CN101608298B - 光学镀膜装置 - Google Patents
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Abstract
一种光学镀膜装置，其包括转动轴、基板承载架及卡环。所述转动轴一端具有第一凸缘，所述基板承载架具有第二凸缘。沿所述卡环内环面设置有凹槽，所述第一凸缘及第二凸缘容置于所述凹槽内，所述卡环包括相互连接的第一半环及第二半环。本发明所提供的光学镀膜装置，通过将转动轴及基板承载架的两个凸缘卡合到卡环的凹槽，从而保证基板承载架相对转动轴连接平稳，不易发生倾斜。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于镀膜的光学镀膜装置。
背景技术
目前，光学薄膜广泛应用于光学仪器，如传感器、半导体镭射、干涉仪、眼镜以及光纤通讯组件等很多领域。光学薄膜通常是通过干涉作用而达到其预期效果，即在光学组件或独立基板上镀上一层或多层的介电质膜或金属膜来改变光波传输特性。
目前，光学薄膜制作通常以物理蒸镀法为主，该方法为将薄膜材料由固态转化为气态或离子态，气态或离子态的材料由蒸发源穿越空间，抵达基板表面，材料抵达基板表面后，将沉积而逐渐形成薄膜。通常，为了制作高纯度的薄膜，镀膜的制程须于高真空环境下完成。由此延伸出真空镀膜，一般做法为将基片以超音波洗净机洗净，洗净后排上夹具，送入镀膜机，进行加热及抽真空。达到高真空后，开始镀膜。镀膜时，以电子枪或电阻式加热，将薄膜材料变成离子态，镀膜时间则视层数及程序不同而有长短。镀膜完毕后，待温度冷却后取出。
在现有的光学镀膜设备中，通常会使用多个螺丝将基板承载架固定在转动轴上。然而每次基板承载架固定在转动轴上或拆下时，均需要对多个螺丝进行拧紧与拆卸。当螺丝与螺孔之间产生磨损或安装螺丝的力度不均时，容易产生基板承载架相对转动轴的倾斜，从而影响镀膜质量。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种提高镀膜质量的光学镀膜装置。
一种光学镀膜装置，其包括转动轴、基板承载架及卡环。所述转动轴一端具有第一凸缘，所述基板承载架具有第二凸缘。沿所述卡环内环面设置有凹槽，所述第一凸缘及第二凸缘容置于所述凹槽内，所述卡环包括相互连接的第一半环及第二半环。
本发明所提供的光学镀膜装置，通过将转动轴及基板承载架的两个凸缘卡合到卡环的凹槽，从而保证基板承载架相对转动轴连接平稳，不易发生倾斜。
附图说明
图1是本发明第一实施方式提供的光学镀膜装置的示意图。
图2是图1的光学镀膜装置的分解示意图。
图3是本发明第二实施方式提供的光学镀膜装置的分解示意图。
图4是本发明第三实施方式提供的光学镀膜装置的分解示意图。
图5是本发明第四实施方式提供的光学镀膜装置的分解示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本发明作进一步的详细说明。
请参阅图1，本发明第一实施方式提供一种光学镀膜装置100。该光学镀膜装置100包括卡环10、转动轴20及基板承载架30。
请参阅图2，所述卡环10内环面10a具有一个凹槽10b。所述卡环10凹槽10b可以是圆形、椭圆形或正多边形等几何形状。本实施方式中，所述卡环10为圆形，为了利于传递扭矩及受力均匀，所述凹槽10b采用正八边形，所述卡环10包括第一半环11及第二半环12。所述第一半环11具有第一端11a及第二端11b。所述第二半环12具有第三端12a及第四端12b。所述第一端11a及第三端12a相铰接。本实施方式中，将第一端11a及第三端12a利用铰链40连接。所述第二端11b及第四端12b可以分别装有极性相反的磁性物质，或是一种磁性物质及一种铁、镍等金属，或是具有相配合的卡槽及卡勾等用于卡合的结构。本实施方式中，采用在所述第二端11b及第四端12b分别装有极性相反的磁体。在其他实施方式中，所述第一半环11及第二半环12的两端也可均采用磁性的方式吸合或均采用卡合的方式连接。
所述转动轴20的一端21具有第一凸缘21a。所述基板承载架30的顶端31具有一个第二凸缘31a。所述第一凸缘21a及第二凸缘31a均容置于所述凹槽10b内。所述第一凸缘21a及所述第二凸缘31a的外周与所述凹槽10b的槽底相配合。所述第一凸缘21a及所述第二凸缘31a的形状可以是盘形或块状，其外周几何形状可以是圆形、椭圆形或正多边形等几何形状。本实施方式中，所述第一凸缘21a及所述第二凸缘31a的形状均为与所述凹槽10b相配合的外周为正八边形的盘型结构。所述第一凸缘21a的厚度H1及第二凸缘31a的厚度H2的和与所述凹槽10b的槽宽L相当。
安装时，先将所述第一凸缘21a及第二凸缘31a对齐贴合，再将所述卡环10的第一半环11的第二端11b及第二半环12的第四端12b分开，将所述第一凸缘21a及第二凸缘31a置于所述凹槽10b内，吸合所述第二端11b及所述第四端12b。从而将所述基板承载架30连接于所述转动轴20上。拆卸所述基板承载架30时，只需将所述第一半环11的第二端11b及第二半环12的第四端12b分开，即可取下所述基板承载架30。
请参阅图3，其为本发明第二实施方式提供了的光学镀膜装置200。所述光学镀膜装置200与第一实施方式提供的光学镀膜装置100基本相同。其不同之处在于，卡环110的第一半环111的第一端111a及第二半环112的第三端112a之间采用磁性吸合的方式或卡合的方式连接。本实施方式中，所述第一端111a及第三端112a分别装有极性相反的磁体。
安装时，先将转动轴120的第一凸缘121a及基板承载架130的第二凸缘131a对齐贴合，再将所述卡环110的第一半环111及第二半环112分开，将所述第一凸缘121a及第二凸缘131a置于所述凹槽110b内，合上所述第一半环111及第二半环112。从而将所述基板承载架130连接于所述转动轴120上。拆卸所述基板承载架130时，只需将所述第一半环111与第二半环112分开，即可取下所述基板承载架130。
请参阅图4，本发明第三实施方式提供的一种光学镀膜装置300。所述光学镀膜装置300与第一实施方式提供的光学镀膜装置100基本相同。其不同之处在于，卡环210内环面210a沿卡环210轴向设置有第一凹槽210b及第二凹槽210c，转动轴220的第一凸缘221a与所述第一凹槽210b相配合，基板承载架230的顶端231的第二凸缘231a与所述第二凹槽210c相配合。本实施方式中，所述转动轴220的第一凸缘221a的厚度H3与所述第一凹槽210b的槽宽L1相当，所述基板承载架230的第二凸缘231a的厚度H4与所述第二凹槽210c的槽宽L2相当。
安装时，先将所述卡环210的第一半环211的第二端211b及第二半环212的第四端212b分开，再将所述第一凸缘221a置于所述第一凹槽210b内，将所述第二凸缘231a置于所述第二凹槽210c内，吸合所述第二端211b及所述第四端212b。从而将所述基板承载架230连接于所述转动轴220上。拆卸所述基板承载架230时，只需将所述第一半环211的第二端211b及第二半环212的第四端212b分开，即可取下所述基板承载架230。
请参阅图5，本发明第四实施方式提供的一种光学镀膜装置400。所述光学镀膜装置400与第三实施方式提供的光学镀膜装置300基本相同。其不同之处在于，卡环310的第一半环311的第一端311a及第二半环312的第三端312a之间采用磁性吸合的方式或卡合的方式连接。本实施方式中，采用在所述第一端311a及第三端312a分别装有极性相反的磁体。
安装时，先将所述卡环310的第一半环311及第二半环312分开，再将转动轴320的第一凸缘321a置于卡环310的第一凹槽310b内。再将基板承载架330的第二凸缘331a置于所述第二凹槽310c内。合上所述第一半环311及第二半环312。从而将基板承载架330连接于转动轴320上。拆卸所述基板承载架330时，只需将所述第一半环311与第二半环312分开，即可取下所述基板承载架330。
本发明所提供的光学镀膜装置，由于通过将转动轴及基板承载架的两个凸缘卡合到卡环的凹槽，从而保证基板承载架相对转动轴连接平稳，不易发生倾斜。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (8)
1.一种光学镀膜装置，其包括转动轴及基板承载架，其特征在于，所述转动轴一端具有第一凸缘，所述基板承载架具有第二凸缘，所述光学镀膜装置包括一个卡环，沿所述卡环内环面设置有凹槽，所述第一凸缘及第二凸缘容置于所述凹槽内，所述卡环包括相互连接的第一半环及第二半环。
2.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述凹槽由第一凹槽及第二凹槽组成，所述第一凸缘容置于所述第一凹槽内，所述第二凸缘容置于所述第二凹槽内。
3.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述第一半环及第二半环的一端采用铰接的方式连接，所述第一半环及第二半环的另一端采用磁性的方式吸合。
4.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述第一半环及第二半环的两端均采用磁性的方式吸合。
5.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述第一半环及第二半环的一端采用铰接的方式连接，所述第一半环及第二半环的另一端采用卡合的方式连接。
6.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述第一半环及第二半环的两端均采用卡合的方式连接。
7.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述第一凸缘及第二凸缘形状相同。
8.如权利要求1所述的光学镀膜装置，其特征在于，所述第一凸缘及第二凸缘形状是盘形。
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