JPS6244612A - 光電式寸法測定機 - Google Patents
光電式寸法測定機Info
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- JPS6244612A JPS6244612A JP18497385A JP18497385A JPS6244612A JP S6244612 A JPS6244612 A JP S6244612A JP 18497385 A JP18497385 A JP 18497385A JP 18497385 A JP18497385 A JP 18497385A JP S6244612 A JPS6244612 A JP S6244612A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light beam
- parallel scanning
- photoelectric
- scanning
- mark
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、光Ｔ式寸法測定涙に係り、特に、１８可視性
あるい−は不可視レーザ光線を利用して測定対象物の寸
法や形状を測定する光電式寸法測定機に用いるのに好３
Ｂｚ、光源からの光ビームを平行走査光ビームに変換す
る平行走査ビーム発生器と、該平行走査ビーム発生器と
の間にセットされた測定対象物を通過した平行走査光ビ
ームを受けて、その明暗に相応した電気信号に変換する
光電変換器と、前記電気信号を処理して、測定対象物の
寸法や形状に関する測定値を求める電子回路を含んで形
成された光電式寸法測定機の改良に関するっ
あるい−は不可視レーザ光線を利用して測定対象物の寸
法や形状を測定する光電式寸法測定機に用いるのに好３
Ｂｚ、光源からの光ビームを平行走査光ビームに変換す
る平行走査ビーム発生器と、該平行走査ビーム発生器と
の間にセットされた測定対象物を通過した平行走査光ビ
ームを受けて、その明暗に相応した電気信号に変換する
光電変換器と、前記電気信号を処理して、測定対象物の
寸法や形状に関する測定値を求める電子回路を含んで形
成された光電式寸法測定機の改良に関するっ
従来から、測定対象物を通過した平行走査光ビームのな
す光の明暗を受けて、その寸法や形状を測定づ゛る光電
式寸法測定機が知られている。 これは、例えば第７図に示す如く、レーザ光源１０から
レーザビーム１２を固定ミラー１４に向けて発振し、こ
の固定ミラー１４により反射されたシー１ｆ′ビーム１
２を回転ミラー１６によって走査ビーム１７に変換し、
この走査ビーム１７をコリメータレンズ１８によって平
行走査光ビーム２０に変換し、この平行走査光ビーム２
０によりコリメータレンズ１８と集光レンズ２２の間に
配置した測定対象物２４を高速走査し、その時測定対象
物２４によって生じる暗部又は明部の時間の長さから、
測定対象物２４の走査方向寸法を測定するものである。 （即ち、平行走査光ビーム２ｏの明暗は、集光レンズ２
２の焦点位置にある受光素子２６の出力電圧の変化とな
って検出され、該受光素子２６からの信号は、プリアン
プ２８に入力され、ここで増幅された後、セグメント選
択回路３０に送られる。 このセグメント選択回路３０は、測定セグメン１−に対
応する前記暗部又は明部の時間の長さを測定するために
、受光素子２６の出力を時分割して、測定対象物２４の
測定セグメントが走査されている時間ｔの間だけゲート
回路３２を開くための電圧■を発生して、ゲート回路３
２に出力するようにされている。このゲート回路３２に
は、クロックパルス発振器３４からクロックパルスＣＰ
が入力されているので、ゲート回路３２は、測定対象物
２４の測定セグメントの走査方向寸法に対応した時間ｔ
に対応するクロックパルスＰを計数回路３６に入力する
。計数回路３６は、このクロックパルスＰを計数して、
デジタル表示器３８にｇ１１信号を出力し、デジタル表
示器３８は、測定対象物２４の測定セグメントの走査方
向寸法をデジタル表示することになる。 一方、前記回転ミラー１６は、前記クロックパルス発振
器３４出力を分周して駆動信号を発生する分周回路４０
及びパワーアンプ４２の出力により同門駆動されている
モータ４４により、前記クロックパルス発振器３４出力
のクロックパルスＣＰと同期して回転され、測定精度を
相持するようにされている。 このような光電式寸法測定機は、振動しあるいは移動す
る物体の寸法や形状を非接触で測定でき、且つ、電子回
路側でセグメントを選択切換えするだけで、平行走査光
ビーム２０の走査＠囲であれば物体の大小に拘らず測定
でき、又、その物体の任意の部分あるいは部分間をも選
択して測定もできるという特徴を有する。 しかしながら、高Ｍ度で能率の良い測定を行うためには
、測定対象物２４の形状や大きさと測定機の構造とから
決められる基準位置に測定対象物をセットする必要があ
る。基準位置は、一般的に、レンズ特性からその光軸上
にあり、又、これと直交する方向に対称となるようにセ
ットすべきである。 従って従来は、測定対象物２４と集光レンズ２２の間に
、紙あるいは蛍光板等の投影物体４６を配置し、該投影
物体４６上の平行走査光ビーム２０の位置から測定対象
物２４の位置が適切であるかどうかを判断するようにし
ている。 又、第８図に示す如く、出頼人が既に特開昭５８−１１
１７０５で提案しているように、平行走査光ビーム２０
の走査範囲に対応して複数の発光素子を有する設定位ご
表示装置４７を設け、走査範囲に対する測定対象物２４
の位７に応じて前記設定位置表示装ｕ４７の対応する発
光素子を発光させることも考えられている。第８図にお
いて、４８Ａは、測定機４８の受光側ボディ、４８Ｂは
、同じ（発光側ボディである。 更に、他の電気的、機械的方法も提案されている。 ■発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、いずれも、測定対象物２４がｊδ切にセ
ントされているか否かを確認するだけでなく、測定対象
物２４を適当にセットするための視覚的指標として用い
るには好適でなく、実用性に欠けるという問題点を有し
ていた。特に昨今は、インプロセス化を可能とするため
の小型化等により、不可視光を発生する半導体レーザ発
光器が多く用いられるようになっており、作業の迅速性
等から、前記のような問題点の改善が望まれていた。
す光の明暗を受けて、その寸法や形状を測定づ゛る光電
式寸法測定機が知られている。 これは、例えば第７図に示す如く、レーザ光源１０から
レーザビーム１２を固定ミラー１４に向けて発振し、こ
の固定ミラー１４により反射されたシー１ｆ′ビーム１
２を回転ミラー１６によって走査ビーム１７に変換し、
この走査ビーム１７をコリメータレンズ１８によって平
行走査光ビーム２０に変換し、この平行走査光ビーム２
０によりコリメータレンズ１８と集光レンズ２２の間に
配置した測定対象物２４を高速走査し、その時測定対象
物２４によって生じる暗部又は明部の時間の長さから、
測定対象物２４の走査方向寸法を測定するものである。 （即ち、平行走査光ビーム２ｏの明暗は、集光レンズ２
２の焦点位置にある受光素子２６の出力電圧の変化とな
って検出され、該受光素子２６からの信号は、プリアン
プ２８に入力され、ここで増幅された後、セグメント選
択回路３０に送られる。 このセグメント選択回路３０は、測定セグメン１−に対
応する前記暗部又は明部の時間の長さを測定するために
、受光素子２６の出力を時分割して、測定対象物２４の
測定セグメントが走査されている時間ｔの間だけゲート
回路３２を開くための電圧■を発生して、ゲート回路３
２に出力するようにされている。このゲート回路３２に
は、クロックパルス発振器３４からクロックパルスＣＰ
が入力されているので、ゲート回路３２は、測定対象物
２４の測定セグメントの走査方向寸法に対応した時間ｔ
に対応するクロックパルスＰを計数回路３６に入力する
。計数回路３６は、このクロックパルスＰを計数して、
デジタル表示器３８にｇ１１信号を出力し、デジタル表
示器３８は、測定対象物２４の測定セグメントの走査方
向寸法をデジタル表示することになる。 一方、前記回転ミラー１６は、前記クロックパルス発振
器３４出力を分周して駆動信号を発生する分周回路４０
及びパワーアンプ４２の出力により同門駆動されている
モータ４４により、前記クロックパルス発振器３４出力
のクロックパルスＣＰと同期して回転され、測定精度を
相持するようにされている。 このような光電式寸法測定機は、振動しあるいは移動す
る物体の寸法や形状を非接触で測定でき、且つ、電子回
路側でセグメントを選択切換えするだけで、平行走査光
ビーム２０の走査＠囲であれば物体の大小に拘らず測定
でき、又、その物体の任意の部分あるいは部分間をも選
択して測定もできるという特徴を有する。 しかしながら、高Ｍ度で能率の良い測定を行うためには
、測定対象物２４の形状や大きさと測定機の構造とから
決められる基準位置に測定対象物をセットする必要があ
る。基準位置は、一般的に、レンズ特性からその光軸上
にあり、又、これと直交する方向に対称となるようにセ
ットすべきである。 従って従来は、測定対象物２４と集光レンズ２２の間に
、紙あるいは蛍光板等の投影物体４６を配置し、該投影
物体４６上の平行走査光ビーム２０の位置から測定対象
物２４の位置が適切であるかどうかを判断するようにし
ている。 又、第８図に示す如く、出頼人が既に特開昭５８−１１
１７０５で提案しているように、平行走査光ビーム２０
の走査範囲に対応して複数の発光素子を有する設定位ご
表示装置４７を設け、走査範囲に対する測定対象物２４
の位７に応じて前記設定位置表示装ｕ４７の対応する発
光素子を発光させることも考えられている。第８図にお
いて、４８Ａは、測定機４８の受光側ボディ、４８Ｂは
、同じ（発光側ボディである。 更に、他の電気的、機械的方法も提案されている。 ■発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、いずれも、測定対象物２４がｊδ切にセ
ントされているか否かを確認するだけでなく、測定対象
物２４を適当にセットするための視覚的指標として用い
るには好適でなく、実用性に欠けるという問題点を有し
ていた。特に昨今は、インプロセス化を可能とするため
の小型化等により、不可視光を発生する半導体レーザ発
光器が多く用いられるようになっており、作業の迅速性
等から、前記のような問題点の改善が望まれていた。
本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたも
ので、測定対象物を適当にセットするための視覚的指標
を備えた光電式寸法測定機を提供することを目的とする
。 τ問題点を解決するための手段】 本発明は、５光源からの光ビームを平行走査光ビームに
変換する平行走査ビーム発生器と、該平行走査ビーム発
生器との間にセットされた測定対象物を通過した平行走
査光ビームを受けて、その明暗に相応した電気信号に変
換する光電変換器と、前記電気信号を処理して、測定対
象物の寸法や形） 状に関する測定値を求める電
子回路を含んで形成された光電式寸法測定機において、
前記平行走査光ビームの走査方向の略中間高さ面を含む
範囲で、前記平行走査ビーム発生器側から光電変換器側
に向かって照射され、前記測定対象物の表面上に光マー
クを形成する可視享ビームを発生させるマーク発生器を
設けることにより、前記目的を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記光マークを、前記平行走
査光ビームの走査方向に長くしたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記光マークを、前記平
行走査光ビームの走査方向と交叉する方向に長くしたも
のである。 又、本発明の他の実施態様は、前記マーク発生器が、徐
々に接近し、基準位置で重なり合う２本の可視光ビーム
を発生するようにしたものである。
ので、測定対象物を適当にセットするための視覚的指標
を備えた光電式寸法測定機を提供することを目的とする
。 τ問題点を解決するための手段】 本発明は、５光源からの光ビームを平行走査光ビームに
変換する平行走査ビーム発生器と、該平行走査ビーム発
生器との間にセットされた測定対象物を通過した平行走
査光ビームを受けて、その明暗に相応した電気信号に変
換する光電変換器と、前記電気信号を処理して、測定対
象物の寸法や形） 状に関する測定値を求める電
子回路を含んで形成された光電式寸法測定機において、
前記平行走査光ビームの走査方向の略中間高さ面を含む
範囲で、前記平行走査ビーム発生器側から光電変換器側
に向かって照射され、前記測定対象物の表面上に光マー
クを形成する可視享ビームを発生させるマーク発生器を
設けることにより、前記目的を達成したものである。 又、本発明の実施態様は、前記光マークを、前記平行走
査光ビームの走査方向に長くしたものである。 又、本発明の他の実施態様は、前記光マークを、前記平
行走査光ビームの走査方向と交叉する方向に長くしたも
のである。 又、本発明の他の実施態様は、前記マーク発生器が、徐
々に接近し、基準位置で重なり合う２本の可視光ビーム
を発生するようにしたものである。
本発明は、光電式寸法測定機において、平行走査光ビー
ムの走査方向の略中間高さ面を含む範囲で、平行走査ビ
ーム発生器側から光電変換器側に向かって照射され、測
定対象物の表面上に光マークを形成する可視光ビームを
発生させるマーク発生器を設けるようにしている。従っ
て、測定対象物を適当にセットするための視覚的指標が
得られ、一定対象物を容易にセットできる。 又、前記光マークを、前記平行走査光ビームの走査方向
に長くした場合には、平行走査光ビームの走査方向を容
易に知ることができる。 又、前記光マークを、前記平行走査光ビームの走査方向
と交叉する方向に長くした場合には、平行走査光ビーム
の走査方向の略中間高さ面を容易に知ることができる。 又、前記マーク発生器が、徐々に接近し、基準位置で重
なり合う２本の可視光ビームを発生するようにした場合
には、基準位置を的確に知ることができる。
ムの走査方向の略中間高さ面を含む範囲で、平行走査ビ
ーム発生器側から光電変換器側に向かって照射され、測
定対象物の表面上に光マークを形成する可視光ビームを
発生させるマーク発生器を設けるようにしている。従っ
て、測定対象物を適当にセットするための視覚的指標が
得られ、一定対象物を容易にセットできる。 又、前記光マークを、前記平行走査光ビームの走査方向
に長くした場合には、平行走査光ビームの走査方向を容
易に知ることができる。 又、前記光マークを、前記平行走査光ビームの走査方向
と交叉する方向に長くした場合には、平行走査光ビーム
の走査方向の略中間高さ面を容易に知ることができる。 又、前記マーク発生器が、徐々に接近し、基準位置で重
なり合う２本の可視光ビームを発生するようにした場合
には、基準位置を的確に知ることができる。
以下図面を参照して、本発明に係る光電式寸法測定機の
実施例を詳細に説明する。 本発明の第１実施例は、第１図及び第２図に示す如く、
前出第７図に示した従来例と同様の光電式寸法測定機に
おいて、更に、コリメータレンズ１８から集光レンズ２
２に向かって照射され、測定対象物２４の表面上に平行
走査光ビーム２０の走査範囲に対応する走査方向に長い
光マーク５０Ａを形成する可視光ビームを発生させるマ
ーク発生器５０を設けたものである。 前記マーク発生器５０は、光源５２と、該光源５２から
照射された可視光を平行走査光ビーム２０の走査方向に
長い光に変換するシリンドリカルレンズ５４と、該シリ
ンドリカルレンズ５４を通過した可視光ビームを平行走
査光ビーム２０に重ねて測定対象物２４に照射するため
のハーフミラ−５６とから構成されている。 又、前記集光レンズ２２の入側には、可視光ビームが受
光素子２６に入射されて、測定結果に悪影響を及ぼすの
を防止するためのバンドパスフィルタ５８が設けられて
いる。 他の点については前記従来例と同様であるので説明は省
略する。 この第１実施例においては、マーク発生器５０から照射
される可視光ビームが、平行走査光ビーム２０の最良走
査範囲と対応するようにされているので、測定対象面の
測定個所を最良走査範囲内にセットしたことを確認する
ことができる。又、測定対象面の傾斜姿勢を補正するこ
とも可能である。 次に、本発明の第２実施例を詳細に説明する。 この第２実施例は、第３図に示す如く、前記第１実施例
と同様の光電式寸法測定改において、前記シリンドリカ
ルレンズ５４の方向を第１実１＠例と直交する方向とし
て、測定対象物２４の表面１：に形成される光マーク５
０Ａが、平行走査光ビーム２０の走査方向と直交する方
向に長くなるようにしたものである。 他の点は、前記第１実施例と同じであるので説明は省略
する。 この第２実施例においては、平行走査光ビーム２０の走
査方向の中間高さを容易に知ることがで１ さる
。又、測定対象面の測定個所をレンズ光軸上にセットす
ることができる。 次に、本発明の第３実施例を詳細に説明する。 この第３実施例は、第４図に示寸如く、前記第１実施例
と同様の光電式寸法測定殿において、シリンドリカルレ
ンズを省略して、平行走査光ビーム２０の走査方向の中
間高さに相当する、断面が点状の可視光ビームを測定対
象物２４に照射するようにしたものである。 従って、測定対象物２４の表面上に形成される光マーク
５０△は、点状となる。 他の点については前記第１実施例と同様であるので説明
は省略する。 この第３実施例においては、平行走査光ビーム２０の中
心位置を容易に知ることができる。 次に、本発明の第４実施例を詳細に説明する。 この第４実施例は、第５図に示す如く、前出第７図に示
した従来例と同様の光電式寸法測定機において、更にコ
リメータレンズ１８の両脇に、徐々に接近し、基準位置
で重なり合う２本の可視光ビームを発生するマーク発生
器６０を設けたものである。 前記マーク発生器６０には、１対の光源６２Ａ。 ６２Ｂが含まれている。 他の点については、前記従来例と同様であるので゛説明
は省略する。 この第４実施例においては、一対の光源６２△、６２Ｂ
から２本の可視光ビームが照射されるので、測定対象物
２４上の光マーク６０Ａ、６０Ｂの位置から、基準位置
との相対関係を容易に知ることができる。 次に、本発明の第５実施例を詳細に説明する。 この第５実施例は、第６図に示す如く、前記第４実施例
と同様の光電弐寸法測定鷺において、前記マーク発生器
６０を、１個の光源６６から照用された光を、ハーフミ
ラ−６８Ａ、６８Ｂにより分割して２本の可視光ビーム
を発生するものとしたものである。 池の点については、前記第４実施例と同様であるので説
明は省略する。 この第５実施例においては、第４実施例に比べて光源の
数を減らすことができる。
実施例を詳細に説明する。 本発明の第１実施例は、第１図及び第２図に示す如く、
前出第７図に示した従来例と同様の光電式寸法測定機に
おいて、更に、コリメータレンズ１８から集光レンズ２
２に向かって照射され、測定対象物２４の表面上に平行
走査光ビーム２０の走査範囲に対応する走査方向に長い
光マーク５０Ａを形成する可視光ビームを発生させるマ
ーク発生器５０を設けたものである。 前記マーク発生器５０は、光源５２と、該光源５２から
照射された可視光を平行走査光ビーム２０の走査方向に
長い光に変換するシリンドリカルレンズ５４と、該シリ
ンドリカルレンズ５４を通過した可視光ビームを平行走
査光ビーム２０に重ねて測定対象物２４に照射するため
のハーフミラ−５６とから構成されている。 又、前記集光レンズ２２の入側には、可視光ビームが受
光素子２６に入射されて、測定結果に悪影響を及ぼすの
を防止するためのバンドパスフィルタ５８が設けられて
いる。 他の点については前記従来例と同様であるので説明は省
略する。 この第１実施例においては、マーク発生器５０から照射
される可視光ビームが、平行走査光ビーム２０の最良走
査範囲と対応するようにされているので、測定対象面の
測定個所を最良走査範囲内にセットしたことを確認する
ことができる。又、測定対象面の傾斜姿勢を補正するこ
とも可能である。 次に、本発明の第２実施例を詳細に説明する。 この第２実施例は、第３図に示す如く、前記第１実施例
と同様の光電式寸法測定改において、前記シリンドリカ
ルレンズ５４の方向を第１実１＠例と直交する方向とし
て、測定対象物２４の表面１：に形成される光マーク５
０Ａが、平行走査光ビーム２０の走査方向と直交する方
向に長くなるようにしたものである。 他の点は、前記第１実施例と同じであるので説明は省略
する。 この第２実施例においては、平行走査光ビーム２０の走
査方向の中間高さを容易に知ることがで１ さる
。又、測定対象面の測定個所をレンズ光軸上にセットす
ることができる。 次に、本発明の第３実施例を詳細に説明する。 この第３実施例は、第４図に示寸如く、前記第１実施例
と同様の光電式寸法測定殿において、シリンドリカルレ
ンズを省略して、平行走査光ビーム２０の走査方向の中
間高さに相当する、断面が点状の可視光ビームを測定対
象物２４に照射するようにしたものである。 従って、測定対象物２４の表面上に形成される光マーク
５０△は、点状となる。 他の点については前記第１実施例と同様であるので説明
は省略する。 この第３実施例においては、平行走査光ビーム２０の中
心位置を容易に知ることができる。 次に、本発明の第４実施例を詳細に説明する。 この第４実施例は、第５図に示す如く、前出第７図に示
した従来例と同様の光電式寸法測定機において、更にコ
リメータレンズ１８の両脇に、徐々に接近し、基準位置
で重なり合う２本の可視光ビームを発生するマーク発生
器６０を設けたものである。 前記マーク発生器６０には、１対の光源６２Ａ。 ６２Ｂが含まれている。 他の点については、前記従来例と同様であるので゛説明
は省略する。 この第４実施例においては、一対の光源６２△、６２Ｂ
から２本の可視光ビームが照射されるので、測定対象物
２４上の光マーク６０Ａ、６０Ｂの位置から、基準位置
との相対関係を容易に知ることができる。 次に、本発明の第５実施例を詳細に説明する。 この第５実施例は、第６図に示す如く、前記第４実施例
と同様の光電弐寸法測定鷺において、前記マーク発生器
６０を、１個の光源６６から照用された光を、ハーフミ
ラ−６８Ａ、６８Ｂにより分割して２本の可視光ビーム
を発生するものとしたものである。 池の点については、前記第４実施例と同様であるので説
明は省略する。 この第５実施例においては、第４実施例に比べて光源の
数を減らすことができる。
以上説明した通り、本発明によれば、測定対象物を適当
にセットするための視覚的指標がｔｉられ、測定対象物
を容易にセットすることができるという優れた効果を有
する。
にセットするための視覚的指標がｔｉられ、測定対象物
を容易にセットすることができるという優れた効果を有
する。
第１図は、本発明に係る光電式寸法測定顆の第１実施例
の要部構成を示す平面図、第２図は、同じく側面図、第
３図は、本発明に係る第２実施例の要部構成を示す平面
図、第４図は、同じく第３実施例の要部構成を示す側面
図、第５図は、同じく第４実施例の要部構成を示す側面
図、第６図は、同じく第５実施関の要部構成を示す側面
図、第７図は、従来の光電弐寸法測定磯の一例の全体構
成を示す、一部ブロック線図を含む側面図、第８図は、
同じ〈従来の他の例の全体構成を示す側面図である。 １０・・・レーザ光源、 １６・・・回転ミラー、
１８・・・コリメータレンズ、 ２０・・・平行走査光ビーム、 ２２・・・集光レンズ、 ２４・・・測定対象物、
２６・・・受光素子、 ５０．６０・・・マーク発生器、 ５０Ａ、６０Ａ、６０Ｂ・・・光マーク。
の要部構成を示す平面図、第２図は、同じく側面図、第
３図は、本発明に係る第２実施例の要部構成を示す平面
図、第４図は、同じく第３実施例の要部構成を示す側面
図、第５図は、同じく第４実施例の要部構成を示す側面
図、第６図は、同じく第５実施関の要部構成を示す側面
図、第７図は、従来の光電弐寸法測定磯の一例の全体構
成を示す、一部ブロック線図を含む側面図、第８図は、
同じ〈従来の他の例の全体構成を示す側面図である。 １０・・・レーザ光源、 １６・・・回転ミラー、
１８・・・コリメータレンズ、 ２０・・・平行走査光ビーム、 ２２・・・集光レンズ、 ２４・・・測定対象物、
２６・・・受光素子、 ５０．６０・・・マーク発生器、 ５０Ａ、６０Ａ、６０Ｂ・・・光マーク。
Claims (4)
- （１）光源からの光ビームを平行走査光ビームに変換す
る平行走査ビーム発生器と、該平行走査ビーム発生器と
の間にセットされた測定対象物を通過した平行走査光ビ
ームを受けて、その明暗に相応した電気信号に変換する
光電変換器と、前記電気信号を処理して、測定対象物の
寸法や形状に関する測定値を求める電子回路を含んで形
成された光電式寸法測定機において、 前記平行走査光ビームの走査方向の略中間高さ面を含む
範囲で、前記平行走査ビーム発生器側から光電変換器側
に向かつて照射され、前記測定対象物の表面上に光マー
クを形成する可視光ビームを発生させるマーク発生器を
設けたことを特徴とする光電式寸法測定機。 - （２）前記光マークが、前記平行走査光ビームの走査方
向に長くされている特許請求の範囲第１項記載の光電式
寸法測定機。 - （３）前記光マークが、前記平行走査光ビームの走査方
向と交叉する方向に長くされている特許請求の範囲第１
項記載の光電式寸法測定機。 - （４）前記マーク発生器が、徐々に接近し、基準位置で
重なり合う２本の可視光ビームを発生するようにされて
いる特許請求の範囲第１項記載の光電式寸法測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18497385A JPS6244612A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 光電式寸法測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18497385A JPS6244612A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 光電式寸法測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6244612A true JPS6244612A (ja) | 1987-02-26 |
Family
ID=16162584
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18497385A Pending JPS6244612A (ja) | 1985-08-22 | 1985-08-22 | 光電式寸法測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6244612A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005090212A1 (ja) * | 2004-03-24 | 2005-09-29 | Justin Co., Ltd. | 位置検出機構および位置検出センサ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57127804A (en) * | 1981-02-02 | 1982-08-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | Device for measuring coordinate of hollow shape |
-
1985
- 1985-08-22 JP JP18497385A patent/JPS6244612A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57127804A (en) * | 1981-02-02 | 1982-08-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | Device for measuring coordinate of hollow shape |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005090212A1 (ja) * | 2004-03-24 | 2005-09-29 | Justin Co., Ltd. | 位置検出機構および位置検出センサ |
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