DE2750109A1

DE2750109A1 - Verfahren und vorrichtung zur kontaktlosen messung linearer wegstrecken, insbesondere des durchmessers

Info

Publication number: DE2750109A1
Application number: DE19772750109
Authority: DE
Inventors: Detlef Ing Grad Mallwitz
Original assignee: Spindler and Hoyer GmbH and Co
Current assignee: Spindler and Hoyer GmbH and Co
Priority date: 1977-11-09
Filing date: 1977-11-09
Publication date: 1979-05-10
Also published as: DE2750109C2; JPS5469465A; CH628425A5; FR2408815A1; FR2408815B1; GB2007836A; GB2007836B

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur kontaktlosen Messung linearer Wegstrecken, insbesondere des Durchmessers faden-, draht-, stangen oder röhrenförmiger Objekte, bei dem ein gescannter Lichtstrahl über das Objekt geführt und mittels einer Optik auf einen Fotoempfänger focussiert wird, wobei die von dem Fotoempfänger registrierte Abschattungszeit des gescannten Lichtstrahls durch das Objekt unter Verwendung eines Oscillators gezählt und als Maß für die lineare Wegstrecke umgeformt und ggf. digital angezeigt wird. Die Erfindung zeigt gleichzeitig Vorrichtungen zur Durchführung dieses Verfahrens.

Das erfindungsgemäße Verfahren geht von einem bekannten kontaktlosen Abtastverfahren aus. Dabei wird das zu messende Objekt in ein Meßfeld eingebracht, welches zwischen einer ersten als Sender wirkenden Optik und einer zweiten, als Empfänger wirkenden Optik aufgespannt ist. Es ist eine Quelle zur Erzeugung eines Lichtstrahles vorgesehen. Dieser Lichtstrahl wird in bekannter Weise gebündelt und über eine Scanneinrichtung geführt, die als Drehspiegel ausgebildet ist. Innerhalb des Meßfeldes wird eine annähernd parallele Strahlenführung angestrebt. Der gescannte Lichtstrahl wird von der Empfängeroptik auf eine Fotodiode geleitet. Unter Verwendung eines Oscillators wird hier die Abschattungszeit gemessen, verstärkt und in einer Zähleinrichtung aufgenommen, die dann mit einer digitalen Anzeige versehen ist. Bei der Auswertung wird also die Abschattungszeit mit der Frequenz des Oscillators multipliziert. Die erhaltene Anzahl der Impulse ist proportional dem Durchmesser des zu messenden Objekts, streng genommen jedoch nur dann, wenn Optiken großen Durchmessers eingesetzt werden, die ohne Offnungsfehler sind. Derartige öffnungsfehlerfreie Optiken großen Durchmessers sind jedoch entsprechend teuer. Die weiteren Nachteile dieses bekannten Verfahrens sind darin zu sehen, daß der Drehspiegel in seiner Drehzahl sehr genau geregelt werden muß, und zwar in Abhängigkeit von der Frequenz des Oscillators. Die Scann-Frequenz muß also stabilisiert werden, was einen erheblichen geräteseitigen Aufwand bedeutet.

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Das beschriebene Verfahren kann sinnvollerweise in kleinen Durchmesserbereichen von 0,25 bis etwa 30mm eingesetzt werden, beispielsweise beim Drahtziehen derartiger kleiner Durchmesser. Für die Messung größerer linearer Wegstrecken, also bis etwa in den Bereich von 100mm steigt der Aufwand für eine öffnungsfehl erfreie Optik unangemessen hoch an. Da sich jedoch öffnungsfehler in der Regel nicht vollkommen vermeiden lassen, ist dieses Verfahren für die Messung relativ großer linearer Wegstrecken ungeeignet.

Es ist eine weitere Abtastmethode bekannt, die ähnlich, wie vorher beschrieben arbeitet. Dabei wird lediglich anstelle des Drehspiegels eine Stimmgabel eingesetzt, die die zur Scannung des Lichtstrahles erforderliche Auslenkung bewirkt.

Es sind weiterhin beugungsoptische Methoden zur kontaktlosen Messung linearer Wegstrecken, insbesondere der Dicke eines Drahtes bekannt. Diese Methode eignet sich besonders gut für kleine Durchmesser unterhalb von 10mm. Für große Durchmesser ist dies nicht geeignet.

Es sind auch Abbildungsmethoden bekannt. Diese eignen sich für einen Durchmesserbereich von ca. 5 bis 50mm. Dabei wird das beleuchtete Meßobjekt auf eine Diodenzeile projiziert, wobei die Anzahl der durch den Schatten des Objektes unbeleuchteten Dioden proportional zum Durchmesser des Materials ist.

Den genannten Verfahren haften verschiedene Nachteile an. Bei allen Verfahren verlangen verschiedene Durchmesserbereiche verschiedene angepaßte Optiken. Es ist ein großer elektronischer Aufwand erforderlich. Für große Durchmesserbereiche müssen entsorechend teure öffnungsfehlerfreie Optiken eingesetzt werden. Bei dem zuerst beschriebenen Abtastverfahren kommt die Stabilisierung der Scann-Frequenz als weiterer Nachteil hinzu.

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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und Vorrichtungen der angegebenen Art aufzuzeigen, mit denen lineare Wegstrecken mit vergleichsweise geringem baulichen Aufwand über große Meßbereiche ausreichend genau gemessen werden können.

Erfindungsgemäß wird dies bei einem Verfahren der eingangs beschriebenen Art dadurch erreicht, daß der gescannte Lichtstrahl zusätzlich über ein Referenzobjekt mit bekannter Wegstrecke geführt und die von dem Fotoempfänger regfetrierte, frequenzmodulierte Abschattungszeit des Referenzobjektes gespeichert wird und daß die von dem Fotoempfänger registrierte Abschattungszeit des Objektes mit demselben Oscillator frequenzmoduliert und ebenfalls gespeichert wird, worauf durch Vergleich der beiden Speicherinhalte und mit Hilfe der bekannten Wegstrecke an dem Referenzobjekt die zu messende lineare Wegstrecke ermittelt wird. Damit ist zunächst einmal sichergestellt, daß Linsenfehler vernachlässigt werden können, da sowohl das Referenzobjekt als auch das Meßobjekt in gleicher Weise "fehlerhaft" beaufschlagt werden; durch den Vergleich der beiden Abschattungszeiten dividieren sich jedoch diese Fehler durch sich selbst, d.h. sie haben keinen Einfluß auf das Meßergebnis.Wird beispielsweise bei dem Verfahren ein Drehspiegel eingesetzt, so kann die Winkelgeschwindigkeit dieses Drehspiegels innerhalb großzügiger Toleranzgrenzen veränderbar sein. Eine Stabilisierung der Scann-Frequenz ist nicht mehr erforderlich. Dies ist darauf zurückzuführen, daß die Abtastung des Referenzobjektes und des Meßobjektes in sehr kurzer Zeit nacheinander, vorzugsweise innerhalb geringer Winkel änderungen erfolgt, so daß auch die jeweilige Frequenz bei einer Messung nicht sehr unterschiedlich ist. Sollte sich diese Frequenz bis zur nächsten Messung ändern, so hat dies auch keinen Einfluß, da durch die Differenzbildung der Abschattungszeiten die Wirkung der Frequenz beseitigt wird. Voraussetzung für die Durchführung des Verfahrens ist lediglich ein Referenzobjekt mit einer bekannten linearen Meßstrecke. Diese kann aber sehr einfach durch andere Verfahren gemessen werden.

Es ist möglich, daß sowohl das Referenzobjekt als auch das zu messende Objekt in das über eine einzige Optik erzeugte Meßfeld eingebracht werden

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und die beiden Abschattungszeiten auch nur durch eine einzige Optik mit dem Fotoempfänger registriert werden, wobei über eine Logik die beiden Abschattungszeiten unterschieden und dem jeweils zugehörigen Speicher zugeführt werden. Auf diese Weise ist es möglich, das Referenzobjekt und das Meßobjekt sehr nahe aneinander anzuordnen, so daß beide Objekte unmittelbar nacheinander von den gescannten Lichtstrahl überstrichen werden, so daß mit hinreichender Genauigkeit davon ausgegangen werden kann, daß in diesem Winkelbereich keine oder so gut wie keine Änderung der Frequenz eintritt.

Es ist aber auch möglich, daß das Referenzobjekt einerseits und das zu messende Objekt andererseits in zwei örtlich getrennte Meßfelder eingebracht werden, aber beide Meßfelder mit jeweils getrennten, aber identischen Optiken und Fotoempfängern mit demselben gescannten Lichtstrahl überstrichen werden und auch an beiden Fotoempfängern derselbe Oscillator Verwendung findet. Auch hierbei befinden sich die beiden Meßfelder vorzugsweise nur über einen Winkelbereich eines spitzen Winkels getrennt voneinander, so daß Frequenzunterschiede zumindest vernachlässigbar klein sind. Es ist aber möglich, normale, d.h. öffnungsfehlerbehaftete Linsen für die jeweiligen Optiken einzusetzen. Voraussetzung ist nur, daß einerseits die Empfängerlinsen und andererseits die Senderlinsen untereinander identische Eigenschaften besitzen. Dies läßt sich aber sehr leicht realisieren.

In beiden Fällen werden die beiden Meßfelder im spitzen Winkel zueinander von dem gescannten Lichtstrahl überstrichen. Zur Erzeugung des Lichtstrahles kann vorzugsweise ein Laser Verwendung finden.

Das Verfahren läßt sich auch auf zwei dimensionale Messungen erweitern. Hierbei wird der Lichtstrahl in zwei zueinander senkrechten Richtungen gescannt oder das Objekt wird in der zur Bewegungsrichtung des gescannten Lichtstrahls senkrechten Richtung schrittweise bewegt.

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Zur Steigerung der Meßgenauigkeit ist es möglich, ein Referenzobjekt mit solchen Abmessungen einzusetzen, die den zu messenden Abmessungen des Objektes möglichst genau entsprechen. Auf diese Weise ist sichergestellt, daß die größte Genauigkeit exakt dort erreicht wird, wo der Sollwert des zu messenden Objektes liegt.

Eine Vorrichtung, mit der die Durchführung des Verfahrens möglich ist, arbeitet mit einer Quelle für den Lichtstrahl, einer Einrichtung zum Scannen dieses Lichtstrahles, einem zwischen einer ersten und einer zweiten Optik aufgespannten Meßfeld für das Objekt, einem der zweiten Optik nachgeschalteten Fotoempfänger, einer einen Oscillator aufweisenden Zähleinrichtung und ggf. einer digitalen Anzeige und kennzeichnet sich dadurch, daß eine Einrichtung zum Fixieren eines Referenzobjektes im Meßfeld vorgesehen ist und die Zähleinrichtung je einen Speicher zur Aufnahme der Frequenzmodulierten Abschattungszeit des Lichtstrahles durch das Referenzobjekt einerseits und durch das Objekt andererseits aufweist und daß eine Logik zum Unterscheiden der beiden Abschattungszeiten und zum Zuordnen zu den einzelnen Speichern vorgesehen ist. Damit ist dann ohne weiteres die Vergleichsbildung zwischen den beiden Abschattungszeiten möglich. Ober die bekannte Meßstrecke an dem Referenzobjekt kann sehr einfach die zu messende Wegstrecke ermittelt und dann digital angezeigt werden. Da in der Abschattungszeit für das Referenzobjekt die Fehler der Optik enthalten sind, sind auch in der Abschattungszeit für das zu messende Objekt die identischen Fehler vorhanden. Bei der Differenzbildung entfallen diese Fehler, so daß man die erforderliche Meßgenauigkeit erhält. Man erhält weiterhin diese Meßgenauigkeit konstant über den gesamten Meßbereich, wobei Voraussetzung ist, jeweils Referenzobjekte in der zu messenden Größenordnung einzusetzen. Es ist eine wirtschaftliche Herstellung durch Verwendung einfachster Bauelemente sowohl elektronischer als auch mechanischer Art möglich. Derartige Vorrichtungen werden dadurch erheblich preisgünstiger als bisher in Verkehr gebracht werden können. Auf den Einsatz korrigierter Optiken kann verzichtet werden.

Neben der Ausbildung eines einzigen Meßfeldes, in welches zusätzlich zu dem Meßobjekt auch das Referenzobjekt eingebracht wird, besteht aber auch die

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Möglichkeit, daß durch eine weitere erste und zweite Optik ein gesondertes Meßfeld für das Referenzobjekt vorgesehen ist, wobei diese Optiken in ihren Eigenschaften mit den beiden Optiken des Meßfeldes für das Objekt übereinstimmen, daß eine Einrichtung zum Fixieren des Referenzobjektes in seinem Meßfeld vorgesehen ist und daß auch der zweiten Optik des Meßfeldes des Referenzobjektes ein Fotoempfänger nachgeschaltet ist. Damit werden dann die beiden Abschattungszeiten in örtlich getrennten Meßfeldern und an örtlich getrennten Fotoempfängern registriert. Es wird jedoch nur ein Oscillator verwendet, so daß die Frequenzmodulation an beiden Abschattungszeiten identisch ist. Jeder Fotoempfänger kann mit seinem zugehörigen Speicher in einfachster Weise verbunden werden, so daß eine Logik, wie sie bei der Verwendung von nur einem Meßfeld erforderlich ist, hier entfällt.

Die Zähleinrichtung besitzt zwei Speicher. Der eine Speicher ist für die frequenzmodulierte Abschattungszeit durch das Objekt und der andere Speicher für die durch denselben Oscillator frequenzmodulierte Abschattungszeit durch das Referenzobjekt bestimmt. Eine Auswerteeinheit für den Vergleich der beiden Abschattungszeiten und die Ermittlung der zu messenden linearen Wegstrecke an dem Objekt ist nachgeschaltet.

Die Erfindung wird anhand des Standes der Technik und zweier Vorrichtungen zur Durchführung des Verfahrens, die in den Zeichnungen dargestellt sind, weiter beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 den Strahlengang in der Nähe des Meßfeldes bei einer bekannten Vorrichtung,

Fig. 2 die prinzipielle Anordnung der Einzelteile einer Vorrichtung nach der Erfindung in einer ersten Ausführungsform und

Fig.3 die prinzipielle Anordnung der Einzelteile einer Vorrichtung nach der Erfindung in einer zweiten Ausführungsform.

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Anhand von Fig. 1 soll nachgewiesen bzw. verständlich gemacht werden, wie sich bei dem bekannten Verfahren und der ebenfalls bekannten Vorrichtung öffnungsfehler der Optik negativ auf das Meßergebnis auswirken. Der Einfachheit halber ist nur die erste Optik 1 und die zweite Optik 2 dargestellt. Die erste Optik 1 ist die als Sender wirkende Optik. Die Optik 2 wirkt als Empfänger. Zwischen den beiden Optiken befindet sich das Meßfeld 3, in welches das Objekt 4, also beispielsweise der hinsichtlich seines Durchmessers zu messende Draht eingebracht ist. Infolge der kontaktlosen Messung kann sich das Meßobjekt 4 selbstverständlich auch, ähnlich wie an einer Ziehmaschine, kontinuierlich durch das Meßfeld fortbewegen. Der Optik 2 ist der Fotoempfänger 5 nachgeschaltet, der die Abschattungszeit des Lichtstrahles 6 durch das Objekt 4 registriert. Bei dem Lichtstrahl 6 handelt es sich um einen gescannten Lichtstrahl, insbesondere Laserstrahl, der ja bekanntlich quer über das Objekt 4 geführt wird. Dieser Lichtstrahl 6 wird von -h bis +h über die Focussierlinse der Optik 1 geführt, die den Strahl auf das Objekt 4 focussiert. Die Optik 1 besitzt einen öffnungsfehler, der zur Folge hat, daß die Randstrahlen stärker gebrochen werden als achsnahe Strahlen. Dieser Fehler ist durch die Differenz Δ S zwischen den Brennpunkten des Randstrahles und des Achsstrahles gekennzeichnet. Es ist leicht einzusehen, daß bei einer Messung der Zeit, die der Strahl 6 von -h Index 2 bis +h Index 2 braucht, um über die Probe gelenkt zu werden, nicht ohne weiteres auf den Durchmesser geschlossen werden kann, da in dem hier gezeigten Beispiel sowohl der Strahl in Höhe _+ h, als auch in Höhe +_ (ι~ zu gleichen Abschattungszeiten auf dem Fotoempfänger 5 führen. Dies hat zur Folge, daß unterschiedliche Durchmesser des Objektes 4 nicht zeitproportional gemessen werden können. Eine Eaxte Messung setzt also die Verwendung einer korrigierten Optik 1 voraus, die bei relativ großen zu messenden Wegstrecken unangemessen teuer wird.

In Fig. 2 ist eine erste Ausführungsform der Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens mit ihren wesentlichen Einzelteilen in prinzipieller Weise dargestellt. Ober eine nicht gezeigte Lichtquelle wird ein gebündelter Lichtstrahl 7 erzeugt, der mit Hilfe eines Drehspiegels 8, der mit der Winkelge-

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schwindigkeit 9 um eine Achse rotiert, fällt. Von dem Drehspiegel 8 wird der schon anhand der Fig. 1 beschriebene gescannte Lichtstrahl 6 ausgesandt. Dieser fällt, wie anhand von Fig. 1 beschrieben auf einen ersten Teil der Vorrichtung, der sich durch das Meßfeld 3 bis hin zu dem Fotoempfänger 5 kennzeichnet. In dem Meßfeld 3 ist das zu messende Objekt 4 angeordnet bzw. positioniert. Daneben, d.h. davor oder dahinter, relativ zu der Winkel bewegung des Drehspiegels 8, ist ein weiteres Meßfeld 3' vorgesehen, in dem das Referenzobjekt 4' fixiert ist. Auch hier findet eine erste Optik l'und eine zweite Optik 2' Verwendung. Ebenso ist ein Fotoempfänger 5' nachgeschaltet. Es versteht sich, daß die Optiken

1 und Γ gleiche Eigenschaften besitzen. Ebenso besitzen auch die Optiken

2 und 2' gleiche Eigenschaften, öffnungsfehler sind jedoch nicht nachteilig.

Die den beiden Fotoempfängern 5 und 5' nachgeschaltete Auswerteeinheit 10 weist einen einzigen Oscillator 11 und zwei Speicher 12 und 12* auf. Nachgeschaltet ist eine Einrichtung 13 zum Vergleich der beiden Abschattungszeiten und eine beispielsweise digitale Anzeige 14 zur Sichtbarmachung des Meßergebnisses.

Die Vorrichtung gemäß Fig. 2 arbeitet nun wie folgt:

Das Meßobjekt 4 wird in das Meßfeld 3 eingebracht bzw. durchläuft das Meßfeld 3. Das Referenzobjekt 4' wird in dem Meßfeld 3' fixiert. Sein Durchmesser ist bekannt. Der gescannte Lichtstrahl 6 überstreicht kurz nacheinander sowohl das Objekt 4 als auch das Referenzobjekt 4*. In beiden Fällen wird die jeweilige Abschattungszeit von dem Fotoempfänger 5 und 5' registriert mit Hilfe des identischen Oscillators 11 frequenzmoduliert und die jeweilige Abschattungszeit in den Speicher 12 bzw. 12' gegeben. Da der Durchmesser des Referenzobjektes 4' genauestens bekannt ist, kann durch einfache Verhältnisbildung an der Einrichtung 13 und mit Hilfe des bekannten Durchmessers des Referenzobjektes 4' der zu messende Durchmesser an dem Objekt 4 ermittelt und angezeigt werden. Da die beiden Meßfelder 3 und 3' nur in einem relativ kleinen spitzen Winkel voneinander verschieden angeordnet sind, ist nicht zu erwarten, daß eine Frequenzänderung des Dreh-

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spiegeis 8 während dieses Winkelbereiches eintritt. Jedenfalls ist eine derartige Frequenzänderung vernachlässigbar klein. Im übrigen ist die Frequenz des Drehspiegels 8 völlig unabhängig von der Frequenz des Oscillators 11. Ein Zusammenhang, wie beim Stand der Technik, besteht nicht mehr.

In Fig. 3 ist eine weitere Ausführungsform der Vorrichtung dargestellt. Hierbei werden im Unterschied zu Fig. 2 lediglich die identischen Optiken I₁ 1" bzw. 2, 2' eingesetzt, so daß ein einziges Meßfeld 3, 3* geschaffen ist, in welches sowohl das Objekt 4 als auch das Referenzobjekt 4'eingebracht werden. In diesem Falle ist zusätzlich eine Logik erforderlich, die die beiden Abschattungszeiten unterscheidet und für eine Speicherung in dem jeweils zugehörigen Speicher 12 bzw. 12' bewirkt. Die Arbeitsweise dieser Vorrichtung ist ansonsten analog.

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L e e r s e 11 e

Claims

UNSER ZEICHEN OURREF.

Spindler & Hoyer GmbH & Co., Königsallee 23, 3400 Göttingen

Verfahren und Vorrichtung zur kontaktlosen Messung linearer Wegstrecken, insbesondere des Durchmessers

Patentansprüche :

Iy Verfahren zur kontaktlosen Nessung linearer Wegstrecken, insbesondere des Durchmessers faden-, draht-, stangen- oder röhrenförmiger Objekte, bei dem ein gescannter Lichtstrahl über das Objekt geführt und mittels einer Optik auf einem Fotoempfänger focussiert wird, wobei die von dem Fotoempfänger registrierte Abschattungszeit des gescannten Lichtstrahles durch das Objekt unter Verwendung eines Oscillators gezählt und als Maß für die lineare Wegstrecke umgeformt bzw. ggf. digital angezeigt wird, dadurch gekennzeichnet, daß der gescannte Lichtstrahl zusätzlich über ein Referenzobjekt mit bekannter Wegstrecke geführt und die von dem Fotoempfänger registrierte, frequenzmodulierte Abschattungszeit des Referenzobjektes gespeichert wird und daß die von dem Fotoempfänger registrierte

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ORIGINAL INSPECTED

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Abschattungszeit des Objektes mit demselben Oscillator frequenzmoduliert und ebenfalls gespeichert wird, worauf durch Vergleich der beiden Speicherinhalte und mit Hilfe der bekannten Wegstrecke an dem Referenzobjekt die zu messende lineare Wegstrecke ermittelt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl das Referenzobjekt als auch das zu messende Objekt in das über eine einzige Optik erzeugte Meßfeld eingebracht werden und die beiden Abschattungszeiten auch nur durch eine einzige Optik mit dem Fotoempfänger registriert werden, wobei über eine Logik die beiden Abschattungszeiten unterschieden und dem jeweils zugehörigen Speicher zugeführt werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Referenzobjekt einerseits und das zu messende Objekt andererseits in zwei örtlich getrennte Meßfelder eingebracht werden, aber beide Meßfelder mit jeweils getrennten, aber identischen Optiken und Fotoempfä'ngem mit demselben gescannten Lichtstrahl überstrichen werden und auch an beiden Fotoempfängern derselbe Oscillator Verwendung findet.
4. Verfahren nach Anspruch 1 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß beide Meßfelder im spitzen Winkel zueinander von dem gescannten Lichtstrahl überstrichen werden.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung des Lichtstrahles ein Laser Verwendung findet.
6. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Realisierung zwei dimensionaler Messungen der Lichtstrahl in zwei zueinander senkrechten Richtungen gescannt wird oder das Objekt in der zur Bewegungsrichtung des gescannten Lichtstrahles senkrechten Richtung schrittweise bewegt wird.

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7. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zur Steigerung der Meßgenauigkeit ein Referenzobjekt mit solchen Abmessungen eingesetzt wird, die den zu messenden Abmessungen des Objektes möglichst genau entsprechen.
8. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, mit einer Quelle für den Lichtstrahl, einer Einrichtung zum Scannen dieses Lichtstrahles, einem zwischen einer ersten und einer zweiten Optik aufgespannten Meßfeld für das Objekt, einem der zweiten Optik nachgeschalteten Fotoempfänger, einer einen Oscillator aufweisenden Zähleinrichtung und ggf. einer digitalen Anzeige, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung zum Fixieren eines Referenzobjektes (4) im Meßfeld (3, 3*) vorgesehen ist und die Zähleinrichtung je einen Speicher (12, 12*) zur Aufnahme der frequenzmodulierten Abschattungszeit des Lichtstrahles durch das Referenzobjekt (4") einerseits und durch das Objekt (4) andererseits aufweist und daß eine Logik (15) zum Unterscheiden der beiden Abschattungszeiten und zum Zuordnen zu den einzelnen Speichern (12, 12') vorgesehen ist.
9. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, mit einer Quelle für den Lichtstrahl, einer Einrichtung zum Scannen dieses Lichtstrahles, einem zwischen einer ersten und einer zweiten Optik aufgespannten Meßfeld für das Objekt, einem der zweiten Optik nachgeschalteten Fotoempfänger, einer einen Oscillator aufweisenden Zähleinrichtung und ggf. einer digitalen Anzeige, dadurch gekennzeichnet, daß durch eine weitere erste und zweite Optik (Γ, 2') ein gesondertes Meßfeld (3') für das Referenzobjekt (4") vorgesehen ist, wobei diese Optiken (Γ, 2') in ihren Eigenschaften mit den beiden Optiken (1, 2) des Meßfeldes (3) für das Ofcpkt (4) übereinstimmen, daß eine Einrichtung zum Fixieren des Referenzobjektes (4') in seinem Meßfeld (3') vorgesehen ist und daß auch der zweiten Optik (2*) des Meßfeldes (3') des Referenzobjektes (4') ein Fotoempfänger (5') nachgeschaltet ist.

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10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Zähleinrichtung zwei Speicher (12, 12') besitzt, der eine Speicher (12) für die frequenzmodulierte Abschattungszeit durch das Objekt (4) und der andere Speicher (12') für die durch denselben Oscillator (11) frequenzmodulierte Abschattungszeit durch das Referenzobjekt (4') bestimmt ist und das eine Auswerteeinheit (13) für den Vergleich der beiden Abschattungszeiten und die Ermittlung der zu messenden linearen Wegstrecke an dem Objekt (4) vorgesehen ist.

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