JPS61295248A - 光フアイバ母材の製造装置 - Google Patents
光フアイバ母材の製造装置Info
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- JPS61295248A JPS61295248A JP60135461A JP13546185A JPS61295248A JP S61295248 A JPS61295248 A JP S61295248A JP 60135461 A JP60135461 A JP 60135461A JP 13546185 A JP13546185 A JP 13546185A JP S61295248 A JPS61295248 A JP S61295248A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
- B23P15/10—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass pistons
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01861—Means for changing or stabilising the diameter or form of tubes or rods
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01846—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(技術分野〕
本発明は内付けCvD方式の光ファイバ母材の製造装置
に関するものである。
に関するものである。
光ファイバ母材の製造装置の一つとして従来から内付け
CVD(以下MCVDという)法がある。この方法は回
転する反応管内にガラス原料を供給し、これを前記反応
管の軸方向に往復運動するトーチ等の加熱器により加熱
し、反応管内に前記ガラス原料を堆積せしめ所望の屈折
率分布を形成するものである。
CVD(以下MCVDという)法がある。この方法は回
転する反応管内にガラス原料を供給し、これを前記反応
管の軸方向に往復運動するトーチ等の加熱器により加熱
し、反応管内に前記ガラス原料を堆積せしめ所望の屈折
率分布を形成するものである。
ところでこの従来のMCVt1法には以下のような欠点
がある。すなわち、石英管等からなる前記反応管が加熱
器により加熱され軟化すると、自身の表面張力により次
第に収縮し、その結果反応管内面に所望厚さの均一なガ
ラス堆積層を形成できなくなるとか、前記軟化により反
応管が変形して、反応管の長手方向断面が不均一になっ
てしまう、という問題がある。 ′ そこでこの問題を解決すべく反応管内に前記ガラス層を
堆積させる間、反応管の内圧を外圧より高くするという
方法が提案されている。具体的には特公昭57−375
36号公報に記載されているように、反応管の外径値を
反応管の他端に設けた内圧調整部にフィードバックして
、反応管の内圧を調整する方法がある。しかしこの方法
では、供給されているガラス原料の流量や反応管内径に
より時々刻々変化している反応管内圧を反応管外径とい
う間接的な値により制御しようとすることから、精密な
制御ができない。また前述の如く反応管の外径は長手方
向に変動している可能性も大きく、そのため測定点の選
び方も問題となる。
がある。すなわち、石英管等からなる前記反応管が加熱
器により加熱され軟化すると、自身の表面張力により次
第に収縮し、その結果反応管内面に所望厚さの均一なガ
ラス堆積層を形成できなくなるとか、前記軟化により反
応管が変形して、反応管の長手方向断面が不均一になっ
てしまう、という問題がある。 ′ そこでこの問題を解決すべく反応管内に前記ガラス層を
堆積させる間、反応管の内圧を外圧より高くするという
方法が提案されている。具体的には特公昭57−375
36号公報に記載されているように、反応管の外径値を
反応管の他端に設けた内圧調整部にフィードバックして
、反応管の内圧を調整する方法がある。しかしこの方法
では、供給されているガラス原料の流量や反応管内径に
より時々刻々変化している反応管内圧を反応管外径とい
う間接的な値により制御しようとすることから、精密な
制御ができない。また前述の如く反応管の外径は長手方
向に変動している可能性も大きく、そのため測定点の選
び方も問題となる。
そこで前記方法の改良法として、本願出願人は先に次の
ような提案(特願昭58−243360号)を行った。
ような提案(特願昭58−243360号)を行った。
この方法は、前記反応管の他端に圧力測定器と、排気口
と、ガス導入口とを有するガス圧制御室を設け、かつ前
記排気口には排気量調整弁を装備し、該弁の開閉度を前
記圧力測定器の値で制御する、というものである。この
方法は直接反応管の内圧を測定し、これを排気量調整弁
にフィードバックするという点で前述のものより圧力調
整が精密にできるという利点はある。しかし調整弁の開
閉のみで圧力調整するため応答性が劣るという問題があ
る。
と、ガス導入口とを有するガス圧制御室を設け、かつ前
記排気口には排気量調整弁を装備し、該弁の開閉度を前
記圧力測定器の値で制御する、というものである。この
方法は直接反応管の内圧を測定し、これを排気量調整弁
にフィードバックするという点で前述のものより圧力調
整が精密にできるという利点はある。しかし調整弁の開
閉のみで圧力調整するため応答性が劣るという問題があ
る。
前記問題に鑑み本発明の目的は、反応管の内圧をより精
密にかつより応答性良く制御できる光ファイバ母材の製
造装置を提供することにある。
密にかつより応答性良く制御できる光ファイバ母材の製
造装置を提供することにある。
前記目的を達成すべく本発明のものは、反応管を回転自
在に保持する支持部と、前記反応管の一端から該反応管
内部にガラス原料を供給する原料供給部と、前記反応管
の軸方向に往復移動し前記反応管を加熱する加熱器とを
有する光ファイバ母材の製造装置において、前記反応管
の他端に圧力測定器と、ガス導入口と排気口とを有する
ガス圧制御室を設けると共に、前記ガス導入口には前記
圧力測定器の測定値により導入ガス圧を制御し得るブロ
ワ−を設けたことを特徴とするものである。
在に保持する支持部と、前記反応管の一端から該反応管
内部にガラス原料を供給する原料供給部と、前記反応管
の軸方向に往復移動し前記反応管を加熱する加熱器とを
有する光ファイバ母材の製造装置において、前記反応管
の他端に圧力測定器と、ガス導入口と排気口とを有する
ガス圧制御室を設けると共に、前記ガス導入口には前記
圧力測定器の測定値により導入ガス圧を制御し得るブロ
ワ−を設けたことを特徴とするものである。
本発明の実施例を図を参照にして詳細に説明する。第1
図は本発明の光ファイバ母材の製造装置の一実施例を示
している。本図が示すように本発明のものは、石英ガラ
ス等からなる反応管1を回転自在に保持する支持部2と
、例えば酸素と共に供給される四塩化珪素、四塩化ゲル
マニウム等からなるガラス原料を前記反応管1の一端か
ら該反応管内部に供給する図示されていない原料供給部
と(符号3はガラス原料を原料供給部から供給する供給
口である)、前記反応管1の軸方向に往復移動し前記反
応管1を加熱するトーチ等の加熱器4とを有する光ファ
イバ母材の製造装置において、前記反応管1の他端に圧
力測定器7と、ガス導入口8と、排気口9とを有するガ
ス圧制御室6を設けると共に、前記ガス導入口8には前
記圧力測定器7の測定値により導入するガス量を制御し
、もって導入ガス圧を制御し得るブロワ−10を設けた
ことを特徴とするものである。ここで前記ブロワ−10
としては導入するガス量を回転数により調整できる回転
数制御方式のものが、導入ガス圧をより精密にコントロ
ールできることから好ましい。
図は本発明の光ファイバ母材の製造装置の一実施例を示
している。本図が示すように本発明のものは、石英ガラ
ス等からなる反応管1を回転自在に保持する支持部2と
、例えば酸素と共に供給される四塩化珪素、四塩化ゲル
マニウム等からなるガラス原料を前記反応管1の一端か
ら該反応管内部に供給する図示されていない原料供給部
と(符号3はガラス原料を原料供給部から供給する供給
口である)、前記反応管1の軸方向に往復移動し前記反
応管1を加熱するトーチ等の加熱器4とを有する光ファ
イバ母材の製造装置において、前記反応管1の他端に圧
力測定器7と、ガス導入口8と、排気口9とを有するガ
ス圧制御室6を設けると共に、前記ガス導入口8には前
記圧力測定器7の測定値により導入するガス量を制御し
、もって導入ガス圧を制御し得るブロワ−10を設けた
ことを特徴とするものである。ここで前記ブロワ−10
としては導入するガス量を回転数により調整できる回転
数制御方式のものが、導入ガス圧をより精密にコントロ
ールできることから好ましい。
また、前記ブロワ−1Oと圧力測定器7との間には制御
系として、設定器13付きの演算器12とブロワ−10
を駆動する駆動部11とが設けられていて、前記設定器
13と圧力測定器7との差圧によりブロワ−10の回転
数を制御し、ガス導入口8を介して送り込む導入ガス圧
を制御している。
系として、設定器13付きの演算器12とブロワ−10
を駆動する駆動部11とが設けられていて、前記設定器
13と圧力測定器7との差圧によりブロワ−10の回転
数を制御し、ガス導入口8を介して送り込む導入ガス圧
を制御している。
以下に本発明の一具体例を示す。
反応管1として外径26mm、内径22mmの石英管を
使用し、加熱器4により加熱しつつ、前記反応管1内に
90層のガラス堆積層を形成せしめた。このとき設定器
13の設定を外気圧より約10mmHzo高く設定し、
これと圧力測定器7の測定値との差圧に比例するように
ブロワ−10の回転数を制御しつつ反応管1の内圧を調
整した。その結果、前記901iJのガラス堆積層を形
成せしめた反応管1の最終外径の軸方向変動は±0.1
mm以下となり、きわめて良好な光ファイバ母材を得る
ことができた。これに対して前述の特願昭58−243
360号による調整弁の開閉による制御方法のものにあ
っては、局部的な変動が±0.71もあった。
使用し、加熱器4により加熱しつつ、前記反応管1内に
90層のガラス堆積層を形成せしめた。このとき設定器
13の設定を外気圧より約10mmHzo高く設定し、
これと圧力測定器7の測定値との差圧に比例するように
ブロワ−10の回転数を制御しつつ反応管1の内圧を調
整した。その結果、前記901iJのガラス堆積層を形
成せしめた反応管1の最終外径の軸方向変動は±0.1
mm以下となり、きわめて良好な光ファイバ母材を得る
ことができた。これに対して前述の特願昭58−243
360号による調整弁の開閉による制御方法のものにあ
っては、局部的な変動が±0.71もあった。
以上の如く本発明の光ファイバ母材の製造装置によれば
反応管1内の圧力を直接測定し、この値をブロワ−10
にフィードバックしていること、かつ回転数により供給
するガス量を調整でき、もって導入ガス圧を精密に制御
できるブロワ−10を使用していること、から反応管1
の内圧を精密に制御できる。またブロワ−10により強
制的にガスを導入しているため応答性に優れているとい
う利点もある。
反応管1内の圧力を直接測定し、この値をブロワ−10
にフィードバックしていること、かつ回転数により供給
するガス量を調整でき、もって導入ガス圧を精密に制御
できるブロワ−10を使用していること、から反応管1
の内圧を精密に制御できる。またブロワ−10により強
制的にガスを導入しているため応答性に優れているとい
う利点もある。
前述の如く本発明によれば、MCVD法による光フ
−アイバ母材の製造に際し、反応管内の圧力制御にきわ
めて優れた製造装置を提供でき、もって外径変動のない
優れた光ファイバ母材を得ることができる。
−アイバ母材の製造に際し、反応管内の圧力制御にきわ
めて優れた製造装置を提供でき、もって外径変動のない
優れた光ファイバ母材を得ることができる。
第1図は本発明の一実施例を示す概略図である。
1〜反応管 6〜ガス圧制御室 7〜圧力測定第1図
Claims (2)
- (1)反応管を回転自在に保持する支持部と、前記反応
管の一端から該反応管内部にガラス原料を供給する原料
供給部と、前記反応管の軸方向に往復移動し前記反応管
を加熱する加熱器とを有する光ファイバ母材の製造装置
において、前記反応管の他端に圧力測定器と、ガス導入
口と排気口とを有するガス圧制御室を設けると共に、前
記ガス導入口には前記圧力測定器の測定値により導入ガ
ス圧を制御し得るブロワーを設けたことを特徴とする光
ファイバ母材の製造装置。 - (2)前記ブロワーは回転数制御により導入ガス量を制
御し得るブロワーであることを特徴とする特許請求の範
囲第1項記載の光ファイバ母材の製造装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60135461A JPS61295248A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 光フアイバ母材の製造装置 |
US06/871,279 US4813989A (en) | 1985-06-21 | 1986-06-06 | Apparatus for fabricating optical fiber preform |
GB8614052A GB2176776B (en) | 1985-06-21 | 1986-06-10 | Apparatus for fabricating optical fibre preform |
KR1019860004598A KR900004211B1 (ko) | 1985-06-21 | 1986-06-10 | 광파이버모재의제조장치 |
CA000512105A CA1273485A (en) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | Apparatus for fabricating optical fiber preform |
CN86104327A CN1008520B (zh) | 1985-06-21 | 1986-06-20 | 光导纤维预制棒的制造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60135461A JPS61295248A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 光フアイバ母材の製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61295248A true JPS61295248A (ja) | 1986-12-26 |
JPH0210769B2 JPH0210769B2 (ja) | 1990-03-09 |
Family
ID=15152252
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60135461A Granted JPS61295248A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 光フアイバ母材の製造装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4813989A (ja) |
JP (1) | JPS61295248A (ja) |
KR (1) | KR900004211B1 (ja) |
CN (1) | CN1008520B (ja) |
CA (1) | CA1273485A (ja) |
GB (1) | GB2176776B (ja) |
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-
1985
- 1985-06-21 JP JP60135461A patent/JPS61295248A/ja active Granted
-
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- 1986-06-06 US US06/871,279 patent/US4813989A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-06-10 KR KR1019860004598A patent/KR900004211B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1986-06-10 GB GB8614052A patent/GB2176776B/en not_active Expired
- 1986-06-20 CA CA000512105A patent/CA1273485A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-06-20 CN CN86104327A patent/CN1008520B/zh not_active Expired
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