DE19740015B4 - Vorrichtung und Verfahren zur Kühlung eines Quarzrohrs - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zur Kühlung eines Quarzrohrs Download PDF

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Abstract

Vorrichtung zur Kühlung eines Quarzrohrs (50) während der Herstellung eines Rohlings für optische Fasern nach dem MCVD-Verfahren, wobei die Vorrichtung eine zum Umgreifen des Quarzrohrs (50) angepaßte Düse (78) umfasst, die mehrere Öffnungen (16) zum Ausstoßen eines nach einwärts auf das Quarzrohr (50) gerichteten Kühlmittels (48) enthält, und wobei die Düse wenigstens zwei trennbare Düsenteile (12, 14) umfasst,
dadurch gekennzeichnet, daß
die wenigstens zwei trennbaren Düsenteile (12, 14) so angebracht sind, daß ein erster und ein zweiter Düsenteil der wenigstens zwei trennbaren Düsenteile (12, 14) zum Umschließen des Quarzrohrs (50) durch Schwenken geschlossen werden können und durch Schwenken voneinander getrennt werden können, um ein Entfernen des Quarzrohrs (50) von der Düse (78) zu ermöglichen, ohne daß es erforderlich ist, ein Quarzrohrende durch die Düse (78) zu führen,
sowohl das erste als auch das zweite Düsenteil jeweils eine Verbindungsöffnung (18, 20) aufweisen, die mit entsprechenden Kühlmittelleitungen (38) verbunden...

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Kühlung eines Quarzrohrs während der Herstellung eines Rohlings für optische Fasern mit dem MCVD-(modified chemical vapour deposition)-Verfahren, insbesondere eine Vorrichtung zum Kühlen eines Quarzrohres, das zur Herstellung einer optischen Faser verwendet wird, sowie ein Veffahren.
  • Eine solche Vorrichtung ist bereits aus der EP 0187230 A2 bekannt, und zeigt insbesondere ein Luftlager, das vorgesehen ist, um zu verhindern, dass sich ein Quarzrohr, das aufgeheizt wird, insbesondere im Endbereich durchbiegt. Aus diesem Grund ist ein halbzylindrischer Träger vorgesehen, der Öffnungen aufweist, durch die Druckluft nach oben strömt, um das Rohr anzuheben. Das Lager weist eine Zuführung auf, durch das Hochdruckfluid eintreten und dann wiederum durch Öffnungen nach oben austreten kann.
  • Aus der EP 0357341 A2 ist eine Vorrichtung zum Erhitzen von Glasrohren bekannt, die ein Bauteil zum vollständigen Umschließen des geheizten Glasrohres umfasst, welches einteilig gefertigt ist und keine Düsenöffnungen umfasst.
  • Aus der DE 4039578 A1 ist eine Anordnung zur Herstellung einer Vorform für Glasfaserlichtwellenleiter durch Innenbeschichtung eines Glasrohres bekannt, bei dem die Erhitzung des Glasrohres durch Zusatzdüsen beeinflussbar ist. Die Zusatzdüsen sind konzentrisch zum Glasrohr auf einen sich über 180° und mehr erstreckenden Kreissegment beabstandet voneinander angeordnet.
  • Da die Intensität eines optischen Signals gewöhnlich beim Übertragen über große Entfernungen oder beim mehrfachen Verzweigen reduziert wird, ist es notwendig, das optische Signal mit einem Halbleiter oder einem Lichtverstärker zu verstärken. In Ultrahochgeschwindigkeitskommunikationsnetzwerken wird der Lichtverstärker verbreitet eingesetzt, wobei üblicherweise eine Erbium-(Er)-dotierte optische Faser zur optischen Signalverstärkung verwendet wird. Die Erbium-dotierte optische Faser wird durch Bedampfung mit sich ändernder chemischer Zusammensetzung (MCVD) hergestellt.
  • Anhand von 1 wird nun die Herstellung eines Rohlings für optische Fasern für einen Lichtverstärker beschrieben, bei dem das MCVD-Verfahren angewandt wird. Ein Rohgas 80 aus SiCl4 oder GeCl4 mit einer geeigneten Menge von zusätzlichen Chemikalien wird durch ein Quarzrohr 50 geleitet, das fest an einer Einspannvorrichtung befestigt ist, während es gedreht und von einem Brenner 82 erhitzt wird, um eine heiße Zone 78 auszubilden. Das Rohgas 80 erfährt in der heißen Zone 78 eine teilchenerzeugende chemische Reaktion. Die Reaktionsgleichung ist SiCl4 + 02 → SiO2 + 2 Cl2 und GeCl4 + O2 → GeO2 + 2 Cl2.
  • Durch Thermophorese werden die Teilchen auf der Innenfläche des Quarzrohrs 50 abgelagert, das in Gasflußrichtung eine niedrigere Temperatur hat. Der Brenner 82 wird mit einer bestimmten Geschwindigkeit in Gasflußrichtung bewegt, so daß die chemische Reaktion zur Teilchenproduktion ebenso wie die Teilchenablagerung entlang der Innenseite des Quarzrohrs 50 kontinuierlich dem Brenner folgend erfolgt. Inzwischen werden die abgelagerten Teilchen durch den bewegten Brenner 82 gesintert und bilden eine glasphasenartige Beschichtung.
  • So wird zuerst eine Umhüllungsschicht 72 auf der Innenseite des Quarzrohres 50 gebildet, die das Eindringen fremdartiger Substanzen verhindert. Dann wird die lichtübertragende Kernschicht 74 gebildet, indem man durch das Quarzrohr ein Rohgas 80 mit andersartiger Zusammensetzung leitet. Dieses Quarzrohr 50 wird auf über 2000°C erhitzt, geschrumpft und geschlossen, um einen Rohling für optische Fasern zu bildern.
  • Um einen Faserrohling für einen Lichtverstärker nach dem MCVD-Verfahren zu erhalten, werden Prozesse, wie Flüssigpenetration (liquid penetration), Gasadditon (gaseous state addition) oder Sol-Gel verwendet. Der Flüssigpenetrationsprozeß wird bei einer über der Kernschicht angebrachten porösen Schicht angewandt. Um die Eigenschaften der optischen Faser zu modifizieren, wird eine Flüssigkeit mit bestimmter Zusammensetzung veranlaßt, durch die poröse Schicht einzudringen. In diesem Fall beeinflußt die Gleichmäßigkeit, die Dichte, die Teilchengröße, die Dicke, die Haftfähigkeit usw. der porösen Schicht die Eigenschaften der letztlich erhaltenen optischen Faser sehr stark.
  • Wie 2 zeigt, wird eine Kühlvorrichtung hinter dem Brenner angebracht, um die poröse Schicht zu bilden. Nachdem die Umhüllungsschicht 72 und die Kernschicht 74, wie in 1 gezeigt, gebildet sind wird der Brenner 82 entgegen der Strömungsrichtung des Rohgases 80 bewegt, während die Kühlvorrichtung 70 ein Kühlmittel 48 auf die obere Außenfläche des Quarzrohres 50 aufbringt, wodurch, wie in 2 gezeigt, nach und nach eine poröse Schicht 76 über der Kernschicht 74 gebildet wird. Jedoch hat ein derartiger Kühlprozeß eine ungleichmäßige Kühlung der Innenseite des Quarzrohres 50 und dadurch eine ungleichmäßige poröse Schicht 76 zur Folge, da das Kühlmittel nur von einer Seite auf das Quarzrohr aufgebracht wird, so daß die letztlich erhaltene optische Faser eine ungleichmäßige Verteilung des Brechungsindexes hat, wodurch die Reflexionsverluste zunehmen.
  • Eine andere herkömmliche Kühlvorrichtung zur Erzeugung der porösen Schicht besteht, wie in 3 gezeigt, aus einem Kühlmittelversorgungstank 60 zur Kühlmittelversorgung, einer ringförmigen Düsenhalteröhre 64, einer Verbindungsröhre 62, die das Kühlmittel 48 vom Kühlmittelversorgungstank 60 zur ringförmigen Düsenhalteröhre 64 leitet, und eine Vielzahl von Düsen 66, die radial entlang des inneren Umfangs der ringförmigen Düsenhalteröhre 64 angebracht sind, um das Kühlmittel in Richtung des Quarzrohres 50 auszustoßen. Die Düsen 66 stehen in Richtung des Zentrums der ringförmigen Düsenhalteröhre 64 vor. Im Betrieb wird das Kühlmittel 48 vom Kühlmittelversorgungstank 60 durch die Düsen 66 auf die Außenseite des Quarzrohrs 50 aufgebracht, wodurch die poröse Schicht 76 über der Kernschicht 74 auf der Innenseite des Quarzrohrs 50 gebildet wird.
  • Nachteilig an dieser Vorrichtung ist jedoch, daß es schwierig ist, die Düsen radial am inneren Umfang der ringförmigen Düsenhalteröhre 64 anzubringen, wodurch die Anzahl der Montageschritte erhöht wird, was die Produktivität reduziert. Zusätzlich ist es unmöglich, während des Betriebs das Quarzrohr an einer Drehmaschine zu befestigen oder zu entfernen, da die ringförmige Düsenhalteröhre 64 aus einem einzigen zusammenhängenden Ring besteht.
    •
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die oben genannten Nachteile zu beheben und eine Vorrichtung bzw. ein Verfahren bereitzustellen, mit der bzw. mit dem besonders einfach und effektiv die trennbaren Düsenteile zusammengesetzt und wieder getrennt werden können.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die Merkmale der Ansprüche 1 und 7 gelöst.
  • Die Öffnungen sind vorzugsweise auf einer Linie entlang des inneren Umfangs des ersten und zweiten Düsenteils angebracht und so angeordnet, daß das Quarzrohr eine im wesentlichen gleichmäßige Kühlung erfährt. Vorzugsweise sind die Öffnungen radialsymmetrisch entlang der Innenseite der Düsenteile in im wesentlichen konstanten Intervallen angebracht.
  • Weiter umfaßt die Vorrichtung einen Trägerarm zur Unterstützung der Düse und einen Kühlmittelauffangbehälter zum Sammeln des durch die Öffnungen ausgestoßenen Kühlmittels. Beispielsweise umfasst die Vorrichtung einen ersten Befestigungsarm zum schwenkbaren Verbinden des ersten Düsenteils mit dem Trägerarm und einen zweiten Befestigungsarm zum schwenkbaren Verbinden des zweiten Düsenteils mit dem Trägerarm derart, daß die ersten und zweiten Düsenteile zum Umschließen des Quarzrohrs durch Schwenken geschlossen und um ein Entfernen des Qurarzrohrs zu ermöglichen, durch Schwenken voneinander getrennt werden können.
  • Vorzugsweise ist der erste Befestigungsarm mit seinem dem ersten Düsenteil gegenüberliegenden Ende durch ein erstes Drehgelenk befestigt und der zweite Befestigungsarm ist mit seinem dem zweiten Düsenteil gegenüberliegenden Ende durch ein zweites Drehgelenk befestigt. Der erste und zweite Befestigungsarm können durch eine Schraube aneinander befestigt werden, so daß wenn sie aneinander anliegen, ein Bewegen der Befestigungsarme verhindert wird.
  • In dem Falle, daß der Befestigungsarm zwischen der Düse und dem Kühlmittelauffangbehälter angebracht ist, umfaßt die Vorrichtung vorzugsweise eine Kühlmittelversorgungsleitung zur Versorgung der Düsenteile mit Kühlmittel, eine Kühlmittelregulierung zur Regulierung des zur Kühlmittelversorgungsleitung geleiteten Kühlmittels und ein Kühlmittelreservoir zum Sammeln des Kühlmittels von dem Kühlmittelauffangbehälter.
  • Bevorzugt wird innerhalb des Faserrohlings eine poröse Schicht gebildet. Das Verfahren kann eingesetzt werden während der Herstellung eines Faserrohlings für einen Lichtverstärker, wie einem Erbium-dotierten Rohling für eine optische Faser.
    •
  • Die vorliegende Erfindung wird im folgenden an einem Ausführungsbeispiel mit Bezugnahme auf die begleitenden Zeichnungen beschrieben, dabei zeigen:
  • 1 eine herkömmliche Herstellungsmethode eines Rohlings für eine optische Faser nach dem MCVD-Verfahren;
  • 2 den Schritt, bei dem die poröse Schicht während der Herstellung eines Faserrohlings für einen Lichtverstärker gebildet wird, wobei eine herkömmliche Kühlvorrichtung verwendet wird;
  • 3 den Schritt, bei dem die poröse Schicht während der Herstellung eines Faserrohlings für einen Lichtverstärker gebildet wird, wobei eine andere herkömmliche Kühlvorrichtung verwendet wird;
  • 4 eine perspektivische Darstellung einer erfindungsgemäßen Kühlvorrichtung zur Ausbildung einer solchen porösen Schicht; und
  • 5 den Schritt, bei dem die poröse Schicht während der Herstellung eines Faserrohlings für einen Lichtverstärker unter Verwendung der Kühlvorrichtung aus 4 gebildet wird.
  • Wie 4 zeigt, enthält eine Kühlvorrichtung 10 eine Düse 78, die aus einem ersten Düsenteil 12 und einem zweiten Düsenteil 14 besteht, und die mit einem Kühlmittel wie Wasser oder Stickstoffgas über eine Kühlmittelversorgungsleitung 38 versorgt wird. Die ersten und zweiten Düsenteile 12 und 14 sind so konstruiert, daß sie trennbar sind, um zu ermöglichen, daß ein auf einer Drehmaschine befestigtes Quarzrohr 50 entfernbar ist.
  • Für das Ausströmen des Kühlmittels sind entlang der Innenseite der Düsenteile 12 und 14 in konstanten Umfangsintervallen radialsymmetrisch eine Vielzahl von Öffnungen 16 angebracht. Die Öffnungen 16 sind in wenigstens einer Linie entlang des inneren Umfangs der aus den ersten und zweiten Düsenteilen bestehenden Düse angeordnet, um eine gleichmäßige Kühlung des Quarzrohrs 50 und dadurch eine gleichmäßige poröse Schicht 76 in einem Faserrohling für einen Lichtverstärker zu erzielen.
  • Der ersten Düsenteil 12 hat auf einer Seite eine erste Verbindungsöffnung 18, die mit einer ersten Kühlmittelleitung 38a verbunden ist, um das Kühlmittel zum ersten Düsenteil 12 zu leiten. Ebenso hat der zweite Düsenteil 14 auf einer Seite eine zweite Verbindungsöffnung 20, die mit einer zweiten Kühlmittelleitung 38b verbunden ist, um das Kühlmittel zum zweiten Düsenteil 14 zu leiten. Die erste und zweite Kühlmittelleitung 38a und 38b zweigen von einer Kühlmittelversorgungsleitung 38 ab. Natürlich kann die erste und zweite Kühlmittelleitung auch getrennt angeordnet sein.
  • Ein Kühlmittelauffangbehälter 40 ist unterhalb der Düse 78 angebracht, um das aus den Öffnungen 16 gesprühte Kühlmittel zu sammeln. Über eine Entleerungsleitung 44 ist der Kühlmittelauffangbehälter 40 mit einem Kühlmittelreservoir 46 verbunden. Ein Trägerarm 32 ist zum Abstützen der Düse 78 und zu deren Verbindung mit dem Kühlmittelauffangbehälter 40 vorgesehen. Der Trägerarm 32 dient dazu, die Düse 78 entlang des zu kühlenden Quarzrohrs 50 zu bewegen. Wenn das Kühlmittel ein Gas ist, ist der Kühlmittelauffangbehälter 40, das Kühlmittelreservoir 46 und die Entleerungsleitung 44 von der Kühlvorrichtung 10 abgetrennt.
  • Um den ersten Düsenteil 12 schwenkbar mit dem Trägerarm 32 über eine erste Drehgelenkvorrichtung 34 zu verbinden, ist ein erster Befestigungsarm 22 vorgesehen. Ebenso ist ein zweiter Befestigungsarm 24 vorgesehen, um den zweiten Düsenteil 14 schwenkbar mit dem Trägerarm 32 über eine zweite Drehgelenkvorrichtung 36 zu verbinden. Der erste und zweite Befestigungsarm 22 und 24 werden miteinander über eine Schraubvorrichtung 30 verbunden, um ein Bewegen der ersten und zweiten Düsenteile 12 und 14 zu verhindern, wenn die Düsenteile aneinander angelegt wurden. Die Schraube 30 wird durch eine erste und zweite Schraubenöffnung 26 und 28 eingeführt, welche jeweils am ersten und zweiten Befestigungsarm angebracht ist. Zur Flußregulierung des Kühlmittels 48 ist eine Kühlmittelregulierung 42 mit der Kühlmittelversorgungsleitung 38 verbunden.
  • Die Kühlvorrichtung kann bei allen Prozessen, die ein zu kühlendes Quarzrohr erfordern, aus dem ein Rohling für optische Fasern über das MCVD-Verfahren hergestellt wird, verwendet werden, insbesondere zur Ausbildung der porösen Schicht in dem Quarzrohr, das zur Herstellung eines Faserrohlings für einen Lichtverstärker oder eines Rohlings einer Erbium-dotierten optischen Faser dient.
  • In einem Quarzrohr zur Herstellung eines Rohling für eine optische Faser für einen Lichtverstärker werden nacheinander auf der Innenseite eines an einer Drehmaschine befestigten Quarzrohrs, eine Umhüllungschicht 72, die das Eindringen unerwünschter Substanzen verhindert, und eine Kernschicht 74 zur Lichtübertragung gebildet. Dann wird das Quarzrohr durch Drehen des ersten und zweiten Befestigungsarms 22 und 24 zueinander, um jeweils das erste und zweite Drehgelenk 34 und 36, zwischen dem ersten und zweiten Düsenteil 12 und 14 angeordnet. Um die Düse zu schließen, werden der erste und zweite Düsenteil 12 und 14 durch die Schraubvorrichtung 30 festgezogen. Wie gewünscht, kann das Quarzrohr 50 natürlich leicht durch Aufschrauben der Schraube 30 und durch Trennung des ersten und zweiten Düsenteils entfernt werden.
  • Danach wird das Kühlmittel 48 durch die Kühlmittelregulierung 42 geregelt und zur Kühlmittelversorgungsleitung 38 geleitet. Der erste und zweite Düsenteil 12 und 14 werden jeweils durch die erste und zweite Kühlmittelleitung 38a und 38b mit Kühlmittel versorgt. Anschließend wird das Kühlmittel in Richtung der Außenfläche des Quarzrohres 50 durch die Öffnungen 16 emittiert, um dieses gleichmäßig zu kühlen, so daß eine poröse Schicht über der Kernschicht 74 gebildet wird. Das ausgestoßene Kühlmittel 48 wird durch den Kühlmittelauffangbehälter 40 aufgefangen und fließt durch die Entleerungsleitung 44 in das Kühlmittelreservoir 46.
  • Wie oben beschrieben, stellt die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zur gleichmäßigen Ausbildung einer porösen Schicht in einem Quarzrohr zur Verfügung. Statt aus einer Vielzahl speziell ausgebildeter Düsen, besteht die Kühlvorrichtung aus einer Vielzahl von Öffnungen, die direkt an der ringförmigen Düse angebracht sind, so daß der Montageaufwand stark vereinfacht ist, was eine erhebliche Kostenreduktion zur Folge hat. Zusätzlich ist die Düse in den ersten und zweiten Düsenteil aufgeteilt, so daß es möglich ist, ein Quarzrohr an einer Drehbank einfach zu befestigen und von dieser einfach zu entfernen. Überdies ist der erste und zweite Düsenteil getrennt strukturiert, wodurch es auf Wunsch möglich ist, das Kühlmittel nur auf einen Teil des Quarzrohrs aufzubringen. Des weiteren kann der Trägerarm die Düse entlang des Quarzrohrs bewegen, um die Position der Kühlvorrichtung einzustellen.

Claims (7)

  1. Vorrichtung zur Kühlung eines Quarzrohrs (50) während der Herstellung eines Rohlings für optische Fasern nach dem MCVD-Verfahren, wobei die Vorrichtung eine zum Umgreifen des Quarzrohrs (50) angepaßte Düse (78) umfasst, die mehrere Öffnungen (16) zum Ausstoßen eines nach einwärts auf das Quarzrohr (50) gerichteten Kühlmittels (48) enthält, und wobei die Düse wenigstens zwei trennbare Düsenteile (12, 14) umfasst, dadurch gekennzeichnet, daß die wenigstens zwei trennbaren Düsenteile (12, 14) so angebracht sind, daß ein erster und ein zweiter Düsenteil der wenigstens zwei trennbaren Düsenteile (12, 14) zum Umschließen des Quarzrohrs (50) durch Schwenken geschlossen werden können und durch Schwenken voneinander getrennt werden können, um ein Entfernen des Quarzrohrs (50) von der Düse (78) zu ermöglichen, ohne daß es erforderlich ist, ein Quarzrohrende durch die Düse (78) zu führen, sowohl das erste als auch das zweite Düsenteil jeweils eine Verbindungsöffnung (18, 20) aufweisen, die mit entsprechenden Kühlmittelleitungen (38) verbunden sind, um das Kühlmittel jeweils beiden Düsenteilen zuzuführen, wobei die Vorrichtung für den Gebrauch von Wasser als Kühlmittel (48) angepasst ist, und die Vorrichtung ferner einen Trägerarm (32) zur Unterstützung der Düse (78) und einen Kühlmittelauffangbehälter (40) zum Sammeln des durch die Öffnung (16) ausgebrachten Kühlmittels (48) und einen ersten Befestigungsarm (22) zum schwenkbaren Verbinden des ersten Düsenteils (12) mit dem Trägerarm (22), und einen zweiten Befestigungsarm (24) zum schwenkbaren Verbinden des zwei ten Düsenteils (14) mit dem Trägerarm (32) umfasst und wobei der Trägerarm (32) zwischen der Düse (78) und dem Kühlmittelauffangbehälter (40) angebracht ist.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Öffnungen (16) auf wenigstens einer Linie entlang des inneren Umfangs des ersten und zweiten Düsenteils (12, 14) angebracht und so angeordnet sind, daß das Quarzrohr (50) eine im wesentlichen gleichmäßige Kühlung erfährt.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnungen (16) radial symmetrisch entlang der Innenseite der Düsenteile (12, 14) in im wesentlichen konstanten Intervallen beabstandet voneinander angebracht sind.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Befestigungsarm (22) mit seinem dem ersten Düsenteil (12) gegenüberliegenden Ende durch ein erstes Drehgelenk (34) befestigt ist und der zweite Befestigungsarm (24) mit einem dem zweiten Düsenteil (14) gegenüberliegenden Ende durch ein zweites Drehgelenk (36) befestigt ist.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und zweite Befestigungsarm (22, 24) durch eine Schraube (30) so aneinander befestigt werden, daß, wenn sie aneinander anliegen, eine Bewegung der Befestigungsarme (22, 24) verhindert wird.
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung ferner eine Kühlmittelversorgungsleitung (38) zur Versorgung der Düsenteile (12, 14) mit Kühlmittel (48), eine Kühlmittelregulierung zur Regulierung des zur Kühlmittelversorgungsleitung (38) geleiteten Kühlmittels (48) und ein Kühlmittelreservoir (46) zum Sammeln des Kühlmittels (48) von dem Kühlmittelauffangbehälter (40) umfasst.
  7. Verfahren zur Kühlung eines Quarzrohrs (50) während der Herstellung eines Rohlings für optische Fasern mit dem MCVD-(modified chemical vapour deposition)-Verfahren unter Verwendung einer Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei das Verfahren folgende Schritte umfasst: Umschließen des Quarzrohrs (50) mit einer Düse (78), die aus wenigstens zwei trennbaren, mehrere Öffnungen (16) enthaltende Düsenteilen (12, 14) besteht durch Schwenken eines ersten Düsenteils (12) in Bezug auf ein zweites Düsenteils (14), Zuführen von Kühlmittel über entsprechende Kühlmittelleitungen (38) in jedes Düsenteil, Ausstoßen von nach einwärts auf das Quarzrohr (50) gerichtetem Kühlmittel durch die Öffnungen (16), Öffnen der Düsenteile (12, 14) durch Schwenken des ersten Düsenteils (12) in Bezug auf das zweite Düsenteil (14) und Entfernen des Quarzrohrs (50) von der Düse (78) ohne ein Quarzrohrende durch die Düse (78) zu führen.
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