DE10339220A1 - Spiegel für eine Ablenkeinheit in einem Lasersystem, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Ablenkeinheit für ein Lasersystem - Google Patents

Spiegel für eine Ablenkeinheit in einem Lasersystem, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Ablenkeinheit für ein Lasersystem Download PDF

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Abstract

Ein Spiegel (42) für eine Galvo-Ablenkeinheit (3, 4) in einem Laser-Bearbeitungssystem besitzt ein Spiegelsubstrat (10) aus einem Diamantmaterial. Das Spiegelsubstrat kann auch aus kleineren Diamantsegmenten zusammengesetzt sein. DOLLAR A Dieses Spiegelsubstrat (10) aus Diamant bei geringerer Dicke (d2) gegenüber herkömmlichen Spiegelsubstraten (32) eine hohe Steifigkeit und ermöglicht dadurch höhere Arbeitsgeschwindigkeiten in dem Lasersystem.
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KR1020067002913A KR20060058110A (ko) 2003-08-26 2004-07-07 레이저 시스템의 편향 장치용 거울과 그 제조 방법, 및레이저 시스템용 편향 장치
JP2006524350A JP2007503607A (ja) 2003-08-26 2004-07-07 レーザーシステムにおける偏向装置のためのミラー、その製造方法およびレーザーシステムのための偏向装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2065734A1 (de) * 2007-11-30 2009-06-03 Plansee Se Spiegel zur Laserbearbeitung
EP4180859A1 (de) * 2021-11-16 2023-05-17 Precitec GmbH & Co. KG Ablenkvorrichtung mit beschichtetem spiegelelement sowie laserbearbeitungskopf mit derselben

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5864949B2 (ja) * 2010-11-29 2016-02-17 ギガフォトン株式会社 極端紫外光生成システム
CN102323631A (zh) * 2011-10-14 2012-01-18 日芯光伏科技有限公司 贴膜式花岗岩基底大口径光学反射镜
GB201400264D0 (en) 2014-01-08 2014-02-26 Element Six Ltd Synthetic diamond optical mirrors
EP3146370A4 (de) * 2014-05-21 2018-01-03 US Synthetic Corporation Spiegel mit polykristallinem diamantkörper zur verwendung mit einem motor, abtastsysteme damit und zugehörige verfahren
DE102015103164B4 (de) 2015-03-04 2022-10-20 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Scanvorrichtung mit wenigstens einer eindimensional scannenden Scaneinheit
EP3932608A1 (de) * 2015-06-19 2022-01-05 IPG Photonics Corporation Laserschweisssystem mit einem laserschweisskopf mit zwei beweglichen spiegeln für strahlbewegung mit begrenzendem sichtfeld
JP2017129650A (ja) * 2016-01-19 2017-07-27 株式会社ディスコ 走査用ミラー
DE102018205786A1 (de) * 2018-04-17 2019-10-17 Trumpf Laser Gmbh Scannerspiegel, Scannereinrichtung und Bestrahlungseinrichtung
DE102019202222B4 (de) * 2019-02-19 2023-08-10 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Ablenkspiegel aus Diamant sowie Verfahren zur Herstellung
EP3885789A1 (de) * 2020-03-26 2021-09-29 Leica Geosystems AG Entfernungsmessvorrichtung

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4764003A (en) * 1986-11-03 1988-08-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Optical mirror coated with organic superconducting material
DE3713109A1 (de) * 1987-04-16 1988-11-03 Limess Licht Messtechnik Gmbh Vorrichtung zum vermessen von werkstuecken
DE4102721A1 (de) * 1991-01-30 1992-08-06 Rosenthal Ag Verfahren und vorrichtung zur erzeugung einer sollkontur an einem werkstueck
DE4404141A1 (de) * 1994-02-09 1995-08-10 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung und Verfahren zur Laserstrahlformung, insbesondere bei der Laserstrahl-Oberflächenbearbeitung
US5529846A (en) * 1993-05-14 1996-06-25 Kobe Steel Usa, Inc. Highly-oriented diamond film heat dissipating substrate
US5803967A (en) * 1995-05-31 1998-09-08 Kobe Steel Usa Inc. Method of forming diamond devices having textured and highly oriented diamond layers therein
DE19941363A1 (de) * 1999-08-31 2001-04-05 Fraunhofer Ges Forschung Mikroaktorbauteil und Verfahren zur Herstellung
US6544599B1 (en) * 1996-07-31 2003-04-08 Univ Arkansas Process and apparatus for applying charged particles to a substrate, process for forming a layer on a substrate, products made therefrom

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3809921A1 (de) * 1988-03-24 1989-10-12 Diehl Gmbh & Co Grossflaechiger hochenergie-laserspiegel und verfahren zum herstellen eines solchen spiegels
WO1996038758A1 (en) * 1995-05-30 1996-12-05 Philips Electronics N.V. Switching device and the use thereof
US6335863B1 (en) * 1998-01-16 2002-01-01 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Package for semiconductors, and semiconductor module that employs the package
DE19955574B4 (de) * 1999-11-18 2005-07-14 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Masseoptimierter Spiegel zur Laserbearbeitung und Verfahren zur Kühlung der masseoptimierten Spiegel bei der Laserbearbeitung

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4764003A (en) * 1986-11-03 1988-08-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Optical mirror coated with organic superconducting material
DE3713109A1 (de) * 1987-04-16 1988-11-03 Limess Licht Messtechnik Gmbh Vorrichtung zum vermessen von werkstuecken
DE4102721A1 (de) * 1991-01-30 1992-08-06 Rosenthal Ag Verfahren und vorrichtung zur erzeugung einer sollkontur an einem werkstueck
US5529846A (en) * 1993-05-14 1996-06-25 Kobe Steel Usa, Inc. Highly-oriented diamond film heat dissipating substrate
DE4404141A1 (de) * 1994-02-09 1995-08-10 Fraunhofer Ges Forschung Vorrichtung und Verfahren zur Laserstrahlformung, insbesondere bei der Laserstrahl-Oberflächenbearbeitung
US5803967A (en) * 1995-05-31 1998-09-08 Kobe Steel Usa Inc. Method of forming diamond devices having textured and highly oriented diamond layers therein
US6544599B1 (en) * 1996-07-31 2003-04-08 Univ Arkansas Process and apparatus for applying charged particles to a substrate, process for forming a layer on a substrate, products made therefrom
DE19941363A1 (de) * 1999-08-31 2001-04-05 Fraunhofer Ges Forschung Mikroaktorbauteil und Verfahren zur Herstellung

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2065734A1 (de) * 2007-11-30 2009-06-03 Plansee Se Spiegel zur Laserbearbeitung
WO2009068222A1 (de) * 2007-11-30 2009-06-04 Plansee Se Spiegel zur laserbearbeitung
EP4180859A1 (de) * 2021-11-16 2023-05-17 Precitec GmbH & Co. KG Ablenkvorrichtung mit beschichtetem spiegelelement sowie laserbearbeitungskopf mit derselben

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Publication number Publication date
WO2005022209A1 (de) 2005-03-10
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