DE3784383T2

DE3784383T2 - Verfahren zum messen von filmdicken und vorrichtung dafuer.

Info

Publication number: DE3784383T2
Application number: DE8787106214T
Authority: DE
Inventors: Masayuki Mitsubishi Denk Ariki; Yoshiaki C O Mitsubishi De Ida; Toshishige Mitsubishi De Nagao
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1986-04-29
Filing date: 1987-04-29
Publication date: 1993-08-12
Anticipated expiration: 2007-04-30
Also published as: KR900003749B1; EP0250764A2; DE3784383D1; EP0250764A3; KR870010383A; CA1288163C; US4810894A; JPS62255806A; EP0250764B1; JPH0441922B2

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Filmdickenmeßmethode zum Messen der Dicke eines Films, der beispielsweise auf einem Folienelement in einer Magnetbandfertigungsstraße angebracht ist; und sie betrifft eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
Fig. 1 zeigt eine Filmdickenmeßeinrichtung, die vom Anmelder dieser Erfindung in einer nicht veröffentlichten, schwebenden europäischen Patentanmeldung Nr. 86 306 034.7 vom 6. August 1986, offengelegt am 25. Februar 1987, unter der Nummer EP 0 211 654 vorgeschlagen worden ist.
In Fig. 1 bezeichnen die Bezugszeichen: 1 - eine Welle, die mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit in Drehung versetzt wird; 2 - eine Lichtabschirmplatte, die parallel zur Welle 1 in einem vorbestimmten Abstand zu ihr angeordnet ist; und 3 - eine Folie, bestehend aus einem Folienelement und einem darauf mit einer vorbestimmten Dicke angebrachten Film, wobei die Dicke des Films gemessen werden soll. Die Folie 3 wird mit einer der Umdrehungsgeschwindigkeit der Welle 1 entsprechenden Geschwindigkeit bewegt, wobei sie in engem Kontakt mit der Welle 1 steht.
Weiter sind gemäß Fig. 1 Laserstrahlgeneratoren 4 und 5 unter einem vorbestimmten gegenseitigen Winkel jeweils zur Erzeugung von Laserstrahlen 4a und 5a angeordnet. Ein Reflexionsspiegel 6 ist zu dem Zweck vorgesehen, den Laserstrahl 4a einen Spalt A abtasten zu lassen, der in Fig. 2 zwischen der Oberfläche der Welle 1 und der Lichtabschirmplatte 2 dargestellt ist. Weiter läßt der Reflexionsspiegel 6 den Laserstrahl 5a, einen Spalt B abtasten, der in Fig. 2 zwischen der gerade gemessenen Folie 3 und der Lichtabschirmungsplatte 2 dargestellt ist. Sodann bezeichnen die Bezugszeichen: 7 und 8 - Linsen zum Zusammenführen jeweils der Laserstrahlen 4a und 4b, die vom Reflexionsspiegel 6 reflektiert worden sind; 9 und 10 - Linsen zum Zusammenführen der Laserstrahlen 4a und 4b, die die jeweiligen Spalte A und B abgetastet haben; 11 und 12 - Lichtempfangseinheiten; 13 und 14 - Zähler; 15 - eine Recheneinheit; und 16 - eine Anzeigeeinheit.
Die so aufgebaute Filmdickenmeßeinrichtung arbeitet wie folgt:
Die durch die Laserstrahlgeneratoren 4 und 5 erzeugten Laserstrahlen 4a und 4b werden derart auf den Reflexionsspiegel 6 gerichtet, daß sie die jeweiligen Spalte A und B mit der gleichen Winkelgeschwindigkeit abtasten. Die vom Spiegel 6 reflektierten Strahlen 4a und 4b werden durch die Linsen 7 und 8 so konvergiert, daß ihr jeweiliger Strahldurchmesser in den Spalten A und B so klein wie möglich wird, wobei die Strahlen mit vorbestimmter Geschwindigkeit senkrecht zur Welle 1, d. h. in Richtung der Spalte, bewegt werden. Bei diesem Vorgang empfangen die Lichtempfangseinheiten 11 und 12 die Laserstrahlen 4a und 4b, die jeweils durch die Spalte A und B gefallen sind. Dementsprechend sind die Ausgangssignale der Lichtempfangseinheiten 11 und 12 Impulssignale, deren Breite den Abmessungen der Spalte A und B proportional ist. Die Impulssignale werden von den Zählern 13 und 14 gezählt, wobei die Zählwerte an die Recheneinheit 15 geliefert werden, in der die Dicke unter Benutzung der Zählwerte berechnet wird. Die so berechnete Dicke wird auf der Anzeigeeinheit 16 angezeigt.
Die Dicke tx der gemessenen Folie 3 kann durch die folgende Gleichung (1) ermittelt werden:
tx = t&sub0;(1-b/a) (1)
wobei a der Zählwert des Zählers 13, b der Zählwert des Zählers 14 und t&sub0; die Abmessung des Spaltes A ist, der eingestellt wurde.
Die Filmdicke t kann durch Subtraktion der so berechneten Dicke tx der Folie 3 vom der Dicke des Folienelementes erhalten werden, die bekannt war.
Wie oben beschrieben, mißt die in Fig. 1 dargestellte Filmdickenmeßeinrichtung die Dicke des Folienelementes und die des darauf angebrachten Films unter Bezugnahme auf die Abmessung des Spaltes zwischen der Welle und der Lichtabschirmplatte als Bezugswert. Darum weist die Filmdickenmeßeinrichtung den Nachteil auf, daß sich beim Drehen der Welle wegen der Exzentrizität bzw. der unebenen Oberfläche der Welle die Abmessung des Spaltes und dementsprechend auch der Meßwert ändert, d. h. daß die Messung weder stabil noch genau ist.
Weiter sind im Falle, daß die Folie nur zum Messen der dicke des Films in beide Spalte A und B eingeschoben wird, oder daß das optische System insgesamt gleitend in Richtung der Längsachse der Welle bewegt wird, also die Messung an einer gegebenen Position durchgeführt wird, die Spaltabmessungen über die Länge der Welle nicht gleichförmig, so daß bei der Messung ein entsprechender Fehler verursacht wird.
Im Hinblick auf die oben beschriebenen Nachteile, die mit der in Fig. 1 dargestellten Einrichtung und anderen bekannten Einrichtungen verbunden sind, besteht ein Ziel der vorliegenden Erfindung in der Schaffung einer Methode und einer Einrichtung zum Messen der Dicke eines auf einem Folienelement in einer Folienfertigungsstraße, wie etwa einer Magnetbandfertigungsstraße, aufgebrachten Films, bei der die vorgenannten Nachteile beseitigt sind.
Gemäß der vorliegenden Erfindung werden das genannte und weitere Ziele der Erfindung durch eine Filmdickenmeßmethode und eine Einrichtung jeweils gemäß den Ansprüchen 1 und 4 erreicht.
Nachfolgend werden die beigefügten Zeichnungen kurz beschrieben.
Fig. 1 und 2 stellen Erläuterungsdiagramme zur Veranschaulichung der Anordnung einer Filmdickenmeßeinrichtung dar, die in der schwebenden Anmeldung vorgeschlagen worden ist;
Fig. 3 stellt ein Erläuterungsdiagramin zur Veranschaulichung der Anordnung einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar;
Fig. 4 stellt ein Erläuterungsdiagramm zur Veranschaulichung der Anordnung der wesentlichen Komponenten in Fig. 3 dar;
Fig. 5 stellt ein PAD dar, das die Signalverarbeitungsoperationen der vor liegenden Erfindung wiedergibt;
Fig. 6 stellt ein Erläuterungsdiagramm zur Beschreibung der Betriebsweise der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dar; und
Fig. 7 und 8 stellen schematische Diagramme zur Veranschaulichung eines Beispiels eines optischen Systems einer Einrichtung dar, bei der ein einzelner Laserstrahlgenerator verwendet wird.
Nachfolgend wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme auf die Fig. 3 und 4 beschrieben.
In den Fig. 3 und 4 bezeichnen die Bezugszeichen: 1 bis 16 - Komponenten, die bereits in Fig. 1 mit den gleichen Bezugszeichen versehen worden sind; 17 - einen Rahmen, der die Welle 1 trägt; 18 - Führungselemente, die vom Rahmen 17 so gehaltert werden, daß sie sich parallel zur Welle 1 erstrecken; und 19 - eine bewegliche Einheit, die gleitend auf dem Führungselement 18 derart angebracht ist, daß sie parallel zur Welle 1 verschiebbar ist. Die Komponenten 2 und 4 bis 12 sind auf der beweglichen Einheit 19 angebracht und in gleicher Weise angeordnet wie die Komponenten der Filmdickenmeßeinrichtung der Fig. 1. Das Bezugszeichen Z bezeichnet einen Abstand zwischen der beweglichen Einheit 19 und einem Bezugspunkt auf dem Rahmen 17.
Nachfolgend wird die Betriebsweise der so aufgebauten Filmdickenmeßeinrichtung beschrieben.
Gemäß den Fig. 3 und 4 werden die Spalte A und B mit den Laserstrahlen 4a und 5a abgetastet, und Impulssignale, deren Impulsbreite der Spaltbreite proportional ist, werden für Zeitmessungen an die Zähler 13 und 14 geliefert. Die Zählwerte der Zähler 13 und 14 sind also den Impulsbreiten proportional. Im folgenden werden die Zählwerte für die Spalte A und B jeweils als "Zählwerte A und B" bezeichnet.
Bei der Verschiebung der beweglichen Einheit 19 entlang der Führungselemente 18 ändern sich die Spalte A und B wegen der Durchbiegung oder Verformung der Führungselemente 18 oder der Welle 1, was zu einer Veränderung der Zählwerte A und B führt. Diese Änderungen können durch vorheriges Messen der Änderung der Spalte A und B in axialer Richtung korrigiert werden. Das wird des näheren unter Bezugnahme auf Fig. 5 beschrieben. Fig. 5 stellt ein "PAD" dar, das die Kalibrierung und Messung im Verlaufe der Filmdickenmeßoperation zeigt und drei Betriebsmodi umfaßt: (1) Messen des Anfangszustandes, (2) Kalibrieren unter Benutzung einer Bezugsfolie und (3) normale Dickenmessung.
Zunächst soll die Messung (1) des Anfangszustandes beschrieben werden. Bei der Messung (1) wird keine Folie verwendet. Die bewegliche Einheit 19 wird vom einen Ende (Z = Z&sub1;) des Führungselementes 18 zum anderen Ende (Z = Zn) bewegt, wobei sie in geeigneten Abständen anhält, so daß der Zählwert A (CA1 bis CAn) und der Zählwert B (CB1 bis CBn) an n Punkten gemessen und in einem Speicher abgespeichert wird. Bei dieser Operation werden auch die Werte Z (Z&sub1; bis Zn), die die Meßpositionen darstellen, im Speicher unter Benutzung einer Tastatur oder dgl. (nicht dargestellt) abgespeichert. Damit sind die Daten des Spaltes in axialer Richtung gespeichert. Wenn nötig, kann also ein Zählwert für eine gegebene Position durch Interpolation der Daten ermittelt werden.
Als nächstes wird die Kalibrierung mit Hilfe einer Bezugsfolie durchgeführt, deren Dicke bekannt ist. Als erstes wird die bewegliche Einheit 19 in einer gegebenen Position (Z = Zc) fixiert, und der Wert Zc wird im Speicher unter Benutzung der Tastatur oder dgl. abgespeichert. Ehe die Bezugsfolie benutzt wird, werden auch der Zählwert A (CAC0) und der Zählwert B (CBC0) im Speicher abgespeichert. Unter dieser Bedingung wird die Bezugsfolie in den Spalt B eingeschoben, und der Zählwert A (CACf0) sowie der Zählwert B (CBCf0) werden dann im Speicher abgespeichert.
Die Beziehungen zwischen den so ermittelten Zählwerten A und B und den Abmessungen xA und xB der Spalte A und B lauten wie folgt:
CAi = RA·xAi (i = 1 . . .n)
CBi = RB·xBi (i = 1 . . .n) (2)
wobei RA und RB Proportionalkonstanten sind.
Diese n-Daten werden jeweils in n-Positionen (Z&sub1; bis Zn) erhalten. Die Zählwerte A (CA(Z)) und die Zählwerte B (CB(Z)) in einer gegebenen Position Z, die durch lineare Interpolation dieser diskreten Daten berechnet werden, weisen die gleichen Beziehungen zu den Spaltabmessungen xA(Z) und xB(Z) wie in den obigen Formeln (2):
CA(Z) = RA·xA(Z)
CB(Z) = RB·xB(Z) (3)
Weiter werden Speicherdaten CAC0, CBC0, CACf0 und CBCf0 zur Zeit der Kalibrierung unter Benutzung der Bezugsfolie in entsprechender Weise in Relation zu den Spaltabmessungen xAC und xBC gesetzt, die erfaßt wurden, als keine Folie benutzt wurde. Diese Beziehungen sind nachfolgend aufgeführt:
CACo = R'A·xAC
CACfo = R''A·xAC
CBCo = R'B·xBC
CBCfo = R''B·(xBC-fo) (4)
wobei fo die Dickenabmessung der Bezugsfolie ist.
In den genannten Formeln werden die Proportionalkonstanten RA, RB, R'A, R'B, R''A und R''B unter Berücksichtigung zeitlicher Änderungen bestimmt. Da aber der Abtastmechanismus für alle gemeinsam benutzt wird, kann die folgende Beziehung (5) aufgestellt werden:
wobei K eine Konstante ist, die im wesentlichen den Wert Eins (1) besitzt, weil der Abtastmechanismus zum gemeinsamen Abtasten der Spalte A und B benutzt wird.
Die Auflösung der Formeln (4) und (5) nach xAC und xBC ergibt:
Der nach der Formel (6) berechnete Wert K·xAC und der nach der Formel (7) berechnete Wert xBC werden im Speicher abgespeichert. Damit ist die Kalibrierung unter Benutzung der Bezugsfolie beendet.
Bei in einer Position Zx fixierten beweglichen Einheit 19 wird dann die Filmdickenmessung durchgeführt. Bei dieser Operation werden die Spaltänderung in der Position Z in axialer Richtung, und die Spaltänderung aufgrund der Foliendicke, sofern nur die Dicke des Films auf der Folie gemessen wird, so korrigiert, daß die Filmdicke exakt gemessen werden kann. Falls nur die Dicke des Films auf der Folie gemessen wird, werden die Abmessungen des Spaltes A und B um die Dicke F einer Folie 20 reduziert, wie aus Fig. 6 hervorgeht. Diese Reduktion muß korrigiert werden. Eine Methode zur Korrektur der Abmessungen der Spalte A und B wird nachfolgend beschrieben.
Gemäß Fig. 6 können die Werte xAx und und xBx als äquivalente Spaltabmessungen für den Fall betrachtet werden, daß nur die Filmdicke f gemessen wird. In diesem Falle beziehen sich der Wert CAx des Zählwertes A und der Wert CBx des Zählwertes B jeweils auf die Werte xAx und xBx, wie es bei den Formeln (4) und (5) der Fall war. Es ergibt sich:
Daraus folgt
Diese Gleichung stellt die Grundformel dar, aus der die Filmdicke f unter Benutzung der gezählten Werte berechnet werden kann.
Die äquivalenten Spaltabmessungen xAx und xBx in der Formel (9), die durch Reduzieren der Foliendicke F in der Position Zx erhalten werden, können durch Reduzieren der Foliendicke F von den Produkten, bestehend aus den Folienabmessungen xAC bzw. xBC der Position Zc und dem jeweiligen Verhältnis der Zählwerte A und B in der Position Z, nämlich CA(Zx) bzw. CB(Zx), und den Zählwerten A und B in der Position ZC, nämlich CA(Zc) und CB(Zc), ermittelt werden, und zwar wie folgt:
wobei CA(Zx), CA(Zc), CB(Zx), CB(Zc) Werte darstellen, die durch lineare Interpolation der Zählwerte CAi und CBi erhalten werden (i = 1 bis n).
Die Multiplikation beider Seiten der Gleichung (10) mit K ergibt:
Im strengen Sinne ist der zweite Term K·F auf der rechten Seite der Gleichung (12) unbekannt. Jedoch kann K·F durch F ersetzt werden, weil K nahezu gleich Eins (1) ist. Daraus folgt:
Wenn xBx und K·xAx jeweils nach den Formeln (11) und (13) berechnet und in die Gleichung (9) eingesetzt werden, kann die Filmdicke f unter Benutzung der Zählwerte CAx und CBx ermittelt werden.
Fig. 5 offenbart diese Operationsschritte der "normalen Dickenmessung".
Zuerst wird die bewegliche Einheit 19 für die Messung in einer Position Zx fixiert und die Position Zx durch die Tastatur oder dgl. eingegeben. Wenn nur die Dicke eines Films auf einer Folie gemessen wird, wird die Dicke F der Folie eingegeben.
Unter dieser Bedingung werden die Zählwerte CA(Zx) und CB(Zx) in der Position Zx durch lineare Interpolation der letzten Daten CAi und CBi (i = 1, und n), die gespeichert worden sind, berechnet. Gleichzeitig werden die Zählwerte CA(Zc) und CB(Zc) in der Position Zc durch lineare Interpolation berechnet. Es ist jedoch unnötig, die genannten Daten CA(Zc) und CB(Zc) für jede Filmdickenmessung zu berechnen, d. h. sie sollten nur einmal am Ende der Kalibrierung unter Benutzung der Bezugsfolie berechnet werden.
Als nächstes werden die Variablen in die Formeln (11) und (13) eingesetzt, um K·xAx und xBx zu berechnen und im Speicher abzuspeichern. Dann wird die mit dem zu messenden Film überzogene Folie zur Messung der Zählwerte CAx und CBx in eine Laufbewegung versetzt. Die Filmdicke wird mit Hilfe der Formel (9) unter Benutzung der Zählwerte CAx und CBx berechnet und dann angezeigt.
Durch die nachfolgende Nullpunktrücksetzung kann die Driftwirkung des Meßsystems eliminiert und die Dicke eines extrem dünnen Films mit hoher Genauigkeit gemessen werden. Die Nullpunktrücksetzung wird wie folgt durchgeführt. Die Konstante K·xAx und die Zählwerte, die beispielsweise zu Beginn der Messung ermittelt werden, wenn die Folie, auf der kein Film angebracht ist, bewegt wird, werden in die Formel (9) eingesetzt. Mit f = 0 wird die Versetzungskomponente xBx berechnet und dann erneut als xBx gespeichert.
Bei der oben beschriebenen Ausführungsform wird bei jeder Verschiebung der beweglichen Einheit 19 die Position derselben durch die Tastatur oder dgl. eingegeben. Wenn jedoch die Filmdickenmeßeinrichtung so konstruiert ist, daß ein Positionserfassungssensor zur Verschiebung der beweglichen Einheit 19 an den Mechanismus angeschlossen ist und das Ausgangssignal des Sensors automatisch an die Recheneinheit 15 geliefert wird, kann die Operation leichter durchgeführt werden.
Weiter können Durchschnittswerte, die durch Mittelwertsbildung einer Vielzahl von Zählwerten während einer bestimmten Zeitperiode erfaßt wurden, als Zählwerte A und B benutzt werden, um die Genauigkeit der Messung zu verbessern. Ein Beispiel für die bestimmte Zeitperiode stellt die Dauer einer Umdrehung der Welle 1 dar.
Obwohl die oben beschriebene Ausführungsform der Fig. 3 zwei getrennte Laserstrahlgeneratoren 4 und 5 verwendet, sind Abänderungen des optischen Systems möglich, so daß ein einzelner Laserstrahlgenerator anstelle der beiden Laserstrahlgeneratoren 4 und 5 zur Erzeugung der Laserstrahlen 4a und 5a verwendet werden kann. Ein Beispiel für ein solches optisches System ist in den Mol-%7 und 8 dargestellt, bei denen das Bezugszeichen 4' einen Laserstrahlgenerator; 21 einen Strahlteiler; 22 einen total reflektierenden Spiegel zum Abtasten; und 23 bis 25 total reflektierende Spiegel bezeichnen.
Wie aus der obigen Beschreibung hervorgeht, wird gemäß der vorliegenden Erfindung unter der Bedingung, daß keine zu messende Folie benutzt wird, das optische System vom einen Ende der Welle zum anderen Ende bewegt, um die Zählimpulse zu zählen und dadurch die Durchbiegung der Welle und der das optische System haltenden Struktur zu speichern, wobei bei Einstellung der beweglichen Einheit in einer gegebenen Position die Messung mit einer Bezugsfolie für die Kalibrierung nur ein einziges Mal durchgeführt wird. Bei der Messung wird nur die Dicke der Folie eingegeben, um die vorbestimmte Korrekturoperation zum Korrigieren der Spaltbreitenveränderung durchzuführen. Daher kann die Filmdicke gemäß der Erfindung mit hoher Genauigkeit unabhängig davon gemessen werden, wo die bewegliche Einheit positioniert ist und wie sich die Dicke der Folie ändert.

Claims

1. Filmdickenmeßmethode, bei der eine Folie, bestehend aus einem Folienelement (3) und einem darauf angebrachten Film, dessen Dicke gemessen werden soll, durch eine Welle (3) bewegt wird, während sie in engem Kontakt mit der Welle (1) gehalten wird, wobei eine Lichtabschirmplatte (2) parallel zur Welle (1) in einem dazu vorbestimmten Abstand angeordnet ist und ein erster Laserstrahl (4a) zum Abtasten eines Spaltes zwischen den Oberflächen des Films und der Lichtabschirmplatte (2) benutzt wird, während ein zweiter Laserstrahl (5a) zum Abtasten eines Spaltes zwischen der Lichtabschirmplatte (2) und demjenigen Teil der erstgenannten Folie (3) benutzt wird, auf dem kein Film angebracht ist, wobei die Zeitdauer, in der der Strahl die Spalte durchquert, gemessen wird, um Zählwerte zu ermitteln, wobei die Methode umfaßt:

- einen Anfangsschritt, bei dem der Spalt zwischen der nackten Oberfläche der Welle und dem Lichtabschirmelement mit den Laserstrahlen in mindestens zwei Positionen entlang der Welle abgetastet wird, um erste Zählwerte zu erhalten, die zusammen mit den entsprechenden Positionen der Welle in einem Speicher abgespeichert werden;

- einen Kalibrierschritt, bei dem eine zweite Folie, deren Dicke bekannt ist, in engem Kontakt mit der Oberfläche der Welle bewegt und mit den Laserstrahlen in einer der Positionen abgetastet wird, in der die Messungen des ersten Schrittes durchgeführt wurden, um zweite Zählwerte zu erhalten, die in dem genannten Speicher abgespeichert werden;

- ein letzter Meßschritt, bei dem mit den Laserstrahlen eine Abtastung an Positionen entlang der Welle durchgeführt wird, wenn die zu messende Folie bewegt wird, wobei die Dicke des zu messenden Films in jeder Position aus den sich ergebenden Zählwerten, unter Benutzung der Position entlang der Welle als Eingabe, der Dicke des Folienelementes (3) und der in den ersten zwei Schritten ermittelten Zählwerten in entsprechenden Positionen berechnet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem im dritten Schritt die Position durch eine Endgeräteeinheit eingegeben wird.

3. Methode nach Anspruch 1, bei der im dritten Schritt die Position durch einen Positionsdetektor erfaßt wird.

4. Filmdickenmeßeinrichtung, die folgende Komponenten aufweist:

- eine Welle (1) zum Tragen einer Folie, bestehend aus einem Folienelement (3) und einem darauf angebrachten Film, dessen Dicke gemessen werden soll, derart, daß sich die Folie (3) in enger Berührung mit der Welle (1) befindet;

- eine bewegliche Einheit (19), die parallel zur Welle (1) bewegt werden kann, wobei die bewegliche Einheit (19) in einer Vielzahl von Positionen in axialer Richtung entlang der Welle (1) positionierbar ist;

- ein Lichtabschirmelement (2), das auf der beweglichen Einheit (19) in der Weise montiert ist, daß die Lichtabschirmplatte (2) parallel zur Welle (1) in einem vorbestimmten Abstand dazu verläuft;

- eine Laserstrahlerzeugungseinrichtung (4, 5, 4'), die auf der beweglichen Einheit zur Erzeugung jeweils eines ersten und eines zweiten Laserstrahls (4a, 5a) montiert ist;

- eine Abtasteinrichtung (6; 22), die zum Abtasten eines Spaltes zwischen dem Lichtabschirmelement (2) und der Oberfläche der zu messenden Folie (3), die in enger Berührung mit der Welle (1) gehalten wird, und zum Abtasten eines Spaltes zwischen der Lichtabschirmplatte (2) und der Oberfläche der Welle (1), auf der sich keine Folie befindet, auf der beweglichen Einheit (19) montiert ist;

- eine erste Lichtempfangseinrichtung (11) zum Empfangen des durch den Spalt zwischen dem Lichtabschirmelement (2) und der Oberfläche des Blattes (3) hindurchgetretenen ersten Laserstrahl (4a);

- eine zweite Lichtempfangseinrichtung (12) zum Empfangen des durch den Spalt zwischen der Welle (1) und dem Lichtabschirmelement (2) hindurchgetretenen zweiten Laserstrahls (5a);

- einen ersten und zweiten Zähler (13, 14) zum Messen der Zeitperiode, während der die erste und die zweite Lichtempfangseinheit (11, 12) jeweils den ersten und den zweiten Laserstrahl empfängt; und

- eine Recheneinheit (5), die einen Speicher zur Berechnung der Dicke des genannten Elementes unter Benutzung von Ausgaben des ersten und des zweiten Zählers (13, 14) und von zuvor gespeicherten Kalibrierwerten aufweist.

5. Filmdickenmeßeinrichtung nach Anspruch 4, bei der die Laserstrahlerzeugungseinrichtung einen ersten und zweiten Laserstrahlgenerator (4, 5) aufweist.

6. Filmdickenmeßeinrichtung nach Anspruch 4, bei der die Meßpositionen durch äußere Eingabemittel eingegeben werden.

7. Filmdickenmeßeinrichtung nach Anspruch 4, bei der die Meßpositionen durch eine Positionserfassungseinrichtung ermittelt werden, die an der Welle (1) vorgesehen ist.