DE3632336A1 - Entfernungsmessgeraet - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Entfernungsmeßgerät und insbesondere
ein Gerät zur Messung einer Entfernung zwischen zwei
beabstandeten Punkten, um die Entfernung zwischen zwei relativ zueinander
bewegbaren Teilen oder den Außen- oder Innendurchmesser
eines zylindrischen Teils zu bestimmen.
Zur Automatisierung von Werkzeugmaschinen und zahlreichen verschiedenen
industriellen Maschinen ist es notwendig, den Betrag oder
das Ausmaß einer Relativverschiebung oder einer Entfernung zwischen
zwei relativ zueinander bewegbaren Teilen, beispielsweise eines
Maschinenbetts und eines Maschinentischs einer Werkzeugmaschine,
genauestens zu erfassen.
Bekannte Geräte zur Messung des Ausmaßes der Relativbewegung, d. h.
der Entfernung oder des Abstandes zwischen zwei relativ zueinander
bewegbaren Teilen, umfassen Geräte, wie beispielsweise ein
Inductosyn, in denen eine Skala und ein Läufer auf sich gegenüberliegenden
Oberflächen von zwei bewegbaren Teilen befestigt sind,
wobei ein Erregerstrom durch die Skala geführt wird und ein im
Läufer induziertes elektrisches Signal dazu benutzt wird, das Ausmaß
der Relativbewegung der beiden Teile zu erfassen. Ferner schließen
derartige Meßgeräte Geräte ein, bei denen der Rotationswinkel eines
Motors zur Bewegung eines Teiles relativ zu einem weiteren Teil
mittels eines Resolvers oder Drehmelders erfaßt wird, um das Ausmaß
der Relativbewegung der beiden Teile festzustellen.
In diesen Geräten ist es notwendig, eine bearbeitete Skala und einen
Schieber auf den sich gegenüberliegenden Oberflächen der relativ
zueinander bewegbaren Teile sehr genau zu befestigen. Darüber hinaus
ist es zur Erhöhung der Meßgenauigkeit notwendig, die Skala mit
einer so feinen Teilung wie nur irgend möglich präzise auszuarbeiten.
Dies erfordert jedoch nicht nur einen großen Arbeits-
und Zeitaufwand, sondern erhöht auch die Herstellungskosten. Weiterhin
benötigt das letztgenannte Gerät eine komplizierte elektrische
Verarbeitungsschaltung. Auch, wenn der Rotationswinkel des Motors
genau gemessen wird, so treten doch Meßfehler aufgrund von Fehlern
in der Nullstellung des Spiels und Freiraums des Geschwindigkeitsreduktionsmechanismusses
und des durch den Motor angetriebenen Vorschubmechanismusses
auf.
In der Vergangenheit wurde der Durchmesser, beispielsweise der
Außendurchmesser eines großen Werkstückes, das durch eine Vertikaldrehmaschine
bearbeitet wurde, mittels eines großen Mikrometers
gemessen, das speziell für diesen Zweck angefertigt wurde. Oder es
wurden Klötze auf sich diametral gegenüberliegenden Positionen des
Werkstückes plaziert, und der Abstand zwischen den Blöcken mit
einem Innenmikrometer gemessen. Jedoch ist ein derart großes Mikrometer
schwer und kompliziert zu handhaben, wodurch sich eine geringe
Meßgenauigkeit ergibt. Wird zudem das Innenmikrometer benutzt, ist
es nicht nur außerordentlich schwierig, die Klötze mit ausreichender
Genauigkeit in Kontakt mit dem Werkstück zu positionieren, sondern
auch schwer, das Mikrometer genau anzulegen und damit zu verbinden.
Außer diesen Geräten gibt es ein weiteres Durchmessermeßgerät, in
dem ein ein Werkstück tragender Tisch gedreht wird und eine Andruckwalze
bekannten Durchmessers gegen die Umfangsfläche des Werkstückes
derart gepreßt wird, daß der Durchmesser des Werkstückes
berechnet werden kann, indem die Anzahl der Walzenumdrehungen ausgenutzt
wird. Jedoch ist aufgrund des Schlupfes der Walze die Genauigkeit
dieser Messung beeinträchtigt. Darüber hinaus würde bei
Anpressen dieser Walze gegen die Oberfläche des Werkstückes dessen
Oberfläche beschädigt, wenn das Werkstück aus einem relativ weichen
Material hergestellt ist.
Bei Benutzung eines Innenmikrometers zur Messung des Innendurchmessers
tritt mit wachsendem Innendurchmesser das gleiche Problem
auf. Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
verbessertes Gerät zur Messung einer Entfernung zwischen zwei beabstandeten
Punkten zu schaffen, welches imstande ist, eine genaue
Messung durchzuführen. Insbesondere soll ein Gerät geschaffen werden,
das auch zur Messung der Relativbewegung oder Verschiebung
zweier relativ zueinander bewegbarer Teile und der Innen- oder
Außendurchmesser eines zylindrischen Körpers angewendet werden kann.
Diese Aufgabe wird durch den Gegenstand des Anspruchs 1 gelöst.
Das erfindungsgemäße Gerät kann dazu benutzt werden, das Ausmaß der
Relativbewegung von relativ zueinander bewegbaren Teilen, wie eines
Bettes eines ein Werkstück tragenden Tisches, genau zu bestimmen,
ohne hierzu eine präzise bearbeitete Skala zu benötigen.
Ferner kann das erfindungsgemäße Gerät zur Messung von Innen- oder
Außendurchmessern eines großen hohlzylindrischen Teiles benutzt
werden, ohne daß hierzu ein großes Innenmikrometer benötigt würde.
Das erfindungsgemäße Gerät zur Messung einer Entfernung zwischen
zwei beabstandeten Punkten weist auf:
Eine Lichtquelle zur Projektion von Licht auf eine einen dieser
Punkte einschließende Oberfläche, eine Anordnung aus Elementen fotoelektrischer
Umsetzungswirkung, die auf einer anderen, den anderen
dieser beiden Punkte einschließenden Oberfläche, angeordnet sind und
die von dieser diesen einen Punkt einschließenden Oberfläche reflektiertes
Licht erfassen, um eine Flächenmusterinformation dieser
diesen einen Punkt einschließenden Oberfläche zu erzeugen, eine
Einrichtung zur Relativbewegung dieser beiden Oberflächen, eine
Vorrichtung zur Extraktion charakterisierender Stellen dieser
Flächenmusterinformation, eine Binärumsetzungsvorrichtung, die diese
charakterisierenden Stellen zur Gewinnung einer Binärmusterinformation
verarbeitet, eine erste Musterspeichervorrichtung zur
Speicherung dieser Binärmusterinformation, eine zweite Musterspeichervorrichtung,
die die Binärmusterinformation einer Flächenmusterinformation,
welche vor dieser in dieser ersten Musterspeicherung
gespeicherten Musterinformation von der Anordnung aus
Elementen fotoelektrischer Umsetzungswirkung erfaßt worden ist, als
Bezugsinformation speichert, und eine arithmetische Prozeßvorrichtung,
die Vorrichtungen zur Berechnung einer Abweichung der
in dieser ersten Musterspeichervorrichtung gespeicherten Musterinformation
von diesem in der zweiten Musterspeichervorrichtung
gespeicherten Bezugsmuster berechnet, eine Abweichungsspeichervorrichtung,
die diese Abweichung akkumuliert und speichert, und weitere
Vorrichtungen aufweist, die dieses in dieser zweiten Musterspeichervorrichtung
gespeicherte Bezugsmuster mit dieser in dieser
ersten Musterspeichervorrichtung gespeicherten Musterinformation
aktualisieren. In einem Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen
Geräts wird dieses dazu benutzt, die Relativbewegung zwischen dem
Maschinenbett einer Werkzeugmaschine und dem Maschinentisch zu messen,
der ein Werkzeug trägt. Entsprechend einem weiteren Ausführungsbeispiel
wird das erfindungsgemäße Gerät dazu benutzt, den
Außendurchmesser eines zylindrischen Körpers oder einen Außen- oder
Innendurchmesser eines hohlen zylindrischen Teiles zu messen.
Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert.
Diese zeigen:
Fig. 1 - eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispieles
des erfindungsgemäßen Geräts zur Messung einer Entfernung zwischen
zwei beabstandeten Punkten,
Fig. 2 - eine seitliche Ansicht der optischen Anordnung in
Richtung des Pfeils II aus Fig. 1,
Fig. 3 - ein Blockschaltbild, das eine Musterprozeßeinheit zeigt,
Fig. 4 - ein Flußdiagramm, das die Rechenabläufe für das Ausmaß
der Verschiebung darstellt,
Fig. 5 und 6 - Graphen, die unterschiedliche Verfahren zur Bestimmung
des Verschiebungsausmaßes verdeutlichen,
Fig. 7 - eine schematische Seitenansicht einer Vertikaldrehmaschine,
die das erfindungsgemäße Gerät zur Durchmesserbestimmung
enthält,
Fig. 8 - eine Teilansicht von oben gesehen, die die Beziehung
zeigt, mit der ein Werkstück, eine Anordnung aus Elementen fotoelektrischer
Umsetzungswirkung, eine Lichtquelle und eine Musterprozeßeinheit
angeordnet sind, und
Fig. 9 - ein Blockschaltbild, das die elektrische Kopplung von
verschiedenen, das erfindungsgemäße Gerät zur Durchmesserbestimmung
bildenden Elemente darstellt.
Die Fig. 1 zeigt das erfindungsgemäße Entfernungsmeßgerät, das in
diesem Ausführungsbeispiel auf eine Werkzeugmaschine angewandt ist,
die ein Maschinenbett 1 und einen Maschinentisch 2 aufweist, der
sich auf dem Bett 1 hin- und herbewegt, wie dies durch die Doppelpfeilmarkierung
angedeutet ist. Die obere oder Gleitfläche des
Bettes ist derart behandelt oder ausgebildet, daß die Leuchtdichte
oder Helligkeit des von dieser Oberfläche reflektierten Lichtes in
Gleitrichtung nicht einheitlich und gleichförmig ist. Beispielsweise
sind hierzu Markierungen in Form von hellen und dunkeln Musterzeichnungen
oder Farben auf der Oberfläche ausgebildet.
Wie in den Fig. 1 und 2 dargestellt ist, ist eine Reihenanordnung
11 von Elementen fotoelektrischer Umsetzungswirkung 11 1- 11 n auf
dem Tisch 2 mit einem vorbestimmten Abstand zum Bett 1 angeordnet,
wobei diese Elemente in Richtung der Relativbewegung zwischen dem
Bett und dem Tisch nebeneinanderliegend angeordnet sind.
Ferner sind eine ausgedehnte, verlängerte Lichtquelle 12, die sich
in Richtung der Relativbewegung erstreckt, und eine Kondensorlinse
13 vorgesehen, die das von der Oberfläche des Bettes 1 reflektierte
Licht auf die fotoelektrischen Elemente 11 1-11 n projiziert, die
jeweils ein Ladungsspeicherelement, beispielsweise einen Fototransistor
usw., enthalten. Infolgedessen wird ein Helligkeits- oder
Leuchtdichtemuster der Oberfläche des Bettes 1 durch die n-Elemente
11 1 bis 11 n der Anordnung 11 aus fotoelektrischen Elementen elektrisch
erfaßt und zu einer in Fig. 1 gezeigten Musterprozeßeinheit
21 übertragen. Bezeichnet man den Abstand zwischen benachbarten
fotoelektrischen Elementen mit δ, die Entfernung zwischen der Oberfläche
des Bettes 1 und der Linse 13 mit L 1 und den Abstand zwischen
der Linse und den fotoelektrischen Elementen 11 1 bis 11 n mit L 2, so
kann mit dieser Anordnung eine Auflösung von (L 1/L 2)δ erzielt
werden.
Eine zur Musterprozeßeinheit 21 aus Fig. 1 übertragene Flächenmusterinformation
P wird mittels eines Verstärkers 22 (Fig. 3)
verstärkt und dann einem A/D Wandler 23 zugeführt, der eine nicht
dargestellte Binärumsetzungsvorrichtung enthält. Der A/D Wandler 23
setzt die ihm zugeführten analogen Signale in ein digitales Signal
um und extrahiert charakterisierende und charakteristische Stellen
derart, daß er diese Stellen in Binärmusterinformationen von 1 und 0
umsetzt, welche einer Mustererfassungsspeichervorrichtung 26 zugeführt
werden, die als eine erste Musterspeichervorrichtung wirkt.
Der Ausdruck "Extraktion von den charakterisierenden Stellen" bedeutet
nicht eine Umsetzung des von den n fotoelektrischen Elementen
erzeugten analogen Signalen in eine digitale Wertmenge, die aus
einer bestimmten Anzahl von Bits besteht. Vielmehr beinhaltet diese
Extraktion einen spezifischen binärisierenden Prozeß, in dem nur
charakterisierende Stellen eines Musters zwischen n fotoelektrischen
Elementen in "1" umgesetzt werden, wohingegen die anderen Stellen in
"0" umgesetzt werden. Dabei sind die folgenden Beispiele für
charakteristische Stellen denkbar. Werden beispielsweise die
Maximal- und Minimalwerte der Leuchtdichtinformation oder Helligkeitinformation
des Musters in Abhängigkeit davon, ob diese Werte
größer oder kleiner als ein vorgegebener Schwellwert sind, binär
umgesetzt, so erhält man als Beispiele für charakterisierende Punkte
oder Stellen Übergangsstellen von hell nach dunkel, von dunkel nach
hell und die Mittenpositionen oder Mittenstellen von kontinuierlichen
fotoelektrischen Elementen, die bei der Binärumsetzung hell
werden, so wie die Mittenstellen von kontinuierlichen Elementen, die
entsprechend dunkel werden. Als Beispiel wird ein von 16
fotoelektrischen Elementen gewonnenes Muster angenommen, das durch
eine Helligkeitsinformation von 0 bis 15 (in 16 Stufen) dargestellt
wird, wobei sich eine angenommene Helligkeitsinformation wie folgt
ergibt:
P = (4, 6, 8, 9, 7, 4, 3, 2, 3, 5, 9, 12, 13, 10, 8 und 7).
Durch Extraktion und Binärumsetzung oder Binärisierung der
charakteristischen Stellen in Abhängigkeit der Maximum- und Minimumstellen
erhält man:
P = (0 0 0 1; 0 0 0 1; 0 0 0 0; 1 0 0 0; . . .)
als binäre Musterinformation Diese umsetzende Extraktion wird im
folgenden näher erläutert. Die Fig. 5 zeigt einen Graphen, der die
Variation des oben angegebenen Helligkeitspegels der Oberfläche
darstellt. Durch Binärumsetzung des Helligkeitspegels bezüglich
eines Schwellwertpegels von 6 gewinnt man:
0 0 0 1, 0 0 0 1, 0 0 0 0, 1 0 0 0.
Die 1 tritt also nur dann auf, wenn ein Helligkeitsmaximum oder
-minimum vorliegt. Hierbei wird das Ausmaß der Abweichung von einem
Bezugsmuster berechnet, indem diese Maximum- und Minimumwerte als
Bezugswerte genommen werden, um die Entfernung zu gewinnen, indem
die berechneten Werte angesammelt werden.
Fig. 6 zeigt ein weiteres Verfahren zur Bestimmung der Größe der
Abweichung. Bei diesem Verfahren ist die von den fotoelektrischen
Elementen gelieferte Helligkeitsinformation in positive und negative
Zyklenhälften eingeteilt, wobei der Schwellwertpegel als Referenzpegel
benutzt wird. Man gewinnt hierdurch die Binärfolge:
1 1 1 1, 0 0 0 0 0, 1 1 1, 0 0 0, 1 1 1, 0 0 0 0, . . . .
Diese Binärwerte werden mit der nächsten eingegebenen Information
verglichen, Zuwachs- und Abklingstellen, d. h. Stellen, bei denen "1"
auf "0" wechselt und "0" auf "1" wechselt, werden als Bezug
genommen, um die Beträge der akkumulierten Abweichungen zur Erfassung
der Entfernung zu bestimmen.
Die Binärmusterinformation, die durch die Extraktion charakterisierender
Stellen gewonnen wurde und die in der Mustererfassungsspeichervorrichtung
26 gespeichert worden ist, wird, jedesmal, wenn
eine Leseanweisung 24 der Speichervorrichtung 26 von einer arithmetischen
Prozeßschaltung 27 zugeführt wird, ausgelesen und dieser
arithmetischen Prozeßschaltung zugeführt. Diese arithmetische
Prozeßschaltung vergleicht das Ausgangssignal der ersten Musterspeichervorrichtung
oder -schaltung 26 mit dem Ausgangssignal einer
zweiten oder Bezugsmusterspeichervorrichtung 28, um die Abweichung
der Binärmusterinformation von diesem Bezugsmuster zu berechnen.
Jedesmal, wenn die Berechnung der Abweichung erfolgt ist, wird der
Inhalt der Bezugsmusterspeichervorrichtung 28 sequenziell auf die
Musterinformation in der Mustererfassungsspeichervorrichtung 26 hin
aktualisiert. Nach Beendigung einer Serie von Prozeßabläufen wird
eine Leseanweisung für die nächste arithmetische Operation der
Mustererfassungsspeichervorrichtung 26 von der Prozeßschaltung 27
zugeführt, so daß diese erste Musterspeichervorrichtung 26 wiederum
die Musterinformation in die Prozeßschaltung 27 überträgt.
Wird der Vektor einer in der Mustererfassungsspeichervorrichtung 26
gespeicherten Musterinformation, d. h. der Musterinformation, die
gerade infolge der augenblicklichen Abtastung in der Speichervorrichtung
gespeichert worden ist, mit P (p 1, p 2, . . . p n ) bezeichnet
und der Vektor eines in der Bezugsmusterspeichervorrichtung
28 gespeicherten Bezugsmusters, d. h. des Bezugsmusters, das durch
die vorhergehende Abtastung erneuert worden ist, mit P′ (p 1′, p 2′,
. . . p′ n ), so berechnet die Einheit 27 die Abweichung in Übereinstimmung
mit einem in Fig. 4 gezeigten Flußdiagramm.
Dabei werden in einem Schritt 100 Anfangsbedingungen i = 1, D = 0
und M = 0 eingestellt, wobei i eine Elementnummer, D das Ausmaß der
Abweichung jeder charakterisierenden Stelle, ausgedrückt in Einheiten
einer Zwischenelementbeabstandung und M die Zahl der charakterisierenden
Stellen angibt. Im Schritt 101 wird i um eins inkrementiert.
In einem Schritt 102 wird festgestellt, ob i kleiner
als die Gesamtzahl n der fotoelektrischen Elemente ist. Im Schritt
103 wird festgestellt und geprüft, ob ein Wert P(i), der beim i-ten
Element festgestellt worden ist und in einen Binärwert umgewandelt
worden ist, "0" ist oder nicht. Ist das Ergebnis dieser Abfrage JA,
so wird der Programmablauf zurück auf Schritt 101 geführt. Ist
andererseits das Ergebnis dieser Abfrage nicht "0", d. h. "1", so
wird im Schritt 104 festgestellt, ob P′(i-1), der Wert, der im
Bezugsmusterspeicher 28 gespeichert ist, "1" ist oder nicht. Ist
P′(i-1) = "1", so wird gefolgert, daß die charakterisierende Stelle
um ein Element in a (+) Richtung verschoben worden ist, und in einem
Schritt 107 wird dem Betrag der Verschiebung D 1 hinzuaddiert.
Ergibt die im Schritt 104 durchgeführte Abfrage, daß P′(i-1) nicht
gleich "1" ist, d. h. "0", dann wird in einem Schritt 105 geprüft, ob
P′(i+1) gleich "1" ist oder nicht. Ist das Ergebnis dieser Abfrage
"1", so wird gefolgert, daß die charakterisierende Stelle sich um
ein Element in a (-) Richtung verschoben hat, und in einem Schritt
108 wird "1" von D subtrahiert. Wenn P′(i+1) nicht gleich "1", d. h.
gleich "0", oder wenn im Schritt 107 1 zu D addiert worden ist, wird
in einem Schritt 109 1 zur Anzahl M der charakterisierenden Stelle
hinzuaddiert. Nach diesem Programmschritt wird auf Schritt 101
zurückgesprungen.
Nimmt i nach Wiederholung der obigen Schritte im Schritt 106 den
Wert n an, wird die Summe D des Verschiebungsbetrages durch die
Anzahl M der charakterisierenden Stellen dividiert, um einen
mittleren Wert für die Verschiebung D zu gewinnen.
Nach Beendigung der Berechnung des Verschiebungsbetrages vom
Erfassungsmuster P mit Bezug auf das Bezugsmuster P′ wird der
Mittelwert der Verschiebung DD im Abweichungsspeicher (oder in der
Verschiebungsspeichervorrichtung) 29 gespeichert, und der Inhalt des
Bezugsmusters P′ wird aktualisiert oder auf das Erfassungsmuster P
geändert, und es wird die nächste Leseanweisung 24 dem Mustererfassungsspeicher
26 zugeführt.
Entsprechend wird in dem Fall, in dem der Tisch 2 bezüglich des
Bettes 1 stationär ist, der Inhalt der Verschiebungsspeichervorrichtung
29 nicht aktualisiert oder geändert, da die Lage der
charakterisierenden Stellen des Erfassungsmusters P und des Bezugsmusters
P′ koinzidieren, d. h. übereinstimmen. Wird der Tisch 2
jedoch in bezug auf das Bett 1 bewegt, ändert sich der Inhalt der
Verschiebungsspeichervorrichtung 29 entsprechend der Bewegungsrichtung,
da die charakterisierenden Stellen des Erfassungsmusters P
und des Bezugsmusters P′ entsprechend dem Ausmaß der Relativbewegung
verschoben werden.
Wie aus der obigen Beschreibung hervorgeht, wird bei der Relativbewegung
des Tisches 2 bezüglich des Bettes 1 der Gesamtbetrag der
Relativverschiebung in der Verschiebungsspeichervorrichtung gespeichert,
und der gespeicherte Wert wird in einen Wert, ausgedrückt
in den Maßeinheiten, umgewandelt, welcher auf einer Anzeige- oder
Displayvorrichtung, die nicht dargestellt ist, dargestellt wird oder
beispielsweise zur Benutzung als Steuerdate in eine numerisch gesteuerte
Vorrichtung eingegeben wird.
In dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel wird eine optische
Musterinformation hinsichtlich der Bettoberflächenbeschaffenheit
mittels der Anordnung 11 aus Elementen fotoelektrischer Umsetzung in
ein elektrisches Signal umgeformt, und die Binärmusterinformation
mit Bezug auf die charakterisierende Stelle wird mit einem Bezugsmuster
verglichen, welches bei der letzten vorhergehenden Abtastung
aktualisiert worden ist, wodurch der Verschiebungsbetrag der Erfassungsmusterinformation
in bezug auf das Bezugsmuster gewonnen
wird. Infolgedessen ist es nicht notwendig, eine präzise bearbeitete
Skala auf der Oberfläche eines Gegenstandes vorzusehen, wie im
Beispiel des Inductosyn. Darüber hinaus kann die Gesamtkonstruktion
des erfindungsgemäßen Geräts im Gegensatz zum erwähnten Resolver
erheblich vereinfacht werden, da die verwendete Prozeßschaltung
nicht kompliziert ist.
Da das erfindungsgemäße Entfernungsmeßgerät insbesondere derart
aufgebaut ist, daß es eine optische Musterinformation der Oberfläche
eines Gegenstandes erfaßt, so kann die Meßoberfläche in einem
solchen Zustand sein, daß die Helligkeit und Leuchtdichte des
reflektierten Lichts in Richtung der Relativbewegung der Oberflächen
nicht einheitlich ist. Beispielsweise kann hierzu die Oberfläche mit
regelmäßigen oder unregelmäßigen Markierungen überzogen sein. Im
einfachsten Fall kann das Muster der Rauheit oder Grobkörnigkeit,
wie es nach Bearbeitung einer Oberfläche vorliegt, ausgenutzt
werden. Infolgedessen ist es nicht notwendig, sich relativ bewegende
Teile fein zu bearbeiten. Da darüber hinaus das erfindungsgemäße
Meßgerät in keiner Weise in Kontakt mit den sich bewegenden
Gegenständen gerät, besteht keinerlei Gefahr der
Oberflächenbeschädigung, wodurch insbesondere auch bei aus weichem
Material hergestellten Gegenständen eine hoch genaue Messung
gewährleistet ist.
Da darüber hinaus die mittels der entsprechenden Elemente der
Anordnung 11 aus Elementen fotoelektrischer Umsetzung erfaßten
analogen Signale durch Extraktion charakterisierender Stellen in
eine Binärmusterinformation umgeformt werden, ist der darauffolgende
Prozeßablauf einfach, und die Berechnung des Abweichungsbetrages
zwischen dem Bezugsmuster P′ und dem Erfassungsmuster P kann mit
hoher Geschwindigkeit erfolgen.
Da darüber hinaus eine Linse 13 vorgesehen ist, die das von der
Oberfläche des Bettes auf die Anordnung 11 fotoelektrischer Elemente
reflektierte Licht mit vorbestimmtem Vergrößerungsfaktor fokussiert,
kann ferner eine hohe Auflösung, ausgedrückt durch (L 1/L 2) δ, erzielt
werden.
Im beschriebenen Ausführungsbeispiel wurden die charakterisierenden
Stellen mittels des A/D Wandlers 23 extrahiert, jedoch kann diese
Extraktion ebenso gut von der arithmetischen Prozeßschaltung 27
ausgeführt werden. Ferner kann in Abhängigkeit vom Aufbau des A/D
Wandlers die Leseanweisung 24 dem Verstärker 22 oder auch dem A/D
Wandler 23 zugeführt werden. Obwohl in der vorhergehenden Beschreibung
zur Vereinfachung vom Betrag der Verschiebung zwischen
den charakterisierenden Stellen des Bezugsmusters P′ und des Erfassungsmusters
P angenommen wurde, daß dieser Verschiebungsbetrag
jeweils einem Maximum der Breite eines Elementes entsprach, kann
ebenso gut eine Verschiebung erfaßt werden, die größer als ein
Element ist, indem P′(i-2) mit P′(i+2) usw. im Flußdiagramm nach
Fig. 4 verglichen wird.
Im Flußdiagramm aus Fig. 4 wurde der mittlere Betrag der Verschiebung
DD durch Division des Verschiebungsbetrages durch die Gesamtzahl
M charakterisierender Stellen gewonnen. Wird jedoch M durch
eine Konstante ersetzt, so kann die Divisionsoperation D/M ausfallen,
wodurch sich die Rechenzeit verkürzt.
Das beschriebene Ausführungsbeispiel erfaßte den Betrag oder das
Ausmaß der Relativbewegung zweier sich gradlinig bewegender Körper.
Wird im Gegensatz hierzu die Anordnung 11 aus Elementen fotoelektrischer
Umsetzung um die Umfangsfläche eines drehbaren Teils
angeordnet, so können auch die Bewegungsentfernung, das Ausmaß der
Umfangsflächenbewegung oder der radialen Verschiebung des Drehkörpers
gemessen werden. Es ist einigermaßen schwierig, die Elemente
entlang einer äußeren oder inneren Umfangsfläche genau anzuordnen.
Darüber hinaus ist es notwendig, die Anordnung der Meßelemente für
jeweils unterschiedliche zu messende Durchmesser zu verändern, was
entsprechend unpraktisch ist. Jedoch kann sogar bei Benutzung gradlinig
angeordneter Elemente der Meßfehler minimal werden, solange
das mittlere dieser Elemente nahe der Meßoberfläche angeordnet ist.
Es ist auch möglich, den Durchmesser eines zylindrischen Drehkörpers
oder Drehteiles zu gewinnen, indem die bei der Rotation des Drehkörpers
zurückgelegte Distanz der Umfangsbewegung gemessen wird, d. h. die
Länge des Umfangs des Drehteils, die dann durch π geteilt wird.
Wenn N Anordnungen 11 aus Elementen fotoelektrischer Umsetzung vorgesehen
werden und diese Anordnungen parallel, jeweils um 1/N der
Beabstandung zwischen benachbarten Elementen in Richtung der
Relativbewegung verschoben, angeordnet werden, kann die Auflösung um
das N-fache verbessert werden.
Anstatt für das mit einer erfaßten Musterinformation zu vergleichende
Bezugsmuster ein einziges aktualisiertes und bei der
jeweils vorhergehenden Abtastung gespeichertes Bezugsmuster zu verwenden,
können auch mehrere Bezugsmuster, die zuvor aktualisiert
worden sind, gespeichert werden, wobei durch Vergleich jedes dieser
Bezugsmuster mit einer Erfassungsmusterinformation die Musteranalyse
genauer ausführbar ist.
Werden mehrere Elemente fotoelektrischer Umsetzung matrixartig
angeordnet, so können darüber hinaus auch zweidimensionale
Relativbewegungen meßtechnisch erfaßt werden.
Das beschriebene Ausführungsbeispiel war zur Erfassung der
Relativbewegung zwischen einem Maschinenbett 1 und einem
Maschinentisch 2 zu einer Werkzeugmaschine ausgelegt, es ist jedoch
möglich, das erfindungsgemäße Entfernungsmeßgerät auf jeden Fall
anzuwenden, bei dem zwei Teile relativ zueinander bewegt werden und
der Abstand zwischen diesen beiden Teilen im wesentlichen auf einem
konstanten Wert gehalten wird.
In den Fig. 7, 8 und 9 ist ein Ausführungsbeispiel dargestellt, bei
dem das erfindungsgemäße Entfernungsmeßgerät dazu verwendet wird,
den Innen- oder Außendurchmesser eines zylindrischen Teils zu
messen.
In Fig. 7 ist eine Seitenansicht einer großformatigen vertikalen
Drehmaschine oder Drehbank gezeigt, die das erfindungsgemäße Gerät
zur Messung des Durchmesser inkorporiert. Es ist ein mittels eines
Antriebsmechanismusses 52 rotierter Tisch 53 auf einem Bett 51
angebracht. Der Tisch 53 trägt ein hohlzylindrisches Werkstück 54,
und ein Einzelumdrehungserfasser 55 ist so angeordnet, daß er der
Umfangsfläche des Werkstückes gegenüberliegt. Der Einzelumdrehungserfasser
55 ist über einen nicht dargestellten Träger am Bett befestigt
und gesichert und weist einen nicht dargestellten Schalter
auf, der mittels einer Projektion oder einer Markierung 53 A betätigt
wird, die an einem Punkt der Umfangsfläche des Tisches 53 ausgebildet
ist.
Vertikale Ständer 56 sind beidseitig zum Bett 51 vorgesehen und
haltern eine Querschiene 57 so, daß diese in vertikaler Richtung
bewegbar ist. Ein Werkzeughalter oder Werkzeugschlitten 58 ist auf
dieser Querschiene 57 in horizontaler Richtung gleitbar angeordnet.
Ein Erfassungskopfs 59 ist am unteren Ende eines Meißelhalters oder
Werkzeugstößels 58 A, der vom Werkzeugschlitten 58 getragen wird, so
befestigt, daß er der Außenfläche des Werkstückes 54 gegenüberliegt.
Die Oberfläche des Werkstückes ist derart behandelt, daß die
Helligkeit von an dieser Umfangsfläche reflektiertem Licht in
Umfangsrichtung nicht einheitlich und gleichförmig ist, wenn das
Werkstück 54 und der Erfassungskopf bei Benutzung einer Lichtquelle
gleichförmiger Helligkeit gedreht werden. Beispielsweise sind dunkle
und helle Markierungen, die Licht in Umfangsrichtung nicht
einheitlich reflektieren, auf der Umfangsfläche angeordnet.
Wie aus der Fig. 8 hervorgeht, weist der Erfassungskopf 59 eine
Anordnung 61 aus Elementen fotoelektrischer Umsetzung auf, die längs
des Außenumfangs eines Werkstückes 54 und mit einem vorbestimmten
Abstand zu diesem Werkstück angeordnet sind, und enthält eine
Lichtquelle 62 in Form einer geraden Röhre. Die Anordnung 61 aus
Elementen fotoelektrischer Umsetzung oder kurz fotoelektrischen
Elementen ist aus n fotoelektrischen Elementen 61 1-61 n aufgebaut,
die gleichbeabstandet in Umfangsrichtung angeordnet sind. Das
Helligkeits- oder Leuchtdichtemuster der Umfangsfläche wird mittels
dieser n fotoelektrischen Elemente 61 1-61 n erfaßt und zur
Musterprozeßeinheit 71 übertragen. Wie bereits im Zusammenhang mit
Fig. 1 beschrieben wurde, kann eine Auflösung von (L 1/L 2) δ erzielt
werden, wenn eine Linse zwischen dem Werkstück 54 und der Anordnung
61 aus fotoelektrischen Elementen angeordnet wird.
Nach Fig. 9 wird eine zur Musterprozeßeinheit 71 übertragene Information
P mittels eines Verstärkers 72 verstärkt und dann auf einen
A/D Wandler 73 gegeben, der eine Vorrichtung zur Binärumsetzung
aufweist, die ein eingegebenes Analogsignal zum selben Zeitpunkt in
ein Digitalsignal umsetzt, zu dem diese Vorrichtung zur Binärumsetzung
charakterisierende Stellen extrahiert, und eine Binärmusterinformation
aus "1" und "0" bildet, die daraufhin in einer
ersten Musterspeichervorrichtung 76 gespeichert wird, welche als
Mustererfassungsspeichervorrichtung wirkt. Die Extraktion der
charakterisierenden Stellen ist bereits im Zusammenhang mit den Fig. 5
und 6 beschrieben worden.
Die derart in der Mustererfassungsspeichervorrichtung 76 gespeicherte
Binärmusterinformation wird jedesmal, wenn dieser
Speichervorrichtung eine Leseanweisung 74 zugeführt wird, in eine
arithmetische Prozeßschaltung 77 ausgelesen. Die arithmetische
Prozeßschaltung 77 vergleicht die ausgelesene Musterinformation mit
einem in einer zweiten oder Bezugsmusterspeichervorrichtung 78 gespeicherten
Bezugsmuster, um den Unterschied dieser Muster zu berechnen.
Das in der Bezugsmusterspeichervorrichtung 78 gespeicherte
Bezugsmuster wird jedesmal, wenn die Berechnung des Unterschiedes
oder der Abweichung zwischen diesen Mustern abgeschlossen ist, aufeinanderfolgend
auf die Musterinformation in der Mustererfassungsspeichervorrichtung
76 aktualisiert. Nach Abschluß einer Serie von
Prozeßschritten wird die Leseanweisung 74 für die nächste Berechnung
von der arithmetischen Prozeßeinheitsschaltung 77 in gleicher Weise
wie im ersten Ausführungsbeispiel der Mustererfassungsspeichervorrichtung
76 zugeführt.
Die Berechnung der Abweichung wird entsprechend der anhand des
Flußdiagrammes aus Fig. 4 beschriebenen Art und Weise durchgeführt.
Wenn das Werkstück 54 sich im Stillstand befindet und die Positionen
des Erfassungsmusters P und des Bezugsmusters P′ jeweils übereinstimmen,
so wird infolgedessen der Inhalt der Abweichungsspeichervorrichtung
79 nicht aktualisiert. Wird das Werkstück 54
gedreht, so weicht die Lage der charakterisierenden Stelle des
Werkstückes 54 von der des Bezugsmusters P′ entsprechend dem Ausmaß
der Drehbewegung des Werkstückes ab, so daß der Inhalt der Abweichungsspeichervorrichtung
79 entsprechend der Drehrichtung des
Werkstückes variiert. So kann auf diese Weise mit Drehung des Werkstückes
die bei der Drehung zurückgelegte Entfernung der Umfangsfläche
des Werkstückes 54 akkumuliert und in der Abweichungsspeichervorrichtung
79 gespeichert werden. Der in der Abweichungsspeichervorrichtung
79 gespeicherte Wert wird zurückgestellt, wenn
dieser Speichervorrichtung 79 von einer Rückstell/Halteschaltung 80
ein Rückstellsignal oder Resetsignal zugeführt wird. Andererseits
wird der Wert gehalten, wenn ein Haltesignal zugeführt wird. Das
Ausgangssignal der Abweichungsspeichervorrichtung 79 wird in einer
Durchmesserberechnungseinheit 81 durch die Konstante π dividiert,
und das Divisionsergebnis wird auf einer Displayvorrichtung oder
Anzeigevorrichtung 82 angezeigt. Die Rückstell/Halteschaltung 80
erzeugt ein Resetsignal, wenn der Einzelumdrehungserfasser 55 erstmalig
betätigt wird, wohingegen ein Haltesignal erzeugt wird, wenn
der Einzelumdrehungserfasser zum zweiten Mal betätigt wird.
Daher wird, wenn der Tisch 53 mittels des Antriebsmechanismusses 52
gedreht wird und während die Bewegungsdistanz der Umfangsfläche des
Werkstückes 54 in der Abweichungsspeichervorrichtung 79 gespeichert
wird, wenn der Einzelumdrehungserfasser 55 zum ersten Mal betätigt
wird, die Abweichungsspeichervorrichtung 79 durch ein von der
Rückstell/Halteschaltung 80 ausgegebenes Rückstell- oder Resetsignal
zurückgestellt, d. h. beispielsweise auf 0 gesetzt. Wird der Tisch 53
weiterhin gedreht, so wird die Bewegungsdistanz der Umfangsfläche
des Werkstückes nach diesem Rückstellen akkumuliert und in der
Abweichungsspeichervorrichtung 79 gespeichert. Nach Beendigung einer
Umdrehung des Tisches 53 wird der Einzelumdrehungserfasser 55 auf
EIN geschaltet, so daß der Inhalt der Abweichungsspeichervorrichtung
79 von einem Haltesignal der Rückstellhalteschaltung 80 gehalten
wird. Der derart gehaltene Wert wird durch die Konstante π
dividiert und der auf diese Weise berechnete Außendurchmesser des
Werkstückes wird auf der Displayvorrichtung 82 dargestellt.
Entsprechend diesem modifizierten Ausführungsbeispiel wird die optische
Musterinformation der Umfangsfläche eines zylindrischen Werkstückes
54 unter Benutzung einer Anordnung 51 aus fotoelektrischen
Elementen in ein elektrisches Signal umgeformt, eine aus binärisierenden
charakteristischen Stellen gebildete Musterinformation
wird mit einem Bezugsmuster verglichen, das zum Zeitpunkt der
vorhergehenden Abtastung aktualisiert und gespeichert wurde, um auf
diese Weise eine Abweichung der Erfassungsmusterinformation vom
Bezugsmuster zu gewinnen, wobei diese Abweichung während einer Umdrehung
des Werkstückes akkumuliert, d. h. angespeichert wird und der
akkumulierte Wert durch die Konstante π dividiert wird, um den
Außendurchmesser des Werkstückes zu bestimmen. Infolgedessen ist es
möglich, schnell und bequem eine genaue Messung durchzuführen, ohne
ein großes und schweres Mikrometer oder ein Innenmikrometer zu
benützen.
Da die optische Musterinformation der Umfangsfläche des Werkstückes
erfaßt wird, ist es lediglich notwendig, die Oberfläche derart zu
behandeln, daß die Helligkeit oder Leuchtdichte von dieser Oberfläche
reflektierten Lichts in Umfangsrichtung nicht einheitlich und
gleichmäßig ist. Hierzu kann die Oberfläche beispielsweise mit
gleichmäßigen oder ungleichmäßigen Markierungen überzogen werden.
Ist die Umfangsfläche grobkörnig oder rauh, so kann das infolgedessen
auftretende Muster benützt werden, ohne daß die Oberfläche
zusätzlich behandelt wird. Da darüber hinaus das Meßgerät eine
auszumessende Oberfläche nicht berührt, besteht keine Gefahr der
Oberflächenbeschädigung. Im Vergleich zum Meßverfahren, bei dem eine
Meßwalze gegen die auszumessende Oberfläche gepreßt wurde, ist die
Meßgenauigkeit der erfindungsgemäßen Anordnung zudem in keiner Weise
durch irgendwelche Schlupfeffekte dieser Meßwalze beeinträchtigt.
Infolgedessen können auch bei aus relativ weichen Materialien hergestellten
Werkstücken hochgenaue Messungen ohne Beschädigung des
Werkstückes ausgeführt werden.
Da die charakterisierenden Punkte analoger, mittels entsprechender
Elemente der Anordnung aus fotoelektrischen Elementen erfaßter
Signale extrahiert werden und binär umgesetzt werden, um eine Binärmusterinformation
zu gewinnen, ist zudem die Nachverarbeitung besonders
einfach, und die Berechnung des Unterschiedes zwischen dem
Bezugsmuster P′ und dem Erfassungsmuster P kann mit hoher Geschwindigkeit
durchgeführt werden. Sämtliche der im Zusammenhang mit
dem ersten Ausführungsbeispiel beschriebenen Vorteile sind demnach
auch mit dem modifizierten Ausführungsbeispiel erzielbar.
Das mit einer erfaßten Musterinformation zu vergleichende Bezugsmuster
ist nicht auf ein einziges, zur Zeit der vorhergehenden
Abtastung aktualisiertes und gespeichertes Bezugsmuster beschränkt.
Werden mehrere von Bezugsmustern, die zuvor aktualisiert und gespeichert
wurden, verwendet und sämtliche dieser Bezugsmuster mit
einer erfaßten Musterinformation verglichen, so kann die Musteranalyse
genauer durchgeführt werden. Wird das Werkstück mehrere Male
gedreht, der Betrag oder das Ausmaß der Bewegung der Umfangsfläche
pro Umdrehung bestimmt und der Durchmesser des Werkstückes durch Division
dieses Betrags oder Ausmaßes durch π ermittelt, so kann die
Genauigkeit der Messung weiterhin verbessert werden.
Es ist ferner klar ersichtlich, daß die erfindungsgemäße Aufgabe
auch erzielt werden kann, indem die Anordnung aus fotoelektrischen
Elementen über das Werkstück rotiert wird. Ferner kann der Innendurchmesser
des Werkstückes gemessen werden, indem die Anordnung aus
fotoelektrischen Elementen entlang der Innenoberfläche eines hohlen
zylindrischen Teiles angeordnet wird. Da es jedoch schwierig ist,
die Elemente längs der Innen- oder Außenumfangsfläche des hohlen
zylindrischen Teiles bogenförmig anzuordnen, und da es darüber
hinaus notwendig ist, die Anordnung der Elemente bei Änderung des zu
messenden Durchmessers entsprechend zu variieren, könnten auch
linear angeordnete Elemente benutzt werden, solange das Elemente im
Mittelpunkt dieser Anordnung nahe an der zu messenden Oberfläche
angeordnet ist. Die vorliegende Erfindung wurde zwar am Beispiel
eines mittels einer großen Vertikaldrehmaschine bearbeiteten Werkstückes
primär erläutert, jedoch kann das erfindungsgemäße Gerät
auch zur Messung von Innen- und Außendurchmessern irgend eines
zylindrischen Drehwerkstückes verwendet werden.
Claims (8)
1. Gerät zur Messung einer Entfernung zwischen zwei beabstandeten
Punkten,
dadurch gekennzeichnet,
daß dieses Gerät aufweist:
eine Lichtquelle (12; 62) zur Projektion von Licht auf eine einen dieser Punkte einschließende Oberfläche;
eine Anordnung (11; 61) aus Elementen fotoelektrischer Umsetzungswirkung, die auf einer anderen, den anderen dieser beiden Punkte einschließenden Oberfläche angeordnet sind und die von dieser diesen einen Punkt einschließenden Oberfläche reklektiertes Licht erfassen, um eine Flächenmusterinformation dieser diesen einen Punkt einschließenden Oberfläche zu erzeugen;
eine Einrichtung zur Relativbewegung dieser beiden Oberflächen;
eine Vorrichtung zur Extraktion charakterisierender Stellen (21; 71) dieser Flächenmusterinformation;
eine Binärumsetzungsvorrichtung (23; 73), die diese charakterisierenden Stellen zur Gewinnung einer Binärmusterinformation verarbeitet;
eine erste Musterspeichervorrichtung (26; 76) zur Speicherung dieser Binärmusterinformation;
eine zweite Musterspeichervorrichtung (28; 78), die die Binärmusterinformation einer Flächenmusterinformation, welche vor dieser in dieser ersten Musterspeichervorrichtung gespeicherten Musterinformation von der Anordnung aus Elementen fotoelektrischer Umsetzungswirkung erfaßt worden ist, als Bezugsmuster speichert;
und eine arithmetische Prozeßvorrichtung (27; 77), die Vorrichtungen zur Berechnung einer Abweichung dieser in dieser ersten Musterspeichervorrichtung gespeicherten Musterinformation von diesem in der zweiten Musterspeichervorrichtung gespeicherten Bezugsmuster berechnet eine Abweichungsspeichervorrichtung (29; 79), die diese Abweichung akkumuliert und speichert, und weitere Vorrichtungen aufweist, die dieses in dieser zweiten Musterspeichervorrichtung gespeicherte Bezugsmuster mit dieser in dieser ersten Musterspeichervorrichtung gespeicherten Musterinformation aktualisieren.
eine Lichtquelle (12; 62) zur Projektion von Licht auf eine einen dieser Punkte einschließende Oberfläche;
eine Anordnung (11; 61) aus Elementen fotoelektrischer Umsetzungswirkung, die auf einer anderen, den anderen dieser beiden Punkte einschließenden Oberfläche angeordnet sind und die von dieser diesen einen Punkt einschließenden Oberfläche reklektiertes Licht erfassen, um eine Flächenmusterinformation dieser diesen einen Punkt einschließenden Oberfläche zu erzeugen;
eine Einrichtung zur Relativbewegung dieser beiden Oberflächen;
eine Vorrichtung zur Extraktion charakterisierender Stellen (21; 71) dieser Flächenmusterinformation;
eine Binärumsetzungsvorrichtung (23; 73), die diese charakterisierenden Stellen zur Gewinnung einer Binärmusterinformation verarbeitet;
eine erste Musterspeichervorrichtung (26; 76) zur Speicherung dieser Binärmusterinformation;
eine zweite Musterspeichervorrichtung (28; 78), die die Binärmusterinformation einer Flächenmusterinformation, welche vor dieser in dieser ersten Musterspeichervorrichtung gespeicherten Musterinformation von der Anordnung aus Elementen fotoelektrischer Umsetzungswirkung erfaßt worden ist, als Bezugsmuster speichert;
und eine arithmetische Prozeßvorrichtung (27; 77), die Vorrichtungen zur Berechnung einer Abweichung dieser in dieser ersten Musterspeichervorrichtung gespeicherten Musterinformation von diesem in der zweiten Musterspeichervorrichtung gespeicherten Bezugsmuster berechnet eine Abweichungsspeichervorrichtung (29; 79), die diese Abweichung akkumuliert und speichert, und weitere Vorrichtungen aufweist, die dieses in dieser zweiten Musterspeichervorrichtung gespeicherte Bezugsmuster mit dieser in dieser ersten Musterspeichervorrichtung gespeicherten Musterinformation aktualisieren.
2. Gerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß dieses Gerät dazu benutzt wird, die relative Verschiebung
zwischen einem Bett (1), einer Werkzeugmaschine und einem auf
diesem Bett gleitbaren Tisch (2) zu messen, und daß diese
Anordnung (11) aus Elementen fotoelektrischer Umsetzungswirkung
auf diesem Tisch derart angebracht ist, daß diese Anordnung der
Oberfläche dieses Bettes gegenüber liegt.
3. Gerät nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß diese Oberfläche des Bettes so behandelt ist, daß sie
dieses Projektionslicht in die Richtung der Relativbewegung
dieses Bettes (1) und dieses Tisches (2) nicht einheitlich
reflektiert.
4. Gerät nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß diese Oberfläche Markierungen unterschiedlicher Farben oder
Leuchtdichten aufweist.
5. Gerät nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß dieses Gerät dazu benutzt wird, um den Außen- oder
Innendurchmesser eines Hohlzylinderwerkstückes (54) zu messen,
welches mittels eines von einem Vertikalkopf (58 A) einer
Vertikaldrehmaschine gehalterten Werkzeuges bearbeitet wird,
und daß diese Anordnung (61) aus Elementen fotoelektrischer
Umsetzungswirkung von diesem Vertikalkopf derart gehaltert
ist, daß diese Anordnung der Außen- oder Innenumfangsfläche
dieses Werkstückes gegenüber liegt.
6. Gerät nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß diese Außen- oder Innenumfangsfläche derart behandelt ist,
daß auf diese Außen- oder Innenumfangsfläche projiziertes Licht
in Umfangsrichtung nicht einheitlich ist.
7. Gerät nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß dunkle und helle Markierungen auf dieser Außen- oder
Innenumfangsfläche vorgesehen sind.
8. Gerät nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß dieses Gerät ferner einen Einzelumdrehungserfasser (55),
der eine Umdrehung dieses Werkstückes (54) feststellt, eine an
diesen Einzelumdrehungserfasser angeschlossene Rückstell/Halteschaltung
(80), eine Anzeigevorrichtung (82), eine Durchmesserberechnungsvorrichtung
(81), die zwischen diese Abweichungsspeichervorrichtung
(79) und diese Anzeigevorrichtung (82)
geschaltet ist, und Einrichtungen aufweist, die das Ausgangssignal
dieser Rückstell/Halteschaltung dieser Abweichungsspeichervorrichtung
und dieser Anzeigevorrichtung zuführen.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP60230863A JPH0692881B2 (ja) | 1985-10-16 | 1985-10-16 | 変位測定装置 |
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ID=26529578
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DE19863632336 Granted DE3632336A1 (de) | 1985-10-16 | 1986-09-24 | Entfernungsmessgeraet |
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