JP4687648B2 - 光ファイバ母材を製造する方法および装置 - Google Patents
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Description
mm以下であってもよい。さらに、石英パイプ内における圧力の変化量が、1秒あたり、−50Pa以上+50Pa以下であってもよく、石英パイプ内における圧力が、継続して+20Pa以下となる時間が2秒未満であってもよい。
3 石英パイプ
5,6 ガラス管
9 支持台
11 バッファ室
13 熱源
14 補助熱源
15 圧力計
17 排気部
21 第1のバッファガス導入部
21b 流量制御手段
22 第2のバッファガス導入部
22b 流量制御手段
25 位置検出手段
27 制御部
27a 第1の制御手段
27b 第2の制御手段
29 スス
31 スス捕集部
33 ガラス層
101 光ファイバ母材を製造する装置
117 流量制御手段
201 光ファイバ母材を製造する装置
227 制御部
227a 第1の制御手段
227b 最適圧算出部
227c 第2の制御手段
230 形状測定手段
231 CCDカメラ
232 画像解析処理装置
mm後方となるため、その部分で外径を読むと、制御が遅くなる恐れがあり、その遅れを補償しようとして、パイプ内の圧力を大きく変化させ、その結果、外径が周期的に大きく変動してしまう恐れがある。
Pa程度、加熱位置がガラススス体の堆積量が多い排気端に近い位置の時には、石英パイプ内の圧力を+400Pa程度にする必要があることが判っている。
Paという極めて微小なずれに抑えることができ、良好な制御が可能になった。
mm以下となるように規制すると良い。
Pa/秒以下に、より好ましくは±30Pa/秒以下に制限すると、外径の変動を抑制でき、良好なMCVD法を実施可能である。また、内圧の変化量を制限する場合には、±10Pa/秒以上の変化は許容すると良い。
Claims (13)
- 少なくともガラス原料を含むガスを石英パイプの内部に投入しつつ前記石英パイプの長手方向に熱源を相対的に移動させて前記石英パイプを外部から加熱して前記石英パイプ内にガラス層を堆積させる工程を有し、
前記堆積させる工程では、前記石英パイプに排気部またはバッファガス導入部が合計で二つ以上接続され、前記排気部からの排気ガス量または前記バッファガス導入部への導入ガス量の少なくとも一つがフィードバック制御されると共に、前記排気部からの排気ガス量または前記バッファガス導入部への導入ガス量の他の少なくとも一つが前記石英パイプ上の加熱位置に応じた流量パターンに従ってパターン制御されている、
光ファイバ母材を製造する方法。 - 前記堆積させる工程では、前記フィードバック制御は、前記石英パイプ内の圧力を測定し、前記圧力が前記加熱位置に応じて設定される目標値に一致するように前記排気部からの排気ガス量または前記バッファガス導入部への導入ガス量の少なくとも一つを制御する、
請求項1の光ファイバ母材を製造する方法。 - 前記堆積させる工程では、前記フィードバック制御は、前記加熱位置の近傍における前記石英パイプの形状を測定し、前記形状が所定形状になるように前記排気部からの排気ガス量または前記バッファガス導入部への導入ガス量の少なくとも一つを制御する、
請求項1の光ファイバ母材を製造する方法。 - 前記堆積させる工程では、前記形状の実測値を予め設定された目標値に一致させるために必要な前記石英パイプ内の圧力の最適値を算出し、前記石英パイプ内の圧力を前記最適値に一致させるように制御する、
請求項3の光ファイバ母材を製造する方法。 - 前記堆積させる工程では、前記形状は前記石英パイプの外径、内径、肉厚の少なくとも一つである、
請求項3または4の光ファイバ母材を製造する方法。 - 前記堆積させる工程では、前記ガラス層の堆積速度は0.5g/分以上である、
請求項1ないし5のいずれかの光ファイバ母材を製造する方法。 - 前記堆積させる工程では、前記石英パイプ内の圧力の調整範囲における最大値と最小値との比を2倍以上とする、
請求項1ないし6のいずれかの光ファイバ母材を製造する方法。 - 前記堆積させる工程では、前記ガラス層を堆積した後の長手方向における前記石英パイプの外径の変動量が直径で±1mm以下である、
請求項1ないし7のいずれかの光ファイバ母材を製造する方法。 - 前記堆積させる工程では、前記石英パイプ内における圧力の変化量が、1秒あたり、−50Pa以上+50Pa以下である、
請求項1ないし8のいずれかの光ファイバ母材を製造する方法。 - 前記堆積させる工程では、前記石英パイプ内における圧力が、継続して+20Pa以下となる時間が2秒未満である、
請求項1ないし8のいずれかの光ファイバ母材を製造する方法。 - 石英パイプの一端から内部に少なくともガラス原料を含むガスを導入するガス供給系と、
前記石英パイプの他端に接続可能な合計二つ以上の排気部またはバッファガス導入部と、
前記石英パイプの長手方向に相対的に移動する熱源と、
前記熱源による前記石英パイプ上の加熱位置を検出する位置検出手段と、
前記加熱位置に応じた流量パターンに従って前記排気部からの排気ガス量または前記バッファガス導入部への導入ガス量の少なくとも一つを制御する第1の制御手段と、
前記排気部からの排気ガス量または前記バッファガス導入部への導入ガス量の他の少なくとも一つをフィードバック制御する第2の制御手段
とを有す光ファイバ母材を製造する装置。 - 前記石英パイプ内の圧力を測定する圧力測定手段をさらに有し、
第2の制御手段は、前記石英パイプ内の圧力が前記加熱位置に応じて設定される目標値に一致するように、前記排気部からの排気ガス量または前記バッファガス導入部への導入ガス量の他の少なくとも一つをフィードバック制御する、
請求項11の光ファイバ母材を製造する装置。 - 前記熱源の加熱位置近傍で前記石英パイプの形状を測定する形状測定手段をさらに有し、
第2の制御手段は、前記形状測定手段により測定された前記パイプ形状をあらかじめ設定された目標パイプ形状に一致するように、前記排気部からの排気ガス量または前記バッファガス導入部への導入ガス量の他の少なくとも一つをフィードバック制御する、
請求項11ないし12のいずれかの光ファイバ母材を製造する装置。
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