DE2928702A1

DE2928702A1 - Etronenkanone fuer eine kathodenstrahlroehre

Info

Publication number: DE2928702A1
Application number: DE19792928702
Authority: DE
Inventors: Fusao Ishii; Shoichi Muramoto; Masayuki Tozawa; Yoshihiro Tsukamura
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1978-07-15
Filing date: 1979-07-16
Publication date: 1980-02-07
Also published as: FR2431183B1; JPS6217347B2; JPS5514627A; FR2431183A1; NL7905524A; AU4893779A; GB2028576B; AU537737B2; GB2028576A; DE2928702C2

Description

Pat'.;ni3n-«älte

Dipf.-Ing. H. MiTSCHERLICH Dipl.-Ing. K. GUNSCHMANN

Dr. rer. nat. W. KORBER Dipl.-Ing. J. SCHMIDT - EVERS Stelnsdorfstr.10.8000 MÜNCHEN 22

T6. Juli 1979

Sony Corporation

7-35 Kitashinagawa 6-chome

Shinagawä-ku Tokyo/Japan

Elektronenkanone für eine Kathoden-Strahlröhre

Die Erfindung bezieht sich auf einen Widerstand und auf Elektroden, die auf einem Substrat gebildet sind, das mit einer Glasschicht beschichtet ist, und betrifft insbesondere den Fall, bei dem der Widerstand und die Elektrode in einer Elektronenkanone bzw. einem Strahlerzeuger bei einem Fernsehgerät verwendbar sind.

Bei einer herkömmlichen Farbfernseh-Bildröhre wird Hochspannung von etwa 25 - 30 kV an die letzte Beschleunigungselektrode einer Elektronenkanoneneinheit

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bzw. Strahlerzeugereinheit und einen Bildschirm über einen Anodenknopf angelegt, der an dem Trichterteil einer Bildröhre befestigt ist. Gleichzeitig wird eine Spannung von 0 - 5 kV an eine Fokussierelektrode angelegt, die eine fokussierende Elektronenlinse bildet, die nahe der letzten Beschleunigungselektrode angeordnet ist, und zwar über einen Anschluss-Stift, der an dem Ende des Halsteils der Bildröhre vorgesehen ist.

Um einen kleinen Strahlfleck auf dem Bildschirm zu erreichen, was ein genaueres und deutlicheres Bild zur Folge hat, ist es erwünscht, die Aberration der Fokussierlinse so weit wie möglich zu verringern. Um die Aberration der Fokussierlinse zu verringern ist es notwendig, den Spannungsgradienten zwischen den Elektroden abzuschwächen. Um dies zu erreichen gibt es verschiedene Vorgehensweisen, w ie das Vergrössern des Abstandes zwischen den Elektroden, das Anlegen nahe beieinanderliegender Spannungen an die Elektroden und eine Kombination davon.

Beim Anlegen einer ähnlichen Spannung an die Elektroden ist es notwendig, eine Hochspannung von über 10 kV an die Fokussierelektrode anzulegen, die der letzten Beschleunigungselektrode am nächsten ist. Eine derartige Hochspannung kann nicht über einen Anschluss-Stift angelegt werden, der an dem Ende des Halsteils der Bildröhre vorgesehen ist, da dort eine elektrische Entladung d.h., ein Funken zwischen dem Anschluss-Stift und den anderen Anschluss-Stiften auftritt, die Spannung an andere Elektroden der Elektronenkanoneneinheit, beispielsweise

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Heizern/ anlegen. Sie kann dann über einen weiteren Knopf angelegt werden, der an dem Trichterteil vorgesehen ist, was jedoch einen komplizierten Aufbau und eine wesentliche Kostenerhöhung zur Folge hat.

Im Fall einer weit verbreiteten Bildröhre der Anmelderin, die unter der Handelsbezeichnung "Trinitron" bekannt ist, werden drei Elektronenstrahlen bzw. -strahlbündel durch eine einzige Elektronenlinse fokussiert, wobei jeder Strahl durch die Mitte einer einzigen Elektronenlinse grossen Durchmessers hindurchgeht. Die fokussierten drei Elektronenstrahlen werden so zum Aufprall auf der gleichen Stelle eines mit öffnungen versehenen Gitters, das vor dem Bildschirm angeordnet ist,mittels 4 Konvergenzelektroden abgelenkt, die am Oberende der Elektronen-kanoneneinheit vorgesehen sind, wodurch drei Durchtritte zwischen ihnen für jeden der Elektronenstrahlen gebildet ist. An die beiden inneren Elektroden der Konvergenzelektroden ist ein dem Anodenpotential gleiches Potential angelegt. An die beiden Aussenelektroden der Konvergenzelektroden ist eine niedrigere Spannung als die Anodenspannung von etwa 0,4 - 1,5 kV angelegt, so dass die Elektronenstrahlen die durch die Konvergenzelektroden hindurchtreten, zur Seite des Mittelstrahls abgelenkt werden.

Früher wurden die Spannungen über einen weiteren Knopf angelegt, der an dem Trichterteil vorgesehen ist, sowie über ein elektrisch abgeschirmtes Kabel, das an dem Knopf und den Aussenelektroden angeschlossen ist.

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Nun wird ein koaxialer Anodenknopf verwendet, der zwei zylindrische, elektrisch voneinander isolierte Elektroden besitzt, um eine Anodenspannung über eine Aussenelektrode des Anodenknopfs und die Konvergenzspannung über eine Innenelektrode des Anodenknopfs anzulegen, sowie ein elektrisch abgeschirmtes Kabel, das die Innenelektrode und die Konvergenzelektroden verbindet. Durch den obigen koaxialen Anodenknopf ist es nicht notwendig zwei Knöpfe an dem Trichterteil der Bildröhre vorzusehen, es bleibt jedoch weiter lästig, die Innenelektrode des Anodenknopfs und die äusseren Konvergenzelektroden mittels des elektrisch abgeschirmten Kabels zu verbinden.

Es ist Aufgabe der Erfindung eine Elektronenkanoneneinheit zur Verwendung bei einer Kathodenstrahlröhre anzugeben, bei der das gewünschte Potential an die Elektrode mit einem einfachen Aufbau anlegbar ist.

Gemäss einem Merkmal der Erfindung ist eine verbesserte Elektronenkanone bzw. ein Strahlerzeuger vorgesehen, der mehrere Elektroden zum Fokussieren und Beschleunigen eines Elektronenstrahls besitzt, die längs einer Achse eines Halsteils der Kathodenstrahlröhre angeordnet sind. Weiter ist ein Widerstand vorgesehen, der als Zick-Zack-Muster ausgebildet is^mit Elektroden an beiden Enden und an Zwischenpunkten des Widerstandes auf Keramikbasis mit einem Überzug aus einer Glasschicht, wobei dies innerhalb des Halses der Bildröhre angeordnet ist.

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Ein Ende des Widerstands ist mit Hochspannung versorgt, die der Anodenspannung gleich ist. Erwünschte Spannungen zum Fokussieren und/oder Konvergieren werden von Zwischenanzapfungen des Widerstands abgeleitet, während das andere Ende des Widerstands mit im wesentlichen niedriger Spannung verbunden bzw. versorgt ist.

Der Widerstand ist mit einer Glasgemischschicht beschichtet oder überzogen, um den Spannungsdurchbruch zu verringern, wobei der thermische Ausdehnungskoeffizient des Substrates und des Glasgemisches so gewählt sind, dass sie ähnlich sind.

Die Erfindung gibt eine Elektronenkanone bzw. einen Strahlerzeuger zur Verwendung bei einer Kathodenstrahlröhre, bei spielsweise bei einer Farbfernseh -Bildröhre an. Die Elektronenkanone besitzt mehrere, in einer Richtung längs einer Achse eines Halsteils einer Kathodenstrahlröhre ausgerichtet angeordnete Elektroden. Jede der Elektroden ist mit einem geeigneten Potential zum Fokussieren und Beschleunigen eines Elektronenstrahls versehen, der von einer Kathode abgeleitet ist. Ein Widerstandselement, das ein Keramiksubstrat aufweist, das mit einer Schicht eines Widerstandsmaterials beschichtet oder überzogen ist, ist längs und neben den Elektroden in der Kathodenstrahlröhre vorgesehen. Ein Ende des Widerstandselements ist elektrisch mit dem Anodenpotential verbunden und das andere Ende ist mit einem Röhrenfußleiter-Stiftyerbunden, der auf einem im wesentlichen ausreichend niedrigen Potential liegt, um gegenseitige elektrische Entladung zwischen Röhrenfußleiter-Stiften zu verhindern. Ein geeignetes Potential für die

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selektiven Elektroden wird von Zwischenanzapfungen des Widerstandes abgeleitet, wobei das Elektrodenmaterial aus einer Mischung aus RuO~ und Glasfritte zusammengesetzt ist. Der Widerstand ist mit einer Glasschicht an der Oberseite der Schicht aus Widerstandswerkstoff überzogen, wobei der Wärmedehnungskoeffizient des Substrats und der Glasschicht so gewählt sind, dass sie ähnlich sind.

Die Erfindung wird an Hand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen

Fig. 1 perspektivisch eine Elektronenkanoneneinheit

gemäss der Erfindung,
Fig. 2 eine schematische Darstellung zur Erläuterung der Verbindung zwischen den Elektroden und dem

Widerstand,
Fig. 3 schematisch einen Querschnitt zur Darstellung der Elektronenkanoneneinheit gemäss der Erfindung, die in einem Halsteil der Kathodenstrahlröhre dicht

angebracht bzw. verschmolzen ist, Fig. 4 eine Darstellung der charakteristischen Beziehung zwischen Gasverdampfung und Temperatur des Widerstands gemäss der Erfindung bzw. einer

herkömmlichen Ausführung,
Fig. 5A, 5B in Aufsicht bzw. im Querschnitt ein erstes Ausführungsbeispiel des Widerstandes gemäss der

Erfindung,
Fig. 6 im Schnitt ein zweites Ausführungsbeispiel des

Widerstands gemäss der Erfindung, Fig. 7A, 7B in Aufsicht bzw. im Querschnitt ein drittes Ausf ührungsbeispi el des Widerstands qiMiiäss eier Erfindung,

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Fig. 8 eine Darstellung der charakteristischen Beziehung zwischen der Dicke der überziehenden Glasschicht und der Änderung des Widerstandes,

Fig. 9 eine grafische Darstellung der charakteristischen Beziehung zwischen der Gasverdampfung und der Temperatur der Elektrode gemäss der Erfindung bzw. einer herkömmlichen Ausführung.

Ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung wird an Hand der Zeichnung erläutert, wobei eine Elektronenkanoneneinheit mit einer Einpotential-Elektronenlinse für eine "Trinitron" -Bildröhre vorgesehen ist.

Wie sich aus den Fig. 1 bis 3 ergibt, ist eine Elektronenkanone 1 ( vergl. Fig. 1 ) innen im Halsteil der Röhre befestigt. Die Elektronenkanone 1 enthält drei Kathoden K_R, K_ und K₁₃ die in einer horizontalen Ebene ausgerichtet sind,

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Die drei Kathoden K_x,, K~ und K_n sind hinter einem Steuer-

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gitter G₁ angeordnet, an das sich seinerseits Vorfokussiergitter G₂ und G^anschliessen. Anschliessend ist die Hauptfokussierlinse vorgesehen, die durch ein Gitter G, gebildet ist. Die Gitter G,, G. und G_g sind Beschleunigungsgitter. Danach sind Konvergenzelektroden 8,9 und 11,12 vorgesehen. Beim Weg zum Bildschirm tritt der Elektronenstrahl von der Kathode Κ_π durch deren zugeordnete öffnung im Gitter G1

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bzw. Gitter G2, dann durch die Gitter G,, G. und G₅ und schliesslich zwischen die Plattenelektroden 9 und 12 hindurch. Der Elektronenstrahl von der Kathode K_, tritt gerade durch die Elektronenkanone 1 hindurch und zwischen den Konvergenzplatten 8 und 9 wieder aus, bevor es das mit Öffnungen versehene Gitter AG erreicht. Der Elektronen-

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strahl von der Kathode K_n tritt durch deren zugeordnete öffnungen im Gitter G₁ und Gitter G„, dann durch die Gitter G₃, G. und G_g und schliesslich durch die Konvergenzelektroden 8 und 11 hindurch, bevor es das öffnungen aufweisende Gitter AG erreicht.

Ein leitfähiger Kohle - bzw. Graphitüberzug ist über der Innenfläche des Trichterteils der Bildröhre ausgebildet, wobei sich dieser überzug auch über die Innenfläche des Halsteils der Röhre bis zurück in den Bereich der Konvergenzelektroden 8, 9, 11, 12 erstreckt. Anschluss-Stifte 4 sind am Ende des Röhrenfusses 2 ausgebildet.

Fig. 1 zeigt eine Elektronenkanoneneinheit gemäss der Erfindung, die in dem Halsteil der Bildröhre abgedichtet befestigt bzw. eingeschmolzen ist und Fi(T. 2 zeigt ein Anschlussdiagramm zwischen den Elektroden der Elektronenkanoneneinheit und einem Widerstand 15. In den Fig. 1, 2 und 3 ist ganz allgemein eine Elektronenkanone 1 dargestellt. Weiter ist ein Röhrenfuss 2 aus Glas vorgesehen, wobei ein Evakuierrohr 3 einstückig mit dem Röhrenfuss 2 ausgebildet ist und wobei Anschluss-Stifte 4 an dem Röhrenfuss befestigt sind. Die Anschluss-Stifte 4 sind mit verschiedenen Elektroden, beispielsweise Heizern der Kathoden der Bildröhre verbunden. Weiter sind auch Elektroden bzw. Gitter G., G», G.,, G₄, G₁. vorgesehen, die koaxial angeordnet sind,deren jedes zylindrisch ausgebildet ist und die einstückig durch ein Paar von Traggliedern 5, 6 aus gebördeltem Glas getragen sind. Konvergenzelektroden 8, 9 sind an einem Flanschab-

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schnitt 10 des 5. Gitters G₁- angebracht und IConvergenzelektroden 11, 12 sind von den Traggliedern 5,6 aus gebördeltem Glas über ein Tragteil 13 getragen. Ein Verbindungsstück 14 ist ebenfalls einstückig mit dem Flanschteil 10 vorgesehen. Wie das erläutert werden Wird, sind die Verbindungsstücke 14 in Berührung mit der Kohle - bzw. Graphitschicht 24 an der Innenwand des Trichterteils der Bildröhre über die eine gewünschte Hochspannung E,, die die gleiche Spannung ist, die an dem Bildschirm anliegt, d.h., die Anodenspannung, an das 5. Gitter G₁. anlegbar ist. Weiter ist ein Widerstand 15 längs der Gitter G. bis G₅ vorgesehen, der an einem Ende durch ein Metall-Tragglied 16 und am anderen Ende durch eine Leitung 22 getragen ist. Der Widerstand 15 ist mittels eines gedruckten Widerstandspfades 17 auf einer Fläche eines Substrats aus einem Isolierstoff, beispielsweise einem Keramiksubstrat gebiLdet. Der gedruckte Widerstandspfad 17 ist mit einer Glasschicht überzogen. Der Widerstand 15 ist beispielsweise 10 mm breit, 50 mm lang und 1,5 mm dick. Ein Rand des Widerstandspfads 17 und das 5.Gitter G₅ sind elektrisch durch das Tragglied 16 miteinander verbunden, wobei das 5. Gitter G₁. und das 3, Gitter G₃ elektrisch durch eine Leitung 19 miteinander verbunden sind. Eine vorgegebene Stelle b,die um einen vorgegebenen Längenabstand von einem Ende des Widerstandspfades 17 beabstandet ist und das 4.Gitter G. sind durch eine Leitung 20 elektrisch miteinander verbunden_; und eine andere Stelle a, die um einen vorgegebenen Längenabstand von einem Ende des Widerstandspfades 17 beabstandet ist, ist elektrisch mit

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den Konvergenzelektroden 11 und 12 mittels einer Leitung 21 verbunden. Das andere Ende des Widerstandspfades 17 ist elektrisch mit einem Anschluss-Stift 4 a über eine Leitung 22 verbunden. Die Konvergenzelektroden 11 und sind elektrisch miteinander verbunden.

Die wie oben ausgebildete Elektronenkanoneneinheit ist in einen Halsteil 23 der Bildröhre eingeschmolzen, wie das in Fig. 3 dargestellt ist. Dabei ist die Kohlebzw. Graphitschicht 24 an der Innenwand des Halsteils und des ( nicht dargestellten ) Trichterteils der Bildröhre vorgesehen, wobei das Verbindungsglied 14 in Eingriff ist. Die Kohle- bzw. Graphitschicht 24 ist elektrisch mit einem Knopf verbunden, der an dem Trichterteil der Bildröhre vorgesehen ist, über den eine Hochspannung von beispielsweise 30 kV von ausserhalb der Bildröhre zuführbar ist. Bei dem obigen Aufbau wird die der Kohle- bzw. Graphitschicht zugeführte Hochspannung an die Konvergenzelektroden 8, und das 5. Gitter G₁. über das Verbindungsglied 14 angelegt, wobei die gleiche Spannung an das 3. Gitter G₃ über die Verbindungsleitung 19 und an ein Ende des Widerstandspfades 17 über das Tragglied 16 angelegt ist. Daher sind die Konvergenzelektroden 8, 9 und Gitter G₃ und G an das gleiche Potential angelegt. Die von dem Anodenknopf zugeführte Hochspannung ist auch an den Bildschirm angelegt.

Die an das Ende des Widerstandspfads 17 angelegte Hochspannung ist an der Zwischenanzapfung an der Stelle a unterteilt über den Spannungsabfall aufgrund des Widerstandspfades zwischen dem Hochspannungs-Ende und der Zwischenanzapfung an der Stelle a, wobei die abgeleitete Spannung an

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die Konvergenzelektroden 11, 12 über die Leitung 21 angelegt ist. Die Hochspannung ist auch an einem Zwischenanschluss an der Stelle b unterteilt zum Ableiten einer niedrigeren Spannung als die Anodenspannung mittels des Spannungsabfalls zwischen dem Hochspannungs-Ende und der Zwischenanzapfung an der Stelle b, wobei die abgeleitete Spannung an das 4. Gitter G. über die Leitung 20 angelegt ist. Es sind Klauen an den Leitungen 21 und 20 vorgesehen, die an den Zwischenanzapfungen anbringbar sind. Daher ist das an die Konvergenzelektroden 11 und 12 angelegte Potential etwas niedriger, als das an die Konvergenzelektroden 8 und 9 angelegte Potential, beispielsweise 29 kV, und ist das Potential am 4.Gitter G. noch niedriger als dieses oder etwa 12 kV. Das andere lCndc des Widerstandspfads 17 ist elektrisch mit dem in dem Röhrenfuss 2 befestigten Anschluss-Stift 4 a über die Leitung 22 verbunden. Der Anschluss-Stift 4 a ist mit Massepotential über einen veränderbaren Widerstand verbunden. Der veränderbare Widerstand 25 ist vorgesehen, um eine Feineinstellung des an die Konvergenzelektroden 11 und 12 und das 4. Gitter G₄ angelegten Potentials zu erreichen. Das 1. Gitter G. und das 2. Gitter G, sind mit einer vorgegebenen Spannung über Anschluss-Stifte 4 von ausserhalb der Bildröhre versorgt. Ein Strom für einen Heizer der Kathode ist ebenfalls über vorgegebene Anschluss-Stifte zugeführt. Auf diese Weise ist jede der Elektroden mit einer gewünschten oder Soll-Spannung ver-

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sorgt, die von einer Zwischenanzapfung des Widerstands 15 abgeleitet ist auf der Grundlage der mittels des Verbindungsstücks 14 erhaltenen Anodenspannung.

Bei dem obigen Beispiel werden sowohl die Konvergenzspannung als auch die Fokussierspannung durch Teilen der Anodenspannung unter Verwendung des Widerstands 15 erhalten. Selbstverständlich ist es möglich, lediglich die Konvergenzspannung oder die Fokussierspannung zu erhalten. In dem Fall, in dem lediglich die Konvergenzspannung durch Teilen der Anodenspannung erhalten wird, kann eine niedrige Konvergenzspannung von 0 - 5 kV über den Anschluss-Stift 4 zugeführt werden.

Bei einer anderen Bildröhre als der " Trinitron"-Bildröhre wird lediglich die Fokussierspannung durch Unterteilen der Anodenspannung erhalten. Gemäss dem obigen Aufbau genügt es, lediglich einen einzigen Anodenknopf ohne irgendeinen besonderen Aufbau vorzusehen, wie einen Koaxialknopf oder dergl. Weiter ist ein Kabel, das den Anodenknopf und die Konvergenzelektroden miteinander verbindet, nicht mehr notwendig, weshalb die Anordnung vereinfacht ist.

Wie das in den Fig. 1 und 2 dargestellt ist, isL der Widerstand 15 mit einer dicken Schicht eines Widerstandswerkstoffs darauf auf einem isolierenden oder Isoliersubstrat 15 ausgebildet, wobei eine Widerstandsschicht und Elektroden 30 a bis 30 d auf dem Substrat: 1 ^r> ,hikcjobildet sind. Es sind einige Bedingungen für den Widerstandswerkstoff erforderlich, damit er für den Widerstand zum

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Einbau in eine Kathodenstrahlröhre verwendbar ist. Zum Ersten darf sich die Temperaturcharakteristik bei hohen Temperaturen nicht ändern. Zum Zweiten darf es nicht verdampfen. Zum Dritten sollte es einer Kathodenzerstäubungs-Reaktion wiederstehen. Zum Vierten sollten nur kleine Widerstandsschwankungen auftreten.

Insbesondere bei dem Herstellverfahren zum Herstellen einer Kathodenstrahlröhre wird beispielsweise ein Klopf-Verfahrenschritt durchgeführt, wobei es sehr unerwünscht ist, wenn der Widerstandswerkstoff bei der Temperatur dieses Klopf-Verfahrensschrittes verdampfen kann. Im allgemeinen ist eine Verringerung des Vakuums einer der Faktoren, die die Lebensdauer eines Vakuumgerätes wie einer Kathodenstrahlröhre bestimmen.

Daher muss, da die Verdampfung von innerhalb eines Vakuumgerätes verwendeten Werkstoffen für ein solches Gerät sehr schädlich sind, die Wahl der Werkstoffe und die Vorbehandlungen sehr sorgfältig untersucht werden.

Nach dem Zusammenbau der Elektronenkanone wird während des Klopf-Verfahrensschrittes eine Hochspannung entsprechend dem Zweifachen der Nennspannung , beispielsweise 50 - 60 kV, zwischen der Konvergenzelektrode und dem Anschluss-Stift angelegt, um eine Entladung zwischen den Gitterelektroden mit den Gittern G₁ bis G_g zu erreichen, wodurch feine Werkstoffabfälle, die an den rauhen

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Schnittkanten der zylindrischen Gitterelektroden auftreten, entfernbar sind. Da die Hochspannung auch an den Widerstand 17 angelegt wird, wird Wärme in dem Widerstand 17 auf der Grundlage von I · R erzeugt, nämlich dem Produkt aus dem Widerstandswert R und dem hindurchfliessenden Stroml . Folglich ist es notwendig zu verhindern, dass sich der Widerstandswert R des Widerstands 17 ändert und dass der Widerstandswerkstoff aufgrund der gemäss demj outechen Gesetz erzeugten Wärme verdampft.

Der Widerstandwert R ist auf zwischen 300 - 1000 Mß festgelegt, jedoch sollte die Widerstandsschwankung so klein wie möglich sein. Wie inFig. 2 dargestellt, beträgt der Widerstandswert des Widerstandspfads 17 R₁ zwischen den Elektroden 30 a und der Stelle a und R₂ zwischen der Stelle a und der Elektrode 3 0 d. Der Betrag von R-/ (R₁ + R^) muss innerhalb +0,3 % des vorgegebenen Wertes liegen, um den Widerstandswert zu stabilisieren.

Ein weiteres ernsthaftes Problem ist die Oberflächenentladung, die durch das elektrische Hochspannungsfeld während des Klopf-Verfahrensschrittes erzeugt wird, wodurch eine Kathodenzerstäubungs-Reaktion längs des Musters bzw. Verlaufes des Widerstandspfades 17 ausgelöst wird. Der Widerstandswert R ändert sich und der zerstäubte Werkstoff ist aufgrund der Zerstäubung schädlich für die Elektronenkanone. Daher sollte die Kathodenzerstäubungs-Reaktion verhindert werden.

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Gemäss der Erfindung wird ein Rutheniumoxid-Glas als Werkstoff für den Widerstandspfad 17 verwendet. Ein solcher Werkstoff wird aus einer Mischung eines Bindemittels beispielsweise Bor^silikatglas, Rutheniumoxid-Pulver mit Zusätzen wie Ti oder Al» 0-,, einem organischen Bindemittel wie Äthylzellulose und ein Lösungsmittel wie Butylcarbxtolazetat hergestellt, um die gewünschten Eigenschaften zu erreichen.

Eine Paste oder Masse zum Herstellen des Widerstands · wird durch Rühren der obigen Werkstoffe erhalten, wobei die Paste dann in Form eines Zick-Zack-Musters, wie das in den Fig. 1 und 2 gezeigt ist, auf einem Keramik-¹ substrat 15 gedruckt wird, das eine Zusammensetzung von beispielsweise 90 - 97 % Aluminiumoxid besitzt.

Das gedruckte Substrat wird dann im Temperaturbereich von 750⁰C - 850 *C während 40 - 60 min gebrannt und der Glasüberzug wird über dem Widerstandspfad und den Elektroden bzw. Anzapfungen aufgebracht. Bei der Paste aus Rutheniumoxid und Glas nimmt mit steigendem Gewichts verhältnis von RuO₂/ Glas der Oberflächenwiderstand ab. Mit zunehmender Korngfösse von Rutheniumoxid nimmt der Oberflächenwiderstand zu.

Gemäss der Erfindung ist das Verhältnis von zu etwa 20/80 gewählt.

Nach dem Brennen beträgt die Dicke des Widerstandspfads 10- 15 f*. m. Selbst obwohl der hergestellte Widerstand unter hoher Temperatur und hohem Druck in dem Klopf—

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Verfahrensschritt behandelt wird, ist die Schwankung oder Änderung des Widerstandes kleiner als 10 % und tritt nahezu keine Verdampfung auf. Darüberhinaus kann, da Rutheniumoxid einen kleinen Zerstäubungskoeffizienten besitzt, eine Beschädigung der Elektronenkanone durch zerstäubten Werkstoff gegenüber herkömmlichen Systemen verringert werden.

Die Anzapfungen oder Elektroden 30 a bis 30 d können in folgender Weise hergestellt werden.

Im allgemeinen wird üblicherweise Ag oder Ag-Pd als Elektrodenwerkstoff für Widerstandselemente dieser Art verwendet und aus einer dickeren Schicht gebildet. Wenn das Widerstandselement innerhalb eines Vakuumgerätes wie einer Kathodenstrahlröhre eingebaut wird, sind auch die vorstehend genannten vier Bedingungen sowohl auf die Elektroden als auch auf den Widerstandspfad 17 anwendbar.

Das ernsteste Problem ist die Verdampfung vom Elektrodenwerkstoff und eine Zerstäubungs-Reaktion des Elektrodenwerkstoffs bei der hohen Temperatur und dem hohen elektrischen Feld, das während des Klopf-Verfahrensschrittes angelegt ist. Versuche während des Stossens bzw. Klopfens bei dem Widerstandselement das Elektroden aus Ag oder Aq-Pd besitzt mit dem Widerstandspfad 17 dazwischen, der aus ₂ Glas gebildet ist, die jeweils auf dem Aluminiumoxid-Substrat ausgebildet sind, wie das in Fig. 4 dargestellt ist, ergaben eine höhere Verdampfung von den Elektroden, als im Fall von Elektroden aus RuO₂-GIaS, wobei sich die Bogenentladung leicht an der Oberfläche der Elektroden während des Stoss-Verfahrensschrittes konzentriert.

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Gemäss der Erfindung sind die Elektroden aus dem gleichen Werkstoff wie der Widerstandspfad 17, bei~ spielsweise aus RuO₂-GIaS hergestellt. Auch ein Werkstoff mit einem hohen Verhältnis von RuO₂-GIaS und einem niedrigeren Flächenwiderstand bzw. spezifischen Flächenwiderstand als diejenigen für den Widerstandspfad 17 ist für die Elektroden verwendbar .

Das erste Ausführungsbeispiel des Widerstandes gemäss der Erfindung ist in den Fig. 5A und 5B dargestellt. Das Verfahren zur Herstellung des Widerstandes wird dabei im Folgenden erläutert.

Die Anzapfungen bzw. Elektroden 30 a, 30 b, 30 c und 3Od und der Widerstandspfad T7 sind auf dem Substrat 15 in dem dargestellten Muster ausgebildet. Nach dem Brennen beträgt die Dicke der Elektroden 30 a bis 30 d etwa 10 /t m.

Die experimentelle Analyse des Widerstandselementes, die in Fig. 4 dargestellt ist, zeigt, dass die Verdampfung von der Ru0₂-Elektrode geringer ist, als die von Elektroden aus Ag oder Ag-Pd. Die Zusammensetzung des von Ag- oder Ag-Pd-Elektroden verdampften Gases ist überwiegend Sauerstoff. Wenn eine Ag-Paste bei hoher Temperatur gebrannt wird unterliegt sie einer Oxidation, wobei die Mischung eines stabilen Oxids, beispielsweise Ag₂O hergestellt wird.

Zunächst werden die Elektroden 30 a bis 30 d in vorgegebenen Formen auf der Oberfläche des Äluminium-

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oxid-Substrats 15 durch Beschichten oder überziehen mittels beispielsweise Film- oder Schablonendruck ausgebildet. Eine RuO₂-Glas-Paste mit einem Verhältnis von RuO~/Glas von über 35/65 wird für die Elektroden verwendet.

Der Widerstandspfad 17 ist in einem Zick-Zack-Muster zwischen den Elektroden 30 a bis 30 d durch Beschichten oder überziehen mit einer RuO₂-Glas-Paste hohen Flächenwiderstandes herstellbar, wie das in Fig. 5A dargestellt ist. In diesem Fall sind Schutzmusteroder Streifen 31 a bis 31 f ausgebildet, um die sich gegenüberliegenden Ränder der Elektroden 30 a bis 3Od zu überdecken. Das Widerstandselement gemäss der Fig. 5a und 5b wird durch Brennen des Aluminiumoxid-Substrats mit einem unstabilen Oxid, beispielsweise AqO oder Ag₂O₂ hergestellt und das unstabile Oxid wird in Ag₃O und O₂ zur Bildung eines stabilen Oxids ζ erlegt. Bei dem Widerstandselement gemäss der Erfindung besitzen die Schutzmuster 31 a bis 31 f hohen Widerstand und überdecken sich gegenüberliegende Ränder der Elektroden 30 a bis 30 d, die niedrigen Widerstand besitzen.

Folglich ist es während des Klopf- oder Stoss-Verfahrensschrittes schwierig, dass sich die Bogenentladung an den Elektroden konzentriert, wodurch wirksam eine Zerstäubunqs-Reaktion verhindert wird.

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Bex dem zweiten Ausführungsbeispiel gemäss Fig. kann jede Elektrode 30 a bis 30 d vollständig durch den Widerstandspfad 17 überdeckt sein. In diesem Fall entsteht kein Problem, obwohl der Kontaktwiderstand um einen geringen Betrag erhöht ist, weil die dünne Schicht des Widerstandspfades 17 über die Elektroden 30 a bis 30 d geschichtet ist.

Bei dem dritten Ausführungsbexspxel gemäss den Fig. 7a und 7b sind ein Widerstandspfad 17 und Elektroden 30 a bis 30 d auf einem Substrat 15 ausgebildet, wobei eine Glasschicht 32 deren gesamte Oberfläche überzieht. Eine solche Überzugs-Glasschicht 32 verhindert, dass die Elektroden 30 a bis 30 d und der Widerstandspfad 17 bei den hohen Temperaturen verdampfen und dass der Widerstandswert bzw. der spezifische Widerstand aufgrund der Zerstäubungs-Reaktion geändert wird.

Eine Masse oder Paste,die Borsilikatbleiglas und 10 - 40 Gewichts-% gekörntes Al «Ο.,-Pulver enthält, wird für die Glasschicht 32 verwendet.Das Verhältnis von Borsilikatbleiglas zu Aluminiumoxid (Glas/Al_oO_) ist beispielsweise gewählt zu 90/10, 80/20 oder 75/25, kann jedoch auch Verhältnisse zwischen diesen Werten besitzen.

Die Mischung aus Borsilikatbleiglas und Aluminiumoxid mit dem vorgegebenen Mischverhältnis und TO - 20 %

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organisches Bindemittel und Lösungsmittel werden auf dem Widerstandselement mittels Film- oder Schablonendruck geschichtet. In diesem Fall werden, um die Schicht dick zu machen, eine doppelte oder dreifache Lage mittels Drucken hergestellt, wobei eine Schablone mit Maschenweite 50-100 ( einer Dicke von 200 - 300 JU. m) verwendet wird. Eine Glasschicht 32 mit 200 - 400 ^m Dicke wird durch Brennen im Temperaturbereich von 550 - 650 *C während 20 - 30 min erhalten.

Der Sinn des Einmischens von Al^O^-Pulver in den Glaswerkstoff liegt darin, dass die mechanische Festigkeit der Glasschicht 32 verbessert wird. Wenn die Glasschicht 32 dick wird, unterliegt sie im allgemeinen Rissen oder Sprüngen aufgrund von unwesentlichen oder nebensächlichen Kräften. Die Zumischung von AI2O., in den Glaswerkstoff verhindert jedoch, dass die Glasschicht reissen kann. Darüberhinaus ist es möglich den Dehnungskoeffizienten der Glasschicht 32 an den des Aluminiumoxid-Substrats anzupassen. Die Änderung oder Schwankung des Widerstandes, der mit Al^O., enthaltendem Glas überzogen ist, ist nach dem Stoss- oder Klopf-Verfahrensschritt in Fig. 8 dargestellt. Eine Glaspaste, die A^O₃ enthält, wird verwendet und das Mischungsverhältnis von AIpO., zu Glas wird verändert, und zwar, zwischen 0 % Al„O_ gemäss der oberen Kurve, 20 % Al„O^ gemäss der mittleren Kurve und 10 % Al₂O. gemäss der unteren Kurve. Der Widerstandspfad 17 bzw. das Widerstandselement ist mit der Glasschicht 32 überzogen, wobei die Dicke der Glasschicht wie dargestellt verändert wird.

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Die Elektronenkanone gemäss der Erfindung wird mittels Stossen bzw. Klopfens hergestellt. Die Veränderung des Widerstandswertes nach dem Stoss- bzw. Klopf-Verfahrensschritt wird mittels dem veränderbaren Widerstand 25 gemäss Fig. 2 eingestellt, wobei der eingestellte Widerstandswert des variablen Widerstandes 25 an der Ordinate in Fig. 8 wiedergegeben ist. Gemäss Fig. 8 ist, wenn die Dicke der Glasschicht 32 , die 10-20 Gewichts-% Al₂O-. enthält, in dem Bereich zwischen 200 und 400 λ m gewählt wird, die Änderung des Widerstandswertes sehr klein, da die Kurve ziemlich flach ist und niedriger liegt/ als bei den anderen dargestellen Ausfuhr ungs formen. Andererseits kann dann, wenn die Glasschicht 32 keinerlei Al₂O- enthält, die Dicke der Glasschicht 32 nicht über 80 -100 ^m betragen, wegen der mechanischen Festigkeit und der Stabilität des Widerstandswertes. Im Fall einer Dicke der Glasschicht 32 ohne Al₂O₃ unter 80 - 100 J*. m ist die Änderung oder Schwankung des Widerstandswertes so gross aufgrund des Zerstäubungs-Prozesses und der Hochtemperaturbehandlung, dass Glas mit einer solchen Zusammensetzung praktisch nicht verwendet werden kann.

Darüberhinaus wird, wenn die Glasschicht 32 über 40 Gewichts-% Al₂O₃ enthält, diese porös, weshalb sie den Widerstandspfad 17 und die Elektroden 30 a bis30 d nicht vor dem Einfluss der Zerstäubungs-Reaktion und der Bogenentladung-Konzentration schützen kann. Obwohl die Elektroden 30 a bis 3Od bei dem Ausführungsbeispiel gemäss Fig. 7 nicht mit dem Schutzmuster über-

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deckt sind, sind sie wirksam gegenüber der Zerstäubungs-Reaktion geschützt wie in dem Fall, in der die Glasschicht 32 das Widerstandselement gemäss Fig. 5 oder gemäss Fig. überdeckt, und auch wenn die oberste Teilschicht oder Lage der Glasschichten 32 aus einer Glasschicht ohne Al₂O-. mit einer Dicke im Bereich von 50 - 100 Am gebildet ist, kann dies praktisch verwendet werden. Im allgemeinen wird, wenn die Glasschicht 32 in der Mischung Al₂O₃ enthält, die Schwellenwertspannung leicht verringert. Jedoch kann gemäss dem oben erwähnten Aufbau die Änderung oder Schwankung des Widerstandswertes verringert werden und ist die Schwellenwertspannung hoch.

Fig. 9 zeigt in einer Strichlinienkurve die Verhältnisse bei einem Widerstandselement mit Elektroden aus Ag und ohne Glasschicht-Überzug und einerVollinienkurve für einen Widerstand mit aus RuO₂ bestehenden Elektroden. Die Darstellung gibt die Menge an verdampfendem O~-Gas von dem Elektrodenmaterial bei verschiedenen Temperaturen wieder. Die Menge an verdampfendem O₂-GaS ist durch den Ionisationsstrom längs der Ordinate in Fig. 9 wiedergegeben, der sich durch Umsetzung der O₂-Gas-Verdampfungsgeschwindigkeit mittels Massenspektrometer-Analyse ergibt. Gemäss der Erfindung kann ein Widerstandselement mit einer dicken Schicht mit hochgenauem Widerstandswert erhalten werden, dessen elektrische Eigenschaften bei hohen Temperaturen und hohen Drücken stabil sind, was bei dem Herstellverfahren für Kathodenstrahlröhren erforderlich ist.

Gemäss der Erfindung wird daher eine isolierende Glasschicht über die gesamte Oberfläche des Widerstands-

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elementes bzw. des Widerstandspfades 17 geschichtet die ihn vor einer Zerstäubung bewahrt, wenn die Elektronenkanone dem Stoss- bzw. Klopf-Verfahrensprozess unterworfen wird, der eine doppelt so hohe Spannung verwendet, als sie am Hochspannungsanschluss angelegt wird. Der Klopf- oder Stoss-Verfahrensschritt entfernt Grate aufgrund von Entladungen.

Wenn eine Überzugsschicht aus isolierendem Glas nicht verwendet wird, kann der Widerstandspfad leicht beschädigt werden aufgrund eines Bogenüberschlags zwischen Teilen des Widerstandspfades während des Stoss- bzw. Klopf-Verfahrensschrittes, wobei durch die Erfindung ein Schutz des Widerstandspfades erreichbar ist. Auch ist, wenn das Widerstandselement aus einem herkömmlichen Werkstoff wie Silber oder einer Silberverbindung hergestellt wird, die Widerstandsschwankung gross nach dem Klopf- bzw. Stoss-Verfahrensschritt. Auch wird, wenn ein Silberwerkstoff verwendet wird, Sauerstoffgas während des Stoss- bzw. Klopf-Verfahrensschrittes gelöst und wenn die Temperatur des Widerstandswerkstoffes zunimmt, wird ein Teil des Sauerstoffgases verdampft, was schädlich für das evakuierte Gerät ist.

Bei der Erfindung erreicht die Verwendung von Rutheniumoxid ein Widerstandselement, das während des Stoss- bzw. Klopf-Verfahrensschrittes kein Sauerstoff verdampft, wobei die zusätzliche Glasschicht über der Widerstandsschicht bzw. dem Widerstahdspfad das Widerstandselement schützt. Ein solcher Aufbau ist beispielsweise in den

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Fig. 7A und 7B dargestellt. Durch Beschichten des Widerstandspfads 17 mit Glas vorgegebener Dicke kann das Widerstandselement vollständig vor einer Beschädigung geschützt werden. Üblicherweise können, wenn dicke Glasschichten überzogen bzw. beschichtet werden, diese leicht porös werden, wobei eine poröse Schicht für die Bogenentladung nicht wirksam ist. Weiter ist es auch schwierig, Glas dicker als 100 yttm zu beschichten. Bei der Erfindung wird jedoch die Überzugs-Glasschicht mit Aluminiumoxid-Pulver (Al₂O₃) gemischt, so dass durch die Mischung eine Überzugs-Glasschicht 3 erreichbar ist, die sehr fest ist und die eine deutlich erhöhte Spannungsdurchbruchs-Kennlinie besitzt, wobei das Glas auch nicht porös ist.

Das Widerstandselement besteht aus Rutheniumoxid und Glas, wobei der Anschluss an der Oberseite geringeren Widerstandswert hat, als der Hauptteil des Widerstandselements.

Bei der Erfindung ist der Wärmedehnungskoeffizient der Glasschicht 32 annähernd gleich gross, wie der des Substrats 15. Das Substrat besteht aus einem Keramikwerkstoff wie Al₂O und die Glasschicht 32 enthält Al₇O.,-Pulver, ein Bindemittel, ein Lösungsmittel und Glas derart, dass das Verhältnis von Al„0^ zu Glas so gewählt ist, dass der Temperaturkoeffizient der Wärmedehnung der Beschichtung und des Keramiksubstrats sehr ähnlich sind.

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Wie das in Fig. 8 in der oberen Kurve dargestellt ist/ ist die Änderung der Widerstandskennlinie bei einer Glasschicht ohne A^O- sehr gross. Weiter kann, wenn eine 100 %-ige Glasschicht 32 ohne Al₂0, verwendet wird, diese bei zufälligem Stossen leicht rissig werden bzw. zerspringen.

Durch Hinzufügen von Al-O., kann, wie das in den Kurven mit dem Zusatz 10 % bzw. 20 % dargestellt ist, der Widerstand gegenüber Rissbildung verbessert werden.

Das Glas sollte jedoch nicht mehr als 40 % Al₂O₃ enthalten, da die Glasschicht dann porös wird. _ _ -

Wenn das Al-0,. mit dem Glas vermischt wird, wobei 10 Gewichts-% an A1„O-, verwendet werden, sind die mechanische Festigkeit und die Zerstäubungs-Eigenschaft gut, wobei die Schicht im Bereich von 100 - 400 /um sein kann, wodurch sich sehr gute Eigenschaften ergeben.

Daher ist, wie in Fig. 8 dargestellt, im Dickenbereich zwischen 200 und 400 JU. m die Widerstandsänderung sehr niedrig nach dem Stossen bzw. Klopfen und kleiner als 10 M XL . Der Widerstandswert kann mittels des Widerstands 25 eingestellt werden, jedoch kann dieser, wenn die Widerstandsschwankung hoch ist, nicht wirksam eingestellt werden. . "

Gemäss Fig. 5 ist die Anschluss-Oberseite mit dem Widerstandsmuster beschichtet, wobei die Oberseite vor einer Bogenentladung durch das Widerstandsmuster geschützt ist.

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Ein Teil muss unbeschichtet bleiben,, um einen
elektrischen Kontakt mit den Elektroden zu ermöglichen.

Die Erfindung gibt also ein neuartiges Widerstandselement für eine Elektronenkanone an, wobei selbstverständlich noch zahlreiche andere Weiterbildungen möglich sind.

'Patentanwalt

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Claims

ANSPRÜCHE

Elektronenkanone zur Verwendung bei einer Fernsehbildröhre mit einem evakuierten Kolben einschliesslich eines Trichterteils, eines Halsteils und eines Bildschirmteils, wobei mehrere Elektroden zum Fokussieren und Beschleunigen eines von einer Kathode erzeugten Elektronenstrahls längs der Achse des Halsteils ausgerichtet sind, dadurch gekennzeichnet, dass ein Widerstand aus einem isolierenden Substrat (15) gebildet ist, auf dem ein Widerstandspfad (17) ausgebildet ist,

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dass das Substrat (15) längs der mehreren Elektroden (G. bis G-)befestigt und in dem Halsteil (23) eingeschmolzen ist,

dass der Widerstand (17) eine Endanzapfung (30 a), eine weitere Endanzapfung (30 d) und zumindestens eine Zwischenanzapfung ( 30 b, 30c) zwischen den Endanzapfungen (30 a, 3Od) besitzt, dass die eine Endanzapfung ( 30 a ) mit der gleichen Spannung versorgt ist, die an dem Bildschirmteil anliegt,

dass die andere Endanzapfung (3Od) mit einem Anschluss-Stift (4 a ) verbunden ist, der an dem einen Ende des Halsteils (23 ) vorgesehen ist für den Anschluss einer Spannung, die ausreichend niedrig ist, um eine elektrische Entladung zwischen den Elektroden und dem Anschluss-Stift zu verhindern, dass eine Betriebsspannung für die Elektroden (G₁ bis Gg ) von der mindestens einen Zwischenanzapfung ( 30 b, 30 c) durch Teilen der Spannung zwischen den beiden Endanzapfungen ( 30 a, 30 d) erhältlich ist, dass der Widerstandspfad (17) ein Gemisch aus Rutheniumoxid und Glas enthält und dass das Substrat (15) und der Widerstandspfad (17) mit zumindest einer Glasschicht (32) überzogen sind.

2. Elektronenkanone nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

dass die Anzapfungen (30 a, 30 b, 30 c, 30 d) eine Mischung aus Rutheniumoxid und Glas enthalten.

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. Elektronenkanone nach Anspruch 2, dadurch gekenn-= zeichnet,

dass der Flächenwiderstand der Anzapfungen ( 30 a, 30 b, 30 c, 30 d) niedriger ist, als der des Widerstandspfads (17).

4. Elek tronenkanone nach einem der Ansprüche 1 bis 3:, dadurch gekennzeichnet,

dass die Glasschicht (32) Aluminiumoxid enthält.

5. Elektronenkanone nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,

dass die Glasschicht (32) Borsilikatglas und Aluminiumoxid in einem Verhältnis von Aluminiumoxid zur Borsilikatglas enthält, das im Bereich von 5 - 40 Gewichts-% liegt.

6. Elek tronenkanone nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch Schutzmuster (31 a bis 31 f) aus dem gleichen Wirkstoff wie der Widerstandspfad (17), die auf dem Substrat (15) zur überdeckung sich gegenüber liegender Ränder der Anzapfungen ( 30 a_- bis 30 d) 'ausgebildet sind.

7. Elektronenkanone nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,

dass der Flächenwiderstand der Schutzmuster der gleiche ist, wie der des Widerstandspfads (17).

8. Elektronenkanone nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet,

dass das Verhältnis von Rutheniumoxid zu Glas der

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Anzapfungen ( 30 a bis 30 d) höher ist, als das des Widerstandspfads (17).

9. Elektronenkanone nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Glasschicht (32) 10-40 Gewichts-% Aluminiumoxidpulver enthält.

10. Elektronenkanone nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dasa die Dicke der Glasschicht (32) zwischen 100 und 400 it/m beträgt.

11. Elektronenkanone nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die oberste Lage der Glasschicht (32) aus einer Glasschicht besteht, die kein Aluminiumoxidpulver enthält.

12. Elektronenkanone nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Wärmedehnungskoeffizient der Glasschicht (32) im wesentlichen gleich dem des isolierenden Substrats (15) ist.

13. Elektronenkanone nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass das isolierende Substrat (15) aus Aluminiumoxid besteht.

14. Widerstandselement für eine Kathoden-Strahlröhre, das hohen Spannungen unterworfen ist, gekennzeichnet durch

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ein Substrat (15) aus Isolierstoff, - einen Widerstandspfad^(17) der auf dem Substrat (15) ausgebildet ist und

eine Mischung aus Borsilikatglas und Rutheniumoxid enthält, und

Elektroden (30 a bis 30 d), die auf dem Substrat (15) ausgebildet sind zum Eingriff mit dem Widerstandspfad (17) und die eine Mischung aus Glas und Rutheniumoxid enthalten.

15. Widerstandselement nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,

dass der Gewichts-Prozentsatz von Rutheniumöxid in den Elektroden (3 0 a bis 30 d) grosser ist, als in dem Widerstandspfad (17).

16. Widerstandselement nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet,

dass der Widerstandspfad (17) zumindest teilweise
die Elektroden (30 a bis 30 d) überlagert.

17. Widerstandselement nach einem der Ansprüche.14 bis

16, dadurch gekennzeichnet,

dass der Widerstandspfad (17) die Elektroden (30 a bis 30 d) überlagert.

18. Widerstandselement nach einem der Ansprüche 14 bis

17, gekennzeichnet durch eine Schutzschicht, die
über dem Widerstandspfad (17) und zumindest einem
Teil der Elektroden (30 a bis 30 d) ausgebildet ist, wobei die Schutzschicht eine Mischung aus Glas und Aluminiumoxid enthält.

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19. Widerstandselement nach Anspruch 18, gekennzeichnet durch einen Gewichts-Prozentsatz von Aluminiumoxid zu Glas zwischen 5 und 40.

20. Widerstandselement nach Anspruch 19, gekennzeichnet durch einen Gewichts-Prozentsatz von Aluminiumoxid zu Glas von 10 bis 25.

21. Widerstandselement nach einem der Ansprüche 18 bis

20, gekennzeichnet durch eine Dicke der Schutzschicht (32) zwischen 100 und 400 ^m.

22. Widerstandselement nach einem der Ansprüche 18 bis

21, gekennzeichnet durch eine Dicke der Schutzschicht (32) zwischen 200 und 400 um.

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