JPS58111705A - 光学式測定装置 - Google Patents

光学式測定装置

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JPS58111705A
JPS58111705A JP56215253A JP21525381A JPS58111705A JP S58111705 A JPS58111705 A JP S58111705A JP 56215253 A JP56215253 A JP 56215253A JP 21525381 A JP21525381 A JP 21525381A JP S58111705 A JPS58111705 A JP S58111705A
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light
scanning
emitting elements
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義治 桑原
Hiroyoshi Hamada
浜田 啓好
Masayuki Kuwata
桑田 昌之
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光学式測定装置に係り、特に、難可視性或い
は不可視レーザ光線を利用して被測定物の寸法を測定す
る光学式測定装置に用いるに好適な、平行走査光線ビー
ム発生装置と、被測定物通過後の平行走査光線ビームを
集光する集光手段と、該集光手段により集光された走査
光線ビームの明暗を感知して電気信号とする単一の受光
素子とを有し、前記平行走置光線ビーム発生装置と受光
素子との間に配置した被測定物により前記平行走置光線
ビームが遮ぎられて生じる暗部又は明部の時間の長さか
ら被測定物の寸法を測定するようにした光学式測定装置
の改良に関する。
従来から、回転走査光線ビーム(レーザビーム)を、コ
リメータレンズにより、このコリメータレンズと集光1
/ンズ間を通る平行走査光線ビームに変換し、該コリメ
ータレンズと集光レンズの間に被測定物を置き、この被
測定物によって前記平行走査光線ビームが遮ぎられて生
じる暗部又は明部の時間の長さから被測定物の寸法を測
定する高速度走査型レーザ測長機が知られている。
これは、例えば第1図に示す如く、1ノーザ光源10か
ら17−ザビーム12を固定ミラー14に向けて発振し
、この固定ミラー14により反射されたレーザビーム1
2を回転ミラー16によって走査ビーム17に変換し、
この走査ビーム17をコリメータレンズ18によって平
行走査光線ビーム20に変換し、この平行走査光線ビー
ム20によりコリメータレンズ18と集光レンズ22の
間に配置した被測定物24を高速走査し、その時被測定
物24によって生じる暗部又は明部の時間の長さから、
被測定物24の走査方向寸法を測定するものである。即
ち、平行走査光線ビーム20の明暗は、集光レンズ22
の焦点位置にある受光素子26の出力電圧の変化となっ
て検出され、該受光素子26からの信号は、プリアンプ
28に入力され、ここで増幅された後、セグメント選択
回路30に送られる。このセグメント選択回路30は、
測定セグメントに対応する前記暗部又は明部の時間の長
さを測定するために、受光素子26の出力を時分割して
、被測定物24の測定セグメントが走査されている時間
tの間だけゲート回路32を開くための電圧Vを発生し
て、ゲート回路32に出力するようにされている。この
ゲート回路32には、クロックパルス発振器34からク
ロックパルスCPが入力されているので、ゲート回路3
2は、被測定物24の測定セグメントの走査方向寸法に
対応した時間tに対応するクロックパルスPを計数回路
36に入力する。計数回路36は、このクロックパルス
Pを計数して、デジタル表示器38に計数信号を出力し
、デジタル表示器38は被測定物24の測定セグメント
の走査方向寸法全デジタル表示することになる。一方、
前記回転ミラー16は、前記クロックパルス発振器34
出力と同期して正弦波を発生する同期正弦波発振器40
及、びパワーアンプ42の出力により同期駆動されてい
る同期モータ44により、前記クロックパルス発振器3
4出力のクロックパルスCPと同期して回転され、測定
精度を維持するようにされている。
このような高速度走査型レーザ測長機は、移動する物体
、高温物体の長さ、厚み等を非接触で高精度に測定でき
るので広(利用されつつある。しかしながら、通常は、
前記レーザ光源10として、ヘリウム−ネオンレーザが
用いられているので、平行走査光線ビーム20が難可視
性光線となり、平行走査光線ビーム20の走査範囲内の
所定位置に被測定物24を配置したり、或いは、配置さ
れた被測定物24が走査範囲内の最適位置にあるかどう
かを確認するのが、極めて困難であった。従って従来は
、前出第11′¥1に破線で示す如(、平行走査光線ビ
ーム20の光路中の、被測定物24と集光l/ンズ22
の間に、紙或いは螢光板等の投影物体46を配置し、該
投影物体46上の平行走査光線ビームの位置から、被測
定物24の位置が適切であるかどうかを判断するよう【
(シていた。しかしながら、このような投影物体46を
使用する方法では、位置確認に手間がかかるだけでなく
、被測定物24の位置を確認するために、投影物体46
を平行走査光線ビーム20の光路中に挿入している時に
は、被測定物24の位置が適切なものであるかゲうかを
正確に知るために、被測定物24の寸法を同時に測定す
ることが不可能であり、正確な位置確認が困難である。
又、投影物体46−ヒの平行走査光線ビーム20の位置
を目視で確認するため、レーザ光源10の出力が大きい
場合には危険である。更に、レーザ光源10として半導
体レーザを用いた場合には、平行走査光線ビーム20が
不可視光線となるので、投影物体46上の平行走査光線
ビーム20の位置を確認することが不可能である等の問
題点を有した。
一方、平行走査光線ビーム20の走査範囲内における被
測定物24の測定セグメントの中心位置を表示するアナ
ログのモニタメータを設けることも考えられるが、被測
定物24の測定セグメントが2以−ヒ存在したり、或い
は、被測定物24の一部が平行走査光線ビーム20の走
査範囲外に飛び出している場合には、被測定物24の中
心位置を求めることができす、アナログメータでは適切
な位置表示ができないという問題点を有した。
本発明は、前記従来の欠点を解消するべ(なされたもの
で、平行走査光線ビームの走査範囲に対する被測定物の
位置を、容易に、且つ正確(て知ることができ、従って
、測定を迅速口、つ安全に行なうことができる光学式測
定装置を提供すること金目的とする。
本発明は、平行走査光線ビーム発生装置と、被測定物通
過後の平行走査光線ビームを集光する集光手段と、該集
光手段により集光された走査光線ビームの明暗を感知し
て電気信号とする単一の受光素子とを有し、前記平行走
査光線ビーム発生装置と受光素子との間に配置した被測
定物により前記平行走査光線ビームが遮ぎられて生じる
暗部又は明部の時間の長さから被測定物の寸法を測定す
るようにした光学式測定装置において、前記平行走査光
線ビームの走査範囲に対応して配列された複数の発光素
子を有する設定位置表示手段と、単一走査時間内の前記
受光素子の出力を、前記設定位置表示手段の発光素子数
に応じて時分割し、走査範囲に対する被測定物の位置に
応じて前記設定位置表示手段の発光素子を発光させる時
分割回路と、を備えることにより、前記目的を達成した
ものである。
又、前記平行走査光線ビームが、難可視性光線又は不可
視先鞭からなるものとしたものである。
更に、前記時分割回路が、測定セグメントに対応する前
記暗部又は明部の時間の長さを測定するために、前記受
光素子の出力を時分割するセグメント選択回路を利用す
るものとしたものである。
以下図面を参照1して、本発明の実施例を詳細に説明す
る。
本実施例は、第2図に示す如(、前記従来例と同様の、
レーザ光源10、固定ミラー14、回転ミラー16、コ
リメータレンズ18、集光レンズ22、受光素子26、
プリアンプ28、セグメント選択回路30、ゲート回路
32、クロックパルス発振器34、計数回路36、デジ
タル表示器38、同期正弦波発振器40、パワーアンプ
42、同期モータ44とを有し、前記コリメータレンズ
18と集光レンズ22との間に配置した被測定物24に
より平行走査光線ビーム20が遮ぎられて生じる暗部の
時間の長さから被測定物24の寸法を測定するようにし
た光学式測定装置において、前記平行走査光線ビーム2
0の走査範囲に対応して配列された、複数(例えばn個
)の表示ランプ或いは発光ダイオード等からなる発光素
子50−1〜50−nを有する設定位置表示装置5oと
、単一走査時間内の前記プリアンプ28の出力を、前記
設定位置表示袋#500発光素子数に応じてn個に時分
割し、走査範囲に対する被測定物24の位置に応じて前
記設定位置表示装置1150の発光素子50−1〜50
−nを発光させる時分割回路52とを設けたものである
。他の点については前記従来例と同様であるので説明は
省略する。
前記設定位#表示装#50は、例えば第3図に示す如(
、光学式測定装置54の受光側ボディ54aに、前記平
行走査光線ビーム20の走査範囲と直接対応するように
配設されている。第3図において、54bは、発光側ボ
ディである。
本実施例においては、プリアンプ28の出力信号が、ク
ロックパルス発振器34出力のクロックパルス信号に応
じて、設定位置表示装置50の発光素子数nK対応して
n個に時分割される。従って、設定位置表示装置50に
おいては、平行走査光線ビーム20の走査範囲に対応す
るn個の発光    ′素子50−1〜50−nのうち
5平行走を光線と一ム20の走査範囲に対する被測定物
24の位置に対応する位置の発光素子が点灯されること
となるため、該設定位置表示装置50の点灯状態から、
平行走置光線ビーム20の走査範囲に対する被測定物の
設定位置を容易に、且つ、迅速に知ることができる。従
って、例えば比較測定や振動物体の測定を行なう場合に
は、被測定物24を走査範囲内の中央位置に正確に設定
することが可能となり、被測定物間の寸法偏差或いは被
測定物の振動に拘らず、精度の高い測定を行なうことが
可能となる。
本実施例においては、設定位置表示装置50を、光学式
測定装置54の受光側ボディ54aに、平行走査光線と
一ム20の走査範囲と直接対応するように設けているの
で、平行走査光線ビーム20の走査範囲に対する被測定
物24の位置を、極めて簡単に知ることができる。なお
、設定位置表示装置50の配設位置はこれに限定されず
、例えば第4図に示す如く、光学式測定装置の本体ボデ
ィとは別置きとされた電装表示部62に、デジタル表示
器34と並設することも可能である。
なお、前記実施例(Cおいては、被測定物24によって
平行走査光線ビーム20が、漉ぎられた位置に対応する
発光素子のみを点灯、するようにしていたが、設定位置
表示装#56の発光素子の点灯方法は、これに限定され
ず、例えば、測定セグメントが2個以上存在する場合を
で、被測定物の両端位置に対応する範囲内の発光素子を
、すべて点灯することも可能である。
又、前記実施例においては、時分割回路52の出力によ
り、設定位酋表示装@50の対応する発光素子を点灯さ
せるのみであったが、第2図に1点鎖線で示す如く、前
記時分割回路52の出力を増幅するパワーアンプ56と
、該パワーアンプ56の出力に応じて、被測定物24が
配置される載物台58の位置を移動するためのモータ6
0とを設けることにより、時分割回路52の出力に応じ
て、載物台58上の被測定物24が、平行走査光線ビー
ム20内の所定位置、例えば中央位置にくるように、載
物台58の位置をフィードバック制御することも可能で
ある。
更に、前記実施例においては、セグメント選択回路30
と独立した時分割回路52が設けられていたが、セグメ
ント選択回路30を一部改良することによって、別体の
時分割回路を設けることなく、前記設定位置表示装置5
0の対応する発光素子を点灯するようにすることも可能
である。
以上説明し7た通り、本発明によれば、平行走査光線ビ
ームが難可視性光線又は不可視光線からなる場合におい
ても、平行走査光線ビームの走査範囲に対する被測定物
の位置を容易に、且つ、迅速に知ることができる。従っ
て、被測定物が走査範囲外に飛び出すことを容易に15
a止できる。又、比較測定に際して、被測定物を走査範
囲の略中央位置に設定することが容易である。更に、平
行走査光線ビーム自体を直接目視する必要がないので、
安全である等の優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来の光学式測定装置の一例の構成を示す、
一部ブロック線図を含む平面図、第2図は、本発明に係
る光学式測定装置の実施例の構成を示す、一部ブロック
線図を含む平面図、第3図は、同じく、設定位置表示装
置の配役位置を示す正面図、第4図は、設定位置表示装
置の配役位置の変形例を示す正面図である。 10・・・1)−ザ光源、14・・・固定ばラー、16
・・・回転ミラー、18・・・コリメータ1/ンズ、2
2・・・集光1/ンズ、24・・・被測定物、26・・
・受光素子、28・・・プリアンプ、30・・・セグメ
ント選択回路、32・・・ケート回路、34・・・クロ
ックパルス8 振R?、、36・・・計数回路、38・
・・デジタル光示器、50・・・設定位置表示装置、5
0−1〜50−n・・・発光素子、52・・・時分割回
路。 代理人  高 矢   論 (けか1名)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)平行走査光線ビーム発生装置と、被測定物通過後
    の平行走査光線ビームを集光する集光手段と、該集光手
    段により集光された走査光線ビームの明暗を感知して電
    気信号とする単一の受光素子とを有し、前記平行走査光
    線ビーム発生装置と受光素子との間に配置した被測定物
    により前記平行走査光線ビームが遮ぎられて生じる暗部
    又は明部の時間の長さから被測定物の寸法を測定するよ
    うにした光学式測定装置において、前記平行走査光線ビ
    ームの走査範囲に対応して配列された複数の発光素子を
    有する設定位置表示手段と、単一走査時間内の前記受光
    素子の出−力を、前記設定位置表示手段の発光素子数に
    応じて時分割し、走査範囲に対する被測定物の位置に応
    じて前記設定位置表示手段の発光素子を発光させる時分
    割回路と、を備えたことを特徴とする光学式測定装置。
  2. (2)前記平行走査光線ビームが、難可視性光線又は不
    可視光線からなる特許請求の範囲第1項に記載の光学式
    測定装置。
  3. (3)前記時分割回路が、測定セグメントに対応する前
    記暗部又は明部の時間の長さを測定するために、前記受
    光素子の出力を時分割するセグメント選択回路を利用し
    たものである特許請求の範囲第1項に記載の光学式測定
    装置。
JP56215253A 1981-12-25 1981-12-25 光学式測定装置 Granted JPS58111705A (ja)

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