JP2524797Y2 - 膜厚測定装置 - Google Patents
膜厚測定装置Info
- Publication number
- JP2524797Y2 JP2524797Y2 JP1989138783U JP13878389U JP2524797Y2 JP 2524797 Y2 JP2524797 Y2 JP 2524797Y2 JP 1989138783 U JP1989138783 U JP 1989138783U JP 13878389 U JP13878389 U JP 13878389U JP 2524797 Y2 JP2524797 Y2 JP 2524797Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- film
- rotating shaft
- sheet
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本考案はプラスチックシート又はフィルムの各種成形
機に適用されるレーザ光を利用したプラスチックシート
又はフィルムの膜厚測定装置に関する。
機に適用されるレーザ光を利用したプラスチックシート
又はフィルムの膜厚測定装置に関する。
(従来の技術) 第2図は上記膜厚測定装置の一般的な構成例の概略を
示し、また第3図は同装置の内部構造を示している。こ
れらの図において、1は所定の速度で回転する回転軸、
2は回転軸1の面から所定の距離をあけて回転軸1と平
行に設けられた遮光板、3は回転軸1と密着して回転軸
1の速度と同じ速度で走行するシート、フィルムなどの
被測定部材で、所定の厚みをもっている。4,5は所定の
角度をなして配置され、それぞれがレーザ光4a,5aを発
生する1対のレーザ光発生器、6は反射ミラーで、一方
のレーザ光4aを受けて回転軸1の表面と遮光板2との間
を走査し、同時に他方のレーザ光5aを受けて被測定部材
3と遮光板2との間を走査するように制御される。7,8
は反射ミラー6で反射した各レーザ光4a,5aをそれぞれ
集光するレンズ、9,10は走査した各レーザ光4a,5aを集
光するレンズ、11,12はそれぞれのレーザ光の受光器、1
3,14は1対のカウンタ、15は演算器、16は表示器であ
る。
示し、また第3図は同装置の内部構造を示している。こ
れらの図において、1は所定の速度で回転する回転軸、
2は回転軸1の面から所定の距離をあけて回転軸1と平
行に設けられた遮光板、3は回転軸1と密着して回転軸
1の速度と同じ速度で走行するシート、フィルムなどの
被測定部材で、所定の厚みをもっている。4,5は所定の
角度をなして配置され、それぞれがレーザ光4a,5aを発
生する1対のレーザ光発生器、6は反射ミラーで、一方
のレーザ光4aを受けて回転軸1の表面と遮光板2との間
を走査し、同時に他方のレーザ光5aを受けて被測定部材
3と遮光板2との間を走査するように制御される。7,8
は反射ミラー6で反射した各レーザ光4a,5aをそれぞれ
集光するレンズ、9,10は走査した各レーザ光4a,5aを集
光するレンズ、11,12はそれぞれのレーザ光の受光器、1
3,14は1対のカウンタ、15は演算器、16は表示器であ
る。
17は回転軸1を支持するフレーム、18は回転軸1と平
行にフレーム17に支持されたガイド、19はガイド18に支
持された走行体で、回転軸1と平行に移動する。なお、
上記遮光板2、並びにレーザ光発生器4から受光器12ま
での各部材は走行体19に積載されている。
行にフレーム17に支持されたガイド、19はガイド18に支
持された走行体で、回転軸1と平行に移動する。なお、
上記遮光板2、並びにレーザ光発生器4から受光器12ま
での各部材は走行体19に積載されている。
(考案が解決しようとする課題) プラスチックシート又はフィルム成形機にインライン
でレーザ光を利用した膜厚測定装置を組み込みシート又
はフィルムの厚さを測定する場合、通常は被測定部材で
あるシート及びフィルムが常温より高い状態になってい
ることが多い。
でレーザ光を利用した膜厚測定装置を組み込みシート又
はフィルムの厚さを測定する場合、通常は被測定部材で
あるシート及びフィルムが常温より高い状態になってい
ることが多い。
常温より高い温度のシート又はフィルムが同装置の測
定部に設けられた回転軸(ロール)表面に接触しながら
測定がなされるため、ロールの温度が上昇し、回転軸の
軸方向に温度差が生じることになる。
定部に設けられた回転軸(ロール)表面に接触しながら
測定がなされるため、ロールの温度が上昇し、回転軸の
軸方向に温度差が生じることになる。
この温度差により回転軸の径が変化し、被測定物の測
定値に回転軸の径の変化が加算されることになって、被
測定物の厚さを精度よく測定することを困難にしてい
る。
定値に回転軸の径の変化が加算されることになって、被
測定物の厚さを精度よく測定することを困難にしてい
る。
本考案はかかる不具合に着目してなされたものであ
り、回転軸の軸方向の径変化をなくし、高精度に膜厚を
測定し得る膜厚測定装置を提供せんとするものである。
り、回転軸の軸方向の径変化をなくし、高精度に膜厚を
測定し得る膜厚測定装置を提供せんとするものである。
(課題を解決するための手段) このため本考案は,連続走行するプラスチックシート
又はフィルムを測定部に配置された回転軸表面に接触さ
せつつ走行させ,回転軸の面から所定の距離をあけて回
転軸と平行に遮光板を設け,所定の角度をなして配置さ
れた一対のレーザ光発生器より発生した一対のレーザ光
のうち,一方のレーザ光を受けて反射ミラーで回転軸の
表面と遮光板との間を走査し,同時に他方のレーザ光を
受けて前記プラスチックシート又はフィルムと遮光板と
の間を走査するよう制御し,レーザ光を利用してその厚
さを測定する膜厚測定装置において,測定部の上流側の
シート又はフィルム自身の表面温度を検知する温度セン
サーを設けると共に,回転軸に通す温水又は熱媒油等の
熱媒の温度を前記シート又はフィルムの温度に近づける
ロール温調装置を設け,ロールとシート又はフィルムの
温度差を極力小さくするようにしてなるもので,これを
課題解決のための手段とするものである。
又はフィルムを測定部に配置された回転軸表面に接触さ
せつつ走行させ,回転軸の面から所定の距離をあけて回
転軸と平行に遮光板を設け,所定の角度をなして配置さ
れた一対のレーザ光発生器より発生した一対のレーザ光
のうち,一方のレーザ光を受けて反射ミラーで回転軸の
表面と遮光板との間を走査し,同時に他方のレーザ光を
受けて前記プラスチックシート又はフィルムと遮光板と
の間を走査するよう制御し,レーザ光を利用してその厚
さを測定する膜厚測定装置において,測定部の上流側の
シート又はフィルム自身の表面温度を検知する温度セン
サーを設けると共に,回転軸に通す温水又は熱媒油等の
熱媒の温度を前記シート又はフィルムの温度に近づける
ロール温調装置を設け,ロールとシート又はフィルムの
温度差を極力小さくするようにしてなるもので,これを
課題解決のための手段とするものである。
即ちこれを具体的に述べると、次のとおりである。
(1)被測定物が接触する測定部の回転軸を例えばジャ
ケット構造とする。
ケット構造とする。
(2)回転軸のジャケット部に冷却水を循環させるか、
又は温調し所定の温度に昇温した温水又は熱媒油などを
循環させる。
又は温調し所定の温度に昇温した温水又は熱媒油などを
循環させる。
(3)このとき、回転軸の上流側で走行シートの表面温
度を赤外線などの温度センサーにより検知し、ジャケッ
ト内を循環する温水、熱媒油などの液体温度を回転軸温
調装置によりシート及びフィルムの表面温度に極力近づ
けるようにすれば、回転軸とプラスチックシート又はフ
ィルムの温度差をなくすこともできる。
度を赤外線などの温度センサーにより検知し、ジャケッ
ト内を循環する温水、熱媒油などの液体温度を回転軸温
調装置によりシート及びフィルムの表面温度に極力近づ
けるようにすれば、回転軸とプラスチックシート又はフ
ィルムの温度差をなくすこともできる。
(4)上記ジャケット構造を有するロールによる温度コ
ントロール方式のかわりに、内部に誘電加熱構造を有す
るロールによる温度コントロール方式を採用しても同一
の機能を奏する。
ントロール方式のかわりに、内部に誘電加熱構造を有す
るロールによる温度コントロール方式を採用しても同一
の機能を奏する。
(作用) 冷却水又は所定の温度に上げた温水又は熱媒油などを
回転軸のジャケット部に循環させ、ロールの軸方向の温
度差をなくして回転軸の軸方向における径の変化をなく
し、被測定物であるプラスチックシート及びフィルムの
厚さを精度良く測定する。
回転軸のジャケット部に循環させ、ロールの軸方向の温
度差をなくして回転軸の軸方向における径の変化をなく
し、被測定物であるプラスチックシート及びフィルムの
厚さを精度良く測定する。
(実施例) 以下、本考案の実施例を図面について説明する。
第1図に本考案をプラスチックシート成形機のインラ
インに組み込んだ代表的な実施例を示し、図中20がイン
ラインに組み込まれたレーザ光を利用した膜厚測定装置
であり、シート23の厚さを連続的に測定する。
インに組み込んだ代表的な実施例を示し、図中20がイン
ラインに組み込まれたレーザ光を利用した膜厚測定装置
であり、シート23の厚さを連続的に測定する。
被測定物であるプラスチックシート23はロール21に所
定の抱き角を持って接触しており、そのロール上のシー
トの厚さをレーザ光線23を利用して従来と同様の方法で
測定するものである。シート23は常温まで十分に冷却さ
れず、常温より高い温度でロール21に接触する場合が多
い。
定の抱き角を持って接触しており、そのロール上のシー
トの厚さをレーザ光線23を利用して従来と同様の方法で
測定するものである。シート23は常温まで十分に冷却さ
れず、常温より高い温度でロール21に接触する場合が多
い。
この場合、ロール21はシート23から熱を受け、ロール
自身の温度が上がり、かつロールの長さ方向に温度差を
生ずる。これを防止するため、ロール21はジャケット部
を有するロールとし、冷却水又は所定の温度に上げられ
た温水又は熱媒油などの液体25を循環させることを可能
にする。その装置としては次の3種類のものが考えられ
る。
自身の温度が上がり、かつロールの長さ方向に温度差を
生ずる。これを防止するため、ロール21はジャケット部
を有するロールとし、冷却水又は所定の温度に上げられ
た温水又は熱媒油などの液体25を循環させることを可能
にする。その装置としては次の3種類のものが考えられ
る。
(1)ロール21に冷却水を通水し、ロール自身を冷却水
の温度により長手方向で均一な温度となる様にし、シー
ト23からの熱を遮断する。
の温度により長手方向で均一な温度となる様にし、シー
ト23からの熱を遮断する。
(2)冷却水とシート又はフィルムの温度差が大きい場
合は、第1図に示すロール温調装置26などにより所定の
温度に昇温された温水又は熱媒油などの液体25をロール
に循環させ、ロールとシート又はフィルムとの温度差を
小さくし、ロールの長手方向の温度差を(1)の方式よ
り小さくする。
合は、第1図に示すロール温調装置26などにより所定の
温度に昇温された温水又は熱媒油などの液体25をロール
に循環させ、ロールとシート又はフィルムとの温度差を
小さくし、ロールの長手方向の温度差を(1)の方式よ
り小さくする。
(3)さらに精度を上げる方式として、測定部の上流側
のシートの表面温度を赤外線などの温度センサー33で検
知し、温水又は熱媒油の温度をシートの温度に近づける
ことにより、ロール21とシート23の温度差を極力小さく
する。
のシートの表面温度を赤外線などの温度センサー33で検
知し、温水又は熱媒油の温度をシートの温度に近づける
ことにより、ロール21とシート23の温度差を極力小さく
する。
尚、ロール温調装置26は温度検出端28、温調計27、ヒ
ータ29、ポンプ30、熱交換器31、及びコントロールバル
ブ32などから構成される。
ータ29、ポンプ30、熱交換器31、及びコントロールバル
ブ32などから構成される。
(考案の効果) 以上、詳細に説明した如く、たとえ膜厚測定部の回転
軸と被測定物であるシート又はフィルムに温度差があっ
たとしても、本考案によれば回転軸の長手方向の温度差
を極力小さくすることができ、回転軸の径の変化をなく
し、シート又はフィルム自身の厚さを精度よく測定する
ことが可能となる。
軸と被測定物であるシート又はフィルムに温度差があっ
たとしても、本考案によれば回転軸の長手方向の温度差
を極力小さくすることができ、回転軸の径の変化をなく
し、シート又はフィルム自身の厚さを精度よく測定する
ことが可能となる。
第1図は本考案の1実施例を示すレーザ光線を利用した
膜厚測定装置の測定部詳細図、第2図は従来のレーザ光
線を利用した膜厚測定装置の概略構成図、第3図は同装
置の測定部詳細図である。 図の主要部分の説明 20……押出成形ラインに組み込まれた膜厚測定装置 21……ロール 23……シート 24……レーザ光線 25……ジャケット内を循環する液体 26……温調装置
膜厚測定装置の測定部詳細図、第2図は従来のレーザ光
線を利用した膜厚測定装置の概略構成図、第3図は同装
置の測定部詳細図である。 図の主要部分の説明 20……押出成形ラインに組み込まれた膜厚測定装置 21……ロール 23……シート 24……レーザ光線 25……ジャケット内を循環する液体 26……温調装置
フロントページの続き (72)考案者 露木 迪 愛知県名古屋市中村区岩塚町字高道1番 地 三菱重工業株式会社名古屋機器製作 所内 (56)参考文献 特開 昭62−255806(JP,A) 特開 昭62−34005(JP,A) 実開 昭59−103207(JP,U)
Claims (1)
- 【請求項1】連続走行するプラスチックシート又はフィ
ルムを測定部に配置された回転軸表面に接触させつつ走
行させ,回転軸の面から所定の距離をあけて回転軸と平
行に遮光板を設け,所定の角度をなして配置された一対
のレーザ光発生器より発生した一対のレーザ光のうち,
一方のレーザ光を受けて反射ミラーで回転軸の表面と遮
光板との間を走査し,同時に他方のレーザ光を受けて前
記プラスチックシート又はフィルムと遮光板との間を走
査するよう制御し,レーザ光を利用してその厚さを測定
する膜厚測定装置において,測定部の上流側のシート又
はフィルム自身の表面温度を検知する温度センサーを設
けると共に,回転軸に通す温水又は熱媒油等の熱媒の温
度を前記シート又はフィルムの温度に近づけるロール温
調装置を設け,ロールとシート又はフィルムの温度差を
極力小さくするようにしたことを特徴とする膜厚測定装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989138783U JP2524797Y2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 膜厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1989138783U JP2524797Y2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 膜厚測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0378207U JPH0378207U (ja) | 1991-08-07 |
JP2524797Y2 true JP2524797Y2 (ja) | 1997-02-05 |
Family
ID=31685861
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1989138783U Expired - Lifetime JP2524797Y2 (ja) | 1989-11-30 | 1989-11-30 | 膜厚測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2524797Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024090804A1 (ko) * | 2022-10-27 | 2024-05-02 | 주식회사 엘지화학 | 필름 온도 및 두께 측정 장치 및 이를 이용한 측정 방법 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59103207U (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-11 | 株式会社東芝 | 光電式走間幅計 |
JPS6184508A (ja) * | 1984-10-02 | 1986-04-30 | Mitsubishi Electric Corp | 絶縁膜の膜質評価装置 |
JPS6234005A (ja) * | 1985-08-06 | 1987-02-14 | Mitsubishi Electric Corp | 膜厚測定装置 |
JPS62255806A (ja) * | 1986-04-29 | 1987-11-07 | Mitsubishi Electric Corp | 膜厚測定方法及び装置 |
-
1989
- 1989-11-30 JP JP1989138783U patent/JP2524797Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2024090804A1 (ko) * | 2022-10-27 | 2024-05-02 | 주식회사 엘지화학 | 필름 온도 및 두께 측정 장치 및 이를 이용한 측정 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0378207U (ja) | 1991-08-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6188079B1 (en) | Measurement of hot container wall thickness | |
US5760884A (en) | Distance measuring apparatus capable of measuring a distance depending on moving status of a moving object | |
JP5596519B2 (ja) | ロール変位測定方法、及びそれを用いたロール変位測定装置、並びにフィルム厚測定方法、及びそれを用いたフィルム厚測定装置 | |
JP2524797Y2 (ja) | 膜厚測定装置 | |
US5066865A (en) | Single sided reflectance sensor for measuring select physical properties of a material using one or more wavelengths of radiation | |
JP2002059217A (ja) | 板材折曲げ加工機における折曲げ角度検出方法および同方法に用いる折曲げ角度検出装置 | |
JPS6049849B2 (ja) | 物体の表面温度と放射率の測定装置 | |
US4102571A (en) | Method for optically measuring a distance | |
KR20010063525A (ko) | 냉연강판용 폭측정장치 | |
US2864280A (en) | Device for inspecting the straightness of bores | |
KR100419177B1 (ko) | 씨씨디카메라를이용한폭계에서의측정오차보상방법과그장치 | |
JP2510367Y2 (ja) | 膜厚測定装置 | |
JP2001198690A (ja) | レーザ加工装置 | |
JPH076776B2 (ja) | ホットコイル巻取形状の検出装置 | |
JPS60180610A (ja) | 圧延ロ−ルクラウンの測定方法 | |
JPS622535Y2 (ja) | ||
JP3192461B2 (ja) | 光学的測定装置 | |
JP2003148932A (ja) | 非接触2次元形状計測方法およびウェブ皺形状計測装置 | |
KR200188948Y1 (ko) | 고온 강판 하면온도 측정장치 | |
KR20020050865A (ko) | 압연기의 스크루 레벨측정기 | |
JPH06142590A (ja) | 塗布装置 | |
JPS6276436A (ja) | 板材の内部欠陥検出方法 | |
JPH0235666B2 (ja) | ||
JP2844892B2 (ja) | 紙質測定装置 | |
JPS592321B2 (ja) | 走行中の連続シ−ト状物の巾寸法の測定方法並びに装置 |