DE3150109A1 - Tintenstrahlkopf - Google Patents

Tintenstrahlkopf

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Description

TINTENSTRAHLKOPF
Die Erfindung bezieht sich auf einen Tirttenstrahlkopf und insbesondere auf einen Tintenstrahlkopf, wie er zur Erzeugung von Tintentröpfchen für das sog. "Tintenstrahl-Aufzeichungssystem" verwendet wird. Ein Tintenstrahlkopf, der für Tintenstrahl-Aufzeichnungssysteme eingerichtet ist, ist im allgemeinen mit einem feinen Tintenauslaß (Tintenausstoß- düse), einem Tinten-Strömungsweg und Elementen versehen, die einen im Tinten-Strömungsweg aufgebauten Tinten-Ausstoßdruck erzeugen.
Bisher sind verschiedene Verfahren zur Herstellung von Tintenstrahlkopf en bekannt geworden, beispielsweise ein Verfahren, bei dem feine Nuten auf einer Glasplatte oder einer Metallplatte durch einen Schneidevorgang oder durch einen
Deutsche Bank (München) KIo. 5Ι/6Ϊ07Ο
Dresdner Bank (München) Klo 3919044
Postscheck (München) KIo. 670-43-804
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Ätzvorgang hergestellt werden; anschließend wird die so hergestellte Platte mit .einer anderen geeigneten Platte zur Bildung eines Tinten-Strömungswegs zusammengeklebt oder gepreßt.
Mit herkömmlichen Verfahren hergestellte Tintenstrahlköpfe haben die folgenden Nächteile: .
Man erhält ημΓ schwerlich einen ;Tinten-Strömungsweg mit einem konstanten Strömungswiderstand für die Tinte aufgrund der Rauhheit der inneren Wandoberfläche des Tinten-Strömungswegs, wenn dieser durchweinen Schneidvorgang her gestellt wird, oder aufgrund von Flecken im Strömungsweg, die durch eine unterschiedliche'Ätzrate hervorgerufen werden. Folglich variieren die Tintenstrahleigenschaften des sich ergebenden Tintenstrahlkopfs.
Ferner wird bei einem Schneidvorgang die Platte leicht gebrochen oder versprengt, was zu· einer erniedrigten Produktionsrate führt; bei einem Ätzvprgang sind nachteiligerweise viele Schritte erforderlich, so daß sich- hohe Produktionskosten ergeben. ;.
Darüber hinaus; haben die herkömmlichen Verfahren den Nachteil, daß die Positionierung der mit Nuten versehenen Platte'und der Deckplatte, die mit einem Antriebselement zur Erzeugung der die Tinte betätigenden Energie, beispielsweise einem piezoelektrischem Element, einem wärmeerzeugenden Element oder dergleichen versehen ist, außerordentlich schwierig ist, was zu einer geringen Ausbeute bei der Serienherstellung führt; ferner schwankt die Qualität der sich ergebenden Tintenköpfe. Deshalb besteht großes Interesse, einen Tin tens, trahlkopf -zu entwickeln, 3er 3ie genannten Probleme befriedigend löst.
Mit der vorliegenden Erfindung sollen die vorstehend ge-
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nannten Probleme gelost werden. Es ist Aufgabe der Erfindung, einen Tintenstrahlkopf zu schaffen, der mit geringen Kosten genau gefertigt werden kann und der bezüglieh der Tintenstrahleigenschaften hervorragende Eigenschaften hat. Ferner soll ein Tintenstrahlkopf geschaffen werden, der einen Tintenstrahl-Strömungsweg aufweist, der fein mit präzisen und genauen Abmessungen und einer hohen Ausbeute gefertigt ist, und bei dem ein Tintenstrahl mit stabilen Eigenschaften erzeugt wird. Darüber hinaus soll ein Tintenstrahlkopf geschaffen werden, der eine sog. "Vielfachanordnung von Tintendüsen" aufweist, die bezüglich der Eigenschaften des Tintenstrahls keine Abweichungen zeigen.
Erfindungsgemäß wird ein Tintenstrahlkopf geschaffen, der einen Tinten-Strömungsweg und eine Tinten-Ausstoßdüse zum Ausstoß der Tinte am einen Ende des Tinten-Strömungswegs aufweist dnd der sich dadurch auszeichnet, daß der Tinten-Strömungsweg durch eine Nut bzw. eine Ausnehmung gebildet wird, die auf der Oberfläche des Substrats durch ein fotographisches Herstellungsverfahren hergestellt wird.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher be- · schrieben. Es zeigen:
Figur 1 - 9 ein Beispiel für die Schritte, in denen der
erfindungsgemäße Tintenstrahlkopf hergestellt wird, und 30
Figur 10 - 14 ein weiteres Beispiel für die Schritte.
Mit dem verwendeten Ausdruck "fotographisches Herstellungsverfahren" wird ein Präzisionsherstellungsverfahren 35
bezeichnet, bei dem Fototechniken, wie beispielsweise Druckmuster auf einem fotoempfindlichen Film zusammen mit Ätz- und Plattierungsvorgängen verwendet werden, wie dies konkret in den folgenden Beispielen erläutert wird.
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In der Zeichnung ist mit Ausnahme, in Figur 9 ein schematischer Querschnitt zur Erläuterung der Erfindung dargestellt.
;
Die Figuren 1-9 zeigen ein erstes Ausführungsbeispiel der Herstellungsschritte für den Tintenstrahlkopf.
In Figur 1 sind eine gewünschte Zahl von Elementen 2, die den Tinten-Ausstoßdruck erzeugen, beispielsweise exotherme Elemente, piezoelektrische Elemente oder dergleichen f auf einem Substrat 1 angeordnet, das aus Glas, Keramik, Kunststoffmaterialien,.Metall oder dergleichen gefertigt ist? falls notwendig, Wird ein gegen Tinte widerstandsfähiger Film oder ein dünner dielektrischer Film 3 aus SiO_, Ta3O5, Glas oder dergleichen aufgebracht. Das Element 2 ist ferner mit einer nichtgezeigten Elektrode' für das Eingangssignal verbunden.
In Figur 2 wird als elektrisch leitender Film 4 ein dünner Film aus pu, Ni, Cr, Ti oder dergleichen auf dem Substrat mit dem genannten Element 2 mittels eines Vakuumaufdampfverfahrens, eines Sputter-Verfahrens, eines chemischen Plattierungsverfahrens oder dergleichen aufgebracht. Der derart hergestellte elektrisch leitende Film dient zur Verbesserung des engen Kontakts mit -einer Plattierungsschicht 7 (vgl. Figur 5).
Gemäß Figur 3 wird nach der Reinigung und dem Trocknen der Oberfläche des Substrats mit den" Elementen 2 ein getrockneter Film 5 aus einem Fotplackmaterial mit einer Dicke von etwa 25 - 50 um, der auf etwa 80 ■" 105° C aufgeheizt ist, auf das Substrat mit einer Rate von 0,5 4 feet/pro Minute bei einem druck von 1 - 30 kg/cm* aufgebracht. a5 In diesem Schritt wird der trockene Film aus Fotolack 5 geschmolzen und über der Fläche des Substrats fixiert, so daß er auch bei der Anlage eines gewissen äußeren Drucks
■ ■ - 7 - DE 1741
nicht von der Oberfläche abhebt.
Anschließend wird, wie in Figur 3 gezeigt wird, nachdem eine Fotomaske 6 mit einem geeigneten Muster auf dem getrockneten Fotolackfilm 5, der auf dem Substrat vorgesehen ist, angeordnet worden ist, der Lack durch die Fotomaske 6 belichtet. Es ist notwendig; daß die Position des Musters und die. Position des druckerzeugenden EIements mittels eines herkömmlichen Verfahrens ausgerichtet werden.
Figur 4 zeigt schematisch den Zustand» nach dem der nicht belichtete Abschnitt, d.h. der ungesicherte Teil des belichteten, getrockneten Fotolackfilms 5 durch Auflösen mit einer speziellen' Auflösflüssigkeit entfernt worden ist. Zu diesem Zeitpunkt wird kein sog. "Seitenätzen" hervorgerufen, und es kann eine höhere Verarbeitungsgenauigkeit als bei einem herkömmlichen Verfahren erzielt werden. .
Gemäß Figur 5 wird das Substrat mit Ausnahme des Lackmusters 5 P elektrisch mit Ni oder Cu plattiert, bis die
elektroplattierte Schicht 7 die gewünschte Dicke erreicht. 25
In dem obengenannten Elektroplattierungsprozeß ist das Elektroplattierungsbad, das für einen spannungslosen Niederschlag verwendet werden sollte, vorzugsweise ein Kupfer-Pyrophosphat - Bad für eine Kupferplattierung und ein sog. Watt-Bad für eine Nickelplattierung.
Stellt man die Ebenheit der plattierten Oberfläche und die Gleichförmigkeit der Plattierungsdecke in Rechnung, so ist es vorteilhaft, die Oberfläche abhebend zu schlei-. '
fen, bevor das Fotolackmuster 5 P entfernt wird (siehe den Schritt in Figur 6).
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. Figur 6 zeigt schematisch den Zustand nach Entfernung des Fotolackmusters 5 P.
In dem Schritt, gemäß Figur T wird, wenn eine plattierte Schicht 7, die vorher durch einen Elektroplattierungsvorgang hergestellt worden ist und die aus Nickel oder Kupfer besteht, mit der Tinte eine Reaktion eingeht, die zur Zerstörung der Tinte führt, ein Edelmetall, wie beispielsweise Au, Rh, Pt oder dergleichen mit einer Dicke von 0,5 - 5 um aufgebracht, um eine gegen Tinte widerstandsfähige Schicht 8 zu bilden, die eine derartige Reaktion verhindert. Eine derartige Behandlung ist natürlich unnötig, wenn die Tinte, die in dem erfindungsgemäßen Tintenstrahlkopf verwendet werden soll, nicht mit Ni oder Cu reagiert.
Im Anschluß an diese Schritte wird eine Platte 9 als Deckel an der Oberfläche des so verarbeiteten Substrats 1, an dessen Innenfläche ein Tinten-Strömungsweg hergestellt worden ist, durch eine Belebung oder durch eine Preßeinpassung angebracht (siehe Figur 8).
Ein typisches. Verfahren für einen Klebevorgang ist fol-
,
gendes:
(1) Nach einer Wirbelbeschichtung einer Platte 9 aus Glas, Keramik, Metall, Kunststoff oder dergleichen mit einem Klebstoff aus Epoxyharz mit einer Dicke '
von 3 - 4 μπι wird der Klebstoff SS (siehe Figur 8)
durch Heizen halb ausgehärtet (sog. B-Zustand) und dann durch die Klebstoffwirkung an der plattierten Schicht 7 angebracht; hieran schließt sich die vollständige Aushärtung der Klebstoffschicht SS-an, 35
oder
(2) Eine Platte 9 aus einem thermoplastischen Harz, wie
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einem Acrylharz, .· einem ABC-Harz, aus Polyethylen oder dergleichen wird geheizt und dann direkt mit der genannten Plattierüngsschicht 7 versichmolzen.
Zur Verbindung mit einem nicht gezeigten Tinten-Zufuhr- · rohr wird ein Perforationsloch 10 vorgesehen (siehe Figur 9) .
Nachdem das Substrat 1 mit den Nuten £ür die feinen Tinten-Strömungswege 1 2' und den Tintenveirsorgungsraum 13 mit der Platte verbunden worden ist, wird der so verbundene Körper längs der strichpunktierten· Linie C-C inFigur 9 aufgeschnitten. Der Schneidevorgang erfolgt, um den Abstand zwischen dem Element 2 zur Erzeugung des Tintenstrahldrucks und der Tintenstrahldüse 11 zu optimieren; der Bereich, der geschnitten werden soll, kann geeignet gewählt werdein. Bei dem Schneidevorgang kann irgendein Schneideverfahren verwendet werden, wie es gewöhnlicherweise in der Halbleiterindustrie zum Einsatz kommt. Anschließend wird der geschnittene Bereich geschliffen, um die Oberfläche glatt" zu machen, und ein . nicht gezeigtes Tintenversorgungsrohr an dem Loch 10 zur Vervollständigung des Tintenstrahlkopfes angebracht.
■ Der fotoempfindliche Stoff, d.h., der Fotolack, der bei dem vorigen Beispiel verwendet worden ist, ist ein sog. Trockenfilm, d.h. ein "Festkörper"-Film; die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf sog. Festkörper-Fotolacke beschränkt, vielmehr können auch flüssige Fotolacke verwendet werden.
Wenn ein flüssiger Fotolack zur Herstellung des fotoempfindlichen Films auf dem Substrat verwendet wird, kann ein sog. "Quetschverfahren" (Squeezing) verwendet werden. Das sog. "Quetschverfahren" ist ein Verfahren, das typischerweise zur Herstellung eines Relief-Bildes
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verwendet wird. Bei dem Quetschverfahren umgibt man ein Substrat mit einer Wand, die dieselbe Höhe hat wie die gewünschte Dicke des fotoempfindlichen Stoffs; die über<schüssige Menge des fotoempfindlichen Stoffs wird durch Quetschen entfernt. In diesem Fall ist die Viskosität des Fotolacks vorzugsweise im Bereich zwischen 100 und 300 cps; die fföhe der das Substrat umgebenden Wand soll unter Berücksichtigung der gewünschten Menge des Stoffs aufgrund der Lösungsmittelverdampfung bestimmt werden.
Wenn andererseits der Fotolack ein Festkörperlack ist, wird ein Blatt des Lacks an dem Substrat durch einen Heißpreßvorgarig angebracht. Bei der vorliegenden Erfindung ist ein sog. Festkörperfilm-Fotolack vorteilhafter aufgrund' der Handhabbarkeit und der leichten und präzisen Steuerung seiner Dicke.
Als fotoempfindliche Festkörpermassen können die von Du pont de'Nemour & Co. unter dem Handelsnamen "RISTON" 210 R, 218R, 215, 3010, 3020 und dergleichen sowie die von Hitachi Kiisei Co., Ltd. unter dem Handelsnamen PHOTEC 860A-25, 860AFT, 140FT und dergleichen gelieferten verwendet werden,
25
Darüber hinaus können als fotoempfindliehe Massen beispielsweise eine Mischung aus Q-Naphtoquinon-Diazid und Novolac-Phenolharz, Polyvinyl-Cinnama.te-Harz, zyklisches Gummi-Azid-Harz usw» sowie die meisten anderen Harze verwendet werden, die üblicherweise für Fotolithografien . verwendet werden. Im allgemeinen sind fotoempfindliche Massen der AC-Serie von Shiysley Products oder der OMR-Serie von Tokyo Oka's Products sehr vorteilhaft.
3^ Ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Figuren 10 - 14 gezeigt.
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Figur 10 zeigt einen Querschnitt, und zwar insbesondere ein Element 102 zur Erzeugung eines Tintenstrahldrucks, das auf einem Substrat 101 vorgesehen ist.
Gemäß Figur 11 wird das Substrat nach Figur 10 weiter dadurch behandelt, daß ein elektrisch leitender Film 103 auf dem Substrat 101, das dem Verfahren gemäß Figur 10 unterzogen worden ist, durch eine Filmherstellung, wie beispielsweise einen chemischen Plattierungsvorgang, einen Vakuum-AufdampfVorgang, einem Sputter-Vorgang oder dergleichen gebildet wird. Der elektrisch leitende Film 103.aus Cu, Ni, Cr oder Ti kann dazu benutzt werden, einen engen Kontakt mit einem Plattierungsfilm 105 (siehe Figur 12) herzustellen und ist hierzu wirkungsvoll. Anschließend wird ein fotolithograf ischfäs Verfahren, wie es bei dem vorigen Ausführungsbeispiel erläutert worden ist, zur Herstellung eines Fotolackmusters 104 an den gewünschten Stellen ausgeführt; dieser Schritt ist durch einen Elektroplattierungsvorgang zur Herstellung eines Plattierungsfilm 105 aus Cu, Ni oder dergleichen gefolgt (siehe Figur 12). Das Fotolackmuster 104 wird dann entfernt; der belichtete Teil des elektrisch leitenden Films 103, der im Schritt gemäß Figur 11 zur Erzielung einer elektrischen Leitfähigkeit hergestellt worden ist, wird ebenfalls- geätzt und entfernt (siehe Figur 13). Nach der Durchführung der obigen Schritte wird der Tintenstrahlkopf durch Anbringen oder durch einen Preß-Anpaß-Vorgang einer Platte 106 an der oberen Oberfläche des Substrats 101, das mit Nuten für die Tintenströmungswege versehen ist, vervollständigt (siehe Figur 14).
Für- den Fall, daß die aus dem Tintenstrahlkopf ausgestoßene Tinte elektrische Leitfähigkeit besitzt oder ehemisch mit dem Material der Plattierungsschicht 105 reagiert, wird ein dielektrischer und korrosionsbeständiger Film, beispielsweise SiO2, Si3N4, Ta3O5 oder derglei-
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·
chen (nicht gezeigt) als tintenbeständige Schicht mit einer Dicke von 2-5 "um durch ein Vakuum-Auf dampf verfahren, ein Sputter-Verfahren, ein CVD-Verfahren oder dergleichen gebildet. Es ist zu beachten, daß der Gesaiataufbau des vollständigen Tintenstrahlkppfs ähnlich dem in Figur 9 gezeigten ist, der in einer auseinandergezogenen Darstellung zum besseren Verständnis dargestellt ist.
Tinten-StrÖmungswege sowie Tintenstrahldüsen können auf beiden Seiten des "Substrats 1 bzw. 101 mit einem ähnlichen Foto-Herstellvorgang, wie er bereits früher erläutert worden isst, hergestellt werden, obwohl ein derartiges Ausführungsbeispiel nicht in den vorigen Beispielen gezeigt ,ist.
Die Wirkungen der vorliegenden Erfindung, die vorstehend im einzelnen erläutert worden sind, können wie folgt zusammengefaßt werden: · !
(1) Da die Abmessungsgenauigkeit bei der Herstellung des Tinten-St.pömungswegs äußeret hoch ist, sind die Fluktuationen der Tintenstrahleigenschaften aller Düsen sehr gering und die Tintenstrahleigenschaft kann für lange Zeit stabil gehalten werden.
(2) Bei dem Verfahren zur Herstellung des Tintenstrahlkopfs wird ein Klebstoff selten verwendet und eine flüssige Säure, insbesondere eine starke Säure wie
beispielsweise Flußsäure oder dergleichen nicht verwendet; deshalb ergeben sich keine Verstopfungen der Düse bzw. der Tinten-Strömungswege und auch keine Verschlechterung der Wirkungsweise aufgrund« der Zerstörung des Elements zur Erzeugung des Tintenstrahl-
drucks,und die Qualität ist hoch.
(3) Da das Hauptverfahren zur Herstellung des Tinten-
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strahlkopfs ein Potoherstellungsverfahren ist, ist es möglich, viele Köpfe mit stabilen und genauen Abmessungen gleichzeitig herzustellen und wirksame Viel-5 fach-Tintenstrahlköpfe hoher Dichte herzustellen.
Beschrieben wird ein Tintenstrahlkopf, der aus einer Vielfach-Tinten-Strömungswegen sowie Tinten-Ausstoßdüsen besteht; die Tinten-Strömungswege sind mittels 10 eines Fotoherstellverfahrens hergestellt.
-Atf.
Leersei, te

Claims (6)

  1. Patentansprüche
    ■iTintenstrahlkopf mit einem Tinten-Stränungsweg und einer Tintenausstoßdüse zum Ausstoß von Tinte am einen Ende des Tinten-Strömungsweges, dadurch gekennzeichnet, daß der Tintenstrahlkopf
    durch eine Nut bzw. Ausnehmung gebildet wird, die mittels eines Photo-Herstellverfahrens auf der Oberfläche eines Substrats (1 ; 101) gebildet wird.
  2. 2. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat aus einem Material besteht, das Glas, Keramik, Kunststoff oder Metall sein kann.
  3. 3. Tintenstrahlkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenoberfläche der Nut aus einem Metall besteht, das mittels eines Elektroplattierungsverfahrens niedergeschlagen ist.
  4. 4. Tintenstrahlkopf nach einem der Anspruches 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß die Innenoberfläche der Nut aus einem Material besteht, das entweder Nickel oder Kupfer sein kann.
    Deutsche Bank (München) KIo 51/61070
    Dresdner Bank !München) KIo 3'Πΐ 01Ί
    PoslscriocK IMlinrlion) KIo 070-Ί3-Β04
    V/
    ^m £* mm
  5. 5. Tintenstrahlkopf nach einem c|er Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß ein elektrisch leitender Film auf dem Substrat vorgesehen ist.
    5 -
  6. 6. Tintenstrahlkopf nach einem der-Ansprüche 1 - 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Element zur Erzeugung eines Tintepstrahldrucks (2; 102) vorher auf dem Substrat angeordnet ist.
DE19813150109 1980-12-18 1981-12-17 Tintenstrahlkopf Granted DE3150109A1 (de)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0109756A2 (de) * 1982-11-23 1984-05-30 Hewlett-Packard Company Konstruktionsmethode für einen monolithischen Tintenstrahldruckkopf
DE3546063A1 (de) 1984-12-28 1986-07-03 Canon K.K., Tokio/Tokyo Verfahren zur herstellung eines fluessigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes
EP0231790A2 (de) * 1986-01-30 1987-08-12 Hewlett-Packard Company Herstellungsverfahren zum Schichtaufbau von verbesserter struktureller Integrität
DE3713991A1 (de) * 1986-04-28 1987-10-29 Canon Kk Verfahren zur herstellung eines fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopfes
DE3546794C2 (de) * 1984-12-28 1996-10-31 Canon Kk Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes
US5592203A (en) * 1992-07-31 1997-01-07 Francotyp-Postalia Gmbh Ink jet print head
US5714078A (en) * 1992-07-31 1998-02-03 Francotyp Postalia Gmbh Edge-shooter ink jet print head and method for its manufacture

Families Citing this family (128)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2104452B (en) * 1981-06-29 1985-07-31 Canon Kk Liquid jet recording head
US4611219A (en) * 1981-12-29 1986-09-09 Canon Kabushiki Kaisha Liquid-jetting head
US4609427A (en) * 1982-06-25 1986-09-02 Canon Kabushiki Kaisha Method for producing ink jet recording head
JPS5919168A (ja) * 1982-07-26 1984-01-31 Canon Inc インクジエツト記録ヘツド
JPS5995157A (ja) * 1982-11-23 1984-06-01 Yokogawa Hewlett Packard Ltd バブル駆動インク・ジエツト・プリント用ヘツド
US4528577A (en) * 1982-11-23 1985-07-09 Hewlett-Packard Co. Ink jet orifice plate having integral separators
JPS59111857A (ja) * 1982-12-16 1984-06-28 Seiko Epson Corp ノズルの製造方法
JPH0643129B2 (ja) * 1984-03-01 1994-06-08 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
US4532530A (en) * 1984-03-09 1985-07-30 Xerox Corporation Bubble jet printing device
JPS60259457A (ja) * 1984-06-06 1985-12-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd インクジエツト記録ヘツド
US4727012A (en) * 1984-10-25 1988-02-23 Siemens Aktiengesellschaft Method of manufacture for print heads of ink jet printers
US4626323A (en) * 1985-04-10 1986-12-02 Siemens Aktiengesellschaft Method for the manufacture of a printing element for an ink droplet printing unit
DE3686673T2 (de) * 1985-06-10 1993-04-15 Canon Kk Strahlenhaertbare harzzusammensetzung.
JPS61285201A (ja) * 1985-06-13 1986-12-16 Canon Inc 活性エネルギ−線硬化型樹脂組成物
DE3620254C2 (de) * 1985-06-18 1994-05-05 Canon Kk Durch Strahlen mit wirksamer Energie härtbare Harzmischung
DE3621477A1 (de) * 1985-06-26 1987-01-08 Canon Kk Durch strahlen mit wirksamer energie haertbare harzmischung
DE3688956T2 (de) * 1985-06-26 1994-02-17 Canon Kk Strahlenhärtbare Zusammensetzung.
US4688054A (en) * 1985-07-09 1987-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head
JPS6216147A (ja) * 1985-07-13 1987-01-24 Canon Inc 液体噴射記録ヘツド
US4688056A (en) * 1985-07-13 1987-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head having a layer of a resin composition curable with an active energy ray
US4688052A (en) * 1985-07-13 1987-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head having a layer of a resin composition curable with an active energy ray
US4688053A (en) * 1985-07-13 1987-08-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid jet recording head having a layer of a resin composition curable with an active energy ray
JPH0698759B2 (ja) * 1986-10-13 1994-12-07 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘツド
JPH0698760B2 (ja) * 1986-10-13 1994-12-07 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘツド
US4786357A (en) * 1987-11-27 1988-11-22 Xerox Corporation Thermal ink jet printhead and fabrication method therefor
US4947192A (en) * 1988-03-07 1990-08-07 Xerox Corporation Monolithic silicon integrated circuit chip for a thermal ink jet printer
US4956653A (en) * 1989-05-12 1990-09-11 Eastman Kodak Company Bubble jet print head having improved multi-layer protective structure for heater elements
AU627931B2 (en) * 1989-09-18 1992-09-03 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head and ink jet recording apparatus having same
EP0419191B1 (de) * 1989-09-18 1997-01-22 Canon Kabushiki Kaisha Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopf und Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungsgerät, welches diesen aufweist
DE69109884T2 (de) * 1990-02-09 1995-10-26 Canon Kk Tintenstrahlaufzeichnungssystem.
ATE147014T1 (de) * 1990-10-18 1997-01-15 Canon Kk Herstellungsverfahren eines tintenstrahldruckkopfes
EP0488675A1 (de) * 1990-11-28 1992-06-03 Canon Kabushiki Kaisha Herstellungsverfahren eines Farbstrahlaufzeichnungskopfes und Farbstrahlaufzeichnungskopf
US5198834A (en) * 1991-04-02 1993-03-30 Hewlett-Packard Company Ink jet print head having two cured photoimaged barrier layers
JPH0592570A (ja) 1991-10-03 1993-04-16 Canon Inc 液体噴射記録ヘツド、その製造方法、及び液体噴射記録ヘツドを備えた記録装置
DE4403042A1 (de) * 1992-07-31 1995-08-03 Francotyp Postalia Gmbh Edge-Shooter-Tintenstrahldruckkopf und Verfahren zu seiner Herstellung
JPH06126964A (ja) * 1992-10-16 1994-05-10 Canon Inc インクジェットヘッドおよび該インクジェットヘッドを備えたインクジェット記録装置
JP3513199B2 (ja) * 1993-01-01 2004-03-31 キヤノン株式会社 液体噴射ヘッド、これを用いた液体噴射ヘッドカートリッジおよび記録装置、ならびに液体噴射ヘッドの製造方法
JP3177100B2 (ja) * 1993-07-29 2001-06-18 キヤノン株式会社 インクジェットヘッドおよびインクジェット装置ならびに前記ヘッドの製造方法および前記ヘッドの製造装置
DE69424005T2 (de) 1993-07-29 2000-12-14 Canon Kk Tintenstrahldruckkopf, Tintenstrahlkopf-Kartusche und Druckgerät
US6877225B1 (en) 1993-07-29 2005-04-12 Canon Kabushiki Kaisha Method of manufacturing an ink jet head
US6155677A (en) * 1993-11-26 2000-12-05 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet recording head, an ink jet unit and an ink jet apparatus using said recording head
SG44309A1 (en) * 1994-03-04 1997-12-19 Canon Kk An ink jet recording apparatus
JP3126276B2 (ja) * 1994-08-05 2001-01-22 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
US5531818A (en) 1994-12-01 1996-07-02 Xerox Corporation Ink jet ink compositions and printing processes
AU4092396A (en) 1995-01-13 1996-08-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method
AU4092296A (en) 1995-01-13 1996-08-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method
AU4092596A (en) 1995-01-13 1996-08-08 Canon Kabushiki Kaisha Liquid ejecting head, liquid ejecting device and liquid ejecting method
JPH08333531A (ja) * 1995-06-07 1996-12-17 Xerox Corp 水性インクジェットインク組成物
EP0767060B1 (de) 1995-09-14 2003-03-12 Canon Kabushiki Kaisha Flüssigkeitsausstosskopf, Kassette für einen Flüssigkeitsausstosskopf und Flüssigkeitsausstossapparat
US5626654A (en) 1995-12-05 1997-05-06 Xerox Corporation Ink compositions containing liposomes
US5764263A (en) 1996-02-05 1998-06-09 Xerox Corporation Printing process, apparatus, and materials for the reduction of paper curl
US5729261A (en) * 1996-03-28 1998-03-17 Xerox Corporation Thermal ink jet printhead with improved ink resistance
DE69728082T2 (de) 1996-06-07 2005-01-20 Canon K.K. Flüssigkeitsausstosskopf, Vorrichtung zum Austossen von Flüssigkeit und Drucksystem
US6213592B1 (en) 1996-06-07 2001-04-10 Canon Kabushiki Kaisha Method for discharging ink from a liquid jet recording head having a fluid resistance element with a movable member, and head, head cartridge and recording apparatus using that method
US5781211A (en) * 1996-07-23 1998-07-14 Bobry; Howard H. Ink jet recording head apparatus
US5901425A (en) * 1996-08-27 1999-05-11 Topaz Technologies Inc. Inkjet print head apparatus
US5738799A (en) * 1996-09-12 1998-04-14 Xerox Corporation Method and materials for fabricating an ink-jet printhead
US5693129A (en) * 1997-01-13 1997-12-02 Xerox Corporation Ink jet ink compositions comprising anti-curl hydroxyamide derivatives and printing processes
US5788749A (en) * 1997-02-14 1998-08-04 Xerox Corporation Pigmented ink compositions containing liposomes
US6022104A (en) * 1997-05-02 2000-02-08 Xerox Corporation Method and apparatus for reducing intercolor bleeding in ink jet printing
US5997623A (en) * 1997-06-16 1999-12-07 Xerox Corporation Ink jet inks comprising anti-curl agents and printing processes
JP3416467B2 (ja) * 1997-06-20 2003-06-16 キヤノン株式会社 インクジェットヘッドの製造方法、インクジェットヘッドおよびインクジェットプリント装置
DE69813154T2 (de) * 1997-12-05 2004-03-04 Canon K.K. Flüssigkeitsausstosskopf, Flüssigkeitsausstossverfahren, Kopfkassette und Flüssigkeitsausstossvorrichtung
US6210783B1 (en) 1998-07-17 2001-04-03 Xerox Corporation Ink jet transparencies
US6447984B1 (en) 1999-02-10 2002-09-10 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharge head, method of manufacture therefor and liquid discharge recording apparatus
US6254214B1 (en) 1999-06-11 2001-07-03 Lexmark International, Inc. System for cooling and maintaining an inkjet print head at a constant temperature
EP1083049B1 (de) 1999-09-03 2006-07-12 Canon Kabushiki Kaisha Flüssigkeitsausstoßkopf, Flüsigkeitsausstoßverfahren und Vorrichtung zum Ausstoßen von Flüssigkeit
US6533400B1 (en) 1999-09-03 2003-03-18 Canon Kabushiki Kaisha Liquid discharging method
US6343850B1 (en) 1999-09-28 2002-02-05 Xerox Corporation Ink jet polyether urethane wiper blade
JP3584193B2 (ja) 2000-02-15 2004-11-04 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、液体吐出装置及び前記液体吐出ヘッドの製造方法
US6475271B2 (en) 2000-12-28 2002-11-05 Xerox Corporation Ink jet ink compositions and printing processes
US6679587B2 (en) * 2001-10-31 2004-01-20 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection device with a composite substrate
US6672718B1 (en) 2002-07-23 2004-01-06 Laser Lock Technologies, Inc. Aqueous latent image printing method and aqueous latent image printing ink for use therewith
US6770126B1 (en) * 2003-01-15 2004-08-03 Xerox Corporation Fast dry ink containing alkyl saccharide and methods of making and using said ink
US20050206679A1 (en) * 2003-07-03 2005-09-22 Rio Rivas Fluid ejection assembly
US6890067B2 (en) * 2003-07-03 2005-05-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
JP4865309B2 (ja) * 2005-11-29 2012-02-01 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド用基板の製造方法
US7504446B2 (en) * 2003-10-09 2009-03-17 Xerox Corporation Aqueous inks containing colored polymers
US7387370B2 (en) * 2004-04-29 2008-06-17 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Microfluidic architecture
US7293359B2 (en) * 2004-04-29 2007-11-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method for manufacturing a fluid ejection device
US7705069B2 (en) * 2004-11-22 2010-04-27 Xerox Corporation Ink jet composition
US7169218B2 (en) * 2004-11-23 2007-01-30 Xerox Corporation Ink jet set for reducing intercolor bleed
US7380914B2 (en) * 2005-04-26 2008-06-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
US7540593B2 (en) * 2005-04-26 2009-06-02 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection assembly
US8758886B2 (en) * 2005-10-14 2014-06-24 International Paper Company Recording sheet with improved image dry time
US7682438B2 (en) 2005-11-01 2010-03-23 International Paper Company Paper substrate having enhanced print density
EP2290162B1 (de) 2006-01-17 2017-05-03 International Paper Company Papiersubstrate mit hoher Oberflächenleimung und niedriger innerer Leimung sowie hoher Dimensionsstabilität
US7708396B2 (en) * 2006-03-09 2010-05-04 Xerox Corporation Photochromic phase change inks
US20070252879A1 (en) * 2006-04-28 2007-11-01 Xerox Corporation Phase change ink additives
US7576149B2 (en) * 2006-05-31 2009-08-18 Xerox Corporation Varnish
US7674326B2 (en) * 2006-10-12 2010-03-09 Xerox Corporation Fluorescent phase change inks
US20080098927A1 (en) * 2006-10-26 2008-05-01 Xerox Corporation Pigmented phase change inks
US20080098929A1 (en) * 2006-10-26 2008-05-01 Xerox Corporation Phase change inks
US20080098930A1 (en) * 2006-11-01 2008-05-01 Xerox Corporation Colorant dispersant
AU2008254437B2 (en) * 2007-05-21 2011-03-17 International Paper Company Recording sheet with improved image waterfastness, surface strength, and runnability
US8187898B2 (en) * 2007-12-21 2012-05-29 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing liquid discharge head
US8057637B2 (en) 2007-12-26 2011-11-15 International Paper Company Paper substrate containing a wetting agent and having improved print mottle
PL2559809T3 (pl) 2008-03-31 2016-03-31 Int Paper Co Arkusz drukowy o lepszej jakości wydruku przy niskich poziomach dodatków
PT2288752E (pt) 2008-06-20 2014-05-07 Int Paper Co Composição e folha de impressão que apresenta propriedades ópticas melhoradas
MX2010014415A (es) * 2008-06-26 2011-03-15 Int Paper Co Hoja de registro con densidad de impresion mejorada.
US8123344B2 (en) * 2008-08-04 2012-02-28 Xerox Corporation Ink carriers containing surface modified nanoparticles, phase change inks including same, and methods for making same
US8029861B2 (en) * 2008-09-23 2011-10-04 Xerox Corporation Ink carriers containing low viscosity functionalized waxes, phase change inks including same, and methods for making same
US8460511B2 (en) * 2008-10-01 2013-06-11 International Paper Company Paper substrate containing a wetting agent and having improved printability
JP5202284B2 (ja) * 2008-12-22 2013-06-05 株式会社日立産機システム 熱硬化性樹脂組成物
US7780774B2 (en) 2009-01-27 2010-08-24 Xerox Corporation Method of making a pigmented phase change ink with dispersant and synergist
US7776147B1 (en) 2009-01-27 2010-08-17 Xerox Corporation Pigmented phase change inks with dispersant and synergist
US8118922B2 (en) 2009-05-18 2012-02-21 Xerox Corporation Pigmented phase change inks containing low molecular weight quaternary ammonium salt dispersants
US8101801B2 (en) 2009-05-18 2012-01-24 Xerox Corporation Low molecular weight quaternary ammonium salt dispersants
US8342669B2 (en) * 2009-09-18 2013-01-01 Xerox Corporation Reactive ink components and methods for forming images using reactive inks
US8652593B2 (en) * 2009-12-17 2014-02-18 International Paper Company Printable substrates with improved brightness from OBAs in presence of multivalent metal salts
US8574690B2 (en) * 2009-12-17 2013-11-05 International Paper Company Printable substrates with improved dry time and acceptable print density by using monovalent salts
US20110177245A1 (en) 2010-01-19 2011-07-21 Xerox Corporation Ink compositions
US8652575B2 (en) * 2010-01-19 2014-02-18 Xerox Corporation Ink compositions
US8123848B2 (en) 2010-05-03 2012-02-28 Xerox Corporation Fluorescent ink compositions and fluorescent particles
US8807697B2 (en) 2010-11-16 2014-08-19 Xerox Corporation Encapsulated reactive ink and method for forming images using same
US8697203B2 (en) 2010-11-16 2014-04-15 International Paper Company Paper sizing composition with salt of calcium (II) and organic acid, products made thereby, method of using, and method of making
US8544998B2 (en) 2010-12-16 2013-10-01 Xerox Corporation Solid inks containing ketone waxes and branched amides
US8506694B2 (en) 2011-04-27 2013-08-13 Xerox Corporation Phase separation ink
US8840232B2 (en) 2011-04-27 2014-09-23 Xerox Corporation Phase change ink
US8690309B2 (en) 2011-04-27 2014-04-08 Xerox Corporation Print process for phase separation ink
US9228105B2 (en) 2012-06-12 2016-01-05 Xerox Corporation Aqueous overcoat on solid ink jet prints and methods of producing the same
US8696100B1 (en) 2012-10-02 2014-04-15 Xerox Corporation Phase change ink containing synergist for pigment dispersion
US8714724B2 (en) 2012-10-02 2014-05-06 Xerox Corporation Phase change inks containing novel synergist
KR102173454B1 (ko) 2012-10-11 2020-11-04 슈바이쳐-모뒤 인터내셔널, 인크. 감소된 발화 성향 특징을 갖는 래퍼
US8974047B2 (en) 2012-11-27 2015-03-10 Xerox Corporation Phase change ink containing ethylene vinyl acetate
US8616693B1 (en) 2012-11-30 2013-12-31 Xerox Corporation Phase change ink comprising colorants derived from plants and insects
US8647422B1 (en) 2012-11-30 2014-02-11 Xerox Corporation Phase change ink comprising a modified polysaccharide composition
US9090758B2 (en) 2012-11-30 2015-07-28 Xerox Corporation Phase change ink comprising modified naturally-derived colorants

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1917294A1 (de) * 1969-04-03 1970-10-15 Hugo Brendel Verfahren zur Herstellung dickschichtiger Abbildungen
DE2943164A1 (de) * 1978-10-26 1980-05-08 Canon Kk Tintenstrahl-aufzeichnungsvorrichtung
DE3012946A1 (de) * 1979-04-02 1980-10-23 Canon Kk Troepfchenerzeugungsvorrichtung

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3946398A (en) * 1970-06-29 1976-03-23 Silonics, Inc. Method and apparatus for recording with writing fluids and drop projection means therefor
DE2945658A1 (de) * 1978-11-14 1980-05-29 Canon Kk Fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungsverfahren

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1917294A1 (de) * 1969-04-03 1970-10-15 Hugo Brendel Verfahren zur Herstellung dickschichtiger Abbildungen
DE2943164A1 (de) * 1978-10-26 1980-05-08 Canon Kk Tintenstrahl-aufzeichnungsvorrichtung
DE3012946A1 (de) * 1979-04-02 1980-10-23 Canon Kk Troepfchenerzeugungsvorrichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Xerox Disclosure Journal Vol. 4, Nr.2, März/April 1979, S.251-252 *

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0109756A2 (de) * 1982-11-23 1984-05-30 Hewlett-Packard Company Konstruktionsmethode für einen monolithischen Tintenstrahldruckkopf
EP0109756A3 (en) * 1982-11-23 1985-01-09 Hewlett-Packard Company A method of construction of a monolithic ink jet print head
DE3546063A1 (de) 1984-12-28 1986-07-03 Canon K.K., Tokio/Tokyo Verfahren zur herstellung eines fluessigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes
DE3546794C2 (de) * 1984-12-28 1996-10-31 Canon Kk Verfahren zur Herstellung eines Flüssigkeitsstrahlaufzeichnungskopfes
EP0231790A2 (de) * 1986-01-30 1987-08-12 Hewlett-Packard Company Herstellungsverfahren zum Schichtaufbau von verbesserter struktureller Integrität
EP0231790A3 (de) * 1986-01-30 1989-06-14 Hewlett-Packard Company Herstellungsverfahren zum Schichtaufbau von verbesserter struktureller Integrität
DE3713991A1 (de) * 1986-04-28 1987-10-29 Canon Kk Verfahren zur herstellung eines fluessigkeitsstrahl-aufzeichnungskopfes
US5592203A (en) * 1992-07-31 1997-01-07 Francotyp-Postalia Gmbh Ink jet print head
US5714078A (en) * 1992-07-31 1998-02-03 Francotyp Postalia Gmbh Edge-shooter ink jet print head and method for its manufacture
US5802687A (en) * 1992-07-31 1998-09-08 Francotyp-Postalia Ag & Co. Method of manufacturing an ink jet print head
US5825382A (en) * 1992-07-31 1998-10-20 Francotyp-Postalia Ag & Co. Edge-shooter ink jet print head and method for its manufacture

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