JPS6216147A - 液体噴射記録ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、液体噴射記録ヘッド、詳しくは、インク等の
記録用液体の小滴を発生させ、それを紙などの被記録材
に付着させて記録を行なう液体噴射記録方式に用いる記
録用液体の小滴発生用の記録ヘッドに間する。

〔従来の技術〕

イン°り等の記録用液体の小滴を発生させ、それを紙な
どの被記録材に付着させて記録を行なう液体噴射記録方
式は、記録時の騒音の発生が無視できる程度に極めで小
さく、かつ高速記録が可能であり、しかも普通紙に定着
などの特別な処理を必要とぜずに記録を行なうことので
きる記録方式として注目され、最近種々のタイプのもの
が活発に研究されでいる。

液体噴射記録方式に用いられる記録装置の記録ヘッド部
は、一般に、記録用液体を吐出するためのオリフィス（
液体吐出口）と、該第１ノフイスに連通し、記録用液体
を吐出するためのエネルギーが記録用液体に作用する部
分を有する液体通路と、該液体通路に供給する記録用液
体を貯留するための液室とを有して構成されでいる。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路の一部を構成する記録用液体に吐出エネルギ
ーを作用させる部分（エネルギー作用部）の所定の位置
に配設された発熱素子、圧電素子等の種々のタイプの吐
出エネルギー発生素子によって発生されるものが多い。

このような構成の液体噴射記録ヘッドを製造する方法と
しては、例えば、ガラス、金属等の平板に切削やエツチ
ング等によって、微細な溝を形成し、更にこの溝を形成
した平板に他の適当な板を接合して液体通路を形成する
工程を含む方法、あるいは例えば吐出エネルキー発生素
子の配フされた基板上に硬化した感光姓樹脂の溝壁を２
オトリソグラフイ一工程によって形成して、基板上に液
体通路となる溝を設け、このようにして形成された溝付
き板に、他の平板（覆い）を接合して液体通路を形成す
る工程を含む方−法が知られている（例えば特開昭５７
−４３８７６号）。

これらの液体噴射記録ヘッドの製造方法のなかでは、感
光′１樹脂を使用した後者の方法は、前者の方法に対し
て、液体通路をより精度良く、かつ歩留り良く微細加工
でき、しかもｊｉ産化が容易であるので、品質が良く、
より安価な液体噴射記録ヘッドを提供することができる
という利点を有している。

このような記録ヘッドの製造に用いる感光性樹脂として
は、印刷版、プリント配線等におけるパターン形成用と
して用いられてきたもの、あるい；は′ガラス、金属、
セラミ・ンクス等に用いる光硬化型の塗料やＷｔ着剤と
して知られているものが用いられており、また作業能率
などの面からドライフィルムタイプの樹脂が主に利用さ
れてきた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

感光性樹脂の硬化膜を用いた記録ヘッドにおいては、高
度な記録特性、耐久性及び信頼性等の優れた特性を得る
ために、記録ヘッドに用いる感光°荘樹脂には、 （１）特に、硬化膜としての基板との接着性に優れてい
る、 （２）硬化した際の機械的強度及び耐久性等に優れてい
る、 （３）パターン露光を用いたパターン形成用の際の感度
及び解像度に優れでいる などの特性を有していることが要求される。

ところが、これまでに知られでいる液体噴射記録ヘッド
の形成に用いられる感光゛比樹脂としては、上記の要求
特性を全て満足したものが見当たらないのか現状である
。

すなわち、記録ヘラ６ト用の感光牲樹脂として、印刷版
、プリント配線等におけるパターン形成用として用いら
れているものは、感度及び解像度においでは優れている
が、基板として用いられるガラス、セラミックス、プラ
スチックフィルムなどに対する接着性や密＠性に劣り、
しかも硬化した際の機械的強度や耐久性か十分でない。

そのため、記録ヘッドの製造段階において、または使用
にともなって、例えば液体通路内の記録用液体の流れを
阻害したり、あるいは液滴吐出方向を不安定にするなど
して記録特性を低下させる等、記録ヘットの信頼性を著
しく損なう原因となる樹脂硬化膜の変形や基板からの剥
離、損傷などが起き易いという欠点を有している。

一方、ガラス、金属、セラミックス等に用いる光硬化型
の塗料や接着剤として知られているものは、これらの材
質からなる基板に対する密着性や接着性に優れ、かつ硬
化した際に十分な機械的強度や耐久性か得られるという
利点を有しているものの、感度及び解像度に劣るために
、より高強度の露光装置や長時間の露光操作か必要とさ
れ、また、そのｖｆ性上、解像度良く精密な高Ｅ度パタ
ーンを得ることかできないために、特に微細な精密加工
か要求される記録ヘッド用としては向いでいないという
問題点を有している。

本発明は、このような問題点に鑑みなされたものであり
、前述したような諸要求特性を全て満足した樹脂硬化膜
からなる液体通路壁を有し、安価で補記であり、信頼性
か高く、耐久性に優れた液体噴射記録ヘッドを提供する
ことを目的とする。

本発明の他の目的は、液体通路か精度良くかつ歩留り良
く微細加工された構成を有した液体噴射記録ヘットを提
供することにある。

本発明の他の目的は、マルチオリフィス化された場合に
も信頼性が高く、耐久′注に優れた液体噴射記録ヘッド
を提供することにある。

Ｃ問題点を解決するための手段〕 上記の目的は以下の本発明によって達成することかでき
る。

本発明は、基板面に設けられ、液体の吐出口に連通する
液体通路が、活性エネルギー線によって硬化する樹脂組
成物からなる層に、該活性エネルギー線を用いた所定の
パターン露光を為して前記樹脂組成物の硬化領域を形成
し、該層から未硬化領域を除去して形成されている液体
噴射記録ヘッドであって、前記樹脂組成物が （１）共重合体構成成分として下記一般式１で表わされ
るモノマー５〜３０モル％および下記一般式ＩＩて表わ
されるモノマー５〜５０モル％を含有する熱架橋性線状
共重合高分子と、 ＣＨ７＝Ｃ−−−（Ｉ） Ｏ’＝ＣＮＨＣ８４０Ｒ２ Ｃ）Ｉ２＝Ｇ　　　　　　　　Ｏ−−−（ＩＩ　）０＝
Ｃ−０−Ｒ”−０−Ｃ−ＮＨ−Ｒ５（ただし、Ｒ１は水
素または炭素原子数が１〜３のアルキルもしくはヒドロ
キシアルキル基、Ｒ２は水素または炭素原子数か１〜４
のヒドロキシ基を有してもよいアルキルもしくはアシル
基、Ｒ３は水素または炭素原子数か１〜３のアルキル基
、Ｒ４はその内部にエーテル結合を有してもよく、且つ
ハロゲン原子でゴ換されでもよい２価の炭化水素基、Ｒ
′″は炭素原子数が３〜１２のアルキルもしくはフェニ
ルアルキル基またはフェニル基を表わす。）（１１）エ
チレン牲不飽和結合を有する単量体とを有してなる活′
１エネルキー線硬化型樹脂組成物であることを特徴とす
る液体噴射記録ヘッドである。

すなわち本発明の記録ヘッドは、基板と、少なくとも液
体通路となる溝を形成する樹脂硬化膜層とを有してなり
、記録ヘッドを構成する各部材の耐久性及び各部材間で
の接着性に優れ、しかも樹脂硬化膜層か精度良く微細加
工されており、優れた記録特性を有し、信頼′１も高く
、使用に際しての耐久性にも優れた記録ヘッドである。

以下、図面に従って本発明の液体噴射記録ヘッドを詳細
に説明する。

第１図は本発明の液体噴射記録ヘッドの一例であり、第
１図（ａ）はその主要部の斜視図、第１図（ｂ）は第１
図（ａ）のｃ−ｃ　′線に添った切断断面図である。

この液体噴射記録ヘッドは、基本的に、基板］と、該基
板上に設けられ、所定の形状にパターンニングされた樹
脂硬化膜３Ｈと、該樹脂硬化股上に積層された覆い７と
を有してなり、これらの部材によって、記録用液体を吐
出するためのオリフィス９、該オリフィスに連通し、記
録用液体を吐出するためのエネルギーか記録用液体に作
用する部分を有する液体通路６−２及び該液体通路に供
給する記録用液体を貯留するための液室６−１が形成さ
れでいる。更に、巧いに設けられた貫通孔８には、記録
ヘッド外部から液室６−１に記録用液体を供給するため
の供給管１０か接合されている。尚、第１図（ａ）（こ
は、供給管１０は省略してある。

記録の際に、記録用液体を吐出するためのエネルギーは
、液体通路６−２の一部を構成する記録用液体に吐出エ
ネルギ＝を作用させる部分の所定の位置に配設された発
熱素子、圧電素子等の１！々のタイプの吐出エネルギー
発生素子２に、これら素子に接続してある配線（不図示
）を介して吐出信号を所望に応して印加することにより
発生される。

本発明の記録ヘッドを構成する基板１は、ガラス、セラ
ミックス、プラスチックあるいは金属等からなり、発生
素子２か所望の個数所定位置に配設される。なお、第１
図の例においでは発生素子か２個設けられているが、発
熱素子の個数及び配置は記録ヘッドの所定の構成に応じ
て連室決定される。

また、覆い７は、ガラス、セラミックス、プラスチック
あるいは金属等の平板からなり、融着あるいは接着剤を
用いた接着方法により樹脂硬化膜３日上に接合されてお
り、また所定の位置に供給管１０を接続するための貫通
孔８が設けられでいる。

本発明の記録ヘッドにおいて、液体通路６−２及び液室
６−１の壁を構成する所定の形状にパターンニングされ
た樹脂硬化膜３日は、基板］上に、あるいは覆い７上に
設けた以下に説明する組成の樹脂組成物からなる層をフ
ォトリソグラフィ一工程によってパターンニングして得
られたものである。

尚、この樹脂硬化膜３日は、該樹脂組成物で形成した覆
い７と一体化してパターンニングされたものであっても
よい。

このような少なくとも液体通路となる部分を構成するた
めに基板上に設けられた樹脂硬化膜を形成するために用
いる樹脂組成物は、 （ｉ）共重合体構成成分として下記一般式１で表わされ
るモノマー５〜３０モル％および下記一般式ＩＩで表わ
されるモノマー５〜５０モル％を含有する熱架橋性線状
共重合高分子と、 ｌ ＣＨ２＝Ｃ−−−（Ｉ） ０＝Ｃ−ＮＨ−Ｃ８４０−Ｒ２ ＣＨ２＝ＣＯ−−−（ＩＩ　） ０＝Ｃ−０−Ｒ’−０−Ｃ−ＮＨ−Ｒ５（たたし、Ｒ１
は水素または炭素原子数が１〜３のアルキルもしくはヒ
ドロキシアルキル基、Ｒ２は水素または炭素原子数か１
〜４のヒドロキシ基を有してもよいアルキルもしくはア
シル基、Ｒ３は水素または炭素原子数が１〜３のアルキ
ル基、Ｒ４はその内部にエーテル結合を有してもよく、
且つハロゲン原子で１換されてもよい２価の炭化水素基
、ＲＳは炭素原子数が３〜１２のアルキルもしくはフェ
ニルアルキル基またはフェニル基を表わす。）（ｉｉ）
エチレン粧不飽和結合を有する単量体とを有してなる活
性エネルギー線硬化型樹脂組成物であり、特に硬化膜と
した際にガラス、プラスチック、セラミックス等からな
る基板に対して良好な接＠性を有し、かつインク等の記
録用液体に対する耐性及び機械的強度にも優れ、しがも
活性エネルギー線によるバターニングによって精密で高
解像度のパターンを形成することができるという液体噴
射記録へ・ンドの構成部材として優れた特性を有するも
のである、更に、この樹脂組成物は、ドライフィルムと
して用いることができ、その際にも上記の優れた特性か
発揮される。

以下、この本発明の記録ヘッドの形成（こ用いる活性エ
ネルギー硬化型樹脂組成物の組成について詳細に説明す
る。

この活性エネルギー線硬化型樹脂組成物の必須成分であ
る（ｉ）熱架橋性線状共重合高分子は、親水性および熱
架橋性を有する上記一般式１と、該組成物を硬化して得
られるパターンに十分な密着性と機械的強度を付与する
上記一般式ＩＩで示されるモノマーを共重合の成分とし
て、それぞれ５〜３０モル％および５〜５０モル％有す
るものであり、上記親木性によって基板への優れた密着
性を、また熱架橋性によって構造材料としての優れた性
状、例えば耐熱゛ｉ、耐薬品性、あるいは機械的強度等
を発揮し得るように成したちのである。一般式■および
ＩＩて表わされるモノマーは、その合計量が約５０モル
％以下となるような範囲で熱架橋性線状共重合高分子に
含有されることか好ましい。

上記熱架橋性線状共重合高分子を製造する１こ際して用
いられる一般式■で表わされるモノマーを具体的に示せ
ば、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド（以下、（
メタ）アクリルアミドと記す場合、アリ１ノアミドおよ
びメタアクリアミドの双方を含むこと意味するものとす
る。）、Ｎ−プロポキシメチル（メタ）アクリルアミド
、Ｎ−ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、β
−ヒドロキシエトキシメチル（メタ）アクリルアミド、
Ｎ−エトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メト
キシメチル（メタ）アク１ノルアミド、Ｎ−アセトキシ
メチル（メタ）アクリルアミド、α−ヒドロ主ジメチル
−Ｎ−メチロールアクリルアミド、α−ヒドロキシエチ
ル−Ｎ−ブトキシメチルアクリルアミド、α−ヒドロキ
シプロピル−Ｎ−プロポキシメチルアクリルアミド、α
−エチル−Ｎ−メチロ−ルアウリルアミド、α−プロピ
ル−Ｎ−メチロールアクリルアミド等のアクリルアミド
誘導体か挙げられる。

これら一般式Ｔで表わされるモノマーは、５〜３０モル
％が熱架橋性線状共重合高分子に含有されることが必要
である。含有量か５モル％未満では、本発明の記録ヘッ
ドの形成に用いる樹脂組成物を硬化して得られるパター
ンに十分な耐薬品性か付与されない。これに対して、含
有量が３０モル％を越えると、硬化して得られるパター
ンが脆くなる等の問題を生じる。

一方、一般式■で表わされるモノマーは、５〜５０モル
％か熱架橋性線状共重合高分子（こ含有されることか必
要である。含有量が５モル％未満では、該樹脂組成物を
硬化して得られるパターンに十分な密着性および機械的
強度か付与されない。

これに対して、含有量か５０モル％を越えると、得られ
る組成物の軟化点の低下が顕著になり、該組成物を硬化
して得られるパターンの表面硬度の低下や、膨潤による
耐薬品゛ｉの劣化等の問題を生しる。

熱架橋性共重合高分子の製造に用いられる一般式■で表
わされるモノマーにおけるＲ４は、その内部にエーテル
結合を有してもよく、且つハロゲン原子で置換されでも
よい２価の任意の炭化水素基とすることかできるが、好
ましいＲ４としては、炭素原子数か２〜１２のハロゲン
原子で置換されでもよいアルキレン基、１．４−ビスメ
チレンシクロヘキサンのような脂環式炭化水素基、ビス
フェニルジメチルメタンのような芳香環ソ含む炭化水素
基等を挙げることができる。

一般式ｎで表わされるモノマーを具体的に示せば、１分
子中に水酸基を１個含有する（α−アルキル）アクリル
酸エステルにモノインシアナート化合物を反応させて成
る、１分子中にウレタン結合を１個以上有する（α−ア
ルキル）アクリル酸エステルか挙げられる。

一般式ＩＩで表わされるモノマーを製造するに際し用い
られる１分子中に水酸基を少なくとも１個含有する（メ
タ）アクリル酸エステルとしては、２−ヒドロキシエチ
ル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メ
タ）アクリレート、３−クロロ−２−ヒドロキシプロピ
ル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ
）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリ
レ一ト、５−ヒドロキシペンチル（メタ）アクリレート
、６−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートあるいは
ライトエステルＨＯ−ｍｐｐ（共末社油脂化学工業■製
）などが挙げられる。

１分子中に水酸基を１個含有する（α−アルキル）アク
リル酸エステルとしは、上記以外に（ａ）脂肪族または
芳香族の二価アルコールと（メタ）アクリル酸とのエス
テルや（ｂ）モノエポキシ化合物の（メタ）アクリル酸
エステルを同様に使用することができる。

上記（ａ）に用いられる二価アルコールとしては、１．
４−シクロヘキサンジメタツール、１．１０−デカンジ
オール、ネオペンチルグリコール、ビス（２−ヒドロキ
シエチル）テレフタレート、ビスフェノールＡへのエチ
レンオキシドまたはプロピレンオキシドの２〜１０モル
付加反応物などが挙げられる。また、上記（ｂ）に用い
られるモノエポキシ化合物としては、エポライトＭ−１
２３０（商品名、共栄社油脂化学工業■製）、フェニル
グリシジルエーテル、クレシルグリシジルエーテル、ブ
チル　゛グリシジルエーテル、オクチレンオキサイド、
ｎ−ブチルフェノールグリシジルエーテルなどが挙げら
れる。

また、一般式ＩＩで表わされるモノマーを製造するに際
し用いられるモノイソシアナート化合物としては、炭素
原子数が３〜１２のアルキル基に１個のインシアナート
基を付与してなるアルキルモノイソシアナート、および
フェニルインシアナート、クレジルモノイソシアナート
などが挙げられる。

これらの一般式１１で表わされるモノマーは、１分子中
に水酸基を１個含有するアクリル酸エステルとモノイソ
シアナート化合物とを、触媒、例えばジブチルスズジウ
ラレートの存在下においで反応させる等により、容易（
こ製造することができる。

熱架橋性線状共重合高分子を製造するに際して用いられ
る一般式１で示されるモノマーは親水性を有しており、
本発明に用いる樹脂組成物がガラス、セラミックス、プ
ラスチックなどの基板に接着する際に、強固な密着性を
付与するものである。また、上記一般式１で表わされる
モノマーは加熱による縮合架橋性を有してあり、一般に
は１００℃以上の温度で水分子あるいはアルコールが脱
離し架橋結合を形成して硬化後に熱架橋性線重合高分子
自体にも網目構造を形成させ、硬化して得られるパター
ンに優れた耐薬品性および機械的強度を付与するもので
ある。

尚、熱架橋性線状共重合高分子には、上記一般式１およ
びＩＩで表わされるモノマーの他、例えばアクリル樹脂
、ビニル樹脂等の製造に際して一般（ご用いられている
１重々のモノマーが、２０〜９０モル％の範囲内で共重
合の成分として用いられる。

これらモノマーは、本発明にお１ｆる樹脂硬化膜形成用
の樹脂組成物に高い凝集強度を付与する等の種々の目的
で用いられるものである。

本発明の記録ヘッドの形成に用いる樹脂組成物は、記録
ヘッドの形成に際して溶液状あるいは固形のフィルム状
等、種々の形状で使用されるが、ドライフィルムとして
用いるのであれば、該組成物をフィルム状で維持するた
めに、約５０℃以上のガラス転移温度を有する比較的剛
直な′性質を与えるモノマーを一般式１および■のモノ
マーに加えて共重合して得られる熱架橋性線状共重合高
分子を用いることが好ましい。このような目的に好適な
熱架橋′ａ線状共重合高分子を製造するに際して用いら
れる一般式１およびＩＩ以外のモノマーを示せば、メチ
ルメタアクリレート、エチルメタアクリレート、イソブ
チルメタアクリレート、ｔ−ブチルメタアクリレートな
どのアルキル基の炭素数が１〜４のアルキルメタアクリ
レート、アクリロニトリル、イソボルニルメタアクリレ
ート、インボルニルアクリレート、スチレン等の、その
ホモポリマーのガラス転移温度が約５０℃以上のモノマ
ーが挙げられる。もちろん、これらモノマーは、その一
種以上を適宜選択して用いることができる。更に、これ
らモノマーに加えて、ヒドロキシ基、アミン基、カルボ
キシル基あるいはグリシジル基を有する他の公知のモノ
マーや、ポリマーのガラス転移温度が約５０℃未満のモ
ノマーをも適宜選択して使用することができる。

上記ヒドロキシ基含有モノマーとしては、２−ヒドロキ
シエチル（メタ）アクリレート、３−クロロ−２〜ヒド
ロキシ（メタ）アクリレートなどが、またアミノ基含有
モノマーとしては、Ｋ、Ｎ〜ジメチルアミノエチル（メ
タ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、Ｋ、Ｎ−
ジメチルアミノエチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ、Ｎ
〜ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ、Ｎ−ジメチル
アミノプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｋ、Ｎ−ジｔ
−ブチルアミノエチル（メタ）アクリルアミドなどが挙
げられる。また、カルボキシル基含有モノマーとしては
、（メタ）アクリル酸、フマール酸、イタコン酸あるい
は東亜合成化学■製品の商品名アロニツクスＭ−５４０
０、クロロ・ンクスＭ−５５０１で知られるものが挙げ
られ、グリシジル基を有するモノマーとしては、グリシ
ジル（メタ）アクリレートなどが挙げられる。

また、本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物を
溶液状にて用いるのであれば、該組成物に柔軟性を与え
るようなガラス転移温度の低い熱架橋性線状共重合高分
子を用いることも可能である。しかしながら、この場合
にも、優れた耐薬品性と高い機械的強度を有するパター
ンを得るためには、ガラス転移温度の高い熱架橋性線状
共重合高分子を用いることが好ましい。

何れにしても、本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂
組成物に用いられる熱架橋性線状共重合高分子は、該組
成物の硬化工程（すなわち、活性エネルギー線照射によ
るパターンの形成および引続いての熱硬化）においで、
該組成物に形態保持性を付与して精密なバターニングを
可能にするとともに、硬化して得られるパターンに対し
ては優れた配着性、耐薬品性ならびに高い機械的強度を
与えるものである。

本発明における樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物に用いる
もう一つの成分であるエチレン性不飽和結合を有する単
量体（２）とは、該組成物に活性エネルギー線による硬
化性を発揮させるための成分であり、好ましくは大気圧
下で１００℃以上の沸点を有し、また好ましくはエチレ
ン性不飽和結合を２個以上有するものであって、活性エ
ネルギー線の照射で硬化する公知の種々の単量体を用い
ることができる。

そのような２個以上のエチレン性不飽和結合を有する単
量体を具体的に示せば、例えば■１分子中に２個以上の
エポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂のアクリル酸エ
ステルまたはメタアクリル酸エステル、■多価アルコー
ルのアルキレンオキシド付加物のアクリル酸エステルま
たはメタアクリル酸エステル、■二塩基酸と二価アルコ
ールから成る分子量５００〜３０００のポリエステルの
分子鎖末端にアクリル酸エステル基を持つポリエステル
アクリレート、■多価イソシアネートと水酸基を有する
アクリル酸モノマーとの反応物が挙げられる。上記■〜
■の単量体は、分子内にウレタン結合を有するウレタン
変性物であってもよい。

■に属する単量体としては、ビスフェノールＡ型、ノボ
ラック型、脂環型に代表されるエポキシ樹脂、あるいは
ビスフェノールＳ、ビスフェノールＦ、テトラヒトロキ
シフェニルメタンテトラグ１ノシジルエーテル、レゾル
シノールジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシ
ジルエーテル、ペンタエリストールトリグリシジルエー
テル、インシアヌール酸トリグリシジルエーテルおよび
下記一般式■ （たたし、Ｒはアルキル基またはオキシアルキル基、Ｒ
ｏは分、そ謂）ＣＨ２べ（Ｄう−、またはアルキル基を
表わす） で表わされるエポキシウレタン樹脂のアクリル酸または
メタアクリル酸エステルなどが挙げられる。

■に屈する単量体としては、エチレングリコールジ（メ
タ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）ア
つりレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリ
レート、　１．６へ主すンジオールジ（メタ）アクリレ
ート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート
、ペンタエリストールトリ（メタ）アクリレートなどが
挙げられ、商品名ＫＡＹＡＲＡＤ　　ＨＸ−２２０、Ｈ
Ｘ−６２０、Ｄ−３１０、Ｄ−３２０、Ｄ−３３０、Ｄ
ＰＨＡ、　Ｒ−６０４、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３
０、ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０（以上、日本化
薬■製）、商品名ＮＫエステルＢＰＥ−２００，８ＰＥ
−５００、ＢＰＥ−１３００、Ａ−８ＰＥ−４（以上、
新中村化学■製）等で知られるものを使用できる。

■に属する単量体としては、商品名アロニツクスＭ−６
１００、Ｍ−６２００、Ｍ−６２５０、Ｍ−６３００、
Ｍ−６４００、Ｍ−７１００、Ｍ−８０３０、Ｍ−８０
６０、Ｍ−８１００Ｃ以上、東亜合成化学■製）などが
挙げられる。■に属し、ポリエステルのウレタン結合含
有するものとしては、商品名アロニツクスＭｌ　１００
、アロニツクスＭ−１２００（以上、東亜合成化学■製
）等として知られるものが挙げられる。

■に属する単量体としては、トリレンジイソシアナート
、イソホロンジイソシアナート、ヘキサメチレンジイソ
シアナート、トリメチルへキサメチレンジイソシアナー
ト、リジンジイソシアナート、ジフェニルメタンジイソ
シアナートなどのポリイソシアナートと水酸基含有アク
リルモノマーとの反応物が挙げられ、商品名スミジュー
ルＮ（ヘキサメチレンジイソシアナートのビユレット誘
導体）、スミジュールしくトリレンジイソシアナートの
トリメチロールプロパン変粧体）（以上、住友バイエル
ウレタン■製）等で知られるポリイソシアナート化合物
に水酸基含有の（メタ）アクリル酸エステルを付加した
反応物などを使用できる。ここで言う水酸基含有アクリ
ルモノマーとしては（メタ）アクリル酸エステルが代表
的なもので、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、
ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレートが好ましい。

また、先に熱架橋性線状共重合高分子の式Ｔで表わされ
るモノマーを製造するためのものとして挙げた水酸基含
有の他のアクリルモノマーも使用することができる。

上記したような２個以上のエチレン性不飽和結合を有す
る単量体の他、これ等と共に例えば以下に列挙するよう
なエチレン性不飽和結合を１個だけ有する単量体も用い
ることができる。そのような１個のエチレン性不飽和結
合を有する単量体を例示すれば、例えばアクリル酸、メ
タアクリル酸などのカルボキシル基含有不飽和モノマー
：グリシジルアクリレート、グリシジルメタアクリレー
トなどのグリシジル基含有不飽和モノマー：ヒドロキシ
エチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタアクリレー
ト、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシプロ
ピルメタアクリレート等のアクリル酸またはメタクリル
酸の０２〜ＣＩ＋ヒドロキシアルキルエステル：ポリエ
チレングリコールモノアクリレート、ポリエチレングリ
コールモノメタアクリレート、ポリプロピレングリコー
ルモノアクリレート、ポリプロピレングリコールモノメ
タアクリレート等のアクリル酸またはメタクリル酸とポ
リエチレングリコールまたはポリプロピレングリコール
とのモノエステル：アクリル酸メチル、アクリル酸エチ
ル、アクリル酸プロピル、アクリル酸イソプロピル、ア
クリル酸ブチル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸オク
チル、アクリル酸ラウリル、アクリル酸シクロヘキシル
、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリ
ル酸プロピル、メタクリル酸イソプロピル、メタクリル
酸ブチル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸オクチ
ル、メタクリル酸ラウリル、メタクリル酸シクロヘキシ
ル等のアクリル酸またはメタクリル酸の０１〜Ｃ１２ア
ルキルまたはシクロアルキルエステル：その他のモノマ
ーとじで、例えばスチレン、ビニルトルエン、メチルス
チレン、酢酸ビニル、塩化ビニル、ビニルイソブチルエ
ーテル、アクリロニトリル、アクリルアミド、メタクリ
ルアミド、アルキルグリシジルエーテルのアクリル酸ま
たはメタクリル酸付加物、ビニルピロリドン、ジシクロ
ペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ε−カ
プロラクトン変性ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレ
ート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、フェノキ
シエチルアクリレートなど：が挙げられる。

何れにしても、上記エチレン性不飽和結合を有する単量
体を使用することにより、本発明における樹脂硬化膜形
成用の樹脂組成物に活性エネルギー線による硬化膜か付
与される。

本発明にあける樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー線硬
化型樹脂組成物は、活′１エネルキー線として波長２５
０ｎｍ〜４５０ｎｍの活′１エネルキー線が用いられる
場合には、光重合開始剤を該樹脂組成物中に添加してお
くことが好ましい。光重合開始剤としては、光重合に用
いられる公知の物質を特に限定することなく使用できる
。

そのような光重合開始剤を具体的に示せば、ヘンシル、
ベンゾインアルキルエーテル頚：ヘンゾインインブチル
エーテル、ヘンゾインイソブロビルエーテル、ヘンジイ
ン−ｎ−ブチルエーテル、ヘンジインエチルエーテル、
ヘンジインメチルエーテルなど、ヘンシフエノン頚：ヘ
ンゾフエノン、４，４′−ビス（ｆｆ、　Ｎ−ジエチル
アミノ）ヘンシフエノン、ヘンシフエノンメチルエーテ
ルなど、アントラキノン類：２−エチルアントラキノン
、２−ｔブチルアントラキノンなど、キサントン類・２
，４−ジメチルチオキサントン、２．４−ジイソプロピ
ルチオキサントンなど、アセトフェノン類・２．２−ジ
メトキシ−２−フェニルアセトフェノン、α、α−ジク
ロロー４−フェノキシアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−
ブチルジクロロアセトフェノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチル
ジクロロアセトフェノン、２．２−ジェトキシアセトフ
ェノン、ｐ−ジメチルアミノアセトフェノンなど、ある
いはヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン（イルガ
キュア１８４　　チバ・ガイギー鞠製）、］−（］４−
イソプロピルフェニル−２−ヒドロキシ−２−メチルプ
ロパン−１−オン（ダロキュア１１１６　　メルク（Ｖ
ＥＲＣＫ）■製）、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−
フェニル−プロパン−１−オン（ダロキュア１１７３　
　メルク■製）等が好適に用いられるものとして挙げら
れる。これらの光重合開始剤に加えて、光重合促進剤と
してアミン化合物を添加してもよい。

光重合促進剤に用いられるアミン化合物としては、エタ
ノールアミン、エチル−４−ジメチルアミノヘンゾエー
ト、２−（ジメチルアミノ）エチルヘンシェード、ｐ−
ジメチルアミノ安、ｌ！、香酸ｎ−アミルエステル、ｐ
−ジメチルアミン安息香酸イソアミルエステル等か挙げ
られる。

本発明における樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー線硬
化型樹脂組成物を構成する前記材料の構成比率は、熱架
橋性線状共重合高分子２０〜８０重量部、好ましくは２
０〜５０重量部、エチレン性不飽和結合を有する単量体
８０〜２０重量部、好ましくは５０〜８０重量部であり
、光重合開始剤を用いる場合において光重合開始剤は、
熱架橋性線状共重合高分子およびエチレン性不飽和結合
を有する単量体よつ成る樹脂成分１００重量部に対して
０．１〜２０重里％、好ましくは１〜１０重量％の範囲
である。

本発明における樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー線硬
化型樹脂組成物を溶液状で用いる際、あるいはドライフ
ィルムとする際のフィルム基材であるプラスチックフィ
ルム上に塗布する場合などに用いる溶剤としては、アル
コール類、グリコールエーテル類、グリコールエステル
類等の親水性溶剤などが挙げられる。もちろん、これら
親水性溶剤を主体とし、それらに必要に応してメチルエ
チルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン類、酢
酸エチル、酢酸イソブチル等のエステル類、トルエン、
キシレン等の芳香族炭化水素及びそのハロゲン置換体、
塩化メチレン、１．１．１−トリクロルエタン等の塩素
含有の脂肪族溶剤等を適宜混合したものを用いることも
てきる。尚、これら溶剤は、パターン露光後の樹脂組成
物の現像液として用いることもてきる。

尚、本発明における樹脂硬化膜形成用の活性エネルギー
線硬化型樹脂組成物には、上記光重合開始剤あるいは溶
剤の他、例えば縮合架橋の触媒、熱重合禁止剤、着色剤
（染料及び顔料）、微粒子状充填剤、密着促進剤、可塑
剤等の添加物を必要に応じて含有させることかできる。

縮合架橋触媒としては、パラトルエンスルホン酸に代表
されるスルホン酸、ギ酸などのカルボン酸等が挙げられ
る。熱重合禁止剤としては、ハイドロキノンおよびその
誘導体、バラメトキシフェノール、フェノチアジン等が
挙げられる０着色剤としては、油溶憔染料及び顔料が活
性エネルギー線の透過を実質的に防げない範囲で添加さ
れ得る。充填剤は、塗膜の硬度上昇、着色、と着性、機
械的強度上昇のため′（こ、塗料一般で使用される体質
顔料、プラスチック微粒子等が用いられる。

田着促進剤としては、無機質表面改質剤としてのシラン
カップリング剤、低分子界面活性剤が何効である。

以上のような組成からなる樹脂組成物を活性エネルギー
線によって硬化させて、本発明の記録ヘッドの有する樹
脂硬化膜３日が形成される。

以下、樹脂硬化膜３Ｈ形成用の樹脂組成物としてドライ
フィルムタイプのもを用いた場合を一例として、図面を
用いて本発明の液体噴射記録ヘッドの製造方法を詳細に
説明する。

第２図〜第６図は、本発明の液体噴射記録ヘッドの製作
手順を説明するための模式図である。

本発明の液体噴射記録ヘッドを形成するには、まず、第
２図に示すように、ガラス、セラミック、プラスチック
あるいは金属等の基板１上に発熱素子やピエゾ素子等の
吐出エネルギー発生素子２が所望の個数配薗される。尚
、必要に応じて記録用液体に対する耐性、電気絶縁性等
を基板１表面に付与する目的で、該表面に５ｉ０２、Ｔ
ａ２０５、ガラス等の保護層を被覆してもよい。また、
吐出エネルギー発生素子２には、図示されていないが、
記録信号入力用電極が接続してある。

次に、第２図の工程を経で得られた基板１の表面を清浄
化すると共に例えば８０〜１５０℃で乾燥させた後、第
３図（ａ）及び第３図（ｂ）に示したようにドライフィ
ルムタイプ（膜厚、約２５ｕ〜１００μｓ）の前述した
活′ｉエネルギー線硬化型樹脂組成物３を、４０〜１５
０°Ｃ程度に加温して、例えば０．５〜０．４　ｆ／ｍ
ｉｎ、の速度、１〜３にｇ／ｃｍ３の加圧条件下で基板
面ＩＡ上にラミネートする。

続いて、第４図に示すように、基板面ＩＡ上に設けたド
ライフィルム層３土に、活性エネルギー線を透過しない
所定の形状のパターン４Ｐを有するフォトマスク４を重
ね合わせた後、このフォトマスク４の上部から露光を行
なう。

なお、フォトマスク４と基板１どの位置合わせは、露光
、現像処理等の工程を経て、最終的に形成される液体通
路領域中に上記素子２が位置するように行なわれ、例え
ば、位置合せマークを、基板１とマスク４のそれぞれに
予め描いておき、そのマークに従って位置合わせする方
法等によって実施できる。

このように露光を行うと、前記パターンに覆われた領域
以外、すなわちドライフィルム層３の露光された部分か
重合硬化し、露光されなかった部分が、溶剤可溶性のま
まであるのに対して溶剤不溶性となる。

このパターン露光に用いる活性エネルギー線としては、
既に広く実用化されている紫外線あるいは電子線などが
挙げられる。紫外線光源としては、波長２５０ｎｍ〜４
５０ｎｍの光を多く含む高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メ
タルハライドランプ等が挙げられ、実用的に許容される
ランブー被照射物間の距離において３６５ｎｍの近傍の
光の強度が１　ｍＷ／ｃｍ’〜Ｉ００ｍＷ／　ｃｍ’程
度のものが好ましい。電子線照射装置とじては、特に限
定はないが、０．５〜２０　Ｍ　Ｒａｄの範囲の線量を
有する装置が実用的に適している。

ドライフィルム層３のパターン露光を終了したら、次に
、露光済みのドライフィルム３を、例えば１．１．１−
トリクロールエタン等の揮発性有機溶剤中に浸漬するな
どして現像処理し、溶剤可溶性であるドライフィルム層
３の未重合（未硬化）部分を基板１上から溶解除去し、
第５図（ａ）および第５図（ｂ）に示すように基板１上
に残存した樹脂硬化膜３Ｈによって最終的に液体通路６
−２及び液室６−１となる溝を形成する。

次に、基板１上の硬化樹脂膜３Ｈを、例えば１００℃で
５〜１０分程度更に加熱して熱重合させる。

なお、本例の記録へ・ンドにおいては、液体通路６−２
及び液室６−１となる溝の形成に、ドライフィルムタイ
プの樹脂組成物、つまり固体状のものを使用した例につ
いて説明しているが、本発明の記録ヘッドの形成に際し
て使用できる活性エネルキー線硬化型樹脂組成物として
は、固体状のもののみに限られるものではなく、液状の
ものももちろん使用可能である。

基板上に液状の樹脂組成物を用いて該組成物からなる層
を形成する方法としては、例えばレリーフ画像の作製時
に用いられるスキージによる方法、すなわち所望の樹脂
組成物の塗膜の厚さに相当した高ざの壁を基板の周囲に
設け、スキージによって余分な樹脂組成物を除去する方
法等を挙げることかできる。この場合、樹脂組成物の粘
度は、１００ｃｐ〜３０００ｃｐか適当である。また、
基板の周囲に貫く壁の高さは、感光性樹脂組成物の含有
する溶剤分の蒸発による減量分を見込んで決定する必要
がある。

また、固体状の樹脂組成物を用いる場合には、前記のよ
うにドライフィルムを基板上に加熱圧着して貼着する方
法等か好適である。

しかしながら、本発明の記録ヘッドを形成するに際して
は、取扱い上で、あるいは厚さの制御が容易かつ正確に
てきる点に於いで、固体状のフィルムタイプのものか便
利である。

このようにして、樹脂硬化膜３Ｈによって最終的に液体
通路６−２及び液室６−１ヲ構成する溝を形成した後、
第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示すように、溝の覆い
となる平板７を樹脂硬化膜３Ｈ上に接合し、接合体を形
成する。

第６図（ａ）及び第６図（ｂ）に示した工程に於いで、
でい７を付設する具体的な方法としては、例えばガラス
、セラミック、金属、プラスチック等の平板７にエポキ
シ樹脂系接着剤を厚さ３〜４ｕ＋にスピンコードした後
、予備加熱して接着剤層を、いわゆるＢステージ化させ
、これを硬化したドライフィルム３Ｈ上に貼り合わせた
後前記接着剤層を、本硬化させる等の方法があるが、ア
クリル系樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリエチレン等の熱可塑性
樹脂の平板７を樹脂硬化膜３日上に、直接、熱融＠させ
る等の接着剤を使用しない方法でも良い。

また、覆い７の液体通路と接合する側に、本発明におけ
る樹脂硬化膜形成用の樹脂組成物からなる樹脂層を設け
、これを液体通路を形成した樹脂硬化膜３日と熱融着さ
せ、しかる後に活性エネルギー線を照射して加熱すると
いう方法、すなわち本発明における樹脂硬化膜形成用の
樹脂組成物を接着剤として用いる方法も好ましい。

尚、第６図に於いて、６−１は液室、６−２は液体通路
、８は液室６−１に不図示の記録ヘッド外部から内部へ
記録用液体を供給するための供給管（不図示）を連結す
るための貫通孔を示す。

このようにして、基板１上に設けられた樹脂硬化膜３Ｈ
と平板７との接合が完了した後、この接合体を第６図（
ａ）及び第６図（ｂ）に示した液体通路６−２の下流側
にあたるＣ−Ｃ′に添って切削して、切削面に於ける液
体通路の開口部である、記録用液体を吐出するためのオ
リフィスを形成する。

この工程は、吐出エネルギー発生素子２とオリフィス９
との間隔を適正化するために行なうものであり、ここで
切削する領域は適宜選択される。

この切削に際しては、半導体工業で通常採用されでいる
ダイシング法等を採用することができる。

なお、本発明でいう液体通路下流部とは、記録ヘットを
用いて記録を行なっている際の記録用液体の流れ方向に
於ける下流領域、具体的には、吐出エネルギー発生素子
２の設置位置よつ下流の液体通路の部分を言う。

切削が終了したところで、切削面を研磨して平滑化し、
貫通孔８に供給管１０を取付けで第１図に示したような
液体噴射記録ヘッドを完成する。

なお、以上に説明した記録ヘッドに於いては、液体通路
６−２と液室６−１か樹脂硬化膜３Ｈによって一体成形
されでいるが、本発明の記録ヘッドはこのような構造に
限定されるものではなく、液体通路と液室を別々に成形
したものでもよい。しかしながら、何れの構造を取る場
合においても、本発明の記録ヘッドは、液体通路を形成
する樹脂の少なくとも一部が、先に挙げた活性エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物を用いて形成されたものである。

（発明の効果） 本発明の液体噴射記録ヘッドは、該ヘッドの構成部材で
ある活′ｉエネルギー線硬化型樹脂組成物として、該組
成物に必須成分として含何されるエチレン性不飽和結合
を有する単量体によって主に付与されるパターン形成材
料としての優れた感度と解像度を有するものを用いたも
のであり、該樹脂組成物を用いることにより、寸法精度
に優れた液体噴射記録ヘットを歩留り良く得ることが可
能になった。また、本発明に用いる樹脂組成物は、主に
必須成分としての熱架橋性線状共重合高分子によって付
与される優れた基板との密着性、機械的強度および耐薬
８往をも有してあり、該組成物を用いることによって長
期の耐久性を有する記録ヘッドを得ることも可能になっ
た。

（実施例） 以下、合成例および実施例により本発明を更に詳細に説
明する。

合成例 メチルメタアクリレートとＮ−メチロールアクリルアミ
ドとニラソーキュアＵＭ−Ｉ　Ｍ峠とをメチルセロソル
ブ中、（メチルメタアクリレート／Ｎ−メチロールアク
リルアミド／ニラソーキュアＵ　Ｍ　−Ｉ　Ｍ　＝　５
０／２５／２５モル比）の割合で溶液重合し、重量平均
分子量５．７ＸＩ０４の熱架橋性を有する線状高分子（
これ７ｊＰ−１とする）を得た。

寧１：新日槽化工（ａ）の製品名で ＣＨ３ ＣＨ７・Ｃ Ｃ０Ｏ−ＣＨｚＣＨ２−０−ＣＯＮＨ−（ＣＨ２ｈ　Ｃ
Ｈ３の構造を有するモノマーである。

この線状高分子Ｐ−１を用い下記組成の活′荘エネルギ
ー線硬化型樹脂組成物を調整した。

Ｐ−１１００重量部 ライトエステル３００２Ｍ本２　　　　９０　〃ペンタ
エリスリトールトリアクリレート６０〃 ベンゾフェノン　　　　　　　　　　　９〃ミヒラーの
ケトン　　　　　　　　　３〃パラトルエンスルホン酸
２．５１１ クリスタルバイオレツト　　　　　　０．５／／メチル
セロソルブ　　　　　　　　　２５０〃京２：共末社油
脂化学工業（株）製のエポキシ樹月旨のメタク１ノル酸
エステル 次いて、上記樹脂組成物ヲ１６μｍのポリエチレンテレ
フタレートフィルムにワイアーバーで塗布し１００°Ｃ
で２０分乾燥することにより、膜厚７５間の樹脂組成物
層を有する本発明に係わるドライフィルムを作成した。

実施例 合成例で製造したドライフィルムを用い、先に明細書中
で説明した第１図〜第６図の工程に従って、吐出エネル
ギー発生素子として発熱素子［ハフニウムポライド（Ｈ
ｆＢ２）　］　１０個のオリフィス（オリフィス寸法ニ
ア５μｍ　ｘ　５０間、ピッチ０．１２５ｍｍ）を有す
るオンデマンド型液体噴射記録ヘッドの作成を以下のよ
うにして実施した。尚、記録ヘッドは、同形状のものを
各３０個宛試作した。

、まず、シリコンからなる基板上に発熱素子の複数を所
定の位置に配設し、これらに記録信号印加用電極を接続
した。

次に、発熱素子か配設された基板面上に保護膜としての
５ｉ０２層（厚ざ１．ＯμＡ）を設け、保護層の表面を
清浄化すると共に乾燥ざぜた後、保護層に重ねて、８０
°Ｃに加温された合成例に示した膜厚７５μｍのドライ
フィルムを０．４　ｆ　／ｍｉｎ、の速度、１　Ｋ９／
　ｃｍ３の加圧条件下でラミネートした。

続いて、基板面上に設けたドライフィルム上に、液体通
路及び液室の形状に対応したパターンを萄するフォトマ
スクを重ね合わせ、最終的に形成される液体通路中に上
記素子が設けられるように位置合ぜを行なった後、この
フォトマスクのよ部から１２　ｍＷ／ｃｍ２の強度の紫
外線を用いて３０秒間　　　・ドライフィルムを露光し
た。

次に、露光済みのドライフィルムを、ｌ、　ｌ、　１−
トリクロルエタン中に浸漬して現像処理し、ドライフィ
ルムの未重合（未硬化）部分を基板上から溶解除去して
、基板上に残存した硬化ドライフィルム膜によって最終
的に液体通路及び液室となる溝を形成した。

現像処理を終了した後、基板上の硬化ドライフィルム膜
を、１５０℃で１時間加熱し、更に、これに５０　ｍＷ
／ｃｍ２の強度の紫外線を２分間照射して更に硬化させ
た。

このようにして、硬化ドライフィルム膜によって液体通
路及び液室となる溝を基板上に形成した後、形成した溝
のでいとなるソーダガラスからなる貫通孔の設けられた
平板にエポキシ系樹脂接着剤を厚さ３μ］にスピンニー
トした後、予備加熱してＢステージ化させ、これを硬化
したドライフィルム上に貼り合わせ、更に、接着剤を本
硬化させて接着固定し、接合体を形成した。

続いて、接合体の液体通路の下流側、すなわち吐出二ネ
ルキー発生素子の設置位置から下流側へ０．１５０　ｍ
ｍのところを液体通路に対して垂直に、市販のグイシン
グ・ソー（商品名、　ＤＡＣ２Ｈ／６型、ＤＩＳＣＯ社
製）を用いて切削し、記録用液体を吐出するためのオリ
フィスを形成した。

最後に、切削面を洗浄したのち乾燥させ、更に、切削面
を研磨して平滑化し、貫通孔に記録用液体の供給管を取
付けて液体噴射記録ヘッドを完成した。得られた記録ヘ
ッドは、何れもマスクパターンを忠実に再現した液体通
路及び液室を有する寸法精度に優れたものであった。ち
なみに、オリフィス寸法は、５０±５μｍ、オリフィス
ピッチは、　１２５±５μｍの範囲にあった。

このようにして試作した記録ヘッドの品質及び長期使用
に際しての耐久性を以下のようにして試験した。

ます、得られた記録ヘッドについで、次の各組成からな
る記録用液体中に、６０°Ｃで１０００時間浸漬処理（
記録ヘッドの長期使用時に匹敵する環境条件）する耐久
試験を実施した。

記録用液体成分 １）Ｈ２Ｏ／エチレングリコール／ポリエチレングリコ
ール２００”／Ｃ，１，ダイレクトブラック＋５４　” （・６０／３０１５１５重量部）　　　　　　ｐＨ＝８
．０２）Ｈ２Ｏ／エチレングリコール／Ｃ，１，ダイレ
クトブラック１５４ （・５５／４０／５重量部）　　　　　　ｐＨ＝９．０
３）Ｈ２Ｏ／ジエチレングリコール／Ｎ−メチル−２−
ピロリドン／Ｃ，１，ダイレクトブラック１５４（・５
５／３０／　Ｉ　０１５重量部）　　　　ｐＨ＝７．０
４）Ｈ２０／ジエチレングリコール／１．３−ジメチル
−２−イミダゾリジノン／Ｃ，１，ダイレクトブルー８
６′２ （・５７／３０／１０／３重量部）　　　　ｐＨ＝１０
．０尚、注）′１〜′２は水溶′注染料であり、ｐＨの
調整にはカセイソーダを用いた。

各記録用液体について、それぞれ記録ヘッド各５個を耐
久試験に供した。

耐久試験後、該試験を実施した各ヘッドにつき基板及び
覆いと硬化ドライフィルム膜の接合状態、を観察した結
果、すべての記録ヘッドにおいで剥離や損傷は全く認め
られず、良好なと着性を示していた。

次いでこれとは別に、得られた記録ヘッドの１０個につ
いで、各ヘッドを記録装百に取付け、前記の記録用液体
を用いて１０日パルスの記録信号を１４時間連続的に記
録ヘッドに印加して印字を行なう印字試験を実施した。

何れの記録ヘッドに関しても、印字開始直後と１４時間
経過後において、記録用液体の吐出′性能及び印字状態
共に性能の低下か殆ど認められす、耐久性に優れた記録
ヘッドであった。

比較例 膜厚７５−の市販のドライフィルムＶａｃｒｅｌ　（ド
ライフィルムソルダーマスクの商品名、デュポンド・ネ
モアース■製）、および膜厚５０μｍの市販のドライフ
ィルムＰｈｏｔｅｃ　５Ｒ−３０００（商品名、日立化
成工業■製）を用いる以外は実施例と同様にして、記録
ヘッドを作成した。

これらの記録ヘッドについで、実施例と同様の耐久試験
を実施した。

耐久試験の経過中、ドライフィルムとしてＶａｃｒｅｌ
を用いた場合は、１００時間で２）および４）の記録用
液体で剥離が認められた。また、３００時間で、１）お
よび３）の記録用液体で剥離か認められた。

一方、ドライフィルムとしてＰｈｏｔｅｃ　５Ｒ−３０
００％用いた場合は、１）〜４）の各記録用液体で３０
０時間で剥離が認められた。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本発明の液体噴射記録ヘッドならびに
その製造方法を説明するための模式図である。 １：基板 ２：吐出エネルギー発生素子 ３：樹脂層 ３日：樹脂硬化膜 ４：フォトマスク ４Ｐ・マスクパターン ６−１・液室 ６−２・液体通路 ７：覆い ８：貫通孔 ９ニオリフイス １０：供給管

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）基板面に設けられ、液体の吐出口に連通する液体通
   路が、活性エネルギー線によって硬化する樹脂組成物の
   層に、該活性エネルギー線を用いた所定のパターン露光
   を為して前記樹脂組成物の硬化領域を形成し、該層から
   未硬化領域を除去して形成されている液体噴射記録ヘッ
   ドであって、前記樹脂組成物が （ｉ）共重合体構成成分として下記一般式 I で表わさ
   れるモノマー５〜３０モル％および下記一般式IIで表わ
   されるモノマー５〜５０モル％を含有する熱架橋性線状
   共重合高分子と、 ▲数式、化学式、表等があります▼−−−（ I ） ▲数式、化学式、表等があります▼−−−（II） （ただし、Ｒ＾１は水素または炭素原子数が１〜３のア
   ルキルもしくはヒドロキシアルキル基、Ｒ＾２は水素ま
   たは炭素原子数が１〜４のヒドロキシ基を有してもよい
   アルキルもしくはアシル基、Ｒ＾３は水素または炭素原
   子数が１〜３のアルキル基、Ｒ＾４はその内部にエーテ
   ル結合を有してもよく、且つハロゲン原子で置換されて
   もよい２価の炭化水素基、Ｒ＾５は炭素原子数が３〜１
   ２のアルキルもしくはフェニルアルキル基またはフェニ
   ル基を表わす。） （ｉｉ）エチレン性不飽和結合を有する単量体とを有し
   てなるものであることを特徴とする液体噴射記録ヘッド
   。 ２）前記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物が前記（ｉ
   ）の熱架橋性共重合高分子２０〜８０重量部、および前
   記（ｉｉ）のエチレン性不飽和結合を有する単量体８０
   〜２０重量部を含有するものである特許請求の範囲第１
   項に記載の液体噴射記録ヘッド。 ３）前記活性エネルギー線硬化型樹脂組成物が前記（ｉ
   ）の熱架橋性共重合高分子及び前記（ｉｉ）のエチレン
   性不飽和結合を有する単量体の合計量１００重量部に対
   して、０．１〜２０重量％の光重合開始剤を配合して成
   るものである特許請求の範囲第１項または第２項に記載
   の液体噴射記録ヘッド。