JPH0795084B2 - 表面電位測定器 - Google Patents
表面電位測定器Info
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- JPH0795084B2 JPH0795084B2 JP3151677A JP15167791A JPH0795084B2 JP H0795084 B2 JPH0795084 B2 JP H0795084B2 JP 3151677 A JP3151677 A JP 3151677A JP 15167791 A JP15167791 A JP 15167791A JP H0795084 B2 JPH0795084 B2 JP H0795084B2
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- charged body
- sensor
- distance
- light
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Description
定するための静電誘導式の測定器に関する。
ては、従来から一般に、静電誘導式のものが用いられて
いる。
面電位を検出するセンサとして、音叉型表面電位センサ
等のセンサを備え、このセンサを帯電体に近づけた時
に、静電誘導によって該センサの電極に誘導される電荷
によりこれに発生する電位を検出し、この電位から帯電
体の表面電位を測定するようにしている。
体の表面電位だけでなく、該センサと帯電体との距離に
よっても変化する。このため、この種の測定器において
は、測定を行う際のセンサと帯電体との距離が所定の値
に定められ、その所定の距離において帯電体の表面電位
が測定できるようになっており、これ以外の距離におい
ては正しい測定を行うことができないようになってい
る。そこで、この種の測定器においては、通常、表面電
位の測定に際して、センサと帯電体との距離も測定さ
れ、その測定された距離が上記の所定の距離でない時に
は、例えばアラーム等により警告するようにしている。
と帯電体との距離を求める装置としては、従来から超音
波を用いたもの、電磁波を用いたもの、あるいはレーザ
光を用いたもの等が一般に知られており、特に、レーザ
光を用いたものにあっては、所謂、パルス法、変調法あ
るいは合成波調法等の測距装置が知られている。
電位測定器に適用した場合には、次のような不都合があ
った。
ては、その構成が比較的容易なものとなり、また、コス
ト的にも比較的安価であることから、上記の電位測定器
においても一般的に用いられるものの、一般にはその距
離測定の測定誤差が比較的大きく、また、超音波の指向
性や、超音波の反射物である帯電体の表面形状、材質等
によっては、測距不能となることもあった。さらに、特
に、携帯用の電位測定器に用いた場合には、超音波の発
信・受信器等の構成上、測定器の大きさが比較的大きな
ものとなり、その小型化の妨げとなっていた。
は、通常、レーダが用いられるが、このレーダを用いた
測距装置は、一般には大型なものとなると共に分解能が
劣り、このため、この測距装置を電位測定器に適用した
場合には、電位測定器が非常に大型化して実用的でなく
なると共に、測定精度を向上させることが困難であっ
た。
ては、その距離測定の精度は優れたものとなるものの、
その構成が複雑、且つ、高度なものとなり、これを電位
測定器に適用した場合には、その電位測定器全体の構成
が複雑化すると共に、コスト的に不利であった。
おいては、次のような不都合もあった。
絶縁体である場合には、その表面の電位分布は一様でな
く、このため、表面電位の測定に際して、その測定箇所
を特定し、あるいは把握する必要がある。
ては、これを測定者が把持した状態で前記センサを帯電
体の測定箇所に対向させて近づけることにより表面電位
の測定が行われるので、測定者は、その測定箇所を特定
し難く、また、その測定箇所を把握し難いものとなって
いた。
を解消し、帯電体の表面電位を測定する測定器におい
て、簡略且つ小型な構成で、測定者が容易に表面電位の
測定を行うべき測定箇所と、その測定箇所及びセンサ間
の測定に適した距離とを把握することができる表面電位
測定器を提供することを目的とする。
成するために、帯電体の表面電位及び該帯電体からの距
離に応じて静電誘導により電位が発生するセンサと、該
センサと帯電体との距離が所定の距離であるときに該セ
ンサに発生した電位により該帯電体の表面電位を検出す
る電位検出手段と、該表面電位の測定時に、前記センサ
に略対向する帯電体の測定箇所に該センサと帯電体との
距離に応じた光の像であって、少なくとも当該距離が前
記所定の距離であることを判別し得る像を生ぜしめる光
を照射する照光手段とを備え、該照光手段は、前記セン
サに略対向する前記帯電体の測定箇所に向かって光を発
光する発光手段と、該発光手段による光の進行経路の途
中に設けられた光学凸レンズとから成り、該発光手段に
よる光は、前記光学凸レンズの中心部に向かう部分と周
縁部に向かう部分とが強度の強くなる指向特性を有し、
さらに該光学凸レンズを通過した後に、前記センサと帯
電体との距離が前記所定の距離以外の距離であるときに
は該帯電体に環状縞模様の光の像を生ぜしめ、且つ、当
該距離が前記所定の距離であるときには該帯電体に単一
的な略円形の光の像を生ぜしめることを特徴とする。
する際には、前記照光手段により該帯電体に光を照射し
つつ前記センサを該帯電体に近づける。この時、該セン
サに略対向する帯電体の測定箇所に前記光の像が生じ、
その像は、センサと帯電体との距離に応じて変化すると
共に、該距離が前記所定の距離になると、該所定距離に
対応した像となる。そして、この像を維持すべくセンサ
の移動を停止させると、該センサと該像が生じた帯電体
の測定箇所とは該所定の距離に維持され、この時、該測
定箇所において、前記電位検出手段により帯電体の表面
電位が検出される。
光は、前記光学凸レンズを通過した後に、前記センサと
帯電体との距離が前記所定の距離以外の距離であるとき
には該帯電体に環状島縞模様の光の像を生ぜしめ、当該
距離が前記所定の距離であるときには該帯電体に単一的
な略円形の光の像を生ぜしめる。
際に、該帯電体に生じた光の像が、単一的な略円形の光
の像となった位置でセンサの移動を停止させれば、該セ
ンサと帯電体の測定箇所とは表面電位の測定を行うべき
所定の距離に維持される。
(a),(b)及び図2(a),(b)に従って説明す
る。図1(a)は該測定器の外観斜視図、図1(b)は
その要部のブロック構成図、図2(a),(b)はその
作動を説明するための説明図である。
下、単に測定器1という)は、その箱形の筐体2の前面
部に例えば、音叉型表面電位センサ3(以下、単にセン
サ3という)と、光学凸レンズ4とを備え、筐体2の内
部には、センサ3に接続された電位検出器5と、光学凸
レンズ4に対向して設けられた発光手段である発光体6
と、図示しないCPU等を含むコントローラ7とが収納
されている。そして、電位検出器5及びコントローラ7
により電位検出手段8を構成し、光学凸レンズ4及び発
光体6により照光手段9を構成している。
に、静電誘導により、帯電体Xのセンサ3に略対向する
箇所における表面電位と、該帯電体X及びセンサ3間の
距離とに応じた電位を発生するものであり、電位検出器
5は、このセンサ3に生じた電位を増幅して出力するよ
うにしている。そして、コントローラ7は、電位検出器
5の出力信号を図1(b)に示すA/D変換器10によ
りA/D変換してデジタルデータとした後に、これを筐
体2の上面部に設けた表示器11に帯電体Xの表面電位
として表示するようにしている。
位の値は、センサ3と帯電体Xとの距離が所定の距離D
0(以下、基準距離D0という)である時に、センサ3
に対向する箇所における帯電体Xの実際の表面電位を正
しく示すものとなるように設定されている。
EDにより構成され、その発光光を光学凸レンズ4を介
して帯電体Xのセンサ3に略対向する箇所に照射するよ
うにしている。この場合、発光体6の発光光は、その指
向特性により、光学凸レンズ4の中心部に向かう部分
と、光学凸レンズ4の周縁部に向かう部分とが強度が強
くなるようにされており、このため、帯電体Xの照光箇
所には、後述するように帯電体Xとセンサ3との距離に
応じて異なる光の像を生ぜしめるようになっている。
2の前面部に互いに近接して配置されており、発光体6
の発光光は、光学凸レンズ4を通過した後に、帯電体X
のセンサ3に略対向する箇所に照射される。
面電位を測定する際の作動を説明する。
を測定する際には、測定器1の図示しない電源スイッチ
を投入した後に、センサ3及び光学凸レンズ4を帯電体
Xに対向させて測定器1を帯電体Xに近づけていく。
これに対向する箇所における帯電体Xの表面電位及び帯
電体Xとの距離に応じた電位が誘起され、その電位に応
じた値が表示器11に表示される。
て帯電体Xに向かって発光光が照射され、この発光光
は、光学凸レンズ4を通過した後に、帯電体Xのセンサ
3に略対向する箇所、すなわち表面電位の測定箇所に光
の像を生ぜしめる。
(b)に示すように、センサ3及び光学凸レンズ4と帯
電体Xとの距離に応じて変化する。
に、帯電体Xとセンサ3との距離が前記基準距離D0よ
り大きい距離Da(Da>D0)である時には、光学凸
レンズ4の中心部を通過する発光光とその周縁部を通過
する発光光とにより、図2(b)に示すように、帯電体
Xの照光箇所に境界の明確な環状縞模様の光の像Laを
生じる。同図中、斜線示の部分は、光の像が現れる部分
を示している。
帯電体Xとセンサ3との距離が前記基準距離D0より小
さい距離Db(Db<D0)である時にも、図2(b)
に示すように、帯電体Xの照光箇所に境界の明確な環状
縞模様の光の像Lbを生じる。
とセンサ3との距離が前記基準距離D0である時には、
図2(b)に示すように、帯電体Xの照光箇所に生じる
光の像L0は、境界の明確な環状縞模様とならず、単な
る円形の光の像となる。
際、発光体6の指向特性や、発光体6と発光レンズ4と
の距離、発光レンズ4の焦点距離等を適切に設定してお
くことによって得ることができる。
その大きさも帯電体Xとセンサ3との距離が近づくにつ
れて小さくなっていく。
近づけていく際に、帯電体Xに生じた光の像を確認し、
この光の像が環状縞模様でない単なる円形の像L0とな
った位置で、測定器1の移動を停止させてこの状態を保
持することにより、センサ3と帯電体Xの表面電位の測
定箇所との距離が前記基準距離D0に維持される。
示された値は、センサ3に対向する箇所における帯電体
Xの表面電位を示すものとなり、これにより、帯電体X
の表面電位が測定される。
L0は、帯電体Xのセンサ3に略対向する箇所に生じる
ので、測定者は、表面電位の測定箇所を把握することが
でき、また、その光の像L0の位置を確認しつつ、所望
の箇所における帯電体Xの表面電位を測定することがで
きる。
との距離及び表面電位の測定箇所を確認・把握する構成
が発光体6及び発光レンズ4等の極めて簡略且つ小型な
ものにより構成されているので、測定器1全体の構成も
極めて簡略且つ小型な構成となっている。
によれば、帯電体の表面電位を測定する際に、その表面
電位を検出するためのセンサに略対向する帯電体の測定
箇所に照光手段により光を照射して、該測定箇所にセン
サとの距離に応じた光の像を生ぜしめ、その光の像によ
り、センサと帯電体との距離が帯電体の表面電位を測定
し得る所定の距離であることを判別し得るようにしたこ
とによって、極めて簡略且つ小型な構成で、測定者が表
面電位の測定を行うべきセンサと帯電体との距離を確実
且つ容易に把握することができ、帯電体の表面電位を正
しく測定することができると共に、測定器全体の構成も
簡略且つ小型なものとすることができる。
略対向する測定箇所に生ぜしめるようにしたことによっ
て、測定者は、その測定箇所を確実且つ容易に把握する
ことができ、容易に帯電体の所望の箇所で表面電位の測
定を行うことができる。
段は、LEDや半導体レーザ等を用いた発光手段及び光
学レンズ等の組合せにより、極めて容易に且つ小型に構
成することができる。
斜視図、(b)はその要部のブロック構成図、
6…発光体(発光手段)、8…電位検出手段、9…照光
手段、X…帯電体、La,Lb,L0…光の像。
Claims (1)
- 【請求項1】帯電体の表面電位及び該帯電体からの距離
に応じて静電誘導により電位が発生するセンサと、該セ
ンサと帯電体との距離が所定の距離であるときに該セン
サに発生した電位により該帯電体の表面電位を検出する
電位検出手段と、該表面電位の測定時に、前記センサに
略対向する帯電体の測定箇所に該センサと帯電体との距
離に応じた光の像であって、少なくとも当該距離が前記
所定の距離であることを判別し得る像を生ぜしめる光を
照射する照光手段とを備え、該照光手段は、前記センサ
に略対向する前記帯電体の測定箇所に向かって光を発光
する発光手段と、該発光手段による光の進行経路の途中
に設けられた光学凸レンズとから成り、該発光手段によ
る光は、前記光学凸レンズの中心部に向かう部分と周縁
部に向かう部分とが強度の強くなる指向特性を有し、さ
らに該光学凸レンズを通過した後に、前記センサと帯電
体との距離が前記所定の距離以外の距離であるときには
該帯電体に環状縞模様の光の像を生ぜしめ、且つ、当該
距離が前記所定の距離であるときには該帯電体に単一的
な略円形の光の像を生ぜしめることを特徴とする表面電
位測定器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3151677A JPH0795084B2 (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 表面電位測定器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3151677A JPH0795084B2 (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 表面電位測定器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05172886A JPH05172886A (ja) | 1993-07-13 |
JPH0795084B2 true JPH0795084B2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=15523841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3151677A Expired - Lifetime JPH0795084B2 (ja) | 1991-06-24 | 1991-06-24 | 表面電位測定器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0795084B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008057985A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Kasuga Electric Works Ltd | 距離補正付き静電気測定器 |
JP2008157734A (ja) * | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Hioki Ee Corp | 磁界センサ |
JP2013007694A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Kasuga Electric Works Ltd | 表面電位測定装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55149850A (en) * | 1979-01-19 | 1980-11-21 | Ricoh Co Ltd | Non-contact electrometer |
JPS62142206A (ja) * | 1985-12-17 | 1987-06-25 | Inoue Japax Res Inc | 物体の表面位置測定装置 |
-
1991
- 1991-06-24 JP JP3151677A patent/JPH0795084B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05172886A (ja) | 1993-07-13 |
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