DE2834353C2

DE2834353C2 - Vakuumaufdampfvorrichtung

Info

Publication number: DE2834353C2
Application number: DE2834353A
Authority: DE
Inventors: Mitsuo Tokyo Kakei; Osamu Kamiya; Keijiro Kanagawa Nishida; Nobuyuki Yokohama Kanagawa Sekimura
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1977-08-04
Filing date: 1978-08-04
Publication date: 1983-10-27
Also published as: US4226208A; DE2834353A1

Description

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Die Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumaufdampfvorrichtung gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1.

Eine solche Vakuumaufdampfvorrichtung ist bekannt (DE-OS 24 54 544). Bei dieser bekannten Vorrichtung ist jedes der Kammerteile als sowohl oben als auch unten offener Rahmen ausgebildet. Dieser Rahmen weist nahe seinem unteren Rand eine Innenschulter auf, die die Halterung für den Substrathalter bildet, so daß der Substrathalter von oben in den Rahmen und auf die Schulter gesetzt werden kann. Für alle gegenüber der Hauptkammer abdichtbaren Behandlungs- oder Schleusenkammern ist jeweils eine Ventilplatte innerhalb der Hauptkammer vorgesehen, die gegen den Rahmen gedrückt werden kann. Abgedichtete Behandlungs- und Schleusenkammern werden dadurch herbeigeführt, daß die Welle senkrecht nach unten verschoben wird, so daß die die Kammerteile bildenden Rahmen gegen die untere Wand der Hauptkammer gedrückt werden, während gleichzeitig von oben gegen jeden Rahmen eine zugeordnete Ventilplatte gedrückt wird.

Günstig bei der bekannten Vorrichtung ist, daß im Betrieb mehrere voneinander getrennte Behandlungsund Schleusenkammern zur Verfügung stehen, so daß beispielsweise aus der Schleusenkammer ein Substrathalter entnommen und ein anderer Substrathalter in die Schleusenkammer eingesetzt werden kann, während gleichzeitig in Behandlungskammern Quellmaterial aufgedampft wird. Ferner ist günstig, daß nicht jede öffnen der Schleusenkammer gleichzeitig eine Durch flutung der Behandlungskammern mit atmosphärische Luft mit sich bringt; vielmehr kann in diesei Behandlungskammern eine gewünschte Atmosphäre unter niedrigem Druck aufrechterhalten werden. Die Vorrichtung kann so betrieben werden, daß die Behandlungskammern zur Hauptkammer nur dam offen sind, wenn die Hauptkammer evakuiert ist

Nachteilig bei der bekannten Vorrichtung ist, daß sie verhältnismäßig kompliziert ist. Insbesondere sind füi die Antriebe der einzelnen Ventilplatten zahlreich Durchbrüche in der Wand der Hauptkammer erforderlich, die die Nachteile mit sich bringen, daß sie die Dichtheit der Hauptkammer beeinträchtigen und daß das notwendige Dichtungsmaterial zu einer Verunreinigung der Atmosphäre in der Hauptkammer führen kann. Außerdem weist auch jede abgedichtete Behandlungs- oder Schleusenkammer verhältnismäßig viele Dichtstellen auf, die ebenfalls die Dichtheit beeinträchtigen können.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die gattungsgemäße Vorrichtung derart auszubilden, daß sie weniger kompliziert und zuverlässiger ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale im kennzeichnenden Teil von Patentanspruch 1 gelöst

Bei der erfindungsgemäßen Vakuumaufdampfvorrichtung reicht es zum Herstellen einer abgedichteten Behandlungs- oder Schleusenkammer aus, die die Kammerteile bildenden Glocken an die Wand der Hauptkammer zu drücken. Dadurch ist die jeweilige Behandlungs- oder Schleusenkammer bereits gegenüber der Hauptkammer abgedichtet. Zusätzliche Ventilplatten und Antriebseinrichtungen für diese sind nicht erforderlich, so daß die dadurch verursachten Nachteile entfallen. Trotz der oben geschlossenen Kammerteile macht das Beschicken in der Schleusenkammer keine Schwierigkeiten, weil Halterungen vorgesehen sind, an denen die Substrathalter aufgehängt werden.

Aus der DE-OS 22 07 957 waren bei einer Vakuumaufdampfvorrichtung Halterungen für Substrathalter bekannt, die eine Aufhängung der Substrathalter ermöglichen. Diese bekannten Halterungen sind ortsfest an mehreren Arbeitspositionen der Vorrichtung angeordnet. Der Transport der Substrathalter von Arbeitsposition zu Arbeitsposition erfolgt mit Hilfe von Schlitten auf einer Rollenbahn.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen dargestellt und wird im folgenden näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 einen vertikalen Schnitt gemäß E-F in F i g. 2 durch eine Ausführungsform einer Vorrichtung gemäß der Erfindung;

Fig.2 einen horizontalen Schnitt gemäß A-B in Fig. 1:

F i g. 3 einen vertikalen Schnitt gemäß C-D in F i g. 2 zur Darstellung konstruktiver Einzelheiten von Vorwärm- und Kühlkammern;

F i g. 4 eine perspektivische Ansicht eines kalottenförmigen Substrathalters mit einer Halterung für diesen;

F i g. 5 eine teilweise geschnittene Darstellung von Einzelheiten der Halterung gemäß F i g. 4;

Fig.6 einen Schnitt durch ein Beispiel einer Zuführeinrichtung für Quellenmaterial; F i g. 7 eine perspektivische Ansicht zur Darstellune

konstruktiver Einzelheiten einer Überführungseinrichtung des Mechanismus gemäß F i g. 6; und

Fig.8(a) bis (d) ausschnittsweise vier verschiedene Betriebsstellungen von Elementen der Zuführeinrichtung.

Die in den Figuren dargestellte Vakuumaufdampfvorrichtung dient dazu, dünne Schichten verschiedener Quellenmaterialien aufeinanderfolgend auf ein Substrat 48, beispielsweise ein optisches Bauteil oder ein elektrisches Schaltkreisbauteil oder ein magnetisches Bauteil, aufzubringen. Die in den F i g. 1,2 und 3 gezeigte Vorrichtung umfaßt eine von einer unteren Wand 74 und einem Hauptbehälter 78 begrenzte Kauptkammer 76, wobei der Hauptbehälter 78 auf der Wand 74 mittels einer ringförmigen Gummidichtung 86 abgedichtet ist In der Hauptkammer 76 sind sechs bewegliche hohle Glocken 32, 34, 36, 38, 40 und 42 (siehe Fig.2) angeordnet, die mit Hilfe entsprechender, radial sich voti einer Welle 46 erstreckender Arme 44 gehalten sind, wobei sich die Welle 46 durch die Mitu. der Wand

74 erstreckt und mit der Ausgangsweile eines elektrischen Motors M1 so verbunden ist, daß die Welle 46 in senkrechter Richtung verschoben und gedreht werden kann. Die Glocken 32 bis 42 weisen jeweils einen sich vom Rand am offenen Ende nach außen erstreckenden Flansch mit einer Aussparung in der Oberfläche des Flansches zur Aufnahme eines elastischen Dichtungsringes 88 auf. Diese Glocken 32 bis 42 schaffen, wenn sie dichtend auf der Wand 74 über in dieser vorgesehenen, kreisförmigen öffnungen angeordnet sind, eine luftdichte Schleusenkammer 28, eine Vorwärmkammer 30, drei Verdampfungskammern, von denen die Verdampfungskammer 22 in F i g. 1 erkennbar ist, und eine Kühlkammer 26 in völlig von der Hauptkammer 76 isolierter Weise.

Die luftdichte Schleusenkammer 28 ist außer von der Glocke 32 von einer luftdicht an der Unterseite der Wand 74 befestigten, zylindrischen Seitenwand 65 und einer Bodenabdeckung 98 begrenzt, die bezüglich der Seitenwand 65 mittels einer Ringdichtung 94 abgedichtet ist und die es ermöglicht, daß, wenn die Bodenabdeckung 98 von der Seitenwand 65 entfernt worden ist, durch die sich ergebende öffnung Substrate 48 auf einem kartenförmigen Substrathalter 50 von außerhalb der Vorrichtung in diese eingebracht werden und umgekehrt. Eine in einem in der Mitte der Bodenabdeckung 98 ausgebildeten Loch luftdicht und beweglich eingepaßte Welle 68 trägt einen Untersatz 66, auf den der Substrathalter 50 aufsetzbar ist. An der Welle 68 greift ein Antrieb 69 an, mit dessen Hilfe der Untersatz 66 und somit der Substrathalter 50 in senkrechter Richtung auf- und abbewegt werden können. Durch eine in der zylindrischen Seitenwand 65 mündende Leitung 104 kann die Schleusenkammer evakuiert und belüftet werden. Damit das Vakuum in der Hauptkammer 76 nicht gestört wird, während die Schleusenkammer 28 unter atmosphärischem Druck steht, ist eine Andrückeinrichtung mit einem Hydraulikmotor 70 und zwei Armen 72 vorgesehen. Während der Hydraulikmotor 70 arbeitet, wird die Glocke 32 gegen die Wand 74 gedrückt.

Die Verdampfungskammer 22, die als Beispiel für die drei vorhandenen Verdampfungskammern gilt, ist außer von der Glocke 36 von einer zylindrischen Seitenwand

75 und einer Bodenabdeckung 58 begrenzt, wobei zwischen der Bodenabdeckung 58 und der zylindrischen Seitenwand 75 eine elastische Ringdichtung angeordnet ist. Die Bodenabdeckung 58 kann mit Hilfe eines Antriebs 59 von der in' Fig. 1 ucteren öffnung der Seitenwand 75 entfernt und gegen diese gedrückt werden. Bei geöffneter Verdampfungskammer 22 kann diese gereinigt werden. Im Inneren der Verdampfungskammer 22 sind eine beheizbare Verdampfungsquelle 60, eine Abschirmeinrichtung 62 zur Steuerung der Verdampfung des Quellenmaterials sowie eine Zuführeinrichtung 61 für Quellenmaterial angeordnet, die noch ausführlicher erläutert werden wird Außerhalb der

ίο Verdampfungskammer 22 sind ein Antrieb 62a für die Abschirmeinrichtung 62 sowie eine geregelte Gasquelle P für beispielsweise Sauerstoff oder Stickstoff angeordnet, die über ein nicht beziffertes, einstellbares Durchflußmengenventil mit dem Inneren der Verdampfungskammer 22 verbunden ist Auf ähnliche Weise wie die Schleusenkammer 28 ist auch die Verdampfungskammer 22 über eine Leitung 106 belüftbar und evakuierbar.
In Fig.3 sind die Vorwärmkammer 30 und die Kühlkammer 26 mit entsprechend angeordneten Heiz- und Kühleinrichtungen gezeigt Die Heizeinrichtung der Vorwärmkammer 30 umfaßt ein Heizgerät 54a mit einem zugeordneten Strahlungsreflektor 56a. Außerdem ist in jeder der Glockenschalen 32 bis 42 fest ein Heizgerät 54 zusammen mit einem zugeordneten Strahlungsreflektor 56 angeordnet Die Kühleinrichtungen in der Kühlkammer 26 umfassen eine hohle Platte 110, die von einem Rohr 111 getragen wird, das abgedichtet durch eine in der Bodenabdeckung der

Kühlkammer 26 ausgebildete öffnung geführt ist In dieser Öffnung kann das Rohr 111 senkrecht verschoben werden. Am Rohr 111 greift ein Antrieb 112 an, mit dessen Hilfe die Platte 110 relativ zum Substrathalter 50 verschoben werden kann, so daß die Abkühlgeschwindigkeit der Substrate 48 auf dem Substrathalter 50 auf einen gewünschten Wert eingestellt werden kann.

In den F i g. 4 und 5 ist ein Mechanismus zum lösbaren Aufhängen eines Substrathalters 50 in einer der Glocken dargestellt In der Mitte der oberen Wand 52 einer jeden Glocke 32 bis 42 ist eine stangenförmige Halterung 132 befestigt, die an ihrem unteren Ende einen Flansch 133 aufweist. Diese Halterungen 132 sind in den F i g. 1 und 3 lediglich schematisch dargestellt. Der Mechanismus umfaßt eine innere Platte 121 und eine äußere Platte 120, die die Wand des Substrathalters 50 an dessen Spitze einschließen und daran mit Hilfe nicht bezeichneter Schrauben befestigt sind. Auf der Außenseite der Platte 120 ist ein Klammerlager 124 befestigt, an dem drei Klammern 128, jeweils um 120° versetzt, schwenkbar gelagert sind. Durch die beiden Platten 120 und 121 sowie das Klammerlager 124 verläuft mittig eine Welle 122, die an ihren in Fig.5 oberen Enden zwei radiale Flansche aufweist, zwischen denen Ansätze 126 der Klammern 128 angeordnet sind.

An der Welle 122 greift eine Feder 130 an, die die Welle 122 in F i g. 5 nach unten zu schieben versucht, so daß die Welle 122 die Klammern 128 in die in Fig.5 dargestellte Stellung zu bringen sucht, in der diese den Flansch 133 hintergreifen, sofern die Halterung 132 und der Substrathalter 50 die in F i g. 5 dargestellte Relativstellung einnehmen. Indem (in F i g. 5) von unten gegen die Welle 122 gedrückt wird, werden die Klammern 128 derart nach außen geschwenkt, daß sie vom Flansch 133 freikommen, so daß der Substrathalter 50 von der Halterung 132 gelöst ist und (in F i g. 5) nach unten bewegt werden kann. F i g. 4 zeigt den Substrathalter 50 und die Halterung 132 in voneinander getrenntem Zustand.

Die F i g. 6 bis 8 zeigen die Zuführeinrichtung 61 für Quellenmaterial, die sicherstellt, daß die der Verdampfungsquelle 60 zugeführte Menge an Quellenmaterial so eingestellt ist, daß die Ausbildungsgeschwindigkeit des Dampfes konstant gehalten wird. Das Quellenmaterial liegt in Form kleiner Stäbe bzw. Stifte vor, die in vorbestimmter Menge der Verdampfungsquelle 60 zugeführt werden. Bei dem in den F i g. 6 bis 8 gezeigten Beispiel ist das stabförmige Quellenmaterial, das beispielsweise aus Silber, Kupfer oder Gold besteht, in einem nicht dargestellten Behälter innerhalb der Verdampfungskammer 22 gelagert. Zusätzlich zu diesem Behälter umfaßt die Zuführeinrichtung 61 eine Leitung 212, durch die das stabförmige Quellenmaterial 214 vom genannten Behälter einem Zuführbauteil 216 is zugeführt wird, zwei Steuerstangen 218 und 210, die im Zuführbauteii 216 verschiebbar sind und in ihrer (in F i g. 6) nach rechts verschobenen Stellung die Leitung 212 blockieren, sowie eine Nockenplatte 222, an der die beiden Steuerstangen 218 und 220 mit Hilfe von Federn 228 und 230 über nichtbezifferte Rollen in Anlage gehalten werden. Wenn sich die Nockenplatte 222 in der in F i g. 8(a) dargestellten untersten Stellung befindet, ist die erste Steuerstange 218 aus der Leitung 212 zurückgezogen, wogegen die zweite Steuerstange 220 die Leitung 212 blockiert, so daß zwei Stäbe des Quellenmaterials den Raum zwischen den beiden Steuerstangen 218 und 220 in der Leitung 212 (b) einnehmen. Wenn dann die Nockenplatte 222 mit Hilfe eines Antriebs 227 nach oben, in die Stellung gemäß F i g. 8(b) verschoben wird, wird dadurch die erste Steuerstange 218 nach rechts geschoben, so daß sie den rechts vor ihr befindlichen Stab aus Quellenmaterial 214 festklemmt Durch eine weitere Aufwärtsbewegung der Nockenplatte 224 wird die zweite Steuerstange 220 nach links (in Fig.8) verschoben, so daß die beiden zwischen den Steuerstangen 218 und 220 befindlichen Stangen des Quellenmaterials nach unten in eine Uberführungseinrichtung 232 (siehe Fig.6 und 7) herausfallen können. Wenn dabei die Nockenplatte 222 *o erneut nach unten geschoben wird, wird die zweite Steuerstange 220 wiederum in ihre Blockierstellung gebracht (siehe F i g. 8(d)), wonach die erste Steuerstange 218 sich nach links bewegt, so daß wiederum der Zustand gemäß F i g. 8(a) herbeigeführt ist

Die Ausbildung der Überführungseinrichtung 232 ist in den F i g. 6 und 7 gezeigt Die Überführungseinrichtung 232 umfaßt einen Zylinder 233, in dem eine in Umfangsrichtung des Zylinders und diametral durch diesen hindurchgehenden Kammer 234 in Form eines so Schlitzes ausgebildet ist Die Kammer 234 hat solche Abmessungen, daß sie die Stäbe aus Quellenmaterial 214 aufnehmen kann. Der Zylinder 233 ist fest an einer Zahnstange 236 so angebracht, daß die vertikal (c) ausgerichtete Kammer 234 mit der Leitung 212 im Zuführbauteil 216 ausgerichtet ist, wenn die Zahnstange 236 sich in ihrer in Fig.6 dargestellten linken Endstellung befindet Auf dem Zylinder 233 ist drehbar eine Hülse 237 gelagert, die zwei öffnungen 238 und 239 aufweist, deren freier Öffnungsquerschnitt im wesentli- «> (d) chen dem freien Querschnitt der Kammer 234 gleicht, wobei die beiden öffnungen 238 und 239 in Umfangsrichtung einen solchen Winkelabstand haben, daß dann, wenn die öffnung 238 mit der Kammer 234 fluchtet, die Öffnung 239 nicht mit der Kammer 234 fluchtet so daß dann die Hülse 237 die Kammer 234 unten geschlossen hält Über ein nicht beziffertes Ritzel sowie ein ebenfalls nicht beziffertes Getriebe steht die Zahnstange 236 in Verbindung mit einem Antrieb 240. Wenn die Überführungseinrichtung 232 in die in F i g. 6 gestrichelt dargestellte Stellung bewegt worden ist, wird ein elektrischer Motor 248 eingeschaltet, wodurch eine Stange 246 nach oben geschoben wird, die wiederum an einem Vorsprung 247 der Hülse 237 angreifen und dadurch die Hülse drehen kann. Dadurch wird die öffnung 239 mit der Kammer 234 ausgerichtet, so daß das Quellenmaterial aus der Kammer 237 in die Verdampfungsquelle 60 fallen kann. Um zu verhindern, daß sich das Quellenmaterial an den verschiedenen Vorrichtungsteilen und insbesondere an der Überführungseinrichtung 232 niederschlägt, sind die Abschirmeinrichtung 62 sowie eine zweite Abschirmeinrichtung vorgesehen. Die Arbeitsweise der in den Fig.! bis 8 dargestellten Vorrichtung soll im folgenden unter Bezugnahme auf ein kontinuierliches Verfahren zum Aufbringen einer Dreilagenbeschichtung auf ein optisches oder elektrisches Substrat beschrieben werden.

Vorbereitung: Die Behandlungs- und Schleusenkammern unter den sechs Glocken 32 bis 42 sowie die Hauptkammer 76 werden während einer gewissen Zeitdauer mit Hilfe von nicht weiter erläuterten und nicht bezeichneten Vakuumpumpen evakuiert. Zum Belüften und Evakuieren der Hauptkammer 76 dient eine Leitung 108.
Einbringen eines Substrathalters: Mittels des Hydraulikmotors 70 wird die Glocke 32 gegen die Wand 74 gedrückt Danach wird ein Druckausgleich zwischen der Umgebung und der Schleusenkammer 28 durch die Leitung 104 herbeigeführt. Dann wird die Bodenabdeckung 98 mittels der Welle 68 nach unten gefahren, so daß eine Bedienperson einen ersten Substrathalter 50 auf den Untersatz 66 setzen kann. Nachdem der Substrathalter 50 auf den Untersatz 66 gesetzt worden ist, werden der Untersatz 66 und die Bodenabdeckung 98 mittels des Antriebs 69 hochgefahren. Nachdem die Bodenabdeckung 98 durch eine weitere leichte Aufwärtsbewegung der Welle 68 in dichtende Anlage an der Seitenwand 65 gebracht worden ist, wird die Welle 122 (siehe F i g. 5) mittels des oberen Endes der Welle 68 nach oben geschoben, wodurch alle Klammern 128 zur Aufnahme des Flansches 133 geöffnet werden. Während der Untersatz 66 zunächst in der erreichten Stellung verharrt, wird die Welle 68 nach untan bewegt wodurch sich die Klammern 128 unter der Wirkung der Feder 130 schließen. Daraufhin wird der Untersatz 66 ebenfalls nach unten bewegt, um ihn aus dem Bewegungsbereich der Glocke 32 herauszubringen.
Evakuieren: Durch die Leitung 104 wird die Schleusenkammer 28 auf ein Druckniveau evakuiert das ungefähr gleich dem Vakuum in der Hauptkammer 76 ist Im Anschluß daran wird das Heizgerät 54 oberhalb des Substrathalters 50 eingeschaltet

Vorwärmung: Das Andrücken der Glocke 32 mittels des Hydraulikmotors 70 und der Arme 72 gegen die Wand 74 wird beendet Die Welle 46 wird etwas nach oben verschoben und mittels des Motors Mi gedreht, bis alle Glocken um den Abstand zwischen zwei benachbarten Kammern weitergedreht worden sind, so daß die Glocke 32 die Position der Glocke 34 in F i g. 3 einnimmt und die Vorwärmkammer 30 begrenzt. In dieser wird

das Heizgerät 54a zur weiteren Temperaturerhöhung der Substrate 48 eingeschaltet, wodurch absorbiertes Gas und Staub von der Substratoberfläche entfernt werden und sich eine für die Aufnahme einer Dünnschicht eines Quellenmaterials geeignete Substratoberfläche ergibt.
Gleichzeitig wird der Schritt (b) in der Schleusenkammer 28 wiederholt, um einen zweiten Substrathalter 50 einzubringen, wobei zu diesem Zeitpunkt die Glocke 42 die Schleusenkammer 28 oben abschließt. Für den zweiten Substrathalter 50 folgt dann ebenfalls der Schritt (c) auf den Schritt (b). Nachdem die Andrückeinrichtung die Krafteinwirkung auf die Glocke 42 beendet hat, wird die Welle 46 wiederum angetrieben, um die Glocke einen oder mehrere Schritte weiterzubewegen, wodurch der erste Substrathalter und der zweite Substrathalter in die erste Verdampfungskammer bzw. in die Vorwärmkammer gelangen. Während dieser Bewegung bleibt die den ersten Substrathalter 50 umgebende Atmosphäre unbeeinträchtigt, da die Leckage von der umgebenden Atmosphäre in die Hauptkammer auf ein sehr geringes Maß begrenzt ist.

(e) Aufdampfen einer ersten Schicht: Die Verdampfungskammer, in der sich der erste Substrathalter 50 befindet, wird auf ein niedrigeres Druckniveau als das der Hauptkammer 76 durch die Leitung 106 evakuiert. Daraufhin wird der Verdampfungsquelle 60 mittels der Zuführeinrichtung 61 Quellenmaterial 214 in einer von der gewünschten Ausbildungsgeschwindigkeit der Verdampfung gewünschten Menge zugeführt Während der Verdampfung wird der Substrathalter 50 mittels eines Drehantriebs, zu dem ein Motor 80, ein Ritzel 82 und ein Zahnrad 84 gehören, um den Pol bzw. die Mitte des Substrathalters gedreht, damit auf diese Weise sichergestellt ist, daß die Dicke der ersten Schichten auf den verschiedenen Substraten ungefähr gleich ist Wenn die Dicke der auf die *" Substrate aufgebrachten ersten Schicht ein mittels eines nicht gezeigten Überwachungsgerätes gemessenes, vorbestimmtes Maß erreicht hat, wird die Aufdampfung entweder durch Abschalten der Energiezufuhr zur Verdampfungsquelle 60 oder mittels der Abschirmeinrichtung 62 unterbrochen. Während der erste Substrathalter in der ersten Verdampfungskammer behandelt wird, werden der zweite Substrathalter und der dritte Substrathalter in der Vorwärmkammer bzw. der Schleusenkam- ^Μ mer behandelt

(f) Aufdampfen einer zweiten Schicht: Alle Glocken werden um einen Schritt weiterbewegt Während der gleichzeitigen Behandlung in den durch die Glocken definierten Kammern wird ein weiterer Substrathalter auf gleiche Weise, wie dies anhand der Schritte (b) und (c) vorstehend erläutert ist, in die Schleusenkammer eingebracht. Die zuvor mit einer ersten Schicht beschichteten Substrate werden in der zweiten Verdampfungskammer mit einer zweiten dünnen Schicht versehen.

(g) Aufdampfen einer dritten Schicht: Alle Glocken werden um einen weiteren Schritt weitergedreht, so daß ein weiterer Substrathalter in die Schleusenkammer eingebracht werden kann und auf die zuvor erzeugte Schicht in der dritten Verdampfungskammer eine dritte Schicht aufgebracht werden kann.

(h) Abkühlung: Nachdem der erste Substrathalter 50 die Kühlkammer 26 erreicht hat, wird die Platte 110 in Berührung mit dem unteren Rand des Substrathalters 50 gebracht, so daß die Wärme der Substrate über den Substrathalter zur Platte 110 abgeleitet wird. Während des Kühlens werden der zweite, dritte, vierte und fünfte Substrathalter der dritten, zweiten bzw. ersten Beschichtung bzw. der Vorwärmung unterworfen und wird ein weiterer Substrathalter in die Schleusenkammer eingebracht

(i) Ausbringung: Nachdem die Temperatur des ersten Substrathalters auf einen vorbestimmten Wert vermindert worden ist und die gleichzeitige Behandlung der übrigen Substrathalter in den übrigen Kammern beendet ist, werden alle Glocken einen Schritt vorwärtsbewegt, so daß die erste Glocke 32 innerhalb der Hauptkammer 76 eine vollständige Umdrehung ausgeführt hat und wieder die Schleusenkammer 28 bildet. Die Glocke 32 wird dann mittels des Hydraulikmotors 70 und der Arme 72 gegen die Wand 74 gedrückt, wonach durch die Leitung 104 eine Belüftung erfolgt, um den Druck in der Schleusenkammer 28 auf ungefähr 760 mm Hg zu erhöhen. Der Untersatz 66 und die Welle 68 werden zum Trennen des ersten Substrathalters 50 von der Halterung 132 etwas nach oben bewegt, so daß danach der erste Substrathalter 50 aus der Schleusenkammer entnommen werden kann. Daraufhin wird ein siebenter Substrathalter in die Schleusenkammer eingebracht, der seinerseits auch die vorstehend beschriebenen Schritte durchläuft

Vorstehend ist die Erfindung anhand eines typischen Beispiels für eine Vakuumaufdampfvorrichtung beschrieben, die eine Schleusenkammer, eine Vorwärmkammer, drei Verdampfungskammern sowie eine Kühlkammer aufweist Dieser Aufbau ist jedoch nicht unbedingt notwendig. Bei der Verwendung der Vakuumaufdampfvorrichtung zur Aluminium- oder Silberbeschichtung eines Reflexionsspiegel für eine Kamera ist die Verwendung von Vorwärm- und Kühlkammern nicht notwendig.

Hierzu 6 Blatt Zeichnungen

Claims

1 Patentansprüche:

1. Vakuumaufdampfvorrichtung mit einer Hauptkammer, einer abgedichtet in die Hauptkammer geführten Welle und mehreren, mit der Welle dreh- und schiebefest verbundenen Kammerteilen, die jeweils unten offen sind und eine Halterung für einen Substrathalter für zu beschichtende Substrate aufweisen, wobei durch Drehen sowie Anheben und Absenken der Welle in Axialrichtung die Kammerteile in der Hauptkammer gedreht sowie vertikal bewegt werden und durch die Vertikalbewegung nach unten jedes Kammerteil an eine Wand der Hauptkammer dichtend derart andrückbar ist, daß das Kammerteil zusammen mit anderen Teilen eine gegenüber der Hauptkammer abgedichtete Behandlungs- oder Schleusenkammer bildet, dadurch gekennzeichnet, da3 jedes der Kammerteile als oben geschlossene Glocke (32,34,36,38,40,42) ausgebildet ist und daß die Halterung (132) mittig bezüglich der jeweiligen Glocke an deren oberer Wand (52) derart angeordnet und ausgebildet ist, daß der Substrathalter (50) daran aufhängbar ist.

2. Vakuumaufdampfvorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Drehantrieb (80,82,84) zum Drehen des Substrathalters (50) in der jeweiligen Glocke (32,34,36,38,40,42).

3. Vakuumaufdampfvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine der Behandlungskammern eine Verdampfungskammer (22) mit einer abnehmbaren Bodenabdeckung (58) ist und auf der Bodenabdeckung der Verdampfungskammer eine Zuführeinrichtung (61) für Quellenmaterial, eine Verdampfungsquelle (60) und eine die Verdampfungsquelle wahlweise abschirmende Abschirmeinrichtung (62,63) angeordnet sind.