KR870010383A - 막(膜)두께의 측정방법 및 장치 - Google Patents

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마사유끼 아리끼
요시아끼 이다
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시끼 모리야
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Abstract

내용 없음

Description

막(膜)두께의 측정방법 및 장치.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이 발명의 한 실시예를 표시하는 구성도.
제2도는 제1도의 요부를 표시하는 구성도.
제5도는 이 발명의 한 다른 실시예로서 제1도의 구성에서 회전축에 대한 회전센서를 구비한 구성도.

Claims (4)

  1. 피측정막이 제1박판(sheet)에 도포된 피측정부재를 회전축으로 밀착지지하면서 주행시켜, 상기 회전축의 면에서 소정거리를 띄어서 상기 회전축과 평행으로 차공판을 설치하여, 상기 피측정막 표면과 상기 차광판간을 제1레이저광으로 주사하며, 상기 호전축의 표면 또는 상기 제1박판에서 피측정막이 도표되어 있지 않은 부분과 상기 차광판간을 제2레이저광으로 주사하여 상기 피측정막의 막두께를 측정하는 방법에 있어서, 상기 회전축의 표면과 상기 차광판간을 상기 각 레이저광으로 주사하여 상기 회전축의 축방향에 적어도 1개소 측정하여 그 계수와 축방향의 주사위치를 기억하는 제1공정고, 두께가 기지의 제2박판을 상기 회전축 표면의 상기 제1레이저광에 의하여 주사되는 위치에 밀착 주행시켜서 상기 각 레이저광을 주사하여 그 계수를 기억하는 제2공정과, 상기 제1레이저광이 상기 회전축의 축방향으로 주사하는 위치 및 대응한 상기 제2박판의 두께를 기억하는 제3공정과, 상기 제1공정에서 상기 제3공정까지의 각 측정위치에서 상기 피측정막의 막두께를 산출하는 산출식을 도출하는 제4공정과, 상기 제1공정에서 상기 제4공정까지의 종료한후 상기 피측정부재를 주행시켜서 상기 각 레이저광으로 주사하여 그 계수에서 상기 산출식으로 상기 피측정막의 막두께를 산출하는 제5공정으로 된 막두께의 측정방법.
  2. 제1항에 있어서,
    제3공정의 제1박판 두께의 대응위치는 단말기로부터 입력되는 것을 특징으로 하는 막두께의 측정방법.
  3. 제1항에 있어서,
    제3공정의 제1박판 두께의 대응위치는 위치센서를 검출하는 것을 특징으로 하는 막두께의 측정방법.
  4. 박판상의 피측정부재를 밀착 지지하는 회전축, 이 회전축과 편행으로 이동 가능한 주행체, 이 주행체에 장착되어 상기 회전축의 면에서 소정거리를 띄어서 상기 회전축과 편행으로 설치된 차광판, 상기 주행체에 장착되어 제1레이저광 및 제2레이저광을 각각 발생하는 제1및 제2레이저 발진기, 상기 주행체에 장착되어 제1레이저광을 입사하여 상기 피측정부재의 밀착부분의 상기 회전축과 상기 차광판간을 주사하도록 제어하는 반사경, 상기 회전축과 상기 차광판 사이를 통과한 상기 제1레이저광을 수광하는 제1수광기, 상기 회전축과 상기 차광판 사이를 통과한 상기 제2레이저광을 수광하는 제2수광기, 각 수광기가 수광하고 있는 시간에 각각 측정하는 제1및 제2카운터, 이 양카운터의 출력에서 상기 피측정 부재의 두께를 연산하는 연산기로 된 막두께의 측정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019870004001A 1986-04-29 1987-04-25 막(膜) 두께의 측정방법 및 장치 KR900003749B1 (ko)

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