CH628425A5

CH628425A5 - Verfahren und vorrichtung zur kontaktlosen messung linearer wegstrecken, insbesondere des durchmessers.

Info

Publication number: CH628425A5
Application number: CH661478A
Authority: CH
Inventors: Detlef Mallwitz
Original assignee: Spindler & Hoyer Kg
Priority date: 1977-11-09
Filing date: 1978-06-16
Publication date: 1982-02-26
Also published as: GB2007836B; GB2007836A; FR2408815B1; JPS5469465A; DE2750109C2; FR2408815A1; DE2750109A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur kontaktlosen Messung linearer Wegstrecken, insbesondere des Durchmessers von Objekten, wobei ein gescannter Lichtstrahl über das Objekt geführt, mittels einer Optik auf einen Fotoempfänger focussiert wird und die von dem Fotoempfänger registrierte Abschattungszeit des gescannten Lichtstrahles durch das Objekt unter Verwendung eines Oszillators gezählt und als Mass für die lineare Wegstrecke umgeformt wird, sowie einer Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.

Das erfindungsgemässe Verfahren geht von einem bekannten kontaktlosen Abtastverfahren aus. Dabei wird das zu messende Objekt in ein Messfeld eingebracht, welches zwischen einer ersten als Sender wirkenden Optik und einer zweiten, als Empfänger wirkenden Optik aufgespannt ist. Es ist eine Quelle zur Erzeugung eines Lichtstrahles vorgesehen. Dieser Lichtstrahl wird in bekannter Weise gebündelt und über eine Scanneinrichtung geführt, die als Drehspiegel ausgebildet ist. Innerhalb des Messfeldes wird eine annähernd parallele Strahlenführung angestrebt. Der gescannte Lichtstrahl wird von der Empfängeroptik auf eine Fotodiode geleitet. Unter Verwendung eines Oszillators wird hier die Abschattungszeit gemessen, verstärkt und in einer Zähleinrichtung aufgenommen, die dann mit einer digitalen Anzeige versehen ist. Bei der Auswertung wird also die Abschattungszeit mit der Frequenz des Oszillators multipliziert. Die erhaltene Anzahl der Impulse ist proportional dem Durchmesser des zu messenden Objekts, streng genommen jedoch nur dann, wenn Optiken grossen Durchmessers eingesetzt werden, die ohne Öffnungsfehler sind. Derartige öffnungsfehlerfreie Optiken grossen Durchmessers sind jedoch entsprechend teuer. Die weiteren Nachteile dieses bekannten Verfahrens sind darin zu sehen, dass der Drehspiegel in seiner Drehzahl sehr genau geregelt werden muss, und zwar in Abhängigkeit von der Frequenz des Oszillators. Die Scann-Frequenz muss also stabilisiert werden, was einen erheblichen geräteseitigen Aufwand bedeutet.

Das beschriebene Verfahren kann sinnvollerweise in kleinen Durchmesserbereichen von 0,25 bis etwa 30 mm eingesetzt werden, beispielsweise beim Drahtziehen derartiger kleiner Durchmesser. Für die Messung grösserer linearer Wegstrecken, also bis etwa in den Bereich von 100 mm steigt der Aufwand für eine öffnungsfehlerfreie Optik unangemessen hoch an. Da sich jedoch Öffnungsfehler in der Regel nicht vollkommen vermeiden lassen, ist dieses Verfahren für die Messung relativ grosser linearer Wegstrecken ungeeignet.

Es ist eine weitere Abtastmethode bekannt, die ähnlich, wie vorher beschrieben arbeitet. Dabei wird lediglich anstelle des Drehspiegels eine Stimmgabel eingesetzt, die die zur Scannung des Lichtstrahles erforderliche Auslenkung bewirkt.

Es sind weiterhin beugungsoptische Methoden zur kontakt5

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losen Messung linearer Wegstrecken, insbesondere der Dicke des Drahtes bekannt. Diese Methode eignet sich besonders gut für kleine Durchmesser unterhalb von 10 mm. Für grosse Durchmesser ist dies nicht geeignet.

Es sind auch Abbildungsmethoden bekannt. Diese eignen sich für einen Durchmesserbereich von ca. 5-50 mm. Dabei wird das beleuchtete Messobjekt auf eine Diodenzeile projiziert, wobei die Anzahl der durch den Schatten des Objektes unbeleuchteten Dioden proportional zum Durchmesser des Materials ist.

Den genannten Verfahren haften verschiedene Nachteile an. Bei allen Verfahren verlangen verschiedene Durchmesserbereiche verschiedene angepasste Optiken. Es ist ein grosser elektronischer Aufwand erforderlich. Für grosse Durchmesserbereiche müssen entsprechend teure öffnungsfehlerfreie Optiken eingesetzt werden. Bei dem zuerst beschriebenen Abtastverfahren kommt die Stabilisierung der Scann-Frequenz als weiterer Nachteil hinzu.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und Vorrichtungen der angegebenen Art aufzuzeigen, mit denen lineare Wegstrecken mit vergleichsweise geringem baulichen Aufwand über grosse Messbereiche ausreichend genau gemessen werden können.

Erfindungsgemäss wird dies bei einem Verfahren der eingangs beschriebenen Art dadurch erreicht, dass der gescannte Lichtstrahl zusätzlich über ein Referenzobjekt mit bekannter Wegstrecke geführt und die von dem Fotoempfänger registrierte, frequenzmodulierte Abschattungszeit des Referenzobjektes gespeichert wird und dass die von dem Fotoempfänger registrierte Abschattungszeit des Objektes mit demselben Oszillator frequenzmoduliert und ebenfalls gespeichert wird, worauf durch Vergleich der beiden Speicherinhalte und mit Hilfe der bekannten Wegstrecke an dem Referenzobjekt die zu messende lineare Wegstrecke ermittelt wird. Damit ist zunächst einmal sichergestellt, dass Linsenfehler vernachlässigt werden können, da sowohl das Referenzobjekt als auch das Messobjekt in gleicher Weise «fehlerhaft» beaufschlagt werden; durch den Vergleich der beiden Abschattungszeiten dividieren sich jedoch diese Fehler durch sich selbst, d.h. sie haben keinen Einfluss auf das Messergebnis. Wird beispielsweise bei dem Verfahren ein Drehspiegel eingesetzt, so kann die Winkelgeschwindigkeit dieses Drehspiegels innerhalb grosszügiger Toleranzgrenzen veränderbar sein. Eine Stabilisierung der Scann-Frequenz ist nicht mehr erforderlich. Dies ist darauf zurückzuführen, dass die Abtastung des Referenzobjektes und des Messobjektes in sehr kurzer Zeit nacheinander, vorzugsweise innerhalb geringer Winkeländerungen erfolgt, so dass auch die jeweilige Frequenz bei einer Messung nicht sehr unterschiedlich ist. Sollte sich diese Frequenz bis zur nächsten Messung ändern, so hat dies auch keinen Einfluss, da durch die Differenzbildung der Abschattungszeiten die Wirkung der Frequenz beseitigt wird. Voraussetzung für die Durchführung des Verfahrens ist lediglich ein Referenzobjekt mit einer bekannten linearen Messstrecke. Diese kann aber sehr einfach durch andere Verfahren gemessen werden.

Es ist möglich, dass sowohl das Referenzobjekt als auch das zu messende Objekt in das über eine einzige Optik erzeugte Messfeld eingebracht werden und die beiden Abschattungszeiten auch nur durch eine einzige Optik mit dem Fotoempfänger registriert werden, wobei über eine Logik die beiden Abschattungszeiten unterschieden und dem jeweils zugehörigen Speicher zugeführt werden. Auf diese Weise ist es möglich, das Referenzobjekt und das Messobjekt sehr nahe aneinander anzuordnen, so dass beide Objekte unmittelbar nacheinander von dem gescannten Lichtstrahl überstrichen werden, so dass mit hinreichender Genauigkeit davon ausgegangen werden kann, dass in diesem Winkelbereich keine oder so gut wie keine Änderung der Frequenz eintritt.

Es ist aber auch möglich, dass das Referenzobjekt einerseits und das zu messende Objekt anderseits in zwei örtlich getrennte Messfelder eingebracht werden, aber beide Messfelder mit jeweils getrennten, aber identischen Optiken und Fotoempfängern mit demselben gescannten Lichtstrahl überstrichen werden und auch an beiden Fotoempfängern derselbe Oszillator vorgesehen ist. Auch hierbei befinden sich die beiden Messfelder vorzugsweise nur über einen Winkelbereich eines spitzen Winkels getrennt voneinander, so dass Frequenzunterschiede zumindest vernachlässigbar klein sind. Es ist aber auch möglich, normale, d. h. öffnungsfehlerbehaftete Linsen für die jeweiligen Optiken einzusetzen. Voraussetzung ist nur, dass einerseits die Empfängerlinsen und anderseits die Senderlinsen untereinander identische Eigenschaften besitzen. Dies lässt sich aber sehr leicht realisieren.

In beiden Fällen werden die beiden Messfelder im spitzen Winkel zueinander von dem gescannten Lichtstrahl überstrichen. Zur Erzeugung des Lichtstrahles kann vorzugsweise ein Laser vorgesehen sein.

Das Verfahren lässt sich auch auf zweidimensionale Messungen erweitern. Hierbei wird der Lichtstrahl in zwei zueinander senkrechten Richtungen gescannt oder das Objekt wird in der zur Bewegungsrichtung des gescannten Lichtstrahles senkrechten Richtung schrittweise bewegt.

Zur Steigerung der Messgenauigkeit ist es möglich, ein Referenzobjekt mit solchen Abmessungen einzusetzen, die den zu messenden Abmessungen des Objektes möglichst genau entsprechen. Auf diese Weise ist sichergestellt, dass die grösste Genauigkeit exakt dort erreicht wird, wo der Sollwert des zu messenden Objektes liegt.

Eine Vorrichtung, mit der die Durchführung des Verfahrens möglich ist, arbeitet mit einer Quelle für den Lichtstrahl, einer Einrichtung zum Scannen dieses Lichtstrahles, einem zwischen einer ersten und einer zweiten Optik aufgespannten Messfeld für das Objekt, einem der zweiten Optik nachgeschalteten Fotoempfänger, einer einen Oszillator aufweisenden Zähleinrichtung und kennzeichnet sich dadurch, dass eine Einrichtung zum Fixieren eines Referenzobjektes im Messfeld vorgesehen ist ünd die Zähleinrichtung je einen Speicher zur Aufnahme der frequenzmodulierten Abschattungszeit des Lichtstrahles durch das Referenzobjekt einerseits und durch das Objekt anderseits aufweist und dass eine Logik zum Unterscheiden der beiden Abschattungszeiten und zum Zuordnen zu den einzelnen Speichern vorgesehen ist. Damit ist dann ohne weiteres die Vergleichsbildung zwischen den beiden Abschattungszeiten möglich. Uber die bekannte Messstrecke an dem Referenzobjekt kann sehr einfach die zu messende Wegstrecke ermittelt und dann digital angezeigt werden. Da in der Abschattungszeit für das Referenzobjekt die Fehler der Optik enthalten sind, sind auch in der Abschattungszeit für das zu messende Objekt die identischen Fehler vorhanden. Bei der Differenzbildung entfallen diese Fehler, so dass man die erforderliche Messgenauigkeit erhält. Man erhält weiterhin diese Messgenauigkeit konstant über den gesamten Messbereich, wobei Voraussetzung ist, jeweils Referenzobjekte in der zu messenden Grössenordnung einzusetzen. Es ist eine wirtschaftliche Herstellung durch Verwendung einfachster Bauelemente sowohl elektronischer als auch mechanischer Art möglich. Derartige Vorrichtungen werden dadurch erheblich preisgünstiger als bisher in Verkehr gebracht werden konnten. Auf den Einsatz korrigierter Optiken kann verzichtet werden.

Neben der Ausbildung eines einzigen Messfeldes, in welches zusätzlich zu dem Messobjekt auch das Referenzobjekt eingebracht wird, besteht aber auch die Möglichkeit, dass durch eine weitere erste und zweite Optik ein gesondertes Messfeld für das Referenzobjekt vorgesehen ist, wobei diese Optiken in ihren Eigenschaften mit den beiden Optiken des Messfeldes für das Objekt übereinstimmen, dass eine Einrich5

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tung zum Fixieren des Referenzobjektes in seinem Messfeld vorgesehen ist und dass auch der zweiten Optik des Messfeldes des Referenzobjektes ein Fotoempfänger nachgeschaltet ist. Damit werden dann die beiden Abschattungszeiten in örtlich getrennten Messfeldern und an örtlich getrennten Fotoempfängern registriert. Es wird jedoch nur ein Oszillator verwendet, so dass die Frequenzmodulation an beiden Abschattungszeiten identisch ist. Jeder Fotoempfänger kann mit seinem zugehörigen Speicher in einfachster Weise verbunden werden, so dass eine Logik, wie sie bei der Verwendung von nur einem Messfeld erforderlich ist, hier entfällt.

Die Zähleinrichtung besitzt zwei Speicher. Der eine Speicher ist für die frequenzmodulierte Abschattungszeit durch das Objekt und der andere Speicher für die durch denselben Oszillator frequenzmodulierte Abschattungszeit durch das Referenzobjekt bestimmt. Eine Auswerteeinheit für den Vergleich der beiden Abschattungszeiten und die Ermittlung der zu messenden linearen Wegstrecke an dem Objekt ist nachgeschaltet.

Die Erfindung wird anhand des Standes der Technik und zweier Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens, die in den Zeichnungen dargestellt sind, weiter beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 den Strahlengang in der Nähe des Messfeldes bei einer bekannten Vorrichtung,

Fig. 2 die prinzipielle Anordnung der Einzelteile einer Vorrichtung nach der Erfindung in einer ersten Ausführungsform und

Fig. 3 die prinzipielle Anordnung der Einzelteile einer Vorrichtung nach der Erfindung in einer zweiten Ausführungsform.

Anhand von Fig. 1 soll nachgewiesen bzw. verständlich gemacht werden, wie sich bei dem bekannten Verfahren und der ebenfalls bekannten Vorrichtung Öffnungsfehler der Optik negativ auf das Messergebnis auswirken. Der Einfachheit halber ist nur die erste Optik 1 und die zweite Optik 2 dargestellt. Die erste Optik 1 ist die als Sender wirkende Optik. Die Optik 2 wirkt als Empfänger. Zwischen den beiden Optiken befindet sich das Messfeld 3, in welches das Objekt 4, also beispielsweise der hinsichtlich seines Durchmessers zu messende Draht eingebracht ist. Infolge der kontaktlosen Messung kann sich das Messobjekt 4 selbstverständlich auch, ähnlich wie an einer Ziehmaschine, kontinuierlich durch das Messfeld fortbewegen. Der Optik 2 ist der Fotoempfänger 5 nachgeschaltet, der die Abschattungszeit des Lichtstrahles 6 durch das Objekt 4 registriert. Bei dem Lichtstrahl 6 handelt es sich um einen gescannten Lichtstrahl, insbesondere Laserstrahl, der ja bekanntlich quer über das Objekt 4 geführt wird. Dieser Lichtstrahl 6 wird von —h bis +h über die Focussierlinse der Optik 1 geführt, die den Strahl auf das Objekt 4 focussiert. Die Optik 1 besitzt einen Öffnungsfehler, der zur Folge hat, dass die Randstrahlen stärker gebrochen werden als achsnahe Strahlen. Dieser Fehler ist durch die Differenzi S zwischen den Brennpunkten des Randstrahles und des Achsstrahles gekennzeichnet. Es ist leicht einzusehen, dass bei einer Messung der Zeit, die der Strahl 6 von -h Index 2 bis -I-h Index 2 braucht, um über die Probe gelenkt zu werden, nicht ohne weiteres auf den Durchmesser geschlossen werden kann, da in dem hier gezeigten Beispiel sowohl der Strahl in Höhe ± hj als auch in Höhe ± h2 zu gleichen Abschattungszeiten auf dem Fotoempfänger 5 führen. Dies hat zur Folge, dass unterschiedliche Durchmesser des Ob jektes 4 nicht zeitproportional gemessen werden können. Eine exakte Messung setzt also die Verwendung einer korrigierten Optik 1 voraus, die bei relaitv grossen zu messenden Wegstrecken unangemessen teuer wird.

In Fig. 1 ist eine erste Ausführungsform der Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens mit ihren wesentlichen Einzelteilen in prinzipieller Weise dargestellt. Über eine nicht gezeigte Lichtquelle wird ein gebündelter Lichtstrahl 7 erzeugt, der mit Hilfe eines Drehspiegels 8, der mit der Winkelgeschwindigkeit 9 um eine Achse rotiert, fällt. Von dem Drehspiegel 8 wird der schon anhand der Fig. 1 beschriebene gescannte Lichtstrahl 6 ausgesandt. Dieser fällt, wie anhand von Fig. 1 beschrieben, auf einen ersten Teil der Vorrichtung, der sich durch das Messfeld 3 bis hin zu dem Fotoempfänger 5 kennzeichnet. In dem Messfeld 3 ist das zu messende Objekt

4 angeordnet bzw. positioniert. Daneben, d.h. davor oder dahinter, relativ zu der Winkelbewegung des Drehspiegels 8, ist ein weiteres Messfeld 3' vorgesehen, in dem das Referenzobjekt 4' fixiert ist. Auch hier findet eine erste Optik 1 ' und eine zweite Optik 2' Verwendung. Ebenso ist ein Fotoempfänger 5' nachgeschaltet. Es versteht sich, dass die Optiken 1 und 1' gleiche Eigenschaften besitzen. Ebenso besitzen auch die Optiken 2 und 2' gleiche Eigenschaften. Öffnungsfehler sind jedoch nicht nachteilig.

Die den beiden Fotoempfängern 5 und 5' nachgeschaltete Auswerteeinheit 10 weist einen einzigen Oszillator 11 und zwei Speicher 12 und 12' auf. Nachgeschaltet ist eine Einrichtung 13 zum Vergleich der beiden Abschattungszeiten und eine beispielsweise digitale Anzeige 14 zur Sichtbarmachung des Messergebnisses.

Die Vorrichtung gemäss Fig. 2 arbeitet nun wie folgt:

Das Messobjekt 4 wird in das Messfeld 3 eingebracht bzw. durchläuft das Messfeld 3. Das Referenzobjekt 4' wird in dem Messfeld 3' fixiert. Sein Durchmesser ist bekannt. Der gescannte Lichtstrahl 6 überstreicht kurz nacheinander sowohl das Objekt 4 als auch das Referenzobjekt 4'. In beiden Fällen wird die jeweilige Abschattungszeit von dem Fotoempfänger

5 und 5' registriert mit Hilfe des identischen Oszillators 11 frequenzmoduliert und die jeweilige Abschattungszeit in den Speicher 12 bzw. 12' gegeben. Da der Durchmesser des Referenzobjektes 4' genauestens bekannt ist, kann durch einfache Verhältnisbildung an der Einrichtung 13 und mit Hilfe des bekannten Durchmessers des Referenzobjektes 4' der zu messende Durchmesser an dem Objekt 4 ermittelt und angezeigt werden. Da die beiden Messfelder 3 und 3' nur in einem relativ kleinen spitzen Winkel voneinander verschieden angeordnet sind, ist nicht zu erwarten, dass eine Frequenzänderung des Drehspiegels 8 während dieses Winkelbereiches eintritt. Jedenfalls ist eine derartige Frequenzänderung vernachlässigbar klein. Im übrigen ist die Frequenz des Drehspiegels 8 völlig unabhängig von der Frequenz des Oszillators 11. Ein Zusammenhang, wie beim Stand der Technik, besteht nicht mehr.

In Fig. 3 ist eine weitere Ausführungsform der Vorrichtung dargestellt. Hierbei werden im Unterschied zu Fig. 2 lediglich die identischen Optiken 1,1' bzw. 2, 2' eingesetzt, so dass ein einziges Messfeld 3, 3' geschaffen ist, in welches sowohl das Objekt 4 als auch das Referenzobjekt 4' eingebracht werden. In diesem Falle ist zusätzlich eine Logik 15 erforderlich, die die beiden Abschattungszeiten unterscheidet und für eine Speicherung in dem jeweils zugehörigen Speicher 12 bzw. 12' bewirkt. Die Arbeitsweise dieser Vorrichtung ist ansonsten analog.

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1. Verfahren zur kontaktlosen Messung linearer Wegstrek-ken, insbesondere des Durchmessers von Objekten, wobei ein gescannter Lichtstrahl über das Objekt geführt, mittels einer Optik auf einem Fotoempfänger focussiert wird und die von dem Fotoempfänger registrierte Abschattungszeit des gescannten Lichtstrahles durch das Objekt unter Verwendung eines Oszillators gezählt und als Mass für die lineare Wegstrecke umgeformt wird, dadurch gekennzeichnet, dass der gescannte Lichtstrahl zusätzlich über ein Referenzobjekt mit bekannter Wegstrecke geführt und die von dem Fotoempfänger registrierte, frequenzmodulierte Abschattungszeit des Referenzobjektes gespeichert wird und dass die von dem Fotoempfänger registrierte Abschattungszeit des Objektes mit demselben Oszillator frequenzmoduliert und ebenfalls gespeichert wird, worauf durch Vergleich der beiden Speicherinhalte und mit Hilfe der bekannten Wegstrecke an dem Referenzobjekt die zu messende lineare Wegstrecke ermittelt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl das Referenzobjekt als auch das zu messende Objekt in das über eine einzige Optik erzeugte Messfeld eingebracht werden und die beiden Abschattungszeiten auch nur durch eine einzige Optik mit dem Fotoempfänger registriert werden, wobei über eine Logik die beiden Abschattungszeiten unterschieden und dem jeweils zugehörigen Speicher zugeführt werden.

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PATENTANSPRÜCHE

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Referenzobjekt einerseits und das zu messende Objekt anderseits in zwei örtlich getrennte Messfelder eingebracht werden, aber beide Messfelder mit jeweils getrennten, aber identischen Optiken und Fotoempfängern mit demselben gescannten Lichtstrahl überstrichen werden und auch an beiden Fotoempfängern derselbe Oszillator vorgesehen ist.

(4) übereinstimmen, dass eine Einrichtung zum Fixieren des Referenzobjektes (4') in seinem Messfeld (3') vorgesehen ist und dass auch der zweiten Optik (2') des Messfeldes (3') des Referenzobjektes (4') ein Fotoempfänger (5') nachgeschaltet ist.

4. Verfahren nach Anspruch 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass beide Messfelder im spitzen Winkel zueinander von dem gescannten Lichtstrahl überstrichen werden.

5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Erzeugung des Lichtstrahles ein Laser vorgesehen ist.

6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Realisierung zweidimensionaler Messungen der Lichtstrahl in zwei zueinander senkrechten Richtungen gescannt wird oder das Objekt in der zur Bewegungsrichtung des gescannten Lichtstrahles senkrechten Richtung schrittweise bewegt wird.

7. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, dass zur Steigerung der Messgenauigkeit ein Referenzobjekt mit solchen Abmessungen eingesetzt wird, die den zu messenden Abmessungen des Objektes möglichst genau entsprechen.

8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einer Quelle für den Lichtstrahl, einer Einrichtung zum Scannen dieses Lichtstrahles, einem zwischen einer ersten und einer zweiten Optik aufgespannten Messfeld für das Objekt, einem der zweiten Optik nachgeschalteten Fotoempfänger, einer einen Oszillator aufweisenden Zähleinrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass eine Einrichtung zum Fixieren eines Referenzobjektes (4) im Messfeld (3, 3') vorgesehen ist und die Zähleinrichtung je einen Speicher (12,12') zur Aufnahme der frequenzmodulierten Abschattungszeit des Lichtstrahles durch das Referenzobjekt (4') einerseits und durch das Objekt (4) anderseits aufweist und dass eine Logik (15) zum Unterscheiden der beiden Abschattungszeiten und zum Zuordnen zu den einzelnen Speichern (12, 12') vorgesehen ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass durch eine weitere erste und zweite Optik (1', 2') ein gesondertes Messfeld (3') für das Referenzobjekt (4') vorgesehen ist, wobei diese Optiken (1', 2') in ihren Eigenschaften mit den beiden Optiken (1,2) des Messfeldes (3) für das Objekt

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Zähleinrichtung zwei Speicher (12, 12') besitzt, der eine Speicher (12) für die frequenzmodulierte Abschattungszeit durch das Objekt (4) und der andere Speicher (12') für die durch denselben Oszillator (11) frequenzmodulierte Abschattungszeit durch das Referenzobjekt (4') bestimmt ist und dass eine Auswerteeinheit (13) für den Vergleich der beiden Abschattungszeiten und die Ermittlung der zu messenden linearen Wegstrecke an dem Objekt (4) vorgesehen ist.