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Die
Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Vorrichtungen zur Behandlung
eines Behälters
mit Hilfe eines Niederdruckplasmas, bei denen das Plasma durch Erregung
eines Gases mit Hilfe von elektromagnetischen Wellen hergestellt
wird.
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Eine
solche Vorrichtung ist zum Beispiel in der Patentanmeldung WO99/49991
des gleichen Anmelders beschrieben, auf die für jede Erläuterung bezüglich der aufgrund der erfindungsgemäßen Vorrichtung
einsetzbaren Verfahren zurückgegriffen
werden kann. In der in der oben erwähnten Druckschrift beschriebenen
Vorrichtung ist vorgesehen, dass jeder Behälter in einer Behandlungsstation
aufgenommen wird, die einen dichten Hohlraum und eine äußere Hülle aufweist.
Die Station ist mit einem oberen beweglichen Deckel versehen, der
es ermöglicht,
den Hohlraum zu öffnen,
um einen zu behandelnden Behälter
einführen
zu können.
In der Schließstellung schließt der Deckel
diesen Hohlraum dicht, damit im Hohlraum der Niederdruck erhalten
werden kann, der für
die Erzeugung eines so genannten kalten Plasmas notwendig ist. Vorteilhafterweise
besitzt der Deckel der Vorrichtung Mittel zum Halten des Behälters, damit
das Einführen
und die Entnahme des Behälters durch
die Verschiebung des Deckels zwischen seiner Öffnungs- und seiner Schließstellung
gewährleistet wird.
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Die
in der Druckschrift WO99/49991 beschriebene Vorrichtung ist eine
Vorrichtung, bei der die Behandlung durch Niederdruckplasma zum
Ziel hat, eine Materialbeschichtung der Wände des Behälters durchzuführen. Hierzu
ist es notwendig, in den Hohlraum ein Vorläufergas einzuführen, das
in Form eines Plasmas ionisiert wird. Vorteilhafterweise sieht die
Druckschrift vor, dass die Einspritzmittel des Vorläufergases
einen Injektor aufweisen, der auf den Deckel des Hohlraums montiert
ist.
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Um
den zur Herstellung eines Plasmas notwendigen Niederdruck zu erreichen,
muss der Hohlraum außerdem über einen
Vakuumkreislauf genannten Kreislauf mit Pumpmitteln verbunden sein. Auch
hier sieht die oben erwähnte
Druckschrift vor, dass das Ende dieses Vakuumkreislaufs auf dem
Deckel ausgebildet ist, um direkt in den Hohlraum zu münden.
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Diese
Druckschrift beschreibt aber nicht im Einzelnen die Mittel, die
es ermöglichen,
den Deckel mit dem Vakuumkreislauf zu verbinden.
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Die
Erfindung hat zum Ziel, eine besondere Gestaltung des Vakuumkreislaufs
vorzuschlagen, die einen absolut zuverlässigen Betrieb der diese Vorrichtung
verwendenden Maschine ermöglicht.
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Zu
diesem Zweck schlägt
die Erfindung eine Behandlungsvorrichtung der oben beschriebenen
Art vor, dadurch gekennzeichnet, dass der Deckel einen Verbindungskanal
aufweist, der, wenn der Deckel in der Stellung des dichten Verschließens des
Hohlraums ist, den Hohlraum mit einem ortsfesten Ende des Vakuumkreislaufs
in Verbindung setzt.
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Gemäß weiterer Merkmale der Erfindung:
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- – weist
der Verbindungskanal ein Anschlussende, das mit dem ortsfesten Ende
des Vakuumkreislaufs zusammenwirkt, und zwei Enden auf, die in eine
Innenfläche
des Deckels münden,
die den Hohlraum begrenzt, wenn der Deckel in der Schließstellung
ist, und es sind Haltemittel vorgesehen, um eine Öffnung des
zu behandelnden Behälters
dicht gegen die Innenfläche
des Deckels zu drücken,
wobei die Öffnung
ein erstes der Enden vollständig
umgibt, so dass der Behälter
im Hohlraum einen ersten Bereich, der mit dem Vakuumkreislauf über das
erste Ende verbunden ist, und einen zweiten Bereich begrenzt, der
mit dem Vakuumkreislauf über
das zweite Ende verbunden ist;
- – weist
eines der beiden Enden ein Verschlussorgan auf, das so gesteuert
wird, dass die beiden Bereiche des Hohlraums dicht voneinander getrennt
werden können,
wenn der Deckel in der Schließstellung
ist;
- – ist
das Verschlussorgan ein gesteuertes Ventil;
- – erlaubt
das erste Ende des Verbindungskanals den Durchgang eines Injektors,
um ein reaktives Gas ins Innere des Behälters zu bringen;
- – weist
der Verbindungskanal eine Luftaufnahmeöffnung auf, die in der Umgebungsluft
mündet
und die mit einer Verschlussklappe versehen ist, die gesteuert wird,
um den Hohlraum am Ende der Behandlung mit der Atmosphäre verbinden
zu können.
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Weitere
Merkmale und Vorteile der Erfindung gehen aus der nachfolgenden
ausführlichen
Beschreibung sowie aus den beiliegenden Zeichnungen hervor. Es zeigen:
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1 schematisch
im axialen Schnitt eine Maschine, die eine erfindungsgemäße Behandlungsvorrichtung
enthält,
deren Deckel in der Öffnungsstellung
gezeigt ist;
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2 eine
Ansicht gleich derjenigen der 1, bei der
der Deckel in der Stellung des Verschließens des Hohlraums gezeigt
ist;
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3 schematisch
in einer perspektivischen Explosionsdarstellung verschiedene Bauteile
einer erfindungsgemäßen Behandlungsstation;
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4 eine
schematische Ansicht des erfindungsgemäßen Deckels in der Ebene;
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5 eine
schematische Schnittansicht gemäß der Linie
5-5 der 4, die die beiden Enden des
Verbindungskanals zeigt;
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6 eine
schematische Schnittansicht, die die Steuermittel des Steuerventils
des Druckdifferentials zwischen dem Inneren und der Außenumgebung
des Behälters
zeigt.
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In
den 1 und 2 sind schematische axiale Schnittansichten
einer Behandlungsstation 10 gemäß der Lehre der Erfindung gezeigt.
Die Station 10 ist hier Teil einer drehenden Maschine,
die einen sich kontinuierlich um eine senkrechte Achse A0 drehenden
Kreisförderer 12 aufweist.
Der Kreisförderer 12 ist
vorgesehen, um an seinem Umfang eine Reihe von Behandlungsstationen 10 gleich
der dargestellten zu tragen, wobei die Stationen einen gleichmäßigen Winkelabstand
um die Achse A0 herum aufweisen.
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Die
Behandlungsstation 10 weist eine äußere Hülle 14 auf, die über einen
radialen Träger 16 am Umfang
des Kreisförderers 12 befestigt
ist. Die Hülle 14 ist
aus einem stromleitenden Material, zum Beispiel Metall, hergestellt,
und sie wird von einer rohrförmigen
zylindrischen Wand 18 mit der senkrechten Achse A1 gebildet.
Die Hülle
wird an ihrem unteren Ende von einer unteren Bodenwand 20 verschlossen.
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Außerhalb
der Hülle 14 und
an dieser befestigt befindet sich ein Gehäuse 22, das Mittel
(nicht dargestellt) aufweist, um im Inneren der Hülle 14 ein elektromagnetisches
Feld zu erzeugen, das ein Plasma erzeugen kann. Es kann sich hier
um Mittel handeln, die in der Lage sind, eine elektromagnetische Strahlung
im UHF-Bereich zu erzeugen, das heißt im Mikrowellenbereich. In
diesem Fall kann das Gehäuse 22 daher
ein Magnetron umschließen,
dessen Antenne 24 in einem Wellenleiter 26 mündet. Dieser Wellenleiter 26 ist
zum Beispiel ein Tunnel mit rechtwinkligem Querschnitt, der sich
gemäß einem
Radius bezüglich
der Achse A0 erstreckt, und der über
die Seitenwand 18 direkt ins Innere der Hülle 14 mündet. Die
Erfindung könnte
aber auch im Rahmen einer Vorrichtung angewendet werden, die mit
einer Strahlungsquelle von der Art Funkfrequenz ausgestattet ist,
und/oder die Quelle könnte
auch anders angeordnet sein, zum Beispiel am unteren axialen Ende
der Hülle 14.
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Im
Inneren der Hülle 14 findet
man ein Rohr 28 mit einer Achse A1, das aus einem für die über den
Wellenleiter 26 in die Hülle 14 eingeführten elektromagnetischen
Wellen transparenten Material hergestellt ist. Man kann zu Beispiel
das Rohr 28 aus Quarz herstellen. Dieses Rohr 28 ist
dazu bestimmt, einen zu behandelnden Behälter 30 aufzunehmen. Sein
Innendurchmesser muss an den Durchmesser des Behälters angepasst sein. Es muss
außerdem
einen Hohlraum 32 begrenzen, in dem ein Unterdruck in der
Größenordnung
von 10–4 Bar
hergestellt wird, sobald der Behälter
sich im Inneren der Hülle
befindet.
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Wie
man in 1 sehen kann, wird die Hülle 14 teilweise an
ihrem oberen Ende von einer oberen Wand 36 verschlossen,
die mit einer zentralen Öffnung 38 mit
einem Durchmesser versehen ist, der im Wesentlichen dem Durchmesser
des Rohrs 28 entspricht, so dass das Rohr 28 nach
oben völlig
offen ist, um das Einführen
des Behälters 30 in
den Hohlraum 32 zu erlauben. Dagegen sieht man, dass die untere
metallische Wand 20, mit der das untere Ende des Rohrs 28 dicht
verbunden ist, den Boden des Hohlraums 32 bildet.
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Um
die Hülle 14 und
den Hohlraum 32 zu verschließen, weist die Behandlungsstation 10 einen Deckel 34 auf,
der axial zwischen einer oberen, in 1 dargestellten
Stellung und einer unteren, in 2 dargestellten
Schließstellung
beweglich ist. In der oberen Stellung ist der Deckel ausreichend
weit entfernt, um das Einführen
des Behälters 30 in
den Hohlraum 32 zu erlauben.
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In
der in 2 gezeigten Schließstellung kommt der Deckel 34 in
dichte Auflage auf die Oberfläche
der oberen Wand 36 der Hülle 14. Da das obere
Ende des Rohrs 28 dicht mit der oberen Wand 36 verbunden
ist, verschließt
der Deckel 34 den Hohlraum 32 dicht. Hierzu ist
eine Dichtung 40 von der Art O-Ring vorgesehen, die vom
Deckel 34 getragen wird und die gegen die obere Wand 36 des
Hohlraums 14 um die zentrale Öffnung 38 herum in
Auflage kommt.
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Außerdem weist
der Deckel 34 auch einen leitenden biegsamen Wulst 42,
zum Beispiel in Form einer Metalllitze, auf, der sich auch gegen
die Wand 36 anlegt, um eine elektrische Verbindung zwischen der
Hülle 14 und
dem Deckel 34 zu gewährleisten, wenn
dieser in der Schließstellung
ist. Der Deckel ist nämlich
aus leitendem Material, und er hat auch die Aufgabe, die Hülle 14 zu
verschließen,
um in ihrem Inneren die Erzeugung eines elektromagnetischen Felds
zu ermöglichen,
das im Hohlraum 32 ein Plasma erzeugen kann. Vorteilhafterweise
kann dieser Wulst auf der Basis eines geschmeidigen Materials (von
der Art Silicon) hergestellt werden, das mit Metallteilchen geladen
ist, um stromleitend zu sein. Ein solcher Wulst kann nämlich sowohl
die Aufgabe einer Dichtung als auch die einer elektrischen Verbindung zwischen
dem Deckel und der Hülle 14 erfüllen.
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Im
dargestellten Beispiel gleitet der Deckel 34 senkrecht
bezüglich
der Hülle 14.
Hierzu wird er von einem Wagen 44 getragen, der auf einer
fest mit dem Kreisförderer 12 verbundenen
Gleitschiene 46 gleitet. Man könnte aber auch vorsehen, dass
der Deckel 34 eine andere Bewegung bezüglich des Hohlraums 14 zwischen
seiner Öffnungs-
und seiner Schließstellung
hat, zum Beispiel eine Schwenkbewegung um eine waagrechte Achse.
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Im
dargestellten Beispiel profitiert man davon, dass die Behandlungsstation
auf einen drehbaren Kreisförderer
montiert ist, um die Verschiebungen des Deckels mit Hilfe eines
Systems mit Nockenscheibe 48 und Laufrolle 50 zu
steuern. Die Maschine weist nämlich
eine ortsfeste Nockenscheibe 48 auf, die sich kreisbogenförmig um
die Achse A0 erstreckt und von der eine Oberfläche eine Rollbahn bildet. Natürlich variiert
die Höhe
der Nockenscheibe 48 in Abhängigkeit von der Winkelstellung
um die Achse A0.
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Die
Laufrolle 50 ist über
einen Ständer 52 mit dem
Wagen 44 verbunden, der den Deckel 34 trägt, und
sie ist somit in Drehung fest mit dem Kreisförderer 12 verbunden.
Wenn die Laufrolle 50 in einem Winkelsektor ankommt, in
dem die Nockenscheibe 48 sich anhebt, bewirkt die Laufrolle
somit das Anheben des Deckels in seine hohe Stellung. In anderen Winkelsektoren
sinkt dagegen die Höhe
der No ckenscheibe, und die Laufrolle 50 ermöglicht es
dem Deckel 34, in seine Schließstellung abzusinken. Natürlich können andere
Mittel zum Steuern der Verschiebung des Deckels 34 in Betracht
gezogen werden, ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.
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In
besonders vorteilhafter Weise hat der Deckel 34 nicht nur
die Aufgabe, das dichte Verschließen des Hohlraums 32 zu
gewährleisten.
Er trägt nämlich komplementäre Organe.
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Zunächst trägt der Deckel 34 Mittel
zum Halten des Behälters.
Im dargestellten Beispiel sind die zu behandelnden Behälter Flaschen
aus thermoplastischem Material, zum Beispiel aus Polyethylenterephthalat
(PET). Diese Flaschen haben einen seitlich an ihrem Hals 58 radial
nach außen
vorstehenden Kragen, so dass es möglich ist, sie mit Hilfe einer
Gabel 54 zu ergreifen, die sich unter dem Kragen um den
Hals fügt
oder einrastet. Diese Gabel 54 ist am unteren Ende einer
Stange 56 angebracht, die den Deckel 34 durchquert.
Diese Stange 56 ist bezüglich des
Deckels senkrecht derart beweglich, dass die Flasche 30 auf
die Gabel gesteckt werden kann, während sie bezüglich des
Deckels einen leichten Abstand nach unten aufweist (1).
Wenn sie von der Gabel 54 getragen wird, kann die Flasche 30 nach
oben gegen eine Auflagefläche 60 des
Deckels 34 gedrückt
werden. Vorzugsweise ist diese Auflage dicht, so dass, wenn der
Deckel in Schließstellung
ist, der Innenraum des Hohlraums 32 durch die Wand des
Behälters
in zwei Teile geteilt wird: den Innenraum und die Außenumgebung
des Behälters.
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Diese
Anordnung ermöglicht
es, nur eine der beiden Flächen
(innen oder außen)
der Wand des Behälters
zu behandeln. Im dargestellten Beispiel möchte man nur die Innenfläche der
Wand des Behälters
behandeln.
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Diese
innere Behandlung erfordert, dass man sowohl den Druck als auch
die Zusammensetzung der Gase steuern kann, die im Inneren des Behälters vorhanden
sind. Hierzu muss der Innenraum des Behälters mit einer Unterdruckquelle
und mit einem Gasverteilungskreislauf verbunden werden können. Der
Deckel 34 weist ei nen Injektor 62 auf, der gemäß der Achse
A1 angeordnet ist und der auch bezüglich des Deckels 34 zwischen
einer hohen, eingezogenen Stellung, in der der Behälter 30 radial
auf die Gabel 54 gebracht werden kann (1),
und einer tiefen Stellung beweglich ist, in der der Injektor 62 ins
Innere des Behälters 30 getaucht
ist (2).
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Damit
das vom Injektor 62 injizierte Gas ionisiert werden und
unter der Wirkung des in der Hülle erzeugten
elektromagnetischen Felds ein Plasma erzeugen kann, ist es notwendig,
dass der Druck im Behälter
etwa 10–4 Bar
beträgt.
Um den Innenraum des Behälters
mit einer Unterdruckquelle (zum Beispiel einer Pumpe) in Verbindung
zu bringen, weist der Deckel 34 einen inneren Kanal 64 auf,
von dem ein Hauptende 65 in die Innenfläche des Deckels mündet, genauer
in der Mitte der Auflagefläche 60, gegen
die der Hals der Flasche 30 gedrückt ist.
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Man
stellt fest, dass in der vorgeschlagenen Ausführungsform die Auflagefläche 60 nicht
direkt auf der Innenfläche
des Deckels, sondern am ringförmigen
unteren Ende eines angesetzten rohrförmigen Teils 61 mit
einer Achse A1 ausgebildet ist, das unter dem Deckel 34 befestigt
ist. Die innere Ausbohrung dieses rohrförmigen Teils 61 bildet
in diesem Fall die Verlängerung
des Hauptendes 65. Wenn das obere Ende des Halses des Behälters gegen
die Auflagefläche 60 anliegt,
umgibt die Öffnung
des Behälters 30, die
von diesem oberen Ende begrenzt wird, völlig die Öffnung, durch die das Hauptende 65 in
die untere Fläche
des Deckels 34 mündet.
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Erfindungsgemäß ist dieses
Hauptende 65 nicht direkt mit den Pumpmitteln verbunden.
Aufgrund der Beweglichkeit des Deckels 34 müsste man dann
nämlich
flexible Leitungen zwischen dem Deckel und dem Pumpkreislauf vorsehen.
Solche Leitungen sind aber in einem Vakuumkreislauf wenig geeignet,
da eine geschmeidige Leitung die Tendenz hat, unter der Wirkung
des Atmosphärendrucks
zusammengedrückt
zu werden.
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Erfindungsgemäß weist
daher der innere Kanal 64 des Deckels 24 ein Anschlussende 66 auf,
und der Vakuumkreislauf der Maschine besitzt ein ortsfestes Ende 68, das
so angeordnet ist, dass die beiden Enden 66, 68 einander
gegenüber
liegen, wenn der Deckel in der Schließstellung ist.
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Im
dargestellten Beispiel weist die obere Wand 36 der Hülle 14 eine
Verlängerung 70 auf,
die sich in der gleichen wagrechten Ebene bezüglich der Achse A0 radial nach
innen erstreckt. Diese Verlängerung 70 weist
eine Öffnung 72 auf,
und sie besitzt Mittel, um den Anschluss einer Leitung 74 des
Vakuumkreislaufs zu erlauben. Diese Leitung 74 ist zum Beispiel
mit einer oder mehreren Pumpen (nicht dargestellt) verbunden. Diese
Pumpen sind vorzugsweise außerhalb
der Maschine angeordnet, und sie sind in diesem Fall mit der Leitung 74 über einen
drehenden Anschluss (nicht dargestellt) verbunden, um die Drehung
des Kreisförderers
nicht zu verhindern.
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Da
die Hülle 14 bezüglich des
Kreisförderers 12 ortsfest
ist, kann die Leitung 74 auf diese Weise starr oder sehr
wenig biegsam sein.
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Wie
man in 3 sehen kann, weist der Deckel 34 von
oben gesehen die gleiche Form wie die obere Wand der Hülle 14 auf,
und das Anschlussende 66 mündet in der unteren Fläche des
Deckels 34 genau vor der Öffnung 72, mit der
die Leitung 74 verbunden ist.
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Um
die Herstellung des inneren Kanals 64 zu vereinfachen,
wird der Deckel 34 aus zwei Teilen hergestellt: einem unteren
Sockel 76 und einer oberen Kappe 78. Der innere
Kanal 64 wird in der Oberfläche des Sockels 76 ausgehöhlt, wobei
nur das Anschlussende 66 und das Hauptende 65 an
der Innenfläche münden. Wenn
die Kappe 78 dicht auf den Sockel aufgesetzt wird, gibt
es also nur noch eine mögliche Verbindung
zwischen dem Anschlussende 66 und dem Hauptende, so dass
der Kanal 64 eine dichte Verbindung zwischen der Leitung 74 und
dem Hohlraum 32 gewährleistet.
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Die
in den Figuren gezeigte Maschine ist vorgesehen, um die Innenfläche von
Behältern
zu behandeln, die aus einem relativ verformbaren Material bestehen.
Solche Behälter
könnten
keinen Druck in der Größenordnung
von 1 Bar zwischen der Innen- und der Außenseite der Flasche aushalten.
Um im Inneren der Flasche einen Druck in der Größenordnung von 10–4 Bar
zu erhalten, ohne die Flasche zu verformen, muss daher auch im Bereich
des Hohlraums 32 außerhalb
der Flasche zumindest teilweise Druck abgelassen werden. Daher weist
der innere Kanal 64 des Deckels 34 zusätzlich zum
Hauptende 65 ein Hilfsende 80 auf, das auch durch
die Innenfläche
des Deckels mündet,
aber radial nach außerhalb der
ringförmigen
Auflagefläche 60,
auf die der Hals 58 des Behälters aufgedrückt ist.
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So
erzeugen die gleichen Pumpmittel gleichzeitig ein Vakuum innerhalb
und außerhalb
des Behälters.
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Um
das Pumpvolumen zu begrenzen, und um das Auftreten eines nutzlosen
Plasmas außerhalb
der Flasche zu verhindern, sollte vorzugsweise der Außendruck
nicht unter 0,05 bis 0,1 Bar im Vergleich mit einem Druck von 10–4 Bar
im Inneren sinken. Man stellt außerdem fest, dass die Flaschen, selbst
mit dünnen
Wänden,
diesen Druckunterschied aushalten können, ohne sich merklich zu
verformen. Aus diesem Grund ist vorgesehen, den Deckel mit einem
gesteuerten Ventil 82 zu versehen, das das Hilfsende 80 verschließen kann.
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Wie
man in den 4 und 5 sehen kann,
ist das Ventil 82 im Deckel 34 zwischen dem Sockel 76 und
der Kappe 78 eingeschlossen, und es ist vom Typ "normalerweise geschlossen". Das Ventil 82 ist
am unteren Ende einer Ventilstange 84 angeordnet, die sich
durch die Kappe 78 des Deckels 34 hindurch nach
oben erstreckt.
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Wie
man in 6 im Einzelnen sehen kann, wird die Ventilstange 84 von
einem System mit Laufrolle 86 gesteuert, die dazu bestimmt
ist, mit einer ortsfesten Nockenscheibe 88 der Maschine
zusammenzuwirken. An einem gegebenen Punkt der Drehung des Kreisförderers
bewirkt die Nockenscheibe 88 das Anheben der Laufrolle 86,
die fest mit einem Hebel 90 verbunden ist, der um eine
waagrechte Achse A2 am Deckel 34 angelenkt ist. Die Laufrolle bewirkt
ein Schwenken des Hebels 90, das das Anheben der Stange 84 mittels
einer Steuerantriebsscheibe 92 bewirkt. Wenn die Nockenscheibe 88 es der
Laufrolle erlaubt, abzusinken, tendiert eine Rückstellfeder 94, die
zwischen dem Deckel 34 und dem Hebel 90 wirkt,
dazu, die Ventilstange 84 wieder nach unten zu bewegen,
um das Ventil 82 gegen einen Ventilsitz 95 anzudrücken, der
um das Hauptende 80 herum ausgebildet ist.
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Natürlich könnten andere
Mittel zur Steuerung des Ventils 82 vorgesehen werden,
ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen. So könnte man zum Beispiel einen
Druckzylinder oder einen Elektromagneten verwenden.
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Der
Betrieb der soeben beschriebenen Vorrichtung kann also folgendermaßen sein.
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An
einem gegebenen Punkt der Drehung des Kreisförderers ist der Deckel 34 in
der hohen Stellung. Die Gabel 54 ist in der tiefen Stellung,
und der Injektor ist in der eingezogenen hohen Stellung, wie dies
in 1 gezeigt ist. Ein Behälter 30 kann also
an diesem Punkt auf die Gabel 54 geführt werden, zum Beispiel mit
Hilfe eines Übergaberads
mit Aussparungen. Solche Räder
sind bei Maschinen zur Herstellung und zum Füllen von Flaschen aus PET weitgehend
bekannt und verwendet. Dieses Rad tangiert den Kreisförderer am
Ladepunkt des Behälters.
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Wenn
der Behälter
auf die Gabel 54 geladen ist, wobei der Kreisförderer 12 seine
Drehbewegung fortsetzt, sinkt der Deckel in seine Schließstellung. Gleichzeitig
wird die die Gabel 54 tragende Stange 56 so gesteuert,
dass sie den Behälter
dicht gegen die Auflagefläche 58 des
Deckels 34 drückt,
und der Injektor 62 wird abgesenkt, um ins Innere des Behälters einzutauchen.
Man stellt außerdem
fest, dass der Injektor durch das Hauptende 65 des Kanals 64 absinkt,
dass er ihn aber nicht verschließt.
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Wenn
der Deckel in der Schließstellung
ist, ist es möglich,
die im Hohlraum 32 enthaltene Luft anzusaugen, der über den
inneren Kanal 64 des Deckels 34 mit dem Vakuumkreislauf
verbunden ist.
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Zuerst
wird das Ventil 82 so gesteuert, dass es geöffnet wird,
damit der Druck im Hohlraum 32 sowohl innerhalb als auch
außerhalb
des Behälters
fällt. Wenn
der Kreisförderer 12 eine
vorbestimmte Winkelstellung erreicht, nimmt man an, dass der Vakuumpegel
außerhalb
des Behälters
einen ausreichenden Pegel erreicht hat, und das System mit Nockenscheibe 88 und
Laufrolle 86 steuert das Schließen des Ventils 82.
Dann ist es möglich,
das Pumpen ausschließlich
im Inneren des Behälters 30 fortzusetzen.
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Wenn
der Behandlungsdruck erreicht ist, kann die Behandlung beginnen.
Diese Behandlung kann zum Beispiel aus einer Beschichtung mit einer Innenverkleidung
bestehen, wobei diese Beschichtung aufgrund der Ionisieren eines
Vorläufergases
in Form eines Plasmas erhalten wird, das mit Hilfe des Injektors 62 in
den Behälter
injiziert wird.
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Wenn
die Behandlung beendet ist, wird der Hohlraum vorteilhafterweise über den
inneren Kanal 64 des Deckels wieder auf Atomsphärendruck
gebracht. Dies kann wahlweise dadurch erfolgen, dass die Leitung 74 mit
Atmosphärendruck
verbunden wird, oder dass der Kanal 64 mit einer gesteuerten Öffnung (nicht
dargestellt) versehen wird, die es erlaubt, den Kanal direkt mit
der Atmosphäre
zu verbinden. In beiden Fällen
achtet man darauf, zuerst die Öffnung
des Ventils 82 zu steuern, damit der Atmosphärendruck
innerhalb und außerhalb
des Behälters gleichzeitig
wiederhergestellt wird.
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Sobald
der Druckausgleich zwischen dem Innenraum und der Außenumgebung
des Behälters erreicht
ist, kann man den Deckel in seine hohe Stellung steuern, den Injektor
einziehen und die Gabel 54 bezüglich des Deckels 34 nach
unten verschieben, um das Entfernen des behandelten Behälters zu
erlauben.
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Aufgrund
der Erfindung kann der Vakuumkreislauf der Maschine wirtschaftlich
und zuverlässig gestaltet
werden, da er in Höhe
des Deckels keine Systeme mit flexiblen Verbindungen verwendet,
die wiederholt beansprucht würden
und somit brechen könnten.