DE3713109A1 - Vorrichtung zum vermessen von werkstuecken - Google Patents
Vorrichtung zum vermessen von werkstueckenInfo
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- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Vermessen von Werk
stücken mit einem ersten Laserstrahl, einer Einrichtung zum Be
wegen des ersten Laserstrahls entlang einer ersten Abtastlinie,
zumindest einem Photosensor, auf den der bewegte Laserstrahl
auftrifft, wobei das Werkstück in der Abtastlinie angeordnet
ist und den Strahlengang des ersten Laserstrahles unterbricht,
und einem Zeitmeßgerät, das die Zeitspanne mißt, in der das
Werkstück (32) den Strahlengang des Laserstrahles unterbricht,
um daraus die Abmessungen des Werkstückes zu ermitteln.
Derartige Vorrichtungen werden am Markt angeboten. In ihrer üb
lichen Ausgestaltung weisen sie einen Helium-Neon-Laser auf,
dessen Strahl auf einen rotierenden Spiegel trifft, so daß der
scharf gebündelte Laserstrahl abgelenkt wird und periodisch ei
ne Abtastlinie durchläuft.
Hinter dem rotierenden Spiegel ist ein optisches Linsensystem
angeordnet, welches den Laserstrahl parallel ausrichtet. Im pa
rallel ausgerichteten, periodisch entlang der Abtastlinie be
wegten Laserstrahl wird das zu untersuchende Werkstück angeord
net, so daß es einen Schatten wirft. Die Abtastlinie des Laser
strahles ist länger als die zu vermessende Abmessung des Werk
stückes.
Der das Werkstück passierende Laserstrahl wird auf eine Empfän
gerlinse und einen Photosensor gerichtet. Somit kann die Dauer
der "Schattenperiode", also diejenige Zeitspanne gemessen wer
den, in welcher der Laserstrahl von einer Kante des Werkstückes
zur anderen Kante läuft. Das Ausgangssignal des Photosensors
wird ausgewertet und mit einem hochfrequenten Quarzzähler wird
die genannte Zeitspanne gemessen, aus der sich unmittelbar die
Abmessung des Werkstückes in der Abtastlinie ergibt, da die
Drehgeschwindigkeit des Drehspiegels und somit die Bewegungs
geschwindigkeit des Laserstrahles bekannt sind.
Mit der bekannten Anordnung lassen sich Werkstücke unterschied
lichster Geometrie in einfacher Weise berührungslos vermessen.
Allerdings ist die Messung auf eine Dimension beschränkt.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die vorstehend be
schriebene Vorrichtung zum Vermessen von Werkstücken derart
weiterzubilden, daß mit geringem Aufwand eine zweidimensionale
Vermessung des Werkstückes möglich ist.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch einen Strahl
teiler, der im Strahlengang hinter der Einrichtung zum Bewegen
des Laserstrahles und vor dem Werkstück angeordnet ist und aus
dem ersten Laserstrahl eine zweiten bewegten Laserstrahl ab
zweigt, zumindest ein optisches Bauteil zum Drehen des zweiten
bewegten Laserstrahles gegenüber dem ersten Laserstrahl derart,
daß eine zweite Abtastlinie erzeugt wird, die mit der ersten
Abtastlinie einen Winkel (α) bildet und zumindest ein optisches
Bauteil zum Trennen der ersten und zweiten Laserstrahlen, so
daß mittels des zumindest einen Photosensors auch die Zeit
spanne meßbar ist, in der das Werkstück den Strahlengang des
zweiten Laserstrahles unterbricht, so daß die Abmessungen des
Werkstückes in zwei Dimensionen meßbar sind.
Gemäß der Erfindung ist also keine zweite Laserstrahlquelle er
forderlich, um einen für die Messung der zweiten Dimension er
forderlichen Abtaststrahl zu erzeugen, vielmehr werden aus
einer einzigen Laserstrahlquelle zwei Laserstrahlen erzeugt,
deren Abtastlinien in einem Winkel von vorzugsweise 90° zuein
ander stehen.
Bevorzugt wird als Einrichtung zum Bewegen der ersten und zwei
ten Laserstrahlen ein Drehspiegel verwendet. Es ist aber auch
möglich, einen vibrierenden Reflektor vorzusehen.
Die Drehung der Abtastlinien der beiden Laserstrahlen zueinan
der erfolgt in einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung
durch eine Anordnung aus einem teildurchlässigen Spiegel, einem
Reflexionsspiegel und einem weiteren teildurchlässigen Spiegel,
so daß die beiden bewegten Laserstrahlen mit einem rechtwinkli
gen Koordinatensystem entsprechenden Abtastlinien auf das
Werkstück gerichtet werden. Hierdurch ist die Auswertung der
Meßsignale des Photosensors vereinfacht.
Zur Auswertung der Signale des Photosensors müssen die ersten
und zweiten Laserstrahlen getrennt werden. In einer bevorzugten
Ausgestaltung der Erfindung erfolgt die Trennung derart, daß
einer der beiden Laserstrahlen polarisiert wird, so daß die
Strahlen nach Passieren des Werkstückes mit Polarisationsfil
tern voneinander getrennt und auf unterschiedliche Photosen
soren gerichtet werden können. Die beiden Laserstrahlen können
dann getrennt, aber gleichzeitig ausgewertet werden.
Es ist auch möglich, die beiden Laserstrahlen derart zu tren
nen, daß abwechselnd jeweils einer der beiden Laserstrahlen pe
riodisch unterbrochen wird, so daß die beiden Strahlen zeitlich
versetzt auf das Werkstück treffen und am Photosensor Meßsi
gnale erzeugen. Bei einer derartigen zeitlichen Trennung der La
serstrahlen ist nur ein einziger Photosensor erforderlich.
Nachfolgend wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand
der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 schematisch eine Vorrichtung zum zweidimensionalen Ver
messen von Werkstücken;
Fig. 2 das zu vermessende Werkstück mit den Abtastlinien, und
Fig. 3 eine Fig. 2 entsprechende Darstellung, wobei die Abtast
linien in Bezug auf das Werkstück verändert sind.
Fig. 1 zeigt eine Laserstrahlquelle (10), wie einen Helium/
Neon-Laser. Der Laserstrahl ist auf einen Drehspiegel (12) ge
richtet, so daß der rotierende Drehspiegel den scharf gebün
delten Laserstrahl in Abhängigkeit von der Zeit im Raum über
eine vorgegebene Linie bewegt. Der vom Drehspiegel (12) erzeug
te Laserstrahl ist als erster Laserstrahl (14) bezeichnet und
trifft auf einen halbdurchlässigen Spiegel (16). Der erste La
serstrahl (14) ist in Fig. 1 vertikal bewegt und die vertikale
Achse ist mit (18) bezeichnet. Der halbdurchlässige Spiegel
(16) ist gemäß Fig. 1 nicht nur um die Vertikale (18) in Bezug
auf die Mittellinie des ersten Laserstrahles (14) geschwenkt,
sondern auch gegen die Mittellinie des Laserstrahles (14)
geneigt, so daß der vom halbdurchlässigen Spiegel (16) re
flektierte zweite Laserstrahl (20) nicht von der Vertikalen
(18) ausgeht, sondern von einer geneigten Grundlinie (20)o, die
gegen die Vertikale (18) geneigt ist. Auf diese Weise wird der
vom halbdurchlässigen Spiegel (16) reflektierte zweite Laser
strahl (20) gedreht, und gelangt auf einen Spiegel (22) und so
dann auf einen zweiten halbdurchlässigen Spiegel (16′). Der
erste Laserstrahl (14), von dem ca. 50% vom ersten halbdurch
lässigen Spiegel (16) abgezweigt worden sind, gelangt ungehin
dert durch die beiden halbdurchlässigen Spiegel (16, 16′).
Hinter dem zweiten halbdurchlässigen Spiegel (16′) werden die
beiden jeweils linear bewegten Laserstrahlen (14, 20) wieder
zusammengeführt, wobei ihre Bewegungsrichtungen senkrecht zu
einanderstehen und ein zentrisches Kreuz bilden. Da der zweite
bewegte Laserstrahl (20) im Vergleich mit dem ersten bewegten
Laserstrahl (14) einen längeren Laufweg hat, ist er etwas stär
ker aufgeweitet. Deshalb ist hinter dem zweiten halbdurchlässi
gen Spiegel (16′) eine Zylinderlinse (24) angeordnet, welche
den Unterschied in der Ablenkung der beiden Laserstrahlen (14,
20) von der Drehachse des Drehspiegels (12) bis zur parallel
richtenden Kollimationslinse (26) ausgleicht, damit beide
Laserstrahlen (14, 20) im Meßbereich die Abtastlinien (28, 30)
parallel durchlaufen. Die Zylinderlinse (24) gewährleistet
also, daß keine Verschiebung des Fokuspunktes erfolgt. Eine
derartige Verschiebung hätte zur Folge, daß die Abtastlinien
zueinander verschoben wären.
In Fig. 1 sind der erste Laserstrahl (14) und seine Abtastlinie
(28) mit durchgezogenen Linien gezeichnet, während der zweite
Laserstrahl (20) und seine Abtastlinie (30) gestrichelt dar
gestellt sind.
Wie in Fig. 1 bei der Linse (26) eingezeichnet ist, stehen die
beiden Abtastlinien (28) und (30) der Laserstrahlen senkrecht
zueinander, d. h. der Winkel zwischen den Abtastlinien be
trägt 90°.
Nach Passieren der Linse (26) sind beide Laserstrahlen (14, 20)
jeweils als parallele, entlang den Abtastlinien (28) bzw. (30)
bewegte, senkrecht zueinander stehende Abtast-Strahlen
ausgerichtet und treffen auf ein Werkstück (32), welches die
Strahlengänge beider Laserstrahlen (14, 20) unterbricht und
entsprechende Schatten wirft.
Die das Werkstück (32) passierenden Rest-Laserstrahlen (14′,
14′′ bzw. 20′, 20′′) treffen auf gesonderte Photosensoren (38)
bzw. (40), so daß beide Strahlen (14, 20) getrennt (aber ge
gebenenfalls gleichzeitig) ausgewertet werden können.
Die Trennung der beiden Laserstrahlen (14, 20) erfolgt in einer
ersten Variante derart, daß einer der beiden Laserstrahlen po
larisiert wird. Hierzu kann ein Polarisationsfilter im Strah
lengang des ersten Laserstrahles (14) zwischen den beiden halb
durchlässigen Spiegeln (16, 16′) angeordnet sein. Es ist auch
möglich, die beiden Strahlen mittels eines Polarisations-
Strahlteilers zu trennen.
Werden die beiden Laserstrahlen (14, 20) durch Polarisation
voneinander unterscheidbar gemacht, so ist gemäß Fig. 1 hinter
der im Strahlengang nach dem Werkstück (32) angeordneten Sam
mellinse (34) ein halbdurchlässiger Spiegel (36) angeordnet,
der die Reststrahlen (14′, 14′′) des ersten Laserstrahles un
gehindert zu einem ersten Photosensor (38) durchläßt, während
die Reststrahlen (20′, 20′′) des zweiten Laserstrahles (20) zu
einem zweiten Photosensor (40) gelangen. Zwischen dem halbdurch
lässigen Spiegel und den beiden Photodetektoren (38 bzw. 40)
sind Polarisationsfilter (nicht gezeigt) angeordnet, so daß die
Reststrahlen voneinander getrennt werden.
Die Auswertung der Reststrahlen ist bekannt. Es werden die
Zeitspannen gemessen, in denen das Werkstück (32) jeweils die
Strahlengänge der beiden Laserstrahlen (14, 20) unterbricht. Da
sich die Bewegungsgeschwindigkeit der Laserstrahlen aus der
bekannten Drehgeschwindigkeit des Drehspiegels (12) ergibt,
können aus den für die beiden Laserstrahlen (14, 20) gemessenen
Zeitspannen unmittelbar die Abmessungen des Werkstückes (32)
entlang den beiden Abtastlinien (28, 30) ermittelt werden.
Die Trennung der beiden Laserstrahlen (14, 20) kann auch durch
eine mechanische Einrichtung (nicht gezeigt) erfolgen. Mit ei
ner derartigen mechanischen Einrichtung werden abwechselnd der
eine und der andere Laserstrahl (14) bzw. (20) abgedeckt, so
daß das Werkstück (32) abwechselnd entlang der ersten Abtastli
nie (28) und dann entlang der zweiten Abtastlinie (30) vermes
sen wird. Die mechanische Einrichtung zum zeitlichen Trennen
der beiden Laserstrahlen (14, 20) kann mit der Drehwelle des
Drehspiegels (12) gekoppelt werden, da, bis auf konstante Fak
toren, bezüglich des Drehspiegels (12) und der mechanischen
Trenneinrichtung die gleiche Periodizität erforderlich ist. Bei
einer mechanischen Trennung der beiden Laserstrahlen (14, 20)
erübrigen sich Polarisationseinrichtungen und auch auf den
halbdurchlässigen Spiegel (36) sowie den zweiten Photosensor
(40) kann verzichtet werden.
Die Fig. 2 und 3 zeigen ein Ausführungsbeispiel für ein
Werkstück (32), dessen Achse mit (32′) bezeichnet ist. Mittels
der beschriebenen Vorrichtung können die Abtastlinien (28, 30)
so in Bezug auf das Werkstück (32) gelegt werden, daß mit nur
zwei Messungen alle interessierenden Abmessungen des Werkstük
kes (32) zweidimensional gewonnen werden können.
- Bezugszeichenliste:
10 Laserstrahlquelle
12 Drehspiegel
14 erster Laserstrahl
16 halbdurchlässiger Spiegel
18 Vertikale
20 zweiter Laserstrahl
22 Spiegel
16′ halbdurchlässiger Spiegel
24 Zylinderlinse
26 Linse
28 erste Abtastlinie
30 zweite Abtastlinie
32 Werkstück
34 Linse
38 Photosensor
40 Photosensor
14′, 14″ Rest von 14
20′, 20″ Rest von 20
α Winkel
Claims (7)
1. Vorrichtung zum Vermessen von Werkstücken mit
- - einem ersten Laserstrahl (14),
- - einer Einrichtung (12) zum Bewegen des ersten Laserstrahls entlang einer ersten Abtastlinie (28),
- - zumindest einem Photosensor (38, 40), auf den der bewegte La serstrahl auftrifft, wobei das Werkstück (32) in der Abtastli nie (28) angeordnet ist und den Strahlengang des ersten beweg ten Laserstrahles unterbricht, und
- - einem Zeitmeßgerät, das die Zeitspanne mißt, in der das Werk stück (32) den Strahlengang des ersten bewegten Laserstrahles unterbricht, um daraus die Abmessungen des Werkstückes zu er mitteln, gekennzeichnet durch
- - einen Strahlteiler (16), der im Strahlengang hinter der Ein richtung (12) zum Bewegen des Laserstrahles und vor dem Werk stück (32) angeordnet ist und aus dem ersten Laserstrahl (14) einen zweiten bewegten Laserstrahl (20) abzweigt,
- - zumindest ein optisches Bauteil (16, 16′, 22) zum Drehen des zweiten bewegten Laserstrahles (20) gegenüber dem ersten Laser strahl (14) derart, daß eine zweite Abtastlinie (30) erzeugt wird, die mit der ersten Abtastlinie einen Winkel (α) bildet, und
- - zumindest ein optisches Bauteil (36) zum Trennen der ersten und zweiten Laserstrahlen (14, 20), so daß mittels des Photo sensors (38, 40) auch die Zeitspanne meßbar ist, in der das Werkstück (32) den Strahlengang des zweiten Laserstrahles (20) unterbricht, so daß die Abmessungen des Werkstückes (32) in zwei Dimensionen meßbar sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Einrichtung zum Bewegen der ersten und zweiten Laser
strahlen (14, 20) ein Drehspiegel (12) vorgesehen ist.
3. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Strahlteiler ein halbdurchlässiger Spiegel (16) vorge
sehen ist.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß zum Drehen des zweiten Laserstrahles (20) eine Anordnung
aus einem teildurchlässigen Spiegel (16), einem Reflexionsspie
gel (22) und einem weiteren teildurchlässigen Spiegel (16′)
vorgesehen ist.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß zum Trennen der ersten und zweiten Laserstrahlen zumindest
einer der beiden Laserstrahlen (14, 20) polarisiert wird, und
daß für jeden der Laserstrahlen ein gesonderter Photosensor
(38, 40) vorgesehen ist.
6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß zum Trennen der ersten und zweiten Laserstrahlen (14, 20)
eine Einrichtung vorgesehen ist, die wahlweise einen der Laser
strahlen unterbricht.
7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Winkel (α) zwischen den Abtastlinien (28, 30) 90° be
trägt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19873713109 DE3713109A1 (de) | 1987-04-16 | 1987-04-16 | Vorrichtung zum vermessen von werkstuecken |
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DE19873713109 DE3713109A1 (de) | 1987-04-16 | 1987-04-16 | Vorrichtung zum vermessen von werkstuecken |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3713109A1 true DE3713109A1 (de) | 1988-11-03 |
DE3713109C2 DE3713109C2 (de) | 1991-10-31 |
Family
ID=6325863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE19873713109 Granted DE3713109A1 (de) | 1987-04-16 | 1987-04-16 | Vorrichtung zum vermessen von werkstuecken |
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---|---|
DE (1) | DE3713109A1 (de) |
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