KR900003749B1

KR900003749B1 - 막(膜) 두께의 측정방법 및 장치

Info

Publication number: KR900003749B1
Application number: KR1019870004001A
Authority: KR
Inventors: 도시시게 나가오; 마사유끼 아리끼; 요시아끼 이다
Original assignee: 미쓰비시 전기 주식회사; 시끼 모리야
Priority date: 1986-04-29
Filing date: 1987-04-25
Publication date: 1990-05-31
Also published as: DE3784383T2; EP0250764A2; CA1288163C; EP0250764A3; KR870010383A; EP0250764B1; JPH0441922B2; US4810894A; JPS62255806A; DE3784383D1

Abstract

내용 없음.

Description

막(膜) 두께의 측정방법 및 장치

제 1 도는 이 발명의 한 실시예를 표시하는 구성도.

제 2 도는 제 1 도의 요부를 표시하는 구성도.

제 3 도는 신호의 처리연산을 표시하는 PAD.

제 4 도는 제 1 도-제 3 도의 동작을 설명하는 설명도.

제 5 도는 이 발명의 한 다른 실시예로서 제 1 도의 구성에서 회전축에 회전센서를 구비한 구성도.

제 6 도(a)(b)는 이 발명에 의한 또 다른 실시예로서 제 2 도 구성에서 레이저 발진기를 하나로 하여 분기기에 의하여 2비임으로하는 요부의 측면 및 평면 구성도.

제 7 도는 종래의 막두께 측정장치의 구성도.

제 8 도는 제 7 도의 요부를 표시하는 설명도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 회전축 2 : 차광판

3 : 피측정부재 4, 5 : 레이저광 발진기

4a, 5a : 레이저광 6 : 반사경

11, 12 : 수광기 13, 14 : 카운터

15 : 연산기 19 : 주행체

21 : 회전센서 22 : 반투사경

23 : 전반사경

그리고 각 도면중 동일부호는 동일 또는 상당부분을 표시한다.

이 발명은 예를들면 자기테이프의 제조라인에서 도포된 도포막의 막두께를 측정하는 경우에 적용되는 막두께의 측정방법 및 장치에 관한 것이다.

제 7 도는 일본특원소 60-174609호 공보에 기재되어 있는 종래의 막두께 측정장치이다. 도면에서 1은 소정속도로 회전되는 회전축, 2는 회전축(1)의 면에서 소정거리를 띄어서 회전축(1)과 평행하게 설치된 차광판, 3은 회전축(1)과 밀착하여 회전축(1)의 속도와 동일속도로 주행하는 박판(sheet)와 도포막으로된 피 측정부재이며 소정두께의 막이 설정되어 있다. 4, 5는 소정의 각도를 이루고 배치되어 레이저광(4a)(5a)를 각각 발생하는 레이저광 발진기, 6은 반사경으로 레이저광(4a)를 받아서 회전축(1)의 표면과 차광판(2)간을 주사하고, 레이저광(5a)를 받아서 피측정부재(3)과 차광판(2)간을 주사하도록 제어된다.

7, 8은 반사경(6)에서 반사된 각 레이저광(4a)(5a)를 각각 집광하는 렌즈, 9, 10은 주사한 각 레이저 광(4a)(5a)를 집광하는 렌즈, 11, 12는 수광기, 13, 14는 카운터, 15는 연산기, 16은 표시기이다.

다음 동작에 관하여 설명한다. 레이저광 발진기(4)(5)에서 발사된 각 레이저광(4a)(5a)는 반사경(6)에 입사되어 모두 동일한 각 속도를 주사된다. 반사한 각 레이저광(4a)(5a)는 렌즈(7)(8)에서 각각 집광된다.

제 8 도에 표시한 바와같이 갭 A,B의 각 위치에서 그 비임경이 최소로 되어 회전축(1)에 수직방향 즉 갭방향에 일정한 속도로 주사된다. 이때 각 수광기(11) (12)에는 각 갭 A,B를 각 레이저광(4a)(5a)이 통과하고 있는 동안만 입사된다. 따라서 수광기(11) (12)의 출력신호는 갭 A,B의 크기에 비례한 폭의 펄스파 형이 된다. 이것을 카운터(13)(14)에서 펄스계수하여 펄스폭에 상당하는 계수를 얻게된다.

연산기(15)에서는 이들 계수에서 두께를 계산하여 표시기(16)에 표시한다. 카운터(13)의 계수를(a), 카운터(14)의 계수를 b라하면 피측정부재(3)의 두께 tx는 (1)식에서 구하게 된다.

단 to는 갭 A의 크기(치수)이다. 이렇게 하여 얻은 피측정부재(3)의 두께에서 박판두께를 빼므로서 막두께를 구하게 된다.

종래의 막두께의 측정장치는 이상과 같이 구성되었으며 회전축과 차광판간에 형성되는 한쪽 갭치수를 기준하여 다른쪽 갭에 삽입된 박판 및 막두께를 계산하고 있으므로 박판은 쌍방 갭에 통과시켜 도포막만의 두께를 측정하는 경우나, 광학계 전체를 회전축에 대하여 축 방향으로 이동하고 임의 위치에서 측정하려는 경우에는 갭치수가 변화하기 때문에 그 변화분이 이 측정오차로 되는 결점이 있었다.

또, 종래 막두께의 측정기는 회전축과 차광판간에 형성된 갭을 기준하여 박판두께 및 막두께를 측정하고 있으므로 회전축의 회전에 따라 회전축의 편심이나 표면요철 때문에 갭치수가 시시각각으로 변화하며 이에따라 측정표시치도 시시각각으로 변화하기 때문에 안정되고 정확한 측정이 불가능하다는 결점이 있었다.

또한 종래의 측정장치는 광원이되는 레이저 발진기가 2대 필요하며 장치전체가 대형화되고 발열량도 크며 또 고가로 되는 결점이 있었다.

이 발명은 상기와 같은 문제점을 해소하기 위한 것으로서 이 발명에 관한 막두께의 측정방법 및 장치는 사전에 피측정부재가 없는 상태에서 회전축의 일단에서 타단까지 광학시스템을 이동시켜서 수점의 측정을 행하므로서 회전축 및 광학시스템의유지구조체의 편차를 기억하고 회전축의 축 방향위치에서의 기준박판의 측정을 1회 실시하어 교정하고 갭치수의 변화분을 보정한다.

또 이 발명에 관한 막두께의 측정장치는 회전축의 1회전 동안에 다수화의 주사를 행하여 그들의 평균치를 취하므로서 회전축의 편심이나 표면요철로 인한 갭치수의 변화를 평균화하고 항상 안정된 측정치를 얻는 것이다.

또 회전축의 회전속도를 회전축에 설치한 회전센서로 검출하여 자동적으로 최적의 평균처리를 하도록 하는 것이다.

또한 이 발명에 관한 막두께의 측정장치는 하나의 레이저광원에서 사출된 한줄의 레이저 비임을 주사기구에서 시간적으로 편향한후 이 비임을 반투사경(half mirror)에 의하여 분기하고 더우기 양쪽 비임을 반사경에 반사시키므로써 2개 비임을 얻는 것이다.

이 발명에 관한 막두께의 측정방법 및 장치는 광학시스템을 회전축의 축방향으로 이동시켰을때 생기는 갭폭의 변화를 사전에 계측하여 두고 또 측정시에는 박판자체의 두께를 입력하므로서 그들에 기인하는 갭폭의 변화를 보정하는 연산을 실시하므로 항상 정도 높은 막두께의 측정치를 얻게 된다.

또 이 발명의 막두께 측정장치는 회전축이 1회전하는 동안에 다수회의 주사 측정을 행하며 이들의 평균을 취하므로서 회전축 전주에 걸친 평균치를 얻게되어 항상 안정되고 고정도의 측정치를 얻게된다. 또 회전센서에서 회전속도를 검출하므로서 자동적으로 이 평균처리를 할수가 있는 것이다.

더욱이 이 발명의 막두께 측정장치는 한줄의 주사편향된 한줄의 레이저 비임을 반투사경으로 두줄로 분가하므로서 한줄의 레이저 발진기로 2줄의 레이서 발진기를 사용한 경우와 같은 고정도의 막두께 측정기를 얻을 수 있는 것이다.

이하 이 발명의 한 실시예를 도면에 의하여 설명한다.

제 1 도 및 제 2 도에서 (1)∼(6)은 종래와 같다. 17은 회전축(1)을 지지한 프레임, 18은 회전축(1)과 평행하게 프레임(17)로 지지된 가이드(guide), 19는 가이드(18)로 지지된 주행체로 회전축(1)과 평행이동한다. 그리고 (2),(4)∼(12)는 주행체(19)에 적재되어 각각의 관계는 종래와 같게 구성되어 있다.

거리 Z는 프레임(17)의 기준점에서 주행체(19)까지의 거리를 표시한다. 다음은 동작에 관하여 설명한다.

제 1 도 및 제 2 도에서 갭 A, B의 위치를 주사하여 그 갭폭에 비례한 펄스폭의 신호를 각 카운터(13)(14)에 출력한다. 각 카운터(13)(14)에서는 각 펄스폭에 비례한 계수를 얻는다. 이하 이 계수의 갭 A에 대한 것을 계수 A갭 B에 대한 것을 계수 B로 칭한다.

주행체(19)가 가이드(18)에 따라 이동할때에 가이드(18)이나 회전축(1)의 편차 및 변형에 의하여 갭 A, B치가 변화하여 계수 A, 계수 B의 값도 변화한다. 그래서 A, B의 축방향변화 특성을 사전에 계측하므로서 이들 변형의 영향을 보정한다.

이 수순을 제 3 도에 표시한다.제 3 도는 막두께 측정에 있어서 교정 및 측정방법을 표시한 PAD이다.

대별하면은 (1)초기상태의 측정, (2)는 기준 박판(sheet)을 이용한 교정, (3)통상의 두께측정의 3가지 모우드가 있다.

먼저 최초에 행하는 초기상태의 측정에 관하여 설명한다. 이 조작에서는 박판은 사용하지 않으며 주행체(19)를 가이드(18)의 일단 Z=Z₁에서 타단 Z=Z_n까지 적당한 간격을 두고 이동시켜 n개점에 대하여 각 위치에서의 계수 A치(CA₁,······,C_An)와 계수 B치(C_B1,…,C_Bn)를 측정하여 메모리에 기억한다. 이때 동시에 Z치(Z₁,…,Z_n)을 키이보드 등으로부터 입력하여 기억한다.

이 측정에 의하여 갭의 축방향 데이터가 메모리에 기억되며 후에 필요할때 이 데이터를 보관하므로서 임의 위치에서의 계수를 끌어낼수가 있게된다.

다음에 두께까지의 박판에 의한 교정을 한다. 먼저 주행체(19)를 임의의 위치(Z=Zc로 한다)에 고정하고 그 Z치를 키이보드 등으로부터 입력하여 메모리에 기억한다. 그리고 박판의 미삽입상태에서 계측하여 그 계수 A치(C_ACO)와 계수 B치(C_BCO)를 메모리에 기억한다.

다음에 두께 fo의 기준 박판을 갭 B의 위치에 삽입하여 계측하고 그 계수 A치(C_ACf)와 계수 B치(C_BCf)를 메모리에 기억한다.

이상의 측정에서 계측된 계수와 실제 갭 A,B의 치수 X_A, X_B의 관계는 다음과 같이 되어 있다.

여기서 R_A, R_B는 비례정수이다. 이들 각 n개의 데이터는 대응하는 위치(Z₁,‥,Z_n)에서의 값이지만 이들의 이산 데이터를 선형보간하여 임의의 Z에 대한 계수 A계수 B의 값(C_A(Z), C_B(Z)간에는 (1)식과 같은 관계가 성립한다. 즉 (2)식과 같다.

다음에 기준 박판에 의한 고정시의 기억 데이터 C_ACO, C_BCO, C_ACf, C_BCf와 그때 박판이 없는 상태에서의 캡치수 X_AC, X_BC도 같은 관계에서 있으며 (3)식과 같다.

이들 식에서 비례장수 R_A, R_B, R'_A, R"_A, R"_B는 시간변화 등이 있어 달라지는 것을 고려하고 있다. 단 주사기구는 공통이므로 반드시(4)식의 관계가 성립하고 있다.

여기서 K는 정수이며 주사기구가 갭 A,B의 주사에 관하여 공통이므로 대략 1과 같다. (3)(4)을 X_AC,X_BC에 대하여 풀면,

이 되지만 (5)식을 계산하여 얻게되는 값 K.X_AC와 (6)식을 계산하여 얻는 값 X_BC를 메모리에 기억하여 기준 박판에 의한 고정작업을 종료한다.

다음에 주행체(19)를 위치 Zx에 고장하고 막두께 측정에 드러가지만 여기서는 축 방향위치 Zx에 의한 갭 변화와 박판상의 막두께만을 측정하는 경우의 박판두께에 의한 갭변화를 보정하고 장확한 막두께를 계산한다. 박판상의 막두께판을 측정하는 경우 제 4 도에 표시하는 바와같이 박판(20)의 두께 F만큼 갭 A, 갭 B공히 치수가 짧게 된 것과 등가가 되며, 역시 그 보정이 필요하다.

먼저 그 방법에 관하여 설명한다.

제 4 도에서 X_AX,A_BX는 막두께 f만을 측정하는 경우의 등가 갭치수로 간주된다. 이때 계수 A치 C_AX와 계수 B치 C_BX의 관계는 (3)(4)식과 동형으로 되며

이에 의하여

로 되어 이것이 계수에서 막두께 f를 계산하는 기본식이 된다.

(8)식에 나타나는 위치 Z_X에 있어서 박판두께 F를 제외한 등가갭치수 X_AX, X_BX는 교정시에(5)(6)식에 얻게된다. 위치 Zc에서의 갭치수 X_AC, X_BC에 위치 Z에서의 계수 C_A(ZX), C_B(ZX)와 위치 Zc에서의 계수 C_A(ZC), C_B(ZC)의 비를 곱한 값에서 박판두께 F를 뺀 것이다.

즉,

이다. 여기서 C_A(ZX), C_A(ZC), C_B(ZX), C_B(ZC)는 메모리에 기억된 계수 C_Al, C_Bl(i=1,··,n)를 선형 보간하여 얻게되는 값이다.

(9)식에서 K를 곱하면

이 된다.

(11)식에서 우변 제 2 항의 K.F는 정확하게는 미지이지만 K치는 대략 1에 가깝기 때문에 K.F를 F를 치환할 수가 있어

로 된다. 이상 (10)식 (12)식에 의하여 X_BX, K·X_AX를 계산하여 두고 (8)식에 이들을 사용하면은 계수C_AX, C_BX로부터 막두께치 f를 얻을 수 있게 된다.

제 3 도에서 "통상의 두께 측정"은 이들의 조작수순을 표시한 것이다.

먼저 주행체(19)를 측정할 위치에 고정하고 그 위치 Zx를 키이보드 등으로부터 입력한다. 다음에 박판상의 막두께만을 측정하는 경우에는 박판의 두께를 F를 입력한다.

그리고 기억된 과거 데이터 C_Ai, C_Bi(i=1,··,n)를 선형보간하여 위치 Z_X에서의 계수 C_A(ZX), C_B(ZX)를 산출한다. 또 동시에 위치 Z_C에서의 계수 C_A(Zj), C_B(ZC)로 선형보간으로 산출한다. 단, C_A(ZC), C_B(ZC)는 막두께 측정시마다 계산하지 않아도 되므로 기준 박판을 사용한 교정의 마지막에 1회만 계산하여 두어도 된다.

다음에 (10)식 (12)식에 각 변수치를 대입하여 K·xAx, xBx를 계산하여 기억한다. 이 상태에서 피측정막의 도포된 박판을 주행시켜 계수 C_AX, C_BX의 측정을 개시한다. 얻은 계수 C_AX, C_BX에서(8)식을 사용하여 막두께 측정치를 계산하여 표시한다.

또한 다음 0점 리세트를 행하므로서 측정계의 드리프트(drift)영향을 제거하며 특히 미소막두께의 측정에서의 정도를 개선할 수가 있다. 0점 리세트는 예를들면 측정 개시시동 도포막이 없는 상태에서의 박판 주행중에 얻는 계수와 정수 K·xAx를 (8)식에 대입하여 f=0로 놓고 오프세트 성분 xBx를 역산하여 xBx에 재기억 하므로서 행한다.

이상 이 실시예에서는 가 조작시에 주행체(19)의 위치를 키이보드 등으로부터 입력하도록 설명하였지만 주행체(10)의 위치 전송기구에 위치 검출센서등을 설치하여 이 측정치를 연산기(15)에 자동적으로 입력되도록 구성하면은 각 조작이 간단하게 된다.

다음은 이 발명의 다른 실시예를 도면에 의하여 설명한다.

제 5 도에서 (1)∼(19)는 제 1 도의 것과 같다. 21은 회전센서이며 회전축(1)의 회전에 따라 l회전당 1개 펄스신호를 출력한다.

이어서 동작에 관하여 설명한다. 제 5 도에서 회전축(1)은 일반적으로 표면에 요철이 있으며 또 회전중심은 완전하게 회전축(1)의 원통중심과 일치되어 있지 않으며 편심이 있다. 회전축(1)과 차광판(2)에 의하여 형성되는 제 4 도에서의 갭 A의 치수에 대응하는 계수 A는 회전축 회전축(1)의 회전에 따라 이들 요인에 의하여 최대치 A_max에서 최소치 A_min까지 시간적으로 변화한다.

마찬가지로 박판(3)과 차광판(2)에 의하여 형성되는 갭 B치수에 상당하는 계수 B는 박판(3)의 두께가 일정하여도 상기 요인에 의하여 B_max에서 B_min까지 시간적으로 변화한다. 이때문에 (1)식 또는 (2)식에 의하여 계산되는 박판두께 t_X는 최대치 t_xmax에서 t_xmin까지 변화하는 것이된다.

여기서

는 A와 B를 항상 같은 위치에서 측정하였을때의 얻는

치의 최소치와 최대치이다.

이때문에 두께 측정치에는 t_xmax-t_xmin폭의 오차가 생긴다.

이 발명에 의한 막두께 측정기에서는 회전축(1)의 회전에 비하여 비교적 빠른 속도로 주사기구의 반사경(5)을 주사하여 회전축(1)의 1회전 동안에 다수회의 A,B측정을 실시하여 이들의 핑균치로서 A_ar, B_ar를 연산기 (15)에서 계산한다.

이어서 이 A_av, B_av를 사용하여 두께의 측정치 t_x를 계산한다.

이에 의하여 t_x에 포함되는 편심이나 요철에 위한 오차는 작게되며 핑균처리하는 대상구간을 회전축(1)의 1회전분으로 잡으면 상기 오차는 완전 제거된다.

회전센서(21)는 회전축(1)의 1회전마다 1개의 펄스신호를 발생하는 작용을 하며 연산기(15)에 1회전마다 펄스를 송출한다. 이 신호를 입력하여 연산기(15)는 1회전에 상당하는 시간내에 입력시킨 데이터를 평균하여 두께의 측정치를 계산한다.

따라서 측정치에는 회전축(1)의 편심이나 요철에 기인하는 오차는 포함되지 않으며 고정도의 측정이 가능하게 된다.

다음은 이 발명의 또 다른 실시예를 도면에 의하여 설명한다. 제 6 도(a)(b)에서 (1)∼(4),(4a),(5a),(6)∼(12),(17)∼(20)은 제 2 도의 것과 같다.

22는 반투사경(半透射鏡)(분기기), 23은 전(全)반사경이다. 이어서 동작에 관하여 설명한다.

레이저 광원(4)에서 사출된 광비임은 반투사경(22)(분기기)에 입사되어 그대로 직진하는 성분과 반사되는 성분으로 분기된다. 전자는 그대로 주사기구의 반사경(6)으로 입사되며 후자는 일단 전반사경(23)에 입사되어 직진성분과 소정각을 이루도록 반사되어서 주사기구의 반사경(6)에 입사된다.

이와같이 하여 얻게되는 2개의 레이저 비임은 종래것에 있어서의 2개의 레이저 광원에서 발상되는 2개의 레이저 비임과 꼭 같은 작용을 하므로서 2개의 비임에 의한 고정도의 막두께 측정기를 얻게 된다.

또 레이저 광원으로서 반도체 레이저를 콜리메이트(collimate)하여 사용하면은 대단히 소형의 염가인 막두께 측정기를 얻게된다.

이와같이 이 발명에 의하면 미리 피측정박판이 없는 상태에서 회전축의 일단에서 타단까지 광학계를 이동시켜서 계수를 측정하고 회전축 및 광학계 유지구조체의 편차를 기억하여 임의의 위치에서 기준 박판의 측정을 1회 실시하여 교정하고 측정시에는박판만의 두께를 입력하여 소정의 보정연산을 실시하여 갭폭의 변동을 보정하므로서 주행체를 임의 위치에 이동하여도 박판의 두께가 달라도 항상 정도 높은 막두께 측정을할수 있는 것이다.

또 이 발명에 의하면 회전축에 설치한 회전센서에 의하여 1회전마다 1개의 펄스를 발생시켜 그 펄스와 펄스간의 시간내에 다수회의 주사 데이터 입력을 행하며 그들의 평균을 취하므로 회전축의 편심이나 표면의 요철에 기인하는 그차가 완전 제거되어 고정도의 측정이 가능하다.

또한 이 발명에 의하면은 하나의 레이저 발진기에서 사출되는 광비임을 주사한후 반투사경에 의하여 분기하고 이어서 전반사경으로 방향을 전환시키므로서 2개의 주사광 비임을 얻으므로 레이저 발진기 1대로 족하며 장치가 소형이 된다.

또 레이저 발진기에 의한 발열이 절반이 되므로 측정기로서의 특성이 안정화된다.

Claims

피측정막이 제 1 박판(sheet)에 도포된 피측정부재를 회전축으로 밀착지지하면서 주행시켜, 상기 회전축의 면에서 소정거리를 띄어서 상기 회전축과 평행으로 차광판을 설치하여, 상기 피측정막 표면과 상기 차광판간을 제 1 레이저 광으로 주사하며, 상기 회전축의 표면 또는 상기 제 1 박판에서 피측정막이 도포되어있지 않은 부분과 상기 차광판간을 제 2 레이저광으로 주사하여 상기 피측정막의 막두께를 측정하는 방법에 있어서, 상기 회전축의 표면과 상기 차광판간을 상기 각 레이저 광으로 주사하여 상기 회전축의 축방항에서 적어도 1개소 측정하여 그 계수와 축방향의 주사위치를 기억하는 제1공정과, 두께가 기지의 제 2 박판을 상기 회전축 표면의 상기 제1레이저광에 의하여 주사되는 위치에 밀착 주행시켜서 상기 각 레이저광을 주사하여 그 계수를 기억하는 제 2공정과, 상기 제 1 레이저광이 상기 회전축의 축방향으로 주사하는 위치 및 대응한 상기 제 2 박판의 두께를 기억하는 제 3공정과, 상기 제 1 공정에서 상기 제 3 공정까지의 각 측정치에서 상기 피측정막의 막두께를 산출하는 산출식을 도출하는 제 4 공정과, 상기 제 1 공정에서 상기 제 4 공정까지가 종료한후 상기 피측정부재를 주행시켜서 상기 각 레이저광으로 주사하여 그 계수에서 상기 산출식으로 상기 피측정막의 막두께를 산출하는 제5공정으로 된 막두께의 측정방법.
제 1 항에 있어서, 제 3 공정의 제 1 박판 두께의 대응위치는 단말기로부터 입력되는 것을 특징으로 하는 막두께의 측정방법.
제 1 항에 있어서, 제 3 공정의 제 1 박판 두께의 대응위치는 위치센서를 검출하는 것을 특징으로 하는 막두께의 측정방법.
박판상의 피측정부재를 밀착지지하는 회전축, 이 회전축과 편행으로 이동가능한 주행체, 이 주행체에 장착되어 상기 회전축의 면에서 소정거리를 띄어서 상기 회전축과 편행으로 설치된 차광판, 상기 주행체에 장착되어 제 1 레이저광 및 제 2 레이저광을 각각 발생하는 제 1 및 제 2 레이저 발진기, 상기 주행체에 장착되어 제 1 레이저광을 입사하여 상기 피측정부재의 밀착부분의 상기 회전축면과 상기 차광판간을 주행하며, 상기 제 2 레이저광을 입사하여 상기 피측정부재의 비밀착부분의 상기 회전축과 상기 차광판간을 주사하도록 제어되는 반사경, 상기 회전축과 상기 차광판 사이를 통과한 상기 제 1 레이저광을 수광하는 제 1 수광기, 상기 회전축과 상기 차광판 사이를 통과한 상기 제 2 레이저광을 수광하는 제 2 수광기, 각 수광기가 수광하고 있는 시간에 각각 측정하는 제 1 및 제 2 카운터, 이 양카운터의 출력에서 상기 피측정부재의 두께를 연산하는 연산기로된 막두께의 측정장치.