JP7342780B2 - ガラス母材の製造装置 - Google Patents

Description

本開示は、ガラス母材の製造装置に関する。

特許文献１には、反応容器におけるバーナに対向する面に、排気ガスを排気するための排気管を多段に設けたガラス微粒子堆積体の製造装置が開示されている。
特許文献２には、反応容器内に垂直に吊るした出発ロッドの外周に、ガラス微粒子を堆積させて光ファイバ母材を製造する製造方法が開示されている。上記反応容器は、出発ロッドの母材有効領域にクリーンエアが当たるように空気導入口が設けられている。

特開２００８－８１３５９号公報 特開２０１９－３１４１６号公報

例えば特許文献１のガラス母材の製造装置は、反応容器から余剰なガラス微粒子を含む排気ガスの排気が行われているため、反応容器内で排気管に向かう気流が発生する。また、反応容器内には、煙突効果による上昇気流が生じる。特に、製造されるガラス母材が長尺になると、上下方向に長い反応容器が必要になり、煙突効果が顕著になり上昇気流が強くなる。

出発ロッドの周囲にガラス合成バーナが上下方向に並んで配置されている場合、各ガラス合成バーナの火炎によってガラス微粒子が出発ロッドの上下方向にわたって堆積する。ガラス微粒子の堆積量は、堆積面の温度によって異なってくる。

上記のような排気管に向かう気流は、各ガラス合成バーナの火炎の状態に影響を与えるので、気流を形成する排気ガスの流量および流速によって堆積面の温度が変わる。出発ロッドの上下方向で堆積面の温度が均一でない場合、製造されるガラス母材の上下方向すなわち長手方向における外径変動が大きくなるおそれがある。

そこで、本開示は、ガラス母材の長手方向における外径変動を抑えることができる、ガラス母材の製造装置を提供することを目的とする。

本開示の一態様に係るガラス母材の製造装置は、
反応容器の内部で上下方向に伸びる回転軸を中心として回転する出発ロッドの周囲にガラス微粒子を堆積させてガラス母材を製造する製造装置であって、
前記反応容器の内部で上下方向に並んで配置され、前記ガラス微粒子を生成する複数のガラス合成バーナと、
前記反応容器の内部で生成された排気ガスを前記反応容器の外部に設けられた除害装置へ排気する排気部と、
を有し、
前記排気部は、
前記除害装置に一方の端部が接続された主排気管と、
前記主排気管の他方の端部に一方の端部が接続された複数の分岐排気管と、
管体が上下方向に伸び前記管体の内部が上下方向で複数の空間に分離されており、前記分岐排気管のそれぞれの他方の端部に前記複数の空間がそれぞれ接続されたバッファ管と、
前記バッファ管の前記複数の空間に接続され、上下方向に伸びた開口が前記反応容器に接続された排気接続部と、
を含み、
前記バッファ管の縦断面における断面積は、前記排気接続部の縦断面における断面積よりも大きい。

本開示に係るガラス母材の製造装置によれば、ガラス母材の長手方向における外径変動を抑えることができる。

本開示の実施形態に係るガラス母材の製造装置の構成を示す模式図である。

（本開示の実施形態の説明）
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
本開示の一態様に係るガラス母材の製造装置は、
（１）反応容器の内部で上下方向に伸びる回転軸を中心として回転する出発ロッドの周囲にガラス微粒子を堆積させてガラス母材を製造する製造装置であって、
前記反応容器の内部で上下方向に並んで配置され、前記ガラス微粒子を生成する複数のガラス合成バーナと、
前記反応容器の内部で生成された排気ガスを前記反応容器の外部に設けられた除害装置へ排気する排気部と、
を有し、
前記排気部は、
前記除害装置に一方の端部が接続された主排気管と、
前記主排気管の他方の端部に一方の端部が接続された複数の分岐排気管と、
管体が上下方向に伸び前記管体の内部が上下方向で複数の空間に分離されており、前記分岐排気管のそれぞれの他方の端部に前記複数の空間がそれぞれ接続されたバッファ管と、
前記バッファ管の前記複数の空間に接続され、上下方向に伸びた開口が前記反応容器に接続された排気接続部と、
を含み、
前記バッファ管の縦断面における断面積は、前記排気接続部の縦断面における断面積よりも大きい。
前記構成のガラス母材の製造装置によれば、反応容器から排出される排気ガスは、排気接続部を介して、バッファ管に排出される。バッファ管は、その縦断面における断面積が、排気接続部の縦断面における断面積よりも大きいので、排気ガスの流れ方向における単位長さ当たりの内容積は、バッファ管の方が排気接続部よりも大きい。このため、バッファ管は、接続された排気接続部から流入される排気ガスを一旦溜めるバッファとして機能し、上下方向にわたって排気接続部の排気圧を均一化するように作用する。さらに、バッファ管は上下方向に複数の空間に分離されており、排気接続部もバッファ管の各空間に接続された部分で上下方向に分かれている。また、バッファ管の各空間は、それぞれ分岐排気管および主排気管を介して除害装置に接続されているので、それぞれ異なる排気圧に調整できる。これらにより、排気接続部の排気圧を上下方向にわたってバッファ管の各空間に接続された部分でそれぞれ均一化するように調整することができる。
上昇気流によって反応容器内に生じる気圧差に応じて、上記のように排気接続部の排気圧を上下方向にわたってそれぞれ調整することにより、ガラス微粒子の堆積面の上下方向で排気ガスの流量および流速の差をより少なくすることができる。これにより、上下方向で堆積面の温度差が少なくなるようにすることができる。したがって、製造されるガラス母材の上下方向すなわち長手方向における外径変動を抑えることができる。
また、上昇気流の影響を受けやすい上部のガラス合成バーナにおいて、特に火炎の乱れが抑えられてガラス微粒子の堆積量が増加するため、投入するガラス原料に対する堆積効率を向上させることができる。
さらに、反応容器内の上昇気流が抑制されることで反応容器上面の温度上昇が抑えられ、反応容器上面が変形する等の劣化を抑制できる。

（２）前記排気接続部は、
当該排気接続部の内部に、排気ガスの流量を調整する複数のダンパーを有してもよい。
前記構成のガラス母材の製造装置によれば、排気接続部の内部で各ダンパーにより排気ガスの流れに対する抵抗を変化させて、排気ガスの流量および排気圧の微調整ができる。これにより、排気ガスの流量および流速を上下方向でそれぞれ細かく調整することができる。

（３）前記排気接続部は、
当該排気接続部の内部の圧力と前記反応容器の外部の圧力との差を測定する差圧計を複数有してもよい。
前記構成のガラス母材の製造装置によれば、複数の差圧計で上下方向の各部分における、排気接続部の内部の圧力と反応容器の外部の圧力（例えば、大気圧）との差圧すなわち排気圧を確認できる。この差圧の数値に応じて、排気接続部の上下方向の各部分で差圧を調整すれば、排気ガスの流量および流速をより正確に調整することができる。

（４）複数の前記分岐排気管は、それぞれ排気ガスの流量を調整するダンパーを有してもよい。
前記構成のガラス母材の製造装置によれば、各分岐排気管において、それぞれの管内に配置されたダンパーにより、それぞれ個別に排気ガスの流量および流速の微調整ができる。これにより、バッファ管の各空間から流れ出す排気ガスの流量および流速を個別に微調整することができる。

（５）前記出発ロッドの回転軸に向かって前記排気部の反対側に、前記反応容器内にクリーンエアを供給するクリーンブースを有し、
前記クリーンブースは、
前記クリーンブース内に空気を供給する空気供給口と、
前記空気供給口と前記反応容器との間に設けられ、前記空気を除塵して前記クリーンエアにする、圧力損失が５０Ｐａ以上のフィルタと、を有し、
前記フィルタは、少なくとも複数の前記ガラス合成バーナが配置された上下方向の範囲に対応する前記クリーンブース内の範囲を覆うように設けられていてもよい。
前記構成のガラス母材の製造装置によれば、圧力損失が５０Ｐａ以上のフィルタを通して、少なくとも反応容器内の複数のガラス合成バーナが配置された上下方向の範囲にわたってクリーンエアが供給される。これにより、クリーンエアを複数のガラス合成バーナの付近に均一な流量および流速の気流（いわゆる、層流）として流すことができる。したがって、各ガラス合成バーナの火炎の乱れを抑えることができるので、堆積面の上下方向での温度差が小さくなり、ガラス母材の上下方向すなわち長手方向における外径変動を抑えることができる。

（本開示の実施形態の詳細）
本開示の実施形態に係るガラス母材の製造装置の具体例を、図面を参照しつつ説明する。
なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

図１は、本開示の実施形態に係るガラス母材の製造装置の一例を示す模式図である。
図１に示すように、ガラス母材の製造装置１は、反応容器２内の出発ロッド２１にガラス合成バーナ２２の火炎による加水分解反応で生成されるガラス微粒子を堆積させて、多孔質のガラス母材２３を製造する装置である。
ガラス母材の製造装置１は、出発ロッド２１を収容する反応容器２と、複数のガラス合成バーナ２２と、反応容器２の下流側（図における左側）に設けられた排気部３と、反応容器２の上流側（図における右側）に設けられたクリーンブース４とを備えている。

反応容器２には、上壁に貫通穴が設けられており、出発ロッド２１が当該貫通穴を上下方向に挿通するように配置される。また、反応容器２の内部には、複数のガラス合成バーナ２２が出発ロッド２１に対向して上下方向に並んで取り付けられている。複数のガラス合成バーナ２２は、出発ロッド２１の上流側（図における右側）に配置されている。

ガラス合成バーナ２２は、ガラス原料ガスと燃焼ガスとから火炎加水分解反応によりガラス微粒子を生成するものである。燃焼ガスには、例えば、水素（Ｈ_２）および酸素（Ｏ_２）が含まれる。ガラス原料ガスは、例えば、四塩化ケイ素（ＳｉＣｌ_４）やシロキサン等が含まれ、さらに、四塩化ゲルマニウム（ＧｅＣｌ_４）が屈折率調整材として添加されてもよい。屈折率調整剤は、例えばリンやホウ素を用いてもよい。ガラス原料ガスとして四塩化ケイ素と四塩化ゲルマニウムを用いた場合、シリカ（ＳｉＯ_２）および二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ_２）を主成分とするガラス微粒子がガラス合成バーナ２２の火炎中に生成される。

出発ロッド２１は、上端が回転チャック（図示省略）に把持され、上下方向に伸びる回転軸Ｘを中心として回転されるとともに、移動手段（図示省略）により上下方向に往復移動する。

このように、ガラス母材の製造装置１は、出発ロッド２１を回転させながら回転軸Ｘの方向に沿って往復移動させることにより、複数のガラス合成バーナ２２が出発ロッド２１に対して相対的に短く往復してガラス微粒子を堆積させる構成となっている。

反応容器２における上流側（図における右側）、すなわち出発ロッド２１の回転軸Ｘに向かって排気部３とは反対側には、反応容器２内にクリーンエアＣＡを供給するためのクリーンブース４が設けられている。

クリーンブース４は、空気供給口４１と、フィルタ４２とを有する。空気供給口４１は、クリーンブース４の上流側（図における右側）の側面に設けられており、クリーンブース４の外部から空気供給管４３を介して供給される空気Ａをクリーンブース４内に供給する開口である。なお、空気供給口４１および空気供給管４３は、複数設けられていてもよい。

フィルタ４２は、空気供給口４１から供給された空気Ａを除塵してクリーンエアＣＡにするフィルタである。このフィルタ４２は、空気供給口４１と反応容器２との間に、少なくとも反応容器２の複数のガラス合成バーナ２２が配置された上下方向の範囲に対応するクリーンブース４内の範囲を覆うように設けられている。

また、フィルタ４２は、所定の圧力損失を生成するための部材としても機能する。フィルタ４２は、フィルタ４２の上流側（空気供給口４１側）と下流側（反応容器２側）との間に所定の圧力差、例えば５０Ｐａ以上の圧力損失を設けるようにしている。

フィルタ４２としては、例えば、ＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ Ｆｉｌｔｅｒ）などを用いることができる。

排気部３は、出発ロッド２１に堆積されなかった余剰のガラス微粒子等を含む排気ガスを反応容器２内から反応容器の外部に排出する部分である。排気部３は、排気接続部３１と、バッファ管３２と、分岐排気管３３（３３ａ，３３ｂ）と、主排気管３４と、を有する。

排気接続部３１は、反応容器２とバッファ管３２とを接続する排気部分を構成する。排気接続部３１は、反応容器２から排出される排気ガスをバッファ管３２に向けて送出する。排気接続部３１は、例えば、上下方向に長い箱状に形成されており、排気接続部３１の上部から下部に亘って上流側の側部に開口５１（５１ａ～５１ｆ）が形成され、下流側の側部に開口５２（５２ａ～５２ｆ）が形成されている。排気接続部３１の内部は、左右方向に伸びる仕切り部材５３によって上下方向に複数（本例では６つ）の空間５４ａ～５４ｆに分離されている。各空間５４ａ～５４ｆの上流側に各開口５１ａ～５１ｆがそれぞれ形成され、各空間５４ａ～５４ｆの下流側に各開口５２ａ～５２ｆがそれぞれ形成されている。

上流側の開口５１（５１ａ～５１ｆ）、すなわち反応容器２側の開口５１（５１ａ～５１ｆ）は、排気ガスを排出するための反応容器２の開口２７に接続されている。排気接続部３１の開口５１および反応容器２の開口２７は、少なくともガラス母材２３の形成範囲に対応する上下方向の範囲にわたって形成されていることが好ましい。

下流側の開口５２（５２ａ～５２ｆ）、すなわちバッファ管３２側の開口５２（５２ａ～５２ｆ）は、バッファ管３２に形成されている開口６１（６１ａ，６１ｂ）に接続されている。開口５２ａ～５２ｆのうち開口５２ａ～５２ｃは、バッファ管３２の開口６１ａに接続されている。開口５２ａ～５２ｆのうち開口５２ｄ～５２ｆは、バッファ管３２の開口６１ｂに接続されている。

排気接続部３１の各空間５４ａ～５４ｆには、反応容器２からバッファ管３２に送出される排気ガスの流量を調整するためのダンパー５５が設けられている。ダンパー５５は、例えば、外部から開閉状態を制御可能な電動コントロール弁（例えばバタフライ弁など）で構成されている。

また、排気接続部３１の各空間５４ａ～５４ｆには、各空間５４ａ～５４ｆ内の圧力と反応容器２外の圧力との差を測定する差圧計５６が設けられている。反応容器２外の圧力とは、ガラス母材の製造装置１が設置されている場所の圧力、例えば、大気圧である。差圧計５６は、排気接続部３１におけるダンパー５５の下流側、すなわちダンパー５５よりもバッファ管３２側に取り付けられている。

バッファ管３２は、開口６１（６１ａ，６１ｂ）を介して排気接続部３１から流入される排気ガスを一旦溜めるバッファとして機能する。バッファ管３２は、上下方向に伸びる例えば円筒状の管体で形成され、管体の内部がシャッタ部材６２によって上下方向で複数（本例では２つ）の空間６３（６３ａ，６３ｂ）に分離されている。

上側の空間６３ａは、バッファ管３２の上側部分に形成されている開口６１ａにおいて排気接続部３１の開口５２ａ～５２ｃに接続されている。下側の空間６３ｂは、バッファ管３２の下側部分に形成されている開口６１ｂにおいて排気接続部３１の開口５２ｄ～５２ｆに接続されている。上側の空間６３ａには、排気接続部３１の空間５４ａ～５４ｃを通過した排気ガスが開口５２ａ～５２ｃを介して流れ込む。下側の空間６３ｂには、排気接続部３１の空間５４ｄ～５４ｆを通過した排気ガスが開口５２ｄ～５２ｆを介して流れ込む。バッファ管３２の中心を通り排気ガスの流れ方向に直交する縦断面における断面積は、排気接続部３１の排気ガスの流れ方向に直交する縦断面における断面積よりも大きく形成されている。

バッファ管３２における開口６１（６１ａ，６１ｂ）が形成されている側部とは反対側の側部、すなわちバッファ管３２における下流側の側部には、分岐排気管３３（３３ａ，３３ｂ）が接続されている。

分岐排気管３３（３３ａ，３３ｂ）は、バッファ管３２から送出されてくる排気ガスを主排気管３４に向けて送出する。分岐排気管３３（３３ａ，３３ｂ）は、シャッタ部材６２で分離されたバッファ管３２の空間６３ａ，６３ｂの数と同じ数だけ設けられている。本例では、２つの分岐排気管（３３ａと３３ｂ）が設けられている。分岐排気管３３ａは、バッファ管３２の上側の空間６３ａに接続されている。分岐排気管３３ｂは、バッファ管３２の下側の空間６３ｂに接続されている。分岐排気管３３ａの内部には、バッファ管３２の上側の空間６３ａから分岐排気管３３ａに送出される排気ガスの流量を調整するためのダンパー７１ａが設けられている。分岐排気管３３ｂの内部には、バッファ管３２の下側の空間６３ｂから分岐排気管３３ｂに送出される排気ガスの流量を調整するためのダンパー７１ｂが設けられている。ダンパー７１ａ，７１ｂは、例えば、外部から開閉状態を制御可能な電動コントロール弁（例えばバタフライ弁等）で構成されている。

分岐排気管３３ａ，３３ｂにおける下流側の各端部は、いずれも主排気管３４に接続されている。

主排気管３４は、分岐排気管３３ａ，３３ｂから送出されてくる排気ガスを除害装置（図示省略）に向けて送出する。主排気管３４における下流側の端部、すなわち分岐排気管３３ａ，３３ｂが接続されている側の端部とは反対側の端部は、除害装置に接続されている。除害装置は排気ガスを洗浄するための装置である。排気ガスは、主排気管３４を介して除害装置に吸引されている。

なお、上述した例では、バッファ管３２が１つのシャッタ部材６２によって２つの空間６３（６３ａ，６３ｂ）に分離される構成を説明したが、これに限定されず、３つ以上の空間に分離されていてもよい。例えば、バッファ管３２は２つのシャッタ部材６２によって上側、真ん中、下側の３つの空間６３に分離されるようにしてもよい。この場合、３つの分岐排気管３３が設けられて、各空間６３にそれぞれ分岐排気管３３接続される。バッファ管３２における上側の空間６３には、排気接続部３１の空間５４ａ，５４ｂを通過した排気ガスが開口５２ａ，５２ｂを介して流れ込む。真ん中の空間６３には、排気接続部３１の空間５４ｃ，５４ｄを通過した排気ガスが開口５２ｃ，５２ｄを介して流れ込む。下側の空間６３には、排気接続部３１の空間５４ｅ，５４ｆを通過した排気ガスが開口５２ｅ，５２ｆを介して流れ込む。

以上説明したように、ガラス母材の製造装置１において、反応容器２から排出される排気ガスは、排気接続部３１を介して、バッファ管３２に排出される。バッファ管３２は、その縦断面における断面積が、排気接続部３１の縦断面における断面積よりも大きく形成されているので、排気ガスの流れ方向における単位長さ当たりの内容積は、バッファ管３２の方が排気接続部３１よりも大きい。このため、バッファ管３２は、接続された排気接続部３１から流入される排気ガスを一旦溜めるバッファとして機能し、排気接続部３１の上部から下部にわたって排気接続部３１の排気圧を均一化するように作用する。さらに、バッファ管３２は、上下方向に複数（例えば２つ）の空間６３（６３ａ，６３ｂ）に分離されており、バッファ管３２の各空間６３ａ，６３ｂに接続される排気接続部３１も上下方向で空間５４ａ～５４ｆに分離されている。

また、バッファ管３２の各空間６３ａ，６３ｂは、分岐排気管３３ａ，３３ｂおよび主排気管３４を介して除害装置に接続されているので、バッファ管３２の各空間６３ａ，６３ｂから排出される排気ガスの排気圧をそれぞれ異なる排気圧に調整することができる。

したがって、ガラス母材の製造装置１の構成によれば、排気接続部３１の排気圧を排気接続部３１の上部から下部にわたって、バッファ管３２の各空間６３ａ，６３ｂに接続された部分（空間５４ａ～５４ｆ）毎に均一化するように調整することができる。

反応容器２内の煙突効果による上昇気流によって生じる反応容器２内の気圧差に応じて、上記のように排気接続部３１の排気圧を排気接続部３１の上部から下部にわたりそれぞれ調整することによって、ガラス微粒子の堆積面の上下方向で排気ガスの流量および流速の差をより少なくすることができる。これにより、上下方向に並んで配置されるガラス合成バーナ２２の火炎の状態を安定させることができるので、出発ロッド２１の上下方向で堆積面の温度を均一にすることができる。したがって、ガラス微粒子の堆積量が一定になり、製造されるガラス母材２３の上下方向すなわち長手方向における外径変動を抑えることができる。

また、ガラス母材の製造装置１は、排気接続部３１の各空間５４ａ～５４ｆに設けられた各ダンパー５５の開閉状態により排気ガスの流れに対する抵抗を変化させることで、各空間５４ａ～５４ｆを流れる排気ガスの流量および流速を調整することができる。これにより、排気接続部３１の上下方向における各部で排気ガスの流量および流速をそれぞれ細かく調整することができる。

また、ガラス母材の製造装置１は、排気接続部３１の各空間５４ａ～５４ｆに設けられた差圧計５６により、排気接続部３１の上下方向における各空間５４ａ～５４ｆの圧力と反応容器２の外部の圧力（例えば、大気圧）との差圧すなわち排気圧を測定することができる。したがって、測定された差圧値に基づいて排気接続部３１の上下方向における各空間５４ａ～５４ｆの差圧を調整することにより、排気ガスの流量および流速をより正確に調整することができる。

また、ガラス母材の製造装置１は、各分岐排気管３３ａ，３３ｂ内に設けられた各ダンパー７１ａ，７１ｂの開閉状態により排気ガスの流れに対する抵抗を変化させて、各分岐排気管３３ａ，３３ｂを流れる排気ガスの流量および流速を調整することができる。これにより、バッファ管３２の各空間６３ａ，６３ｂから流れ出す排気ガスの流量および流速を個別に微調整することができる。

また、ガラス母材の製造装置１におけるクリーンブース４は、圧力損失が５０Ｐａ以上のフィルタ４２を通して、少なくとも反応容器２内の複数のガラス合成バーナ２２が配置された上下方向の範囲にわたってクリーンエアＣＡを供給する。これにより、クリーンエアＣＡを各ガラス合成バーナ２２の付近に均一な流量および流速の気流（いわゆる、層流）として流すことができる。したがって、各ガラス合成バーナ２２の火炎の乱れを抑えることができるので、堆積面の上下方向での温度差が小さくなり、ガラス母材２３の上下方向すなわち長手方向における外径変動を抑えることができる。なお、フィルタ４２は、圧力損失が１００Ｐａ以上の高性能フィルタであってもよく、圧力損失が２４５Ｐａ以上であってもよい。フィルタ４２の圧力損失を大きくすることで、クリーンエアＣＡをより均一な流量および流速の気流として流すことができる。本明細書中、フィルタ４２の圧力損失は、風速２．５ｍ／ｓになるように風量を調整した状態での圧力損失を指す。

以上、本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。また、上記説明した構成部材の数、位置、形状等は上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好適な数、位置、形状等に変更することができる。

１：ガラス母材の製造装置
２：反応容器
３：排気部
４：クリーンブース
２１：出発ロッド
２２：ガラス合成バーナ
２３：ガラス母材
２７：開口
３１：排気接続部
３２：バッファ管
３３（３３ａ，３３ｂ）：分岐排気管
３４：主排気管
４１：空気供給口
４２：フィルタ
４３：空気供給管
５１（５１ａ～５１ｆ）：開口
５２（５２ａ～５２ｆ）：開口
５３：仕切り部材
５４ａ～５４ｆ：空間
５５：ダンパー
５６：差圧計
６１（６１ａ，６１ｂ）：開口
６２：シャッタ部材
６３（６３ａ，６３ｂ）：空間
７１ａ，７１ｂ：ダンパー
Ａ：空気
ＣＡ：クリーンエア
Ｘ：回転軸

Claims (5)

1. 反応容器の内部で上下方向に伸びる回転軸を中心として回転する出発ロッドの周囲にガラス微粒子を堆積させてガラス母材を製造する製造装置であって、
   前記反応容器の内部で上下方向に並んで配置され、前記ガラス微粒子を生成する複数のガラス合成バーナと、
   前記反応容器の内部で生成された排気ガスを前記反応容器の外部に設けられた除害装置へ排気する排気部と、
   を有し、
   前記排気部は、
   前記除害装置に一方の端部が接続された主排気管と、
   前記主排気管の他方の端部に一方の端部が接続された複数の分岐排気管と、
   管体が上下方向に伸び前記管体の内部が上下方向で複数の空間に分離されており、前記分岐排気管のそれぞれの他方の端部に前記複数の空間がそれぞれ接続されたバッファ管と、
   前記バッファ管の前記複数の空間に接続され、上下方向に伸びた開口が前記反応容器に接続された排気接続部と、
   を含み、
   前記バッファ管の縦断面における断面積は、前記排気接続部の縦断面における断面積よりも大きい、
   ガラス母材の製造装置。
2. 前記排気接続部は、
   当該排気接続部の内部に、排気ガスの流量を調整する複数のダンパーを有する、
   請求項１に記載のガラス母材の製造装置。
3. 前記排気接続部は、
   当該排気接続部の内部の圧力と前記反応容器の外部の圧力との差を測定する差圧計を複数有する、
   請求項２に記載のガラス母材の製造装置。
4. 複数の前記分岐排気管は、それぞれ排気ガスの流量を調整するダンパーを有する、
   請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のガラス母材の製造装置。
5. 前記出発ロッドの回転軸に向かって前記排気部の反対側に、前記反応容器内にクリーンエアを供給するクリーンブースを有し、
   前記クリーンブースは、
   前記クリーンブース内に空気を供給する空気供給口と、
   前記空気供給口と前記反応容器との間に設けられ、前記空気を除塵して前記クリーンエアにする、圧力損失が５０Ｐａ以上のフィルタと、を有し、
   前記フィルタは、少なくとも複数の前記ガラス合成バーナが配置された上下方向の範囲に対応する前記クリーンブース内の範囲を覆うように設けられている、
   請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のガラス母材の製造装置。

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