DE60117804T2 - Sperrbeschichtung - Google Patents

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Description

  • Die Erfindung betrifft das Gebiet der Dünnschicht-Sperrüberzüge, die unter Einsatz eines Niederdruckplasmas aufgebracht werden. Um solche Überzüge herzustellen, wird ein Reaktionsfluid unter niedrigem Druck in einen Bearbeitungsbereich eingespritzt. Dieses Fluid ist, wenn es auf die verwendeten Drücke gebracht worden ist, im Allgemeinen gasförmig. Im Bearbeitungsbereich wird ein elektromagnetisches Feld erzeugt, um dieses Fluid in den Plasmazustand zu bringen, das heißt, um eine wenigstens teilweise Ionisation desselben hervorzurufen. Die aus diesem Ionisationsmechanismus hervorgegangenen Teilchen können sich dann an den Wänden des Objektes ablagern, das im Bearbeitungsbereich angebracht ist.
  • Die Abscheidungen durch Niederdruckplasmen, auch Kaltplasmen genannt, ermöglichen es, dünne Schichten auf Objekten aus temperaturempfindlichem Kunststoff abzuscheiden und dabei gleichzeitig eine gute physikalisch-chemische Adhäsion des auf dem Objekt abgeschiedenen Überzuges zu garantieren.
  • Eine solche Abscheidungstechnologie wird bei verschiedenen Anwendungen verwendet. Eine dieser Anwendungen betrifft die Abscheidungen von funktionalen Überzügen auf Filmen oder Behältern, insbesondere mit dem Ziel, deren Durchlässigkeit für Gase wie Sauerstoff und Kohlendioxid zu verringern.
  • Insbesondere hat es sich unlängst herausgestellt, dass eine solche Technologie angewendet werden könnte, um Kunststoffflaschen, die dazu bestimmt sind, sauerstoffempfindliche Produkte wie etwa Bier und Fruchtsäfte oder kohlensäurehaltige Produkte wie etwa Sodawässer zu verpacken, mit einem Sperrmaterial zu überziehen.
  • Das Dokument WO99/49991 beschreibt eine Vorrichtung, die es ermöglicht, die Innen- oder Außenseite einer Kunststoffflasche mit einem Sperrüberzug zu bedecken. In diesem Dokument wird die Verwendung eines Überzuges auf der Basis von wasserstoffhaltigem amorphem Kohlenstoff in Betracht gezogen.
  • Es ist außerdem bekannt, dichte Überzüge auf der Basis von Siliciumoxid vom Typ SiOx, die durch Niederdruck-Plasmaspritzen aufgebracht werden, zu verwenden, um die Durchlässigkeit von Kunststoff-Trägermaterialien zu verringern. Es zeigt sich jedoch, dass diese Überzüge, wenn sie auf verformbaren Trägermaterialen abgeschieden werden, den Verformungen, denen das Trägermaterial ausgesetzt ist, nicht standhalten können. Trotz der sehr starken Adhäsion am Trägermaterial führt nämlich die Verformung dieses letzteren zum Auftreten von Mikrorissen im Überzug, was dessen Sperreigenschaften verschlechtert.
  • Nun erfordern jedoch gewisse Anwendungen, dass der Überzug trotz der Verformungen des Trägermaterials standhalten kann. So ist eine Kunststoffflasche, die mit einer kohlensäurehaltigen Flüssigkeit wie einem Soda oder wie Bier gefüllt ist, einem Innendruck von mehreren Bar (1 bar = 100.000 Pa) ausgesetzt, welcher im Falle der leichtesten Flaschen zu einem Fließen des Kunststoffes führen kann, das in einer geringfügigen Vergrößerung des Volumens der Flasche zum Ausdruck kommt. In einem solchen Falle können die dichten Materialien wie SiOx aufgrund dessen, dass ihre Elastizität viel geringer ist als die des Kunststoff Trägermaterials, derart beschädigt werden, dass sie einen großen Teil der Sperreigenschaften der Flasche verlieren.
  • Die Erfindung hat daher das Ziel, einen neuen Typ eines optimierten Überzuges zum Erzielen von Sperreigenschaften von sehr hohem Niveau bereitzustellen.
  • Zu diesem Zweck stellt die Erfindung in erster Linie ein Gassperrüberzug bereit, der auf ein Polymerträgermaterial durch Niederdruck-Plasmaspritzen aufgebracht wird, wobei der Überzug eine Sperrschicht auf der Basis von Siliciumoxid umfasst, die von einer Schutzschicht aus wasserstoffhaltigem amorphem Kohlenstoff bedeckt ist, und dadurch gekennzeichnet ist, dass die Sperrschicht eine Dicke aufweist, die zwischen 8 und 20 Nanometern beträgt, und dadurch, dass die Schutzschicht eine Dicke von weniger als 20 Nanometern aufweist.
  • Gemäß weiteren Merkmalen dieses erfindungsgemäßen Überzuges:
    • – besteht die Sperrschicht im Wesentlichen aus Siliciumoxid mit der Formel SiOx, wobei x zwischen 1,5 und 2,3 beträgt;
    • – weist die Schutzschicht eine Dicke von weniger als 10 Nanometern auf;
    • – wird die Sperrschicht durch Auftragen einer Organosiliciumverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen in Gegenwart eines Überschusses an Sauerstoff hergestellt;
    • – wird die Schutzschicht durch Auftragen einer Kohlenwasserstoffverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen hergestellt;
    • – ist zwischen dem Trägermaterial und der Sperrschicht eine Grenzflächenschicht aufgebracht;
    • – wird die Grenzflächenschicht durch Auftragen einer Organosiliciumverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen in Abwesenheit von zusätzlichem Sauerstoff hergestellt; und
    • – wird die Grenzflächenschicht durch Auftragen einer Organosiliciumverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen in Gegenwart von Stickstoff hergestellt.
  • Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren, bei dem ein Niederdruckplasma angewendet wird, um einen Sperrüberzug auf ein zu bearbeitendes Trägermaterial aufzubringen, von der Art, bei der das Plasma durch Teilionisation eines unter niedrigem Druck in einen Bearbeitungsbereich eingespritzten Reaktionsfluids unter der Wirkung eines elektromagnetischen Feldes hergestellt wird, und welches dadurch gekennzeichnet ist, dass es mindestens einen Schritt umfasst, der darin besteht, eine Sperrschicht auf der Basis von Siliciumoxid aufzubringen, und dadurch, dass es einen späteren Schritt umfasst, der darin besteht, auf die Sperrschicht mittels Niederdruck-Plasmaspritzen eine Schutzschicht aus wasserstoffhaltigem amorphem Kohlenstoff aufzubringen.
  • Gemäß weiteren Merkmalen des erfindungsgemäßen Verfahrens:
    • – wird die Schutzschicht durch Auftragen einer Kohlenwasserstoffverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen hergestellt;
    • – ist die Kohlenwasserstoffverbindung Acetylen;
    • – wird die Sperrschicht durch Auftragen einer Organosiliciumverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen in Gegenwart eines Überschusses an Sauerstoff hergestellt;
    • – umfasst das Verfahren einen vorangehenden Schritt, der darin besteht, zwischen dem Trägermaterial und der Sperrschicht eine Grenzflächenschicht aufzubringen; und
    • – wird die Grenzflächenschicht hergestellt, indem ein Gemisch, das mindestens eine Organosiliciumverbindung und eine Stickstoffverbindung umfasst, in den Plasmazustand gebracht wird.
  • Die Erfindung betrifft außerdem einen Behälter aus Polymermaterial, der dadurch gekennzeichnet ist, dass er auf mindestens einer seiner Seiten mit einem Sperrüberzug des weiter oben beschriebenen Typs bedeckt ist. Dieser Behälter ist zum Beispiel auf seiner Innenseite mit einem Sperrüberzug überzogen, und es kann sich um eine Flasche aus Polyethylenterephthalat handeln.
  • Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung werden beim Studium der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung ersichtlich, in der auf die beigefügte einzige Figur Bezug genommen wird.
  • In der einzigen Figur ist eine schematische Axialschnittansicht einer Ausführungsform einer Bearbeitungsstation 10 dargestellt, welche die Durchführung eines Verfahrens gemäß den Lehren der Erfindung ermöglicht. Die Erfindung wird hier im Rahmen der Bearbeitung von Behältern aus Kunststoff beschrieben. Genauer, es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung beschrieben, die es ermöglichen, einen Sperrüberzug auf die Innenseite einer Flasche aus Kunststoff aufzubringen.
  • Die Station 10 kann zum Beispiel Bestandteil einer rotierenden Maschine sein, die ein Karussell umfasst, das in eine kontinuierliche Rotationsbewegung um eine vertikale Achse versetzt wird.
  • Die Bearbeitungsstation 10 umfasst eine äußere Ummantelung 14, die aus einem elektrisch leitenden Material hergestellt ist, zum Beispiel aus Metall, und die von einer rohrförmigen zylindrischen Wand 18 mit einer vertikalen Achse A1 gebildet wird. Die Ummantelung 14 ist an ihrem unteren Ende durch eine untere Bodenwand 20 verschlossen.
  • Außerhalb der Ummantelung 14 und an dieser befestigt ist ein Gehäuse 22 zu finden, welches Mittel (nicht dargestellt) umfasst, um innerhalb der Ummantelung 14 ein elektromagnetisches Feld zu erzeugen, das in der Lage ist, ein Plasma zu erzeugen. In diesem Falle kann es sich um Mittel handeln, die in der Lage sind, eine elektromagnetische Strahlung im UHF-Bereich, d.h. im Mikrowellenbereich zu erzeugen. In diesem Falle kann das Gehäuse 22 daher ein Magnetron umschließen, dessen Antenne 24 in einen Wellenleiter 26 einmündet. Dieser Wellenleiter 26 ist zum Beispiel ein Tunnel mit rechteckigem Querschnitt, der sich radial bezüglich der Achse A1 erstreckt und der durch die Seitenwand 18 hindurch direkt ins Innere der Ummantelung 14 einmündet. Die Erfindung könnte jedoch auch im Rahmen einer Vorrichtung ausgeführt sein, die mit einer Strahlungsquelle vom Funkfrequenztyp ausgestattet ist, und/oder die Quelle könnte auch anders angeordnet sein, zum Beispiel am unteren axialen Ende der Ummantelung 14.
  • Im Inneren der Ummantelung 14 befindet sich ein Rohr 28 mit der Achse A1, das aus einem Material hergestellt ist, das für die elektromagnetischen Wellen, die über den Wellenleiter 26 in die Ummantelung 14 eingeleitet werden, durchlässig ist. Das Rohr 28 kann zum Beispiel aus Quarz hergestellt sein. Dieses Rohr 28 ist dazu bestimmt, einen zu bearbeitenden Behälter 30 aufzunehmen. Sein Innendurchmesser muss daher an den Durchmesser des Behälters angepasst sein. Es muss außerdem einen Hohlraum 32 begrenzen, in welchem ein Unterdruck erzeugt wird, sobald sich der Behälter im Inneren der Ummantelung befindet.
  • Wie aus der Figur ersichtlich ist, ist die Ummantelung 14 an ihrem oberen Ende teilweise durch eine obere Wand 36 verschlossen, die mit einer zentralen Öffnung mit einem Durchmesser versehen ist, der etwa gleich dem Durchmesser des Rohres 28 ist, so dass das Rohr 28 nach oben vollständig offen ist, um die Einführung des Behälters 30 in den Hohlraum 32 zu ermöglichen. Dagegen ist ersichtlich, dass die metallische untere Wand 20, mit welcher das untere Ende des Rohres 28 auf dichte Art und Weise verbunden ist, den Boden des Hohlraumes 32 bildet.
  • Um die Ummantelung 14 und den Hohlraum 32 wieder zu schließen, umfasst die Bearbeitungsstation 10 daher eine Abdeckung 34, die zwischen einer oberen Position (nicht dargestellt) und einer unteren Schließposition, die in der Figur dargestellt ist, axial beweglich ist. In der oberen Position ist die Abdeckung ausreichend weit zurückgezogen, um die Einführung des Behälters 30 in den Hohlraum 32 zu ermöglichen.
  • In der Schließposition stützt sich die Abdeckung 34 auf dichte Art und Weise auf die Oberseite der oberen Wand 36 der Ummantelung 14.
  • Vorteilhafterweise hat die Abdeckung 34 nicht nur die alleinige Funktion, das dichte Verschließen des Hohlraumes 32 sicherzustellen. Sie trägt nämlich zusätzliche Organe.
  • In erster Linie trägt die Abdeckung 34 Mittel zum Halten des Behälters. Im dargestellten Beispiel sind die zu bearbeitenden Behälter Flaschen aus thermoplastischem Material, zum Beispiel aus Polyethylenterephthalat (PET). Diese Flaschen weisen an der Basis ihres Halses einen radial vorstehenden Flansch auf, so dass es möglich ist, sie mit Hilfe einer Greiferglocke 54 zu erfassen, die um den Hals herum zum Eingriff gelangt oder einrastet, vorzugsweise unter dem Flansch. Sobald die Flasche 30 von der Greiferglocke 54 getragen wird, wird sie nach oben gegen eine Anlagefläche der Greiferglocke 54 gedrückt. Vorzugsweise ist diese Abstützung dicht, so dass, wenn sich die Abdeckung in der Schließposition befindet, der innere Raum des Hohlraumes 32 durch die Wand des Behälters in zwei Teile aufgeteilt ist: das Innere und das Äußere des Behälters.
  • Diese Anordnung ermöglicht es, nur die eine der beiden Seiten (Innenseite oder Außenseite) der Wand des Behälters zu bearbeiten. Im dargestellten Beispiel ist beabsichtigt, nur die Innenseite der Wand des Behälters zu bearbeiten.
  • Diese Innenbearbeitung erfordert daher, dass man gleichzeitig den Druck und die Zusammensetzung der im Inneren des Behälters vorhandenen Gase kontrollieren kann. Zu diesem Zweck muss es möglich sein, das Innere des Behälters mit einer Unterdruckquelle und mit einer Vorrichtung zur Speisung mit Reaktionsfluid 12 kommunizieren zu lassen. Diese letztere umfasst daher eine Reaktionsfluidquelle 16, die durch eine Rohrleitung 38 mit einer Einspritzdüse 62 verbunden ist, die entlang der Achse A1 angeordnet ist und die bezüglich der Abdeckung 34 zwischen einer zurückgezogenen oberen Position (nicht dargestellt) und einer unteren Position, in welcher die Einspritzdüse 62 durch die Abdeckung 34 hindurch ins Innere des Behälters 30 eingetaucht ist, beweglich ist. Ein gesteuertes Ventil 40 ist zwischen der Fluidquelle 16 und der Einspritzdüse 62 in die Rohrleitung 38 eingebaut. Die Einspritzdüse 62 kann ein Rohr mit poröser Wand sein, das es ermöglicht, die Verteilung der Einspritzung von Reaktionsfluid in den Bearbeitungsbereich zu optimieren.
  • Damit das von der Einspritzdüse 62 eingespritzte Gas unter der Wirkung des in der Ummantelung erzeugten elektromagnetischen Feldes ionisiert werden und ein Plasma bilden kann, ist es erforderlich, dass der Druck im Behälter niedriger als der atmosphärische Druck ist, zum Beispiel in der Größenordnung von 10 Pa (10–4 bar) liegt. Um das Innere des Behälters mit einer Unterdruckquelle (zum Beispiel einer Pumpe) kommunizieren zu lassen, umfasst die Abdeckung 34 einen inneren Kanal 64, von dem ein Hauptendstück in die Unterseite der Abdeckung einmündet, genauer im Mittelpunkt der Anlagefläche, gegen die der Hals der Flasche 30 gedrückt wird.
  • Es ist anzumerken, dass bei der vorgeschlagenen Ausführungsform die Anlagefläche nicht direkt an der Unterseite der Abdeckung gebildet wird, sondern an einer ringförmigen Unterseite der Greiferglocke 54, die unter der Abdeckung 34 befestigt ist. Auf diese Weise umgibt, wenn das obere Ende des Halses des Behälters an der Anlagefläche anliegt, die Öffnung des Behälters 30, die von diesem oberen Ende begrenzt wird, vollständig die Öffnung, über welche das Hauptendstück in die Unterseite der Abdeckung 34 einmündet.
  • Im dargestellten Beispiel weist der innere Kanal 64 der Abdeckung 34 ein Anschlussende 66 auf, und der Vakuumkreis der Maschine weist ein festes Ende 68 auf, das so angeordnet ist, dass die zwei Enden 66, 68 einander gegenüberliegen, wenn sich die Abdeckung in der Schließposition befindet.
  • Die dargestellte Maschine ist dazu vorgesehen, die Innenseite von Behältern zu bearbeiten, die aus relativ leicht verformbarem Material bestehen. Solche Behälter könnten einem Druckunterschied in der Größenordnung von 105 Pa (1 bar) zwischen dem Äußeren und dem Inneren der Flasche nicht standhalten. Daher ist es, um im Inneren der Flasche einen Druck in der Größenordnung von 10 Pa (10–4 bar) zu erhalten, ohne die Flasche zu verformen, erforderlich, dass der außerhalb der Flasche befindliche Teil des Hohlraumes 32 ebenfalls wenigstens teilweise drucklos gemacht wird. Deshalb weist der innere Kanal 64 der Abdeckung 34 zusätzlich zu dem Hauptendstück ein Hilfsendstück (nicht dargestellt) auf, das ebenfalls durch die Unterseite der Abdeckung hindurch einmündet, jedoch radial außerhalb der ringförmigen Anlagefläche, gegen welche der Hals des Behälters gedrückt wird.
  • Auf diese Weise erzeugen dieselben Pumpmittel gleichzeitig das Vakuum innerhalb und außerhalb des Behälters.
  • Um das Pumpvolumen zu begrenzen und um das Erscheinen eines nutzlosen Plasmas außerhalb der Flasche zu vermeiden, ist es vorzuziehen, dass der Druck außerhalb der Flasche nicht unter 5.000 bis 10.000 Pa (0,05 bis 0,1 bar) absinkt, gegen über einem Druck von ungefähr 10 Pa (10–4 bar) im Inneren. Außerdem ist festzustellen, dass die Flaschen, auch solche mit dünnen Wänden, diesem Druckunterschied standhalten können, ohne eine nennenswerte Verformung zu erfahren. Aus diesem Grunde ist vorgesehen, die Abdeckung mit einem gesteuerten Ventil (nicht dargestellt) auszustatten, welches das Hilfsendstück verschließen kann.
  • Die Funktionsweise der gerade beschriebenen Vorrichtung kann daher folgende sein.
  • Sobald der Behälter von der Greiferglocke 54 erfasst worden ist, senkt sich die Abdeckung zu ihrer Schließposition ab. Gleichzeitig senkt sich die Einspritzdüse durch das Hauptendstück des Kanals 64 hindurch ab, jedoch ohne es zu verschließen.
  • Wenn sich die Abdeckung in der Schließposition befestigt, ist es möglich, die Luft abzusaugen, die im Hohlraum 32 enthalten ist, der dann dank dem inneren Kanal 64 der Abdeckung 34 mit dem Vakuumkreis verbunden ist.
  • In einer ersten Phase wird das Ventil so angesteuert, dass es geöffnet ist, so dass der Druck im Hohlraum 32 gleichzeitig außerhalb und innerhalb des Behälters sinkt. Wenn die Höhe des Vakuums außerhalb des Behälters einen ausreichenden Wert erreicht hat, steuert das System das Schließen des Ventils. Es ist dann möglich, das Pumpen ausschließlich im Inneren des Behälters 30 fortzusetzen.
  • Sobald der Bearbeitungsdruck erreicht ist, kann die Bearbeitung gemäß dem Verfahren der Erfindung beginnen.
  • Bei einer bevorzugten Variante der Erfindung umfasst das Abscheidungsverfahren einen ersten Schritt, der darin besteht, unmittelbar auf dem Trägermaterial, in diesem Fall auf der Innenseite der Flasche, eine Grenzflächenschicht aufzubringen, die im Wesentlichen aus Silicium, aus Kohlenstoff, aus Sauerstoff, aus Stickstoff und aus Wasserstoff besteht. Die Grenzflächenschicht kann selbstverständlich auch an dere Elemente in geringen Mengen oder in Spuren enthalten, wobei diese anderen Bestandteile dann von Verunreinigungen stammen, die in den verwendeten Reaktionsfluiden enthalten sind, oder ganz einfach von Verunreinigungen, die auf das Vorhandensein von Restluft zurückzuführen sind, die am Ende des Pumpvorganges noch vorhanden ist.
  • Um eine solche Grenzflächenschicht zu erhalten, muss in den Bearbeitungsbereich ein Gemisch eingespritzt werden, das eine Organosiliciumverbindung, das heißt eine im Wesentlichen Kohlenstoff, Silicium, Sauerstoff und Wasserstoff enthaltende Verbindung, und eine Stickstoffverbindung umfasst.
  • Die Organosiliciumverbindung kann zum Beispiel ein Organosiloxan sein, und die Stickstoffverbindung kann ganz einfach Stickstoff sein. Es kann auch die Verwendung eines Organosilazans, das wenigstens ein Stickstoffatom enthält, als Organosiliciumverbindung in Betracht gezogen werden.
  • Die Organosiloxane wie etwa Hexamethyldisiloxan (HMDSO) oder Tetramethyldisiloxan (TMDSO) sind im Allgemeinen bei Raumtemperatur flüssig. Daher kann man, um sie in den Bearbeitungsbereich einzuspritzen, entweder ein Trägergas verwenden, das sich in einer Blasenpumpe mit Organosiloxandämpfen vereinigt, oder ganz einfach bei dem Sättigungsdampfdruck des Organosiloxans arbeiten.
  • Falls ein Trägergas verwendet wird, kann dieses ein Edelgas wie etwa Helium oder Argon sein. Vorteilhafterweise kann man jedoch ganz einfach gasförmigen Stickstoff (N2) als Trägergas verwenden.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird diese Grenzflächenschicht hergestellt, indem in den Bearbeitungsbereich, in diesem Fall das Innenvolumen einer Kunststoffflasche von 500 ml, HMDSO mit einer Durchflussmenge von 4 sccm (Standard Kubikzentimeter pro Minute) eingespritzt wird, unter Verwendung von gasförmigem Stickstoff als Trägergas mit einer Durchflussmenge von 40 sccm. Die verwendete Mikrowellenleistung beträgt zum Beispiel 400 W, und die Bearbei tungsdauer liegt in der Größenordnung von 0,5 Sekunden. Auf diese Weise erhält man in einer Vorrichtung des oben beschriebenen Typs eine Grenzflächenschicht, deren Dicke in der Größenordnung von nur einigen Nanometern liegt.
  • Verschiedene Analysen gestatten es nachzuweisen, dass die so aufgebrachte Grenzflächenschicht selbstverständlich Silicium enthält, dass sie jedoch besonders reich an Kohlenstoff und an Stickstoff ist. Sie enthält auch Sauerstoff und Wasserstoff. Die Analysen zeigen außerdem, dass zahlreiche chemische Bindungen vom Typ N-H existieren.
  • Versuche haben gezeigt, dass es möglich wäre, im Verlaufe dieses Schrittes der Aufbringung der Grenzflächenschicht den gasförmigen Stickstoff (N2) durch Luft zu ersetzen (im vorgeschlagenen Beispiel ebenfalls mit einer Durchflussmenge von 40 sccm), die bekanntlich zu fast 80 % aus Stickstoff besteht.
  • Es ist dann möglich, auf diese Grenzflächenschicht eine Sperrschicht aus Material vom Typ SiOx aufzubringen. Es existieren zahlreiche Verfahren, um ein solches Material durch Niederdruck-Plasmaspritzen aufzubringen. Beispielsweise kann man sich damit begnügen, zu dem oben beschriebenen Gemisch HMDSO/N2 80 sccm gasförmigen Sauerstoff (O2) hinzuzugeben. Diese Zugabe kann augenblicklich oder allmählich erfolgen.
  • Der Sauerstoff, der im Plasma in großem Überschuss vorhanden ist, bewirkt die nahezu vollständige Absonderung der Atome von Kohlenstoff, Stickstoff und Wasserstoff, die entweder durch das HMDSO oder durch den als Trägergas verwendeten Stickstoff eingebracht werden. Man erhält auf diese Weise ein Material vom Typ SiOx, wobei x, welches das Verhältnis der Sauerstoffmenge zur Siliciummenge ausdrückt, im Allgemeinen zwischen 1,5 und 2,3 beträgt, je nach den verwendeten Arbeitsbedingungen. Unter den weiter oben angegebenen Bedingungen kann man einen Wert von x erhalten, der größer als 2 ist. Natürlich können wie im Verlaufe des ersten Schrittes Verunreinigungen, die auf die Art und Weise der Herstellung zurückzuführen sind, in geringen Mengen in diese Schicht gelangen, ohne deren Eigenschaften wesentlich zu verändern.
  • Die Dauer des zweiten Bearbeitungsschrittes kann zum Beispiel zwischen 2 und 4 Sekunden variieren. Die Dicke der so erhaltenen Sperrschicht liegt daher in der Größenordnung von 6 bis 20 Nanometern.
  • Die zwei Schritte des Abscheidungsverfahrens können in Form von zwei vollkommen getrennten Schritten durchgeführt werden, oder im Gegenteil in Form von zwei miteinander verknüpften Etappen, ohne dass das Plasma zwischen ihnen erlischt.
  • Gemäß den Lehren der Erfindung ist es möglich, die Sperrschicht mit einer Schutzschicht aus wasserstoffhaltigem amorphem Kohlenstoff zu bedecken, die durch Niederdruck-Plasmaspritzen aufgebracht wird.
  • Aus dem Dokument WO99/49991 ist bekannt, dass wasserstoffhaltiger amorpher Kohlenstoff als Sperrschicht verwendet werden kann. Um jedoch gute Werte der Sperrwirkung zu erzielen, ist es erforderlich, eine Dicke in der Größenordnung von 80 bis 200 Nanometern abzuscheiden, eine Dicke, bei welcher die Kohlenstoffschicht eine nicht vernachlässigbare goldene Färbung aufweist.
  • Im Rahmen der vorliegenden Erfindung weist die aufgebrachte Kohlenstoffschicht eine Dicke auf, welche kleiner als 20 Nanometer ist. In diesem Dickenbereich ist der Beitrag dieser zusätzlichen Schicht als Gassperre nicht bestimmend, selbst wenn dieser Beitrag vorhanden ist.
  • Die hauptsächliche Bedeutung der Anbringung einer Schicht aus wasserstoffhaltigem amorphem Kohlenstoff mit einer so geringen Dicke besteht in der Tatsache, dass man festgestellt hat, dass die so geschützte Schicht von SiOx den verschiedenen Verformungen des Kunststoff-Trägermaterials besser standhält.
  • Beispielsweise kann diese Schicht aus wasserstoffhaltigem amorphem Kohlenstoff hergestellt werden, indem in den Bearbeitungsbereich während einer Dauer in der Größenordnung von 0,2 Sekunden gasförmiges Acetylen mit einer Durchflussmenge von ungefähr 60 sccm eingeleitet wird. Die so aufgebrachte Schutzschicht ist ausreichend dünn, so dass ihre Färbung mit bloßem Auge kaum wahrnehmbar ist, und erhöht gleichzeitig die Gesamthaltbarkeit des Überzuges wesentlich.
  • Der so hergestellte Sperrüberzug erweist sich als besonders leistungsfähig. So weist eine standardmäßige PET-Flasche von 500 ml, auf welcher ein Überzug gemäß den Lehren der Erfindung aufgebracht worden ist, eine Durchlässigkeitsrate auf, die weniger als 0,002 Kubikzentimetern Sauerstoff entspricht, die pro Tag in die Flasche gelangen, und sie behält selbst dann Sperreigenschaften von einer akzeptablen Qualität, wenn sie einem Fließen unterliegt, das einer Volumenzunahme von über 5 % entspricht.

Claims (17)

  1. Gassperrüberzug, der auf ein Polymerträgermaterial aufgebracht wird, wobei der Überzug eine Sperrschicht auf der Basis von Siliciumoxid umfasst, die von einer Schutzschicht aus wasserstoffhaltigem amorphem Kohlenstoff bedeckt ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Sperrschicht eine Dicke aufweist, die zwischen 8 und 20 Nanometern beträgt, und dadurch, dass die Schutzschicht eine Dicke von weniger als 20 Nanometern aufweist.
  2. Überzug nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Sperrschicht im Wesentlichen aus Siliciumoxid mit der Formel SiOx besteht, wobei x zwischen 1,5 und 2,3 beträgt.
  3. Überzug nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzschicht eine Dicke von weniger als 10 Nanometern aufweist.
  4. Überzug nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sperrschicht durch Auftragen einer Organosiliciumverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen in Gegenwart eines Überschusses an Sauerstoff hergestellt wird.
  5. Überzug nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzschicht durch Auftragen einer Kohlenwasserstoffverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen hergestellt wird.
  6. Überzug nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Trägermaterial und der Sperrschicht eine Grenzflächenschicht aufgebracht ist.
  7. Überzug nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Grenzflächenschicht durch Auftragen einer Organosiliciumverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen in Abwesenheit von zusätzlichem Sauerstoff hergestellt wird.
  8. Überzug nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Grenzflächenschicht durch Auftragen einer Organosiliciumverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen in Gegenwart von Stickstoff hergestellt wird.
  9. Behälter aus Polymermaterial, dadurch gekennzeichnet, dass er auf mindestens einer seiner Seiten mit einem Sperrüberzug nach einem der vorhergehenden Ansprüche bedeckt ist.
  10. Behälter nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass er auf seiner Innenseite mit einem Sperrüberzug überzogen ist.
  11. Behälter nach einem der Ansprüche 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass es sich um eine Flasche aus Polyethylenterephthalat handelt.
  12. Verfahren, bei dem ein Niederdruckplasma angewendet wird, um einen Sperrüberzug auf ein zu bearbeitendes Polymerträgermaterial aufzubringen, von der Art, bei der das Plasma durch Teilionisation eines unter niedrigem Druck in einen Bearbeitungsbereich eingespritzten Reaktionsfluids unter der Wirkung eines elektromagnetischen Feldes hergestellt wird, dadurch gekennzeichnet, dass es mindestens einen Schritt umfasst, der darin besteht, eine Sperrschicht auf der Basis von Siliciumoxid aufzubringen, die eine Dicke aufweist, die zwischen 8 und 20 Nanometern beträgt, und dadurch, dass es einen späteren Schritt umfasst, der darin besteht, auf die Sperrschicht mittels Niederdruck-Plasmaspritzen eine Schutzschicht aus wasserstoffhaltigem amorphem Kohlenstoff aufzubringen, die eine Dicke von weniger als 20 Nanometern aufweist.
  13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Schutzschicht durch Auftragen einer Kohlenwasserstoffverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen hergestellt wird.
  14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Kohlenwasserstoffverbindung Acetylen ist.
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Sperrschicht durch Auftragen einer Organosiliciumverbindung mittels Niederdruck-Plasmaspritzen in Gegenwart eines Überschusses an Sauerstoff hergestellt wird.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass es einen vorangehenden Schritt umfasst, der darin besteht, zwischen dem Trägermaterial und der Sperrschicht eine Grenzflächenschicht aufzubringen.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Grenzflächenschicht hergestellt wird, indem ein Gemisch, das mindestens eine Organosiliciumverbindung und eine Stickstoffverbindung umfasst, in den Plasmazustand gebracht wird.
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Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100610130B1 (ko) * 1999-05-19 2006-08-09 미쯔비시 쇼지 플라스틱 가부시키가이샤 Dlc막, dlc막 코팅 플라스틱 용기, 그 제조장치 및그 제조방법
EP1537253A1 (de) * 2002-05-24 2005-06-08 Schott Ag Vorrichtung und verfahren zur behandlung von werkst cken
JP2005526914A (ja) * 2002-05-24 2005-09-08 エスアイジー テクノロジー リミテッド 工作物のプラズマ処理方法および装置
WO2003100125A1 (de) * 2002-05-24 2003-12-04 Sig Technology Ltd. Verfahren und vorrichtung zur plasmabehandlung von werkstücken
DE10224547B4 (de) * 2002-05-24 2020-06-25 Khs Corpoplast Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Plasmabehandlung von Werkstücken
EP1388593B1 (de) * 2002-08-07 2015-12-30 Schott AG Schnelles Verfahren zur Herstellung von Mehrfachlagen-Barriereschichten
US7399500B2 (en) 2002-08-07 2008-07-15 Schott Ag Rapid process for the production of multilayer barrier layers
DE10258678B4 (de) * 2002-12-13 2004-12-30 Schott Ag Schnelles Verfahren zur Herstellung von Multilayer-Barriereschichten
KR101162377B1 (ko) * 2003-03-28 2012-07-09 도요 세이칸 가부시키가이샤 플라즈마 cvd법에 의한 화학 증착막 및 그 형성 방법
FR2872148B1 (fr) 2004-06-24 2006-09-22 Sidel Sas Machine de traitement de bouteilles equipee d'une cartouche de raccordement interchangeable
JP2006118669A (ja) * 2004-10-25 2006-05-11 Sanoh Industrial Co Ltd 樹脂チューブ
JP2006315697A (ja) * 2005-05-11 2006-11-24 Hokkai Can Co Ltd 炭酸飲料用プラスチックボトル
US20080202414A1 (en) * 2007-02-23 2008-08-28 General Electric Company Methods and devices for coating an interior surface of a plastic container
US7967945B2 (en) * 2008-05-30 2011-06-28 Yuri Glukhoy RF antenna assembly for treatment of inner surfaces of tubes with inductively coupled plasma
EP2166130A1 (de) 2008-09-17 2010-03-24 Alcan Technology & Management Ltd. Kunststoffilm mit guter Barrierewirkung nach einer Sterilisierbehandlung
DE102011104730A1 (de) 2011-06-16 2012-12-20 Khs Corpoplast Gmbh Verfahren zur Plasmabehandlung von Werkstücken sowie Werkstück mit Gasbarriereschicht
CN102430039B (zh) * 2011-12-06 2014-12-03 余军 一种治疗糖尿病的中药组合物及其制备方法
RU2016122547A (ru) 2013-11-08 2017-12-13 Нестек С.А. Контейнер с покрытием
CN104670737A (zh) * 2013-11-26 2015-06-03 徐小玲 一种碳酸饮料瓶
EP3093309B1 (de) 2015-05-11 2018-03-21 Coating Plasma Industrie Verfahren zum aufbringen einer gassperrschicht auf eine polymerfolie oder einen polymerbehälter und polymerfolie oder polymerbehälter mit solch einer gassperre
RU2662207C2 (ru) * 2016-10-04 2018-07-24 Дмитрий Олегович Береснев Способ улучшения барьерных свойств пластиковых контейнеров
CN110195218A (zh) * 2019-05-20 2019-09-03 何金宁 一种微波cvd纳米防水复合工艺

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3047888A1 (de) * 1980-12-19 1982-07-15 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg "schneidwerkzeug, verfahren zu seiner herstellung und seine verwendung"
JPS6053545A (ja) * 1983-09-02 1985-03-27 Kao Corp 透明樹脂製部品の表面処理方法
JPH0825244B2 (ja) * 1988-05-10 1996-03-13 三菱化学株式会社 ガスバリヤ性の優れた透明プラスチックフィルム
US5190807A (en) * 1990-10-18 1993-03-02 Diamonex, Incorporated Abrasion wear resistant polymeric substrate product
JP3176558B2 (ja) * 1996-02-09 2001-06-18 麒麟麦酒株式会社 コーティングフィルムおよびその製造方法
EP1017874B1 (de) * 1997-07-01 2002-02-20 E.I. Du Pont De Nemours And Company Farblose diamantähnliche kohlenstoffbeschichtungen
US5981000A (en) * 1997-10-14 1999-11-09 International Business Machines Corporation Method for fabricating a thermally stable diamond-like carbon film
US6027793A (en) * 1997-11-03 2000-02-22 Alusuisse Technology & Management Ltd. Packaging film
JPH11245327A (ja) * 1998-02-27 1999-09-14 Sony Corp 保護膜およびその形成方法
FR2776540B1 (fr) * 1998-03-27 2000-06-02 Sidel Sa Recipient en matiere a effet barriere et procede et appareil pour sa fabrication
FR2790762B1 (fr) * 1999-03-09 2001-06-01 Centre Nat Rech Scient Procede de traitement de surface pour protection et fonctionnalisation des polymeres et produit obtenu selon ce procede
US6277480B1 (en) * 1999-05-03 2001-08-21 Guardian Industries Corporation Coated article including a DLC inclusive layer(s) and a layer(s) deposited using siloxane gas, and corresponding method
US20030215652A1 (en) * 2001-06-04 2003-11-20 O'connor Paul J. Transmission barrier layer for polymers and containers

Also Published As

Publication number Publication date
FR2812666A1 (fr) 2002-02-08
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DE60117804T8 (de) 2007-07-12
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JP2004504965A (ja) 2004-02-19
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AU2001278548A1 (en) 2002-02-13
FR2812666B1 (fr) 2003-08-08
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ES2259667T3 (es) 2006-10-16

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