JPS61295248A - 光フアイバ母材の製造装置 - Google Patents

光フアイバ母材の製造装置

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JPS61295248A
JPS61295248A JP60135461A JP13546185A JPS61295248A JP S61295248 A JPS61295248 A JP S61295248A JP 60135461 A JP60135461 A JP 60135461A JP 13546185 A JP13546185 A JP 13546185A JP S61295248 A JPS61295248 A JP S61295248A
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Tamotsu Kamiya
保 神谷
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芝山 康弘
Shigero Takagi
高木 茂郎
Sakae Katano
片野 栄
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    • B23P15/10Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass pistons
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01861Means for changing or stabilising the diameter or form of tubes or rods
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23B5/00Turning-machines or devices specially adapted for particular work; Accessories specially adapted therefor
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
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    • C03B37/01846Means for after-treatment or catching of worked reactant gases

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野〕 本発明は内付けCvD方式の光ファイバ母材の製造装置
に関するものである。
〔従来技術〕
光ファイバ母材の製造装置の一つとして従来から内付け
CVD(以下MCVDという)法がある。この方法は回
転する反応管内にガラス原料を供給し、これを前記反応
管の軸方向に往復運動するトーチ等の加熱器により加熱
し、反応管内に前記ガラス原料を堆積せしめ所望の屈折
率分布を形成するものである。
ところでこの従来のMCVt1法には以下のような欠点
がある。すなわち、石英管等からなる前記反応管が加熱
器により加熱され軟化すると、自身の表面張力により次
第に収縮し、その結果反応管内面に所望厚さの均一なガ
ラス堆積層を形成できなくなるとか、前記軟化により反
応管が変形して、反応管の長手方向断面が不均一になっ
てしまう、という問題がある。       ′ そこでこの問題を解決すべく反応管内に前記ガラス層を
堆積させる間、反応管の内圧を外圧より高くするという
方法が提案されている。具体的には特公昭57−375
36号公報に記載されているように、反応管の外径値を
反応管の他端に設けた内圧調整部にフィードバックして
、反応管の内圧を調整する方法がある。しかしこの方法
では、供給されているガラス原料の流量や反応管内径に
より時々刻々変化している反応管内圧を反応管外径とい
う間接的な値により制御しようとすることから、精密な
制御ができない。また前述の如く反応管の外径は長手方
向に変動している可能性も大きく、そのため測定点の選
び方も問題となる。
そこで前記方法の改良法として、本願出願人は先に次の
ような提案(特願昭58−243360号)を行った。
この方法は、前記反応管の他端に圧力測定器と、排気口
と、ガス導入口とを有するガス圧制御室を設け、かつ前
記排気口には排気量調整弁を装備し、該弁の開閉度を前
記圧力測定器の値で制御する、というものである。この
方法は直接反応管の内圧を測定し、これを排気量調整弁
にフィードバックするという点で前述のものより圧力調
整が精密にできるという利点はある。しかし調整弁の開
閉のみで圧力調整するため応答性が劣るという問題があ
る。
〔発明の目的〕
前記問題に鑑み本発明の目的は、反応管の内圧をより精
密にかつより応答性良く制御できる光ファイバ母材の製
造装置を提供することにある。
〔発明の構成〕
前記目的を達成すべく本発明のものは、反応管を回転自
在に保持する支持部と、前記反応管の一端から該反応管
内部にガラス原料を供給する原料供給部と、前記反応管
の軸方向に往復移動し前記反応管を加熱する加熱器とを
有する光ファイバ母材の製造装置において、前記反応管
の他端に圧力測定器と、ガス導入口と排気口とを有する
ガス圧制御室を設けると共に、前記ガス導入口には前記
圧力測定器の測定値により導入ガス圧を制御し得るブロ
ワ−を設けたことを特徴とするものである。
〔発明の実施例〕
本発明の実施例を図を参照にして詳細に説明する。第1
図は本発明の光ファイバ母材の製造装置の一実施例を示
している。本図が示すように本発明のものは、石英ガラ
ス等からなる反応管1を回転自在に保持する支持部2と
、例えば酸素と共に供給される四塩化珪素、四塩化ゲル
マニウム等からなるガラス原料を前記反応管1の一端か
ら該反応管内部に供給する図示されていない原料供給部
と(符号3はガラス原料を原料供給部から供給する供給
口である)、前記反応管1の軸方向に往復移動し前記反
応管1を加熱するトーチ等の加熱器4とを有する光ファ
イバ母材の製造装置において、前記反応管1の他端に圧
力測定器7と、ガス導入口8と、排気口9とを有するガ
ス圧制御室6を設けると共に、前記ガス導入口8には前
記圧力測定器7の測定値により導入するガス量を制御し
、もって導入ガス圧を制御し得るブロワ−10を設けた
ことを特徴とするものである。ここで前記ブロワ−10
としては導入するガス量を回転数により調整できる回転
数制御方式のものが、導入ガス圧をより精密にコントロ
ールできることから好ましい。
また、前記ブロワ−1Oと圧力測定器7との間には制御
系として、設定器13付きの演算器12とブロワ−10
を駆動する駆動部11とが設けられていて、前記設定器
13と圧力測定器7との差圧によりブロワ−10の回転
数を制御し、ガス導入口8を介して送り込む導入ガス圧
を制御している。
以下に本発明の一具体例を示す。
反応管1として外径26mm、内径22mmの石英管を
使用し、加熱器4により加熱しつつ、前記反応管1内に
90層のガラス堆積層を形成せしめた。このとき設定器
13の設定を外気圧より約10mmHzo高く設定し、
これと圧力測定器7の測定値との差圧に比例するように
ブロワ−10の回転数を制御しつつ反応管1の内圧を調
整した。その結果、前記901iJのガラス堆積層を形
成せしめた反応管1の最終外径の軸方向変動は±0.1
mm以下となり、きわめて良好な光ファイバ母材を得る
ことができた。これに対して前述の特願昭58−243
360号による調整弁の開閉による制御方法のものにあ
っては、局部的な変動が±0.71もあった。
以上の如く本発明の光ファイバ母材の製造装置によれば
反応管1内の圧力を直接測定し、この値をブロワ−10
にフィードバックしていること、かつ回転数により供給
するガス量を調整でき、もって導入ガス圧を精密に制御
できるブロワ−10を使用していること、から反応管1
の内圧を精密に制御できる。またブロワ−10により強
制的にガスを導入しているため応答性に優れているとい
う利点もある。
〔発明の効果〕
前述の如く本発明によれば、MCVD法による光フ  
−アイバ母材の製造に際し、反応管内の圧力制御にきわ
めて優れた製造装置を提供でき、もって外径変動のない
優れた光ファイバ母材を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す概略図である。 1〜反応管 6〜ガス圧制御室 7〜圧力測定第1図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)反応管を回転自在に保持する支持部と、前記反応
    管の一端から該反応管内部にガラス原料を供給する原料
    供給部と、前記反応管の軸方向に往復移動し前記反応管
    を加熱する加熱器とを有する光ファイバ母材の製造装置
    において、前記反応管の他端に圧力測定器と、ガス導入
    口と排気口とを有するガス圧制御室を設けると共に、前
    記ガス導入口には前記圧力測定器の測定値により導入ガ
    ス圧を制御し得るブロワーを設けたことを特徴とする光
    ファイバ母材の製造装置。
  2. (2)前記ブロワーは回転数制御により導入ガス量を制
    御し得るブロワーであることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の光ファイバ母材の製造装置。
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