사(221)가 관통한다. 상기 이송 나사(221)는 모터(222)에서 생성된 구동력에 의해서 상기 이송대(223)를 상기 석영관(240)의 장축을 따라서 좌우로 왕복 이송시킨다.
상기 이송대(223)는 그 상면에 상기 버너(250)와, 상기 대전체(263)가 안착됨으로써, 상기 버너(250)와, 상기 대전체(263)를 상기 석영관(240)의 장축을 따라서 좌우로 왕복 이송시킨다.
상기 슈트 배출 수단(260)은 상기 석영관(240) 내에 과잉 생성된 슈트들을 양전하로 대전시키기 위한 제1 대전체(263)와, 상기 석영관의 내부에 삽입 또는 퇴축되는 제2 대전체(261)와, 상기 제2 대전체가 도전되는 극성 및 위치를 제어하기 위한 제어부(262)를 포함한다.
즉, 상기 제1 대전체(263)는 상기 석영관 내에 과잉 생성된 슈트들을 양전하로 대전시킨다.
상기 제2 대전체(261)는 상기 제어부(262)에 의해서 상기 석영관(240)의 내부에 삽입 또는 퇴축되는 왕복 이송 동작을 반복하며, 상기 제2 대전체(261)는 상기 석영관(240)의 내부에 삽입된 경우에, 상기 제어부(262)에 의해서 음극으로 도전됨으로써 양전하로 대전된 상기 슈트들을 흡착한다. 또한, 상기 슈트들을 흡착한 상기 제2 대전체(261)는 상기 석영관(240)의 외부로 퇴축 됨과 동시에 양극으로 도전시킴으로써 흡착된 상기 슈트들을 상기 석영관(262)의 외부로 배출시킨다. 상기 제2 대전체(261)로는 금속 재질의 봉 등을 사용할 수 있다.
상기 슈트 배출 수단(260)은 상기 석영관(240)의 내벽에 증착되지 않은 슈트들을 대전 현상을 이용해서 상기 석영관(240)의 외부로 배기시킨다.
본 발명에 따른 광섬유 모재 제작 장치는 석영관 내에 과잉 생성된 슈트들을 양전하로 대전시킨 상태에서 음극으로 도전된 금속에 의해서 대전 현상을 이용해서 그 외부로 배출시킴으로써 과잉 생성된 슈트의 배기가 용이하고, 과잉 생성된 슈트로 인한 광섬유 모재의 불량 발생을 감소시킬 수 있다는 이점이 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 광섬유 모재 제작 장치를 나타내는 도면,
도 2는 본 발명의 바른 실시예에 따른 광섬유 모재 제작 장치를 나타내는 도면,
Claims (3)
- 화학 반응에 의해서 생성된 슈트들을 석영관의 내벽에 증착시키는 광섬유 모재 제작 방법에 있어서,생성된 슈트들을 대전시키고, 상기 석영관의 내벽에 증착되지 않은 슈트들을 대전된 슈트들과 상반되는 전하로 대전된 대전체에 흡착시키며, 상기 슈트들이 대전된 상기 대전체를 상기 석영관의 외부로 이동시킨 후 대전된 상기 슈트와 동일한 전하를 갖도록 대전시킴으로써 상기 대전체에 흡착된 상기 슈트들을 대전 현상을 이용해서 상기 석영관의 외부로 배출함을 특징으로 하는 광섬유 모재 제작 방법.
- 석영관의 내부에 주입된 원료 가스로부터 화학 반응에 의해 생성된 슈트들을 상기 석영관의 내벽에 증착하는 광섬유 모재 제작 장치에 있어서, 상기 석영관 내에 과도하게 생성된 슈트들을 제거하기 위한 슈트 배출 수단은,상기 석영관의 장축을 따라서 좌우 왕복 이송을 하며, 상기 석영관의 내부에 과도하게 형성된 슈트들을 대전시키기 위한 제1 대전체와;상기 석영관 내부에 삽입시 상기 슈트와 반대되는 전하로 대전됨으로써 대전된 상기 슈트들을 흡착하고, 상기 슈트들을 흡착한 상태에서 상기 석영관의 외부로 퇴축 후에 상기 슈트와 동일한 전하로 대전됨으로써 흡착된 상기 슈트들을 상기 석영관의 외부로 배출시키는 제2 대전체와;상기 제2 대전체의 운동과, 도전 상태를 제어하는 제어부를 포함함을 특징으로 하는 광섬유 모재 제작 장치.
- 제 2항에 있어서, 상기 광섬유 모재 제작 장치는,양 측벽에 상기 석영관의 양 단부를 제자리 회전 가능하게 지지하며, 그 기저면에 가이드 홈이 형성된 선반과;상기 석영관의 외벽을 가열하는 버너와;그 상면에 상기 버너 및 상기 제1 대전체가 상호 이격되게 안착되며, 상기 가이드 홈을 따라서 상기 석영관의 장축을 따라서 좌우로 왕복 이송을 하는 이송대와;상기 선반의 양 측벽을 관통하며 상기 석영관을 회전 가능하게 상기 선반에 고정시키는 한 쌍의 척들을 포함함을 특징으로 하는 광섬유 모재 제작 장치.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2003-0085071A KR100526534B1 (ko) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 광섬유 모재 제작 방법과 장치 |
US10/835,660 US20050115277A1 (en) | 2003-11-27 | 2004-04-30 | Method and apparatus for manufacturing optical fiber preform |
CNA2004100457259A CN1621869A (zh) | 2003-11-27 | 2004-05-24 | 用于制造光纤预成型件的方法和装置 |
EP04016680A EP1535884B1 (en) | 2003-11-27 | 2004-07-15 | Method and apparatus for manufacturing optical fiber preform |
DE602004002068T DE602004002068D1 (de) | 2003-11-27 | 2004-07-15 | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung optischer Vorformen |
JP2004341582A JP2005154270A (ja) | 2003-11-27 | 2004-11-26 | 光ファイバー母材製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2003-0085071A KR100526534B1 (ko) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 광섬유 모재 제작 방법과 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20050051304A KR20050051304A (ko) | 2005-06-01 |
KR100526534B1 true KR100526534B1 (ko) | 2005-11-08 |
Family
ID=34464761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2003-0085071A KR100526534B1 (ko) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | 광섬유 모재 제작 방법과 장치 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050115277A1 (ko) |
EP (1) | EP1535884B1 (ko) |
JP (1) | JP2005154270A (ko) |
KR (1) | KR100526534B1 (ko) |
CN (1) | CN1621869A (ko) |
DE (1) | DE602004002068D1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106881365A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-06-23 | 天津富通集团有限公司 | 预制棒加工方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI116382B (fi) * | 2003-04-22 | 2005-11-15 | Liekki Oy | Menetelmä hiukkasten varaamiseksi materiaalin valmistusprosessissa sekä hiukkasten varauslaite |
NL1030749C2 (nl) * | 2005-12-22 | 2007-06-25 | Draka Comteq Bv | Inrichting en werkwijze voor het vervaardigen van een optische voorvorm. |
KR100737596B1 (ko) * | 2006-03-06 | 2007-07-10 | 엘에스전선 주식회사 | Mcvd 공정용 수트 제거장치 및 수트 제거방법 |
US9199870B2 (en) * | 2012-05-22 | 2015-12-01 | Corning Incorporated | Electrostatic method and apparatus to form low-particulate defect thin glass sheets |
CN102826748B (zh) * | 2012-08-31 | 2014-10-22 | 朱兴发 | 满足短流程生产矿棉的电磁感应矿渣熔炉及其生产方法 |
US9422187B1 (en) | 2015-08-21 | 2016-08-23 | Corning Incorporated | Laser sintering system and method for forming high purity, low roughness silica glass |
CN106927671A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-07-07 | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 | 一种mcvd方法中反应管压力控制及尾气处理方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4389229A (en) * | 1981-10-01 | 1983-06-21 | Western Electric Co., Inc. | Methods and apparatus for fabricating a lightguide preform |
US4635314A (en) * | 1985-04-15 | 1987-01-13 | Itt Corporation | Arrangement for removing glass soot from an exhaust tube during optical preform fabrication |
FI78891C (fi) * | 1987-09-11 | 1989-10-10 | Nokia Oy Ab | Anordning foer avlaegsnande av pulverformigt material som samlas i den roerformiga bakdelen vid tillverkning av en optisk fibers aemne. |
US20030061990A1 (en) * | 2001-10-03 | 2003-04-03 | Alcatel | CVD diameter control with particle separation |
-
2003
- 2003-11-27 KR KR10-2003-0085071A patent/KR100526534B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2004
- 2004-04-30 US US10/835,660 patent/US20050115277A1/en not_active Abandoned
- 2004-05-24 CN CNA2004100457259A patent/CN1621869A/zh active Pending
- 2004-07-15 DE DE602004002068T patent/DE602004002068D1/de active Active
- 2004-07-15 EP EP04016680A patent/EP1535884B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-11-26 JP JP2004341582A patent/JP2005154270A/ja not_active Abandoned
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106881365A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-06-23 | 天津富通集团有限公司 | 预制棒加工方法 |
CN106881365B (zh) * | 2017-02-27 | 2018-10-12 | 天津富通集团有限公司 | 预制棒加工方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20050051304A (ko) | 2005-06-01 |
US20050115277A1 (en) | 2005-06-02 |
CN1621869A (zh) | 2005-06-01 |
JP2005154270A (ja) | 2005-06-16 |
EP1535884A1 (en) | 2005-06-01 |
DE602004002068D1 (de) | 2006-10-05 |
EP1535884B1 (en) | 2006-08-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2217391C2 (ru) | Способ образования трубчатого элемента для производства оптического волокна с использованием плазменного внешнего осаждения из паровой фазы | |
KR100526534B1 (ko) | 광섬유 모재 제작 방법과 장치 | |
US8192807B2 (en) | Ring plasma jet method and apparatus for making an optical fiber preform | |
CN101293733B (zh) | 用于制造光学预制品的设备和方法 | |
JPH0647477B2 (ja) | 中空プレフオームから中実ガラスプレフオームの製造方法 | |
US20130025326A1 (en) | Methods for manufacturing low water peak optical waveguide | |
FI116382B (fi) | Menetelmä hiukkasten varaamiseksi materiaalin valmistusprosessissa sekä hiukkasten varauslaite | |
US8857372B2 (en) | Method of fabricating optical fiber using an isothermal, low pressure plasma deposition technique | |
US20060196230A1 (en) | Plasma apparatus and apparatus for fabricating optical fiber preform by using the same | |
US20120285202A1 (en) | Method Of Fabricating Optical Fiber Using An Isothermal, Low Pressure Plasma Deposition Technique | |
US20050022561A1 (en) | Ring plasma jet method and apparatus for making an optical fiber preform | |
US9994480B2 (en) | Method for etching a primary preform | |
CN1550466A (zh) | 光纤预制件的椭圆度的改进方法 | |
WO2003086998A1 (en) | Method and device for manufacturing optical preforms, as well as the optical fibres obtained therewith | |
CN1286751C (zh) | 使用外部气相沉积法制造光纤预制棒的方法和设备 | |
EP1279647A3 (en) | Apparatus and method for manufacturing an optical fiber preform by modified chemical vapour deposition | |
CN1596227A (zh) | 在mcvd法中使用双喷灯制备光纤预制棒的方法和设备 | |
US9463994B2 (en) | Method and a device for manufacturing an optical preform by means of an internal vapour deposition process, as well as corresponding substrate tube assembly | |
KR100334781B1 (ko) | 광섬유 모재 제조장치 및 그 제조방법 | |
US6363754B2 (en) | MCVD method and apparatus using an elongated gas feeding device | |
JPS6236831Y2 (ko) | ||
KR20000047140A (ko) | 광섬유 모재 가열장치 | |
JPS62212242A (ja) | 石英系透明ガラス母材の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |