DE3111356C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf den Oberbegriff des Anspruchs 1
(Verfahren) bzw. den Oberbegriff des Anspruchs 8 (Vorrichtung).
Dieser Stand der Technik ist bekanntgeworden durch die US-PS
40 82 463. Dort wird die Dauer der Unterbrechung durch das
Objekt verglichen mit der Dauer des Durchgangs des Lichtstrahls
durch ein das Meßfeld bestimmendes Fenster. Die zu erfassende
Dimension des Objekts verhält sich hierbei zur Dimension der
Fensteröffnung wie die Dauer der Unterbrechung des Lichtstrahls
durch das Objekt zur Dauer des Durchgangs des Lichtstrahls durch
das Meßfeld, d. h. von Fensterkante zu Fensterkante. Fehler, die
sich bei dieser Meßart aus einer nichtkonstanten Durchlaufgeschwindigkeit
des Lichtstrahls durch das Meßfeld ergeben können,
werden hierbei dadurch kompensiert, daß bei der Herstellung
des Meßgerätes ein grobes Raster in das Meßfeld gebracht
wird, mittels welchem Eichwerte gespeichert werden. Für Meßwerte
zwischen den Eichwerten ist eine Interpolation erforderlich.
Dieses bekannte Meßverfahren bietet nur beschränkte Möglichkeiten
zur Erfassung und Verarbeitung von Meßwerten, weil
bei jedem Strahldurchgang nur nach vorgegebenen Gesichtspunkten
Daten erfaßt und verarbeitet werden.
Eine Meßwertauswertung durch Mittelwertbildung aus einer
größeren Anzahl von Einzelmessungen sowie verschiedene
Methoden zur Festlegung der Bezugsdauer sind aus Measurement
and Control, Vol. 4, April 1971, T49-T53, zu entnehmen.
Hier findet sich die Anweisung, die Zählergebnisse
mehrerer Strahldurchgänge zu speichern, aber es handelt
sich lediglich um eine direkte Addition aller Werte in
einem Speicher, d. h., jeder individuelle Meßwert geht bei
der Einspeicherung verloren, da er nur noch unbestimmbarer
Teil einer Summe ist.
Gemäß US-PS 40 97 849 werden vom Mittelwert stark abweichende
Meßwerte ausgeschieden, jedoch für sich registriert und
zu Diagnosezwecken verwendet. Dabei sollen stets nur Meßwerte
ausgeschieden werden, die sich gegenüber einem unmittelbar
vorher gemessenen Einzelwert zu stark unterscheiden. Diese
Maßnahme stößt jedoch auf Schwierigkeiten, wenn die zufälligen
Streuungen nach verschiedenen Seiten vom statistischen
Mittelwert fallen, weil dann nicht genügend Meßdaten
zur Auswertung verfügbar sind, um aus dem Rahmen fallende
Meßdaten gegenüber einem Mittelwert ausscheiden zu können.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren
der genannten Gattung zu schaffen, das ein besonders vielseitiges
Messen mit einem Minimum an Fehlerquellen gestattet,
wobei eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
optische und elektrische bzw. opto-elektrische Mittel
aufweist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des
Kennzeichnungsteils des Anspruchs 1 in Verbindung mit dessen
Oberbegriff sowie die Merkmale des Kennzeichnungsteils des
Anspruchs 8 in Verbindung mit dessen Oberbegriff gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den Merkmalen
der Ansprüche 2 bis 7 sowie 9 und 10.
Nachstehend sind bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung
mit Bezug auf die Zeichnung näher beschrieben.
Es zeigt
Fig. 1 eine Meßvorrichtung,
Fig. 2 eine Prinzipschaltung zur Meßvorrichtung nach Fig. 1,
Fig. 3 ein Diagramm zur Vorrichtung nach Fig. 2,
Fig. 4 ein Diagramm zur Erläuterung der Messung durchsichtiger
Objekte.
Die Vorrichtung gemäß Fig. 1 weist eine Optik auf, die aus
teils an sich bekannten Elementen besteht. Aus einer schematisch
angedeuteten Quelle 1 wird ein scharf gebündelter Lichtstrahl,
etwa ein Laserstrahl, 2 auf einen mit konstanter Drehzahl
antreibbaren, achtkantigen Spiegel 3 geworfen. Der reflektierte
Laserstrahl gelangt durch eine Optik mit einer
Linse 5 zur Meßstelle, in der der Strahldurchgang durch eine
Blende oder ein Fenster mit Begrenzungselementen 6 durchtritt.
Die Optik ist so ausgelegt, daß der Strahl nach der
Linse 5 stets parallel zur optischen Achse austritt und sich
im Bereich des Fensters 6-6 von oben nach unten bewegt,
wenn der Spiegel 3 im Uhrzeigersinn rotiert, wie durch Pfeil
in Fig. 1 angedeutet. Für jede Facette des Spiegels 3 erfolgt
ein Strahldurchgang von oben nach unten, was je einer
Messung entspricht. Im Meßberich liegt beim dargestellten
Beispiel ein Meßobjekt 8, wie ein quer zur optischen Achse
durchlaufendes Kabel, ein Draht, ein Rohr od. dgl., dessen
Außendurchmesser zu bestimmen ist. Nach der Meßstelle befindet
sich eine Sammellinse 9, die den Laserstrahl auf eine
Photozelle 10 fokussiert. Die Photozelle erzeugt ein Ausgangssignal
E gemäß Fig. 3, das 0 oder tief ist, wenn der
Strahl durch die Fensterelemente 6 oder das Meßobjekt 8 abgeschirmt
ist, und das I oder hoch ist, wenn der Laserstrahl
durchtreten kann.
Es treten, wie Fig. 3 zeigt, periodisch je zwei Impulse auf,
wobei die Impulse mit dem Eintritt des Lichtstrahls in das Fenster
6-6 beginnen und mit seinem Austritt enden und wobei die
Lücke zwischen den zwei Impulsen der Abschirmung des Strahls
durch das Objekt 8 entspricht. Die Ausführungsform nach Fig. 1
und 2 weist eine digitale Auswertungsschaltung mit einem Mikroprozessor
auf. Auf der Eintrittseite des Lichtstrahls ist eine
einzige Photozelle 22 angeordnet, deren Signal z. B. als zeitliche
Referenzmarke für jedes Auf- und Abblenden des Lichtstrahls
im Fenster 6-6 dient.
Wie Fig. 2 zeigt, ist der Mikroprozessor 23 über einen Datenbus
24 und einen Adreßbus 25 mit weiteren Schaltungsteilen verbunden.
Das Eingangssignal E von der Photozelle 10 gelangt an eine Logikschaltung
36 mit einem Differentiator, der auf ansteigende und abfallende
Impulsflanken anspricht, einer Adreßzählersteuerung und
weitere Steuerkreise. Dieser Logik wird auch ein Signal eines
Gebers 3′′ zugeführt, welches durch einen mit dem Spiegel 3 mitdrehenden
Zerhacker oder Chopper, bestehend aus einer gezahnten
Scheibe 3′ mit acht Zähnen entsprechend den acht Spiegelflächen,
erzeugt wird. Der Oszillator 30 speist den Zähler 29 dauernd, und
dieser zählt laufend weiter, wobei sein Zählerstand jeweils durch
den Zwischenspeicher (Latch) 28 in den Speicher 27 übergeführt
wird. Der Oszillator arbeitet beispielsweise bei einer Frequenz
von 18 MHz und der Zähler 29 weist eine hohe Zählkapazität von
beispielsweise 24 Bit auf. Der Übertrag des Zählerstandes in
den Speicher 27 wird durch die Logik 36 in unten beschriebener
Weise gesteuert. Die Schaltung weist ferner einen Adreßzähler
35 auf, der mit dem Speicher 27 und über Schaltungen 37 und 38
mit dem Datenbus 24 und dem Adreßbus 25 verbunden ist.
Ein Festspeicher 31 bestimmt den Programmablauf, und er dient
außerdem der Speicherung von Korrekturdaten an hierzu bestimmten
Adressen. Ein Aktivspeicher 32 dient dem Prozessor
als Arbeitsspeicher für alle zu verarbeitenden Daten. Eine
Eingangs-Ausgangseinheit 33 vermittelt die Meßwerte an die
Anzeige 34.
Die Ansteuerung des Speichers 32 erfolgt über ein Tor 39 entweder
im DMA (direct Memory Access)-Betrieb durch die Logik 36
oder während der Meßwertverarbeitung vom Mikroprozessor (CPU) 23.
Fig. 3 zeigt die Eingangssignale, nämlich das Meßsignal E, das
im Zeitpunkt No entsprechend dem in das Fenster 6 eintretenden
Lichtstrahls von 0 auf I geht, dann während eines ersten Durchgangs
durch das Objekt bzw. den Prüfling während der Zeit P 1 auf
0 geht und wieder auf I geht, solange der Lichtstrahl zwischen
dem Objekt und seinem Austritt aus dem Fenster 6 die Photozelle
10 beleuchtet. In dieser Weise werden mehrere Meßperioden durchlaufen,
wobei acht Meßperioden mit den Meßimpulsen P 1 bis P 8 je
einem Meßzyklus bzw. einem Umlauf des Spiegels 3 entsprechen.
Fig. 3 zeigt auch das Signal C des Zerhackers oder Choppers sowie
ein von der Logik 36 an den Mikroprozessor (CPU) 23 übertragenes
Signal C′, welches aus einer Teilung des Zerhackersignals durch
8 hervorgeht. Bei allen Impulsflanken des Signals E, also bei jedem
Auf- oder Abblenden des Lichtstrahls, wird der momentane Zählerstand
des Zählers 29 im Speicher 27 gespeichert und steht dort
als Meßwert zur Verfügung. Kurz nach Auftreten der Flanke C′′
nach je acht Messungen bzw. am Ende eines Meßzyklus
wird der Mikroprozessor stillgelegt, und die Schaltung arbeitet
im DMA (direct Memory Access)-Betrieb weiter. Sämtliche Werte
im Speicher 27 werden hierbei in den Speicher 32 überführt. Ist
dieser Transfer abgeschlossen, wird die Logik auf Meßbetrieb
und der Mikroprozessor 23 auf Programm umgeschaltet. Da die DMA-
Logik direkten Zugriff zu den beiden Speichern 27 und 32 hat, kann
das Übertragen der Werte in der Größenordnung von msec erfolgen,
was beim Ausführungsbeispiel im Zeitraum zwischen zwei aufeinanderfolgenden
Meßzyklen geschehen kann, wie in Fig. 3 angedeutet.
Während der neue Meßzyklus beginnt und neue Daten in den Speicher
27 eingelesen werden, erfolgt getrennt davon die Auswertung
gemäß einem im Speicher 31 vorhandenen Programm und wird dann
über die Ausgangsschaltung 33 zur Anzeige gebracht. Das Programm
ist veränderbar und kann somit nach beliebigen Gesichtspunkten
gewählt werden, so zum Beispiel für die Messung mehrerer Objekte
im Meßfeld, in welchem Fall die Auswertung leicht so programmiert
werden kann, daß je eine oder mehrere Zeitspannen oder
-dauern erfaßt werden, während welcher der Lichtstrahl durch ein
bestimmtes Objekt ausgeblendet ist und die Dimension dieses
Objekts in der beschriebenen Weise durch Vergleich dieser Dauer
bzw. einer Summe von Dauern mit der Zyklusdauer bestimmt wird.
Fig. 4 zeigt eine Möglichkeit zur Messung zylindrischer, durchsichtiger
Objekte, beispielsweise von Kunststoffschläuchen für
medizinische Zwecke. Das Signal E weist beim Eintritt des Lichtstrahls
in das Fenster 6 die ansteigende Flanke No auf, wie beschrieben.
Beim Eintritt des Lichtstrahls in das durchsichtige
Objekt erfolgt Totalreflexion des Lichtstrahls nach außen, womit
kein Licht mehr zur Photozelle 10 gelangt und eine erste absteigende
Flanke N 1 des Signals auftritt. Es erfolgen dann, besonders
bei hohlen Objekten, mehrere Phasen von Lichtdurchgang und Reflexion,
was durch mehrere Signalflanken dargestellt ist. Im Zeitpunkt
Nx tritt der Lichtstrahl aus dem Objekt aus. Eine besondere
Schaltung in der Logik 36 ist hierbei wirksam und sorgt dafür,
daß die Daten für die Zeitpunkte No und N 1 sogleich in den
Speicher 27 überführt werden. Die Daten für die folgenden Zeitpunkte
bzw. Flanken N 2 bis N (x-1) gelangen nur zum Zwischenspeicher
28 und werden dort stets neu überschrieben, d. h.,
es ist nur je der zuletzt aufgetretene Zeitpunkt gespeichert.
Beim Auftreten der absteigenden Chopperflanke wird dann der zuletzt
eingelesene Wert, der dem Zeitpunkt Nx entspricht, in den
Speicher 27 übertragen und steht dort zur weiteren Verarbeitung
zur Verfügung.
Im vorliegenden Fall wird angenommen, es erfolge je eine Messung
während eines Meßzyklus, d. h., die zu erfassende Dimension
des Objekts ergäbe sich aus den folgenden Dauern:
Mit anderen Worten ergibt sich die gesuchte Dimension D des Objekts
aus dem Verhältnis zwischen der Summe der Dauern der
Durchgänge des Lichtstrahls über das Objekt und der Dauer einer
Umdrehung des Spiegels 3. Es wird also ein Mittelwert aus
acht Einzelmessungen gebildet. Dabei wird die Messung unabhängig
von der Drehzahl des Spiegels sowie Drehzahlschwankungen und
geometrische Ungenauigkeiten des Spiegels wirken sich nicht aus,
weil mehrere Einzelmessungen gemittelt werden. Die laufende
Erfassung von Einzelmeßwerten gestattet jedoch auch jede andere
Auswertung oder zusätzliche Maßnahme mittels des Programms des
Mikroprozessors. Man kann also jederzeit auch Einzelmessungen
erfassen und bewerten. Es ist dabei möglich, die Differenz
zwischen einem maximalen und minimalen Meßwert zu bilden und
dann eine Messung zu eliminieren, wenn diese Differenz, bezogen
auf den Maximalwert oder bezogen auf den Mittelwert, größer
als beispielsweise 10% ist. Man kann ferner Messungen eliminieren,
die während eines Zyklus ermittelt wurden, während welchem
die Anzahl von Flanken im Signal E nicht ein ganzes Vielfaches
von 8 ist. Es kann ein Zähler vorgesehen sein, der jede als ungültig
ausgeschiedene Messung sowie die gültigen Messungen
registriert und damit eine Diagnose der Meßvorrichtung erlaubt.
Es ist weiter möglich, eine Linearisierung in einfacher Weise
zu realisieren. Ist die Linse 5 nicht in der Weise korrigiert,
daß sich bei konstanter Drehzahl des Spiegels 3 eine konstante
Durchlaufgeschwindigkeit des Lichtstrahls durch das Meßfeld
zwischen den Kanten des Fensters 6 ergibt, ist eine Korrektur
bzw. Eichung erforderlich. Diese Eichung kann in der
Weise erfolgen, daß zu allen Meßwerten, die im Speicher 27 in
Form von Impulszahlen des Oszillators 30 vorliegen, entsprechend
korrigiert zugeordnete Zahlen in einem besonderen Speicher enthalten
sind. Das Abspeichern dieser zugeordneten Zahlen oder
Eichwerte kann auf verschiedene Weise erfolgen. Man kann experimentell
für verschiedenste Stellen des Meßfeldes die Impulszahlen
ermitteln und abspeichern. Vorzugsweise wird jedoch eine
Eichung oder Korrektur gestützt auf einen bekannten mathematischen
Zusammenhang zwischen dem Einfallswinkel des Lichtstrahls
in die Linse 5 und dem Abstand des Lichtstrahls im Meßfeld
von der optischen Achse vorgenommen. Für eine bestimmte
Optik und einen bestimmten Ablenkspiegel ergibt sich eine bestimmte
mathematische Funktion, die berücksichtigt werden kann.
Für gleichartige Linsen, bei denen grundsätzlich die gleiche
Funktion zugeordnet ist, bedarf es dann noch einer Wertung
durch Eingabe von Kennwerten oder Konstanten K zur Berücksichtigung
der Krümmung der Funktion bzw. der Abweichung
von einem linearen Verlauf. Gemäß diesem mathematischen Zusammenhang
kann nun auch ein Eichspeicher erstellt werden oder es
kann dem Mikroprozessor ein Rechenprogramm erstellt werden, welches
laufend die ermittelten Meßwerte dem mathematischen Zusammenhang
entsprechend umrechnet. Diese hier erwähnten Arten der
Eichung oder Korrektur auf Grund mathematischer Zusammenhänge
können am bestehenden Gerät auch bei der Wartung einfach angepaßt
werden. Muß zum Beispiel eine Optik ausgewechselt werden,
können die ihr zugeordneten Kennwerte eingegeben werden. Bei der
eingangs beschriebenen, bekannten Ausführung mit Eichraster ist
eine aufwendige Eichlogik erforderlich, die nicht ins Meßgerät
integriert ist und eine Eichung außerhalb des Herstellerwerks
erheblich erschwert.
Claims (10)
1. Verfahren zur berührungslosen Messung einer Dimension mindestens
eines Objekts, wobei ein scharf gebündelter Lichtstrahl
wiederholt in Richtung der zu messenden Dimension des
Objekts abgelenkt und die Zeitpunkte der Ab- und Aufblendung
des Lichtstrahls beim jeweiligen Eintritt des Lichtstrahls
in das Objekt und beim jeweiligen Austritt aus dem Objekt erfaßt
und aus dem Verhältnis einer Bezugsdauer und der Durchlaufzeit
durch das Objekt auf die Dimension des Objekts geschlossen
wird, wobei in einem Rechner Meßwertkorrekturen
durchführbar sind, gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte:
- a) - Speicherung eines Meßdatums für jedes Auf- und Abblenden des Lichtstrahls bezüglich einer Referenzmarke;
- b) - nach Ablauf einer bestimmten Anzahl von Strahldurchgängen unverändertes Umspeichern aller gespeicherten Einzeldaten in einen Arbeitsspeicher;
- c) - Auswertung der umgespeicherten Einzeldaten während eines weiteren Meßzyklus.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Strahlablenkung mittels
eines mehreckigen rotierenden Spiegels (3) erzeugt wird,
dadurch gekennzeichnet, daß als Bezugsdauer die Zeitspanne
zwischen zwei aufeinanderfolgenden Durchgängen des Strahls an
einer bestimmten Stelle oder die Umlaufzeit (C₀′′-C₁′′) des Spiegels
(3) zugrundegelegt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß einzelne, von einem ermittelten Mittelwert
stark abweichende Meßresultate ausgeschieden werden.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
daß man Meßresultate ausscheidet, die sich
aus einer Anzahl von Meßdaten ergeben, die nicht ein ganzes
Vielfaches der Anzahl von Spiegelflächen des mehreckigen
Spiegels (3) sind.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Zahl von Fehlmessungen registriert
und zur Diagnose der Anlage herangezogen wird.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet,
daß die Korrektur der Meßdaten aufgrund des
mathematischen Zusammenhangs zwischen dem Einfallwinkel
des Lichtstrahls in die Optik (5) und dem Abstand des aus
der Optik austretenden Lichtstrahls von der optischen Achse
vorgenommen wird.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß
zu den Meßdaten Korrekturdaten gespeichert werden, die bei
der Messung aus dem Speicher ausgelesen werden.
8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem
der Ansprüche 1 bis 7, mit einem optischen Fenster (6), in
dessen Bereich das Objekt (8) zur Ermittlung einer seiner
Dimensionen einbringbar ist, mit einer Einrichtung (3) zur
wiederholten Ablenkung eines scharf gebündelten Lichtstrahls
(2) durch das Fenster in Richtung der zu messenden Dimensionen
des Objekts, einem opto-elektrischen Wandler (10), auf welchen
der Lichtstrahl (2) gelenkt wird und welcher ein Meßsignal
(E ) entsprechend dem Durchtritt oder der Abblendung
des Lichtstrahls abgibt, einem Meß-Speicher zur Speicherung
von den Zeitpunkten des Auf- und Abblendens des Lichtstrahls
durch das Fenster und das Objekt entsprechenden Meßdaten sowie
einem Rechner zur Durchführung von Korrekturen der Meßdaten,
dadurch gekennzeichnet, daß im Meßspeicher (27) Speicherplätze
zur Abspeicherung jedes einzelnen Meßdatums bei
Auf- und Abblenden des Lichtstrahls innerhalb des Meßfensters
bei jedem Durchgang des Lichtstrahlsvorhanden sind, daß
ein Arbeitsspeicher (32) vorhanden ist, der eine entsprechende
Anzahl von Speicherplätzen aufweist zur Übernahme
aller gespeicherten Meßdaten aus dem Meßspeicher (27), wobei
die Meßdaten aus dem Meßspeicher (27) je am Ende einer
mehrere Strahldurchgänge umfassenden Meßperiode (C₀′′-C₁′′) in
den Arbeitsspeicher (32) überführbar sind, und daß die im
Arbeitsspeicher (32) gespeicherten Meßdaten während je einer
Meßperiode korrigierbar sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß
eine Referenzmarke für das Meßdatum von einer definierten
Strahlposition oder von der Ablenkeinrichtung ableitbar ist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet,
daß beim Umspeichern die DMA (direct memory access)-Technik
einsetzbar ist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH231480A CH645462A5 (de) | 1980-03-25 | 1980-03-25 | Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen messung einer dimension mindestens eines objekts. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3111356A1 DE3111356A1 (de) | 1982-03-25 |
DE3111356C2 true DE3111356C2 (de) | 1988-05-11 |
Family
ID=4230897
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19813111356 Granted DE3111356A1 (de) | 1980-03-25 | 1981-03-23 | Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen messung einer dimension |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS56150302A (de) |
AU (1) | AU538202B2 (de) |
BE (1) | BE888013A (de) |
CA (1) | CA1168437A (de) |
CH (1) | CH645462A5 (de) |
DE (1) | DE3111356A1 (de) |
ES (1) | ES8203150A1 (de) |
FR (1) | FR2479447B1 (de) |
GB (1) | GB2072840B (de) |
IT (1) | IT1135714B (de) |
ZA (1) | ZA811935B (de) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3815011A1 (de) * | 1988-04-30 | 1989-11-16 | Leybold Ag | Einrichtung zum zerstoerungsfreien messen des ohmschen widerstands duenner schichten |
DE3922320A1 (de) * | 1988-07-08 | 1990-01-11 | Beta Instr Co | Vorrichtung zur ueberwachung bzw. messung eines produktes in einer feindlichen umgebung |
DE3824820A1 (de) * | 1988-07-21 | 1990-01-25 | Gebhard Birkle | Geraet zum beruehrungslosen optischen bestimmen von geometrischen abmessungen eines objektes |
DE9013559U1 (de) * | 1990-09-27 | 1990-12-06 | Mesacon Gesellschaft für Meßtechnik mbH, 4600 Dortmund | Optisches Gerät zur Messung der Geschwindigkeit oder Länge einer bewegten Oberfläche |
DE4024849A1 (de) * | 1990-08-06 | 1992-02-13 | Horn Hannes Dr Schulze | Digitales verfahren zur ermittlung von abmessungen von gegenstaenden |
DE19516154A1 (de) * | 1995-05-03 | 1996-11-14 | Hell Ag Linotype | Vorrichtung zur Positionserfassung von rotierenden Objekten |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5937405A (ja) * | 1982-08-26 | 1984-02-29 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 光電式測定装置 |
JPS6134410A (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-18 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 光学測定装置 |
US4730116A (en) * | 1985-08-06 | 1988-03-08 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Sheet thickness measuring apparatus by optical scanning |
JPS6249202A (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-03 | Mitsutoyo Mfg Corp | 光学式測定装置 |
CH672184A5 (de) * | 1985-12-17 | 1989-10-31 | Manfred Meyer | |
CH674774A5 (de) * | 1986-04-03 | 1990-07-13 | Zumbach Electronic Ag | |
DE3713109A1 (de) * | 1987-04-16 | 1988-11-03 | Limess Licht Messtechnik Gmbh | Vorrichtung zum vermessen von werkstuecken |
KR920004750B1 (ko) * | 1988-01-19 | 1992-06-15 | 미쓰비시전기 주식회사 | 막(膜)두께 측정방법 |
DE3816322A1 (de) * | 1988-05-13 | 1989-11-23 | Udo Dr Ing Tutschke | Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen messung der aussenabmessungen von koerpern |
FR2678727A1 (fr) * | 1991-07-04 | 1993-01-08 | Tabacs & Allumettes Ind | Procede et dispositif de calibrage, en particulier de cigarettes, mettant en óoeuvre la determination du temps d'interception d'un faisceau laser. |
DE4201385A1 (de) * | 1992-01-21 | 1993-07-22 | Peter Dipl Ing Renner | Optisches messsystem |
DE102014112969A1 (de) | 2013-09-16 | 2015-03-19 | Steinfurth Mess-Systeme GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung einer Geometrie eines Behältnisses zur Verpackung eines Mediums |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1191591B (de) * | 1958-01-17 | 1965-04-22 | Licentia Gmbh | Verfahren zum fotoelektrischen Bestimmen der relativen Lage wenigstens einer Kante eines Objektes |
JPS5335569A (en) * | 1976-09-14 | 1978-04-03 | Asahi Glass Co Ltd | Method of measuring outer diameter of transparent substance |
US4097849A (en) * | 1976-09-27 | 1978-06-27 | Systems Research Laboratories, Inc. | Electronic comparator for process control |
US4082463A (en) * | 1977-01-06 | 1978-04-04 | Systems Research Laboratories, Inc. | Calibrated optical micrometer |
JPS53119079A (en) * | 1977-03-26 | 1978-10-18 | Tatsu Akutsu | Measuring method of diameter of running filamentous articles |
US4168126A (en) * | 1977-07-05 | 1979-09-18 | Altman Associates, Inc. | Electro-optical measuring system using precision light translator |
-
1980
- 1980-03-25 CH CH231480A patent/CH645462A5/de not_active IP Right Cessation
-
1981
- 1981-03-18 FR FR8105566A patent/FR2479447B1/fr not_active Expired
- 1981-03-18 CA CA000373326A patent/CA1168437A/en not_active Expired
- 1981-03-19 BE BE1/10179A patent/BE888013A/fr not_active IP Right Cessation
- 1981-03-20 AU AU68585/81A patent/AU538202B2/en not_active Ceased
- 1981-03-23 ZA ZA00811935A patent/ZA811935B/xx unknown
- 1981-03-23 DE DE19813111356 patent/DE3111356A1/de active Granted
- 1981-03-23 GB GB8108947A patent/GB2072840B/en not_active Expired
- 1981-03-24 IT IT20686/81A patent/IT1135714B/it active
- 1981-03-25 JP JP4258181A patent/JPS56150302A/ja active Pending
- 1981-03-25 ES ES500695A patent/ES8203150A1/es not_active Expired
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3815011A1 (de) * | 1988-04-30 | 1989-11-16 | Leybold Ag | Einrichtung zum zerstoerungsfreien messen des ohmschen widerstands duenner schichten |
DE3922320A1 (de) * | 1988-07-08 | 1990-01-11 | Beta Instr Co | Vorrichtung zur ueberwachung bzw. messung eines produktes in einer feindlichen umgebung |
DE3824820A1 (de) * | 1988-07-21 | 1990-01-25 | Gebhard Birkle | Geraet zum beruehrungslosen optischen bestimmen von geometrischen abmessungen eines objektes |
DE4024849A1 (de) * | 1990-08-06 | 1992-02-13 | Horn Hannes Dr Schulze | Digitales verfahren zur ermittlung von abmessungen von gegenstaenden |
DE9013559U1 (de) * | 1990-09-27 | 1990-12-06 | Mesacon Gesellschaft für Meßtechnik mbH, 4600 Dortmund | Optisches Gerät zur Messung der Geschwindigkeit oder Länge einer bewegten Oberfläche |
DE19516154A1 (de) * | 1995-05-03 | 1996-11-14 | Hell Ag Linotype | Vorrichtung zur Positionserfassung von rotierenden Objekten |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2479447B1 (fr) | 1986-06-27 |
IT8120686A0 (it) | 1981-03-24 |
DE3111356A1 (de) | 1982-03-25 |
ES500695A0 (es) | 1982-03-01 |
ES8203150A1 (es) | 1982-03-01 |
GB2072840A (en) | 1981-10-07 |
JPS56150302A (en) | 1981-11-20 |
CA1168437A (en) | 1984-06-05 |
GB2072840B (en) | 1983-11-09 |
CH645462A5 (de) | 1984-09-28 |
AU538202B2 (en) | 1984-08-02 |
FR2479447A1 (fr) | 1981-10-02 |
ZA811935B (en) | 1982-04-28 |
BE888013A (fr) | 1981-07-16 |
AU6858581A (en) | 1981-10-01 |
IT1135714B (it) | 1986-08-27 |
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